WO2013087060A1

WO2013087060A1 - Vorrichtung zum verdampfen eines verdampfungsguts

Info

Publication number: WO2013087060A1
Application number: PCT/DE2012/001189
Authority: WO
Inventors: Christopher Eisele; Frank Huber; Heiko Schuler; Ralf MÜLLER
Original assignee: Dr. Eberl Mbe-Komponenten Gmbh
Priority date: 2011-12-15
Filing date: 2012-12-12
Publication date: 2013-06-20
Also published as: DE102011121148A1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (30) zum Verdampfen eines Verdampfungsguts in einer Vakuumbeschichtungsanlage mit einem einen Öffnungsrand (32) aufweisenden Tiegel (31) und einem den Tiegel (31) mindestens teilweise umgebenden eine Wandung (13) aufweisenden Heizraum (14), wobei zwischen dem Öffnungsrand (32) und der Wandung (13) eine Abdeckung (33) vorgesehen ist.

Description

Vorrichtung zum Verdampfen eines Verdampfungsguts

BESCHREIBUNG

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Verdampfen eines Verdampfungsguts in einer Vakuumbeschichtungsanläge mit einem einen Öffnungsrand aufweisenden Tiegel und einem den Tiegel mindestens teilweise umgebenden eine Wandung aufweisenden Heizraum.

Bei der Verdampfung des Verdampfungsguts tritt insbesondere bei hohen Temperaturen häufig das Problem auf, dass aggressive Prozessgase oder Prozessstoffe aus einer evakuierten Umgebung der Vorrichtung zur Korrosion einer Heiz- einrichtung, von Abschirmelementen oder von anderen im Heizraum angeordneten Bauteilen führen. Daraus können Kurzschlüsse, Brüche der Heizeinrichtung oder andere Betriebsstörungen resultieren, die zum Ausfall der Vorrichtung führen. Öffnungen, Spalte oder undichte Stellen, ins- besondere solche die nach oben in Verdampfungsrichtung weisen, durch welche die Prozessstoffe eintreten, können aufgrund der hohen Temperaturen nicht mit konventionellen

BESTÄTIGUNGSKOPIE Mitteln abgedichtet werden. Eine Kühlung dieser Bereiche ist ebenfalls möglichst zu vermeiden, um eine unerwünschte Kondensation des Verdampfungsguts in diesen Bereichen auszuschließen. Ferner muss auch der Heizraum, in dem sich die Heizeinrichtung befindet, evakuierbar sein, um Reaktionen der Heizeinrichtung und der Abschirmelemente mit Restgasen, wie zum Beispiel mit Sauerstoff, zu vermeiden. Deshalb sollte möglichst keine dichte Trennung zwischen dem Heizraum und der evakuierten Umgebung in der Vakuumbe- schichtungsanlage bestehen. Die Heizeinrichtung kann beispielsweise ein meanderförmiger Heizdraht oder eine Heizfläche sein, der oder die aus einem Metalldraht, aus einem Graphit -Meander , oder anderen Heizelementen hergestellt ist .

Die Erfindung hat die Aufgabe, eine gattungsgemäße Vorrichtung dahingehend zu verbessern, dass ein Heizraum besser vor einem Eintreten der in der Vakuumbeschichtungsan- lage beim Beschichtungsprozess vorhandenen aggressiven Prozessstoffe geschützt ist.

Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe mit einer Vorrichtung der eingangs genannten Art, bei der erfindungsgemäß zwischen einem Öffnungsrand und der Wandung eine Abde- ckung vorgesehen ist. Die Abdeckung kann ein Abdeckschild sein, das zwischen dem Öffnungsrand und der Wandung montiert ist. Das Abdeckschild kann ein rotationssymmetrisches Bauteil sein, das in seiner Mitte eine Öffnung aufweist, mit der es den Öffnungsrand des Tiegels umfasst, oder das von unten an den Öffnungsrand gedrückt wird. Es kann jedoch auch ein längliches Bauteil, das einen eine oder mehrere Öffnungen aufweisenden Tiegel umfasst. Die Abdeckung ist vorzugsweise so gestaltet, dass es von einem Heizraum oder von einem Innenbereich der Vorrichtung, in dem sich eine Heizung sowie innere Abschirmungen befinden, keine Öffnung und keinen Spalt in eine nach oben weisende Verdampfungsrichtung gibt . Somit vermeidet die Abdeckung mindestens weitestgehend, dass aggressive Prozessstoffe, die fest, flüssig oder gasförmig sein können, aus der vakuumierten Umgebung der Vorrichtung in einen Heizraum der Vorrichtung gelangen. Zwischen der Abdeckung und der Wandung respektive zwischen der Abdeckung und dem Öffnungsrand des Tiegels können nach unten gerichtete sehr schmale Spalte existieren, so dass keine dichte Trennung zwischen dem Heizraum und der vakuumierten Umgebung besteht. Somit kann im Heizraum dasselbe Vakuum wie in der vakuumierten Umgebung bestehen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung eignet sich besonders gut zum Verdampfen von Metallen oder anderen Materialien bei einer hohen Temperatur in der aggressiven Umgebung. So können beispielsweise Metalle im Vakuum, das ein Sauerstoffrestgas enthält, verdampft werden. Es ist ferner auch möglich Metalle wie beispielsweise Gold, Gallium, Indium, Zinn, Kupfer, Silber, Aluminium oder andere Materialien in Stickstoff-, phosphor-, arsen-, antimon-, bismut-, schwefel-, seien-, tellur-, chlor-, jod- oder bromhaltiger Umgebung im Vakuum zu verdampfen. Folglich können mit der Vorrichtung dünne Schichten in Va- kuumbeschichtungsanlagen, Epitaxieanlagen, Molekularepitaxie oder in Anlagen zur physikalischen Gasphasenabschei- dung hergestellt werden, wie sie beispielsweise bei der Solarzellenherstellung, bei der Herstellung von Dünn- schichthalbleitern, III-V-Verbindungshalbleitern oder II- VI -Verbindungshalbleitern erforderlich sind. Zur Verbesserung der Abschirmwirkung kann der Öffnungsrand über den Mantel des Tiegels hinausragen. Der Öffnungsrand kann zum Beispiel eben mit konstanter Dicke oder konisch mit veränderlicher Dicke versehen sein.

Die Abdeckung kann aus einem Material mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit gefertigt sein. Als Material, können Keramikmaterialien infrage kommen, wie beispielsweise py- rolytisches Bornitrid, Aluminiumtrioxid . Ferner eignet sich Grafit in verschiedenen Formen oder Metalle, wie zum Beispiel Molybdän, Tantal, Niob, Wolfram. Auch Silizium- carbit ist als Material einsetzbar. Da die Wandung bevorzugt ein Kühlmantel, oder ein mit einer Kühlflüssigkeit durchströmter Kühlkörper ist, verhindert das Material mit der geringen Wärmeleitfähigkeit, dass der Öffnungsrand durch die Berührung mit der Abdeckung abgekühlt wird. Somit wird der Öffnungsrand nicht wesentlich abgekühlt, sondern bleibt heiß, sodass sich am Öffnungsrand des Tiegels kein Kondensat bildet, das zu einem unkontrollierten Wild- Wachstum von Strukturen aus Kondensat führen kann.

Bei einer geringen thermischen Ausdehnung des Tiegels kann die Abdeckung mit dem Tiegel fest verbunden sein. Alternativ können der Tiegel und die Abdeckung einstückig ausge- bildet sein.

Bei einer großen thermischen Ausdehnung des Tiegels jedoch kann die Abdeckung lose zwischen dem Tiegel und der Wandung angeordnet sein. Die Abdeckung liegt dann lose auf der Wandung auf und der Tiegel lose auf der Abdeckung. Somit können sich der Tiegel und die Abdeckung unterschiedlich stark ausdehnen oder zusammenziehen und Relativbewe- gungen zueinander ausführen, wobei die Abdeckung trotzdem ihre Funktion, den Heizraum vor dem Eintritt aggressiver Prozessstoffe zu schützen, erfüllen kann. Zur Verbesserung der Abdichtung zwischen dem Tiegel und der Abdeckung können zwischen der Wandung und der Abdeckung Federelemente angeordnet sein. Die Federelemente können auf den Rand der Wandung montiert oder nur aufgelegt werden. Die Federelemente drücken die Abdeckung von der Wandung weg. Die Abdeckung wird somit gegen die Unterseite des Öffnungsrands gedrückt, so dass der Spalt zwischen dem heißen Öffnungsrand und der Abdeckung sehr klein ist, oder ganz vermieden wird. Bei einer thermischen Ausdehnung des Öffnungsrands kann dieser lateral über den oberen Rand der Abdeckung gleiten, so dass an dieser für die Vorrichtung besonders wichtigen Stelle kaum oder idealer Weise kein aggressives Prozessgas oder keine aggressiven Prozessstoffe in den Heizraum eindringen können. Die Federelemente gewährleisten somit unabhängig von der ther- mischen Ausdehnung die optimale Abdichtung zwischen der Abdeckung und dem Tiegel .

Die Abdeckung kann eine geringere thermische Ausdehnung aufweisen als der Tiegel . Auf diese Weise kann eine besse- re Abdichtung zwischen der Abdeckung und dem Tiegel erreicht werden, insbesondere dann, wenn die Abdeckung den Rand des Tiegels umfasst .

Die Abdeckung kann die Wandung teilweise überlappen. Da- durch wird der Eintritt der aggressiven Prozessstoffe, insbesondere im festen und flüssigen Aggregat zustand er- Schwert. Außerdem stellt die Überlappung sicher, dass die Abdeckung nicht von der Wandung runterrutschen kann.

Zwischen der Abdeckung und der Wandung kann ein Spalt vorgesehen sein. Er ermöglicht die Evakuierung des Heizraums. Das Eindringen aggressiver Prozessgase im Bereich des Spalts wird durch Kondensation an der gekühlten Wandung reduziert oder ganz verhindert. Somit ist der zum Evakuieren des Heizraums vorgesehene Spalt durch die gekühlte Wandung mindestens einseitig gekühlt. Die Abdeckung kann dazu nach unten entlang der Wandung verlängert ausgeführt werden, so dass ein breiter Spalt radial um den oberen Teil der Wandung ausgebildet wird. Der Spalt verhindert zusätzlich den direkten thermischen Kontakt zwischen der Wandung und der Abdeckung. Das ist hilfreich um die Abkühlung des Öffnungsrands zu vermeiden und somit die Kondensation an dieser Stelle zu verhindern.

Die Abdeckung kann durch den direkten Kontakt mit dem Öff- nungsrand aufgrund des guten Wärmeübergangs erhitzt werden. Im Spalt zwischen der Abdeckung und der Wandung stehen sich somit die ein hohes Temperaturniveau aufweisende Abdeckung einerseits und die ein niedriges Temperaturniveau aufweisende gekühlte Wandung andererseits gegenüber. Schon vor dem Spalt und auf ihrem Weg durch diesen schmalen Spalt kondensieren die aggressiven Prozessgase zum großen Teil an der gekühlten Wandung, so dass auch an dieser Stelle das Eindringen in den Heizraum stark reduziert oder ganz verhindert wird. Der wesentliche Vorteil der hier vorgeschlagenen Problemlösung ist, dass jede nach oben hin gerichtete Öffnung oder jeder nach oben hin ge- richtete Spalt in der ebenfalls nach oben hin gerichteten Verdampfungsrichtung vermieden wird.

Um zu vermeiden, dass durch den Spalt die aggressiven Pro- zessstoffe in den Heizraum eindringen können, kann zwischen der Wandung und der /Abdeckung ein Gettermaterial vorgesehen werden. Das Gettermaterial kann vorzugsweise auf dem Rand der Wandung angebracht werden. Die Abdeckung kann eine Geometrie aufweisen, die von ihrem inneren Bereich zu ihrem äußeren Bereich schräg nach unten abfällt, sodass herabfallende Partikel an der Abdeckung abrutschen und sich nicht dort ablagern können. Um die aggressiven Prozessstoffe aus dem Heizraum zu entfernen oder gar nicht erst eindringen zu lassen, kann der Heizraum separat evakuierbar sein oder alternativ mit einem Inertgas gefüllt werden. Nachfolgend werden verschiedene Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Vorrichtung anhand der beiliegenden Zeichnungen näher erläutert.

Im Einzelnen zeigen:

Fig. 1 eine Schnittansicht durch eine erste Ausführungsform der Vorrichtung

Fig. 2 eine Schnittansicht durch eine zweite Aus- führungsform der Vorrichtung; Fig. 3 eine Schnittansicht durch eine dritte Ausführungsform der Vorrichtung;

Fig. 4 eine Schnittansicht durch eine vierte Aus- führungsform der Vorrichtung;

Fig. 5 eine Draufsicht auf einen runden Tiegel;

Fig. 6 eine Draufsicht auf einen länglichen Tie- gel mit einer Öffnung;

Fig. 7 eine Draufsicht auf einen länglichen Tiegel mit mehreren separaten Öffnungen. Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung 10 zum Verdampfen eines Verdampfungsguts , das in einen Tiegel 11 eingefüllt werden kann. Unterhalb des Tiegels 11 ist eine Basisplatte 12 angeordnet, auf welcher die Vorrichtung 10 montiert ist. Der Tiegel 11 ist von einer umlaufenden Wandung 13 umgeben, die als Kühlmantel dient und zum Beispiel als doppelwandi- ger Kühlmantel ausgeführt sein kann, der mit einer Kühl- flüssigkeit durchströmt werden kann. Die Kühlflüssigkeit kann Wasser, flüssiger Stickstoff oder eine andere Kühl- flüssigkeit sein. Die Basisplatte 12 und die Wandung 13 bilden einen Heizraum 14, in dem eine Heizeinrichtung 15 und Abschirmelemente 16 und 17 angeordnet sind. Die Heizeinrichtung 15 und die Abschirmelemente 16 sind ebenfalls umlaufend um den Tiegel 11 angeordnet. Die Heizeinrichtung

10 ermöglicht es, das im Tiegel 11 befindliche Verdamp- fungsgut zu verdampfen oder zu sublimieren, so dass dieses nach oben in einer Verdampfungsrichtung 104 aus dem Tiegel

11 entweicht und auf einem über dem Tiegel 11 angebrachten und hier nicht näher gezeigten Substrat abgeschieden werden kann. Die Abschirmelemente 16 und 17, die vorzugsweise als Abschirmbleche ausgebildet sind, reflektieren die Wärmestrahlung zurück zum Tiegel 11. Die als Abschirmbleche ausgebildeten Abschirmelemente 16 bestehen vorzugsweise aus Tantal, Molybdän, Niob, Wolfram, Graphit, Edelstahl oder anderen hitzebeständigen Materialien.

Ein Öffnungsrand 18 des Tiegels 11 ist umlaufend von einer als ein Abdeckschild ausgebildeten Abdeckung 19 umgeben. Zwischen der Abdeckung 19 und der Wandung 13 bestehen umlaufende Spalte 100 und 101. Die Spalte 100 und 101 sind zur Verdeutlichung groß dargestellt. Tatsächlich sind sie viel kleiner, da die Abdeckung 19 auf der Wandung 13 auf- liegt. Die Abdeckung 19 reduziert die Gefahr, dass aggressive Prozessstoffe aus einer Umgebung der Vorrichtung 10 in den Heizraum 14 eintreten können.

In der Basisplatte 12 können kleinere Anschlussflansche 102 vorgesehen sein, durch welche elektrische Anschlüsse für die Heizeinrichtung 15 und nicht gezeigte Temperatursensoren eingeführt werden können. Durch die Öffnung 103 und den Anschlussflansch 102 kann auch eine zusätzliche separate Evakuierung des Heizraums 14 vorgenommen werden.

Fig. 2 zeigt eine Vorrichtung 20 mit einem Tiegel 21, der einen über den Mantel des Tiegels 21 hinausragenden Öffnungsrand 22 aufweist. Der Öffnungsrand 22 überdeckt somit teilweise den Innenraum 14. Eine Abdeckung 23 umfasst um- laufend den Öffnungsrand 22. Zwischen der Wandung 13 und der Abdeckung 23 ist ein Gettermaterial 24 angeordnet, um aggressive Prozessstoffe zu binden, die durch einen Spalt 25 in den Heizraum 14 eintreten können. Im Bereich des Spaltes 25 können aggressive Prozessgase kondensieren, so dass die aggressiven Prozessstoffe schlechter in den Heizraum 14 gelangen können.

Bei einer Vorrichtung 30 weist ein Tiegel 31 einen Öffnungsrand 32 auf, der ebenfalls über den Mantel des Tiegels 31 hinausragt (siehe Fig. 3) . Eine Abdeckung 33 weist einen stufenartigen Längsschnitt auf. Sie bildet somit ei- nen Übergang von einem Maß, das etwas größer als der Außendurchmesser der Wandung 13 ist, auf ein Maß, das etwas kleiner als der Außendurchmesser des Öffnungsrands 32 ist. Die Abdeckung 33 wird mit Federelementen 34 von unten gegen den Öffnungsrand 32 gedrückt, um das Eindringen der aggressiven Prozessstoffe zwischen dem Öffnungsrand 32 und der Abdeckung 33 zu vermeiden. Dabei führt die Abdeckung

33 wenig Wärme vom Öffnungsrand 32 ab, so dass dieser möglichst heiß bleibt, und somit eine Kondensation des Verdampfungsguts auf dem Öffnungsrand 32 vermieden wird. Der Tiegel 31 liegt mit seinem Öffnungsrand 32 lose auf der Abdeckung 33 auf, sodass infolge der thermischen Ausdehnung der Tiegel 31 und die Abdeckung 33 Relativbewegungen zueinander ausführen können. Zwischen der Abdeckung 33 und der Wandung 13 existiert ein umlaufender Spalt 35. Im Be- reich des Spaltes 35 können aggressive Prozessgase kondensieren, so dass die weiteren aggressiven Prozessstoffe schlechter in den Heizraum 14 gelangen können.

In einer alternativen hier nicht gezeigten Ausführungsform kann der Tiegel 31 die Abdeckung 33 durch sein Gewicht gegen die Wandung 13 drücken. Die Federelemente 34 können dann entfallen. In Fig. 4 wird eine Vorrichtung 40 gezeigt, bei welcher der Tiegel 41 ebenfalls einen den Mantel des Tiegels 41 überragenden Öffnungsrand 42 aufweist. Eine Abdeckung 43 ist aus einem Material mit schlechter Wärmeleitung gefertigt, so dass die Wärme vom Tiegelrand nicht abgeführt wird und dieser heiß bleibt. Sie kann elastisch ausgeführt sein so, dass unterschiedliche Wärmeausdehnungen zwischen dem Tiegel 41 und der Abdeckung 43 ausgeglichen werden. Der Tiegel 41 drückt mit dem Öffnungsrand 42 die Abdeckung 43 gegen die Wandung 44, so dass das Eindringen der aggressiven Prozessstoffe in diesem Bereich sehr erschwert ist. Die Abdeckung 43 kann auch fest mit der Wandung 44 und dem Tiegel 41 verbunden sein. An den Übergängen zwi- sehen dem Tiegel 41 und der Abdeckung 43 einerseits und der Abdeckung 43 und der Wandung 44 andererseits wird ein dichter Anschluss hergestellt. Das Evakuieren des Heizraums 14 erfolgt in diesem Fall durch den Anschlussflansch 102 oder durch eine im unteren Bereich der Wandung 44 an- gebrachte Öffnung 45.

Die Tiegel 11, 21, 31 und 41 können eine einzige runde Öffnung 50 aufweisen. Die Öffnungsränder 18, 22, 32 und 42 sowie die Abdeckungen 19, 23, 33 und 43 sind dann an die Form der Öffnung 50 entsprechend angepasst (siehe Fig. 5) .

Es ist jedoch möglich, dass die Tiegel 11, 21, 31 und 41 eine längliche Öffnung 60 aufweisen, an welche die Öffnungsränder 18, 22, 32 und 42 sowie die Abdeckungen 19, 23, 33 und 43 dann ebenfalls entsprechend angepasst sind (siehe Fig. 6) . Schließlich können die Tiegel 11, 21, 31 und 41 eine längliche Gestalt aufweisen, jedoch mit einer Vielzahl von Öffnungen 70, 71, 72 und 73 versehen sein. Die Öffnungen 70, 71, 72 und 73 können unterschiedliche Größen aufwei- sen, um eine homogene Beschichtung zu erzielen. Die Öffnungsränder 18, 22, 32 und 42 sind entsprechend ausgebildet und verlaufen teilweise zwischen den Öffnungen 70, 71, 72 und 73. Die Abdeckungen 19, 23, 33 und 43 weisen bei dieser Ausführungsvariante ebenfalls eine längliche Ges- talt auf (Sie Fig. 7) .

BEZUGSZEICHENLISTE

10 Vorrichtung

11 Tiegel Vorrichtung

12 Basisplatte Tiegel

13 Wandung Öffnungsrand

14 Heizraum Abdeckung

15 Heizeinrichtung Wandung

16 Abschirmelement Öffnung

17 Abschirmelement

18 Öffnungsrand Öffnung

19 Abdeckung

Öffnung

20 Vorrichtung

21 Tiegel 70 Öffnung

22 Öffnungsrand 40 71 Öffnung

23 Abdeckung 72 Öffnung

24 Gettermaterial 73 Öffnung

25 Spalt

100 Spalt

30 Vorrichtung 45 101 Spalt

31 Tiegel 102 Anschlussflansch

32 Öffnungsrand 103 Öffnung

33 Abdeckung 104 Verdampfungsrichtung

34 Federelement

Claims

PATENTANSPRÜCHE

Vorrichtung (10, 20, 30, 40) zum Verdampfen eines Verdampfungsguts in einer Vakuumbeschichtungsanlage mit einem einen Öffnungsrand (18, 22, 32, 42) aufweisenden Tiegel (11, 21, 31, 41) und einem den Tiegel (11, 21, 31, 41) mindestens teilweise umgebenden eine Wandung (13, 44) aufweisenden Heizraum (14) , dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Öffnungsrand (18, 22, 32, 42) und der Wandung (13, 44) eine Abdeckung (19, 23, 33, 43) vorgesehen ist.

2. Vorrichtung (10, 20, 30, 40) nach Anspruch 1, da- durch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (19, 23,

33, 43) ein Abdeckschild ist, das zwischen dem Öffnungsrand (18, 22, 32, 42) und der Wandung (13, 44) montiert ist.

Vorrichtung (10, 20, 30, 40) nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, dass der Öffnungsrand (18 22, 32, 42) , über den Mantel des Tiegels (11, 21 31, 41) hinausragt.

Vorrichtung (10, 20, 30, 40) nach einem der Ansprü che 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Abde ckung (19, 23, 33, 43) aus einem Material mit gerin ger Wärmeleitfähigkeit gefertigt ist. 5. Vorrichtung (10, 20, 30, 40) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Abde- ckung (19, 23, 33, 43) mit dem Tiegel (11, 21, 31, 41) fest verbunden ist.

Vorrichtung (10, 20, 30, 40) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (19, 23, 33, 43) lose zwischen dem Tiegel (11, 21, 31, 41) und der Wandung (13, 44) angeordnet ist.

Vorrichtung (30) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Wandung (13) und der Abdeckung (33) Federelemente (34) angeordnet sind.

Vorrichtung (10, 20, 30, 40) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (19, 23, 33, 43) die geringere thermische Ausdehnung als der Tiegel (11, 21, 31, 41) aufweist.

Vorrichtung (10, 20, 30) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (19, 23, 33) die Wandung (13) teilweise überlappt.

Vorrichtung (10, 20, 30) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Abdeckung (19, 23, 33) und der Wandung (13) ein Spalt (25, 35, 100, 101) vorgesehen ist.

Vorrichtung (20) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Wandung (13) und der Abdeckung (23) ein Gettermaterial (24) angeordnet ist.

12. Vorrichtung (10, 20, 30) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (19, 23, 33) eine Geometrie aufweist, die von ihrem inneren Bereich zu ihrem äußeren Bereich schräg nach unten abfällt.

13. Vorrichtung (10, 20, 30, 40) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Heizraum (14) separat evakuierbar ist.