WO2013065142A1 - Liquid crystal array inspection device, and signal processing method for liquid crystal array inspection device - Google Patents

Liquid crystal array inspection device, and signal processing method for liquid crystal array inspection device Download PDF

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Abstract

In order to reduce the false detection of detector pixel coordinates when detector pixel coordinates corresponding to pixels are detected from detector pixel coordinates obtained from a scanned image, in a liquid crystal array inspection, wherein a test signal of a prescribed voltage is applied to a liquid crystal substrate to drive an array, secondary electrons obtained by irradiating the liquid crystal substrate with an electron beam are scanned, and the liquid crystal substrate array is inspected on the basis of a scanned image obtained as a result of the scan, by associating pixels corresponding to the liquid crystal substrate array with detector pixel coordinates obtained from the scanned image, in relation to signal processing for identifying pixels to be used in the array inspection, coordinate sequences having continuous detector pixel coordinates in columns are used as detector pixel coordinates that serve as a reference for associating the pixels on the liquid crystal substrate with the detector pixel coordinates obtained from the scanned image, instead of detector pixel coordinates at both ends in the column direction in the prior art.

Description

液晶アレイ検査装置および液晶アレイ検査装置の信号処理方法Liquid crystal array inspection apparatus and signal processing method for liquid crystal array inspection apparatus
　本発明は、液晶基板上を撮像して得られる撮像画像を用いて液晶アレイを検査する液晶アレイ検査装置に関し、特に、検査対象のピクセルの座標位置の特定に関する。 The present invention relates to a liquid crystal array inspection apparatus that inspects a liquid crystal array using a captured image obtained by capturing an image on a liquid crystal substrate, and particularly relates to specification of a coordinate position of a pixel to be inspected.
　液晶アレイ検査装置において、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査して得られる走査画像を用いることができる。 In a liquid crystal array inspection apparatus, a scanning image obtained by two-dimensionally scanning a charged particle beam such as an electron beam or an ion beam on a substrate can be used.
　例えば、ＴＦＴディスプレイ装置に用いるＴＦＴアレイ基板の製造工程では、製造されたＴＦＴアレイ基板が正しく駆動するかの検査が行われるが、このＴＦＴアレイ基板検査では、荷電粒子ビームとして例えば電子ビームを用いて、ＴＦＴアレイ基板を走査することで走査画像を取得し、この走査画像に基づいて検査を行っている。（特許文献１，２） For example, in a manufacturing process of a TFT array substrate used in a TFT display device, an inspection is performed to check whether the manufactured TFT array substrate is driven correctly. In this TFT array substrate inspection, for example, an electron beam is used as a charged particle beam. A scanning image is acquired by scanning the TFT array substrate, and an inspection is performed based on the scanning image. (Patent Documents 1 and 2)
　例えば、検査対象の液晶基板のアレイに検査信号を印加し、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査し、ビーム走査で得られる走査画像に基づいて基板検査を行うアレイ検査装置が知られている。アレイ検査では、電子線の照射によって放出される二次電子をフォトマルチプライヤなどによってアナログ信号に変換して検出し、この検出信号の信号強度に基づいてアレイ欠陥を判定している。 For example, an inspection signal is applied to an array of liquid crystal substrates to be inspected, a charged particle beam such as an electron beam or an ion beam is scanned two-dimensionally on the substrate, and substrate inspection is performed based on a scanning image obtained by beam scanning. Array inspection devices that perform are known. In array inspection, secondary electrons emitted by electron beam irradiation are detected by converting them into analog signals using a photomultiplier or the like, and array defects are determined based on the signal intensity of the detection signals.
　アレイ検査は、走査画像上のピクセル位置を検出し、検出したピクセル位置における走査画像の信号強度に基づいて行う。ピクセル位置の検出は、走査画像を画像処理してピクセル座標を検出し、検出したピクセル座標を液晶基板に設定されたピクセル配置に合わせて配列することで行う。 The array inspection is performed based on the signal intensity of the scanned image at the detected pixel position by detecting the pixel position on the scanned image. The pixel position is detected by performing image processing on the scanned image to detect pixel coordinates, and arranging the detected pixel coordinates in accordance with the pixel arrangement set on the liquid crystal substrate.
　走査画像上のピクセル位置の検出において、液晶基板を載置するステージの移動誤差や電子ビームの照射位置のずれ等によって、走査画像上のピクセル位置に位置ずれが生じ、設定したピクセル位置に対して異なるピクセルが対応付けられる不都合が生じる場合がある。このピクセル位置の位置ずれによる不都合を回避するために、ピクセル座標の配列において、設定したピクセル位置とピクセルとの対応関係にずれが生じないように、検出したピクセル座標をピクセル配置への並べ替えを行っている。 In the detection of the pixel position on the scanned image, the pixel position on the scanned image is displaced due to the movement error of the stage on which the liquid crystal substrate is placed or the displacement of the electron beam irradiation position. There may be a disadvantage that different pixels are associated with each other. In order to avoid the inconvenience due to the displacement of the pixel position, the detected pixel coordinates are rearranged into the pixel arrangement so that the correspondence between the set pixel position and the pixel does not shift in the pixel coordinate array. Is going.
　このピクセル座標の並べ替えは、ピクセル配列の列毎に行われる。ここで、ピクセル配列の列は電子ビームの走査方向に対応するものであり、ピクセル配列の列毎でピクセル座標を並べ替えることによって、同一のステージ位置において電子ビームを走査した際の位置ずれを回避する。並べ替えは、先頭列（１列目）のピクセル座標位置を算出し、２列目以降は先頭列で算出した座標位置に基づいて算出し、検出ピクセル座標の中から、算出した各列のピクセル座標位置の近傍にある検出座標を探索することで行われる。 This rearrangement of pixel coordinates is performed for each column of the pixel array. Here, the columns of the pixel array correspond to the scanning direction of the electron beam. By rearranging the pixel coordinates for each column of the pixel array, misalignment when scanning the electron beam at the same stage position is avoided. To do. The rearrangement is performed by calculating the pixel coordinate position of the first column (first column), calculating the second column and subsequent columns based on the coordinate position calculated in the first column, and calculating the pixel of each column calculated from the detected pixel coordinates. This is done by searching for detected coordinates in the vicinity of the coordinate position.
　図１７は従来の液晶アレイ検査の手順を説明するためのフローチャートである。図１７のフローチャートにおいて、液晶基板上を走査して走査画像を取得し（S10）、取得した走査画像からピクセルを検出し、検出ピクセル座標を取得する。ピクセルの検出は、走査画像の検出信号の信号強度によって行うことができる。また、検出ピクセル座標は、検出信号を取得した際のステージの位置や電子ビームの照射位置等から取得することができる(S20)。 FIG. 17 is a flowchart for explaining the procedure of the conventional liquid crystal array inspection. In the flowchart of FIG. 17, the liquid crystal substrate is scanned to obtain a scanned image (S10), pixels are detected from the obtained scanned image, and detected pixel coordinates are obtained. Pixel detection can be performed based on the signal strength of the detection signal of the scanned image. The detection pixel coordinates can be acquired from the position of the stage when the detection signal is acquired, the irradiation position of the electron beam, etc. (S20).
　ピクセル座標の並べ替えを行うために探索用ピクセル座標を算出し（S30,S40）、算出した探索用ピクセル座標に基づいて検出ピクセル座標を探索し（S50）、探索した検出ピクセル座標に対応する検出ピクセルを用いて検査を行う(S60)。 Search pixel coordinates are calculated in order to rearrange pixel coordinates (S30, S40), detection pixel coordinates are searched based on the calculated search pixel coordinates (S50), and detection corresponding to the detected detection pixel coordinates is performed. An inspection is performed using pixels (S60).
　探索用ピクセル座標の算出では、はじめに先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標を算出し(S30)、次に２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する(S40)。先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標は、列方向（ｘ方向）の検出ピクセル座標において両端の検出ピクセル座標を用いて算出し、２列目以降の探索用ピクセル座標は、１列目の探索用ピクセル座標にｙ方向のピッチを加算することで算出する。 In the calculation of search pixel coordinates, first, search pixel coordinates in the first column (first column) are calculated (S30), and then search pixel coordinates in the second column and thereafter are calculated (S40). The search pixel coordinates in the first column (first column) are calculated using the detection pixel coordinates at both ends in the detection pixel coordinates in the column direction (x direction), and the search pixel coordinates in the second column and thereafter are the first column. This is calculated by adding the pitch in the y direction to the search pixel coordinates.
　図１８，１９は、１列目の探索用ピクセル座標の算出を説明するためのフローチャートおよび説明図である。 18 and 19 are a flowchart and an explanatory diagram for explaining calculation of search pixel coordinates in the first column.
　はじめに、走査画像の検出信号から検出ピクセル座標を取得する。例えば、走査画像の白部（高信号強度部）の検出ピクセルの座標から取得する。図１９（ａ）は検出ピクセルの座標位置を十字の印で示している（S31）。 First, the detection pixel coordinates are obtained from the detection signal of the scanned image. For example, it is acquired from the coordinates of the detection pixel in the white portion (high signal intensity portion) of the scanned image. FIG. 19A shows the coordinate position of the detected pixel with a cross mark (S31).
　検出した検出ピクセル座標の内、列方向の検出ピクセル座標をハフ変換し、これらの検出ピクセル座標を通る直線を算出する。図１９（ｂ）はハフ変換で求めた直線を示している(S32)。 内 Of the detected pixel coordinates, the detected pixel coordinates in the column direction are Hough transformed, and a straight line passing through these detected pixel coordinates is calculated. FIG. 19B shows a straight line obtained by the Hough transform (S32).
　直線の近傍にある検出ピクセル座標の内で、列方向の両端の検出ピクセル座標の座標値を算出する。図１９（ｃ）中の丸印は両端の検出ピクセル座標を示している（S33）。算出した左右両端の検出ピクセル座標を元にして先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標を算出する。図１９（ｄ）中の×印は探索用ピクセル座標を示している。探索用ピクセル座標は、例えば左右両端の検出ピクセル座標に列方向（ｘ方向）のピッチΔｘを加算あるいは減算することで算出することができる。 ∙ Calculate the coordinate values of the detected pixel coordinates at both ends in the column direction among the detected pixel coordinates near the straight line. Circles in FIG. 19 (c) indicate detected pixel coordinates at both ends (S33). Based on the calculated pixel coordinates at the left and right ends, search pixel coordinates in the first column (first column) are calculated. The crosses in FIG. 19D indicate search pixel coordinates. The search pixel coordinates can be calculated, for example, by adding or subtracting the pitch Δx in the column direction (x direction) to the detection pixel coordinates at the left and right ends.
　図１９（ｅ）は、得られた探索用ピクセル座標（図中の×印）を用いて検出ピクセル座標を探索する状態を示し、探索用ピクセル座標の近傍の検出ピクセル座標を探索する。図中の破線で示す丸印は、探索用ピクセル座標の近傍する領域を示している。近傍する領域の範囲は、例えば上記の丸印の径によって定めることができる。図１９（ｆ）中の破線内の検出ピクセル座標は、探索によって得られた検出ピクセル座標を示している(S34）。 FIG. 19 (e) shows a state in which the detected pixel coordinates are searched using the obtained search pixel coordinates (x in the figure), and the detected pixel coordinates in the vicinity of the search pixel coordinates are searched. A circle indicated by a broken line in the drawing indicates a region near the search pixel coordinates. The range of the adjacent region can be determined by, for example, the diameter of the circle. The detected pixel coordinates in the broken line in FIG. 19 (f) indicate the detected pixel coordinates obtained by the search (S34).
　次に、１列目の探索用ピクセル座標を元にし、ｙ方向のピッチΔｙを加算することによって、２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する(S35)。算出した探索用ピクセル座標の近傍にある検出ピクセル座標を探索する（S36）。 Next, the search pixel coordinates in the second column and thereafter are calculated by adding the pitch Δy in the y direction based on the search pixel coordinates in the first column (S35). The detected pixel coordinates in the vicinity of the calculated search pixel coordinates are searched (S36).
特開２００４－２７１５１６号公報JP 2004-271516 A 特開２００４－３０９４８８号公報JP 2004-309488 A
　前記したように、先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標を算出する際に、列方向の両端の検出ピクセル座標の座標値を基準としている。このとき、列方向の両端の検出ピクセル位置が走査画像の歪みやムラによって、何れか一方の端部が別の列のピクセルを検出する場合が生じる。 As described above, when calculating the search pixel coordinates of the first column (first column), the coordinate values of the detected pixel coordinates at both ends in the column direction are used as a reference. At this time, the detection pixel positions at both ends in the column direction may detect pixels in another column at either one end due to distortion or unevenness of the scanned image.
　このように、列方向の両端の検出ピクセル位置の何れか一方が別の列のピクセルを誤検出し、この誤検出したピクセルのピクセル座標に基づいて探索用ピクセル座標を算出すると、先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標に誤差が生じることになる。誤差を含んだ探索用ピクセル座標を用いて検出ピクセル座標を探索すると、ピクセル位置の検出を正常に行うことができないという問題が発生する。 As described above, when one of the detection pixel positions at both ends in the column direction erroneously detects a pixel in another column and the search pixel coordinates are calculated based on the pixel coordinates of the erroneously detected pixel, the first column (1 An error occurs in the search pixel coordinates in the (column). When the detected pixel coordinates are searched using the search pixel coordinates including an error, there arises a problem that the pixel position cannot be normally detected.
　図２０は検出ピクセル座標の誤検出を説明するための図である。図２０は図１９と同様な状態を示し、先頭列（１列目）の左端の検出ピクセル位置に位置ずれがある場合を示している。 FIG. 20 is a diagram for explaining erroneous detection of detected pixel coordinates. FIG. 20 shows a state similar to that in FIG. 19 and shows a case where there is a displacement in the detection pixel position at the left end of the first column (first column).
　図２０（ｃ）は、直線の近傍にある検出ピクセル座標から列方向の両端の検出ピクセル座標の座標値を算出する際、左端において２列目の検出ピクセル座標を近傍する検出ピクセル座標として検出した場合を示している。 In FIG. 20C, when the coordinate values of the detection pixel coordinates at both ends in the column direction are calculated from the detection pixel coordinates in the vicinity of the straight line, the detection pixel coordinates in the second column are detected as the detection pixel coordinates in the left end. Shows the case.
　左端の検出ピクセル座標として別の列の検出ピクセル座標を誤検出した場合には、図２０（ｄ）に示すように誤った探索用ピクセル座標が算出される。図２０（ｄ）は、列の左方の探索用ピクセル座標が位置ずれした状態を示している。これによって、検出ピクセル座標は２列目のピクセル座標が検出され、正常なピクセル位置の検出ができなくなる。 When a detection pixel coordinate in another column is erroneously detected as the leftmost detection pixel coordinate, an erroneous search pixel coordinate is calculated as shown in FIG. FIG. 20D shows a state where the search pixel coordinates on the left side of the column are displaced. As a result, the pixel coordinates in the second column are detected as the detected pixel coordinates, and a normal pixel position cannot be detected.
　図２０（ｅ）は、得られた探索用ピクセル座標（図中の×印）を用いて検出ピクセル座標を探索する状態を示し、探索用ピクセル座標の近傍の検出ピクセル座標を探索する。図２０（ｆ）の破線内の検出ピクセル座標は、探索によって得られた検出ピクセル座標を示している。左端の検出ピクセル座標は２列目の探索ピクセル座標であるため、左方と右方の探索用ピクセル座標が位置ずれすることになる。この位置ずれした探索用ピクセル座標に基づいて行う検出ピクセル座標の検出は誤検出の要因となる。 FIG. 20E shows a state in which the detected pixel coordinates are searched using the obtained search pixel coordinates (indicated by X in the figure), and the detected pixel coordinates in the vicinity of the search pixel coordinates are searched. The detected pixel coordinates in the broken line in FIG. 20 (f) indicate the detected pixel coordinates obtained by the search. Since the detection pixel coordinates at the left end are the search pixel coordinates in the second column, the left and right search pixel coordinates are misaligned. Detection of detected pixel coordinates based on the displaced pixel coordinates for search is a cause of erroneous detection.
　そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、走査画像から得られた検出ピクセル座標から各ピクセルに対応する検出ピクセル座標を検出する際に、検出ピクセル座標の誤検出を低減することを目的とする。 Therefore, the present invention solves the above-described conventional problems, and reduces detection error of detection pixel coordinates when detecting detection pixel coordinates corresponding to each pixel from detection pixel coordinates obtained from a scanned image. Objective.
　走査画像から得られた検出ピクセル座標から、各ピクセルに対応する検出ピクセル座標の検出に用いる列方向の探索用ピクセル座標を抽出する際に、走査画像から得られる検出ピクセル座標に位置ずれがあった場合であっても、列方向の検出ピクセル座標を誤りなく抽出して正しい探索用ピクセル座標を形成し、これによって検出ピクセル座標の誤検出を低減することを目的とする。 When extracting the pixel coordinates for search in the column direction used for detection of the detection pixel coordinates corresponding to each pixel from the detection pixel coordinates obtained from the scanning image, the detection pixel coordinates obtained from the scanning image were misaligned. Even in such a case, the detection pixel coordinates in the column direction are extracted without error to form correct search pixel coordinates, thereby reducing detection error of the detection pixel coordinates.
　本発明は、液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を走査し、この走査で得られる走査画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査において、液晶基板上のアレイに対応するピクセルと、走査画像から得られる検出ピクセルの座標とを対応付けることによって、アレイ検査に用いるピクセルを特定するための信号処理に係わる。本発明は、液晶基板上のピクセルと走査画像から得られる検出ピクセル座標との対応付けにおいて、基準となる検出ピクセル座標として、従来の列方向の両端の検出ピクセル座標に代えて、列内において検出ピクセル座標が連続する座標列を用いる。 The present invention applies an inspection signal of a predetermined voltage to a liquid crystal substrate to drive an array, scans secondary electrons obtained by irradiating the liquid crystal substrate with an electron beam, and liquid crystals based on a scanning image obtained by this scanning In liquid crystal array inspection for inspecting an array of substrates, signal processing for specifying pixels used for array inspection is performed by associating pixels corresponding to the array on the liquid crystal substrate with coordinates of detection pixels obtained from the scanned image. Involved. In the present invention, in the association between the pixel on the liquid crystal substrate and the detected pixel coordinate obtained from the scanned image, the detection pixel coordinate serving as a reference is detected in the column instead of the conventional detected pixel coordinate at both ends in the column direction. A coordinate sequence in which pixel coordinates are continuous is used.
　これによって、列端部の検出ピクセル座標に位置ずれが生じた場合であっても、検出ピクセル座標の位置ずれを低減することができる。また、列端部の検出ピクセル座標に位置ずれに限らず、列内の検出ピクセル座標に位置ずれが生じた場合であっても、検出ピクセル座標の位置ずれを低減することができる。これは、列内において連続する複数の検出ピクセル座標を用いることで、各検出ピクセル座標の位置ずれによる影響を低減することができるためである。 Thereby, even if a positional deviation occurs in the detection pixel coordinates at the end of the column, the positional deviation of the detection pixel coordinates can be reduced. Further, not only the positional deviation of the detection pixel coordinates at the column end but also the positional deviation of the detection pixel coordinates in the column can reduce the positional deviation of the detection pixel coordinates. This is because by using a plurality of detection pixel coordinates that are continuous in the column, it is possible to reduce the influence of the displacement of each detection pixel coordinate.
　本発明は、液晶アレイ検査装置の信号処理方法の態様、および液晶アレイ検査装置の態様とすることができる。 The present invention can be an aspect of a signal processing method for a liquid crystal array inspection apparatus and an aspect of a liquid crystal array inspection apparatus.
　本発明の液晶アレイ検査装置の信号処理方法の態様は、液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を走査し、前記走査で得られる走査画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置の信号処理方法において、走査画像中の二次元配列ピクセルから、検出ピクセル座標が列方向に連続する座標列を求め、この座標列を基準として、列方向の検出ピクセル座標を探索するための探索用ピクセル座標を求める探索用ピクセル座標工程と、前記の工程で求めた探索用ピクセル座標と検出ピクセル座標とを座標比較することによって、探索用ピクセル座標に近傍する検出ピクセル座標を検出し、列方向の検出ピクセル座標を探索する検出ピクセル座標工程とを備える。 According to an aspect of the signal processing method of the liquid crystal array inspection apparatus of the present invention, the array is driven by applying an inspection signal of a predetermined voltage to the liquid crystal substrate, and secondary electrons obtained by irradiating the liquid crystal substrate with an electron beam are scanned. In a signal processing method of a liquid crystal array inspection apparatus that inspects an array of liquid crystal substrates based on a scanning image obtained by the scanning, a coordinate sequence in which detection pixel coordinates are continuous in a column direction from a two-dimensional array pixel in the scanning image is obtained. Using this coordinate sequence as a reference, a search pixel coordinate step for obtaining a search pixel coordinate for searching the detection pixel coordinate in the column direction, and the search pixel coordinate and the detection pixel coordinate obtained in the above step are coordinated. A detection pixel coordinate step of detecting a detection pixel coordinate close to the search pixel coordinate by comparison and searching for a detection pixel coordinate in a column direction. .
　検出ピクセル座標工程で探索した検出ピクセル座標の検出ピクセルを検査対象ピクセルとしてアレイ検査を行う。 The array inspection is performed with the detection pixel of the detection pixel coordinate searched in the detection pixel coordinate step as the inspection target pixel.
　本発明の探索用ピクセル座標工程は、二次元配列ピクセルのピクセル座標において、１列目の探索用ピクセル座標を算出する第１の工程と、第１の工程で算出した１列目に基づいて２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する第２の工程とを備える。 The search pixel coordinate process of the present invention is based on the first process for calculating the search pixel coordinates of the first column in the pixel coordinates of the two-dimensional array pixels, and 2 based on the first column calculated in the first process. And a second step of calculating pixel coordinates for search after the column.
　第１の工程は、走査画像中の二次元配列ピクセルから、検出ピクセル座標が列方向に連続する座標列を算出する座標列工程と、連続する座標列を基準とし、座標列の検出ピクセル座標、および列方向において座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて１列目の探索用ピクセル座標を算出する１列目工程とを備える。連続する座標列において、列内において座標列を構成する検出ピクセル座標の座標数が最大である座標列を基準とすることができる。 The first step is a coordinate sequence step for calculating a coordinate sequence in which detected pixel coordinates are continuous in the column direction from a two-dimensional array pixel in the scanned image, and a detected pixel coordinate in the coordinate sequence based on the continuous coordinate sequence, And a first column step of calculating a search pixel coordinate of the first column from the coordinate column in the column direction using the detected pixel coordinate in each end direction. In a continuous coordinate sequence, the coordinate sequence having the maximum number of detected pixel coordinates constituting the coordinate sequence in the sequence can be used as a reference.
　第２の工程は、第１の工程で算出した探索用ピクセル座標に、列方向と直交する方向のピッチを加算して２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する２列目工程を備える。 The second step includes a second column step of calculating the search pixel coordinates in the second and subsequent columns by adding the pitch in the direction orthogonal to the column direction to the search pixel coordinates calculated in the first step.
　また、１列目工程において、１列目の探索用ピクセル座標は、座標列の検出ピクセル座標、および列方向において座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて最小二乗法によって算出する。 Also, in the first column step, the search pixel coordinates of the first column are calculated by the least square method using the detected pixel coordinates of the coordinate column and the detected pixel coordinates of each end direction from the coordinate column in the column direction.
　本発明の液晶アレイ検査装置の態様は、液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を走査し、走査で得られる走査画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置において、走査画像中の二次元配列ピクセルから、検出ピクセル座標が列方向に連続する座標列を求め、求めた座標列を基準として、列方向の検出ピクセル座標を探索するための探索用ピクセル座標を求める探索用ピクセル座標部と、探索用ピクセル座標と検出ピクセル座標との座標比較によって、探索用ピクセル座標に近傍する検出ピクセル座標を検出し、列方向の検出ピクセル座標を探索する検出ピクセル座標部とを備える。検出ピクセル座標部で探索した検出ピクセル座標の検出ピクセルを検査対象ピクセルとしてアレイ検査を行う。 The aspect of the liquid crystal array inspection apparatus of the present invention is obtained by scanning a secondary electron obtained by applying an inspection signal of a predetermined voltage to a liquid crystal substrate to drive the array, and irradiating the liquid crystal substrate with an electron beam. In a liquid crystal array inspection apparatus for inspecting an array of liquid crystal substrates based on a scanned image obtained, a coordinate sequence in which detection pixel coordinates are continuous in a column direction is obtained from a two-dimensional array pixel in the scanned image, and the obtained coordinate sequence is used as a reference. , A search pixel coordinate unit for obtaining a search pixel coordinate for searching for a detection pixel coordinate in the column direction, and a detection pixel coordinate close to the search pixel coordinate by a coordinate comparison between the search pixel coordinate and the detection pixel coordinate A detection pixel coordinate unit for detecting and searching for detection pixel coordinates in the column direction. The array inspection is performed with the detection pixel of the detection pixel coordinate searched in the detection pixel coordinate portion as the inspection target pixel.
　本発明の探索用ピクセル座標部は、二次元配列ピクセルのピクセル座標において、１列目の探索用ピクセル座標を算出する第１の算出部と、第１の工程で算出した１列目に基づいて２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する第２の算出部とを備える。 The search pixel coordinate unit of the present invention is based on the first calculation unit that calculates the search pixel coordinate of the first column in the pixel coordinates of the two-dimensional array pixel, and the first column calculated in the first step. A second calculation unit that calculates search pixel coordinates in the second column and thereafter.
　第１の算出部は、走査画像中の二次元配列ピクセルから、検出ピクセル座標が列方向に連続する座標列を算出し、連続する座標列を基準とし、座標列の検出ピクセル座標、および列方向において座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて１列目の探索用ピクセル座標を算出する。連続する座標列において、列内において座標列を構成する検出ピクセル座標の座標数が最大である座標列を基準とすることができる。 The first calculation unit calculates a coordinate sequence in which the detection pixel coordinates are continuous in the column direction from the two-dimensional array pixels in the scanned image, and uses the continuous coordinate sequence as a reference, the detection pixel coordinates in the coordinate sequence, and the column direction The search pixel coordinates in the first column are calculated from the coordinate sequence using the detected pixel coordinates in the direction of each edge. In a continuous coordinate sequence, the coordinate sequence having the maximum number of detected pixel coordinates constituting the coordinate sequence in the sequence can be used as a reference.
　第１の算出部は、１列目の探索用ピクセル座標の算出において、１列目の探索用ピクセル座標を、座標列の検出ピクセル座標、および列方向において座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて最小二乗法によって算出することができる。 In the calculation of the search pixel coordinates of the first column, the first calculation unit calculates the search pixel coordinates of the first column, the detection pixel coordinates of the coordinate column, and the detection pixels in the end direction from the coordinate column in the column direction. It can be calculated by the least square method using the coordinates.
　第２の算出部は、第１の算出部で算出した探索用ピクセル座標に前記列方向と直交する方向のピッチを加算して２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する。 The second calculation unit calculates the search pixel coordinates for the second and subsequent columns by adding the pitch in the direction orthogonal to the column direction to the search pixel coordinates calculated by the first calculation unit.
　本発明によれば、走査画像から得られた検出ピクセル座標から各ピクセルに対応する検出ピクセル座標を検出する際に、検出ピクセル座標の誤検出を低減することができる。 According to the present invention, erroneous detection of detected pixel coordinates can be reduced when detecting detected pixel coordinates corresponding to each pixel from detected pixel coordinates obtained from a scanned image.
　本発明によれば、走査画像から得られた検出ピクセル座標から、各ピクセルに対応する検出ピクセル座標の検出に用いる列方向の探索用ピクセル座標を抽出する際に、走査画像から得られる検出ピクセル座標に位置ずれがあった場合であっても、列方向の検出ピクセル座標を誤りなく抽出して正しい探索用ピクセル座標を形成し、これによって検出ピクセル座標の誤検出を低減することができる。 According to the present invention, the detection pixel coordinates obtained from the scanning image when extracting the pixel coordinates for search in the column direction used for detection of the detection pixel coordinates corresponding to each pixel from the detection pixel coordinates obtained from the scanning image. Even if there is a position shift, the detection pixel coordinates in the column direction are extracted without error to form correct search pixel coordinates, thereby reducing erroneous detection of the detection pixel coordinates.
本発明の液晶アレイ検査装置の構成例を説明するための概略ブロック図である。It is a schematic block diagram for demonstrating the structural example of the liquid crystal array test | inspection apparatus of this invention. 本発明の液晶検査装置による概略処理を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the schematic process by the liquid crystal test | inspection apparatus of this invention. 本発明の先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search of the head row | line | column (1st row | line) of this invention. 本発明の先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search of the head row | line | column (1st row | line) of this invention. 本発明の先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search of the head row | line | column (1st row | line) of this invention. 本発明の先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search of the top row | line | column (1st row | line) of this invention. 本発明の先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search of the top row | line | column (1st row | line) of this invention. 本発明の先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search of the top row | line | column (1st row | line) of this invention. 本発明の先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search of the top row | line | column (1st row | line) of this invention. 本発明の先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search of the top row | line | column (1st row | line) of this invention. 本発明の各座標テーブルの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of each coordinate table of this invention. 本発明の最大長の連続座標列から右方にある登録座標を用いた算出を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the calculation using the registration coordinate in the right side from the continuous coordinate sequence of the maximum length of this invention. 本発明の最大長の連続座標列から左方にある登録座標を用いた算出を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the calculation using the registration coordinate in the left from the continuous coordinate sequence of the maximum length of this invention. 本発明の２列目以降の探索用ピクセル座標の算出を説明するための図である。It is a figure for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search after the 2nd column of this invention. 本発明の２列目以降の探索用ピクセル座標の算出を説明するための図である。It is a figure for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search after the 2nd column of this invention. 本発明の液晶アレイ検査装置が備える信号処理部が行う処理を実行するための各機能を説明するための図である。It is a figure for demonstrating each function for performing the process which the signal processing part with which the liquid crystal array test | inspection apparatus of this invention is provided. 従来の液晶アレイ検査の手順を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the procedure of the conventional liquid crystal array test | inspection. 従来の液晶アレイ検査の１列目の探索用ピクセル座標の算出を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search of the 1st row of the conventional liquid crystal array test | inspection. 従来の液晶アレイ検査の１列目の探索用ピクセル座標の算出を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating calculation of the pixel coordinate for a search of the 1st row of the conventional liquid crystal array test | inspection. 従来の液晶アレイ検査の検出ピクセル座標の誤検出を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the misdetection of the detection pixel coordinate of the conventional liquid crystal array test | inspection.
　以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
　本発明の液晶検査装置の概略構成を図１の概略説明図を用いて説明し、本発明の液晶検査装置による概略処理を図２のフローチャートを用いて説明する。 Schematic configuration of the liquid crystal inspection apparatus of the present invention will be described with reference to the schematic explanatory diagram of FIG. 1, and schematic processing by the liquid crystal inspection apparatus of the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG.
　本発明の１列目の探索用ピクセル座標の算出について図３～図１３を用いて説明し、本発明の２列目の探索用ピクセル座標の算出について図１４，１５を用いて説明し、本発明の液晶検査装置の各処理機能を図１６のブロック図を用いて説明する。 Calculation of search pixel coordinates for the first column of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 13, calculation of search pixel coordinates for the second column of the present invention will be described with reference to FIGS. Each processing function of the liquid crystal inspection apparatus of the invention will be described with reference to the block diagram of FIG.
　図１は、本発明の液晶アレイ検査装置の構成例を説明するための概略ブロック図である。なお、図１に示す例では、液晶基板に電子線を照射し、液晶基板から放出される二次電子を検出し、検出強度から撮像画像を取得する構成例を示している。 FIG. 1 is a schematic block diagram for explaining a configuration example of a liquid crystal array inspection apparatus of the present invention. Note that the example shown in FIG. 1 shows a configuration example in which an electron beam is irradiated on the liquid crystal substrate, secondary electrons emitted from the liquid crystal substrate are detected, and a captured image is acquired from the detected intensity.
　図１において、液晶アレイ検査装置１は、液晶基板１００を載置しＸＹ方向に搬送自在とするステージ２と、ステージ２の上方位置にステージ２から離して配置された電子銃３と液晶基板１００のパネル１０１のピクセル（図示していない）から放出される二次電子を検出する検出器４とを備える。 In FIG. 1, a liquid crystal array inspection apparatus 1 includes a stage 2 on which a liquid crystal substrate 100 is placed and can be conveyed in the XY directions, an electron gun 3 and a liquid crystal substrate 100 that are disposed above the stage 2 and separated from the stage 2. And a detector 4 for detecting secondary electrons emitted from pixels (not shown) of the panel 101.
　ステージ２はステージ駆動制御部６によって駆動が制御され、電子銃３は電子線走査制御部５によって電子線の照射および液晶基板１００上の走査が制御される。検出器４で検出された二次電子の検出信号は信号処理部１０で処理され、検査部２０においてピクセルの欠陥判定等の検査に用いられる。 The drive of the stage 2 is controlled by the stage drive control unit 6, and the electron gun 3 is controlled by the electron beam scanning control unit 5 to irradiate the electron beam and scan on the liquid crystal substrate 100. The detection signal of the secondary electrons detected by the detector 4 is processed by the signal processing unit 10 and used by the inspection unit 20 for inspection such as pixel defect determination.
　電子線走査制御部５，ステージ駆動制御部６，信号処理部１０、検査部２０の各部の駆動動作は制御部７によって制御される。また、制御部７は、液晶アレイ検査装置１の全体の動作を含む制御を行う機能を有し、これらの制御を行うＣＰＵおよびＣＰＵを制御するプログラムを記憶するメモリ等によって構成することができる。 The drive operation of each of the electron beam scanning control unit 5, the stage drive control unit 6, the signal processing unit 10, and the inspection unit 20 is controlled by the control unit 7. The control unit 7 has a function of performing control including the entire operation of the liquid crystal array inspection apparatus 1, and can be configured by a CPU that performs these controls and a memory that stores a program that controls the CPU.
　ステージ２は、液晶基板１００を載置するとともに、ステージ駆動制御部６によってＸ軸方向およびＹ軸方向に移動自在であり、また、電子銃３から照射される電子線は電子線走査制御部５によってＸ軸方向あるいはＹ軸方向に振らせることができる。ステージ駆動制御部６および電子線走査制御部５は単独あるいは協働動作によって、電子線を液晶基板１００上で走査させ、液晶基板１００のパネル１０１の各ピクセルに照射させることができる。 The stage 2 mounts the liquid crystal substrate 100 and is movable in the X-axis direction and the Y-axis direction by the stage drive control unit 6, and the electron beam irradiated from the electron gun 3 is an electron beam scanning control unit 5. Can be swung in the X-axis direction or the Y-axis direction. The stage drive control unit 6 and the electron beam scanning control unit 5 can scan the electron beam on the liquid crystal substrate 100 independently or in cooperation with each other and irradiate each pixel of the panel 101 of the liquid crystal substrate 100.
　図２は本発明の液晶アレイ検査の手順を説明するためのフローチャートである。図２のフローチャートにおいて、液晶基板上を走査して走査画像を取得し（S1）、取得した走査画像からピクセルを検出し、検出ピクセル座標を取得する。ピクセルの検出は、走査画像の検出信号の信号強度によって行うことができる。また、検出ピクセル座標は、検出信号を取得した際のステージの位置や電子ビームの照射位置等から取得することができる(S2)。 FIG. 2 is a flowchart for explaining the procedure of the liquid crystal array inspection of the present invention. In the flowchart of FIG. 2, a scanned image is acquired by scanning the liquid crystal substrate (S1), pixels are detected from the acquired scanned image, and detected pixel coordinates are acquired. Pixel detection can be performed based on the signal strength of the detection signal of the scanned image. The detection pixel coordinates can be acquired from the position of the stage when the detection signal is acquired, the irradiation position of the electron beam, etc. (S2).
　ピクセル座標の並べ替えを行うために探索用ピクセル座標を算出し（S3,S4）、算出した探索用ピクセル座標に基づいて検出ピクセル座標を探索し（S5）、探索した検出ピクセル座標に対応する検出ピクセルを用いて検査を行う(S6)。 Search pixel coordinates are calculated to rearrange the pixel coordinates (S3, S4), detection pixel coordinates are searched based on the calculated search pixel coordinates (S5), and detection corresponding to the detected detection pixel coordinates An inspection is performed using pixels (S6).
　探索用ピクセル座標の算出は、はじめに先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標を算出し(S3)、次に２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する(S4)。先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標は、列方向（ｘ方向）の検出ピクセル座標において連続する検出ピクセル座標を検出し、検出した連続する座標列を基準とし、連続座標列の検出ピクセル座標と列内の残りの検出ピクセル座標を用いて算出する(S3)。２列目以降の探索用ピクセル座標は、１列目の探索用ピクセル座標にｙ方向のピッチを加算することで算出する(S4)。 The search pixel coordinates are calculated by first calculating the search pixel coordinates of the first column (first column) (S3), and then calculating the search pixel coordinates of the second column and thereafter (S4). The search pixel coordinates in the first row (first row) are detected pixel coordinates that are continuous in the detection pixel coordinates in the row direction (x direction), and the detected pixels in the continuous coordinate row are based on the detected continuous coordinate row. Calculation is performed using the coordinates and the remaining detected pixel coordinates in the column (S3). The search pixel coordinates in the second and subsequent columns are calculated by adding the pitch in the y direction to the search pixel coordinates in the first column (S4).
　以下、図３～図１３を用いて先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明し、図１４，１５を用いて２列目以降の探索用ピクセル座標の算出を説明する。 Hereinafter, calculation of search pixel coordinates in the first column (first column) will be described with reference to FIGS. 3 to 13, and calculation of search pixel coordinates in the second column and thereafter will be described with reference to FIGS.
　図３～図５は、先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明するためのフローチャートであり、図６～図１０は先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標の算出を説明するための説明図である。 3 to 5 are flowcharts for explaining the calculation of the search pixel coordinates of the first column (first column), and FIGS. 6 to 10 show the calculation of the search pixel coordinates of the first column (first column). It is explanatory drawing for demonstrating.
　はじめに、走査画像の検出信号から検出ピクセル座標を取得する。例えば、走査画像の白部（高信号強度部）の検出ピクセルの座標から取得する。図６（ａ）は検出ピクセルの座標位置を十字の印で示している（S301）。 First, the detection pixel coordinates are obtained from the detection signal of the scanned image. For example, it is acquired from the coordinates of the detection pixel in the white portion (high signal intensity portion) of the scanned image. FIG. 6A shows the coordinate position of the detected pixel with a cross mark (S301).
　検出した検出ピクセル座標の内、列方向の検出ピクセル座標をハフ変換し、これらの検出ピクセル座標を通る直線を算出する。図６（ｂ）はハフ変換で求めた直線を示している(S302)。 内 Of the detected pixel coordinates, the detected pixel coordinates in the column direction are Hough transformed, and a straight line passing through these detected pixel coordinates is calculated. FIG. 6B shows a straight line obtained by the Hough transform (S302).
　１列目に相当する検出ピクセル座標の中から一つの検出ピクセル座標を選択し(S303)、S303で選択した検出ピクセル座標とS302で算出した直線の傾きを用いて、第１の仮想ピクセル座標テーブルを作成する(S304)。図６（ｃ）は選択した検出ピクセル座標を破線の丸印で示し、図６（ｄ）は選択した検出ピクセル座標と直線の傾きから算出した第１仮想ピクセル座標を示している。図中において、第１仮想ピクセル座標は×印で示している。 One detection pixel coordinate is selected from the detection pixel coordinates corresponding to the first column (S303), and the first virtual pixel coordinate table is used by using the detection pixel coordinate selected in S303 and the slope of the straight line calculated in S302. Is created (S304). FIG. 6C shows the selected detection pixel coordinates by broken-line circles, and FIG. 6D shows the first virtual pixel coordinates calculated from the selected detection pixel coordinates and the slope of the straight line. In the figure, the first virtual pixel coordinates are indicated by crosses.
　第１仮想ピクセル座標は、例えば、選択した検出ピクセル座標を通ると共に、ハフ変換で算出した直線の傾きを有する直線上において、選択した検出ピクセル座標を基準位置とし、この基準位置から列方向（ｘ方向）に所定のピッチΔｘの間隔の位置にある座標を算出することで求めることができる。 For example, the first virtual pixel coordinate passes through the selected detection pixel coordinate and has a selected detection pixel coordinate as a reference position on a straight line having a slope of the straight line calculated by the Hough transform, and the column direction (x (Direction) can be obtained by calculating coordinates at a position of a predetermined pitch Δx.
　図１１は各座標テーブルの一例を示す図である。図１１（ａ）は検出ピクセル座標テーブルの一例を示し、走査画像の検出信号から取得された検出ピクセル座標を、列方向（ｘ方向）とこの列方向と直交する方向（ｙ方向）のピクセル配列に仮に対応付けして配置することで形成される。 FIG. 11 is a diagram showing an example of each coordinate table. FIG. 11A shows an example of a detection pixel coordinate table, in which the detection pixel coordinates acquired from the detection signal of the scanned image are arranged in a pixel direction in the column direction (x direction) and in a direction orthogonal to the column direction (y direction). It is formed by temporarily associating and arranging.
　この検出ピクセル座標テーブルは、走査画像の検出信号から取得された検出ピクセル座標を検出順に配置したものである。そのため、検出位置に誤差がある場合には、位置ずれによってピクセルの配置位置と、テーブル上でその配置位置に記載された検出ピクセル座標との間にずれが生じ、異なるピクセルの検出ピクセル座標が記載されている場合がある。本発明は、この位置ずれを修正してピクセルに対応する正しい検出ピクセル座標を求めるものである。 This detection pixel coordinate table is a table in which the detection pixel coordinates obtained from the detection signal of the scanned image are arranged in the detection order. For this reason, when there is an error in the detection position, a displacement occurs between the pixel arrangement position and the detection pixel coordinates described at the arrangement position on the table due to the position deviation, and the detection pixel coordinates of different pixels are described. May have been. The present invention corrects this misalignment to obtain the correct detected pixel coordinates corresponding to the pixel.
　図１１（ｂ）は第１仮想ピクセル座標テーブルの一例を示している。この例では、左端の検出ピクセル座標（x11,y11）を基準とし、直線の傾きをtanθとしたとき、ｘ方向についてはピクセル配置に基づいて予め定められたｘ方向ピッチ（Δｘ）を順に加算し、ｙ方向については直線の傾きをtanθによるｙ方向ピッチ（tanθ・Δｘ）を順に加算することで第１仮想ピクセル座標を算出する。 FIG. 11B shows an example of the first virtual pixel coordinate table. In this example, when the detected pixel coordinates (x11, y11) at the left end are used as a reference, and the slope of the straight line is tan θ, the x-direction pitch (Δx) predetermined based on the pixel arrangement is sequentially added in the x-direction. For the y direction, the first virtual pixel coordinates are calculated by sequentially adding the y direction pitch (tan θ · Δx) by tan θ to the slope of the straight line.
　次に、登録座標を形成する。登録座標は、探索用ピクセル座標を確定するために仮に登録を行う座標であり、以後に説明する第１仮想ピクセル座標を用いてこの登録座標を修正することによって探索用ピクセル座標を求める(S305)。 Next, form registered coordinates. The registered coordinates are coordinates that are temporarily registered to determine the search pixel coordinates, and the search pixel coordinates are obtained by correcting the registered coordinates using the first virtual pixel coordinates described later (S305). .
　登録座標テーブルから登録座標を読み出し（S305a）、登録座標テーブルに既に登録されているか否かを判定する（305b）。登録座標テーブルに登録座標が登録されていない場合には、第１仮想ピクセル座標と検出ピクセル座標のｘ座標を比較し（S305c）、第１仮想ピクセル座標のｘ座標の近傍に検出ピクセル座標が無い場合には、検出ピクセル座標を登録座標への登録を行わない（S305e）。一方、第１仮想ピクセル座標のｘ座標の近傍に検出ピクセル座標が有る場合には、その近傍の検出ピクセル座標を登録座標に登録する（S305f）。 The registered coordinates are read from the registered coordinate table (S305a), and it is determined whether or not already registered in the registered coordinate table (305b). When the registered coordinates are not registered in the registered coordinate table, the first virtual pixel coordinates and the x coordinates of the detected pixel coordinates are compared (S305c), and there is no detected pixel coordinate in the vicinity of the x coordinates of the first virtual pixel coordinates. In this case, the detected pixel coordinates are not registered in the registered coordinates (S305e). On the other hand, if there is a detected pixel coordinate in the vicinity of the x coordinate of the first virtual pixel coordinate, the detected pixel coordinate in the vicinity is registered in the registered coordinate (S305f).
　図６（ｅ）は第１仮想ピクセル座標と検出ピクセル座標のｘ座標の比較を示し、図６（ｆ）はｘ座標を比較することで行う登録座標への登録を示している。例えば、ｘ座標のずれが予め定めておいたしきい値よりも小さい場合には登録座標とし、ｘ座標のずれが予め定めておいたしきい値よりも大きい場合には登録座標としない。 Fig. 6 (e) shows a comparison of the x coordinates of the first virtual pixel coordinates and the detected pixel coordinates, and Fig. 6 (f) shows a registration to the registered coordinates by comparing the x coordinates. For example, when the deviation of the x coordinate is smaller than a predetermined threshold value, the registered coordinate is used. When the deviation of the x coordinate is larger than the predetermined threshold value, the registered coordinate is not used.
　図６（ｆ）において、例えば、左方から２番目の検出ピクセル座標は第１仮想ピクセル座標の近傍に有るため登録座標として登録し、左方から３番目の検出ピクセル座標は第１仮想ピクセル座標の近傍に無いため登録座標として登録しない。 In FIG. 6F, for example, since the second detected pixel coordinate from the left is in the vicinity of the first virtual pixel coordinate, it is registered as a registered coordinate, and the third detected pixel coordinate from the left is the first virtual pixel coordinate. Because it is not in the vicinity of, it is not registered as registered coordinates.
　S305aにおいて、既に登録された登録座標が有る場合には、登録座標と検出ピクセル座標のｙ座標を比較し（S305d）、検出ピクセル座標のｙ座標が登録座標のｙ座標よりも小さい場合には、S305ｆの工程で既存の登録座標に代えて検出ピクセル座標を登録座標として登録する。一方、検出ピクセル座標のｙ座標が登録座標のｙ座標よりも大きい場合には、登録座標をそのままとする。なお、ｙ座標の比較において、等号時における判定はいずれに設定してもよい。 In S305a, if there are registered coordinates already registered, the registered coordinates and the y coordinates of the detected pixel coordinates are compared (S305d), and if the y coordinates of the detected pixel coordinates are smaller than the y coordinates of the registered coordinates, In step S305f, the detected pixel coordinates are registered as registered coordinates instead of the existing registered coordinates. On the other hand, when the y coordinate of the detected pixel coordinate is larger than the y coordinate of the registered coordinate, the registered coordinate is left as it is. In the comparison of y-coordinates, the determination at the time of the equal sign may be set to any.
　図７において、図７（ａ），（ｂ）は登録座標と検出ピクセル座標との一関係例を示し、図７（ｃ），（ｄ）は登録座標と検出ピクセル座標のｙ方向の比較を示し、図中の左方から３番目および右方から２番目の検出ピクセル座標については、登録座標よりもｙ方向に小さい座標であるため、既存の登録座標に代えて検出ピクセル座標を登録座標として登録を更新する。この登録座標の更新処理は、ｙ方向の座標が小さい検出ピクセル座標を用いることによって、位置ずれによるバラツキを解消する。 7A and 7B show an example of a relationship between the registered coordinates and the detected pixel coordinates, and FIGS. 7C and 7D show a comparison between the registered coordinates and the detected pixel coordinates in the y direction. In the figure, the third detected pixel coordinate from the left and the second detected pixel coordinate from the right are coordinates smaller in the y direction than the registered coordinate, so that the detected pixel coordinate is used as the registered coordinate instead of the existing registered coordinate. Update registration. This registered coordinate update process eliminates variations due to misalignment by using detected pixel coordinates having small coordinates in the y direction.
　図１１（ｃ）は登録座標テーブルの一例を示している。登録座標テーブルにおいて、１列目の左から３番目の登録座標は未登録である状態を示している。 FIG. 11C shows an example of a registered coordinate table. In the registered coordinate table, the third registered coordinate from the left in the first column indicates a state where it is not registered.
　図８は検出ピクセル座標と登録座標との関係を示し、図８（ａ）は1列目および２列目検出ピクセル座標を示し、図８（ｂ）は１列目の列内の登録座標を示している。また、図９および図１０は第２仮想ピクセル座標の形成を説明する図を示している。 FIG. 8 shows the relationship between detected pixel coordinates and registered coordinates, FIG. 8A shows detected pixel coordinates in the first and second columns, and FIG. 8B shows registered coordinates in the first column. Show. 9 and 10 are diagrams for explaining the formation of the second virtual pixel coordinates.
　S305で形成した登録座標において、登録された座標数の個数をあらかじめ定めておいたしきい値と比較し、登録座標の個数がしきい値よりも少ない場合には、S303に戻って別の形成ピクセル座標を選択し、第１仮想ピクセル座標および登録座標を再度形成する。この工程により、登録座標の個数が少ないことによって生じる探索用ピクセル座標の誤差を回避する(S306)。 In the registered coordinates formed in S305, the number of registered coordinates is compared with a predetermined threshold value. If the number of registered coordinates is less than the threshold value, the process returns to S303 and another formed pixel. The coordinates are selected and the first virtual pixel coordinates and registered coordinates are formed again. By this step, an error in search pixel coordinates caused by a small number of registered coordinates is avoided (S306).
　次に、登録座標から連続する座標列を求める(S307)。連続する座標列を求めるには、列内の登録座標について、隣接する登録座標のｘ方向の距離（ピッチ）を算出し(S307a)、このｘ方向距離とあらかじめ定めておいたしきい値とを比較する(S307b)。 Next, a continuous coordinate sequence is obtained from the registered coordinates (S307). To obtain a series of coordinate sequences, calculate the distance (pitch) in the x direction between adjacent registered coordinates for the registered coordinates in the sequence (S307a), and compare this x direction distance with a predetermined threshold. (S307b).
　ｘ方向距離がしきい値よりも小さい場合には、連続座標列として設定し(S307c)、ｘ方向距離がしきい値よりも大きい場合には、次の隣接する登録座標についてS307ａ,S307bの処理を行う。S307a～S307cの処理工程を全登録座標について行い(S307d)、連続座標列を求める。なお、ｘ座標の比較において、等号時における判定はいずれに設定してもよい。 If the x-direction distance is smaller than the threshold value, it is set as a continuous coordinate sequence (S307c). If the x-direction distance is larger than the threshold value, the processing of S307a and S307b is performed for the next adjacent registered coordinates. I do. The processing steps S307a to S307c are performed for all registered coordinates (S307d), and a continuous coordinate string is obtained. In the comparison of the x coordinates, the determination at the time of the equal sign may be set to any.
　列内に複数の連続座標列がある場合には、連続座標列の長さを求め(S308)、最大長の連続座標列を求める。なお、連続座標列の長さは、連続座標列を構成する登録座標の個数によって求めることができる。図９（ａ）は、列内において検出した連続座標列の一例を示し、図中の破線の矩形によって連続座標列を示している(S309)。 When there are a plurality of continuous coordinate sequences in the sequence, the length of the continuous coordinate sequence is obtained (S308), and the maximum continuous coordinate sequence is obtained. Note that the length of the continuous coordinate sequence can be obtained from the number of registered coordinates constituting the continuous coordinate sequence. FIG. 9A shows an example of the continuous coordinate sequence detected in the sequence, and the continuous coordinate sequence is indicated by a broken-line rectangle in the diagram (S309).
　最大長の連続座標列に含まれる登録座標を用いて、最小二乗法により第２仮想ピクセル座標テーブルを作成する。図９（ｂ）中の×印は、最小二乗法により作成した第２仮想ピクセル座標を示し、図１１（ｄ）は第２仮想ピクセル座標テーブルの一例を示している(S310)。 作成 A second virtual pixel coordinate table is created by the least square method using registered coordinates included in the continuous coordinate sequence of the maximum length. The crosses in FIG. 9B indicate the second virtual pixel coordinates created by the least square method, and FIG. 11D shows an example of the second virtual pixel coordinate table (S310).
　S310で作成した第２仮想ピクセル座標テーブルの仮想ピクセル座標を更新する。この第２仮想ピクセル座標テーブルの仮想ピクセル座標の更新は、S311～S320の工程において、列内において連続座標列以外の登録座標を順に適用することで行う。この仮想ピクセル座標の更新は、連続座標列を基準として、この連続座標列から両方向に登録座標を順に用いることで行う。S311～S315は連続座標列から右方（あるいは左方）に向かう更新処理であり、S316～S320は連続座標列から左方（あるいは右方）に向かう更新処理である。 Update the virtual pixel coordinates in the second virtual pixel coordinate table created in S310. The update of the virtual pixel coordinates in the second virtual pixel coordinate table is performed by sequentially applying registered coordinates other than the continuous coordinate sequence in the sequence in steps S311 to S320. The update of the virtual pixel coordinates is performed by sequentially using registered coordinates in both directions from the continuous coordinate sequence with reference to the continuous coordinate sequence. S311 to S315 are update processing from the continuous coordinate sequence to the right (or left), and S316 to S320 are update processing from the continuous coordinate sequence to the left (or right).
　S311～S315の更新処理において、最大長の連続座標列のｘ方向の左端（又は右端）から右方向（左方向）に向かって第２仮想ピクセル座標テーブルの仮想ピクセル座標と登録座標とを比較し（S311）、両座標のｘ方向のずれをあらかじめ定めておいたしきい値と比較する。図９（ｃ）は、最大長の連続座標列のｘ方向の左端から右方向に向かって行う比較を示している(S312)。S312の比較において、座標ずれがしきい値よりも小さい場合には、最大長の連続座標列に比較に用いた登録座標を追加する。図９（ｄ）は、最大長の連続座標列に登録座標を加え、最小二乗法を行って第２仮想ピクセル座標を求め、座標ずれを比較する状態を示している(S313)。一方、座標ずれがしきい値よりも大きい場合には、S311において次の登録座標について仮想ピクセル座標と比較する。 In the update processing of S311 to S315, the virtual pixel coordinates in the second virtual pixel coordinate table are compared with the registered coordinates from the left end (or right end) in the x direction to the right direction (left direction) of the maximum continuous coordinate sequence. (S311), the deviation of both coordinates in the x direction is compared with a predetermined threshold value. FIG. 9C shows a comparison performed from the left end in the x direction to the right direction of the maximum length continuous coordinate sequence (S312). If the coordinate shift is smaller than the threshold value in the comparison in S312, the registered coordinates used for the comparison are added to the maximum continuous coordinate sequence. FIG. 9D shows a state in which the registered coordinates are added to the maximum length continuous coordinate sequence, the second virtual pixel coordinates are obtained by performing the least square method, and the coordinate deviation is compared (S313). On the other hand, if the coordinate deviation is larger than the threshold value, the next registered coordinate is compared with the virtual pixel coordinate in S311.
　登録座標を追加した連続座標列を用いて、最小二乗法により第２仮想ピクセル座標テーブルを更新する。図９（ｅ）は、最大長の連続座標列にさらに次の登録座標を加え、最小二乗法を行って第２仮想ピクセル座標を求め、座標ずれを比較する状態を示している(S314)。 * Update the second virtual pixel coordinate table by the least square method using the continuous coordinate sequence to which the registered coordinates are added. FIG. 9E shows a state in which the next registered coordinate is further added to the maximum length continuous coordinate sequence, the second virtual pixel coordinate is obtained by performing the least square method, and the coordinate deviation is compared (S314).
　S311～S314について、連続座標列から右方（あるいは左方）にある登録座標についてS311～S314を繰り返す（S315）。 For S311 to S314, S311 to S314 are repeated for registered coordinates on the right (or left) from the continuous coordinate sequence (S315).
　図９（ｆ）は、最大長の連続座標列の右方の端部側にある登録座標を加え、最小二乗法を行って第２仮想ピクセル座標を求め、座標ずれを比較する状態を示している。 FIG. 9F shows a state in which the registered coordinates on the right end side of the continuous coordinate sequence of the maximum length are added, the second virtual pixel coordinate is obtained by performing the least square method, and the coordinate deviation is compared. Yes.
　次に、S316～S320の更新処理において、最大長の連続座標列のｘ方向の右端（又は左端）から左方向（右方向）に向かって第２仮想ピクセル座標テーブルの仮想ピクセル座標と登録座標とを比較する。図１０（ａ）は、列内において検出した連続座標列の一例を示し、図中の破線の矩形によって連続座標列を示している（S316）。 Next, in the update processing of S316 to S320, the virtual pixel coordinates and registered coordinates in the second virtual pixel coordinate table from the right end (or left end) in the x direction to the left direction (right direction) of the continuous coordinate sequence of the maximum length Compare FIG. 10A shows an example of the continuous coordinate sequence detected in the sequence, and the continuous coordinate sequence is indicated by a broken-line rectangle in the diagram (S316).
　仮想ピクセル座標と登録座標のｘ方向のずれをあらかじめ定めておいたしきい値と比較する(S317)。S317の比較において、座標ずれがしきい値よりも小さい場合には、最大長の連続座標列に比較に用いた登録座標を追加する。図１０（ｂ）は座標ずれの比較、および登録座標の追加を示している (S318)。一方、座標ずれがしきい値よりも大きい場合には、S316において次の登録座標について仮想ピクセル座標と比較する。 The difference between the virtual pixel coordinates and the registered coordinates in the x direction is compared with a predetermined threshold value (S317). In the comparison in S317, if the coordinate deviation is smaller than the threshold value, the registered coordinates used for the comparison are added to the maximum continuous coordinate sequence. FIG. 10B shows a comparison of coordinate deviation and addition of registered coordinates (S318). On the other hand, if the coordinate deviation is larger than the threshold value, the next registered coordinate is compared with the virtual pixel coordinate in S316.
　登録座標を追加した連続座標列を用いて、最小二乗法により第２仮想ピクセル座標テーブルを更新する。図１０（ｃ）は次の登録座標との座標ずれの比較、および登録座標の追加を示している(S319)。S316～S319について、連続座標列から左方（あるいは右方）にある登録座標についてS316～S319を繰り返す。 * Update the second virtual pixel coordinate table by the least square method using the continuous coordinate sequence to which the registered coordinates are added. FIG. 10C shows the comparison of the coordinate deviation with the next registered coordinate and the addition of the registered coordinate (S319). For S316 to S319, S316 to S319 are repeated for registered coordinates on the left (or right) of the continuous coordinate sequence.
　図１０（ｅ）は、最大長の連続座標列にさらに次の登録座標を加え、最小二乗法を行って第２仮想ピクセル座標を求め、座標ずれを比較する状態を示している（S320）。なお、S312,S317のｘ座標の比較において、等号時における判定はいずれに設定してもよい。 FIG. 10 (e) shows a state in which the next registered coordinate is further added to the maximum length continuous coordinate sequence, the second virtual pixel coordinate is obtained by performing the least square method, and the coordinate deviation is compared (S320). In the comparison of the x-coordinates of S312 and S317, the determination at the time of equal sign may be set to any.
　S310～S320の工程で作成した第２仮想ピクセル座標を先頭列（１列目）の探索用ピクセル座標とする。図１０（ｆ）は第２仮想ピクセル座標を示している(S321)。 The second virtual pixel coordinates created in steps S310 to S320 are used as search pixel coordinates in the first row (first row). FIG. 10F shows the second virtual pixel coordinates (S321).
　本発明の探索用ピクセル座標は、連続座標列を基準として、左方および右方にある登録座標を用いて順に第２仮想ピクセル座標テーブルを作成して形成することによって、従来の列内の両端の点を基準とすることによる位置ずれの影響を低減することができる。 The pixel coordinates for search of the present invention are created by forming a second virtual pixel coordinate table in order using registration coordinates on the left and right with reference to a continuous coordinate string, thereby forming both ends in a conventional column. Therefore, the influence of misalignment due to this point can be reduced.
　図１２および図１３を用いて、最大長の連続座標列とこの連続座標列に続く登録座標とを用い、最小二乗法によって第２仮想ピクセル座標を算出する例を説明する。図１２は最大長の連続座標列から右方にある登録座標を用いた算出を示し、図１３は最大長の連続座標列から左方にある登録座標を用いた算出を示している。 An example in which the second virtual pixel coordinates are calculated by the least square method using the maximum length continuous coordinate sequence and the registered coordinates following the continuous coordinate sequence will be described with reference to FIGS. FIG. 12 shows calculation using registered coordinates on the right side from the maximum continuous coordinate sequence, and FIG. 13 shows calculation using registered coordinates on the left side from the maximum continuous coordinate sequence.
　図１２（ａ）は、最大長の連続座標列と、この連続座標列を用いて最小二乗法によって算出した第２仮想ピクセル座標テーブルを示している。図１２（ｂ）は、最大長の連続座標列と、この連続座標列と右方方向で最初に現れる登録座標とを用いて最小二乗法によって算出して更新した第２仮想ピクセル座標テーブルを示している。 FIG. 12A shows a continuous coordinate string having the maximum length and a second virtual pixel coordinate table calculated by the least square method using the continuous coordinate string. FIG. 12B shows a second virtual pixel coordinate table that is calculated and updated by the least square method using the continuous coordinate sequence of the maximum length and the registered coordinates that appear first in the right direction. ing.
　図１２（ｃ）は、最大長の連続座標列と、この連続座標列と右方方向に現れる全登録座標とを用いて最小二乗法によって算出して更新した第２仮想ピクセル座標テーブルを示している。 FIG. 12C shows a second virtual pixel coordinate table calculated and updated by the least square method using the continuous coordinate sequence of the maximum length and the continuous coordinate sequence and all registered coordinates appearing in the right direction. Yes.
　また、図１３（ａ）は、最大長の連続座標列と、この連続座標列を用いて最小二乗法によって算出した第２仮想ピクセル座標テーブルを示している。図１３（ｂ）は、最大長の連続座標列と、この連続座標列と左方方向で最初に現れる登録座標とを用いて最小二乗法によって算出して更新した第２仮想ピクセル座標テーブルを示している。 FIG. 13A shows a continuous coordinate string having a maximum length and a second virtual pixel coordinate table calculated by the least square method using the continuous coordinate string. FIG. 13B shows a second virtual pixel coordinate table that is calculated and updated by the least square method using the continuous coordinate sequence of the maximum length and the registered coordinate that appears first in the left direction. ing.
　図１３（ｃ）は、最大長の連続座標列と、この連続座標列と左方方向に現れる全登録座標とを用いて最小二乗法によって算出して更新した第２仮想ピクセル座標テーブルを示している。 FIG. 13C shows a second virtual pixel coordinate table calculated and updated by the least square method using the continuous coordinate sequence of the maximum length and the continuous coordinate sequence and all registered coordinates appearing in the left direction. Yes.
　次に、図１４，図１５を用いて、２列目以降の探索用ピクセル座標の算出について説明する。 Next, calculation of search pixel coordinates for the second and subsequent columns will be described with reference to FIGS.
　探索用ピクセル座標の算出を行う列において、前列で求めた探索用ピクセル座標において、各登録座標のｙ座標にｙ方向のピッチΔｙを加算して探索用ピクセル座標を求める。次列についても、前列で求めた探索用ピクセル座標の各登録座標のｙ座標にｙ方向のピッチΔｙを加算して探索用ピクセル座標を求める。この加算処理を繰り返すことによって２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する（S402）。探索用ピクセル座標の近傍にある検出ピクセル座標を検出する(S403)。 In the column for calculating the search pixel coordinates, the search pixel coordinates are obtained by adding the pitch Δy in the y direction to the y coordinate of each registered coordinate in the search pixel coordinates obtained in the previous row. Also for the next row, the search pixel coordinate is obtained by adding the y-direction pitch Δy to the y coordinate of each registered coordinate of the search pixel coordinate obtained in the previous row. By repeating this addition processing, search pixel coordinates for the second and subsequent columns are calculated (S402). Detection pixel coordinates in the vicinity of the search pixel coordinates are detected (S403).
　図１６は、本発明の液晶アレイ検査装置が備える信号処理部１０が行う処理を実行するための各機能を説明するための図である。なお、図１６に示す各ブロックは機能を説明するためであり、必ずしも対応するハードウエアで動作させる構成に限らず、ＣＰＵおよびメモリ、およびＣＰＵを制御して各機能を実行させるプログラムによってソフトウエアで動作させる構成とすることもできる。 FIG. 16 is a diagram for explaining each function for executing processing performed by the signal processing unit 10 included in the liquid crystal array inspection apparatus of the present invention. Note that each block shown in FIG. 16 is for explaining functions, and is not necessarily limited to a configuration that is operated by corresponding hardware, but software that is executed by a CPU and a memory, and a program that controls the CPU to execute each function. It can also be configured to operate.
　図１６において、信号処理部１０は、検出信号から走査画像を形成する走査画像形成部１１と、走査画像からピクセルおよび検出ピクセル座標を検出するピクセル検出部１２と、検出した検出ピクセル座標および信号強度を記録しておく検出ピクセルデータ記録部１３と、および探索用ピクセル座標検出部１４とを備える。 In FIG. 16, a signal processing unit 10 includes a scanning image forming unit 11 that forms a scanning image from a detection signal, a pixel detection unit 12 that detects pixels and detection pixel coordinates from the scanning image, and detected pixel coordinates and signal intensity detected. Are detected pixel data recording section 13 and search pixel coordinate detecting section 14.
　検査部２０は、探索用ピクセル座標検出部１４で検出した探索用ピクセル座標を用いて、ピクセルを特定し検査を行う。 The inspection unit 20 uses the search pixel coordinates detected by the search pixel coordinate detection unit 14 to identify and inspect the pixels.
　探索用ピクセル座標検出部１４は、走査画像から取得した検出ピクセル座標において、ピクセル検査のために各ピクセルに対応した検出ピクセル座標を探索するための探索用ピクセル座標を検出する。この探索用ピクセル座標は、走査画像から取得した検出ピクセル座標に含まれる位置ずれを補償して、各ピクセルに対応した検出ピクセル座標を探索するためのピクセル座標である。 The search pixel coordinate detection unit 14 detects search pixel coordinates for searching for detection pixel coordinates corresponding to each pixel for pixel inspection in the detection pixel coordinates acquired from the scanned image. The search pixel coordinates are pixel coordinates for compensating for a positional shift included in the detected pixel coordinates acquired from the scanned image and searching for the detected pixel coordinates corresponding to each pixel.
　探索用ピクセル座標検出部１４は、直線算出部１４Ａと、第１仮想ピクセル座標テーブル作成部１４Ｂと、登録座標形成部１４Ｃと、連続座標列検出部１４Ｄと、第２仮想ピクセル座標テーブル作成部１４Ｅと、探索用ピクセル座標テーブル作成部１４Ｆと、座標テーブル１４Ｇとを備える。 The search pixel coordinate detection unit 14 includes a straight line calculation unit 14A, a first virtual pixel coordinate table creation unit 14B, a registered coordinate formation unit 14C, a continuous coordinate sequence detection unit 14D, and a second virtual pixel coordinate table creation unit 14E. And a search pixel coordinate table creation unit 14F and a coordinate table 14G.
　座標テーブル１４Ｇは、第１仮想ピクセル座標テーブル１４ａ、登録座標テーブル１４ｂ、第２仮想ピクセル座標テーブル１４ｃ、探索用ピクセル座標テーブル１４ｄの各座標テーブルを記憶する。 The coordinate table 14G stores the coordinate tables of a first virtual pixel coordinate table 14a, a registered coordinate table 14b, a second virtual pixel coordinate table 14c, and a search pixel coordinate table 14d.
　直線算出部１４Ａは、検出ピクセルデータ記録部１３に記録された検出ピクセル座標に基づいて、先頭列（１列目）の検出ピクセル座標を近似する直線を算出する。直線の算出は、先頭列（１列目）にあると仮定される検出ピクセル座標の各ｘｙ座標をハフ変換して、原点から直線に引いた法線の長さと角度のパラメータを求める。このパラメータは直線を表している。 The straight line calculation unit 14A calculates a straight line that approximates the detection pixel coordinates of the first column (first column) based on the detection pixel coordinates recorded in the detection pixel data recording unit 13. In the calculation of the straight line, the xy coordinates of the detected pixel coordinates assumed to be in the first row (first row) are subjected to Hough transform, and the parameters of the length and angle of the normal drawn from the origin to the straight line are obtained. This parameter represents a straight line.
　第１仮想ピクセル座標テーブル作成部１４Ｂは、直線算出部１４Ａで算出した直線の角度および検出ピクセル座標の一点に基づいて、列内にある検出ピクセルの仮の座標を作成し、第１仮想ピクセル座標として第１仮想ピクセル座標テーブル１４ａに記憶する。 The first virtual pixel coordinate table creation unit 14B creates temporary coordinates of the detection pixels in the column based on the angle of the straight line calculated by the straight line calculation unit 14A and one point of the detection pixel coordinates, and the first virtual pixel coordinate Is stored in the first virtual pixel coordinate table 14a.
　登録座標形成部１４Ｃは、第１仮想ピクセル座標テーブル作成部１４Ｂで作成した第１仮想ピクセル座標テーブルと検出ピクセルデータ記録部１３に記録する検出ピクセル座標とを比較して登録座標を形成し、登録座標テーブル１４ｂに記録する。 The registered coordinate forming unit 14C compares the first virtual pixel coordinate table created by the first virtual pixel coordinate table creating unit 14B with the detected pixel coordinates recorded in the detected pixel data recording unit 13 to form registered coordinates and registers them. Record in the coordinate table 14b.
　連続座標列検出部１４Ｄは、登録座標形成部１４Ｃで形成した登録座標に基づいて列内で連続する座標列を検出する。 The continuous coordinate sequence detection unit 14D detects coordinate sequences that are continuous in the sequence based on the registered coordinates formed by the registered coordinate formation unit 14C.
　第２仮想ピクセル座標テーブル作成部１４Ｅは、連続座標列検出部１４Ｄで検出した連続座標列および検出ピクセル座標に基づいて最小二乗法によって検出ピクセルの仮の座標を作成し、第２仮想ピクセル座標として第２仮想ピクセル座標テーブル１４ｃに記憶する。 The second virtual pixel coordinate table creation unit 14E creates temporary coordinates of the detected pixel by the least square method based on the continuous coordinate sequence detected by the continuous coordinate sequence detection unit 14D and the detected pixel coordinates, and the second virtual pixel coordinate table It memorize | stores in the 2nd virtual pixel coordinate table 14c.
　探索用ピクセル座標テーブル作成部１４Ｆは、第２仮想ピクセル座標テーブル作成部１４Ｅで最終的に作成した第２仮想ピクセル座標を探索用ピクセル座標とし、探索用ピクセル座標テーブル１４ｄに記憶する。 The search pixel coordinate table creation unit 14F sets the second virtual pixel coordinates finally created by the second virtual pixel coordinate table creation unit 14E as the search pixel coordinates and stores them in the search pixel coordinate table 14d.
　検査部２０のピクセル抽出部２０ａは、探索用ピクセル座標に基づいて検出ピクセルデータ記録部検査対象のピクセルを抽出し、そのピクセルの検出信号の信号強度を取得する。ピクセル検査部２０ｂは、取得した信号強度に基づいて、欠陥検出等のアレイ検査を行う。 The pixel extraction unit 20a of the inspection unit 20 extracts a pixel to be detected from the detection pixel data recording unit based on the search pixel coordinates, and acquires the signal intensity of the detection signal of the pixel. The pixel inspection unit 20b performs array inspection such as defect detection based on the acquired signal intensity.
　本発明の算出処理は、液晶アレイ検査装置に限らず、半導体素子の基板検査に適用することができる。 The calculation process of the present invention can be applied not only to a liquid crystal array inspection apparatus but also to a semiconductor element substrate inspection.
　１　　液晶アレイ検査装置
　２　　ステージ
　３　　電子銃
　４　　検出器
　５　　電子線走査制御部
　６　　ステージ駆動制御部
　７　　制御部
　１０　　信号処理部
　１１　　走査画像形成部
　１２　　ピクセル検出部
　１３　　検出ピクセルデータ記録部
　１４　　探索用ピクセル座標検出部
　１４Ａ　　直線算出部
　１４Ｂ　　仮想ピクセル座標テーブル作成部
　１４Ｃ　　登録座標形成部
　１４Ｄ　　連続座標列検出部
　１４Ｅ　　仮想ピクセル座標テーブル作成部
　１４Ｆ　　探索用ピクセル座標テーブル作成部
　１４Ｇ　　座標テーブル
　１４ａ　　仮想ピクセル座標テーブル
　１４ｂ　　登録座標テーブル
　１４ｃ　　仮想ピクセル座標テーブル
　１４ｄ　　探索用ピクセル座標テーブル
　２０　　検査部
　２０ａ　　ピクセル抽出部
　２０ｂ　　ピクセル検査部
　１００　　液晶基板
　１０１　　パネル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal array inspection apparatus 2 Stage 3 Electron gun 4 Detector 5 Electron beam scanning control part 6 Stage drive control part 7 Control part 10 Signal processing part 11 Scanning image formation part 12 Pixel detection part 13 Detection pixel data recording part 14 Search pixel Coordinate detection unit 14A Straight line calculation unit 14B Virtual pixel coordinate table creation unit 14C Registered coordinate formation unit 14D Continuous coordinate sequence detection unit 14E Virtual pixel coordinate table creation unit 14F Search pixel coordinate table creation unit 14G Coordinate table 14a Virtual pixel coordinate table 14b Registration Coordinate table 14c Virtual pixel coordinate table 14d Search pixel coordinate table 20 Inspection unit 20a Pixel extraction unit 20b Pixel inspection unit 100 Liquid crystal substrate 101 Panel

Claims (8)

  1. 　液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を走査し、前記走査で得られる走査画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置の信号処理方法であって、
    　走査画像中の二次元配列ピクセルから、検出ピクセル座標が列方向に連続する座標列を求め、当該座標列を基準として、列方向の検出ピクセル座標を探索するための探索用ピクセル座標を求める探索用ピクセル座標工程と、
    　前記探索用ピクセル座標と前記検出ピクセル座標との座標比較によって、前記探索用ピクセル座標に近傍する検出ピクセル座標を検出し、列方向の検出ピクセル座標を探索する検出ピクセル座標工程とを備え、
    　前記探索した検出ピクセル座標の検出ピクセルを検査対象ピクセルとしてアレイ検査を行うことを特徴とする、液晶アレイ検査装置の信号処理方法。     An array of liquid crystal substrates is driven based on a scanned image obtained by scanning the secondary electrons obtained by applying an inspection signal of a predetermined voltage to the liquid crystal substrate to drive the array and irradiating the liquid crystal substrate with an electron beam. A signal processing method for a liquid crystal array inspection apparatus for inspecting
    For search to obtain a coordinate sequence in which detection pixel coordinates are continuous in the column direction from a two-dimensional array pixel in the scanned image, and to search pixel coordinates for searching for the detection pixel coordinate in the column direction based on the coordinate sequence A pixel coordinate process;
    A detection pixel coordinate step of detecting a detection pixel coordinate near the search pixel coordinate by a coordinate comparison between the search pixel coordinate and the detection pixel coordinate, and searching for a detection pixel coordinate in a column direction,
    6. A signal processing method for a liquid crystal array inspection apparatus, wherein an array inspection is performed using the detected pixel of the detected pixel coordinate as the inspection target pixel.
  2. 　前記探索用ピクセル座標工程は、
    　二次元配列ピクセルのピクセル座標において、
    　１列目の探索用ピクセル座標を算出する第１の工程と、
    　前記第１の工程で算出した１列目に基づいて２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する第２の工程とを備え、
    　前記第１の工程は、走査画像中の二次元配列ピクセルから、検出ピクセル座標が列方向に連続する座標列を算出する座標列工程と、
    　前記連続する座標列を基準とし、当該座標列の検出ピクセル座標、および列方向において前記座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて１列目の探索用ピクセル座標を算出する１列目工程とを備え、
    　前記第２の工程は、前記第１の工程で算出した探索用ピクセル座標に前記列方向と直交する方向のピッチを加算して２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する２列目工程を備えることを特徴とする、請求項１に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。     The search pixel coordinate step includes:
    In pixel coordinates of a two-dimensional array pixel,
    A first step of calculating search pixel coordinates in the first column;
    A second step of calculating search pixel coordinates for the second and subsequent columns based on the first column calculated in the first step,
    The first step includes a coordinate sequence step of calculating a coordinate sequence in which detected pixel coordinates are continuous in the column direction from a two-dimensional array pixel in the scanned image;
    The first column for calculating the search pixel coordinates of the first column using the detection pixel coordinates of the coordinate sequence and the detected pixel coordinates of each end direction from the coordinate sequence in the column direction with the continuous coordinate sequence as a reference A process,
    The second step includes a second column step of calculating the search pixel coordinates in the second and subsequent columns by adding a pitch in a direction orthogonal to the column direction to the search pixel coordinates calculated in the first step. The signal processing method of the liquid crystal array test | inspection apparatus of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
  3. 　前記１列目工程において、
    　前記１列目の探索用ピクセル座標は、前記座標列の検出ピクセル座標、および列方向において前記座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて最小二乗法によって算出することを特徴とする、請求項２に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。     In the first row step,
    The search pixel coordinates of the first column are calculated by a least square method using the detected pixel coordinates of the coordinate sequence and the detected pixel coordinates of each end direction from the coordinate sequence in the column direction. The signal processing method of the liquid crystal array test | inspection apparatus of Claim 2.
  4. 　前記連続する座標列において、列内において座標列を構成する検出ピクセル座標の座標数が最大である座標列を基準とすることを特徴とする、請求項３又は４に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。 5. The liquid crystal array inspection apparatus according to claim 3, wherein, in the continuous coordinate sequence, a coordinate sequence having a maximum number of coordinates of detection pixel coordinates constituting the coordinate sequence in the sequence is used as a reference. Signal processing method.
  5. 　液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を走査し、前記走査で得られる走査画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置であって、
    　走査画像中の二次元配列ピクセルから、検出ピクセル座標が列方向に連続する座標列を求め、当該座標列を基準として、列方向の検出ピクセル座標を探索するための探索用ピクセル座標を求める探索用ピクセル座標部と、
    　前記探索用ピクセル座標と前記検出ピクセル座標との座標比較によって、前記探索用ピクセル座標に近傍する検出ピクセル座標を検出し、列方向の検出ピクセル座標を探索する検出ピクセル座標部とを備え、
    　前記探索した検出ピクセル座標の検出ピクセルを検査対象ピクセルとしてアレイ検査を行うことを特徴とする、液晶アレイ検査装置。     An array of liquid crystal substrates is driven based on a scanned image obtained by scanning the secondary electrons obtained by applying an inspection signal of a predetermined voltage to the liquid crystal substrate to drive the array and irradiating the liquid crystal substrate with an electron beam. A liquid crystal array inspection apparatus for inspecting
    For search to obtain a coordinate sequence in which detection pixel coordinates are continuous in the column direction from a two-dimensional array pixel in the scanned image, and to search pixel coordinates for searching for the detection pixel coordinate in the column direction based on the coordinate sequence A pixel coordinate section,
    A detection pixel coordinate unit that detects a detection pixel coordinate close to the search pixel coordinate by a coordinate comparison between the search pixel coordinate and the detection pixel coordinate, and searches for a detection pixel coordinate in a column direction;
    6. A liquid crystal array inspection apparatus, wherein an array inspection is performed using the detected pixel of the detected pixel coordinates as an inspection target pixel.
  6. 　前記探索用ピクセル座標部は、
    　二次元配列ピクセルのピクセル座標において、
    　１列目の探索用ピクセル座標を算出する第１の算出部と、
    　前記第１の工程で算出した１列目に基づいて２列目以降の探索用ピクセル座標を算出する第２の算出部とを備え、
    　前記第１の算出部は、走査画像中の二次元配列ピクセルから、検出ピクセル座標が列方向に連続する座標列を算出し、
    　前記連続する座標列を基準とし、当該座標列の検出ピクセル座標、および列方向において前記座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて１列目の探索用ピクセル座標を算出し、
    　前記第２の算出部は、前記第１の算出部で算出した探索用ピクセル座標に前記列方向と直交する方向のピッチを加算して２列目以降の探索用ピクセル座標を算出することを特徴とする、請求項５に記載の液晶アレイ検査装置。     The search pixel coordinate part is:
    In pixel coordinates of a two-dimensional array pixel,
    A first calculation unit for calculating pixel coordinates for search in the first column;
    A second calculation unit that calculates search pixel coordinates in the second and subsequent columns based on the first column calculated in the first step;
    The first calculation unit calculates a coordinate sequence in which detection pixel coordinates are continuous in a column direction from a two-dimensional array pixel in a scanned image;
    Using the continuous coordinate sequence as a reference, the search pixel coordinate of the first column is calculated using the detection pixel coordinate of the coordinate sequence, and the detection pixel coordinate of each end direction from the coordinate sequence in the column direction,
    The second calculation unit calculates a search pixel coordinate for the second and subsequent columns by adding a pitch in a direction orthogonal to the column direction to the search pixel coordinate calculated by the first calculation unit. The liquid crystal array inspection apparatus according to claim 5.
  7. 　前記第１の算出部は、１列目の探索用ピクセル座標の算出において、
    　前記１列目の探索用ピクセル座標を、前記座標列の検出ピクセル座標、および列方向において前記座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて最小二乗法によって算出することを特徴とする、請求項６に記載の液晶アレイ検査装置。     In the calculation of the search pixel coordinates in the first column, the first calculation unit includes:
    The search pixel coordinates of the first column are calculated by a least square method using the detected pixel coordinates of the coordinate column and the detected pixel coordinates of each end direction from the coordinate sequence in the column direction. The liquid crystal array inspection apparatus according to claim 6.
  8. 　前記連続する座標列において、列内において座標列を構成する検出ピクセル座標の座標数が最大である座標列を基準とすることを特徴とする、請求項６又は７に記載の液晶アレイ検査装置。 The liquid crystal array inspection apparatus according to claim 6 or 7, wherein, in the continuous coordinate sequence, a coordinate sequence having a maximum number of coordinates of detection pixel coordinates constituting the coordinate sequence in the sequence is used as a reference.
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