WO2014088191A1 - 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판 - Google Patents

내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판 Download PDF

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나종주
박명점
김명근
김윤환
서재형
악흔
이지영
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(주)에스이피
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    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D5/00—Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures
    • B05D5/08—Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain an anti-friction or anti-adhesive surface
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    • G02—OPTICS
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    • G02B27/0006—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
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    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a water-repellent surface with improved durability and to a substrate on which a water-repellent surface is formed.
  • the present invention by coating the water repellent layer on the substrate and then etching the water repellent layer to form nano projections, it is possible to provide both antireflection and water repellent properties on the surface without coating the water repellent layer along the nano projection shape of the substrate surface Characterized in that it can.
  • the water repellency can be maintained until the water repellent layer in which the nano-projections are formed is completely worn, thereby greatly improving the durability of the water repellent surface.
  • the transparent material substrate used in the touch screen panel, etc., in order to provide anti-reflective function or anti-fouling property together with the anti-reflection function on the surface as shown in Figure 1 after forming a nano structure such as nano projections on the surface of the substrate water repellent layer It is common to coat
  • the coating thickness of the water repellent layer by the commonly used Self Assembled Monolayers (SAMs) material is generally in the range of 10 to 30 nm.
  • the substrate on which the coating layer is formed is used in a touch screen panel or the like, abrasion of the water repellent layer may easily occur due to frequent contact, and thus the staining or antifouling effect may easily disappear.
  • the durability of the water repellent layer itself must be increased through a process such as vacuum deposition, which not only complicates the process but also increases the overall process cost.
  • the transparent material substrate used in the touch screen panel and the like has a problem that it is difficult to form nano-protrusions for the anti-reflection itself is not easy to etch.
  • an object of the present invention is to provide a method for producing a water-repellent surface and a substrate on which a water-repellent surface is formed that can improve the durability of the water-repellent layer itself in a simple process without using vacuum deposition. .
  • the present invention provides a method for producing a water-repellent surface that can provide antireflection function and anti-fouling or antifouling properties to the surface of the substrate in a simple process without forming a nano-projection directly on the substrate, and provides a substrate with a water-repellent surface It aims to do it.
  • the present invention comprises the steps of a) coating the water repellent layer 20 on the substrate 10, and b) forming the nano-projections 21 by etching the water repellent layer 20 It provides a method for producing a water-repellent surface, and a substrate 10 having a water-repellent surface, characterized in that the nano-protrusion 21 is formed in the water-repellent layer 20 coated on the surface.
  • the present invention improves the durability of the super water-repellent surface by forming nano-protrusions on the surface of the substrate first and then coating the water-repellent layer after forming the nano-projections on the substrate surface, as in the prior art. It is characterized by.
  • the substrate 10 on which the super water-repellent surface is formed may be made of various materials such as glass, ceramic, metal or plastic, and the forming step of the nano-projection 21 may be a single device regardless of the material of the substrate 10. And process.
  • the water repellent layer 20 may be made of various materials having water repellency.
  • the water repellent layer 20 may be made of a low temperature curable ceramic coating material capable of high hardness and water repellency.
  • the low temperature curable ceramic coating agent is a solution composed of a metal and an organic component and is cured by a sol-gel method, and is a basic raw material that is ceramicized after curing.
  • the coating layer made of the low temperature curable ceramic coating agent may be in contact with the substrate due to the water repellency, in order to solve this, before the step a) of coating the water repellent layer 20 on the substrate 10, the substrate 10
  • the surface of the substrate 10 may be further cleaned by atmospheric pressure plasma to activate the -OH group.
  • the low temperature curable ceramic coating agent is preferably made through an impregnation method, spray coating, spin coating or air-knife coating method,
  • the viscosity is preferably controlled at 1 to 10 cP (20 ° C.).
  • the thickness of the water repellent layer 20 is 100 to 3,000 nm, and the size of the nano protrusions 21 is preferably 50 to 500 nm.
  • the micro-protrusion may be formed together with the nano-protrusion 21, wherein the size of the micro-protrusion is preferably 1 ⁇ 50 ⁇ m. .
  • the micro-projections 22 and the nano-projections 21 are mixed on the substrate and the spacing between the micro projections is preferably 20 ⁇ m ⁇ 1mm.
  • Substrate with a water-repellent surface can improve the durability of the water-repellent layer itself by a simple process without using a vacuum deposition, etc., and antireflection function on the surface of the substrate by a simple process without forming nano protrusions directly on the substrate It can be combined with over-fingerprint or antifouling properties, which can simplify the manufacturing process and lower the manufacturing cost.
  • FIG. 1 is a process flow diagram illustrating a process of coating a water repellent layer on a substrate having nano protrusions according to a conventional surface treatment technique.
  • FIG. 3- After the coating of the water repellent layer on the substrate in accordance with the present invention, a process flow diagram showing the process of forming a nano protrusion and a micro protrusion on the coated water repellent layer
  • Method for producing a water-repellent surface of the present invention as shown in Figure 2 a) coating the water repellent layer 20 on the substrate 10, and b) the nano-protrusion 21 by etching the water repellent layer 20 Forming a step.
  • the substrate of the present invention manufactured by the method is characterized in that the nano-protrusion 21 is formed on the water repellent layer 20 coated on the surface of the substrate, not the substrate 10 itself.
  • the water repellent layer after forming the nanostructures as described above, since the coating thickness of the water repellent layer should be thin enough to prevent the nano projections from being buried, the water repellent layer is easily worn on a substrate requiring frequent contact such as a touch screen panel. There was. Therefore, in order to increase the durability of the water repellent layer having a thin thickness, it had to go through an expensive process such as vacuum deposition.
  • the substrate is made of a material that is difficult to etch, it is difficult not only to form nano-projections on the substrate, but also requires a lot of time and cost to develop an etching process suitable for each material of the substrate.
  • the water-repellent layer after first coating the water repellent layer 20 on the surface of the substrate 10 It is characterized by improving the durability of the super water-repellent surface by forming a nano-protrusion 21 in.
  • the substrate 10 is glass, ceramic, metal without having to consider the etching conditions Or it may be made of a variety of materials such as plastic, the formation of the nano-protrusion 21 may be made of a single equipment and process irrespective of the material of the substrate 10.
  • the water repellent layer 20 may be made of various materials having water repellency, but in one embodiment, a low temperature curable ceramic coating material capable of implementing a water repellent layer having high hardness and water repellency may be used.
  • the substrate 10 it is preferable to activate the -OH group on the surface of the substrate by cleaning the surface of the substrate 10 with atmospheric plasma before coating the water repellent layer 20 on the substrate.
  • the coating of the water repellent layer does not need to go through a process such as vacuum deposition, but in order to increase the adhesion and hardness of the coating layer, it is made through the impregnation method, spray coating, spin coating or air-knife coating (Air-knife coating) method
  • the viscosity of the low temperature curable ceramic coating agent is preferably controlled at 1 ⁇ 10cP (20 °C).
  • the thickness of the water repellent layer 20 is preferably controlled in the range of 100 to 3,000 nm in order to increase the durability of the water repellent layer while providing an antireflection function to the surface of the substrate, the size of the nano-protrusion 21 is 50 It is preferable to control in the range of ⁇ 500 nm.
  • the nano protrusions 21 when the nano protrusions 21 are formed on the surface, the nano protrusions may be collapsed by external contact, so as to minimize the collapse by the contact of the nano protrusions 21, the micro protrusions together with the nano protrusions 21. It is preferable to form together (22).
  • the micro protrusions 22 and the nano protrusions 21 are mixed on the substrate, and the spacing between the micro protrusions is preferably 20 ⁇ m to 1 mm.
  • the micro-projections support a surface load to prevent the nano-scale projections from collapsing.
  • the size of the projections is preferably 1 to 50 ⁇ m in order to effectively prevent the nano-projections from collapsing.

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Abstract

본 발명은 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판에 관한 것이다. 자세하게는, 본 발명은 기판 위에 발수층을 코팅한 후 상기 발수층을 식각하여 나노 돌기를 형성함으로써, 발수층을 기판 표면의 나노 돌기 형상을 따라 코팅하지 않고도 표면에 반사방지 및 발수 특성을 함께 부여할 수 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면 나노 돌기가 형성된 발수층이 완전히 마모될 때까지 발수성을 유지할 수 있어 발수성 표면의 내구성을 매우 향상시킬 수 있다.

Description

내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판
본 발명은 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판에 관한 것이다. 자세하게는 본 발명은 기판 위에 발수층을 코팅한 후 상기 발수층을 식각하여 나노 돌기를 형성함으로써, 발수층을 기판 표면의 나노 돌기 형상을 따라 코팅하지 않고도 표면에 반사방지 및 발수 특성을 함께 부여할 수 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면 나노 돌기가 형성된 발수층이 완전히 마모될 때까지 발수성을 유지할 수 있어 발수성 표면의 내구성을 매우 향상시킬 수 있다.
터치스크린패널 등에 사용되는 투명소재 기판은 표면에 반사방지 기능과 더불어 내지문 또는 방오염 특성을 함께 부여하기 위하여, 도 1에 도시된 바와 같이 기판 표면에 나노 돌기와 같은 나노 구조물을 형성한 후 발수층을 코팅하는 것이 일반적이다.
이때 상기 발수층이 기판 표면에 형성된 나노 구조물을 덮을 만큼 두꺼워지게 되면 나노돌기의 효과인 반사방지 기능이 저하되게 되므로, 상기 발수층의 코팅 두께는 나노 돌기가 묻히지 않을 정도로 얇아야 한다. 따라서, 통상적으로 사용되는 SAMs(Self Assembled Monolayers) 물질에 의한 발수층 코팅 두께는 10~30nm 범위인 것이 일반적이다.
그러나, 이러한 코팅층이 형성된 기판이 터치스크린패널 등에 사용되는 경우, 잦은 접촉으로 인해 발수층의 마모가 쉽게 발생할 수 있으며 그에 따라 내지문 또는 방오염성 효과도 쉽게 사라지게 된다. 이를 해결하기 위해서는 진공증착 등의 공정을 통하여 상기 발수층 자체의 내구성을 높여야 하는데, 이는 공정이 복잡해질 뿐만 아니라 전체 공정 비용이 커지는 원인이 된다.
한편, 터치스크린패널 등에 사용되는 투명소재 기판은 식각이 용이치 않아 반사방지를 위한 나노 돌기를 형성하는 것 자체도 어렵다는 문제가 있었다.
이에, 간단한 공정으로 기판 표면에 반사방지 기능과 내지문 또는 방오염 특성을 함께 부여할 수 있을 뿐만 아니라 진공 증착 등을 사용하지 않고도 발수층 자체의 내구성을 향상시킬 수 있는 기술의 개발이 필요하였다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 진공 증착 등을 사용하지 않고도 간단한 공정으로 발수층 자체의 내구성을 향상시킬 수 있는 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판에 직접적으로 나노 돌기를 형성하지 않고도 간단한 공정으로 기판 표면에 반사방지 기능과 내지문 또는 방오염 특성을 함께 부여할 수 있는 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 a) 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하는 단계, 및 b) 상기 발수층(20)을 식각하여 나노 돌기(21)를 형성하는 단계로 이루어진 발수성 표면의 제조방법과, 표면에 코팅된 발수층(20)에 나노 돌기(21)가 형성된 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판(10)을 제공한다.
본 발명은 종래기술과 같이 기판 표면에 나노 돌기를 형성한 후 발수층을 코팅하는 것이 아니라, 기판 표면에 먼저 발수층을 코팅한 후 상기 발수층에 나노 돌기를 형성함으로써 초발수 표면의 내구성을 향상시키는 것을 특징으로 한다.
상기 초발수 표면이 형성되는 기판(10)은 유리, 세라믹, 금속 또는 플라스틱 등 다양한 소재로 이루어질 수 있으며, 상기 나노 돌기(21)의 형성단계는 상기 기판(10)의 소재와 상관없이 단일한 장비와 공정으로 이루어질 수 있다.
상기 발수층(20)은 발수성을 가지는 다양한 물질로 이루어질 수 있으며, 일 실시예로 발수성을 가지면서 높은 경도의 구현이 가능한 저온 경화형 세라믹 코팅제로 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 저온 경화형 세라믹 코팅제는 금속과 유기물 성분으로 이루어져 있는 용액으로써 졸-겔법에 의해 경화가 이루어지며, 경화 후에는 세라믹화하는 기초 원료이다.
이때, 상기 저온 경화형 세라믹 코팅제로 이루어진 코팅층은 발수성으로 인하여 기판과의 밀착력이 떨어질 수 있는데, 이를 해결하기 위하여 상기 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하는 a) 단계 전에, 상기 기판(10)과 발수층(20)의 저온 경화형 세라믹 코팅제와의 밀착력을 높이기 위하여, 기판(10) 표면을 대기압 플라즈마로 세정하여 -OH 기를 활성화하는 단계를 추가로 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 코팅층의 밀착력 및 경도를 높이기 위하여, 상기 저온 경화형 세라믹 코팅제는 함침법, 스프레이 코팅, 스핀코팅 또는 에어나이프코팅(Air-knife coating) 방식을 통하여 이루어지는 것이 바람직하며, 상기 저온 경화형 세라믹 코팅제의 점도는 1 ~ 10cP(20℃)에서 제어되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 발수층(20)의 두께는 100~3,000nm이고, 상기 나노 돌기(21)의 크기가 50~500nm인 것이 바람직하다.
한편, 상기 나노 돌기(21)의 접촉에 의한 무너짐을 최소화하기 위하여, 상기 나노 돌기(21)와 함께 마이크로 돌기가 함께 형성될 수 있으며, 이때 상기 마이크로 돌기의 크기는 1~50㎛ 인 것이 바람직하다. 또한, 상기 마이크로 돌기(22)와 나노 돌기(21)가 기판 위에 혼재되어 있으며 마이크로 돌기들 사이의 간격은 20㎛~1mm인 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 발수성 표면이 형성된 기판은 진공 증착 등을 사용하지 않고도 간단한 공정으로 발수층 자체의 내구성을 향상시킬 수 있으며, 기판에 직접적으로 나노 돌기를 형성하지 않고도 간단한 공정으로 기판 표면에 반사방지 기능과 내지문 또는 방오염 특성을 함께 부여할 수 있어 제조공정을 단순화하고 제조비용을 낮추는 효과를 얻을 수 있다.
도 1 - 종래의 표면처리 기술에 따라 나노 돌기가 형성된 기판 위에 발수층을 코팅하는 과정을 보여주는 공정 흐름도
도 2 - 본 발명에 따라 기판 위에 발수층을 코팅한 후, 상기 코팅된 발수층에 나노 돌기를 형성하는 과정을 보여주는 공정 흐름도
도 3 - 본 발명에 따라 기판 위에 발수층을 코팅한 후, 상기 코팅된 발수층에 나노 돌기 및 마이크로 돌기를 형성하는 과정을 보여주는 공정 흐름도
[부호의 설명]
10 : 기판
20: 발수층
11, 21 : 나노 돌기
22 : 마이크로 돌기
이하에서는, 본 발명의 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법 및 발수성 표면이 형성된 기판을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명의 발수성 표면의 제조방법은 도 2에 도시한 바와 같이 a) 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하는 단계, 및 b) 상기 발수층(20)을 식각하여 나노 돌기(21)를 형성하는 단계로 이루어진다. 또한, 상기 방법에 의하여 제조된 본 발명의 기판은 기판(10) 자체가 아닌 기판 표면에 코팅된 발수층(20)에 나노 돌기(21)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
종래에는 기판 표면에 반사방지 기능과 내지문 또는 방오염 특성을 함께 부여하기 위하여, 도 1에 도시된 바와 같이 기판(10) 표면에 나노 돌기(11)와 같은 나노 구조물을 형성한 후 발수층을 코팅하는 것이 일반적이었다.
그러나, 이와 같이 나노 구조물을 형성한 후 발수층을 코팅하는 경우, 발수층의 코팅 두께가 나노 돌기가 묻히지 않을 정도로 얇아야 하기 때문에 터치스크린패널 등 잦은 접촉이 필요한 기판에서는 발수층이 쉽게 마모된다는 문제가 있었다. 따라서, 얇은 두께를 가지는 발수층의 내구성을 높이기 위하여 진공 증착과 같은 고비용의 공정을 거쳐야만 하였다.
또한, 기판이 식각이 어려운 소재로 이루어진 경우 기판에 나노 돌기 형성이 어려울 뿐만 아니라, 기판의 소재가 달라질 때마다 이에 적합한 식각 공정을 개발해야 하기에 많은 시간 및 비용이 소요되었다.
본 발명에서는 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 종래기술과 같이 기판 표면에 나노 돌기를 형성한 후 발수층을 코팅하는 것이 아니라, 기판(10) 표면에 먼저 발수층(20)을 코팅한 후 상기 발수층에 나노 돌기(21)를 형성함으로써 초발수 표면의 내구성을 향상시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 나노 돌기(21)는 기판(10)에 직접 형성되는 것이 아니라 기판 위에 코팅된 발수층(20)에 형성되는 것이므로, 상기 기판(10)은 식각 조건을 고려할 필요 없이 유리, 세라믹, 금속 또는 플라스틱 등 다양한 소재로 이루어질 수 있으며, 상기 나노 돌기(21)의 형성이 기판(10)의 소재와 상관없이 단일한 장비와 공정으로 이루어질 수 있다.
한편, 상기 발수층(20)은 발수성을 가지는 다양한 물질로 이루어질 수 있으나, 일 실시예로 발수성을 가지면서도 높은 경도의 발수층 구현이 가능한 저온 경화형 세라믹 코팅제가 사용될 수 있다.
이때, 상기 코팅층은 재료 자체가 가지는 발수 특성으로 인하여 기판과의 밀착력이 떨어질 수 있기 때문에, 상기 기판(10)과 발수층(20)의 저온 경화형 세라믹 코팅제와의 밀착력을 높이기 위하여, 상기 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하기 전에 기판(10) 표면을 대기압 플라즈마로 세정함으로써, 기판 표면의 -OH 기를 활성화하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 발수층의 코팅은 진공 증착 등의 공정을 거칠 필요는 없으나, 코팅층의 밀착력 및 경도를 높이기 위하여, 함침법, 스프레이 코팅, 스핀코팅 또는 에어나이프코팅(Air-knife coating) 방식을 통하여 이루어지는 것이 바람직하며, 상기 저온 경화형 세라믹 코팅제의 점도는 1 ~ 10cP(20℃)에서 제어되는 것이 바람직하다.
또한, 기판 표면에 반사방지 기능을 부여하면서도 발수층의 내구성을 높이기 위하여 상기 발수층(20)의 두께는 100~3,000nm의 범위에서 제어되는 것이 바람직하며, 상기 나노 돌기(21)의 크기는 50~500nm의 범위에서 제어되는 것이 바람직하다.
한편, 표면에 나노 돌기(21)를 형성하게 되면 외부 접촉에 의해 나노 돌기들이 무너질 수 있으므로, 상기 나노 돌기(21)의 접촉에 의한 무너짐을 최소화하기 위하여, 상기 나노 돌기(21)와 함께 마이크로 돌기(22)를 함께 형성되는 것이 바람직하다. 이때, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 마이크로 돌기(22)와 나노 돌기(21)가 기판 위에 혼재되어 있으며 마이크로 돌기들 사이의 간격은 20㎛~1mm인 것이 바람직하다.
상기와 같이 마이크로 돌기와 나노 돌기가 혼재된 형태의 기판은 외부 접촉에 의한 하중이 가해지는 경우, 마이크로 돌기는 표면 하중을 지지하여 나노 스케일의 돌기들이 무너지는 것을 방지하는 역할을 하게 되며, 이때 상기 마이크로 돌기의 크기는 상기 나노 돌기들이 무너지는 것을 효율적으로 방지하기 위하여 1~50㎛인 것이 바람직하다.

본 발명은 상술한 특정의 실시예 및 설명에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능하며, 그와 같은 변형은 본 발명의 보호 범위 내에 있게 된다.

Claims (20)

  1. a) 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하는 단계; 및
    b) 상기 발수층(20)을 식각하여 나노 돌기(21)를 형성하는 단계;
    를 포함하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판(10)이 유리, 세라믹, 금속 또는 플라스틱 중 어느 하나 이상의 소재로 이루어지며,
    상기 나노 돌기(21)의 형성단계가 상기 기판(10)의 소재와 상관없이 단일한 장비와 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 발수층(20)이 저온 경화형 세라믹 코팅제로 이루어진 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판(10) 위에 발수층(20)을 코팅하는 a) 단계 전에,
    상기 기판(10)과 발수층(20)의 저온 경화형 세라믹 코팅제와의 밀착력을 높이기 위하여, 기판(10) 표면을 대기압 플라즈마로 세정하여 -OH 기를 활성화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 저온 경화형 세라믹 코팅제의 코팅이 함침법, 스프레이 코팅, 스핀코팅 또는 에어나이프코팅(Air-knife coating) 방식을 통하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 저온 경화형 세라믹 코팅제의 점도가 1 ~ 10cP(20℃)에서 제어되는 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 발수층(20)의 두께가 100~3,000nm 인 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 나노 돌기(21)의 크기가 50~500nm인 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 나노 돌기(21)의 무너짐을 막기 위하여, 상기 나노 돌기(21)와 함께 마이크로 돌기(22)가 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 마이크로 돌기(22)의 크기가 1~50㎛인 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 마이크로 돌기(22)와 나노 돌기(21)가 기판 위에 혼재되어 있으며 마이크로 돌기들 사이의 간격은 20㎛~1mm인 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
  12. 표면에 발수층(20)이 코팅된 기판(10)에 있어서,
    상기 발수층(20)에 나노 돌기(21)가 형성된 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 기판(10)이 유리, 세라믹, 금속 또는 플라스틱 중 어느 하나 이상의 소재로 이루어지며,
    상기 나노 돌기(21)가 상기 기판(10)의 소재와 상관없이 단일한 장비와 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 발수층(20)이 저온 경화형 세라믹 코팅제로 이루어진 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 저온 경화형 세라믹 코팅제의 점도가 1 ~ 10cP(20℃)에서 제어되는 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 발수층(20)의 두께가 100~3,000nm인 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.
  17. 제12항에 있어서,
    상기 나노 돌기(21)의 크기가 50~500nm인 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.
  18. 제12항에 있어서,
    상기 나노 돌기(21)의 무너짐을 막기 위하여, 상기 나노 돌기(21)와 함께 마이크로 돌기가 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 마이크로 돌기(22)의 크기가 1~50㎛ 인 것을 특징으로 하는 발수성 표면이 형성된 기판.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 마이크로 돌기(22)와 나노 돌기(21)가 기판 위에 혼재되어 있으며 마이크로 돌기들 사이의 간격은 20㎛~1mm인 것을 특징으로 하는 내구성이 향상된 발수성 표면의 제조방법.
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