WO2013105520A1 - 銅箔複合体、並びに成形体及びその製造方法 - Google Patents

銅箔複合体、並びに成形体及びその製造方法 Download PDF

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resin layer
layer
copper
foil composite
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田中　幸一郎
和樹 冠
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Jx日鉱日石金属株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a copper foil composite formed by laminating a copper foil and a resin layer, a molded body, and a method for producing the same.
  • Copper foil composites made by laminating copper foil and resin layers are applied to FPCs (flexible printed circuit boards), electromagnetic shielding materials, RF-IDs (wireless IC tags), planar heating elements, radiators, etc. .
  • FPC flexible printed circuit boards
  • RF-IDs wireless IC tags
  • planar heating elements radiators, etc.
  • a circuit of copper foil is formed on a base resin layer, and a coverlay film that protects the circuit covers the circuit, and has a laminated structure of resin layer / copper foil / resin layer.
  • a bendability represented by MIT bendability and a high cycle bendability represented by IPC bendability are required, and a copper foil excellent in bendability and bendability. Complexes have been proposed (for example, Patent Documents 1 to 3).
  • FPC can be bent at a movable part such as a hinge part of a mobile phone, or it can be bent to reduce the circuit space.
  • Deformation modes include the MIT bending test and the IPC bending test described above. As represented, it is uniaxial bending and is designed not to be in a severe deformation mode.
  • the copper foil composite when used for electromagnetic shielding materials, etc., it has a laminated structure of resin layer / copper foil, but the surface of such a copper foil composite has corrosion resistance and stable for a long time. It is required to exhibit the electrical contact performance.
  • the structure including the circuit can be matched to the product shape.
  • the object of the present invention is to prevent the copper foil from cracking even when severe deformation (complex) different from uniaxial bending such as press working is performed, and it is excellent in workability, and further has improved corrosion resistance and electrical contact performance. It is providing the copper foil composite_body
  • the present inventors transmitted the deformation behavior of the resin layer to the copper foil, and deformed the copper foil in the same manner as the resin layer, thereby making it difficult to constrict the copper foil and improving the ductility.
  • the inventors have found that this can be prevented, and have reached the present invention. That is, the characteristics of the resin layer and the copper foil were defined so that the deformation behavior of the resin layer was transmitted to the copper foil. Furthermore, a coating layer on the surface of the copper foil was defined in order to stably exhibit corrosion resistance and electrical contact performance for a long period of time.
  • the copper foil composite of the present invention is a copper foil composite in which a copper foil and a resin layer are laminated, and the copper foil has a thickness of t 2 (mm) and a tensile strain of 4%.
  • the stress is f 2 (MPa)
  • the thickness of the resin layer is t 3 (mm)
  • the stress of the resin layer at 4% tensile strain is f 3 (MPa)
  • Formula 1 (f 3 ⁇ t 3 ) / (F 2 ⁇ t 2 ) ⁇ 1
  • the 180 ° peel adhesion strength between the copper foil and the resin layer is f 1 (N / mm)
  • the strength at 30% tensile strain of the copper foil composite Is F (MPa)
  • the thickness of the copper foil composite is T (mm)
  • the formula 2 1 ⁇ 33f 1 / (F ⁇ T) is satisfied, and the resin layer of the copper foil is laminated.
  • the total thickness of the Ni layer and / or Ni alloy layer is preferably 0.001 to 0.50 ⁇ m. It is preferable that Formula 1 and Formula 2 hold at a temperature lower than the glass transition temperature of the resin layer. It is preferable that the ratio 1 / L between the tensile breaking strain 1 of the copper foil composite and the tensile breaking strain L of the resin layer alone is 0.7-1.
  • the molded body of the present invention is obtained by processing the metal foil composite.
  • the molded body of the present invention can be three-dimensionally processed by, for example, pressing, overhanging using upper and lower molds, or other processing for drawing.
  • the manufacturing method of the molded object of this invention processes the said metal foil composite.
  • the copper foil is prevented from cracking even when severe deformation (complex) different from uniaxial bending such as press working is performed, and the workability is excellent, and further, corrosion resistance and electrical contact performance are improved over a long period of time.
  • a copper foil composite that stably exhibits can be obtained.
  • the copper foil composite of the present invention is configured by laminating a copper foil and a resin layer.
  • the copper foil composite of the present invention can be applied to, for example, an FPC (flexible printed circuit board), an electromagnetic shielding material, an RF-ID (wireless IC tag), a planar heating element, and a radiator, but is not limited thereto. It doesn't mean.
  • the thickness t 2 of the copper foil is preferably 0.004 to 0.05 mm (4 to 50 ⁇ m). t 2 is significantly lowered the ductility of the copper foil is less than 0.004 mm (4 [mu] m), there is a case where workability of the copper foil composite is not improved.
  • the copper foil preferably has a tensile breaking strain of 4% or more. If t 2 is more than 0.05 mm (50 [mu] m), the influence of the copper foil single characteristic when the copper foil complexes appear large, there is a case where workability of the copper foil composite is not improved.
  • a rolled copper foil As the copper foil, a rolled copper foil, an electrolytic copper foil, a copper foil made of metallization, or the like can be used, and a rolled copper foil that can reduce strength (f 2 ) while being excellent in workability by recrystallization is preferable. If a treatment layer for adhesion and rust prevention is formed on the surface of the copper foil, these are also included in the copper foil.
  • ⁇ Resin layer> It does not restrict
  • the resin film include PET (polyethylene terephthalate) film, PEN (polyethylene naphthalate), PI (polyimide) film, LCP (liquid crystal polymer) film, and PP (polypropylene) film.
  • an adhesive may be used between the resin film and the copper foil, or the resin film may be thermocompression bonded to the copper foil. Further, if the strength of the adhesive layer is low, it is difficult to improve the workability of the copper foil composite.
  • the strength of the adhesive layer is preferably 1/3 or more of the stress (f 3 ) of the resin layer.
  • the technical idea is that the deformation behavior of the resin layer is transmitted to the copper foil, and the copper foil is also deformed in the same manner as the resin layer, thereby making the copper foil less constricted and improving the ductility. If the strength of the adhesive layer is low, deformation is relaxed by the adhesive layer, and the behavior of the resin is not transmitted to the copper foil.
  • the characteristic of the resin layer mentioned later targets what combined the adhesive bond layer and the resin layer.
  • the thickness t 3 of the resin layer is preferably 0.012 to 0.12 mm (12 to 120 ⁇ m). If t 3 is less than 0.012 mm (12 ⁇ m), (f 3 ⁇ t 3 ) / (f 2 ⁇ t 2 ) ⁇ 1 in some cases. When t 3 is thicker than 0.12 mm (120 [mu] m), too high rigidity decreases the flexibility of the resin layer (flexibility) is, workability is deteriorated.
  • the resin layer preferably has a tensile breaking strain of 40% or more.
  • Examples of the combination of the copper foil composite in which the copper foil and the resin layer are laminated include a two-layer structure of copper foil / resin layer and a three-layer structure of copper foil / resin layer / copper foil.
  • the total value of (f 2 ⁇ t 2 ) is calculated for each of the two copper foils (f 2 ⁇ t It is assumed that the value of 2 ) is added.
  • the copper foil is thin, it tends to be constricted in the thickness direction. When the constriction occurs, the copper foil breaks, and the ductility decreases.
  • the resin layer has a feature that it is difficult for necking to occur when it is pulled (a wide region of uniform strain). Therefore, in the composite of copper foil and resin layer, the deformation behavior of the resin layer is transmitted to the copper foil, and the copper foil is also deformed in the same manner as the resin, so that the copper foil is less likely to be constricted and the ductility is improved. To do.
  • shear adhesive strength is considered to be a direct indicator. However, if the adhesive strength is increased and the shear adhesive strength is set to the same level as the strength of the copper foil composite, measurement is performed because locations other than the adhesive surface break. Becomes difficult.
  • the value of 180 ° peel adhesion strength f 1 is used in the present invention.
  • shear bond strength and 180 ° peel adhesive strength are completely different, there was a correlation between workability, tensile elongation, and 180 ° peel adhesive strength. It was used as an index.
  • “strength at break shear adhesion strength”. For example, when a tensile strain of 30% or more is required, “30% flow stress ⁇ shear adhesion” When the tensile strain of 50% or more is required, it is considered that “50% flow stress ⁇ shear adhesion”.
  • the workability was improved when the tensile strain was 30% or more. Therefore, as described later, the strength at the tensile strain of 30% was adopted as the strength F of the copper foil composite. It is said.
  • Figure 1 is a diagram showing experimentally the relationship f 1 and (F ⁇ T), are plotted the values of f 1 of each of the following examples and comparative examples (F ⁇ T).
  • (F ⁇ T) is a force applied to the copper foil composite with a tensile strain of 30%. If this is regarded as the minimum shear bond strength necessary for improving the workability, f 1 and (F ⁇ T) ) Have the same absolute value, they are correlated with a slope of 1. However, in FIG.
  • each comparative example with inferior workability has a correlation coefficient of f 1 with respect to (F ⁇ T) (that is, , through the origin of Figure 1, it is inferior f 1 gradient) is small relative to it by 180 ° peel adhesive strength (F ⁇ T).
  • the slope of each example is larger than the slope of each comparative example, but the slope of Example 18 (the one that broke at a strain of 30%) having the smallest slope was 1/33.
  • the correlation coefficient between the minimum shear bond strength and 180 ° peel bond strength required to improve was considered. That is, the shear adhesive strength was regarded as 33 times the 180 ° peel adhesive strength f 1.
  • the slope of FIG. 1 exceeded 1/33, but since formula 1: (f 3 ⁇ t 3 ) / (f 2 ⁇ t 2 ) described later was less than 1, workability was reduced. Has deteriorated.
  • the 180 ° peel strength is a force per unit width (N / mm).
  • N / mm the value with the lowest 180 ° peel adhesion strength is used among the adhesion surfaces. This is because the weakest adhesive surface peels off.
  • the adhesive strength can be increased by changing the pressure and temperature conditions when the copper foil and the resin layer are laminated and combined. It is better to increase both the pressure and temperature during lamination as long as the resin layer is not damaged.
  • a Cr oxide layer is provided on the surface of the copper foil (surface on the resin layer side, hereinafter referred to as “adhesion surface” as appropriate) by chromate treatment or the like. And a roughening treatment, a Ni layer or a Ni alloy layer is provided on the surface of the copper foil, and a Cr oxide layer is provided after Ni is coated on the surface of the copper foil.
  • a Ni layer or a Ni alloy layer is formed on the copper foil surface (non-adhesive surface) opposite to the resin layer, and at the same time as this Ni layer or Ni alloy layer is formed on the non-adhesive surface.
  • a Ni layer or a Ni alloy layer may also be formed on the bonding surface.
  • a Cr oxide layer may be formed after forming a Ni layer or a Ni alloy layer on the bonding surface. The thickness of the Cr oxide layer on the bonding surface side is preferably 5 to 100 ⁇ g / dm 2 in terms of Cr weight. This thickness is calculated from the chromium content by wet analysis.
  • the presence of the Cr oxide layer can be determined by whether or not Cr can be detected by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) (Cr peak is shifted by oxidation).
  • the thickness of the Ni layer or Ni alloy layer on the bonding surface side is preferably 0.001 to 5.0 ⁇ m. When the thickness of the Ni layer or the Ni alloy layer exceeds 5.0 ⁇ m, the ductility of the copper foil (and the copper foil composite) may be lowered. Further, the adhesive strength can be increased by changing the pressure and temperature conditions when the copper foil and the resin layer are laminated and combined. It is better to increase both the pressure and temperature during lamination as long as the resin layer is not damaged.
  • the surface of the copper foil on which the resin layer is not laminated is provided with a Ni layer and / or a Ni alloy having a total thickness of 0.001 to 5.0 ⁇ m in order to provide stable electrical contact properties for a long period of time. Form a layer. If the total thickness of these layers is less than 0.001 ⁇ m, stable electrical contact performance cannot be obtained. As the total thickness of these layers increases, the stability of the electrical contact performance improves, but the above effect is saturated even if the total thickness exceeds 5.0 ⁇ m.
  • the total thickness of the Ni layer and / or Ni alloy layer is preferably 0.001 to 0.50 ⁇ m, more preferably 0.005 to 0.10 ⁇ m.
  • the Ni alloy layer contains 20 wt% or more of Ni, and further contains one or more of Zn, Sn, Co, Cr, Mn, V, P, B, W, Mo, Fe in total 5 wt% or more, and the balance Is preferably an alloy which is an inevitable impurity.
  • at least one of the above-described Ni layer or Ni alloy layer may be formed on the non-bonded surface of the copper foil.
  • the order may be the Ni layer / Ni alloy layer from the outermost surface, or the order of the Ni alloy layer / Ni layer from the outermost surface. Good.
  • the “total thickness” is a total value of the thickness of the Ni layer and the thickness of the Ni alloy layer.
  • Equation 1 represents the ratio of the force applied to the copper foil and the resin layer constituting the copper foil composite. . Therefore, when this ratio is 1 or more, it means that more force is applied to the resin layer side, and the resin layer side has higher strength than the copper foil. And copper foil shows favorable workability, without fracture
  • f 2 and f 3 may be stresses with the same amount of strain after the plastic deformation has occurred, but the tensile fracture strain of the copper foil and the strain at which the plastic deformation of the resin layer (for example, PET film) starts. Therefore, the stress is 4% tensile strain.
  • f 2 and f 3 (and f 1 ) are all MD (Machine Direction) values.
  • Equation 2 is a ratio between the adhesive strength between the copper foil and the resin layer and the tensile resistance of the copper foil composite.
  • the ratio of Formula 2 is 1 or more, the deformation behavior of the resin layer can be transmitted to the copper foil without peeling off the copper and the resin layer, and the ductility of the copper foil is improved.
  • the upper limit of Equation 2 should be 10.
  • the strength at the tensile strain of 30% is used as the strength F of the copper foil composite because the workability is improved when the tensile strain is 30% or more as described above.
  • F is the tensile strength of the copper foil composite.
  • the copper foil composite of the present invention is excellent in workability by preventing the copper foil from cracking even when severe deformation (complex) different from uniaxial bending such as pressing is performed.
  • the present invention is suitable for three-dimensional molding such as press working.
  • the copper foil composite can be made into a complicated shape or the strength of the copper foil composite can be improved.
  • the copper foil composite itself is used as a casing for various power supply circuits. The number of parts and cost can be reduced.
  • the ratio 1 / L between the tensile breaking strain 1 of the copper foil composite and the tensile breaking strain L of the resin layer alone is preferably 0.7 to 1.
  • the tensile rupture strain of the resin layer is overwhelmingly higher than that of the copper foil, and similarly, the rupture strain of the resin layer alone is overwhelmingly higher than the tensile rupture strain of the copper foil composite.
  • the deformation behavior of the resin layer is transmitted to the copper foil to improve the ductility of the copper foil, and accordingly the tensile fracture strain of the copper foil composite is reduced to the tensile fracture of the resin layer alone.
  • the strain can be improved to 70 to 100%.
  • the tensile breaking strain l of the copper foil composite is the tensile breaking strain at the time of performing a tensile test, and is the value when the resin layer and the copper foil are simultaneously broken, and when the copper foil is broken first. The value when the copper foil is broken.
  • ⁇ Tg of resin layer> since the strength and the adhesive strength of the resin layer are reduced at high temperature, (f 3 ⁇ t 3 ) / (f 2 ⁇ t 2 ) ⁇ 1 or 1 ⁇ 33f 1 / (F ⁇ T) at high temperature. It becomes difficult to satisfy. For example, at a temperature equal to or higher than the Tg (glass transition temperature) of the resin layer, it may be difficult to maintain the strength and adhesive strength of the resin layer. It tends to be easier to maintain. That is, if the temperature is lower than Tg (glass transition temperature) of the resin layer (for example, 5 ° C.
  • the copper foil composite is (f 3 ⁇ t 3 ) / (f 2 ⁇ t 2 ) ⁇ 1, and It becomes easy to satisfy 1 ⁇ 33f 1 / (F ⁇ T). Even at a temperature lower than Tg, it is considered that the higher the temperature, the lower the strength and adhesion of the resin layer, and it tends to be difficult to satisfy Equations 1 and 2 (see Examples 19-21 described later). Furthermore, it has been found that when the formulas 1 and 2 are satisfied, the ductility of the copper foil composite can be maintained even at a relatively high temperature (eg, 40 ° C. to 215 ° C.) less than the Tg of the resin layer.
  • a relatively high temperature eg, 40 ° C. to 215 ° C.
  • the ductility of the copper foil composite can be maintained even at a relatively high temperature (eg, 40 ° C. to 215 ° C.) less than Tg of the resin layer, excellent workability is exhibited even in a method such as warm pressing.
  • a relatively high temperature for example, 40 ° C.
  • Tg of the layer with the lowest Tg (glass transition temperature) is employ
  • the resin film (resin layer) shown in Table 1 was used and vacuum-pressed at a temperature of (resin layer Tg + 50 ° C.) or higher ( Resin films were laminated at a press pressure of 200 N / cm 2 ) to produce a copper foil composite having a layer structure shown in Table 1.
  • a copper foil and a resin film were laminated using an adhesive to prepare a copper foil composite.
  • Cu represents a copper foil
  • PI represents a polyimide film
  • PET represents a polyethylene terephthalate film.
  • the Tg of PI and PET were 220 ° C and 70 ° C, respectively.
  • a Ni (alloy) layer having the thickness shown in Table 1 was formed on one side of the copper foil (the side not bonded to the resin layer).
  • the surface treatment shown in Table 1 was performed on the opposite surface of the copper foil (the adhesive surface with the resin layer).
  • the conditions for the surface treatment are as follows. Chromate treatment: Using a chromate bath (K 2 Cr 2 O 7 : 0.5 to 5 g / L), electrolytic treatment was performed at a current density of 1 to 10 A / dm 2 .
  • the amount of Cr oxide layer deposited by the chromate treatment was 35 ⁇ g / dm 2 .
  • Ni coating + chromate treatment Ni plating was performed using a Ni plating bath (Watt bath with Ni ion concentration: 1-30 g / L) at a plating solution temperature of 25-60 ° C. and a current density of 0.5-10 A / dm 2 . Thereafter, chromate treatment was performed in the same manner as described above. The thickness of the Ni coating was 0.010 ⁇ m.
  • Roughening treatment electrolytic treatment using treatment liquid (Cu: 10-25 g / L, H2SO4: 20-100 g / L), temperature 20-40 ° C., current density 30-70 A / dm 2 , electrolysis time 1-5 seconds Went.
  • Ni—Co plating solution (Co ion concentration: 5 to 20 g / L, Ni ion concentration: 5 to 20 g / L, pH: 1.0 to 4.0) was used, temperature 25 to 60 ° C., current density: Ni—Co plating was performed at 0.5 to 10 A / dm 2 .
  • the formation of the Ni (alloy) layer on the non-bonded surface of the copper foil was performed under the same conditions as the Ni coating.
  • Example 24 a Ni—Zn layer having a thickness of 2.5 ⁇ m was formed on the non-bonded surface of the copper foil.
  • the chromate treatment was performed in the same manner as described above.
  • the Ni—Zn layer uses a Ni—Zn plating bath (Ni ion concentration: 15 to 20 g / L, Zn ion concentration: 10 to 20 g / L) at a plating solution temperature of 50 ° C. and a current density of 4.0 A / dm 2 . It formed by plating.
  • Example 25 a Ni—P layer having a thickness of 2.5 ⁇ m was formed on the non-bonded surface of the copper foil.
  • the chromate treatment was performed in the same manner as described above.
  • the Ni—P layer is plated using a Ni—P plating bath (Ni ion concentration: 15 to 20 g / L, P concentration: 5 g / L) at a plating solution temperature of 50 to 60 ° C. and a current density of 4 A / dm 2. Formed.
  • Example 26 a Ni—Sn layer having a thickness of 2.5 ⁇ m was formed on the non-bonded surface of the copper foil.
  • the chromate treatment was performed in the same manner as described above.
  • the Ni—Sn layer uses a Ni—Sn plating bath (Ni ion concentration: 15 to 20 g / L, Sn ion concentration: 10 to 15 g / L) at a plating solution temperature of 45 ° C. and a current density of 4.0 A / dm 2 . It formed by plating.
  • each layer was formed in the same manner as in Example 26 except that the thickness of the Ni—Sn layer on the non-bonded surface of the copper foil was changed to 0.3 ⁇ m.
  • heat treatment was performed at 180 ° C. for 7 hours in a nitrogen atmosphere.
  • the chromate treatment was performed in the same manner as described above.
  • the Ni layer was formed using a Ni sulfate bath (Ni ion concentration: 25 g / L) at a plating solution temperature of 45 ° C. and a current density of 4 A / dm 2 .
  • the Sn layer was formed using a phenolsulfonic acid bath (Sn ion concentration: 30 g / L) at a plating solution temperature of 45 ° C. and a current density of 8 A / dm 2 .
  • Ni: Sn 30: 70 (wt%) Therefore, it was determined to be a Ni—Sn layer.
  • Sn was 5 wt% or less, and the balance was Ni, so that it was determined to be a Ni layer.
  • the thickness of each layer was 0.1 ⁇ m (total thickness is 0.2 ⁇ m).
  • the amount of Cr oxide layer deposited, the thickness of the Ni layer and the Ni alloy layer are determined by mixing HNO 3 (2 wt%) and HCl (5 wt%) with a 100 mm ⁇ 100 mm copper foil on which these layers are formed. Each metal concentration in the solution was quantified and calculated using an ICP emission spectroscopic analyzer (SFC-3100, manufactured by SII Nanotechnology Co., Ltd.). Each sample was measured five times, and the average value was defined as the adhesion amount (thickness). In addition, the thickness of Ni layer and Ni alloy layer was converted using the known specific gravity from the mass of each metal quantified by the said method.
  • ⁇ Tensile test> A plurality of strip-shaped tensile test pieces having a width of 12.7 mm were prepared from the copper foil composite. About the tensile test of copper foil and a resin film, the copper foil simple substance before lamination
  • a plurality of strip-shaped peel test pieces having a width of 12.7 mm were prepared from the copper foil composite.
  • the copper foil surface of the test piece was fixed to the SUS plate, and the resin layer was peeled off in the 180 ° direction.
  • the copper foil on one side was removed, the opposite copper foil side was fixed to the SUS plate, and the resin layer was peeled off in the 180 ° direction.
  • Other conditions were in accordance with JIS-C5016.
  • the copper foil layer is peeled off according to the JIS standard, but the resin layer is peeled off in the examples in order to reduce the influence of the thickness and rigidity of the copper foil.
  • the cup test apparatus 10 includes a pedestal 4 and a punch 2, and the pedestal 4 has a truncated cone-shaped slope, and the truncated cone is tapered from the top to the bottom. Is at 60 ° from the horizontal plane. A circular hole having a diameter of 15 mm and a depth of 7 mm communicates with the lower side of the truncated cone.
  • the copper foil composite is punched into a disk-shaped test piece 20 having a diameter of 30 mm, the copper foil composite is placed on the inclined surface of the truncated cone of the pedestal 4, and the punch 2 is pushed down from above the test piece 20 to make the pedestal 4. Was inserted into the circular hole.
  • the test piece 20 was shape
  • the resin layer only on one side of the copper foil composite, it is placed on the base 4 with the resin layer facing up.
  • there are resin layers on both sides of the copper foil composite it is placed on the pedestal 4 with the resin layer bonded to the M surface facing up. If both sides of the copper foil composite are Cu, either may be the top.
  • the presence or absence of cracking of the copper foil in the test piece 20 after molding was visually determined, and the workability was evaluated according to the following criteria. ⁇ : The copper foil was not cracked and the copper foil was not wrinkled ⁇ : The copper foil was not cracked, but the copper foil was slightly wrinkled ⁇ : The copper foil was cracked
  • Tables 1 and 2 The obtained results are shown in Tables 1 and 2.
  • the test temperature in Table 1 indicates the temperature went F, f 1, f 2, f 3, and processing of the evaluation.
  • Comparative Example 1 in which the resin film is laminated without the surface treatment to the copper foil, the adhesion strength is lowered, the value of 33f 1 / (F ⁇ T) is less than 1, the workability is deteriorated.
  • Comparative Examples 2 and 4 in which the pressing pressure during lamination was reduced to 100 N / cm 2 , the adhesive strength was lowered, the value of 33f 1 / (F ⁇ T) was less than 1, and workability was deteriorated.

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Abstract

【課題】プレス加工等のような一軸曲げと異なる過酷(複雑)な変形を行っても銅箔が割れることを防止し、加工性に優れた銅箔複合体、並びに成形体及びその製造方法を提供する。 【解決手段】銅箔と樹脂層とが積層された銅箔複合体であって、銅箔の厚みをｔ２(mm)、引張歪４％における銅箔の応力をf２(MPa)、樹脂層の厚みをｔ３(mm)、引張歪４％における樹脂層の応力をｆ３(MPa)としたとき、式１：（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）≧１を満たし、かつ、銅箔と樹脂層との180°剥離接着強度をf１(N/mm)、銅箔複合体の引張歪30%における強度をF(MPa)、銅箔複合体の厚みをT（mm）としたとき、式２：1≦33ｆ１/（F×T）を満たし、銅箔のうち樹脂層が積層されていない面に、合計厚み０．００１～５．０μｍのＮｉ層及び／又はＮｉ合金層が形成されている。

Description

銅箔複合体、並びに成形体及びその製造方法
　本発明は、銅箔と樹脂層とを積層してなる銅箔複合体、並びに成形体及びその製造方法に関する。
　銅箔と樹脂層とを積層してなる銅箔複合体は、FPC（フレキシブルプリント基板）、電磁波シールド材、RF-ID(無線ＩＣタグ)、面状発熱体、放熱体などに応用されている。例えば、FPCの場合、ベース樹脂層の上に銅箔の回路が形成され、回路を保護するカバーレイフィルムが回路を覆っており、樹脂層／銅箔／樹脂層の積層構造となっている。
　ところで、このような銅箔複合体の加工性として、MIT屈曲性に代表される折り曲げ性、IPC屈曲性に代表される高サイクル屈曲性が要求されており、折り曲げ性や屈曲性に優れる銅箔複合体が提案されている（例えば、特許文献１～３）。例えば、FPCは携帯電話のヒンジ部などの可動部で折り曲げられたり、回路の小スペース化を図るために折り曲げて使用されるが、変形モードとしては、上記したMIT屈曲試験や、IPC屈曲試験に代表されるように一軸の曲げであり、過酷な変形モードにならないよう設計されている。
　また、銅箔複合体が電磁波シールド材などに使用される場合には、樹脂層／銅箔の積層構造となっているが、このような銅箔複合体の表面には、耐食性や長期にわたり安定した電気接点性能を発揮することが要求されている。
特開２０１０－１００８８７号公報 特開２００９－１１１２０３号公報 特開２００７－２０７８１２号公報
　しかしながら、上記した銅箔複合体をプレス加工等すると、MIT屈曲試験や、IPC屈曲試験と異なる過酷(複雑)な変形モードになるため、銅箔が破断するという問題がある。そして、銅箔複合体をプレス加工することができれば、回路を含む構造体を製品形状に合わせることができるようになる。
　従って、本発明の目的は、プレス加工等のような一軸曲げと異なる過酷(複雑)な変形を行っても銅箔が割れることを防止し、加工性に優れ、さらに耐食性及び電気接点性能を長期間安定して発揮する銅箔複合体、並びに成形体及びその製造方法を提供することにある。
　本発明者らは、樹脂層の変形挙動を銅箔に伝え、樹脂層と同じように銅箔も変形させることで、銅箔のくびれを生じにくくして延性が向上し、銅箔の割れを防止できることを見出し、本発明に至った。つまり、樹脂層の変形挙動が銅箔に伝わるよう、樹脂層及び銅箔の特性を規定した。さらに、耐食性及び電気接点性能を長期間安定して発揮するべく、銅箔表面の被覆層を規定した。
　すなわち、本発明の銅箔複合体は、銅箔と樹脂層とが積層された銅箔複合体であって、前記銅箔の厚みをｔ２(mm)、引張歪４％における前記銅箔の応力をf２(MPa)、前記樹脂層の厚みをｔ３(mm)、引張歪４％における前記樹脂層の応力をｆ３(MPa)としたとき、式１：（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）≧１を満たし、かつ、前記銅箔と前記樹脂層との180°剥離接着強度をf１(N/mm)、前記銅箔複合体の引張歪30%における強度をF(MPa)、前記銅箔複合体の厚みをT（mm）としたとき、式２：1≦33ｆ１/（F×T）を満たし、前記銅箔のうち前記樹脂層が積層されていない面に、合計厚み０．００１～５．０μｍのＮｉ層及び／又はＮｉ合金層が形成されている。
　このＮｉ層及び／又はＮｉ合金層の合計厚みが０．００１～０．５０μｍであることが好ましい。
　前記樹脂層のガラス転移温度未満の温度において、前記式１及び式２が成り立つことが好ましい。
　前記銅箔複合体の引張破断歪ｌと、前記樹脂層単体の引張破断歪Ｌとの比ｌ/Lが０．７～１であることが好ましい。
　本発明の成形体は、前記金属箔複合体を加工してなる。本発明の成形体は、例えばプレス加工、上下金型を用いた張出し加工、絞り加工する他の加工等によって立体的に加工することができる。
　本発明の成形体の製造方法は、前記金属箔複合体を加工する。
　本発明によれば、プレス加工等のような一軸曲げと異なる過酷(複雑)な変形を行っても銅箔が割れることを防止し、加工性に優れ、さらに耐食性及び電気接点性能を、長期間安定して発揮する銅箔複合体を得ることができる。
ｆ１と（Ｆ×Ｔ）の関係を実験的に示す図である。 加工性の評価を行うカップ試験装置の構成を示す図である。
　本発明の銅箔複合体は、銅箔と樹脂層とが積層されて構成されている。本発明の銅箔複合体は、例えば、FPC（フレキシブルプリント基板）、電磁波シールド材、RF-ID(無線ＩＣタグ)、面状発熱体、放熱体に適用することができるが、これらに限定される訳ではない。
＜銅箔＞
　銅箔の厚みｔ２は、０．００４～０．０５ｍｍ（4～50μm）であることが好ましい。ｔ２が０．００４ｍｍ（4μm）未満であると銅箔の延性が著しく低下し、銅箔複合体の加工性が向上しない場合がある。銅箔は４％以上の引張破断歪があることが好ましい。ｔ２が０．０５ｍｍ（50μm）を超えると、銅箔複合体にしたときに銅箔単体の特性の影響が大きく現れ、銅箔複合体の加工性が向上しない場合がある。
　銅箔としては、圧延銅箔、電解銅箔、メタライズによる銅箔等を用いることができるが、再結晶により加工性に優れつつ、強度（f２）を低くできる圧延銅箔が好ましい。銅箔表面に接着、防錆のための処理層が形成されている場合はそれらも銅箔に含めて考える。
＜樹脂層＞
　樹脂層としては特に制限されず、樹脂材料を銅箔に塗布して樹脂層を形成してもよいが、銅箔に貼付可能な樹脂フィルムが好ましい。樹脂フィルムとしては、PET（ポリエチレンテレフタレート）フィルム、PEN（ポリエチレンナフタレート）、PI（ポリイミド）フィルム、LCP（液晶ポリマー）フィルム、PP（ポリプロピレン）フィルムが挙げられる。
　樹脂フィルムと銅箔との積層方法としては、樹脂フィルムと銅箔との間に接着剤を用いてもよく、樹脂フィルムを銅箔に熱圧着してもよい。又、接着剤層の強度が低いと、銅箔複合体の加工性が向上し難いので、接着剤層の強度が樹脂層の応力（ｆ３）の1/３以上であることが好ましい。これは、本発明では、樹脂層の変形挙動を銅箔に伝え、樹脂層と同じように銅箔も変形させることで、銅箔のくびれを生じにくくして延性が向上させることを技術思想としており、接着剤層の強度が低いと接着剤層で変形が緩和してしまい、銅箔に樹脂の挙動が伝わらないからである。
　なお、接着剤を用いる場合、後述する樹脂層の特性は、接着剤層と樹脂層とを合わせたものを対象とする。
　樹脂層の厚みｔ３は、０．０１２～０．１２ｍｍ（12～120μm）であることが好ましい。ｔ３が０．０１２ｍｍ（12μm）未満であると、（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）＜１となることがある。ｔ３が０．１２ｍｍ（120μm）より厚いと、樹脂層の柔軟性（フレキシブル性）が低下して剛性が高くなり過ぎ、加工性が劣化する。樹脂層は４０％以上の引張破断歪があることが好ましい。
＜銅箔複合体＞
　上記した銅箔と樹脂層とを積層する銅箔複合体の組み合わせとしては、銅箔／樹脂層の２層構造や、銅箔／樹脂層／銅箔の３層構造が挙げられる。樹脂層の両側に銅箔が存在する（銅箔／樹脂層／銅箔）場合、全体の（ｆ２×ｔ２）の値は、２つの銅箔のそれぞれについて計算した各（ｆ２×ｔ２）の値を加算したものとする。
＜180°剥離接着強度＞
　銅箔はその厚みが薄いことから厚み方向にくびれを生じやすい。くびれが生じると銅箔は破断するため、延性は低下する。一方、樹脂層は、引張り時にくびれが生じ難い特徴を持つ（均一歪の領域が広い）。そのため、銅箔と樹脂層との複合体においては、樹脂層の変形挙動を銅箔に伝え、樹脂と同じように銅箔も変形させることで、銅箔にくびれが生じ難くなり、延性が向上する。このとき、銅箔と樹脂層との接着強度が低いと、銅箔に樹脂層の変形挙動を伝えることができず、延性は向上しない（剥離して銅が割れる）。
　そこで、接着強度を高くすることが必要となる。接着強度としては、せん断接着力が直接的な指標と考えられるが、接着強度を高くし、せん断接着力を銅箔複合体の強度と同等レベルにすると、接着面以外の場所が破断するため測定が難しくなる。
　このようなことから、本発明では180°剥離接着強度f１の値を用いる。せん断接着強度と180°剥離接着強度とは絶対値がまったく異なるが、加工性や引張伸度と、１８０°剥離接着強度との間に相関が見られたため、180°剥離接着強度を接着強度の指標とした。
　ここで、実際には、「破断したときの強度＝せん断密着力」になっていると考えられ、例えば30％以上の引張歪を必要とするような場合、「30％の流動応力≦せん断密着力」となり、50％以上の引張歪を必要とするような場合、「50％の流動応力≦せん断密着力」になると考えられる。そして、本発明者らの実験によると、引張歪が30％以上になると加工性が良好になったため、後述するように銅箔複合体の強度Fとして、引張歪30%における強度を採用することとしている。
　図１は、f１と（F×T）の関係を実験的に示す図であり、後述する各実施例及び比較例のf１と（F×T）の値をプロットしている。（F×T）は引張歪30％で銅箔複合体に加わる力であり、これを加工性を向上させるために必要な、最低限のせん断接着強度とみなすと、f１と（F×T）の絶対値が同じであれば、両者は傾き１で相関が見られることになる。
　但し、図１においては、すべてのデータのf１と（F×T）が同じ相関とはならず、加工性の劣る各比較例は、（F×T）に対するf１の相関係数（つまり、図１の原点を通り、（F×T）に対するf１の傾き）が小さく、それだけ180°剥離接着強度が劣っている。一方、各実施例の傾きは各比較例の傾きより大きいが、もっとも傾きの小さい実施例１８（ちょうど歪30％で破断したもの）の傾きが１／３３であったため、この値を加工性を向上するために必要な、最低限のせん断接着強度と180°剥離接着強度との間の相関係数とみなした。すなわち、せん断接着力を、180°剥離接着強度f１の33倍とみなした。
　なお、比較例３の場合、図１の傾きが１／３３を超えたが、後述する式１：（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）が１未満となったため、加工性が劣化している。
　180°剥離接着強度は、単位幅あたりの力(N/mm)である。
　銅箔複合体が３層構造であって接着面が複数存在するときは、各接着面のうち、180°剥離接着強度が最も低い値を用いる。これは、最も弱い接着面が剥離するためである。
　また、銅箔と樹脂層とを積層複合させるときの圧力や温度条件を変えて接着強度を高くすることができる。樹脂層が損傷しない範囲で、積層時の圧力、温度をともに大きくした方が良い。
銅箔と樹脂層との接着強度を高くする方法としては、銅箔表面(樹脂層側の面、以下適宜「接着面」という)にクロメート処理等によってＣｒ酸化物層を設けたり、銅箔表面に粗化処理を施したり、銅箔表面にＮｉ層又はＮｉ合金層を設けたり、銅箔表面にＮｉ被覆した後にＣｒ酸化物層を設けることが挙げられる。また、後述のように樹脂層と反対側の銅箔表面（非接着面）にはＮｉ層又はＮｉ合金層を形成するが、非接着面にこのＮｉ層又はＮｉ合金層を形成するのと同時に同一工程にて、接着面にもＮｉ層又はＮｉ合金層を形成してもよい。さらに、接着面にＮｉ層又はＮｉ合金層を形成した後、Ｃｒ酸化物層を形成してもよい。
　接着面側のＣｒ酸化物層の厚みは、Ｃｒ重量で５～１００μｇ/ｄｍ２とするとよい。この厚みは、湿式分析によるクロム含有量から算出する。又、Cr酸化物層の存在は、Ｘ線光電子分光（XPS）でCrが検出できるか否かで判定することができる（Crのピークが酸化によりシフトする）。
　接着面側の上記Ｎｉ層又はＮｉ合金層の厚みは、０．００１～５．０μｍとするとよい。Ｎｉ層又はＮｉ合金層の厚みが５．０μｍを超えると、銅箔（及び銅箔複合体）の延性が低下することがある。
　また、銅箔と樹脂層とを積層複合させるときの圧力や温度条件を変えて接着強度を高くすることができる。樹脂層が損傷しない範囲で、積層時の圧力、温度をともに大きくした方が良い。
　銅箔のうち上記樹脂層が積層されていない面（非接着面）には、長期間安定した電気接点性を付与するため、合計厚み０．００１～５．０μｍのＮｉ層及び／又はＮｉ合金層を形成する。これらの層の合計厚みを０．００１μｍ未満とすると安定した電気接点性能は得られない。これらの層の合計厚みが厚くなるほど電気接点性能の安定性は向上するが、合計厚みが５．０μｍを超えても上記効果が飽和する。Ｎｉ層及び／又はＮｉ合金層の合計厚みは好ましくは０．００１～０．５０μｍ、より好ましくは０．００５～０．１０μｍである。
　また、Ｎｉ合金層は、２０ｗｔ％以上のＮｉを含み、さらにＺｎ、Ｓｎ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｖ、Ｐ、Ｂ、Ｗ、Ｍｏ、Ｆｅのうちの一種以上を合計５ｗｔ％以上含み、残部が不可避不純物である合金であることが好ましい。
　なお、銅箔の非接着面には、上記したＮｉ層、又はＮｉ合金層の少なくとも一方が形成されていればよい。又、銅箔の非接着面にＮｉ層及びＮｉ合金層の両方が形成されている場合、最表面からＮｉ層／Ｎｉ合金層の順でもよく、最表面からＮｉ合金層／Ｎｉ層の順でもよい。又、「合計厚み」とは、Ｎｉ層の厚み及びＮｉ合金層の厚みの合計値である。
＜（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）＞
　次に、特許請求の範囲の（（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２））（以下、「式１」と称する）の意義について説明する。銅箔複合体は、同一の幅(寸法)の銅箔と樹脂層とが積層されているから、式１は銅箔複合体を構成する銅箔と樹脂層に加わる力の比を表している。従って、この比が１以上であることは、樹脂層側により多くの力が加わることを意味し、樹脂層側が銅箔より強度が高いことになる。そして、銅箔は破断せずに良好な加工性を示す。
　一方、（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）＜１になると、銅箔側により多くの力が加わってしまうので、樹脂層の変形挙動を銅箔に伝え、樹脂と同じように銅箔を変形させるという上記した作用が生じなくなる。
　ここで、ｆ２及びｆ３は、塑性変形が起きた後の同じ歪量での応力であればよいが、銅箔の引張破断歪と、樹脂層（例えばPETフィルム）の塑性変形が始まる歪とを考慮して引張歪４％の応力としている。なお、ｆ２及びｆ３（並びにｆ１）は、全てMD（Machine Direction）の値とする。
　＜33ｆ１/（F×T）＞
　次に、特許請求の範囲の（33ｆ１/（F×T））（以下、「式２」と称する）の意義について説明する。上記したように、加工性を向上するために必要な、最低限の銅箔と樹脂層との接着強度を直接示すせん断接着力は、180°剥離接着強度f１の約33倍であるから、33ｆ１は銅箔と樹脂層との加工性を向上するために必要な、最低限の接着強度を表している。一方、（F×T）は銅箔複合体に加わる力であるから、式２は、銅箔と樹脂層との接着強度と、銅箔複合体の引張抵抗力との比になる。そして、銅箔複合体が引張られると、銅箔と樹脂層の界面で、局所変形をしようとする銅箔と引張均一歪をしようとする樹脂とによりせん断応力が掛かる。従って、このせん断応力より接着強度が低いと銅と樹脂層が剥離してしまい、銅箔に樹脂層の変形挙動を伝えることができなくなり、銅箔の延性が向上しない。
　つまり、式２の比が1未満であると、接着強度が銅箔複合体に加わる力より弱くなって銅箔と樹脂が剥離し易くなり、銅箔がプレス成形等の加工によって破断する。
　式２の比が1以上であれば、銅と樹脂層とが剥離せずに樹脂層の変形挙動を銅箔に伝えることができ、銅箔の延性が向上する。なお、式２の比は高いほど好ましいが、10以上の値を実現することは通常は困難であるため、式２の上限を10とするとよい。
　尚、33ｆ１/（F×T）が大きいほど加工性は向上すると考えられるが、樹脂層の引張歪ｌと33ｆ１/（F×T）は比例しない。これは（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）の大きさ、銅箔、樹脂層単体の延性の影響によるものであるが、33ｆ１/（F×T）≧１、（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）≧１を満たす銅箔と樹脂層の組み合わせであれば、必要とする加工性を有する複合体を得ることができる。
　ここで、銅箔複合体の強度Fとして、引張歪30%における強度を用いるのは、上記したように引張歪が30％以上になると加工性が良好になったためである。又、銅箔複合体の引張試験をしたところ、引張歪30％までは歪によって流動応力に大きな差が生じたが、30％以後では引張歪によっても流動応力に大きな差が生じなかった（多少加工硬化したが曲線の傾きはかなり小さくなった）からである。
　なお、銅箔複合体の引張歪が30％以上でない場合、銅箔複合体の引張強度をFとする。
　以上のように、本発明の銅箔複合体は、プレス加工等のような一軸曲げと異なる過酷(複雑)な変形を行っても銅箔が割れることを防止し、加工性に優れる。特に本発明は、プレス加工のような立体成形に適する。銅箔複合体を立体成形することで、銅箔複合体を複雑な形状にしたり、銅箔複合体の強度を向上させることができ、例えば銅箔複合体自身を各種電源回路の筐体とすることもでき、部品点数やコストの低減を図ることができる。
＜ｌ/L＞
　銅箔複合体の引張破断歪ｌと、樹脂層単体の引張破断歪Ｌとの比ｌ/Lが０．７～１であることが好ましい。
　通常、銅箔の引張破断歪より樹脂層の引張破断歪が圧倒的に高く、同様に樹脂層単体の破断歪の方が銅箔複合体の引張破断歪より圧倒的に高い。一方、上記したように本発明においては、銅箔に樹脂層の変形挙動を伝えて銅箔の延性を向上させており、それに伴って銅箔複合体の引張破断歪を樹脂層単体の引張破断歪の７０～１００％まで向上させることができる。そして、比ｌ/Lが０．７以上であると、プレス成形性がさらに向上する。
　なお、銅箔複合体の引張破断歪ｌは、引張試験を行ったときの引張破断歪であり、樹脂層と銅箔が同時に破断したときはその値とし、銅箔が先に破断したときは銅箔が破断した時点の値とする。
＜樹脂層のＴｇ＞
　通常、樹脂層は高温で強度が低下したり接着力が低下するため、高温では（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）≧１や、1≦33ｆ１/（F×T）を満たし難くなる。例えば、樹脂層のＴｇ（ガラス転移温度）以上の温度では、樹脂層の強度や接着力を維持することが難しくなる場合があるが、Ｔｇ未満の温度であれば樹脂層の強度や接着力を維持し易くなる傾向にある。つまり、樹脂層のＴｇ（ガラス転移温度）未満の温度（例えば５℃～２１５℃）であれば、銅箔複合体が（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）≧１、及び1≦33ｆ１/（F×T）を満たし易くなる。なお、Ｔｇ未満の温度においても、温度が高いほうが樹脂層の強度や密着力が小さくなり、式１及び式２を満たし難くなる傾向にあると考えられる（後述の実施例１９－２１参照）。
　さらに、式１及び式２を満たす場合、樹脂層のＴｇ未満の比較的高い温度（例えば４０℃～２１５℃）でも銅箔複合体の延性を維持できることが判明している。樹脂層のＴｇ未満の比較的高い温度（例えば４０℃～２１５℃）でも銅箔複合体の延性を維持できると、温間プレスなどの工法においても優れた加工性を示す。又、樹脂層にとっては温度が高いほうが成形性がよい。また、プレス後に形状を跡付けるために（弾性変形で元に戻らないように）温間でプレスされることが行われるので、この点でも樹脂層のＴｇ未満の比較的高い温度（例えば４０℃～２１５℃）でも銅箔複合体の延性を維持できると好ましい。
　なお、銅箔複合体が接着剤層と樹脂層とを含む場合、最もＴｇ（ガラス転移温度）が低い層のＴｇを採用する。
＜銅箔複合体の製造＞
　タフピッチ銅からなるインゴットを熱間圧延し、表面切削で酸化物を取り除いた後、冷間圧延、焼鈍と酸洗を繰り返し、表１の厚みｔ２(mm)まで薄くし、最後に焼鈍を行って加工性を確保し、ベンゾトリアゾールで防錆処理して銅箔を得た。銅箔が幅方向で均一な組織となるよう、冷間圧延時のテンション及び圧延材の幅方向の圧下条件を均一にした。次の焼鈍では幅方向で均一な温度分布となるよう複数のヒータを使用して温度管理を行い、銅の温度を測定して制御した。
　さらに、得られた銅箔の両面に対しそれぞれ表１に示す表面処理を行った後、表１に示す樹脂フィルム（樹脂層）を用い、（樹脂層のTg＋50℃）以上の温度で真空プレス（プレス圧力200N/cm2）によって樹脂フィルムを積層し、表１に示す層構造の銅箔複合体を作製した。実施例５は接着剤を用いて銅箔と樹脂フィルムを積層し、銅箔複合体を作製した。
　なお、表１中、Cuは銅箔を示し、PIはポリイミドフィルム、PETはポリエチレンテレフタレートフィルムを示す。又、PI、PETのTgは、それぞれ220℃、70℃であった。
　なお、銅箔の片面（樹脂層と接着しない面）には表１に示す厚みのＮｉ（合金）層を形成した。銅箔の反対面（樹脂層との接着面）には表１に示す表面処理を行った。表面処理の条件は以下の通りである。
　　クロメート処理：クロメート浴（K2Cr2O7：0.5～5ｇ／Ｌ）を用い、電流密度1～10Ａ／ｄｍ２で電解処理した。クロメート処理によるＣｒ酸化物層の付着量は３５μｇ／ｄｍ２とした。
　　Ni被覆＋クロメート処理：Ｎｉめっき浴（Ｎｉイオン濃度：１～３０ｇ／Ｌのワット浴）を用い、めっき液温度２５～６０℃、電流密度０．５～１０Ａ／ｄｍ２でＮｉめっきを行った後、上記と同様にクロメート処理を行った。Ni被覆の厚みは０．０１０μｍとした。
　　粗化処理：処理液（Cu：１０～２５ｇ／Ｌ、H2SO4：２０～１００ｇ／Ｌ）を用い、温度２０～４０℃、電流密度３０～７０Ａ／ｄｍ２、電解時間１～５秒で電解処理を行った。その後、Ｎｉ－Ｃｏめっき液（Ｃｏイオン濃度：５～２０ｇ／Ｌ、Ｎｉイオン濃度：５～２０ｇ／Ｌ、ｐＨ：１．０～４．０）を用い、温度２５～６０℃、電流密度：０．５～１０Ａ／ｄｍ２でＮｉ－Ｃｏめっきを行った。
　なお、銅箔の非接着面へのＮｉ（合金）層の形成は、それぞれ上記Ｎｉ被覆と同一条件で行った。
　又、実施例２４の場合、銅箔の非接着面へＮｉ―Ｚｎ層を厚み２．５μｍで形成した。一方、銅箔の接着面にもＮｉ－Ｚｎ層を形成した後、上記と同様にクロメート処理を行った。Ｎｉ―Ｚｎ層は、Ｎｉ―Ｚｎめっき浴（Ｎｉイオン濃度：１５～２０ｇ／Ｌ、Ｚｎイオン濃度：１０～２０ｇ／Ｌ）を用い、めっき液温度５０℃、電流密度４．０Ａ／ｄｍ２でめっきを行って形成した。Ｎｉ―Ｚｎ層を分析した結果、合金組成はＮｉ：Ｚｎ＝７５：２５（ｗｔ％）であった。
　実施例２５の場合、銅箔の非接着面へＮｉ―Ｐ層を厚み２．５μｍで形成した。一方、銅箔の接着面にもＮｉ－Ｐ層を形成した後、上記と同様にクロメート処理を行った。Ｎｉ―Ｐ層は、Ｎｉ―Ｐめっき浴（Ｎｉイオン濃度：１５～２０ｇ／Ｌ、Ｐ濃度：５ｇ／Ｌ）を用い、めっき液温度５０～６０℃、電流密度４Ａ／ｄｍ２でめっきを行って形成した。Ｎｉ―Ｐ層を分析した結果、合金組成はＮｉ：Ｐ＝９５：５（ｗｔ％）であった。
　実施例２６の場合、銅箔の非接着面へＮｉ-Ｓｎ層を厚み２．５μｍで形成した。一方、銅箔の接着面にもＮｉ－Ｓｎ層を形成した後、上記と同様にクロメート処理を行った。Ｎｉ-Ｓｎ層は、Ｎｉ-Ｓｎめっき浴（Ｎｉイオン濃度：１５～２０ｇ／Ｌ、Ｓｎイオン濃度：１０～１５ｇ／Ｌ）を用い、めっき液温度４５℃、電流密度４．０Ａ／ｄｍ２でめっきを行って形成した。Ｎｉ-Ｓｎ層を分析した結果、合金組成はＮｉ：Ｓｎ＝８０：２０（ｗｔ％）であった。
　実施例２７の場合、銅箔の非接着面のＮｉ-Ｓｎ層の厚みを０．３μｍに変更したこと以外は、実施例２６と同様にして各層を形成した。Ｎｉ-Ｓｎ層を分析した結果、合金組成はＮｉ：Ｓｎ＝８０：２０（ｗｔ％）であった。
　実施例２８の場合、銅箔の非接着面へＮｉ層、Ｓｎ層をこの順で形成した後、１８０℃で７時間、窒素雰囲気で熱処理を加えた。一方、銅箔の接着面にはＮｉ層を形成した後、上記と同様にクロメート処理を行った。Ｎｉ層は硫酸Ｎｉ浴（Ｎｉイオン濃度：２５ｇ／Ｌ）を用い、めっき液温度４５℃、電流密度４Ａ／ｄｍ２で形成した。Ｓｎ層はフェノールスルホン酸浴（Ｓｎイオン濃度：３０ｇ／Ｌ）を用いめっき液温度４５℃、電流密度８Ａ／ｄｍ２で形成した。銅箔の非接着面側のめっき断面の２次電子像をＳＥＭで観察したところ、２層が形成されており、最表層側の層を分析したところＮｉ：Ｓｎ＝３０：７０（ｗｔ％）であったことからＮｉ－Ｓｎ層であると判定した。基材側の層を分析したところＳｎが５ｗｔ％以下であり、残部はＮｉであったことからＮｉ層であると判定した。各層の厚みはそれぞれ０．１μｍであった（合計厚みが０．２μｍ）。
　Ｃｒ酸化物層の付着量、Ｎｉ層及びＮｉ合金層の厚みは、これら層が形成された１００ｍｍ×１００ｍｍの銅箔を、ＨＮＯ3（２重量％）とＨＣｌ（５重量％）を混合した溶液に溶解し、その溶液中の各金属濃度をＩＣＰ発光分光分析装置（エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社製、ＳＦＣ－３１００）にて定量し、算出した。各試料について５回測定し、その平均値を付着量（厚み）とした。
　なお、Ｎｉ層及びＮｉ合金層の厚みは、上記方法で定量した各金属の質量から、公知の比重を用いて換算した。
＜引張試験＞
　銅箔複合体から幅12.7mmの短冊状の引張試験片を複数作製した。銅箔、及び樹脂フィルムの引張試験については、積層前の銅箔単体及び樹脂フィルム単体を12.7ｍｍの短冊状にした。
　そして、引張試験機により、ＪＩＳ－Ｚ２２４１に従い、銅箔の圧延方向と平行な方向に引張試験した。引張試験時の試験温度を表１に示す。
＜１８０°ピール試験＞
　１８０°ピール試験を行って、180°剥離接着強度f１を測定した。まず、銅箔複合体から幅12.7mmの短冊状のピール試験片を複数作製した。試験片の銅箔面をSUS板に固定し、樹脂層を１８０°方向に引き剥がした。銅箔が樹脂層の両面に存在する実施例については片面の銅箔を除去した後に逆面の銅箔側をSUS板に固定し、樹脂層を１８０°方向に引き剥がした。そのほかの条件はJIS－C５０１６に従った。
　尚、JISの規格では銅箔層を引き剥がすことになっているが、実施例にて樹脂層を引き剥がしたのは銅箔の厚み、剛性による影響を小さくするためである。
＜加工性の評価＞
　図２に示すカップ試験装置１０を用いて加工性の評価を行った。カップ試験装置１０は、台座４とポンチ２とを備えており、台座４は円錐台状の斜面を有し、円錐台は上から下へ向かって先細りになっていて、円錐台の斜面の角度は水平面から６０°をなしている。又、円錐台の下側には、直径１５ｍｍで深さ７ｍｍの円孔が連通している。一方、ポンチ２は先端が直径１４ｍｍの半球状の円柱をなし、円錐台の円孔へポンチ２先端の半球部を挿入可能になっている。
　なお、円錐台の先細った先端と、円錐台の下側の円孔の接続部分は半径（ｒ）＝３ｍｍの丸みを付けている。
　そして、銅箔複合体を直径３０ｍｍの円板状の試験片２０に打ち抜き、台座４の円錐台の斜面に銅箔複合体を載置し、試験片２０の上からポンチ２を押し下げて台座４の円孔へ挿入した。これにより、試験片２０がコニカルカップ状に成形された。
　なお、銅箔複合体の片面にのみ樹脂層がある場合、樹脂層を上にして台座４に載置する。又、銅箔複合体の両面に樹脂層がある場合、M面と接着している樹脂層を上にして台座４に載置する。銅箔複合体の両面がCuの場合はどちらが上であってもよい。
　成形後の試験片２０内の銅箔の割れの有無を目視で判定し、以下の基準で加工性の評価を行った。
　　◎：銅箔が割れず、銅箔にシワもない
　　○：銅箔が割れなかったが、銅箔に若干のシワがある
　　×：銅箔が割れた
＜耐食性の評価＞
　塩化ナトリウム濃度5±1wt％、ｐH＝6.5～7.2に調整した温度35±2℃の塩水を圧力98±10KPaで、銅箔積層体のうち樹脂層が積層されていない面に460時間噴霧した後、外観を目視観察した。また、この表面をＸＰＳで銅箔成分の有無を分析した。
　　◎：変色は認められず、銅箔は露出しなかった（表面から銅箔成分は検出されなかった）
　　○：白く曇るような変色が認められたが、銅箔は露出しなかった（表面から銅箔成分は検出されなかった）
　　×：銅箔酸化による黒色の変色、又は錆による緑色の変色が認められ、銅箔が露出していた（表面から銅箔成分が検出された）
＜電気接点性能の安定性の評価＞
　各試験片を１８０℃で１０００時間大気加熱した後、樹脂層が積層されていない銅箔面について接触抵抗を測定した。山崎精機社製の電気接点シミュレータＣＲＳ－１を使い、四端子法で測定した。プローブ：金プローブ、接触荷重：４０ｇ、摺動速度：１ｍｍ／ｍｉｎ、摺動距離：１ｍｍ。
　　○：接触抵抗が１０ｍΩ未満であった
　　×：接触抵抗が１０ｍΩ以上であった
　得られた結果を表１、表２に示す。なお、表１の試験温度は、F、ｆ１、ｆ２、ｆ３、及び加工性の評価を行った温度を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表１、表２から明らかなように、各実施例の場合、（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）≧１、及び1≦33ｆ１/（F×T）をともに満たし、加工性に優れたものとなった。又、各実施例の場合、電気接点性能及び耐食性にも優れた。
　なお、同じ構成の銅箔積層体を用いた実施例１５と実施例１９とを比較すると、室温（約２５℃）で引張試験を行ってＦ等を測定した実施例１５の方が、実施例１９より（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）の値が大きく、実施例１９では試験温度上昇により樹脂層が弱く（ｆ３が小さく）なっていることが分かる。
　一方、銅箔に表面処理をせずに樹脂フィルムを積層した比較例１の場合、接着強度が低下し、33ｆ１/（F×T）の値が１未満となり、加工性が劣化した。
　積層時のプレス圧力を100N/cm2に低減した比較例２、４の場合も接着強度が低下し、33ｆ１/（F×T）の値が１未満となり、加工性が劣化した。
　樹脂フィルムの厚みを薄くした比較例３の場合、樹脂フィルムの強度が銅箔に比べて弱くなって（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）の値が１未満となり、加工性が劣化した。
　樹脂層と接着しない面のＮｉめっきの厚みが０．００１μｍ未満である比較例５の場合、電気接点性能及び耐食性が劣化した。

Claims (6)

  1. 　銅箔と樹脂層とが積層された銅箔複合体であって、
    　前記銅箔の厚みをｔ２(mm)、引張歪４％における前記銅箔の応力をf２(MPa)、前記樹脂層の厚みをｔ３(mm)、引張歪４％における前記樹脂層の応力をｆ３(MPa)としたとき、式１：（ｆ３×ｔ３）／（ｆ２×ｔ２）≧１を満たし、
    　かつ、前記銅箔と前記樹脂層との180°剥離接着強度をf１(N/mm)、前記銅箔複合体の引張歪30%における強度をF(MPa)、前記銅箔複合体の厚みをT（mm）としたとき、式２：1≦33ｆ１/（F×T）を満たし、
    　前記銅箔のうち樹脂層が積層されていない面に、合計厚み０．００１～５．０μｍのＮｉ層及び／又はＮｉ合金層が形成されていることを特徴とする銅箔複合体。
  2. 　前記Ｎｉ層及び／又はＮｉ合金層の合計厚みが０．００１～０．５０μｍであることを特徴とする請求項１に記載の銅箔複合体。
  3. 　前記樹脂層のガラス転移温度未満の温度において、前記式１及び式２が成り立つことを特徴とする請求項１又は２記載の銅箔複合体。
  4. 　前記銅箔複合体の引張破断歪ｌと、前記樹脂層単体の引張破断歪Ｌとの比ｌ/Lが０．７～１であることを特徴とする請求項１～３記載の銅箔複合体。
  5. 　請求項１～４のいずれか記載の銅箔複合体を加工してなる成形体。
  6. 　請求項１～４のいずれか記載の銅箔複合体を加工する成形体の製造方法。
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