WO2013146816A1 - 分光計測用フォトダイオードアレイ及び分光計測装置 - Google Patents
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Abstract
Description
各グループがそれぞれ前記配列方向に隣接した1個以上のフォトダイオードを含み且つ少なくとも1つのグループが2個以上のフォトダイオードを含むように、前記複数のフォトダイオードの全てが複数のグループに区分され、
それらグループは、グループ毎に共通の透過率特性を有し且つ隣接するグループ間では異なる透過率特性を有する反射防止膜で被覆されてなることを特徴としている。
この構成によれば、製造工程を簡略化することができ、コスト的に有利である。
分光器による波長分散光の波長分散方向に前記複数のフォトダイオードの配列方向が一致するように、該分光器及び前記分光計測用フォトダイオードアレイが配置されていることを特徴としている。
好適な誘電体材料としては、屈折率の虚部(消衰係数)kが0又はそれに近い値であることが望ましい。例えば、酸化シリコン(SiO2)や酸化アルミニウム(Al2O3)は、200[nm]~1100[nm]の波長領域において反射防止膜の膜層材料として好適である。これに対し、誘電体である酸化チタン(TiO2)は、350[nm]以下の波長領域において消衰係数kが大きいので、それより長い波長領域に利用が限定される。また窒化シリコン(Si3N4)は、200[nm]付近の波長領域において消衰係数kが大きいので、それより長い波長領域に利用が限定される。
なお、図2に示した各材質の屈折率は、典型的な製膜条件で作製された場合の値であり、別の製膜条件では図2に示した値とは異なる値を取りうる場合が考えられる。そのような場合には、各材質が反射防止膜の膜層の材料として好適である波長範囲が、上記の例に示した波長範囲とは異なったものになることは明らかである。
この第4実施例では、200[nm]~320[nm]の波長領域の光が入射するPDは6つのグループに区分され、シリコン基板102上に、膜厚が43[nm]~83[nm]の範囲でグループ毎に異なる膜厚を有する酸化シリコン膜層104、膜厚が7[nm]であるアルミニウム膜層109、及び、膜厚が58[nm]である酸化シリコン膜層107がそれぞれ積層されることで、反射防止膜103が形成されている。第4実施例では、反射防止膜の透過率特性について、第3実施例に比べればやや劣るものの第1及び第2実施例とほぼ同等の特性が実現されている。
即ち、上述したように、反射防止膜を構成する膜層の材料は上記記載の例を含めて様々に変更することができる。また、その膜厚も適宜変更することができる。また、上記各実施例で示した測定波長範囲全体を複数のグループに区分する境界波長は一例であり、任意に変更することができる。ただし、上記理由により、一般に紫外波長域では可視波長域や近赤外波長域に比べて細かい区分が必要となり、必然的に同じ波長幅におけるグループ数は多くなる。
2、6…レンズ
3…シャッタ
4…試料セル
5…溶液試料
7…スリット
8…分光器
10…フォトダイオードアレイ(PDA)検出器
100…フォトダイオードアレイ(PDA)
101…フォトダイオード(PD)
102…シリコン基板
103…反射防止膜
104、107…酸化シリコン膜層
105、108…酸化アルミニウム膜層
106、110…窒化シリコン膜層
109…アルミニウム膜層
Claims (10)
- 複数のフォトダイオードが一次元的に配列されてなり、分光器により波長分散された波長分散光を並行して検出するために、前記フォトダイオードの配列方向とその波長分散方向とが一致するように配置される分光計測用のフォトダイオードアレイであって、
各グループがそれぞれ前記配列方向に隣接した1個以上のフォトダイオードを含み且つ少なくとも1つのグループが2個以上のフォトダイオードを含むように、前記複数のフォトダイオードの全てが複数のグループに区分され、
それらグループは、グループ毎に共通の透過率特性を有し且つ隣接するグループ間では異なる透過率特性を有する反射防止膜で被覆されてなることを特徴とする分光計測用フォトダイオードアレイ。 - 請求項1に記載の分光計測用フォトダイオードアレイであって、
前記グループ毎に異なる反射防止膜は、当該グループに属する全てのフォトダイオードの表面がそれらフォトダイオードに入射する光の波長域の中で透過率が極大を示すような透過率特性を有することを特徴とする分光計測用フォトダイオードアレイ。 - 請求項1又は2に記載の分光計測用フォトダイオードアレイであって、
少なくとも紫外波長域とこれに連続する可視波長域とを含む波長域の光を測定対象とし、紫外波長域の光が入射するフォトダイオードが属するグループの数が、可視波長域の光が入射するフォトダイオードが属するグループの数よりも多く、且つ紫外波長域の光が入射するフォトダイオードが3つ以上のグループに区分されていることを特徴とする分光計測用フォトダイオードアレイ。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の分光計測用フォトダイオードアレイであって、
各グループにおいて、そのグループに属するフォトダイオードの表面を被覆している反射防止膜の透過率の最小値は、同波長範囲の透過率の最大値の75%以上であることを特徴とする分光計測用フォトダイオードアレイ。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の分光計測用フォトダイオードアレイであって、
フォトダイオードが形成されている基板の材質がシリコンであり、且つ前記反射防止膜を構成する膜層の材質が、酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化シリコン、アルミニウム、酸化イットリウム、フッ化マグネシウム、酸化ハフニウム、酸化チタニウム、又は銀の少なくとも一つを含むことを特徴とする分光計測用フォトダイオードアレイ。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の分光計測用フォトダイオードアレイであって、
複数のグループに属するフォトダイオードを被覆する反射防止膜は、材質及び厚さが共通である膜層を含むことを特徴とする分光計測用フォトダイオードアレイ。 - 請求項6に記載の分光計測用フォトダイオードアレイであって、
前記反射防止膜は、材質及び厚さが共通である膜層に加えて、材質が共通で厚さのみが異なる少なくとも一つの膜層を含むことを特徴とする分光計測用フォトダイオードアレイ。 - 請求項6に記載の分光計測用フォトダイオードアレイであって、
前記反射防止膜は、基板であるシリコン表面に接する酸化シリコンの膜層と、この酸化シリコンの膜層の次に積層される、酸化シリコンより屈折率の実部が大きい誘電体の膜層とを共通に含むことを特徴とする分光計測用フォトダイオードアレイ。 - 請求項6に記載の分光計測用フォトダイオードアレイであって、
前記反射防止膜は、基板であるシリコン表面に接する酸化シリコンの膜層と、この酸化シリコンの膜層の次に積層される、金属の膜層とを共通に含むことを特徴とする分光計測用フォトダイオードアレイ。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載の分光計測用フォトダイオードアレイを検出器として用いた分光計測装置であって、
分光器による波長分散光の波長分散方向に、前記分光計測用フォトダイオードアレイの複数のフォトダイオードが一次元的に配列されてなることを特徴とする分光計測装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2922097A1 (fr) * | 2014-03-20 | 2015-09-23 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procédé d'optimisation du rendement quantique d'une photodiode |
JP2018163968A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-18 | エイブリック株式会社 | 紫外線受光素子を有する半導体装置およびその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05188202A (ja) * | 1992-01-10 | 1993-07-30 | Canon Inc | 多層光学薄膜 |
JPH06229829A (ja) * | 1993-02-04 | 1994-08-19 | Olympus Optical Co Ltd | 受光素子アレイ |
JP2001013304A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Olympus Optical Co Ltd | 光学部品 |
JP2003139611A (ja) * | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分光光度計 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5354989A (en) | 1992-12-28 | 1994-10-11 | Advanced Fuel Research Inc. | Superconducting detector assembly and apparatus utilizing same |
US7085492B2 (en) * | 2001-08-27 | 2006-08-01 | Ibsen Photonics A/S | Wavelength division multiplexed device |
US7901870B1 (en) * | 2004-05-12 | 2011-03-08 | Cirrex Systems Llc | Adjusting optical properties of optical thin films |
DE102009021936A1 (de) | 2009-05-19 | 2010-11-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Optisches Filter und ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Filters |
-
2013
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05188202A (ja) * | 1992-01-10 | 1993-07-30 | Canon Inc | 多層光学薄膜 |
JPH06229829A (ja) * | 1993-02-04 | 1994-08-19 | Olympus Optical Co Ltd | 受光素子アレイ |
JP2001013304A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Olympus Optical Co Ltd | 光学部品 |
JP2003139611A (ja) * | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分光光度計 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
"NMOS linear image sensor S3901/S3904 series", HAMAMATSU PHOTONICS K. K., 17 January 2012 (2012-01-17), Retrieved from the Internet <URL:http://jp.hamamatsu.com/resources/products/ssd/pdf/s3901-128q_etc_kmpd1036j03.pdf> |
See also references of EP2833106A4 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2922097A1 (fr) * | 2014-03-20 | 2015-09-23 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procédé d'optimisation du rendement quantique d'une photodiode |
FR3018954A1 (fr) * | 2014-03-20 | 2015-09-25 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'optimisation du rendement quantique d'une photodiode |
US9812615B2 (en) | 2014-03-20 | 2017-11-07 | Stmicroelectronics Sa | Method of optimizing the quantum efficiency of a photodiode |
JP2018163968A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-18 | エイブリック株式会社 | 紫外線受光素子を有する半導体装置およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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