WO2014050207A1 - データ生成システムおよびデータ生成方法 - Google Patents

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WO2014050207A1
WO2014050207A1 PCT/JP2013/065014 JP2013065014W WO2014050207A1 WO 2014050207 A1 WO2014050207 A1 WO 2014050207A1 JP 2013065014 W JP2013065014 W JP 2013065014W WO 2014050207 A1 WO2014050207 A1 WO 2014050207A1
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data
configuration data
data generation
specifications
generation system
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PCT/JP2013/065014
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智靖 古田
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Program-control systems
    • G05B19/02—Program-control systems electric
    • G05B19/04—Program control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/042—Program control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using digital processors
    • G05B19/0426—Programming the control sequence
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Program-control systems
    • G05B19/02—Program-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers

Definitions

  • the present invention relates to a data generation system and a data generation method for generating configuration data for operating a substrate processing apparatus in accordance with the specifications of the substrate processing apparatus.
  • the substrate processing apparatus includes an apparatus that performs processing such as etching, development, cleaning, and drying on the substrate.
  • the substrate includes a semiconductor wafer, a photomask glass substrate, a liquid crystal display glass substrate, a plasma display glass substrate, an FED (Field Emission Display) substrate, an optical disk substrate, a magnetic disk substrate, and a magneto-optical disk.
  • Various substrates such as a substrate are included.
  • the substrate processing apparatus is a custom-designed production type product, and even if it is the same model, the hardware, mechanism, etc. are often different for each product. Therefore, when generating software for controlling the substrate processing apparatus, configuration data is generated as described in Patent Document 1, for example. That is, the computer program that is the center of the software is made common to various substrate processing apparatuses, and the individual functions of the computer program are switched according to the destination, user requirements, product specifications, etc. of each apparatus by configuration.
  • the “product specification” is determined by the component parts constituting the product and the function of each part.
  • the specification including “product specification” and “destination” and “user request” is simply referred to as “specification” in the present specification.
  • the first problem is that it takes a considerable amount of man-hours to generate data.
  • a description mistake at the time of data generation is likely to occur, and it is difficult to determine the validity of the data.
  • a high level of expertise is required to generate high-quality configuration data at present.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and provides a data generation technique for generating high-quality configuration data for operating the substrate processing apparatus in accordance with the specifications of the substrate processing apparatus with a small number of work steps. For the purpose.
  • One aspect of the present invention is a data generation system that generates configuration data for operating a substrate processing apparatus in accordance with the specifications of the substrate processing apparatus, and includes a plurality of different specifications and a plurality of different configuration data. Is stored in a hierarchical structure, and a storage unit for storing related information indicating the relationship between specifications and configuration data between layers, a specification acquisition unit for acquiring specifications of a substrate processing apparatus, and a specification acquisition unit Data generation unit for selecting configuration data corresponding to the specified specification from the plurality of configuration data based on the related information and generating configuration data for operating the substrate processing apparatus having the specification acquired by the specification acquisition unit And comprising.
  • a data generation method for generating configuration data for operating a substrate processing apparatus in accordance with the specifications of the substrate processing apparatus.
  • a process for generating a knowledge database including hierarchical information obtained by hierarchizing the configuration data of the data and related information indicating a relation between the specification and the configuration data, and a configuration corresponding to the specifications of the substrate processing apparatus And a step of selecting a configuration data from a knowledge database based on related information, and a step of using the selected configuration data as configuration data for operating the substrate processing apparatus.
  • knowledge in this specification means the total knowledge that determines the correspondence of data. For example, the knowledge that “the substrate processing apparatus requires an X unit in order to realize the A function in the substrate processing apparatus” and “parts a and b related to using the X unit are necessary, The knowledge that “c is unnecessary” and the knowledge that “the substrate processing apparatus delivered to the Y factory in X country can select the Z1 requirement but cannot select the Z2 requirement due to safety standards” are knowledges, etc. Related information corresponds to knowledge.
  • a database including the related information together with the specification and configuration data corresponds to a “knowledge database”.
  • configuration data is hierarchically structured in association with the specifications of the substrate processing apparatus.
  • specifications and configuration data are stored in a knowledge database in a form that is easy for software developers (hereinafter referred to as “workers”) to understand.
  • the knowledge database includes related information indicating the relationship between the specifications and the configuration data between the hierarchies. Then, configuration data corresponding to the specifications of the substrate processing apparatus is selected from the knowledge database based on the related information. Therefore, it is possible to reduce the man-hours and description mistakes of the worker when generating data. In addition, it is easy to determine the validity of the data. As a result, high-quality configuration data can be generated with a small number of work steps.
  • FIG. 1 It is a block diagram which shows the structure of one Embodiment of the data generation system concerning this invention. It is a figure which shows notionally the structure of the knowledge database memorize
  • FIG. 1 It is a figure which shows an example of the configuration data produced
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of a data generation system according to the present invention.
  • the data generation system 1 includes a system server 100 that generates configuration data for operating the apparatus corresponding to the specifications of the substrate processing apparatus, and a client terminal 200 on which a WEB browser is mounted.
  • the system server 100 and the client terminal 200 can communicate with each other via a communication network 300, for example, the Internet using a standardized communication protocol such as TCP / IP (Transmission Control Protocol / Internet Protocol).
  • TCP / IP Transmission Control Protocol / Internet Protocol
  • the client terminal 200 includes a terminal main body 210, a display unit 220 such as a liquid crystal display, and an operation unit 230 having a keyboard and a mouse.
  • the terminal body 210 includes a control unit 211 and a communication I / F 212 for communicating with the system server 100.
  • the control unit 211 is mainly a computer having a CPU (Central Processing Unit) and a memory.
  • the control unit 211 starts a WEB browser according to a program stored in the memory in advance, and displays display information created by the system server 100 on the display unit 220. Project.
  • two client terminals 200 are provided for the system server 100.
  • the number of client terminals 200 is not limited to this and is arbitrary.
  • the system server 100 includes a control unit 110, a communication I / F 120 for communicating with the client terminal 200, and a storage unit 130 for storing a knowledge database.
  • FIG. 2 is a diagram conceptually showing the structure of the knowledge database stored in the data generation system of FIG. 2 denotes configuration data, and the configuration data is also abbreviated as “CD” as appropriate in other drawings.
  • the knowledge database has four data layers 131 to 134 and three tables 135 to 137 (FIG. 1). Among these data layers, the configuration data layer 134 is formed by a plurality of configuration data stored in the storage unit 130. The remaining data layers 131 to 133 are formed of data relating to various specifications of the substrate processing apparatus necessary for generating configuration data. In this embodiment, three types of “destination”, “user request”, and “product specification” are set as the specifications of the substrate processing apparatus for which configuration data is to be generated. The data relating to the destination, user request, and product specification is divided into a destination data layer 131 (FIG. 3), a user request data layer 132 (FIG. 4), and a product specification data layer 133 (FIG. 5), respectively. Is remembered.
  • the data generation system 1 hierarchically holds data related to the above specifications.
  • the data generation system 1 displays selectable specification data and allows the worker to select it, or automatically determines another specification data that matches the specification data specified by the worker and displays it in a chained manner.
  • the configuration data is generated in cooperation with the worker. Details will be described later.
  • the destination includes, for example, a country, a company and a factory where the substrate processing apparatus is installed as shown in FIG.
  • a plurality of destination data are structured and stored in two stages in the destination data layer 131 of FIG.
  • ID4 “Company X” and ID5 “Company Y” having a value of “Parent destination ID1” are associated with ID1 “USA”.
  • ID6 “Y company Y1 factory” and ID7 “Y company Y2 factory” having a value of “parent destination ID 5” are associated with this ID5 “Y company”. Accordingly, by referring to the destination data layer 131, it is possible to automatically specify one or more destination data related to one destination data.
  • the user request data layer 132 stores typical requests received from the user regarding the substrate processing apparatus as user request data. As shown in FIG. 4, for example, “Where to process with one type of chemical solution normally, but with two types of chemical solution” or “I want to increase the wafer cleaning capability by shifting the speed while driving the shaft. ".
  • the data stored in the data layer 132 is also hierarchically structured so that the relevance of each user request data can be grasped. For example, ID2 “shaft driving at low speed” is indispensable for realizing “speed change during shaft drive” of ID2, and therefore the user request of ID2 and the user request of ID3 are related in a parent request-child request relationship. ing. That is, the child request cannot be made valid while the parent request remains invalid.
  • the user request data is hierarchically structured, and one or a plurality of user requests related to the user request can be automatically set only by selecting one user request.
  • the data related to the destination is positioned higher than the data related to the user request, and the storage unit 130 is in a state where the destination data layer 131 and the user request data layer 132 are hierarchically structured. Is remembered.
  • information associating destinations with user requests is collected in a destination-user request related information table (hereinafter simply referred to as “upper table”) 135, and the storage unit 130.
  • the user request ID2 is associated with the destination ID4 (ID4 “Company X” in FIG. 3). Therefore, when the destination ID 4 is selected by the worker, the user request data of the request ID 2 is valid.
  • the user request ID 3 is associated with the destination ID 7 (ID 7 “Y company Y2 factory” in FIG. 3). Therefore, when the destination ID 7 is selected by the operator, the user request data of the request ID 3 is valid.
  • the destination is designated, it is possible to automatically determine the content requested by the user based on the upper table 135.
  • the data related to the user request is positioned above the data related to the product specification, and the “user request data layer 132” and the “product specification data layer 133” are hierarchically structured. It is stored in the storage unit 130.
  • the product specification data layer 133 what kind of components the product (substrate processing apparatus) is configured and what functions each component has is managed in a database including optional components and functions. ing.
  • FIG. 5 shows an example of the product specification data layer employed in this embodiment.
  • FIG. 6A is a class diagram for explaining the product specification data layer, and is in accordance with a unified modeling language (UML) that is a specification description language standardized for object modeling in software engineering.
  • UML unified modeling language
  • reference numerals 133a to 133c denote “item class”, “part class”, and “function class”, respectively.
  • the item class 133a is a part type that is a component of a product, can have a plurality of parts and functions, and has “name” as an attribute.
  • the names of items constituting the substrate processing apparatus include “semiconductor cleaning apparatus”, “spin processing unit”, and the like.
  • the part class 133b is a component of the product, and has “name”, “parent item”, “model item”, and “selection type (required, optional)” as attributes.
  • a part having an item as a parent and having names “product 001”, “unit 001”, and the like is included.
  • the function class 133c has “name”, “parent item / function”, and “selection type (required, optional)” as attributes.
  • FIG. 4D a function having an item or function as a parent and having names “function 001”, “function 002”, and the like is included.
  • the product specification data layer 133 stipulates the interrelation between components and functions that may be adopted by the substrate processing apparatus, and the distinction between essential / optional.
  • items and parts are associated with each other.
  • two types of spin processing units that is, “unit 001” (ID6) and “unit 002” (ID7) are associated with the semiconductor cleaning apparatus (ID1, name: “product 001”).
  • ID6 two types of spin processing units
  • ID7 the semiconductor cleaning apparatus
  • ID1 name: “product 001”
  • the selection type column of ID6 “unit 001” is an essential element
  • unit 002 is an optional element.
  • device 001 (ID8, name: motor)” and “device 002 (ID9, name: motor)” are associated with the spin processing unit (ID2) as optional components.
  • the product specification data layer 133 associates items with functions. For example, “function 001” is associated with the semiconductor cleaning apparatus as an essential element. Further, “function 002” is associated with this “function 001” as an optional function. As described above, the function table holds data in a multilayer structure.
  • intermediate table information associating user requests with product specifications is collected in a user request-product specification related information table (hereinafter simply referred to as “intermediate table”) 136 and stored in the storage unit 130. Is remembered. For example, as shown in the ID1 row, when the request ID1 is “valid”, a combination of the specification ID5 (“product 001” shown in FIG. 5C) and the specification ID7 (“unit 002”) is selected. It is set to be adopted as a product specification. Similarly, as shown in the ID2 row, when the request ID2 is “valid”, the specification ID5 (“product 001”), the specification ID6 (“unit 002”), and the specification ID8 (“device 001”) ) Is adopted as the product specification.
  • the specification ID5 (“product 001”)
  • the specification ID6 (“unit 002”)
  • the specification ID9 (“device 002”)
  • the product specification can be automatically determined based on the user request and the intermediate table 136.
  • the configuration data can be automatically determined based on the product specification and the lower table 137.
  • a hierarchical structure is formed in the order of destination, user request, product specification and configuration data, and destination-user request related information, user request-product specification related information and product. Specifications-Each specification and configuration data are associated based on configuration data related information.
  • the control unit 110 is mainly a computer having a CPU and a memory, and functions as a display control unit 111, a specification acquisition unit 112, a data generation unit 113, and a selection data acquisition unit 114 according to a program stored in the memory in advance. .
  • a WWW (World Wide Web) server program is operating, and display information stored in the memory can be browsed from the WEB browser of the client terminal 200.
  • the display control unit 111 controls the display information and switches display contents displayed on the WEB browser. For example, when the operator operates the WEB browser of the client terminal 200 to request the entire display of the knowledge database, the display control unit 111 is based on the data layers 131 to 134 and the tables 135 to 137 stored in the storage unit 130. For example, as shown in FIG. 2, display information is created by hierarchically representing a knowledge database. As a result, a chart as shown in FIG. 2 is displayed on the display unit 220 by the WEB browser.
  • FIG. 2 is a diagram conceptually showing the knowledge database, and shows a state in which the number of data in each data layer and the number of related information are greatly narrowed down for easy understanding of the concept.
  • the specification acquisition unit 112 acquires information on the specification input by the worker from the client terminal 200 and gives the specification information to the data generation unit 113.
  • the selection data acquisition unit 114 acquires information related to configuration data selected by the worker from the client terminal 200 and provides the selection data information to the data generation unit 113.
  • the data generation unit 113 generates configuration data corresponding to the specification received from the specification acquisition unit 112 based on the knowledge database.
  • the data generation unit 113 also has a knowledge database visualization function.
  • the visualization function will be described with reference to FIGS. 10 and 12.
  • FIG. 7 and 8 are flowcharts showing the operation of the data generation system shown in FIG.
  • the operator instructs generation of configuration data via the client terminal 200 of the data generation system 1.
  • the system server 100 generates configuration data suitable for the substrate processing apparatus in cooperation with the client terminal 200 while bidirectionally communicating with the client terminal 200 via the communication network 300.
  • a screen suitable for selecting a destination for example, a destination selection screen 221 as shown in the upper right part of FIG. 7 is displayed on the display unit 220 by the WEB browser.
  • the destination is permitted to be input / edited by the user (step S1).
  • the destinations are displayed in stages in the order of country, company, and factory, and the destinations can be easily narrowed down from the country level to the factory level according to the display. For example, when “Y2 factory” is selected as a destination by the WEB browser, the selected “Y2 factory” and related “Y company” and “US” are displayed brightly as shown in the selection screen 221. (It is hatched on the selection screen 221 in the figure).
  • the operator when the destination of the substrate processing apparatus that is the target of data generation is already displayed on the selection screen 221, the operator operates the mouse or the like of the operation unit 230 as illustrated above. Select.
  • the worker adds a new destination or changes the existing destination using the WEB browser. .
  • the destination of the substrate processing apparatus is selected or input by the WEB browser, the destination is acquired in the system server 100 (step S2). Then, the validity / invalidity of each request is automatically set according to the destination-user request related information included in the upper table 135 (step S3).
  • a user request setting screen 222 shown in the right center of FIG. 7 is displayed on the WEB browser, and the user request can be edited by the operator (step S4).
  • the user request setting screen 222 displays the user requests (for example, request A, child request A-, request B, child request B-, B-) stored in the storage unit 130 and knowledged. Valid / invalid is automatically set for.
  • the activated request or the child request is hatched.
  • step S5 a case where there is a user request that is not stored in the storage unit 130, that is, there is a non-knowledge user request that has not been knowledged (in the case of “YES” in step S5) will be described.
  • “Y2 factory” destination data layer 131)
  • “user request A” user request data layer 132) are not associated with each other.
  • “Y2 factory” is selected in step 1
  • “user request A” is automatically invalidated based on the destination-user request related information.
  • “Request A” is not displayed brightly.
  • the worker selects “YES” in step S5.
  • step S6 editing such as addition or change of a user request is accepted on the user request setting screen 222 (step S6).
  • the operator can validate the current invalid request A by performing an editing operation such as a mouse operation on the screen 222.
  • editing that enables only the child request A- while the parent request A remains invalid is not possible.
  • relevance information indicating the association (“Y2 factory” ⁇ “request A” ⁇ “child request A ⁇ ”) between the request A acquired in step S2 and the upper hierarchy data is generated.
  • the relevance information is data that is temporarily stored until configuration data setting is completed, and is not reflected in the destination-user request related information table 135.
  • the editing / provisional holding operation for such non-knowledge data is the same for non-knowledge product usage and configuration data, which will be described later.
  • step S5 When it is determined in step S5 that there is no non-knowledge user request, or when the editing in step S6 is completed, each product specification is adopted / not adopted according to the user request-product specification related information included in the intermediate table 136. It is automatically set (step S7). Further, for example, the product specification setting screen 223 shown in the upper right part of FIG. 8 is displayed on the display unit 220 by the WEB browser, and the product specification can be edited by the operator (step S8). In the setting screen 223 in the figure, the adopted product specifications (product, unit, subunit, function) are hatched.
  • the product specification setting screen 223 displays the product specifications stored in the storage unit 130 and knowledged, and adoption / non-adoption is automatically set for each product specification.
  • a WEB browser is used as in the case of a user request. Editing such as addition or change of product specifications is accepted (step S10).
  • step S9 When it is determined in step S9 that there is no non-knowledge product specification or the editing in step S10 is completed, configuration data corresponding to the product specification-configuration data related information included in the lower table 137 is selectively extracted. And displayed on the display unit 220 by the WEB browser (step S11).
  • step S11 when there is configuration data that is not stored in the storage unit 130, that is, there is non-knowledge configuration data that has not been knowledged ("YES" in step S12), as in the case of a user request, Editing such as addition or change of configuration data by the WEB browser is accepted (step S13).
  • step S12 If it is determined in step S12 that there is no non-knowledge configuration data, or if the editing in step S13 is completed, it is compatible with the substrate processing apparatus that is the target of data generation. For example, as shown in FIG. Configuration data in XML (Extensible Markup Language) format is completed. Then, the data generation system 1 outputs the configuration data (step S14). In the present embodiment, since the configuration data is described in the XML format, an XML database is used.
  • XML Extensible Markup Language
  • the destination, the user request, and the product specification are set as the specifications of the substrate processing apparatus, and the configuration data is associated with the structure in four layers. It has become.
  • specifications and configuration data are stored in a knowledge database in a form that is easy for the operator to understand.
  • the knowledge database includes three pieces of related information (knowledge) indicating the relationship between the destination data layer, the user request data layer, the product specification data layer, and the configuration data layer. Then, configuration data corresponding to the specifications of the substrate processing apparatus is selected from the knowledge database according to the related information. Therefore, it is possible to reduce the man-hours and description mistakes of the worker when generating data. In addition, it is easy to determine the validity of the data. As a result, high-quality configuration data can be efficiently generated with less work man-hours.
  • the knowledge database is configured by the four data layers and the three related information, so that the data structure can be easily understood even in the order design production type business type.
  • the knowledge database is inevitably complicated, and editing may be difficult.
  • data selection in the upper data layer has a cascading effect on the lower data layer, and the effect may extend not only to the data layer directly below but also to the data layer positioned below.
  • the data generation system 1 in FIG. 1 has two types of visualization functions: (1) a function for visualizing the forward effect of data selection on the upper data layer on the lower data layer; And a function for visualizing the reverse effect of the data selection in the lower data layer on the upper data layer. This makes it possible for an operator who does not have skills to intuitively understand how data selection in one hierarchy affects data in another hierarchy.
  • FIG. 10 is a diagram conceptually showing the forward visualization function in the data generation system of FIG.
  • the control unit 110 of the system server 100 visualizes the forward visualization stored in the memory in advance. Operates according to the program. More specifically, when data desired to be visualized by an operator (for example, the destination E in the destination data layer in FIG. 10) is selected by the WEB browser, the selection data and lower-level data affected by the selection data are selected. Only the layer data is displayed on the display unit 220 (FIG. 10). Thereby, the influence in the forward direction starting from the selected data can be intuitively and easily understood from the chart displayed on the display unit 220. In the example shown in FIG. 10, the destination is selected. However, when data in the user request data layer or the product specification data layer is selected, the influence on the forward direction starting from this is displayed on the display unit 220. .
  • various specifications can be changed on this screen.
  • the destination is changed from the destination E to the destination B by the operator.
  • the data layer lower than the destination data layer 131 is rewritten in order, and the visualization program causes the chain effect of the specification change in the user request data layer 132 to be intuitive to the operator. Indicated.
  • user requests and product specification setting changes as described in step S6 of FIG. 7 can be performed on this screen, and in this case also, the operator can intuitively understand the chain effect as shown in FIG. be able to.
  • FIG. 12 is a diagram conceptually showing the visualization function in the reverse direction in the data generation system of FIG.
  • the control unit 110 of the system server 100 visualizes the reverse visualization stored in the memory in advance. Operates according to the program. More specifically, visualization in the direction opposite to the forward direction is performed. That is, when data desired to be visualized by the operator (for example, configuration data B in the configuration data layer in FIG. 12) is selected by the WEB browser, the selection data and the upper data layer affected by the selection data are selected. Is displayed on the display unit 220 (FIG. 12).
  • the influence in the reverse direction from the selected data can be intuitively and easily understood from the chart displayed on the display unit 220.
  • configuration data is selected.
  • the influence in the reverse direction starting from this data is displayed on the display unit 220.
  • the visualization function makes it easy to determine whether the related information is correct or missing, and the related information can be appropriately updated. Furthermore, the chart displayed on the display unit 220 by the visualization function can be used as a reference when finely adjusting the data set in the knowledge database. As a result, the knowledge database can be efficiently brushed up.
  • the configuration data is described in the XML format.
  • the data format is not limited to this, and other formats such as a CSV (CommaComSeparated Values) format and an INI format are available. Also good.
  • CSV CommonComSeparated Values
  • INI INI format
  • the configuration data is in CSV format or INI format, it is preferable to use a relational database.
  • the type of database is not limited to the XML database or the relational database, and this is also a data format. Similarly, it is optional.
  • the client terminal 200 is provided and the WEB browser is activated on the client terminal 200 to perform various data selection and data editing.
  • the client terminal 200 is not an essential component of the present invention.
  • the system server 100 may be provided with a display unit or an operation unit so that the system server 100 executes all processes.
  • the destination, user requirements and product specifications are set as the specifications of the substrate processing apparatus, and these three types of specifications are stored in a hierarchical structure.
  • the number is arbitrary.
  • the specification of the substrate processing apparatus is composed of two types or four or more types, the related information indicating the specification relationship between the layers is created and stored in the storage unit 130 as in the above embodiment. It is necessary to keep.
  • the non-knowledged relevance information generated in step S6 or the like is merely temporarily stored and is not stored as permanent information.
  • this information may be reflected as permanent information in a table such as the destination-user request related information table 135.
  • the present invention can be applied to all data generation techniques for generating configuration data for operating a substrate processing apparatus in accordance with the specifications of the substrate processing apparatus.

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Description

データ生成システムおよびデータ生成方法
　この発明は、基板処理装置の仕様に対応して基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成システムおよびデータ生成方法に関するものである。なお、基板処理装置には、基板に対してエッチング、現像、洗浄および乾燥などの処理を施す装置が含まれる。また、当該基板には、半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板などの各種基板が含まれる。
　半導体装置や液晶表示装置などの電子部品を製造するために種々の基板処理装置が提供されている。基板処理装置は受注設計生産型の製品であり、同一機種であっても製品毎にハードウエアや機構などが異なっていることが多い。そこで、基板処理装置を制御するためのソフトウエアを生成するにあたっては、例えば特許文献１に記載されているように、コンフィグレーションデータを生成している。つまり、ソフトウエアの中心となるコンピュータプログラムを種々の基板処理装置について共通化する一方、コンフィグレーションによってコンピュータプログラムの個々の機能を、各装置の仕向け地、ユーザー要求、製品仕様などに応じて切り替える。ここで、「製品仕様」は製品を構成する構成部品と各部品の機能によって決定されるものである。そして、「製品仕様」ならびに「仕向け地」および「ユーザー要求」を含めたものを本明細書では、単に「仕様」と称する。
特表２００７－５２３４０７号公報
　しかしながら、製品数の増大にしたがって仕様数も多くなり、それに応じてコンフィグレーションデータに含まれる設定項目も膨大な数になっている。そのため、次のような問題が発生している。最初の問題点は、データ生成にかなりの工数を要することである。また、データ生成時の記述ミスが生じ易く、データの正当性を判断することも難しくなってきている。その結果、現状では高品質なコンフィグレーションデータの生成には高度な専門性が要求される。
　このような問題を解消するために、既に生成されているコンフィグレーションデータをナレッジマネージメントすることが考えられる。しかしながら、基板処理装置のソフトウエア開発に適合するナレッジマネージメントは皆無であった。
　この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、基板処理装置の仕様に対応して当該基板処理装置を動作させるための高品質なコンフィグレーションデータを少ない作業工数で生成するデータ生成技術を提供することを目的とする。
　この発明の一態様は、基板処理装置の仕様に対応して基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成システムであって、互いに異なる複数の仕様および互いに異なる複数のコンフィグレーションデータを階層構造化して記憶するとともに、仕様とコンフィグレーションデータとの階層間での関連を示す関連情報を記憶する記憶部と、基板処理装置の仕様を取得する仕様取得部と、仕様取得部が取得した仕様に対応するコンフィグレーションデータを関連情報に基づいて上記複数のコンフィグレーションデータから選択し、仕様取得部で取得した仕様を有する基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成部と、を備える。
　また、この発明の他の態様は、基板処理装置の仕様に対応して基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成方法であって、予め互いに異なる複数の仕様および互いに異なる複数のコンフィグレーションデータを階層構造化した階層化情報と、仕様とコンフィグレーションデータとの階層間での関連を示す関連情報とを含むナレッジデータベースを生成する工程と、基板処理装置の仕様に対応するコンフィグレーションデータを関連情報に基づいてナレッジデータベースから選択する工程と、選択されたコンフィグレーションデータを、基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータとする工程とを備える。
　なお、本明細書での「ナレッジ」とは、データの対応関係を決定する知見の総体を意味している。例えば「基板処理装置においてＡ機能を実現するために当該基板処理装置はＸユニットを必要とする」という知見や「Ｘユニットを使用する場合には関連する部品ａ、ｂが必要である一方、部品ｃは不要である」という知見、「Ｘ国のＹ工場に納入する基板処理装置はＺ１要求は選択可能であるが、Ｚ２要求は安全規格上、選択できない」という知見等がナレッジであり、上記関連情報がナレッジに相当する。また、仕様およびコンフィグレーションデータとともに上記関連情報を含んだデータベースが「ナレッジデータベース」に相当する。
　以上のように、本発明では、コンフィグレーションデータが基板処理装置の仕様に関連付けて階層構造化されている。このように仕様とコンフィグレーションデータとがソフトウエアの開発作業者（以下「作業者」という）に分かりやすい形でナレッジデータベース化されている。また、当該ナレッジデータベースには、仕様とコンフィグレーションデータとの階層間での関連を示す関連情報が含まれている。そして、基板処理装置の仕様に対応するコンフィグレーションデータが関連情報に基づいてナレッジデータベースから選択される。したがって、データ生成時における作業者の工数および記述ミスを削減することができる。また、データの正当性を判断することも容易なものとなる。その結果、高品質なコンフィグレーションデータを少ない作業工数で生成することができる。
本発明にかかるデータ生成システムの一実施形態の構成を示すブロック図である。 図１のデータ生成システムに記憶されるナレッジデータベースの構造を概念的に示す図である。 ナレッジデータベースに含まれる仕向け地データ層の一例を示す図である。 ナレッジデータベースに含まれるユーザー要求データ層の一例を示す図である。 ナレッジデータベースに含まれる製品仕様データ層の一例を示す図である。 ナレッジデータベースに含まれる関連情報テーブルの一例を示す図である。 図１に示すデータ生成システムの動作を示すフローチャートである。 図１に示すデータ生成システムの動作を示すフローチャートである。 図１に示すデータ生成システムにより生成されたコンフィグレーションデータの一例を示す図である。 本発明にかかるデータ生成システムにおける順方向の見える化機能を概念的に示す図である。 本発明にかかるデータ生成システムにおける順方向の見える化機能を概念的に示す図である。 本発明にかかるデータ生成システムにおける逆方向の見える化機能を概念的に示す図である。 本発明にかかるデータ生成システムにおける逆方向の見える化機能を概念的に示す図である。
　図１は、本発明にかかるデータ生成システムの一実施形態の構成を示すブロック図である。データ生成システム１は、基板処理装置の仕様に対応して同装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するシステムサーバー１００と、ＷＥＢブラウザが搭載されたクライアント端末２００とを有している。これらシステムサーバー１００とクライアント端末２００とは、通信ネットワーク３００、例えばＴＣＰ／ＩＰ（Transmission Control Protocol/Internet Protocol）等の標準規格化された通信プロトコールを使用したインターネットを介して通信可能となっている。
　クライアント端末２００は、端末本体２１０と、液晶ディスプレイなどの表示部２２０と、キーボードやマウスなどを有する操作部２３０とを備えている。端末本体２１０には、制御ユニット２１１と、システムサーバー１００との間で通信を行うための通信Ｉ／Ｆ２１２とが内蔵されている。制御ユニット２１１はＣＰＵ（Central Processing Unit）およびメモリなどを有するコンピュータを主体とし、予めメモリに記憶されているプログラムにしたがってＷＥＢブラウザを起動し、システムサーバー１００で作成される表示情報を表示部２２０に映し出す。なお、図１に示すデータ生成システム１では、システムサーバー１００に対して２台のクライアント端末２００が設けられているが、クライアント端末２００の台数はこれに限定されるものではなく、任意である。
　システムサーバー１００は、制御ユニット１１０と、クライアント端末２００との間で通信を行うための通信Ｉ／Ｆ１２０と、ナレッジデータベースを記憶する記憶部１３０とを備えている。
　図２は図１のデータ生成システムに記憶されるナレッジデータベースの構造を概念的に示す図である。なお、図２中の符号ＣＤはコンフィグレーションデータを意味しており、その他の図面においてもコンフィグレーションデータを適宜「ＣＤ」と略して表示する。
　ナレッジデータベースは、４つのデータ層１３１～１３４および３つのテーブル１３５～１３７（図１）を有している。これらのデータ層のうちコンフィグレーションデータ層１３４は記憶部１３０に記憶された複数のコンフィグレーションデータにより形成されている。残りのデータ層１３１～１３３はコンフィグレーションデータを生成するために必要な、基板処理装置の各種仕様に関するデータにより形成されている。本実施形態では、コンフィグレーションデータの生成対象となる基板処理装置の仕様として、「仕向け地」、「ユーザー要求」および「製品仕様」の３種類が設定されている。これら仕向け地、ユーザー要求および製品仕様に関連するデータはそれぞれ仕向け地データ層１３１（図３）、ユーザー要求データ層１３２（図４）および製品仕様データ層１３３（図５）に分けて記憶部１３０に記憶されている。このようにデータ生成システム１は上記仕様に関するデータを階層的に保持している。データ生成システム１は、選択可能な仕様データを表示して作業者に選択させたり、作業者により指定された仕様データと整合する別の仕様データを自動的決定して連鎖的に表示したりすることにより、作業者と協働してコンフィグデータを生成する。詳細は後述する。
　仕向け地には、例えば図３に示すように、基板処理装置を設置する国、会社や工場などが含まれている。図３の仕向け地データ層１３１には複数の仕向け地データが二段階に構造化されて格納されている。例えば、ＩＤ１「米国」には、「親仕向け地ＩＤ１」の値を持つＩＤ４「Ｘ社」およびＩＤ５「Ｙ社」が関連付けられている。さらに、このＩＤ５「Ｙ社」には、「親仕向け地ＩＤ５」の値を持つＩＤ６「Ｙ社Ｙ１工場」およびＩＤ７「Ｙ社Ｙ２工場」が関連付けられている。したがって、仕向け地データ層１３１を参照することで、１つの仕向け地データに関連する１ないし複数の仕向け地データを自動的に特定することができる。なお、「米国」→「Ｙ社」→「Ｙ社Ｙ１工場」「Ｙ社Ｙ２工場」、という上層階層から下層階層に関連付けをたどっていくだけでなく、「Ｙ社Ｙ２工場」→「Ｙ社」→「米国」という下層階層から上層階層に関連付けをたどっていくことも可能である。
　ユーザー要求データ層１３２は、基板処理装置に関してユーザーから寄せられる典型的な要求をユーザー要求データとして格納したものである。これは図４に示すように、例えば、「通常一種類の薬液で処理するところを、二種類の薬液で処理したい」あるいは、「軸の駆動途中で変速させることにより、ウエハ洗浄能力を高めたい」といった内容である。本データ層１３２に格納されたデータも階層構造化されており、各ユーザー要求データの関連性が把握できるようになっている。例えば、ＩＤ２の「軸の駆動途中の変速」の実現にはＩＤ３の「軸の低速駆動」が不可欠なため、ＩＤ２のユーザー要求とＩＤ３のユーザー要求とは親要求－子要求の関係で関連付けられている。つまり、親要求が無効なままで子要求を有効にすることはできないようになっている。このようにユーザー要求データを階層構造化することにより、１つのユーザー要求を選択するだけで、当該ユーザー要求に関連する１ないし複数のユーザー要求を自動的に設定することができる。
　また、仕向け地毎にユーザー要求が異なっていることも多い。そこで、本実施形態では、仕向け地に関連するデータが、ユーザー要求に関連するデータの上位に位置付けられ、仕向け地データ層１３１とユーザー要求データ層１３２とが階層構造化された状態で記憶部１３０に記憶されている。
　さらに、例えば図６（ａ）に示すように、仕向け地とユーザー要求とを関連付けた情報が仕向け地－ユーザー要求関連情報テーブル（以下、単に「上位テーブル」という）１３５にまとめられ、記憶部１３０に記憶されている。例えば、図６（ａ）のＩＤ１の行に示されるように、仕向け地ＩＤ４（図３のＩＤ４「Ｘ社」）に対してはユーザー要求ＩＤ２が関連付けられている。したがって、作業者によって仕向け地ＩＤ４が選択された場合には、要求ＩＤ２のユーザー要求データが有効になる。また、仕向け地ＩＤ７（図３のＩＤ７「Ｙ社Ｙ２工場」）に対してはユーザー要求ＩＤ３が関連付けられている。したがって、作業者によって仕向け地ＩＤ７が選択された場合には、要求ＩＤ３のユーザー要求データが有効になる。このように、仕向け地が指定されると、上位テーブル１３５に基づいてユーザーが要求する内容を自動的に決定する事が可能となっている。
　ユーザー要求が決まれば、それに対応する製品仕様をある程度（あるいは、ある範囲）で決定することが可能であることが、経験的に知られている。そこで、本実施形態では、ユーザー要求に関連するデータが製品仕様に関連するデータの上位に位置付けられ、「ユーザー要求データ層１３２」と「製品仕様データ層１３３」とが階層構造化された状態で記憶部１３０に記憶されている。製品仕様データ層１３３では、製品（基板処理装置）がどのような部品で構成されており、それぞれの部品がどのような機能を持っているかという事項がオプションの部品・機能を含めてデータベース管理されている。
　図５は本実施形態で採用している製品仕様データ層の一例を示している。特に、同図（ａ）は製品仕様データ層を説明するためのクラス図であり、ソフトウエア工学におけるオブジェクトモデリングのために標準化した仕様記述言語である統一モデリング言語（ＵＭＬ：Unified Modeling Language）にしたがって記載されている。図５（ａ）において、符号１３３ａ～１３３ｃはそれぞれ「品目クラス」、「部品クラス」および「機能クラス」である。品目クラス１３３ａは製品の構成要素である部品の型であり、複数の部品や機能を持つことができ、属性として「名称」を有している。本実施形態では、同図（ｂ）に示すように、基板処理装置を構成する品目の名称として「半導体洗浄装置」、「スピン処理ユニット」等が含まれる。また、部品クラス１３３ｂは製品の構成要素であり、属性として「名称」、「親品目」、「型品目」および「選択種別（必須、オプション）」を有する。本実施形態では、同図（ｃ）に示すように、品目を親として持ち、名称が「製品００１」、「ユニット００１」等である部品が含まれている。機能クラス１３３ｃは属性として「名称」、「親品目／機能」および「選択種別（必須、オプション）」を有する。本実施形態では、同図（ｄ）に示すように、品目または機能を親として持ち、名称が「機能００１」、「機能００２」等である機能が含まれている。
　製品仕様データ層１３３では、基板処理装置で採用される可能性のある部品や機能の相互関係や、必須／オプションの区別が規定されている。製品仕様データ層１３３では、部品テーブル（図５（ｃ））に示されるように、品目と部品とが関連付けられている。例えば、半導体洗浄装置（ＩＤ１、名称：「製品００１」）に対しては２種類のスピン処理ユニット、すなわち、「ユニット００１」（ＩＤ６）および「ユニット００２」（ＩＤ７）が関連づけられている。ＩＤ６の選択種別列にあるように「ユニット００１」は必須要素であるが、「ユニット００２」はオプション要素である。また、スピン処理ユニット（ＩＤ２）には「デバイス００１（ＩＤ８、名称：モーター）」と「デバイス００２（ＩＤ９、名称：モーター）」がそれぞれオプション部品として関連付けられている。さらに、機能テーブル（図５（ｄ））に示すように、製品仕様データ層１３３では、品目と機能とが関連付けられている。例えば、半導体洗浄装置に対しては「機能００１」が必須要素として関連付けられている。また、この「機能００１」には「機能００２」がオプション機能として関連付けられている。このように機能テーブルはデータを多層構造で保持している。
　また、図６（ｂ）に示すように、ユーザー要求と製品仕様とを関連付けた情報がユーザー要求－製品仕様関連情報テーブル（以下、単に「中位テーブル」という）１３６にまとめられ、記憶部１３０に記憶されている。例えば、ＩＤ１の行に示されるように、要求ＩＤ１が「有効」である場合には、仕様ＩＤ５（図５（Ｃ）に示す「製品００１」）と仕様ＩＤ７（「ユニット００２」）の組み合わせを製品仕様として採用するように設定されている。同様に、ＩＤ２の行に示されるように、要求ＩＤ２が「有効」である場合には、仕様ＩＤ５（「製品００１」）と仕様ＩＤ６（「ユニット００２」）と仕様ＩＤ８（「デバイス００１」））の組み合わせを製品仕様として採用するように設定されている。また、ＩＤ３の行に示されるように、要求ＩＤ２が「有効」である場合には、仕様ＩＤ５（「製品００１」）と仕様ＩＤ６（「ユニット００２」）と仕様ＩＤ９（「デバイス００２」））の組み合わせを製品仕様として採用しないように設定されている。このように、ユーザー要求と中位テーブル１３６に基づいて製品仕様を自動的に決定する事が可能となっている。
　さらに、製品仕様が決まると、それに対応するコンフィグレーションデータを自動決定することが可能である。そこで、製品仕様に関連するデータがコンフィグレーションデータの上位に位置付けられ、「製品仕様データ層１３３」と「コンフィグレーションデータ層１３４」が階層構造化された状態で記憶部１３０に記憶されている。また、製品仕様とコンフィグレーションデータとを関連付けた情報が製品仕様－コンフィグレーションデータ関連情報テーブル（以下、単に「下位テーブル」という）１３７にまとめられ、記憶部１３０に記憶されている。したがって、製品仕様と下位テーブル１３７に基づいてコンフィグレーションデータを自動的に決定する事が可能となっている。
　本実施形態では例えば図２に示すように、仕向け地、ユーザー要求、製品仕様およびコンフィグレーションデータの順序で階層構造化するとともに、仕向け地－ユーザー要求関連情報、ユーザー要求－製品仕様関連情報および製品仕様－コンフィグレーションデータ関連情報に基づいて各仕様およびコンフィグレーションデータを関連付けている。
　図１に戻ってデータ生成システム１の構成説明を続ける。制御ユニット１１０は、ＣＰＵおよびメモリなどを有するコンピュータを主体とし、予めメモリに記憶されているプログラムにしたがって、表示制御部１１１、仕様取得部１１２、データ生成部１１３および選択データ取得部１１４として機能する。制御ユニット１１０では、ＷＷＷ（World Wide Web）サーバープログラムが作動しており、メモリに記憶されている表示情報をクライアント端末２００のＷＥＢブラウザから閲覧可能となっている。
　表示制御部１１１は上記表示情報を制御してＷＥＢブラウザに表示される表示内容を切り替える。例えば作業者がクライアント端末２００のＷＥＢブラウザを操作してナレッジデータベースの全体表示を要求すると、表示制御部１１１は記憶部１３０に記憶されているデータ層１３１～１３４およびテーブル１３５～１３７に基づいて、例えば図２に示すようにナレッジデータベースを階層的に図表化した表示情報を作成する。これによって、ＷＥＢブラウザにより図２に示すような図表が表示部２２０に表示される。なお、図２はナレッジデータベースを概念的に示す図であり、概念理解の容易化のために、各データ層におけるデータ数ならびに各関連情報の数を大幅に絞り込んだ状態を示している。また必要に応じて、仕様取得部１１２で取得した仕様に関連するデータや情報のみを図表化した表示（図１０）、あるいは選択データ取得部１１４で取得したコンフィグレーションデータに関連するデータや情報のみを図表化した表示（図１２）に切り替えることが可能となっている。このようにナレッジデータベースの一部をピンポイントで視覚化する、いわゆるデータベースの見える化については、後で詳述する。
　仕様取得部１１２は、作業者がクライアント端末２００より入力した仕様に関する情報を取得し、その仕様情報をデータ生成部１１３に与える。また、選択データ取得部１１４は、作業者がクライアント端末２００より選択したコンフィグレーションデータに関する情報を取得し、その選択データ情報をデータ生成部１１３に与える。
　データ生成部１１３は、仕様取得部１１２から受け取った仕様に対応するコンフィグレーションデータをナレッジデータベースに基づいて生成する。また、データ生成部１１３は、データ生成機能の他に、ナレッジデータベースの見える化機能も併せて有している。以下、図１に示すデータ生成システム１によるコンフィグレーションデータの生成方法について図７ないし図９を参照しつつ説明した後で、上記見える化機能について図１０および図１２を参照しつつ説明する。
　図７および図８は図１に示すデータ生成システムの動作を示すフローチャートである。ある仕向け地に設置する基板処理装置に適合するコンフィグレーションデータを生成する場合、作業者はデータ生成システム１のクライアント端末２００を介してコンフィグレーションデータの生成を指示する。すると、データ生成システム１では、システムサーバー１００が通信ネットワーク３００を介して上記クライアント端末２００と双方向通信しながらクライアント端末２００と協働して上記基板処理装置に適合するコンフィグレーションデータを生成する。
　データ生成作業が開始されると、仕向け地を選択するのに適した画面、例えば図７の右上部に示したような仕向け地の選択用画面２２１がＷＥＢブラウザによって表示部２２０に表示され、作業者による仕向け地の入力・編集を許可する（ステップＳ１）。選択用画面２２１では、仕向け地が国、会社および工場の順序で段階的に表示されており、当該表示にしたがって仕向け地を国レベルから工場レベルに容易に絞り込み可能となっている。例えば仕向け地として「Ｙ２工場」をＷＥＢブラウザで選択すると、同選択用画面２２１に示すように、選択された「Ｙ２工場」ならびにこれに関連する「Ｙ社」および「米国」が明るく表示される（なお、同図の選択用画面２２１ではハッチング表示されている）。
　ここで、データ生成の対象となっている基板処理装置の仕向け地が既に選択用画面２２１に表示されているときには、上記例示のように作業者は操作部２３０のマウス等を操作して仕向け地を選択する。一方、選択用画面２２１にデータ生成の対象となっている基板処理装置の仕向け地が表示されていないときには、作業者はＷＥＢブラウザにより新規の仕向け地を追加し、または既存の仕向け地を変更する。
　こうして基板処理装置の仕向け地がＷＥＢブラウザで選択または入力されると、システムサーバー１００に当該仕向け地が取得される（ステップＳ２）。そして、上位テーブル１３５に含まれる仕向け地－ユーザー要求関連情報にしたがって各要求の有効・無効が自動的に設定される（ステップＳ３）。
　また、例えば図７の右中央に示すユーザー要求の設定用画面２２２がＷＥＢブラウザに表示され、作業者によるユーザー要求の編集が可能となっている（ステップＳ４）。
　ユーザー要求の設定用画面２２２には、記憶部１３０に記憶されてナレッジ化されたユーザー要求（例えば要求Ａ、子要求Ａ－、要求Ｂ、子要求Ｂ－、Ｂ－）が表示され、各要求に対して有効・無効が自動設定されている。同図の設定用画面２２２では、有効化された要求または子要求がハッチング表示されている。
　次に、記憶部１３０に記憶されていないユーザー要求が存在する、つまりナレッジ化されていない非ナレッジのユーザー要求がある場合（ステップＳ５で「ＹＥＳ」の場合）について説明する。例えば、「Ｙ２工場」（仕向け地データ層１３１）と「ユーザー要求Ａ」（ユーザー要求データ層１３２）とが関連づけられていないとする。この場合、ステップ１で「Ｙ２工場」が選択されると、仕向け地－ユーザー要求関連情報に基づき、「ユーザー要求Ａ」は自動的に無効となるため、ユーザー要求の設定用画面２２２で「ユーザー要求Ａ」は明るく表示されない。しかし、特注対応等で、「Ｙ２工場」向けに「ユーザー要求Ａ」を選ぶ必要が生じた場合には、作業者はステップＳ５で「ＹＥＳ」を選択する。すると、ユーザー要求の設定用画面２２２上でユーザー要求の追加や変更などの編集が受け付けられるようになる（ステップＳ６）。作業者はこの画面２２２上でマウス操作等の編集作業を行うことにより、現状無効の要求Ａを有効にすることができる。但し、親要求Ａが無効なままで子要求Ａ－だけを有効にする編集はできない。この編集により、ステップＳ２で取得された要求Ａと上位階層データとの関連付け（「Ｙ２工場」→「要求Ａ」→「子要求Ａ－」）を示す関連性情報が生成される。上記関連性情報はコンフィグレーションデータ設定完了まで暫定的に保持されるデータであり、仕向け地－ユーザー要求関連情報テーブル１３５には反映されないデータである。なお、このような非ナレッジのデータに対する編集・暫定保持動作については、後で説明する非ナレッジの製品使用やコンフィグレーションデータについても同様である。
　ステップＳ５で非ナレッジのユーザー要求がないと判断された、またはステップＳ６での編集が完了すると、中位テーブル１３６に含まれるユーザー要求－製品仕様関連情報にしたがって各製品仕様の採用・不採用が自動的に設定される（ステップＳ７）。また、例えば図８の右上部に示す製品仕様の設定用画面２２３がＷＥＢブラウザによって表示部２２０に表示され、作業者による製品仕様の編集が可能となっている（ステップＳ８）。同図の設定用画面２２３では、採用された製品仕様（製品、ユニット、サブユニット、機能）がハッチング表示されている。
　製品仕様の設定用画面２２３には、記憶部１３０に記憶されてナレッジ化された製品仕様が表示され、各製品仕様に対して採用・不採用が自動設定されている。ここで、記憶部１３０に記憶されていない製品仕様が存在する、つまりナレッジ化されていない非ナレッジの製品仕様がある（ステップＳ９で「ＹＥＳ」）場合、ユーザー要求の場合と同様に、ＷＥＢブラウザによる製品仕様の追加や変更などの編集が受け付けられる（ステップＳ１０）。
　ステップＳ９で非ナレッジの製品仕様がないと判断された、またはステップＳ１０での編集が完了すると、下位テーブル１３７に含まれる製品仕様－コンフィグレーションデータ関連情報に対応するコンフィグレーションデータが選択的に抽出され、ＷＥＢブラウザによって表示部２２０に表示される（ステップＳ１１）。ここで、記憶部１３０に記憶されていないコンフィグレーションデータが存在する、つまりナレッジ化されていない非ナレッジのコンフィグレーションデータがある（ステップＳ１２で「ＹＥＳ」）場合、ユーザー要求の場合と同様に、ＷＥＢブラウザによるコンフィグレーションデータの追加や変更などの編集が受け付けられる（ステップＳ１３）。
　ステップＳ１２で非ナレッジのコンフィグレーションデータがないと判断された、またはステップＳ１３での編集が完了することで、データ生成の対象となっている基板処理装置に適合する、例えば図９に示すようにＸＭＬ（Extensible Markup Language）形式のコンフィグレーションデータが完成する。そして、データ生成システム１は当該コンフィグレーションデータを出力する（ステップＳ１４）。なお、本実施形態では、コンフィグレーションデータがＸＭＬ形式で記述されるため、ＸＭＬデータベースを用いている。
　以上のように、本実施形態では、図２に示すように、基板処理装置の仕様として仕向け地、ユーザー要求および製品仕様が設定されるとともに、これらとコンフィグレーションデータが関連付けられて４階層に構造化されている。このように仕様とコンフィグレーションデータとが作業者に分かりやすい形でナレッジデータベース化されている。しかも、当該ナレッジデータベースには、仕向け地データ層、ユーザー要求データ層、製品仕様データ層およびコンフィグレーションデータの階層間での関連を示す３つの関連情報（ナレッジ）が含まれている。そして、これらの関連情報にしたがって基板処理装置の仕様に対応するコンフィグレーションデータをナレッジデータベースから選択する。したがって、データ生成時における作業者の工数および記述ミスを削減することができる。また、データの正当性を判断することも容易なものとなる。その結果、高品質なコンフィグレーションデータを少ない作業工数で効率的に生成することができる。
　また、データ生成中に非ナレッジのデータが存在する毎に、ＷＥＢブラウザにより当該データを編集し、ナレッジデータベースに追加することが可能となっている。また、関連情報についても非ナレッジデータと同様に、適宜編集されてナレッジデータベースに追加される。このため、当該編集追加を繰り返していくことでナレッジデータベースが成長してデータ生成をより簡易に、しかもより高精度に行うことが可能となる。
　ところで、上記実施形態では、４つのデータ層および３つの関連情報によりナレッジデータベースを構成しているため、受注設計生産型の業態においてもデータ構造の理解が容易化されている。つまり、上位データ層でのデータ選択がその下のデータ層中のデータに直接的または派生的に与える影響を直観的に理解可能となっている。しかしながら、上記したように開発が進むにしたがってデータや関連情報が追加される。そのため、ナレッジデータベースが複雑化することは否めず、編集が困難となることもある。
　また、上位データ層でのデータ選択は下位データ層に対して連鎖的な影響を与え、しかも当該影響が直下のデータ層のみならず、さらに下位に位置するデータ層にも及ぶことがある。さらに、下位データ層でのデータ選択が上位のデータ層にどのような影響を与えるかという点を、データ生成時に考慮するのが望ましいこともある。このように、ある階層におけるデータ選択がどの階層のデータに影響を与えるかを理解することはデータ生成において重要であるが、データ数の増大にしたがって当該理解にはスキルが必要となってくる。
　そこで、図１のデータ生成システム１は２種類の見える化機能、つまり(1)上位データ層でのデータ選択が下位データ層に与える順方向の影響を視覚化する機能と、(2)逆に、下位データ層でのデータ選択が上位データ層に与える逆方向の影響を視覚化する機能とを備えている。これによって、スキルを有さない作業者であっても、ある階層におけるデータ選択が他の階層のデータにどのように影響を与えるかを直観的に理解可能となっている。
　図１０は図１のデータ生成システムにおける順方向の見える化機能を概念的に示す図である。このデータ生成システム１では、作業者がクライアント端末２００の操作部２３０を操作して順方向の見える化機能を実行すると、システムサーバー１００の制御ユニット１１０は予めメモリに記憶されている順方向見える化プログラムにしたがって動作する。より詳しくは、作業者が見える化を希望するデータ（例えば図１０では仕向け地データ層中の仕向地Ｅ）がＷＥＢブラウザで選択されると、当該選択データおよび当該選択データにより影響を受ける下位データ層のデータのみが表示部２２０に表示される（図１０）。これにより選択データを起点に順方向に及ぶ影響が表示部２２０に表示された図表から直観的に、かつ容易に理解することができる。なお、図１０に示す一例では、仕向け地を選択しているが、ユーザー要求データ層や製品仕様データ層のデータを選択すると、これを起点として順方向に及ぶ影響が表示部２２０に表示される。
　また、本画面において、各種仕様変更を行うこともできる。例えば、作業者によって仕向け地を仕向け地Ｅから仕向け地Ｂに変更したとする。この場合、図１１に示すように、仕向け地データ層１３１より下位のデータ層が順番に書き換えられると共に、見える化プログラムによってユーザー要求データ層１３２における仕様変更の連鎖的影響が作業者に直観的に示される。また、図７のステップＳ６で説明したようなユーザー要求や製品仕様の設定変更も本画面において行うことができ、その場合にも図１１のような連鎖的影響を作業者に直観的に理解させることができる。
　図１２は図１のデータ生成システムにおける逆方向の見える化機能を概念的に示す図である。このデータ生成システム１では、作業者がクライアント端末２００の操作部２３０を操作して逆方向の見える化機能を実行すると、システムサーバー１００の制御ユニット１１０は予めメモリに記憶されている逆方向見える化プログラムにしたがって動作する。より詳しくは、順方向と正反対の向きの見える化が実行される。つまり、作業者が見える化を希望するデータ（例えば図１２ではコンフィグレーションデータ層中のコンフィグレーションデータＢ）がＷＥＢブラウザで選択されると、当該選択データおよび当該選択データにより影響を受ける上位データ層のデータのみが表示部２２０に表示される（図１２）。これにより選択データを起点に逆方向に及ぶ影響が表示部２２０に表示された図表から直観的に、かつ容易に理解することができる。なお、図１２に示す一例では、コンフィグレーションデータを選択しているが、ユーザー要求データ層や製品仕様データ層のデータを選択すると、これを起点として逆方向に及ぶ影響が表示部２２０に表示される。
  なお、本画面においても各種仕様変更、ユーザー要求や製品使用の設定を変更することが可能である。たとえば、作業者がマウス等によりコンフィグレーションデータをデータＢからデータＥに変更すると、逆方向見える化プログラムは図１２の画面を図１３の画面に変更する。
　コンフィグレーションデータＥを起点に逆方向にたどっていくと、コンフィグレーションデータＢのときは不要だった、製品仕様Ｅが必要になることがわかる。また、ユーザー要求Ｂに対応していないことも分かる。コンフィグレーションデータを作成・編集する作業者は、図１３の画面を参照することにより、コンフィグレーションデータの修正が上流側にどのような変更を及ぼすかを直観的に理解することができる。
　以上のように、見える化機能を設けたことによって、スキルを有さない作業者であっても、ある階層の選択データが他の階層のデータにどのように影響を与えるかを直観的に理解することができる。したがって、作業者は正確に項目設定を行うことができる。また、見える化機能によって関連情報の正誤や抜け等を判断し易くなり、関連情報の更新を適切に行うことが可能となっている。さらに、見える化機能によって表示部２２０に表示される図表を、ナレッジデータベースに設定されているデータを微調整する際の参考として用いることができる。これによってナレッジデータベースのブラッシュアップを効率的に行うことができる。
　なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、コンフィグレーションデータがＸＭＬ形式で記述されているが、データ形式はこれに限定されるものではなく、ＣＳＶ（Comma Separated Values）形式やＩＮＩ形式などの他の形式であってもよい。また、コンフィグレーションデータがＣＳＶ形式やＩＮＩ形式であれば、リレーショナルデータベースを用いるのが好適であるが、データベースの種類は上記したＸＭＬデータベースやリレーショナルデータベースに限定されるものではなく、これもデータ形式と同様に、任意である。
　また、上記実施形態では、クライアント端末２００を設け、当該クライアント端末２００でＷＥＢブラウザを起動して各種データ選択やデータ編集などを行っているが、クライアント端末２００は本発明の必須構成ではない。つまり、システムサーバー１００に表示部や操作部を装備させてシステムサーバー１００で全処理を実行するように構成してもよい。
　また、上記実施形態では、基板処理装置の仕様として仕向け地、ユーザー要求及び製品仕様を設定し、これら３種類の仕様を階層構造化して記憶しているが、基板処理装置の仕様の種類や階層数については任意である。ただし、基板処理装置の仕様を２種類あるいは４種類以上で構成する場合には、上記実施形態と同様に、階層間での仕様の関連を示す関連情報を作成し、記憶部１３０に記憶しておく必要がある。
　さらに、上記実施形態では、ステップＳ６等で生成した、非ナレッジ化されていない関連性情報を暫定的に保持するだけで恒久的な情報として記憶することはなかった。しかし、本情報を、仕向け地－ユーザー要求関連情報テーブル１３５等のテーブルに恒久的な情報として反映させるようにしてもよい。
　この発明は、基板処理装置の仕様に対応して基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成技術全般に適用することができる。
　１…データ生成システム
　１００…システムサーバー
　１１０…制御ユニット
　１１１…表示制御部
　１１２…仕様取得部
　１１３…データ生成部
　１１４…選択データ取得部
　１３０…記憶部
　１３１…仕向け地データ層
　１３２…ユーザー要求データ層
　１３３…製品仕様データ層
　１３４…コンフィグレーションデータ層
　１３５…仕向け地－ユーザー要求関連情報テーブル
　１３６…ユーザー要求－製品仕様関連情報テーブル
　１３７…製品仕様－コンフィグレーションデータ関連情報テーブル
　２２０…表示部

Claims (8)

  1. 　基板処理装置の仕様に対応して前記基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成システムであって、
    　互いに異なる複数の仕様および互いに異なる複数のコンフィグレーションデータを階層構造化して記憶するとともに、仕様とコンフィグレーションデータとの階層間での関連を示す関連情報を記憶する記憶部と、
    　前記基板処理装置の仕様を取得する仕様取得部と、
    　前記仕様取得部が取得した仕様に対応するコンフィグレーションデータを前記関連情報に基づいて前記複数のコンフィグレーションデータから選択し、前記仕様取得部で取得した仕様を有する基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成部と、
    を備えるデータ生成システム。
  2. 　請求項１に記載のデータ生成システムであって、
    　前記記憶部は、前記複数の仕様をさらに階層構造化して記憶するとともに、階層間での仕様の関連を示す関連情報を記憶するデータ生成システム。
  3. 　請求項１または２に記載のデータ生成システムであって、
    　前記複数の仕様と前記複数のコンフィグレーションデータとの階層構造を表示する表示部をさらに備えるデータ生成システム。
  4. 　請求項３に記載のデータ生成システムであって、
    　前記表示部は、前記仕様取得部が仕様を取得すると、前記仕様取得部に取得された当該仕様と当該仕様に関連するコンフィグレーションデータとの階層構造のみを選択的に表示するデータ生成システム。
  5. 　請求項３に記載のデータ生成システムであって、
    　前記複数のコンフィグレーションデータから一の選択を受け取るデータ選択部をさらに備え、
    　前記表示部は、前記データ選択部がコンフィグレーションデータの選択を受け取ると、前記データ選択部に受け取られたコンフィグレーションデータと当該コンフィグレーションデータに関連する仕様との階層構造のみを選択的に表示するデータ生成システム。
  6. 　請求項１ないし５のいずれか一項に記載のデータ生成システムであって、
    　前記データ生成部は、前記仕様取得部が取得した仕様に対応するコンフィグレーションデータが前記記憶部に含まれないとき、当該仕様に対応するコンフィグレーションデータの編集を許容するデータ生成システム。
  7. 　請求項６に記載のデータ生成システムであって、
    　前記データ生成部は、編集された当該コンフィグレーションデータと、当該コンフィグレーションデータおよび前記仕様取得部が取得した仕様の関連情報とを前記記憶部に書き込むデータ生成システム。
  8. 　基板処理装置の仕様に対応して前記基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成方法であって、
    　予め互いに異なる複数の仕様および互いに異なる複数のコンフィグレーションデータを階層構造化した階層化情報と、仕様とコンフィグレーションデータとの階層間での関連を示す関連情報とを含むナレッジデータベースを生成する工程と、
    　前記基板処理装置の仕様に対応するコンフィグレーションデータを前記関連情報に基づいて前記ナレッジデータベースから選択する工程と、
    　選択されたコンフィグレーションデータを、前記基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータとする工程と
    を備えるデータ生成方法。
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