WO2014084211A1 - クリーンルーム - Google Patents

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WO2014084211A1
WO2014084211A1 PCT/JP2013/081783 JP2013081783W WO2014084211A1 WO 2014084211 A1 WO2014084211 A1 WO 2014084211A1 JP 2013081783 W JP2013081783 W JP 2013081783W WO 2014084211 A1 WO2014084211 A1 WO 2014084211A1
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WO
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clean room
organic
lighting device
light emitting
light
Prior art date
Application number
PCT/JP2013/081783
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English (en)
French (fr)
Inventor
加藤　剛
近藤　邦夫
みゆき 冨田
Original Assignee
昭和電工株式会社
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21S—NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES; SYSTEMS THEREOF; VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLE EXTERIORS
    • F21S8/00—Lighting devices intended for fixed installation
    • F21S8/04—Lighting devices intended for fixed installation intended only for mounting on a ceiling or the like overhead structures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/02—Ducting arrangements
    • F24F13/06—Outlets for directing or distributing air into rooms or spaces, e.g. ceiling air diffuser
    • F24F13/078—Outlets for directing or distributing air into rooms or spaces, e.g. ceiling air diffuser combined with lighting fixtures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21S—NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES; SYSTEMS THEREOF; VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLE EXTERIORS
    • F21S2/00—Systems of lighting devices, not provided for in main groups F21S4/00 - F21S10/00 or F21S19/00, e.g. of modular construction
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2105/00—Planar light sources
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2115/00—Light-generating elements of semiconductor light sources
    • F21Y2115/10—Light-emitting diodes [LED]
    • F21Y2115/15—Organic light-emitting diodes [OLED]

Definitions

  • the present invention relates to a clean room, and more particularly to a clean room equipped with an organic electroluminescence lighting device.
  • a clean room is used when manufacturing electronic devices such as semiconductors, pharmaceuticals, and processed foods. Air is supplied into the clean room via an air filter. As a result, dust and insects in the air supplied into the clean room are eliminated, and the cleanliness of the air in the clean room is ensured.
  • a HEPA filter High Efficiency Particulate Air Filter
  • an ULPA filter Ultra Low Penetration Air Filter
  • the air filter is usually fixed to a beam portion that supports the ceiling member of the clean room, and functions as a supply port for air supplied into the clean room.
  • LED light emitting diode
  • Patent Document 1 a light emitting diode (LED)
  • the illumination device in the clean room is usually attached to the lower surface of the beam portion that supports the ceiling member of the clean room.
  • Patent Document 2 it is proposed to provide an opening in the ceiling and embed a lighting device of a light emitting diode (LED).
  • organic electroluminescence hereinafter sometimes abbreviated as “organic EL”
  • organic EL organic electroluminescence
  • the lighting device attached to the lower surface of the beam part supporting the ceiling member prevents the airflow supplied from the air filter, and dust tends to accumulate between the lighting device and the beam part. For this reason, it was difficult to maintain the cleanliness of the air in the clean room.
  • the opening is provided in the ceiling, there is a problem that a clean space cannot be maintained due to dust entering the clean room because a gap is formed between the lighting device and the ceiling.
  • the illumination light condition required changes with the change of the work place, so that the position of the illumination device needs to be changed.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and it is difficult for the lighting device to block the airflow in the clean room, the airflow in the clean room can be accurately controlled, and further, dust is attached to the portion where the lighting device is installed. It is an object of the present invention to provide a clean room that does not easily accumulate and can easily maintain the cleanliness of air in the clean room.
  • the inventors of the present invention focused on an organic EL lighting device using an organic EL element as a light source as a lighting device in a clean room, and conducted extensive studies as described below. That is, the present inventors used an organic EL lighting device as a lighting device in a clean room, formed a light emission surface of the organic EL lighting device so as to be flush with the inner surface of the clean room, and installed the organic EL lighting device in the clean room. The inventors have found that the function of the planar member constituting a part of the inner surface can suppress the influence of the lighting device on the airflow in the clean room, and the present invention has been conceived.
  • the organic electroluminescence lighting device includes a plurality of organic electroluminescence elements that emit light having different wavelengths.
  • the plurality of organic electroluminescence elements include a red light emitting element that emits red light, a green light emitting element that emits green light, and a blue light emitting element that emits blue light. Clean room.
  • the inner surface includes a supply surface that supplies air into the clean room, a discharge surface that discharges air in the clean room, and an airtight surface that blocks air flow inside and outside the clean room.
  • the clean room according to any one of (1) to (3), wherein a region where the electroluminescent lighting device is arranged functions as the airtight surface.
  • the ceiling surface of the inner surface is composed of a plurality of standard areas partitioned in a lattice shape by beam members, each standard area is composed of the supply surface or the airtight surface, and the arrangement of the organic electroluminescence lighting device
  • the clean room functions as the airtight surface of the ceiling surface.
  • the clean room according to (4), (6) The clean room according to (5), wherein the area of the organic electroluminescence lighting device in plan view is the same as the area of the standard region.
  • the organic EL lighting device is installed on the inner surface, and the light emission surface of the organic EL lighting device is formed so as to be flush with the inner surface.
  • the light emission surface of the apparatus can function as a planar member that constitutes a part of the inner surface of the clean room. Therefore, in the clean room of the present invention, the air current in the clean room is not easily obstructed by the lighting device, the air flow in the clean room can be accurately controlled, and the dust is not easily collected in the portion where the lighting device is installed. It becomes easy to maintain cleanliness.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of an organic EL lighting device installed in a clean room of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view for explaining an example of the clean room of the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view for explaining another example of the clean room of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view for explaining another example of the clean room of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of an organic EL lighting device installed in a clean room of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view for explaining an example of the clean room of the present invention, and is a plan view of the ceiling surface of the clean room as viewed from below.
  • the clean room of this embodiment has an inner surface composed of a ceiling surface 30, a wall surface (not shown) and a floor surface (not shown) shown in FIG.
  • the inner surface includes a supply surface that supplies air into the clean room, a discharge surface that discharges air in the clean room, and an airtight surface that blocks the flow of air inside and outside the clean room.
  • the air filter 21 and the organic EL lighting device 20 are disposed on the ceiling surface 30 of the inner surface.
  • the organic EL lighting device 20 can ensure airtightness in a clean room. Therefore, in this embodiment, the area
  • the air filter 21 and the organic EL lighting device 20 are installed on the ceiling surface 30, but a dummy plate (not shown) is used instead of a part of the air filter 21 and / or the organic EL lighting device 20. ) May be installed.
  • the dummy plate acts as a simple airtight surface.
  • the wall surface is composed of a discharge surface formed by an exhaust port provided at a lower portion of the wall surface and an airtight surface which is an area excluding the discharge surface.
  • the wall is provided with a door that is used when entering and leaving the clean room.
  • the wall door is closed to block the air flow inside and outside the clean room. Accordingly, the door portion of the wall surface functions as an airtight surface.
  • the entire floor is an airtight surface.
  • the clean room of the present embodiment is provided with a supply / exhaust system (not shown) that controls the amount of air supplied from the supply surface into the clean room and the amount of air discharged from the discharge surface to the outside of the clean room.
  • the inner surface is composed of a supply surface, a discharge surface, and an airtight surface, so by controlling the amount of air supplied into the clean room and the amount of air discharged outside the clean room by the air supply / exhaust system. Can control the air flow and pressure in the clean room.
  • the air flow and pressure in the clean room can be easily controlled with high accuracy as the confidentiality in the clean room is increased.
  • air is supplied into the clean room through the air filter 21 installed on the ceiling surface 30 by the air supply / exhaust system, and the air is discharged from the exhaust port provided at the lower part of the wall surface to the outside of the clean room. Exhaust. Therefore, in the clean room of this embodiment, the airflow is controlled so as to go from the ceiling surface 30 toward the lower portion of the wall surface.
  • the ceiling surface 30 is formed with a plurality of standard regions 31 having a predetermined size partitioned in a lattice shape by beam members (not shown) that support the ceiling member.
  • the organic EL lighting device 20 or the air filter 21 shown in FIG. 1 is arranged as a ceiling member.
  • each standard area 31 is an airtight surface or a supply surface.
  • the organic EL lighting device 20 and the air filter 21 are attached and fixed to a beam member.
  • the beam member is preferably provided with a power outlet for supplying a current to the organic EL lighting device 20.
  • a drive circuit for the organic EL lighting device 20 is installed in the beam member or behind the ceiling, and the beam in the clean room is connected to the organic EL lighting device 20.
  • a configuration in which only the terminal protrudes may be used.
  • the area of the organic EL lighting device 20 is the same as the area of the standard region 31. For this reason, it is preferable that the organic EL lighting device 20 can be easily and reliably installed by attaching the organic EL lighting device 20 to the beam member.
  • the method of attaching the organic EL lighting device 20 to the beam member may be any method that can ensure airtightness in the clean room, and can be determined as appropriate according to the shape and material of the beam member, and is not particularly limited. Absent.
  • the organic EL lighting device 20 may be fixed to the beam member using a magnet.
  • a method of attaching an attachment member using a magnet to a place arranged on the outer surface of the organic EL lighting device 20 so as to face the beam member for example, a method in which a packing member is interposed between the organic EL lighting device 20 and the beam member
  • organic EL lighting For example, a method of filling the caulking material that closes the gap between the organic EL lighting device 20 and the beam member after the device 20 is attached to the beam member may be used.
  • each air filter 21 is the same as the area of the standard region 31. For this reason, it is preferable that the air filter 21 can be easily and reliably installed by attaching the air filter 21 to the beam member.
  • the organic EL lighting device 20 and the air filter 21 are arranged in a checkered pattern. Therefore, the organic EL lighting device 20 and the air filter 21 are uniformly arranged on the ceiling surface 30. As a result, air can be uniformly supplied from the air filter 21 into the clean room, the air flow in the clean room can be controlled with higher accuracy, the air cleanliness in the clean room can be easily maintained, and the clean room can be maintained organically.
  • the EL illumination device 20 can be illuminated uniformly, which is preferable.
  • the organic EL lighting device 20 illuminates the inside of the clean room, and is installed so as to ensure airtightness in the clean room.
  • the organic EL lighting device 20 includes an organic EL element 10 as a light source provided on the substrate 1 and a frame 16 surrounding the organic EL element 10.
  • the surface of the organic EL element 10 on the substrate 1 side is a light emitting surface.
  • a light emitting region 17 is a region where light is emitted on the light emitting surface of the organic EL lighting device 20.
  • the organic EL lighting device 20 shown in FIG. Therefore, in this embodiment, the light emission surface of the organic EL lighting device 20 is formed to be flush with the ceiling surface 30.
  • the light emitting surface and the ceiling surface 30 are formed so as to be in the same plane as the surface of the light emitting surface and the ceiling surface 30. It means that the step in the thickness direction of the organic EL lighting device 20 is 10 mm or less, preferably 7 mm or less, and the smaller the step, the more preferable. The thinner the thickness (the fewer steps), the easier it is to control the airflow and the less dust is collected.
  • the organic EL element 10 of the organic EL lighting device 20 shown in FIG. 1 includes a first electrode 12, an organic layer 13, and a second electrode 14 provided in this order from the substrate 1 side.
  • the substrate 1 the first electrode 12, the organic layer 13, and the second electrode 14, conventionally known ones can be used.
  • the substrate 1 As a material of the substrate 1, specifically, glass such as sapphire glass, soda glass, quartz glass, or transparent metal oxide; transparent resin such as acrylic resin, polycarbonate resin, polyester resin, silicone resin; aluminum nitride And transparent metal nitrides.
  • transparent resin such as acrylic resin, polycarbonate resin, polyester resin, silicone resin
  • a barrier thin film such as a silicon oxide film on the upper surface of the substrate 1 in such a range that does not damage the above.
  • the material of the substrate 11 is not limited to the transparent material described above, and an opaque material can also be used. Specifically, such materials include silicon (Si), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), platinum (Pt), tungsten (W), titanium (Ti), tantalum (Ta), A simple substance such as niobium (Nb), an alloy containing these, stainless steel, or the like can be given.
  • a metal material having high light reflectivity is preferable in order to extract more light emitted from the light emitting layer to the outside.
  • Light emitted from the light emitting layer of the organic layer 13 is extracted from the substrate 1 side or the second electrode 14 side.
  • the second electrode 14 is preferably made of an opaque material and a particularly highly reflective material.
  • it is preferable to use a material that transmits light as the second electrode 14 and at least one of the first electrode 12 and the substrate 11 is an opaque material and particularly has a reflectance. It is preferable to use a material having a high value.
  • the first electrode 12 and the second electrode 14 specific transparent materials include ITO (indium tin oxide), IZO (indium zinc oxide), tin oxide, and the like.
  • the electroconductive material which consists of organic substances, such as a polyaniline derivative, a polythiophene derivative, and the mixture of these polymers, and a polystyrene sulfonic acid.
  • the opaque material is preferably a material that reflects light, and materials such as Al, Ag, MgAg alloys, and alloys of Al and alkali (earth) metals such as AlLi and AlCa can be used.
  • the organic layer 13 only needs to include a light emitting layer, and other layers include a light injection layer and a first electrode 12 or a light injection layer, a charge transport layer, and a charge block between the light emitting layer and the second electrode 14. It may contain layers.
  • the light emitting layer included in the organic layer 13 is made of an organic EL light emitting material, and may contain a charge transport material in addition to the light emitting material.
  • the light emitting layer may be made of a light emitting material that emits monochromatic light, may be made of a light emitting material that emits light of a plurality of light emitting colors, or a light emitting material that emits white light. It may consist of. Two or more light emitting materials may be included in one layer, or two or more light emitting layers may be included.
  • the red light emitting element emitting red light means an element having a maximum peak wavelength of an emission spectrum of 580 to 670 nm.
  • This element may contain a plurality of light emitting materials. In this case, the element has an emission spectrum having a maximum peak wavelength of 580 to 670 nm.
  • a green light emitting element emitting green light means an element having a maximum peak wavelength of emission spectrum of 500 to 570 nm
  • a blue light emitting element emitting blue light is an element having a maximum peak wavelength of emission spectrum of 400 to 500 nm.
  • the green light emitting element and the blue light emitting element may include a plurality of light emitting materials, and at least the maximum peak wavelength of each light emitting element falls within the corresponding wavelength range. Two or more of these red light emitting elements, green light emitting elements, and blue light emitting elements can be combined to provide white illumination.
  • a white light-emitting element can be formed using a plurality of light-emitting materials in one organic EL element.
  • a conventionally known method can be used as a manufacturing method of the organic EL element 10.
  • a method for forming each layer constituting the organic EL element 10 for example, a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a CVD method, or the like can be used.
  • a wet film-forming method such as a coating film-forming method (that is, a method in which a target material is dissolved in a solvent and applied to the substrate 11 and dried) is possible, for example, spin coating method, dip
  • a coating method an inkjet method, a printing method, a spray method, and a dispenser method
  • a film can be formed using these methods.
  • a protective layer (not shown) and a protective cover 15 for protecting the organic EL element 10 from the outside are preferably mounted on the organic EL element 10.
  • the protective layer polymer compounds, metal oxides, metal fluorides, metal borides, silicon compounds such as silicon nitride and silicon oxide, and the like can be used.
  • the protective cover 15 a glass plate, a plastic plate whose surface has been subjected to low water permeability treatment, a metal, or the like can be used. In the example shown in FIG. 1, a flat plate is used as the protective cover 15, but the present invention is not limited to this, and a cap-shaped (with a recessed portion inside) may be attached.
  • a terminal for electrically connecting the organic EL element 10 to the outside and a drive circuit (not shown) for driving the organic EL element 10 are connected to the frame 16.
  • the drive circuit has a DC power supply and a control circuit, and supplies current between the first electrode 12 and the second electrode 14 of the organic EL element 10 via a terminal.
  • the light emitting layer of the organic layer 13 emits light and light is emitted from the light emitting surface.
  • the light emitted from the light emitting surface in this way is used as illumination light.
  • the intensity of light emitted from the light exit surface can be adjusted by the drive circuit.
  • the number of organic EL elements 10 provided in the organic EL lighting device 20 is not particularly limited.
  • the plurality of organic EL elements 10 may emit light having different wavelengths.
  • a red light emitting element that emits red light (R), a green light emitting element that emits green light (G), and a blue light emitting element that emits blue light (B) are each singular. Or you may have two or more.
  • the drive circuit drives one or more organic EL elements selected from the plurality of organic EL elements, synthesizes the light emitted from the organic EL elements, and uses this as the emitted light from the organic EL lighting device 20 Can be emitted.
  • illumination light of a desired color such as yellow light, red light, and white light can be obtained without replacing the illumination device. Therefore, in the clean room of the present embodiment, the work can be efficiently performed using illumination light of an appropriate color (wavelength) according to the work. Further, by illuminating with illumination light having an appropriate wavelength, for example, insects can be prevented from being sucked into the illumination device.
  • the organic EL lighting device 20 is easier when the organic EL element 10 provided therein is a device that emits light of a single color, as compared with the case of a plurality of organic EL elements that emit light having different wavelengths. Can be produced.
  • the shape, number, area, arrangement, and the like of the light emitting region 17 when the organic EL lighting device 20 is viewed in plan are not particularly limited, and may be determined according to the use of the clean room, the required luminance, and the like. it can.
  • the light emitting region 17 of the organic EL lighting device 20 shown in FIG. 2 has a rectangular shape, and only one is disposed at the approximate center of the organic EL lighting device 20 in plan view.
  • the area of the light emitting region 17 of the organic EL lighting device 20 shown in FIG. 2 is 50% or more of the entire area of the organic EL lighting device 20.
  • the organic EL lighting device 20 arranged in the clean room can design the light emission luminance and the light emitting area of each organic EL lighting device 20 according to the required illuminance. For example, when the number of organic EL lighting devices 20 that can be arranged is limited, the number of the organic EL lighting devices 20 and the individual luminances for obtaining the required illuminance are set, and a current or voltage that achieves the set luminance is set. Set it. When a large number of organic EL lighting devices 20 are used, the luminance of each organic EL lighting device 20 can be set low, so that the glare of a lighting device such as a fluorescent lamp or LED can be further suppressed.
  • a lighting device such as a fluorescent lamp or LED
  • the air filter 21 eliminates dust and insects in the air supplied into the clean room. In this embodiment, the cleanliness of the air supplied into the clean room can be ensured by supplying air into the clean room via the air filter 21.
  • a HEPA filter High Efficiency Particulate Air Filter
  • a ULPA filter Ultra Low Penetration Air Filter
  • the clean room of this embodiment has an inner surface composed of a ceiling surface 30, a wall surface and a floor surface, and an organic EL lighting device 20 installed on the inner surface and using the organic EL element 10 as a light source. Since the light emitting surface of the organic EL lighting device 20 is formed so as to be flush with the ceiling surface 30, the light emitting surface of the organic EL lighting device 20 is a planar member constituting a part of the inner surface of the clean room. Can function as.
  • the air current in the clean room is not easily obstructed by the lighting device, the air flow in the clean room can be accurately controlled, and dust is not easily collected in the portion where the lighting device is installed. It becomes easy to maintain air cleanliness. Therefore, for example, when food and parts are manufactured in the clean room of this embodiment, a high-quality product can be easily manufactured. Further, the clean room of the present embodiment is easy to clean because it is difficult for dust to collect in the portion where the lighting device is installed.
  • the organic EL lighting device 20 is used as the lighting device, the following effects can be obtained as compared with the case where a fluorescent lamp or a light emitting diode (LED) is used as the lighting device. That is, since the organic EL lighting device 20 emits surface light, it can be easily formed into a thin plate shape. Therefore, the light emitting surface of the organic EL lighting device 20 can be formed to be flush with the ceiling surface 30 without forming an opening in the lighting device mounting portion on the inner surface of the clean room. Further, the area of the organic EL lighting device 20 can be made the same as the area of the standard region 31.
  • the organic EL lighting device 20 emits surface light, the luminance per unit area can be kept low. Therefore, when a device such as a display or a glove box is installed in a clean room, the device is provided in the device. There is little reflection of the illumination light on the transparent plate, and workability can be improved. Unlike the fluorescent lamp, the organic EL lighting device 20 does not discharge, so that dust is not attracted by the discharge, and the cleanliness of the air in the clean room can be easily maintained. Since the organic EL lighting device 20 generates little heat when turned on, maintenance such as cleaning can be performed immediately after the light is turned off. Unlike the fluorescent lamp, the organic EL lighting device 20 is less likely to cause an afterimage or flicker (flicker), so that the workability in a clean room can be improved.
  • this invention is not limited to embodiment mentioned above.
  • the case where the organic EL lighting device is installed on the ceiling surface of the clean room has been described as an example.
  • the organic EL lighting device may be installed on the inner surface of the clean room.
  • the organic EL lighting device may be installed on the wall surface and / or the floor surface instead of the surface or in addition to the ceiling surface.
  • the air filter may be installed on the wall surface of the clean room instead of or in addition to the ceiling surface.
  • the air filter is installed on the wall surface of the clean room, it is preferable to install the air filter at a position far from the discharge surface in order to control the air flow in the clean room with high accuracy and to easily maintain the air cleanliness in the clean room.
  • the organic EL lighting device 20 and the air filter 21 are arranged in a checkered pattern.
  • the organic EL lighting device 20 and the air filter 21 may be The arrangement can be appropriately determined according to the usage of the clean room.
  • the organic EL lighting device 20 and the air filter 21 may be arranged linearly.
  • FIGS. 3 and 4 are plan views for explaining another example of the clean room of the present invention, and are plan views of the ceiling surface of the clean room as viewed from below.
  • the light emitting region 17a of the organic EL lighting device 20a shown in FIG. 3 is rectangular like the organic EL lighting device 20 shown in FIG. 2, and only one light emitting region 17a is arranged at the approximate center of the organic EL lighting device 20 in plan view. Yes. However, the area of the light emitting region 17a shown in FIG. 3 is less than 50% of the total area of the organic EL lighting device 20a.
  • the light emitting region 17b of the organic EL lighting device 20b shown in FIG. 4 has a rectangular shape and is arranged so that one long side is close to one side of the organic EL lighting device 20b in plan view. Therefore, the light emitting region 17b of the organic EL lighting device 20b shown in FIG. 4 is arranged at a position shifted from the center of the organic EL lighting device 20b.
  • the area of the light emitting region 17b shown in FIG. 4 is less than 30% of the entire area of the organic EL lighting device 20b.
  • the clean room shown in FIG. 4 can perform more suitable illumination according to the area in the clean room.
  • a plurality of light emitting regions 17c may be provided in one organic EL lighting device 20c as in the organic EL lighting device indicated by reference numeral 20c in FIG.
  • the two light emitting regions 17c of the organic EL lighting device 20c are rectangular like the light emitting region 17b of the organic EL lighting device 20b, and are arranged with their long sides aligned.
  • the clean room can be sufficiently illuminated even if the number of the organic EL lighting devices 20 is reduced, a part of the organic EL lighting devices 20 arranged in a checkered pattern may be airtight in the clean room. You may replace with the airtight member which can ensure.
  • a conventionally well-known thing can be used as an airtight member.
  • the airtight member is preferably of the same area as the standard area.
  • the airtight member is preferably installed so that the surface thereof is arranged in the same plane as the surface of the air filter 21.
  • SYMBOLS 10 Organic EL element (organic electroluminescent element), 12 ... 1st electrode, 13 ... Organic layer, 14 ... 2nd electrode, 16 ... Frame, 17, 17a, 17b, 17c ... Light emission area
  • Organic EL lighting device organic electroluminescence lighting device
  • 21 Air filter, 30 ... Ceiling surface, 31 ... Standard area.

Landscapes

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Abstract

　このクリーンルームは、天井面と壁面と床面とからなる内面と、前記内面に設置され、有機エレクトロルミネッセンス素子を光源とする有機エレクトロルミネッセンス照明装置とを有し、前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置の光出射面が、前記内面と同一平面になるように形成されている。

Description

クリーンルーム
　本発明は、クリーンルームに関し、特に、有機エレクトロルミネッセンス照明装置を備えたクリーンルームに関するものである。
　本願は、２０１２年１１月２７日に、日本に出願された特願２０１２－２５８９３７号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
　従来から、半導体などの電子機器や医薬品、加工食品を製造する際には、クリーンルームが用いられている。
　クリーンルーム内には、エアフィルタを介して空気が供給される。このことによって、クリーンルーム内に供給される空気中の塵埃や虫などが排除され、クリーンルーム内の空気清浄度が確保されるようになっている。
　クリーンルーム用のエアフィルタとしては、従来から、ＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ　Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）やＵＬＰＡフィルタ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）が用いられている。エアフィルタは、通常、クリーンルームの天井部材を支持する梁部に固定され、クリーンルーム内に供給される空気の供給口として機能するようにされている。
　また、クリーンルーム内の照明装置としては、従来、蛍光灯が用いられてきた。近年、クリーンルーム内の照明装置として、発光ダイオード（ＬＥＤ）を用いることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。クリーンルーム内の照明装置は、通常、クリーンルームの天井部材を支持する梁部の下面に取り付けられている。あるいは特許文献２のように天井に開口部を設け、発光ダイオード（ＬＥＤ）の照明装置を埋め込むことが提案されている。
　ところで、最近、有機エレクトロルミネッセンス（以下「有機ＥＬ」と略記する場合がある。）素子の発光効率や耐久性が高まってきており、有機ＥＬ素子を照明装置の光源として用いることが検討されている。
特開２００９－５４９８９号公報 特開２００２－１７０４０３号公報
　従来のクリーンルームでは、天井部材を支持する梁部の下面に取り付けられた照明装置によって、エアフィルタから供給された空気の気流が妨げられることや、照明装置と梁部との間に埃が溜まりやすいことが、クリーンルーム内の空気清浄度を維持しにくい原因となっていた。
　また、天井に開口部が設けられた場合、照明装置と天井の間に隙間ができるため塵埃がクリーンルームに入り込む等によりクリーン度を維持できなくなるという問題があった。
　また、クリーンルームのレイアウトを変更する場合、作業場所の変更に伴って必要とされる照明光の条件が変わるため、照明装置の位置を変更する必要がある。天井に埋め込まれた照明装置では、位置を変更する場合、天井に新たに開口部を設け、さらに既存の開口部を隙間なく密閉する必要があり、気流の制御に支障が生じたり、塵埃がクリーンルームに混入する等の問題があった。
　また、従来、クリーンルームの照明装置として、有機ＥＬ素子を光源とする有機ＥＬ照明装置を用いる技術はなかった。
　本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、照明装置によってクリーンルーム内の気流が妨げられにくく、クリーンルーム内の気流を精度よく制御でき、さらに、照明装置の設置されている部分に埃が溜まりにくく、クリーンルーム内の空気清浄度を維持しやすいクリーンルームを提供することを課題とする。
　本発明者らは、上記課題を解決するために、クリーンルーム内の照明装置として、有機ＥＬ素子を光源とする有機ＥＬ照明装置に着目して、以下に示すように鋭意検討を重ねた。
　すなわち、本発明者らは、クリーンルーム内の照明装置として有機ＥＬ照明装置を用い、クリーンルームの内面と同一平面になるように有機ＥＬ照明装置の光出射面を形成し、有機ＥＬ照明装置をクリーンルームの内面の一部を構成する面状部材として機能させることで、照明装置によるクリーンルーム内の気流への影響を抑制できることを見出し、本発明を想到した。
（１）天井面と壁面と床面とからなる内面と、前記内面に設置され、有機エレクトロルミネッセンス素子を光源とする有機エレクトロルミネッセンス照明装置とを有し、前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置の光出射面が、前記内面と同一平面になるように形成されていることを特徴とするクリーンルーム。
（２）前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置に、波長の異なる光を発光する複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が備えられていることを特徴とする（１）に記載のクリーンルーム。
（３）前記複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が、赤色発光する赤光発光素子と緑色発光する緑光発光素子と青色発光する青光発光素子とを有していることを特徴とする（２）に記載のクリーンルーム。
（４）前記内面は、前記クリーンルーム内に空気を供給する供給面と、前記クリーンルーム内の空気を排出する排出面と、前記クリーンルームの内外における空気の流通を遮断する気密面とからなり、前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置の配置されている領域が前記気密面として機能することを特徴とする（１）～（３）のいずれか一項に記載のクリーンルーム。
（５）前記内面のうち天井面は、梁部材によって格子状に区画された複数の規格領域からなり、各規格領域は、前記供給面または前記気密面からなり、前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置の配置されている領域が前記天井面の前記気密面として機能することを特徴とする（４）に記載のクリーンルーム。
（６）前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置の平面視での面積が、前記規格領域の面積と同じであることを特徴とする（５）に記載のクリーンルーム。
　本発明のクリーンルームは、内面に有機ＥＬ照明装置が設置されたものであり、有機ＥＬ照明装置の光出射面が、内面と同一平面になるように形成されているものであるため、有機ＥＬ照明装置の光出射面を、クリーンルームの内面の一部を構成する面状部材として機能させることができる。したがって、本発明のクリーンルームは、照明装置によってクリーンルーム内の気流が妨げられにくく、クリーンルーム内の気流を精度よく制御でき、さらに、照明装置の設置されている部分に埃が溜まりにくく、クリーンルーム内の空気清浄度を維持しやすいものとなる。
図１は、本発明のクリーンルームに設置される有機ＥＬ照明装置の一例を示した概略断面図である。 図２は、本発明のクリーンルームの一例を説明するための平面図である。 図３は、本発明のクリーンルームの他の例を説明するための平面図である。 図４は、本発明のクリーンルームの他の例を説明するための平面図である。
　以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
　図１は、本発明のクリーンルームに設置される有機ＥＬ照明装置の一例を示した概略断面図である。図２は、本発明のクリーンルームの一例を説明するための平面図であり、クリーンルームの天井面を下から見た平面図である。
　本実施形態のクリーンルームは、図２に示す天井面３０と壁面（不図示）と床面（不図示）とからなる内面を有している。内面は、クリーンルーム内に空気を供給する供給面と、クリーンルーム内の空気を排出する排出面と、クリーンルームの内外における空気の流通を遮断する気密面とからなる。
　内面のうち天井面３０には、図２に示すように、エアフィルタ２１と有機ＥＬ照明装置２０とが配置されている。有機ＥＬ照明装置２０は、クリーンルーム内の気密性を確保できるものである。したがって、本実施形態において、有機ＥＬ照明装置２０の配置されている領域は、気密面として機能する。また、エアフィルタ２１の設置されている領域は、クリーンルーム内に空気を供給する供給面である。本実施形態においては、天井面３０のうちエアフィルタ２１の設置されている領域を除く領域は、全て気密面とされている。
　図２に示す例では、天井面３０にエアフィルタ２１と有機ＥＬ照明装置２０とが設置されているが、エアフィルタ２１および／または有機ＥＬ照明装置２０の一部に代えてダミー板（不図示）を設置しても良い。ダミー板は、単なる気密面として作用するものである。
　また、壁面は、壁面の下部に設けられた排気口からなる排出面と、排出面を除く領域である気密面とからなるものである。壁面には、クリーンルームに入退室する際に使用する扉が設けられている。壁面の扉は、閉じた状態とされることにより、クリーンルームの内外における空気の流通を遮断するものである。したがって、壁面の扉の部分は、気密面として機能する。また、床面は、全面が気密面とされている。
　また、本実施形態のクリーンルームには、供給面からクリーンルーム内に供給する空気量と、排出面からクリーンルーム外に排出する空気量とを制御する給排気システム（不図示）が備えられている。
　本実施形態のクリーンルームでは、内面が供給面と排出面と気密面とからなるものであるため、給排気システムによってクリーンルーム内に供給する空気量とクリーンルーム外に排出する空気量とを制御することにより、クリーンルーム内の気流および圧力を制御できる。クリーンルーム内の気流および圧力は、クリーンルーム内の機密性を高くするほど、容易に高精度で制御できる。
　また、本実施形態のクリーンルームでは、給排気システムによって、天井面３０に設置されたエアフィルタ２１を介してクリーンルーム内に空気を供給し、壁面の下部に設けられた排気口からクリーンルーム外に空気を排気する。したがって、本実施形態のクリーンルーム内では、天井面３０から壁面の下部に向かうように気流が制御されている。
　図２に示すように、天井面３０には、天井部材を支持する梁部材（不図示）によって格子状に区画された所定の寸法の複数の規格領域３１が形成されている。図２に示す天井面３０の各規格領域３１には、天井部材として、図１に示す有機ＥＬ照明装置２０またはエアフィルタ２１が配置されている。このことにより、各規格領域３１は、気密面または供給面とされている。有機ＥＬ照明装置２０およびエアフィルタ２１は、梁部材に取り付けられて固定されている。また、梁部材には、有機ＥＬ照明装置２０に電流を供給するための電源コンセントが設置されていることが好ましい。さらに、有機ＥＬ照明装置２０を単純な構造にするために、梁部材の中や天井裏に有機ＥＬ照明装置２０の駆動回路を設置し、クリーンルーム内の梁からは有機ＥＬ照明装置２０への接続端子のみが出ている構成でも良い。
　本実施形態では、図２に示すように、有機ＥＬ照明装置２０の面積は、規格領域３１の面積と同じとなっている。このため、梁部材に有機ＥＬ照明装置２０を取り付けることにより、容易かつ確実に有機ＥＬ照明装置２０を設置でき、好ましい。
　梁部材に有機ＥＬ照明装置２０を取り付ける方法は、クリーンルーム内の気密性を確保できる方法であればよく、梁部材の形状や材料などに応じて適宜決定することができ、特に限定されるものではない。
　例えば、梁部材が金属からなるものである場合、磁石を利用して梁部材に有機ＥＬ照明装置２０を固定してもよい。具体的には、有機ＥＬ照明装置２０の外面で、梁部材と対向して配置される箇所に、磁石を利用した取り付け部材を取り付けておく方法などが挙げられる。
　また、有機ＥＬ照明装置２０をクリーンルーム内の気密性を確保できるように梁部材に取り付ける方法としては、例えば、有機ＥＬ照明装置２０と梁部材との間にパッキン部材を介在させる方法、有機ＥＬ照明装置２０を梁部材に取り付けてから、有機ＥＬ照明装置２０と梁部材との間の隙間を塞ぐコーキング材を充填する方法などが挙げられる。
　また、本実施形態では、各エアフィルタ２１の面積は、規格領域３１の面積と同じとなっている。このため、梁部材にエアフィルタ２１を取り付けることにより、容易かつ確実にエアフィルタ２１を設置でき、好ましい。
　また、本実施形態では、図２に示すように、有機ＥＬ照明装置２０とエアフィルタ２１とが、市松模様状に配置されている。したがって、天井面３０に均一に有機ＥＬ照明装置２０とエアフィルタ２１とが配置されているものとなる。その結果、クリーンルーム内に均一にエアフィルタ２１から空気を供給することができ、クリーンルーム内の気流をより精度よく制御でき、クリーンルーム内の空気清浄度を維持しやすいものとなるとともに、クリーンルーム内を有機ＥＬ照明装置２０によって均一に照明でき、好ましい。
　有機ＥＬ照明装置２０は、クリーンルーム内を照明するものであり、クリーンルーム内の気密性を確保できるように設置されている。
　有機ＥＬ照明装置２０は、一例として図１に示すように、基板１上に設けられた光源としての有機ＥＬ素子１０と、有機ＥＬ素子１０を囲むフレーム１６とを有するものである。図１に示す有機ＥＬ照明装置２０では、有機ＥＬ素子１０の基板１側の面（図１における下面）が光出射面とされている。また、有機ＥＬ照明装置２０の光出射面における光の出射される領域が発光領域１７となっている。
　図１に示す有機ＥＬ照明装置２０は、光出射面がエアフィルタ２１の表面と同一平面になるように、設置されている。したがって、本実施形態では、有機ＥＬ照明装置２０の光出射面は、天井面３０と同一平面になるように形成されている。本実施形態において、光出射面と天井面３０（本実施形態においてはエアフィルタ２１の表面）とが同一平面になるように形成されているとは、光出射面の表面と天井面３０との有機ＥＬ照明装置２０の厚み方向の段差が１０ｍｍ以下であることを意味し、７ｍｍ以下であることが好ましく、段差が少ないほど好ましい。厚みが薄い（段差が少ない）ほど、気流を精密に制御しやすく、また塵埃が溜まりにくい。
　図１に示す有機ＥＬ照明装置２０の有機ＥＬ素子１０は、第１電極１２と、有機層１３と、第２電極１４とが基板１側から順に設けられたものである。
　基板１、第１電極１２、有機層１３、第２電極１４としては、従来公知のものを用いることができる。
　例えば、基板１の材料としては、具体的には、サファイアガラス、ソーダガラス、石英ガラス等のガラス類または透明金属酸化物；アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂等の透明樹脂；窒化アルミ等の透明金属窒化物等が挙げられる。なお、基板１１として、上記透明樹脂やソーダガラス等を使用する場合は、水や酸素、金属イオン等が、基板１上に積層した第１電極層１２等へ拡散しないように、光の透過性を損なわない範囲で、基板１上面に酸化ケイ素膜等のバリア性薄膜を形成することが好ましい。
　発光層から出射する光を基板１１側から取り出す必要がない場合は、基板１１の材料としては、上記の透明材料に限られず、不透明なものも使用できる。このような材料として具体的には、ケイ素（Ｓｉ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）等の単体、またはこれらを含む合金、ステンレス等が挙げられる。不透明な基板１１の材料としては、発光層で発光した光をより多く外部へ取り出すために、光反射性の高い金属材料が好ましい。また、上記の光透過性を有する材料の表面に、光反射性の金属材料からなる光反射膜を形成したものを用いてもよい。
　有機層１３の発光層で発光した光は、基板１側または第２電極１４側から取り出される。
　基板１側から光を取り出す場合は、第１電極１２および基板１として光を透過する材料を用いることが好ましい。さらに、この場合、第２電極１４は不透明材料で特に反射率の高い材料を用いることが好ましい。一方、第２電極１４側から光を取り出す場合は、第２電極１４として光を透過する材料を用いることが好ましく、さらに第１電極１２あるいは基板１１の少なくともどちらか一方は不透明材料で特に反射率の高い材料を用いることが好ましい。
　例えば、第１電極１２および第２電極１４としては、具体的な透明材料として、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）、酸化スズ等が挙げられる。また、ポリアニリン誘導体、ポリチオフェン誘導体およびこれらのポリマーとポリスチレンスルホン酸との混合物等の有機物からなる導電材料を用いてもよい。また、不透明材料としては光を反射する材料が好ましく、Ａｌ、Ａｇ、ＭｇＡｇ合金、ＡｌＬｉやＡｌＣａ等のＡｌとアルカリ（土類）金属との合金等の材料を用いることができる。
　例えば、有機層１３としては、発光層が含まれていればよく、その他の層として発光層と第１電極１２あるいは発光層と第２電極１４の間に電荷注入層や電荷輸送層、電荷ブロック層を含んでいても良い。有機層１３に含まれる発光層は、有機ＥＬ発光材料からなるものであり、発光材料の他、電荷輸送材料を含んでいても良い。なお、発光層は単色光を出射する発光材料からなるものであってもよいし、複数の発光色の光を出射する発光材料からなるものであっても良いし、白色光を出射する発光材料からなるものであってもよい。発光材料は１つの層に２つ以上含んでいてもよいし、発光層が２層以上あってもよい。
　赤色発光する赤光発光素子とは、発光スペクトルの最大ピーク波長が５８０～６７０ｎｍである素子をいう。この素子は発光材料を複数含んでいても良く、その場合、この素子の発光スペクトルの最大ピーク波長が５８０～６７０ｎｍを有するものをいう。
　同様に緑色発光する緑光発光素子とは、発光スペクトルの最大ピーク波長が５００～５７０ｎｍである素子をいい、青色発光する青光発光素子とは発光スペクトルの最大ピーク波長が４００～５００ｎｍを含む素子をいう。緑発光素子や青光発光素子も赤光発光素子と同じく、複数の発光材料を含んでいても良く、少なくとも各発光素子の最大ピーク波長が該当する波長範囲になるものである。
　これらの赤光発光素子、緑光発光素子、青光発光素子を２種以上組み合わせて、白色照明とすることができる。また一つの有機ＥＬ素子に複数の発光材料を用いて白色発光素子を形成することができる。
　有機ＥＬ素子１０の製造方法としては、従来公知の方法を用いることができる。
　有機ＥＬ素子１０を構成する各層を形成する方法として、例えば、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法等を用いることができる。また、塗布成膜方法（即ち、目的とする材料を溶剤に溶解させた状態で基板１１に塗布し、乾燥する方法）等の湿式成膜方法が可能な場合は、例えば、スピンコーティング法、ディップコーティング法、インクジェット法、印刷法、スプレー法、ディスペンサー法等の方法があり、これらを用いて成膜することができる。
　また、有機ＥＬ素子１０の上には、有機ＥＬ素子１０を外部から保護するための保護層（図示せず）や保護カバー１５を装着することが好ましい。
　保護層としては、高分子化合物、金属酸化物、金属フッ化物、金属ホウ化物、窒化ケイ素、酸化ケイ素等のシリコン化合物などを用いることができる。
　保護カバー１５としては、ガラス板、表面に低透水率処理を施したプラスチック板、金属などを用いることができる。図１に示す例では保護カバー１５として、平面板を使用しているが、これに限定されずキャップ状（内側に凹み部あり）のものを装着しても良い。
　図１に示す有機ＥＬ照明装置２０では、フレーム１６に、有機ＥＬ素子１０を外部と電気的に接続するための端子（不図示）や、有機ＥＬ素子１０を駆動するための駆動回路（不図示）が設けられている。
　駆動回路は、直流電源と制御回路とを有するものであり、端子を介して有機ＥＬ素子１０の第１電極１２と第２電極１４との間に電流を供給するものである。駆動回路によって電流を供給して有機ＥＬ素子１０を駆動させると、有機層１３の発光層が発光して、光出射面から光が出射される。このようにして光出射面から出射された光は、照明光として利用される。駆動回路によって、光出射面から出射させる光の強さを調整できる。
　有機ＥＬ照明装置２０に備えられている有機ＥＬ素子１０の数は、特に限定されるものではない。有機ＥＬ照明装置２０が、複数の有機ＥＬ素子１０を備えるものである場合、複数の有機ＥＬ素子１０は、波長の異なる光を発光するものであってもよい。
　具体的には例えば、複数の有機ＥＬ素子として、赤色発光（Ｒ）する赤光発光素子と、緑色発光（Ｇ）する緑光発光素子と、青色発光（Ｂ）する青光発光素子とをそれぞれ単数または複数有していてもよい。
　この場合、駆動回路によって、複数の有機ＥＬ素子から選ばれる単数または複数の有機ＥＬ素子を駆動させて、有機ＥＬ素子の発光した光を合成し、これを有機ＥＬ照明装置２０からの出射光として出射させることができる。このことによって、照明装置を交換したりすることなく、例えば、黄色光、赤色光、白色光など所望の色の照明光が得られる。したがって、本実施形態のクリーンルーム内では、作業に応じた適切な色（波長）の照明光を用いて、効率的に作業を行うことができる。また、適切な波長の照明光を用いて照明することにより、例えば、照明装置に虫が吸い寄せられることを防止することができる。
　また、有機ＥＬ照明装置２０は、これに備えられている有機ＥＬ素子１０が単色発光するもののみである場合、波長の異なる光を発光する複数の有機ＥＬ素子である場合と比較して、容易に製造でき、好ましい。
　有機ＥＬ照明装置２０を平面視したときの発光領域１７の形状、数、面積、配置などは、特に限定されるものではなく、クリーンルームの用途や必要とされる輝度などに応じて決定することができる。
　例えば、図２に示す有機ＥＬ照明装置２０の発光領域１７は、矩形であり、平面視で有機ＥＬ照明装置２０の略中央に１つのみ配置されている。また、図２に示す有機ＥＬ照明装置２０の発光領域１７の面積は、有機ＥＬ照明装置２０全体の面積の５０％以上となっている。有機ＥＬ照明装置２０では、有機ＥＬ照明装置２０全体の面積に対する発光領域１７の面積の割合の広いものほど、各々の有機ＥＬ照明装置２０の輝度が低くても、作業に十分な照度を容易に確保できるため好ましい。
　クリーンルームに配置する有機ＥＬ照明装置２０は、必要とされる照度に応じて、個々の有機ＥＬ照明装置２０の発光輝度と発光面積を設計することができる。例えば、配置できる有機ＥＬ照明装置２０の個数が限られている場合は、必要照度を得るための有機ＥＬ照明装置２０の個数と個々の輝度を設定し、設定輝度になるような電流あるいは電圧を設定すれば良い。有機ＥＬ照明装置２０を多く使用すると、１個当たりの有機ＥＬ照明装置２０の輝度を低く設定できるため、蛍光灯やＬＥＤのような照明装置のぎらぎらしたまぶしさをより抑えることができる。
　エアフィルタ２１は、クリーンルーム内に供給される空気中の塵埃や虫などを排除するものである。本実施形態では、エアフィルタ２１を介してクリーンルーム内に空気が供給されることによって、クリーンルーム内に供給される空気の清浄度を確保できるようになっている。
　エアフィルタ２１としては、ＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）やＵＬＰＡフィルタ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）を用いることができる。
　本実施形態のクリーンルームは、天井面３０と壁面と床面とからなる内面と、内面に設置され、有機ＥＬ素子１０を光源とする有機ＥＬ照明装置２０とを有している。有機ＥＬ照明装置２０の光出射面が、天井面３０と同一平面になるように形成されているので、有機ＥＬ照明装置２０の光出射面を、クリーンルームの内面の一部を構成する面状部材として機能させることができる。
　したがって、本実施形態のクリーンルームは、照明装置によってクリーンルーム内の気流が妨げられにくく、クリーンルーム内の気流を精度よく制御でき、さらに、照明装置の設置されている部分に埃が溜まりにくく、クリーンルーム内の空気清浄度を維持しやすいものとなる。よって、例えば、本実施形態のクリーンルーム内で食品や部品を製造した場合、容易に高品質の製品を製造できる。
　また、本実施形態のクリーンルームは、照明装置の設置されている部分に埃が溜まりにくいものであるため、掃除が容易である。
　なお、本実施形態においては、照明装置として有機ＥＬ照明装置２０を用いているので、照明装置として蛍光灯や発光ダイオード（ＬＥＤ）を用いる場合と比較して、以下に示す効果が得られる。
　すなわち、有機ＥＬ照明装置２０は面発光するものであるため、容易に厚みの薄い板状形状とすることができる。よって、クリーンルーム内面の照明装置取付け部に開口部を形成することなく、有機ＥＬ照明装置２０の光出射面を、天井面３０と同一平面になるように形成できる。また、有機ＥＬ照明装置２０の面積を、規格領域３１の面積と同じとすることができる。
　また、有機ＥＬ照明装置２０は面発光するものであるため、単位面積当たりの輝度を低く抑えることができるため、クリーンルーム内にディスプレイやグローブボックス等の機器を設置した場合に、機器に備えられている透明板への照明光の映り込みが少なく、作業性を向上させることができる。
　有機ＥＬ照明装置２０は　蛍光灯と異なり放電しないため、放電によって埃が引き寄せられることはなく、クリーンルーム内の空気清浄度を維持しやすいものとなる。
　有機ＥＬ照明装置２０は、点灯することによる発熱が少ないため、消灯後すぐに掃除などのメンテナンスを行うことができる。
　有機ＥＬ照明装置２０は、蛍光灯と異なり、残像やフリッカー(ちらつき）が生じにくいため、クリーンルーム内での作業性を向上させることができる。
　なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。
　例えば、上述した実施形態においては、クリーンルームの天井面に有機ＥＬ照明装置を設置した場合を例に挙げて説明したが、有機ＥＬ照明装置はクリーンルームの内面に設置されていればよく、例えば、天井面に代えて、または天井面に加えて、壁面および／または床面に有機ＥＬ照明装置を設置してもよい。
　また、エアフィルタは、天井面に代えて、または天井面に加えて、クリーンルームの壁面に設置してもよい。エアフィルタをクリーンルームの壁面に設置する場合、クリーンルーム内の気流を精度よく制御でき、クリーンルーム内の空気清浄度を維持しやすいものとするために、排出面から遠い位置に設置することが好ましい。
　また、上述した実施形態においては、有機ＥＬ照明装置２０とエアフィルタ２１とが、市松模様状に配置されている場合を例に挙げて説明したが、有機ＥＬ照明装置２０とエアフィルタ２１との配置は、クリーンルームの用途等に応じて適宜決定できる。例えば、有機ＥＬ照明装置２０とエアフィルタ２１とをそれぞれ線状に配置してもよい。
　また、有機ＥＬ照明装置２０を平面視したときの発光領域１７の形状、数、面積、配置は、図２に示す例に限定されるものではない。
　例えば、図３および図４は、本発明のクリーンルームの他の例を説明するための平面図であり、クリーンルームの天井面を下から見た平面図である。
　図３に示す有機ＥＬ照明装置２０ａの発光領域１７ａは、図２に示す有機ＥＬ照明装置２０と同様に、矩形であり、平面視で有機ＥＬ照明装置２０の略中央に１つのみ配置されている。しかし、図３に示す発光領域１７ａの面積は、有機ＥＬ照明装置２０ａ全体の面積の５０％未満となっている。
　図４に示す有機ＥＬ照明装置２０ｂの発光領域１７ｂは、長方形であり、一方の長辺が平面視で有機ＥＬ照明装置２０ｂの一つの辺に近接するように配置されている。したがって、図４に示す有機ＥＬ照明装置２０ｂの発光領域１７ｂは、有機ＥＬ照明装置２０ｂの中心からずれた位置に配置されている。そして、図４に示す発光領域１７ｂの面積は、有機ＥＬ照明装置２０ｂ全体の面積の３０％未満となっている。
　また、図２および図３に示すクリーンルームでは、天井面における隣接する発光領域間の距離は略等間隔であったが、図４に示すクリーンルームでは、隣接する発光領域間の距離を変化させて、輝度を調節している。したがって、図４に示すクリーンルームは、クリーンルーム内の領域に応じてより適した照明ができるものとなっている。
　また、図４において符号２０ｃで示す有機ＥＬ照明装置のように、１つの有機ＥＬ照明装置２０ｃに複数の発光領域１７ｃが設けられていてもよい。有機ＥＬ照明装置２０ｃの２つの発光領域１７ｃは、有機ＥＬ照明装置２０ｂの発光領域１７ｂと同様に長方形であり、長辺方向を揃えて並べられている。
　また、有機ＥＬ照明装置２０の数を少なくしても十分にクリーンルーム内を照明できる場合には、市松模様状に配置されている有機ＥＬ照明装置２０のうちの一部を、クリーンルーム内の気密性を確保できる気密性部材に代えてもよい。
　気密性部材としては、従来公知のものを用いることができる。気密性部材は、規格領域の面積と同じ面積のものであることが好ましい。また、気密性部材は、表面がエアフィルタ２１の表面と同一平面になるように配置されるように設置することが好ましい。
１０…有機ＥＬ素子（有機エレクトロルミネッセンス素子）、１２…第１電極、１３…有機層、１４…第２電極、１６…フレーム、１７、１７ａ、１７ｂ、１７ｃ…発光領域、２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ…有機ＥＬ照明装置（有機エレクトロルミネッセンス照明装置）、２１…エアフィルタ、３０…天井面、３１…規格領域。

Claims (6)

  1. 　天井面と壁面と床面とからなる内面と、
    　前記内面に設置され、有機エレクトロルミネッセンス素子を光源とする有機エレクトロルミネッセンス照明装置とを有し、
    　前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置の光出射面が、前記内面と同一平面になるように形成されていることを特徴とするクリーンルーム。
  2. 　前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置は、波長の異なる光を発光する複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が備えられていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
  3. 　前記複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が、赤色発光する赤光発光素子と緑色発光する緑光発光素子と青色発光する青光発光素子とを有していることを特徴とする請求項２に記載のクリーンルーム。
  4. 　前記内面は、前記クリーンルーム内に空気を供給する供給面と、前記クリーンルーム内の空気を排出する排出面と、前記クリーンルームの内外における空気の流通を遮断する気密面とからなり、
    　前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置の配置されている領域が前記気密面として機能することを特徴とする請求項１～請求項３のいずれか一項に記載のクリーンルーム。
  5. 　前記内面のうち天井面は、梁部材によって格子状に区画された複数の規格領域からなり、各規格領域は、前記供給面または前記気密面からなり、
    　前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置の配置されている領域が前記天井面の前記気密面として機能することを特徴とする請求項４に記載のクリーンルーム。
  6. 　前記有機エレクトロルミネッセンス照明装置の平面視での面積が、前記規格領域の面積と同じであることを特徴とする請求項５に記載のクリーンルーム。
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