WO2012163655A1 - Method for producing encapsulated light emitting diode with wavelength converters inside the encapsulation - Google Patents

Method for producing encapsulated light emitting diode with wavelength converters inside the encapsulation Download PDF

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WO2012163655A1
WO2012163655A1 PCT/EP2012/058825 EP2012058825W WO2012163655A1 WO 2012163655 A1 WO2012163655 A1 WO 2012163655A1 EP 2012058825 W EP2012058825 W EP 2012058825W WO 2012163655 A1 WO2012163655 A1 WO 2012163655A1
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WO
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emitting diode
light
chip
diode chip
spray mass
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PCT/EP2012/058825
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Harald JÄGER
Hans-Christoph Gallmeier
Herbert Brunner
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Osram Opto Semiconductors Gmbh
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Publication date
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    • HELECTRICITY
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    • H01L33/005Processes
    • H01L33/0095Post-treatment of devices, e.g. annealing, recrystallisation or short-circuit elimination

Definitions

  • the invention relates to a method for producing light-emitting diode components, in which at least part of a light emitted by a light-emitting diode chip,
  • the light-emitting diode component has a light-emitting diode chip, also known as LED.
  • the primary radiation emitted by the LED is radiated onto a conversion medium. In this, the primary radiation of the LED becomes a
  • At least in-house are manufacturing processes of
  • Light-emitting diode components the at least a portion of, emitted by an LED, primary radiation
  • a central arrangement of the chip connections is here
  • the method of volume conversion is known.
  • the light-emitting diode chip is wrapped after wire contacting with a potting material to which the converter is already mixed.
  • the wrapping of the chip happens by casting.
  • converter quenching also known as converter quenching, processes are referred to, which result in a decrease in the intensity of the fluorescence of a fluorescence agent, without the
  • Fluorescent agent is destroyed. This is no longer adequate conversion and it comes to inhomogeneities of the color location. Particularly affected by this are
  • light-emitting devices are characterized by
  • volume conversion can be made due to their
  • the object of the present invention is to develop a method for the production of light-emitting diode components with a conversion element which avoid inhomogeneities of the color locus or chromaticity variations and achieve improved color homogeneity over the emission angle.
  • a multiplicity of similar light-emitting diode components each having one LED and one LED
  • the wafer is introduced with the light-emitting diode chips in a cavity of an injection mold, in which in a further step, a spray mass is driven.
  • This spray mass is mixed with a conversion agent and is driven in such a way that the entire wafer surface
  • Wafer composite are isolated.
  • uniform may in particular mean that the light-emitting diode chips are exposed along their entire length
  • silicone with attached converter is used as the sprayed material.
  • the spray mass may contain at least one light source.
  • inorganic substances such as garnets doped with rare earths or nitrides are suitable for this purpose.
  • rare earth-doped aluminates or orthosilicates are known from WO 98/12757.
  • particles are added to the silicone-converter mixture SiO 2 _ to prevent the silicone from thermal damage and the converter from aging
  • thermally conductive material can be added to these combinations of filler material and converter.
  • the injection mold is designed such that results in a smooth, even surface of the spray mass.
  • the injection mold is designed such that the cover of the chip is designed in three dimensions, for example in the form of a dome. As a result, an improvement in the color homogeneity over the emission angle is achieved at the same time.
  • the "wire bond ubend" of the chip is kept free of injection molding compound in order to enable wire bonding of the chip. This is done suitably by removal of the mass, over the relevant electrical contacts, by means of laser.
  • the injection molding tool is designed such that it directly seals the bond contact and thus keeps it free of potting material.
  • connection contact the so-called “bond ubend”
  • a photoactive layer which in the
  • Connection can be removed again. This can be realized, for example, by wet-chemical methods.
  • the light-emitting diode chips after wrapping, by means of sawing the wafer, isolated.
  • pre-sorted light-emitting diode chips arranged to form an artificial wafer and this introduced into a cavity of an injection mold, in which in a further step a
  • Injected mass is injected.
  • This spray mass is mixed with conversion means and is driven in such a way that the entire wafer surface is uniformly covered. Subsequently, the injection mold is removed and the
  • Light-emitting diode components from the artificial wafer composite are isolated.
  • wavelength-predefined light-emitting diode chips into an artificial wafer takes place.
  • it can only light-emitting diode chips, the one
  • each light-emitting diode chip takes the same course, arise after the separation of light emitting diode components that emit, for example, white mixed light from a narrow Farbort Scheme. Another one
  • Color location can then be omitted.
  • "Uniform" means, among other things, that the course of the spray mass over each LED chip is the same. That is, within the scope of the manufacturing tolerance, the spray mass has the same shape and extent over each of the light-emitting diode chips.
  • Light-emitting diode components whose color distribution is restricted by the presorting to produce.
  • the light-emitting diode chip comprises an active region in which the electromagnetic primary radiation, for example blue light, is generated during operation of the light-emitting diode chip.
  • the electromagnetic primary radiation for example blue light
  • this main surface for example, a carrier for the epitaxial
  • the light-emitting diode chip comprises at least one electrically conductive plated-through hole, in particular a multiplicity of electrically conductive plated-through holes, which penetrate the active region from the side facing away from the main surface of the light-emitting diode chip.
  • the n-conducting side of the light-emitting diode chip can be connected in an electrically conductive manner.
  • a contact surface, for example a bonding pad, for electrically connecting the n-side of the light-emitting diode chip can then be arranged laterally adjacent to the semiconductor body of the light-emitting diode chip.
  • the thickness of the spray mass at its thickest point is at most 100 ym.
  • the thickness of the spray mass at its thinnest point does not fall below 60 ym. In this way, it is possible to cover the LED chip with a sufficiently thick layer of conversion agents, so that the "blue piping" described above does not occur. On the other hand, with such a thin layer too much heating of the LED chip.
  • the individual light-emitting diode chips are separated by water jet cutting, lasers or punching.
  • the light-emitting diode chips are separated by means of a specially designed saw, which generates a structure on the side edges, along the parting line. This achieves a further improvement of the color homogeneity over the emission angle.
  • FIG. 1A shows an exemplary embodiment of an intermediate product which is produced according to an embodiment of the method according to the invention.
  • FIG. 1B shows an alternative embodiment of the invention
  • Figure 2A third embodiment of a
  • FIG. 2B shows an alternative embodiment of the invention
  • FIG. 3 shows a schematic sectional view of a light-emitting diode component produced by means of a method described here.
  • the intermediate product in FIG. 1A includes a chip carrier 1, which has light-emitting diode chips 3 and with a
  • the chip carrier 1 with applied light-emitting diode chips 3 was introduced into the cavity of an injection mold and by driving a
  • Spray mass 2 which is mixed with a conversion agent, uniformly formed with a layer
  • Chip carrier 1 separated by sawing along a parting line 4.
  • the intermediate product of one embodiment of the method according to the invention has a chip carrier 1 with applied light-emitting diode chips 3, which is covered by a layer of sprayed material 2.
  • the chip carrier 1 was introduced with the applied light-emitting diode chips 3 in a cavity of an injection mold and by driving a spray mass 2, the conversion agent are attached, uniformly surrounded with a layer of spray mass 2.
  • the cavity of the injection mold is designed so that a structured
  • Light-emitting diode chips 3 are subsequently separated by sawing along a dividing line 4.
  • the intermediate product in FIG. 2A includes chip carrier 1, with light-emitting diode chips 3 applied thereto, which are produced by
  • the cavity of the injection mold is in this case shaped such that a smooth, flat surface 5a is formed.
  • the light-emitting diode chips 3 each applied to a chip carrier 1 are singulated by means of sawing along a parting line 4.
  • the cavity of the injection mold is designed such that a structured surface 5b is formed.
  • the individual, up the chip carriers 1 arranged, light-emitting diode chips 3 are separated by sawing along a parting line 4.
  • the intermediates in Figures 2A and 2B can also be singulated by water cutting, punching or laser separation.
  • FIG. 3 shows a schematic sectional view of a light-emitting diode component produced by means of a method described here.
  • the light-emitting diode component has a chip carrier 1.
  • the chip carrier 1 can, for example, with an electrically conductive material such as germanium,
  • the LED chip 3 is arranged.
  • the light-emitting diode chip 3 consists, for example, of an epitaxially grown semiconductor body.
  • LED chip 3 can be free from a growth substrate. That is, for example, the chip carrier 1
  • the LED chip 3 consists of epitaxial
  • the light-emitting diode chip 3 comprises an active region 30.
  • the active region 30 primary radiation is generated during operation of the light-emitting diode chip 3. A large part of the primary radiation leaves the LED chip through the main surface 31. However, part of the primary radiation also exits through the lateral surfaces of the chip extending transversely to the main surface 31. Through the active region 30 extends
  • Semiconductor body of the LED chip 3 connects.
  • the contacting is carried out laterally on the light-emitting diode chip 3, and a contact surface 33 is exposed there.
  • the spray mass 2, which otherwise surrounds the light-emitting diode chip 3 is removed.
  • Contact surfaces 33 for example, a wire contacting of the LED chip 3 done, for example, in the contact surface 33 is then a so-called bond pad.
  • the invention is not by the description based on the

Abstract

A method is disclosed for producing a multiplicity of light emitting diode components of the same type, each comprising at least one light emitting diode chip (3) and a conversion means, to which an injection-moulding compound (2) that surrounds the light emitting diode chip (3) is added, and which wavelength converter converts the wavelength of at least part of a primary electromagnetic radiation emitted by the at least one light emitting diode chip (3).

Description

Beschreibung description
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON VERKAPSELTEN LEUCHTDIODEN MIT WELLENLÄNGENKONVERTER IN DER VERKAPSELUNG Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von Leuchtdioden-Bauelementen, bei denen mindestens ein Teil einer, von einem Leuchtdioden-Chip ausgesandten, The invention relates to a method for producing light-emitting diode components, in which at least part of a light emitted by a light-emitting diode chip,
Primärstrahlung wellenlängenkonvertiert wird. Heutzutage sind Leuchtdioden-Bauelemente mit verschiedenen Farborten möglich. Hierzu weist das Leuchtdioden-Bauelement einen Leuchtdioden-Chip, auch als LED bekannt, auf. Um den gesuchten Farbort zu erreichen, wird von der LED abgestrahlte Primärstrahlung auf ein Konversionsmittel gestrahlt. In diesem wird die Primärstrahlung der LED in eine Primary radiation is wavelength converted. Nowadays, light-emitting diode components with different colors are possible. For this purpose, the light-emitting diode component has a light-emitting diode chip, also known as LED. In order to reach the desired color location, the primary radiation emitted by the LED is radiated onto a conversion medium. In this, the primary radiation of the LED becomes a
Sekundärstrahlung des gewünschten Farbortes konvertiert.  Secondary radiation of the desired color location converted.
Zumindest firmenintern sind Herstellungsverfahren von At least in-house are manufacturing processes of
Leuchtdioden-Bauelementen, die mindestens einen Teil der, von einer LED ausgesandten, Primärstrahlung Light-emitting diode components, the at least a portion of, emitted by an LED, primary radiation
wellenlängenkonvertieren, durch sogenannten "CLC Layer wavelength conversion, by so-called "CLC Layer
Transfer" bekannt. Dabei wird ein ebenes Konverterplättchen direkt auf den Chip geklebt. Das "wire bond päd" wird dabei ausgespart, damit der Chip anschließend drahtkontaktiert werden kann. In this case, a flat converter plate is glued directly to the chip, the "wire bond päd" is thereby omitted, so that the chip can then be wire-contacted.
Eine mittige Anordnung der Chipanschlüsse ist hier A central arrangement of the chip connections is here
ungeeignet, da die Gefahr einer Klebstoffkontamination und einer damit verbundenen schlechten Bondbarkeit besteht. unsuitable because of the risk of adhesive contamination and associated poor bondability.
Aufgrund des flachen Konverterplättchens in Kombination mit speziellen Chipdesigns oder auch bedingt durch transparente Klebstoffe kommt es zu Inhomogenitäten des Farbortes, zum Beispiel dem so genannten "blue piping" bei Leuchtdioden mit blauer Primärstrahlung, über den Abstrahlwinkel der Due to the flat converter plate in combination with special chip designs or also due to transparent adhesives, inhomogeneities of the color locus, for example the so-called "blue piping" in light-emitting diodes, occur blue primary radiation, over the beam angle of the
Lichtquelle. Besonders betroffen sind hierbei die Light source. Particularly affected are the
Seitenränder, an denen eine unzureichende Konversion Margins, where insufficient conversion
stattfindet . takes place.
Ebenso ist das Verfahren der Volumenkonversion bekannt. Dabei wird der Leuchtdioden-Chip nach dem Drahtkontaktieren mit einem Vergussmaterial umhüllt, welchem der Konverter bereits beigemischt ist. Die Umhüllung des Chips geschieht dabei mittels Gießverfahren. Likewise, the method of volume conversion is known. In this case, the light-emitting diode chip is wrapped after wire contacting with a potting material to which the converter is already mixed. The wrapping of the chip happens by casting.
Der Nachteil dieses Verfahrens ist, dass es durch den so genannten "Stokes-shift " zu einer Erwärmung des The disadvantage of this method is that it by the so-called "Stokes shift" to a heating of the
Vergussmaterials kommt, die durch die Vergusshöhe bestimmt ist. Unter "Stokes-shift" wird allgemein der Effekt Potting material comes, which is determined by the potting height. Under "Stokes shift" is generally the effect
verstanden, dass das von fluoreszierenden Mitteln emittierte Licht zu größeren Wellenlängen hin verschoben wird; es erfolgt also eine "Rotverschiebung". Durch die Erwärmung kann es zu einer thermischen Überbeanspruchung des understood that the light emitted by fluorescent means is shifted towards longer wavelengths; So there is a "redshift". The heating can lead to a thermal overstressing of the
Vergussmaterials kommen, die sich durch Risse im Potting materials come through cracks in the
Vergussmaterial sowie durch Konverteralterung beziehungsweise Konverterquenching auszeichnet. Als Konverterquenching, auch unter Bezeichnung Konverterlöschung bekannt, werden Vorgänge bezeichnet, die eine Abnahme der Intensität der Fluoreszenz eines Fluoreszenzmittels zur Folge haben, ohne dass das  Potting material and characterized by converter aging or converter quenching. As converter quenching, also known as converter quenching, processes are referred to, which result in a decrease in the intensity of the fluorescence of a fluorescence agent, without the
Fluoreszenzmittel zerstört wird. Damit ist keine ausreichende Konversion mehr gegeben und es kommt zu Inhomogenitäten des Farbortes. Besonders betroffen hiervon sind  Fluorescent agent is destroyed. This is no longer adequate conversion and it comes to inhomogeneities of the color location. Particularly affected by this are
Hochstromanwendungen, sogenannte high-power-Bauformen . High current applications, so-called high-power designs.
Darüber hinaus sind Leuchtdioden-Bauelemente, die durch In addition, light-emitting devices are characterized by
Volumenkonversion hergestellt werden, aufgrund ihrer Volume conversion can be made due to their
erzeugten Flächenstrahlung für abbildende Systeme nicht geeignet . Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren zur Herstellung von Leuchtdioden-Bauelementen mit Konversionselement zu entwickeln, die Inhomogenitäten des Farbortes beziehungsweise Farbortschwankungen vermeiden und eine verbesserte Farbhomogenität über den Abstrahlwinkel erreichen . Surface radiation produced not suitable for imaging systems. The object of the present invention is to develop a method for the production of light-emitting diode components with a conversion element which avoid inhomogeneities of the color locus or chromaticity variations and achieve improved color homogeneity over the emission angle.
Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Verfahren gemäß den unabhängigen Ansprüchen. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. This object is achieved by a method according to the independent claims. Advantageous developments are specified in the dependent claims.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des hier beschriebenen Verfahrens wird eine Vielzahl von gleichartigen Leuchtdioden- Bauelementen, mit jeweils einer LED und einem In accordance with at least one embodiment of the method described here, a multiplicity of similar light-emitting diode components, each having one LED and one LED
Konversionsmittel, welches zumindest einen Teil einer von einer LED ausgesandten Strahlung wellenlängenkonvertiert, hergestellt, indem auf den Wafer mittels Spritztechnik strahlungs- und thermisch-stabiles Material, dem Conversion, which wavelength-converted at least a portion of a radiation emitted by an LED produced by applying to the wafer by spraying technique radiation and thermally stable material, the
Konversionsmittel zugefügt sind, aufgebracht wird. Conversion agent added is applied.
Hierbei wird der Wafer mit den Leuchtdioden-Chips in eine Kavität einer Spritzform eingebracht, in welche in einem weiteren Schritt eine Spritzmasse eingetrieben wird. Diese Spritzmasse ist mit einem Konversionsmittel versetzt und wird derart eingetrieben, dass die gesamte Waferoberfläche Here, the wafer is introduced with the light-emitting diode chips in a cavity of an injection mold, in which in a further step, a spray mass is driven. This spray mass is mixed with a conversion agent and is driven in such a way that the entire wafer surface
gleichförmig bedeckt ist. Nachfolgend wird die Spritzform entfernt und die Leuchtdioden-Lichtquellen aus dem is uniformly covered. Subsequently, the injection mold is removed and the light-emitting diodes light sources from the
Waferverbund werden vereinzelt. Wafer composite are isolated.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform eines hier In accordance with at least one embodiment of one here
beschriebenen Verfahrens erfolgt das Eintreiben der described method is the driving of the
Spritzmasse, welche mit Konversionsmitteln versetzt ist, in die Kavität derart, dass die Leuchtdiodenchips mit einer gleichförmigen Schichtspritzmasse umgeben sind. Spritzmasse, which is mixed with conversion agents, in the cavity such that the light-emitting diode chips are surrounded by a uniform layer of injection molding compound.
"Gleichförmig" kann hierbei insbesondere bedeuten, dass die Leuchtdiodenchips entlang ihrer gesamten freiliegenden In this case, "uniform" may in particular mean that the light-emitting diode chips are exposed along their entire length
Außenfläche mit der Spritzmasse bedeckt werden, wobei derOutside surface are covered with the spray mass, wherein the
Abstand der Außenfläche der Spritzmasse von der freiliegenden Außenfläche eines Leuchtdiodenchips im Wesentlichen konstant ist. Das heißt, auch Seitenflächen der Leuchtdiodenchips, die zum Beispiel schräg zur Hauptfläche der Leuchtdiodenchips verlaufen, werden mit der Spritzmasse bedeckt. Dadurch wird das Risiko des sogenannten "blue pipings" reduziert, "blue piping" bedeutet dabei, dass zum Beispiel bei einem blaues Licht emittierenden Leuchtdiodenchip, bei dem ein Teil des Lichts derart konvertiert wird, dass insgesamt von Distance of the outer surface of the injection molding material from the exposed outer surface of a light-emitting diode chip is substantially constant. That is, even side surfaces of the LED chips, which run, for example, obliquely to the main surface of the LED chips, are covered with the spray mass. This reduces the risk of the so-called "blue piping", "blue piping" means that, for example, in a blue light emitting LED chip in which a part of the light is converted in such a way that a total of
Leuchtdiodenchip und Konversionsmitteln weißes Licht LED chip and conversion white light
emittiert wird, eine Emission von bläulichem Licht aus dem Bereich der Seitenflächen des Leuchtdiodenchips sichtbar ist, wenn der Leuchtdiodenchip nicht mit einer gleichförmigen Schichtspritzmasse umgeben wird. is emitted, an emission of bluish light from the region of the side surfaces of the LED chip is visible, if the LED chip is not surrounded with a uniform layer of injection molding compound.
Mit dem Verfahren ist es möglich, komplett abgedeckte With the procedure it is possible completely covered
Leuchtdioden-Chips herzustellen, wodurch sich eine erhebliche Reduzierung beziehungsweise Vermeidung von Inhomogenitäten des Farborts ergibt. Produce light-emitting diode chips, resulting in a significant reduction or avoidance of inhomogeneities of the color location.
Vorzugsweise wird als Spritzmasse Silikon mit beigefügtem Konverter verwendet. Die Spritzmasse kann mindestens ein Leuchtmittel enthalten. Dazu eignen sich beispielweise anorganische Stoffe, wie mit seltenen Erden dotierte Granate oder Nitride. Weitere geeignete Leuchtmittel, wie mit Preferably, silicone with attached converter is used as the sprayed material. The spray mass may contain at least one light source. For example, inorganic substances such as garnets doped with rare earths or nitrides are suitable for this purpose. Other suitable bulbs, such as
seltenen Erden dotierte Aluminate oder Orthosilikate, sind aus der WO 98/12757 bekannt. In einer erweiterten Ausführungsform werden dem Silikon- Konverter-Gemisch Si02_Partikel zugefügt, um das Silikon vor thermischer Schädigung und den Konverter vor Alterung rare earth-doped aluminates or orthosilicates are known from WO 98/12757. In an extended embodiment, particles are added to the silicone-converter mixture SiO 2 _ to prevent the silicone from thermal damage and the converter from aging
beziehungsweise Quenching zu schützen. or to protect quenching.
In alternativen Ausführungsformen können als Füllmaterial ein Epoxy-Silikon-Hybrid oder andere strahlungs- und thermisch¬ stabile Materialen verwendet werden. Diesen Kombinationen aus Füllmaterial und Konverter kann weiterhin zusätzliches thermisch leitendes Material hinzugefügt werden. In alternative embodiments may be used as filler an epoxy-silicone hybrid or other radiation and thermally ¬ stable materials. In addition, additional thermally conductive material can be added to these combinations of filler material and converter.
In einer zweckmäßigen Weiterbildung des Verfahrens ist die Spritzform derart ausgebildet, dass sich eine glatte, ebene Oberfläche der Spritzmasse ergibt. In an expedient development of the method, the injection mold is designed such that results in a smooth, even surface of the spray mass.
Alternativ wird die Spritzform derart gestaltet, dass die Abdeckung des Chips dreidimensional, zum Beispiel in Form einer Kuppel, ausgeführt ist. Dadurch wird gleichzeitig eine Verbesserung der Farbhomogenität über den Abstrahlwinkel erreicht. Alternatively, the injection mold is designed such that the cover of the chip is designed in three dimensions, for example in the form of a dome. As a result, an improvement in the color homogeneity over the emission angle is achieved at the same time.
In einer vorteilhaften Ausführung des Verfahrens wird das "wire bond päd" des Chips frei von Spritzmasse gehalten, um eine Drahtkontaktierung des Chips zu ermöglichen. Dies geschieht zweckmäßig durch Abtragung der Masse, über den betreffenden elektrischen Kontakten, mittels Laser. In an advantageous embodiment of the method, the "wire bond päd" of the chip is kept free of injection molding compound in order to enable wire bonding of the chip. This is done suitably by removal of the mass, over the relevant electrical contacts, by means of laser.
In einer alternativen Ausführung ist das Spritzwerkzeug derart gestaltet, dass es direkt den Bond-Kontakt abdichtet und somit frei von Vergussmaterial hält. In an alternative embodiment, the injection molding tool is designed such that it directly seals the bond contact and thus keeps it free of potting material.
In einer weiteren Ausführung wird das "wire bond päd" mittels einer darauf aufgebrachten Folie vor Vergussmaterial In a further embodiment, the "wire bond päd" by means of a film applied thereto before potting
geschützt . In einer besonders vorteilhaften Ausführung des Verfahrens wird ein Anschlusskontakt, das sogenannte "bond päd", durch Auftragung einer photoaktiven Schicht geschützt, die im protected. In a particularly advantageous embodiment of the method, a connection contact, the so-called "bond päd", is protected by application of a photoactive layer, which in the
Anschluss wieder entfernt werden kann. Dies kann zum Beispiel durch nasschemische Verfahren realisiert werden. Connection can be removed again. This can be realized, for example, by wet-chemical methods.
Zweckmäßig werden die Leuchtdioden-Chips nach dem Umhüllen, mittels Sägens des Wafers, vereinzelt. Suitably, the light-emitting diode chips after wrapping, by means of sawing the wafer, isolated.
Durch die vollständige Abdeckung des Chips inklusive der Mesa mit konvertergefülltem Vergussmaterial werden Inhomogenitäten des Farbortes erheblich reduziert beziehungsweise vermieden. Gemäß alternativer Verfahren wird eine Vielzahl von Due to the complete coverage of the chip including the mesa with converter-filled potting material, inhomogeneities of the color location are considerably reduced or avoided. According to alternative methods, a plurality of
vorsortierten Leuchtdioden-Chips zu einem künstlichen Wafer angeordnet und dieser in eine Kavität einer Spritzform eingebracht, in welche in einem weiteren Schritt eine pre-sorted light-emitting diode chips arranged to form an artificial wafer and this introduced into a cavity of an injection mold, in which in a further step a
Spritzmasse eingetrieben wird. Diese Spritzmasse ist mit Konversionsmitteln versetzt und wird derart eingetrieben, dass die gesamte Waferoberfläche gleichförmig bedeckt ist. Nachfolgend wird die Spritzform entfernt und die Injected mass is injected. This spray mass is mixed with conversion means and is driven in such a way that the entire wafer surface is uniformly covered. Subsequently, the injection mold is removed and the
Leuchtdioden-Bauelemente aus dem künstlichen Waferverbund werden vereinzelt. Light-emitting diode components from the artificial wafer composite are isolated.
Vorliegend erfolgt ein Anordnen wellenlängenvorsortierter Leuchtdiodenchips zu einem künstlichen Wafer. Es können dazu beispielsweise lediglich Leuchtdiodenchips, die einer In the present case, a placement of wavelength-predefined light-emitting diode chips into an artificial wafer takes place. For example, it can only light-emitting diode chips, the one
gemeinsamen Klasse von Leuchtdiodenchips (auch Bin) common class of LED chips (also Bin)
zugeordnet sind, zum künstlichen Wafer angeordnet werden. Da sämtliche Leuchtdiodenchips des künstlichen Wafers mit einer gleichförmigen Schicht aus Spritzmasse derart umgeben werden, dass die Dicke der Spritzmasse über jeden Leuchtdiodenchip den gleichen Verlauf nimmt, entstehen nach dem Vereinzeln Leuchtdioden-Bauelemente, die zum Beispiel weißes Mischlicht aus einem engen Farbortbereich emittieren. Ein weiteres are assigned, are arranged to the artificial wafer. Since all light-emitting diode chips of the artificial wafer are surrounded with a uniform layer of injection molding compound in such a way that the thickness of the injection molding compound is above each light-emitting diode chip takes the same course, arise after the separation of light emitting diode components that emit, for example, white mixed light from a narrow Farbortbereich. Another one
Sortieren der Leuchtdioden-Bauelemente hinsichtlich des Sorting of the light-emitting diode components with respect to
Farbortes kann dann entfallen. "Gleichförmig" heißt dabei unter anderem auch, dass der Verlauf der Spritzmasse über jeden Leuchtdiodenchip gleich ist. Das heißt, im Rahmen der Herstellungstoleranz weist die Spritzmasse über jeden der Leuchtdiodenchips die gleiche Form und Ausdehnung auf. Color location can then be omitted. "Uniform" means, among other things, that the course of the spray mass over each LED chip is the same. That is, within the scope of the manufacturing tolerance, the spray mass has the same shape and extent over each of the light-emitting diode chips.
Die Anordnung vorsortierter Leuchtdioden-Chips auf einem künstlichen Wafer ermöglicht es, besonders farbhomogene The arrangement of presorted light-emitting diode chips on an artificial wafer makes it possible, in particular color-homogeneous
Leuchtdioden-Bauelemente, deren Farbortverteilung durch die Vorsortierung eingeschränkt ist, herzustellen. Light-emitting diode components whose color distribution is restricted by the presorting to produce.
In verschiedenen Weiterbildungen des alternativen Verfahrens können wieder die gleichen Spritzmassen und Oberflächenformen verwendet werden, wie vorangehend beschrieben. Auch können die vorherig beschriebenen Verfahren zur Aussparung des "wire bond pads" angewendet werden. In various developments of the alternative method, the same injection molding materials and surface shapes can be used again, as described above. Also, the previously described methods for recessing the "wire bond pads" can be used.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens umfasst der Leuchtdiodenchip einen aktiven Bereich, in dem im Betrieb des Leuchtdiodenchips die elektromagnetische Primärstrahlung, zum Beispiel blaues Licht, erzeugt wird. Bei dem In accordance with at least one embodiment of the method, the light-emitting diode chip comprises an active region in which the electromagnetic primary radiation, for example blue light, is generated during operation of the light-emitting diode chip. In which
Leuchtdiodenchip bleibt eine Hauptfläche des LED chip remains a major surface of the
Leuchtdiodenchips, durch die ein Großteil der Primärstrahlung den Leuchtdiodenchip verlässt, frei von Kontaktstrukturen und Stromverteilungsbahnen. Das heißt, diese Hauptfläche, die beispielsweise einen Träger für die epitaktisch  LED chips, through which a large part of the primary radiation leaves the LED chip, free of contact structures and current distribution paths. That is, this main surface, for example, a carrier for the epitaxial
abgeschiedenen Schichten des Leuchtdiodenchips deposited layers of the LED chip
gegenüberliegt, ist frei von beispielsweise einem Bond-Pad und/oder Stromverteilungsbahnen zur Stromaufweitung über die gesamte Hauptfläche. Vielmehr erfolgt bei diesem Leuchtdiodenchip die Stromverteilung unterhalb der is opposite, is free of, for example, a bonding pad and / or power distribution tracks for current expansion over the entire main surface. Rather, in this light-emitting diode chip, the current distribution below the
Hauptfläche und damit unterhalb eines großen Teils der Main area and thus below a large part of
Strahlungsaustrittsfläche. Auf diese Weise sind an der ersten Hauptfläche keine lichtabsorbierenden Strukturen angeordnet und die Effizienz des Leuchtdiodenchips ist erhöht. Radiation exit area. In this way, no light-absorbing structures are arranged on the first main surface and the efficiency of the LED chip is increased.
Der Leuchtdiodenchip umfasst dabei zumindest eine elektrisch leitende Durchkontaktierung, insbesondere eine Vielzahl elektrisch leitender Durchkontaktierungen, die den aktiven Bereich von der der Hauptfläche des Leuchtdiodenchips abgewandten Seite her durchdringt. Beispielsweise kann auf diese Weise die n-leitende Seite des Leuchtdiodenchips elektrisch leitend angeschlossen sein. Eine Kontaktfläche, beispielsweise ein Bondpad, zum elektrischen Anschließen der n-Seite des Leuchtdiodenchips kann dann lateral benachbart zum Halbleiterkörper des Leuchtdiodenchips angeordnet sein. In this case, the light-emitting diode chip comprises at least one electrically conductive plated-through hole, in particular a multiplicity of electrically conductive plated-through holes, which penetrate the active region from the side facing away from the main surface of the light-emitting diode chip. For example, in this way the n-conducting side of the light-emitting diode chip can be connected in an electrically conductive manner. A contact surface, for example a bonding pad, for electrically connecting the n-side of the light-emitting diode chip can then be arranged laterally adjacent to the semiconductor body of the light-emitting diode chip.
Insbesondere ist es möglich, dass sämtliche In particular, it is possible that all
Leuchtdiodenchips, die im Verfahren mit der Spritzmasse versehen werden, in dieser Weise ausgeführt sind. LED chips that are provided in the process with the spray mass are carried out in this way.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens beträgt die Dicke der Spritzmasse an ihrer dicksten Stelle höchstens 100 ym. Vorzugsweise fällt die Dicke der Spritzmasse an ihrer dünnsten Stelle nicht unter 60 ym ab. Auf diese Weise ist es möglich, den Leuchtdiodenchip mit einer ausreichend dicken Schicht mit Konversionsmitteln zu bedecken, so dass das oben beschriebene "blue piping" nicht auftritt. Andererseits kann mit einer so dünnen Schicht eine zu starke Erwärmung derAccording to at least one embodiment of the method, the thickness of the spray mass at its thickest point is at most 100 ym. Preferably, the thickness of the spray mass at its thinnest point does not fall below 60 ym. In this way, it is possible to cover the LED chip with a sufficiently thick layer of conversion agents, so that the "blue piping" described above does not occur. On the other hand, with such a thin layer too much heating of the
Konversionsmittel und damit der oben beschriebene "Stocks- shift" vermieden werden. Nach dem Umhüllen der Leuchtdioden-Chips werden diese durch Sägen des künstlichen Wafers vereinzelt. Der so vereinzelte Chip ist auf allen Seitenflanken sowie der Oberfläche mit konvertergefülltem Vergussmaterial umhüllt, was zu einer erheblichen Reduktion von Inhomogenitäten des Farbortes, insbesondere an den Rändern, führt. Conversion and thus the above-described "stock shift" can be avoided. After wrapping the light-emitting diode chips, these are separated by sawing the artificial wafer. The so isolated chip is coated on all side flanks and the surface with converter-filled potting material, resulting in a significant reduction of inhomogeneities of the color location, especially at the edges.
In alternativen Ausführungen des Verfahrens werden die einzelnen Leuchtdioden-Chips durch Wasserstrahlschneiden, Lasern oder durch Stanzen vereinzelt. In alternative embodiments of the method, the individual light-emitting diode chips are separated by water jet cutting, lasers or punching.
In einer besonders vorteilhaften Ausführung des Verfahrens werden die Leuchtdioden-Chips mittels einer speziell ausgeführten Säge vereinzelt, die eine Struktur an den Seitenkanten, entlang der Trennlinie, erzeugt. Damit wird eine weitere Verbesserung der Farbhomogenität über dem Abstrahlwinkel erreicht. In a particularly advantageous embodiment of the method, the light-emitting diode chips are separated by means of a specially designed saw, which generates a structure on the side edges, along the parting line. This achieves a further improvement of the color homogeneity over the emission angle.
Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele anhand der Figuren erläutert. Embodiments will be explained with reference to the figures.
Es zeigen: Show it:
Figur 1A ein Ausführungsbeispiel eines Zwischenprodukts, welches nach einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellt ist. FIG. 1A shows an exemplary embodiment of an intermediate product which is produced according to an embodiment of the method according to the invention.
Figur 1B alternative Ausführungsform des FIG. 1B shows an alternative embodiment of the invention
Zwischenprodukts der Figur la.  Intermediate of Figure la.
Figur 2A drittes Ausführungsbeispiel eines Figure 2A third embodiment of a
Zwischenprodukts, welches nach einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellt ist. Intermediate, which after a Embodiment of the method according to the invention is made.
Figur 2B eine alternative Ausführungsform des FIG. 2B shows an alternative embodiment of the invention
Zwischenprodukts der Figur 2a.  Intermediate product of Figure 2a.
Figur 3 eine schematische Schnittdarstellung eines mittels eines hier beschriebenen Verfahrens hergestellten Leuchtdioden-Bauelements . FIG. 3 shows a schematic sectional view of a light-emitting diode component produced by means of a method described here.
In den Ausführungsbeispielen sind gleiche oder gleich In the embodiments are the same or the same
wirkende Bestandteile jeweils mit den gleichen Bezugs zeichen versehen . Das Zwischenprodukt in Figur 1A beinhaltet einen Chipträger 1, welcher Leuchtdioden-Chips 3 aufweist und mit einer acting components each provided with the same reference characters. The intermediate product in FIG. 1A includes a chip carrier 1, which has light-emitting diode chips 3 and with a
Schicht Spritzmasse 2 bedeckt ist. Der Chipträger 1 mit aufgebrachten Leuchtdioden-Chips 3 wurde in die Kavität einer Spritzform eingebracht und mittels Eintreiben einer Layer of spray mass 2 is covered. The chip carrier 1 with applied light-emitting diode chips 3 was introduced into the cavity of an injection mold and by driving a
Spritzmasse 2, welche mit einem Konversionsmittel versetzt ist, gleichmäßig mit einer als Schicht ausgebildeten Spray mass 2, which is mixed with a conversion agent, uniformly formed with a layer
Spritzmasse 2 umgeben. Die Kavität ist dabei derart Surrounded sprayed 2. The cavity is so
ausgeformt, dass eine glatte, ebene Oberfläche 5a entsteht. Anschließend werden die Leuchtdioden-Chips 3 auf dem shaped so that a smooth, flat surface 5a is formed. Subsequently, the light-emitting diode chips 3 on the
Chipträger 1 mittels Sägen entlang einer Trennlinie 4 vereinzelt . Chip carrier 1 separated by sawing along a parting line 4.
In Figur 1B weist das Zwischenprodukt einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens einen Chipträger 1 mit aufgebrachten Leuchtdioden-Chips 3 auf, der von einer Schicht Spritzmasse 2 bedeckt ist. Hierzu wurde der Chipträger 1 mit den aufgebrachten Leuchtdioden-Chips 3 in eine Kavität einer Spritzform eingebracht und durch Eintreiben einer Spritzmasse 2, der Konversionsmittel beigefügt sind, gleichförmig mit einer Schicht Spritzmasse 2 umgeben. Dabei ist die Kavität der Spritzform so ausgestaltet, dass eine strukturierte In FIG. 1B, the intermediate product of one embodiment of the method according to the invention has a chip carrier 1 with applied light-emitting diode chips 3, which is covered by a layer of sprayed material 2. For this purpose, the chip carrier 1 was introduced with the applied light-emitting diode chips 3 in a cavity of an injection mold and by driving a spray mass 2, the conversion agent are attached, uniformly surrounded with a layer of spray mass 2. The cavity of the injection mold is designed so that a structured
Oberfläche 5b entsteht. Die vom Chipträger 1 getragenen Surface 5b is created. The carried by the chip carrier 1
Leuchtdioden-Chips 3 werden darauffolgend durch Sägen entlang einer Trennlinie 4 vereinzelt. Light-emitting diode chips 3 are subsequently separated by sawing along a dividing line 4.
Das Zwischenprodukt in Figur 2A beinhaltet Chipträger 1, mit darauf aufgebrachten Leuchtdioden-Chips 3, welche von The intermediate product in FIG. 2A includes chip carrier 1, with light-emitting diode chips 3 applied thereto, which are produced by
Spritzmasse 2 umgeben sind. Gemäß des vorgeschlagenen Spray mass 2 are surrounded. According to the proposed
Verfahrens wurden die einzelnen und beispielsweise nach  Procedure were the individual and, for example, after
Farbort vorsortierten Chipträger 1, mit darauf aufgebrachten Leuchtdioden-Chips 3, zu einem künstlichen Wafer angeordnet und dieser anschließend in eine Kavität einer Spritzform eingebracht. Daraufhin wurde eine Spritzmasse 2 derart eingetrieben, dass die Chipträger 1, die jeweils eine LED 3 aufweisen, von einer gleichförmigen Schicht Spritzmasse 2 umgeben sind. Der Spritzmasse sind Konversionsmittel Color location pre-sorted chip carrier 1, arranged thereon with light-emitting diode chips 3, arranged to form an artificial wafer and then introduced into a cavity of an injection mold. Then, a spray mass 2 was driven in such a way that the chip carriers 1, each having an LED 3, are surrounded by a uniform layer of spray mass 2. The spray mass are conversion agents
beigefügt. Die Kavität der Spritzform ist hierbei derart geformt, dass eine glatte, ebene Oberfläche 5a entsteht. Die jeweils auf einem Chipträger 1 aufgebrachten Leuchtdioden- Chips 3 werden mittels Sägen entlang einer Trennlinie 4 vereinzelt . Das in Figur 2B gezeigte Zwischenprodukt weist wiederum attached. The cavity of the injection mold is in this case shaped such that a smooth, flat surface 5a is formed. The light-emitting diode chips 3 each applied to a chip carrier 1 are singulated by means of sawing along a parting line 4. The intermediate product shown in Figure 2B again
Chipträger 1 mit aufgebrachten Leuchtdioden-Chips 3 auf, die von einer Spritzmasse umhüllt sind. Hierzu wurden die  Chip carrier 1 with applied light-emitting diode chips 3, which are enveloped by a spray mass. For this purpose, the
einzelnen Chipträger 1 zu einem künstlichen Wafer angeordnet und in eine Kavität einer Spritzform eingebracht. Durch arranged individual chip carrier 1 to an artificial wafer and introduced into a cavity of an injection mold. By
Eintreiben einer Spritzmasse 2 wurde die Anordnung Driving a spray mass 2 was the arrangement
gleichförmig mit einer Schicht Spritzmasse 2 umgeben. Die Kavität der Spritzform ist dabei derart ausgestaltet, dass eine strukturierte Oberfläche 5b entsteht. Die einzelnen, auf den Chipträgern 1 angeordneten, Leuchtdioden-Chips 3 werden durch Sägen entlang einer Trennlinie 4 vereinzelt. uniformly surrounded by a layer of spray mass 2. The cavity of the injection mold is designed such that a structured surface 5b is formed. The individual, up the chip carriers 1 arranged, light-emitting diode chips 3 are separated by sawing along a parting line 4.
In alternativen Formen können die Zwischenprodukte in den Figuren 2A und 2B auch durch Wasserschneiden, Stanzen oder Lasertrennung vereinzelt werden. In alternative forms, the intermediates in Figures 2A and 2B can also be singulated by water cutting, punching or laser separation.
Die Figur 3 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines mittels eines hier beschriebenen Verfahrens hergestellten Leuchtdioden-Bauelements. Das Leuchtdioden-Bauelement weist einen Chipträger 1 auf. Der Chipträger 1 kann beispielsweise mit einem elektrisch leitenden Material wie Germanium, FIG. 3 shows a schematic sectional view of a light-emitting diode component produced by means of a method described here. The light-emitting diode component has a chip carrier 1. The chip carrier 1 can, for example, with an electrically conductive material such as germanium,
Silizium oder Kupfer gebildet sein. An der Oberseite des Chipträgers 1 ist der Leuchtdiodenchip 3 angeordnet. Der Leuchtdiodenchip 3 besteht vorliegend beispielsweise aus einem epitaktisch gewachsenen Halbleiterkörper. Der Silicon or copper may be formed. At the top of the chip carrier 1, the LED chip 3 is arranged. In the present case, the light-emitting diode chip 3 consists, for example, of an epitaxially grown semiconductor body. Of the
Leuchtdiodenchip 3 kann dabei frei von einem Aufwachssubstrat sein. Das heißt, das beispielsweise dem Chipträger 1 LED chip 3 can be free from a growth substrate. That is, for example, the chip carrier 1
ursprünglich gegenüberliegende Aufwachssubstrat ist entfernt und der Leuchtdiodenchip 3 besteht aus epitaktisch Originally opposite growth substrate is removed and the LED chip 3 consists of epitaxial
gewachsenen Schichten. grown layers.
Der Leuchtdiodenchip 3 umfasst einen aktiven Bereich 30. Im aktiven Bereich 30 wird im Betrieb des Leuchtdiodenchips 3 Primärstrahlung erzeugt. Ein Großteil der Primärstrahlung verlässt den Leuchtdiodenchip durch die Hauptfläche 31. Ein Teil der Primärstrahlung tritt jedoch auch durch die quer zur Hauptfläche 31 verlaufenden Seitenflächen des Chips aus. Durch den aktiven Bereich 30 hindurch erstreckt sich The light-emitting diode chip 3 comprises an active region 30. In the active region 30, primary radiation is generated during operation of the light-emitting diode chip 3. A large part of the primary radiation leaves the LED chip through the main surface 31. However, part of the primary radiation also exits through the lateral surfaces of the chip extending transversely to the main surface 31. Through the active region 30 extends
zumindest eine elektrische Durchkontaktierung 32, die at least one electrical feedthrough 32, the
vorliegend beispielsweise dem n-leitenden Bereich des in this case, for example, the n-type region of
Halbleiterkörpers des Leuchtdiodenchips 3 anschließt. Vorliegend ist die Kontaktierung seitlich am Leuchtdiodenchip 3 hin ausgeführt, und eine Kontaktfläche 33 liegt dort frei. Über der Kontaktfläche 33 ist die Spritzmasse 2, die den Leuchtdiodenchip 3 ansonsten umgibt, abgetragen. An den Semiconductor body of the LED chip 3 connects. In the present case, the contacting is carried out laterally on the light-emitting diode chip 3, and a contact surface 33 is exposed there. Above the contact surface 33, the spray mass 2, which otherwise surrounds the light-emitting diode chip 3, is removed. To the
Kontaktflächen 33 kann beispielsweise eine Drahtkontaktierung des Leuchtdiodenchips 3 erfolgen, zum Beispiel handelt es sich bei der Kontaktfläche 33 dann um ein sogenanntes Bond- Pad. Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand derContact surfaces 33, for example, a wire contacting of the LED chip 3 done, for example, in the contact surface 33 is then a so-called bond pad. The invention is not by the description based on the
Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Embodiments limited to these. Rather, the invention encompasses every new feature as well as every combination of features, which in particular includes any combination of features in the patent claims, even if this feature or combination itself is not explicitly described in the claims
Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.  Claims or embodiments is given.
Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 102011102590.5, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird. This patent application claims the priority of German Patent Application 102011102590.5, the disclosure of which is hereby incorporated by reference.

Claims

Patentansprüche claims
1. Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen einer Vielzahl von gleichartigen Leuchtdioden-Bauelementen, mit jeweils zumindest einem Leuchtdioden-Chip und einem 1. A method for simultaneously producing a plurality of similar light emitting diode components, each having at least one light emitting diode chip and a
Konversionselement, welches zumindest einen Teil einer vom zumindest einen Leuchtdioden-Chip (3) ausgesandten  Conversion element, which at least a part of one of the at least one light-emitting diode chip (3) emitted
elektromagnetischen Strahlung wellenlängenkonvertiert, mit den Schritten: Wavelength-converted electromagnetic radiation, with the steps:
- Anordnen wellenlängenvorsortierter Leuchtdioden-Chips (3) zu einem künstlichen Wafer - Arrange wavelength pre-sorted light-emitting diode chip (3) to an artificial wafer
- Einbringen des Wafers in eine Kavität einer Spritzform - introducing the wafer into a cavity of an injection mold
- Eintreiben einer Spritzmasse (2), welchen mit - Driving a spray mass (2), which with
Konversionsmitteln versetzt ist, in die Kavität, so dass die Leuchtdioden-Chips (3) mit einer gleichförmigen Schicht Spritzmasse umgeben sind, Conversion agent is added to the cavity, so that the light-emitting diode chips (3) are surrounded with a uniform layer of spray mass,
- Entfernen der Spritzform,  Removing the injection mold,
- Vereinzeln der Leuchtdioden-Bauelemente auf dem Wafer.  - Separating the light emitting diode devices on the wafer.
2. Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen einer Vielzahl von gleichartigen Leuchtdioden-Bauelementen, mit jeweils zumindest einem Leuchtdioden-Chip und einem 2. A method for simultaneously producing a plurality of similar light-emitting diode components, each having at least one light-emitting diode chip and a
Konversionsmittel, welches zumindest einen Teil einer vom zumindest einen Leuchtdioden-Chip ausgesandten Conversion means, which at least a part of one of the at least one light-emitting diode chip emitted
elektromagnetischen Primärstrahlung wellenlängenkonvertiert, mit den Schritten: Electromagnetic primary radiation wavelength-converted, with the steps:
- Bereitstellen eines Wafers mit darauf aufgebrachten  - Providing a wafer with it applied
Leuchtdioden-Chips (3) , Light-emitting diode chips (3),
- Einbringen des Wafers in eine Kavität einer Spritzform, - Eintreiben einer Spritzmasse (2), welche mit  - introducing the wafer into a cavity of an injection mold, - driving a spray mass (2), which with
Konversionsmitteln versetzt ist, in die Kavität, so dass die Leuchtdioden-Chips mit einer gleichförmigen Schicht  Conversion agent is added to the cavity, leaving the light-emitting diode chips with a uniform layer
Spritzmasse umgeben sind, - Entfernen der Spritzform Surrounded by spray mass, - Remove the mold
- Vereinzeln der Leuchtdioden-Bauteile auf dem Wafer.  - Separating the light-emitting diode components on the wafer.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, 3. The method according to claim 1 or 2,
wobei zumindest einer der Leuchtdioden-Chips (3) einen aktiven Bereich (30) umfasst, in dem im Betrieb des wherein at least one of the light-emitting diode chips (3) comprises an active region (30), in which in the operation of the
Leuchtdioden-Chips (3) die elektromagnetischen Light-emitting diode chips (3) the electromagnetic
Primärstrahlung erzeugt wird, wobei Primary radiation is generated, wherein
- eine Hauptfläche (31) des Leuchtdioden-Chips (3) frei von Kontaktstrukturen und Stromverteilungsbahnen ist, und  a main surface (31) of the light-emitting diode chip (3) is free of contact structures and current distribution paths, and
- der Leuchtdioden-Chip (3) zumindest eine elektrisch  - The light-emitting diode chip (3) at least one electrically
leitende Durchkontaktierung (32) umfasst, die den aktiven Bereich (30) von der der Hauptfläche (31) des Leuchtdioden- Chips (3) abgewandten Seite her durchdringt. conductive via (32) which penetrates the active region (30) from the main surface (31) of the LED chip (3) facing away from side.
4. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, 4. Method according to one of the preceding claims,
wobei die Dicke der Spritzmasse an ihrer dicksten Stelle höchstens 100 ym beträgt. wherein the thickness of the spray mass at its thickest point is at most 100 ym.
5. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, 5. Method according to one of the preceding claims,
wobei die Oberfläche der Bedeckung durch Spritzmasse (2) eine glatte, ebene Fläche (5a) ergibt. wherein the surface of the cover by injection molding compound (2) gives a smooth, flat surface (5a).
6. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, 6. The method according to any one of the preceding claims,
wobei die Oberfläche (5b) der Bedeckung durch Spritzmasse (2) eine Struktur aufweist. wherein the surface (5b) of the cover by injection molding compound (2) has a structure.
7. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, 7. The method according to any one of the preceding claims,
bei dem die Leuchtdioden-Chips (3) elektrische Kontaktflächen (33) aufweisen. in which the light-emitting diode chips (3) have electrical contact surfaces (33).
8. Verfahren nach dem vorherigen Anspruch, bei dem auf elektrischen Kontaktflächen (33) angebrachte Spritzmasse (2) mittels Laserstrahlung abgetragen wird. 8. Method according to the preceding claim, in which on the electrical contact surfaces (33) mounted spray mass (2) is removed by means of laser radiation.
9. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, 9. Method according to one of the preceding claims,
bei dem elektrische Kontaktflächen (33) des Leuchtdioden- Chips (3) vor dem Einbringen in die Kavität abgedeckt und vor dem Vereinzeln wieder freigelegt werden. in the electrical contact surfaces (33) of the LED chip (3) are covered before introduction into the cavity and exposed again before singulating.
10. Verfahren nach dem vorherigen Anspruch, 10. Method according to the preceding claim,
bei dem das Abdecken der elektrischen Kontaktflächen (33) des Leuchtdioden-Chips (3) mittels Folien geschieht, welche auf die vorderseitige Oberfläche des Leuchtdioden-Chips in which the covering of the electrical contact surfaces (33) of the light-emitting diode chip (3) takes place by means of foils which act on the front-side surface of the light-emitting diode chip
aufgebracht werden. be applied.
11. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, 11. The method according to any one of the preceding claims,
bei dem das Abdecken der elektrischen Kontaktflächen (33) des Leuchtdioden-Chips (3) durch eine vorderseitige Innenwand der Spritzform hindurch geschieht. in which the covering of the electrical contact surfaces (33) of the light-emitting diode chip (3) takes place through a front-side inner wall of the injection mold.
12. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, 12. The method according to any one of the preceding claims,
bei dem das Abdecken der elektrischen Kontaktflächen (33) des Leuchtdioden-Chips (3) durch eine photoaktive Schicht in which the covering of the electrical contact surfaces (33) of the light-emitting diode chip (3) by a photoactive layer
erfolgt . he follows .
13. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, 13. The method according to any one of the preceding claims,
bei dem das Vereinzeln der Leuchtdioden-Lichtquellen in which the separation of the light-emitting diode light sources
beziehungsweise Leuchtdioden-Chips (3) durch Sägen oder durch Wasserstrahl-Schneiden oder durch Lasertrennung oder durch Stanzen geschieht. or light-emitting diode chips (3) by sawing or by water jet cutting or by laser separation or punching done.
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