WO2014064026A3 - Luftmassenmesser mit einem sensorelement - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Luftmassenmesser mit einem Sensorelement, wobei sich ein zu messender Luftmassenstrom über das Sensorelement hinweg bewegt und wobei das Sensorelement als mikroelektromechanisches System ausgebildet ist, das eine Membran aufweist, auf der ein Heizelement ausgebildet ist, wobei in Richtung des Luftmassenstromes vor und hinter dem Heizelement jeweils ein elektrischer Messwiderstand und mindestens zwei elektrische Vergleichswiderstände angeordnet sind, und wobei ein erstes Temperatursensorelement und ein zweites Temperatursensorelement durch die elektrische Verschaltung jeweils eines Messwiderstandes mit mindestens zwei Vergleichswiderständen gebildet wird. Um die Verfälschung der Messergebnisse durch die Verschmutzung des Sensorelementes zu beseitigen oder zumindest in engen Grenzen zu halten, ist das erste Temperatursensorelement als Reihenschaltung aus Widerständen auf dem Sensorelement mit einem Messwiderstand, der bezogen auf den Luftmassenstrom vor dem Heizelemente angeordnet ist, und zwei Vergleichswiderständen, die bezogen auf den Luftmassenstrom hinter dem Heizelement angeordnet sind, gebildet, und das zweite Temperatursensorelement ist als Reihenschaltung aus Widerständen auf dem Sensorelement mit einem Messwiderstand, der bezogen auf den Luftmassenstrom hinter dem Heizelement angeordnet ist, und zwei Vergleichswiderständen, die bezogen auf den Luftmassenstrom vor dem Heizelement angeordnet sind, gebildet.
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