WO2012121383A1

WO2012121383A1 - 真空ポンプ用電源装置

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Publication number: WO2012121383A1
Application number: PCT/JP2012/056162
Authority: WO
Inventors: 伸彦森山; 守芝
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2011-03-09
Filing date: 2012-03-09
Publication date: 2012-09-13
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Abstract

　真空ポンプ用電源装置は、冷媒を流通させるための冷却配管と、冷却配管の温度を検出する温度センサと、冷却配管における冷媒の流通量を調整するバルブと、温度センサによって検出された温度を、結露が発生しない所定温度に保つように、バルブの開閉を制御するバルブ制御部と、を備える。

Description

真空ポンプ用電源装置

　本発明は、冷媒による冷却機構を有する真空ポンプ用電源装置に関する。

　半導体装置に用いられる真空ポンプの一つとしてターボ分子ポンプがある。ターボ分子ポンプは一般に水冷されて使用されることが多い。そのため、ターボ分子ポンプと一体化された電源装置、あるいはポンプ近傍に配置された電源装置は、ポンプとともに水冷されることが多い。電源装置を水冷する場合、結露が発生するという問題があるため、電源装置内に結露を検知するセンサを設ける構成が知られている（特許文献１参照）。

　特許文献１に記載の技術では、電源装置は結露センサと電源装置内部への冷却水の流入をオン・オフする冷却水バルブとを有し、結露検知時にユーザへ結露検知を報告したり、冷却水の流入を遮断したりすることによって結露の進行を防ぎ、結露による電源装置の故障を防ぐようにしている。

日本国特開２００９－１７４３３３号公報

　しかしながら、電源装置への給電が停止された状態が継続した場合、例えば、電源装置が保管されている場合などにおいて、そのときの周囲環境の湿度状態によっては、電源装置内の基板や回路部品などへの吸湿が進行することがある。そのような状態で電源装置への給電が開始され、ターボ分子ポンプの運転が開始された場合、吸湿されていた水分が電源装置内部温度の上昇により電源装置内に放出されることになる。その結果、電源装置に結露センサが設けられていると、たとえ冷却水が使用されていない場合であっても、このような一時的な湿度上昇により結露センサが結露を検知してしまい、ポンプ運転が停止されてしまうことがある。すなわち、電源装置内部の結露の発生を防止しつつ、吸湿水分の放出による湿度上昇のためにポンプ運転が停止することを防止することができないという問題がある。

　本発明の第１の態様によると、真空ポンプ用電源装置は、冷媒を流通させるための冷却配管と、冷却配管の温度を検出する温度センサと、冷却配管における冷媒の流通量を調整するバルブと、温度センサによって検出された温度を、結露が発生しない所定温度に保つように、バルブの開閉を制御するバルブ制御部と、を備える。
　本発明の第２の態様によると、第１の態様の真空ポンプ用電源装置において、温度センサによって検出される温度が、所定温度としての冷媒管理上限温度を超過しないとき、バルブ制御部はバルブを閉じるように制御し、温度センサによって検出される温度が冷媒管理上限温度を超過したとき、バルブ制御部はバルブを開くように制御するのが好ましい。
　本発明の第３の態様によると、第２の態様の真空ポンプ用電源装置において、給電が遮断されている無給電時間を算出する無給電時間算出部をさらに備え、給電が開始された際、無給電時間が所定閾値を超えている場合には、バルブ制御部は、給電が開始されてから所定時間経過するまでバルブを閉じるように制御するのが好ましい。
　本発明の第４の態様によると、第１の態様の真空ポンプ用電源装置において、給電が開始された際、温度センサによって検出された温度を記憶部に記憶させる記憶制御部をさらに備え、記憶部によって記憶された温度と給電開始後の給電中に温度センサによって検出される温度との差が、記憶部によって記憶された温度と所定温度との所定温度差を下回っていないならば、バルブ制御部はバルブを閉じるように制御し、差が所定温度差を下回ったならば、バルブ制御部はバルブを開くように制御するのが好ましい。
　本発明の第５の態様によると、真空ポンプ用電源装置は、冷媒を流通させるための冷却配管と、冷却配管の温度を検出する温度センサと、冷却配管における冷媒の流通量を調整するバルブと、内部の結露を検出する結露センサと、結露センサによって結露が検出されてから、温度センサによって検出される温度が所定閾値を超えるまでバルブを閉じるように制御するとともに、結露センサによって結露が検出された後、温度センサによって検出される温度が所定閾値を超過したならば真空ポンプの運転を停止するように制御する制御部と、を備える。

　本発明によれば、電源装置内部の結露の発生を防止しつつ、吸湿水分の放出による湿度上昇のためにポンプ運転が停止することを防止できる。

第１の実施の形態における電源装置を有するターボ分子ポンプを示す図である。第１の実施の形態における電源装置が有する冷却水バルブの開閉制御を説明するフローチャートである。第１の実施の形態の変形例における電源装置が有する冷却水バルブの開閉制御を説明するフローチャートである。第２の実施の形態における電源装置を有するターボ分子ポンプを示す図である。第２の実施の形態における電源装置が有する冷却水バルブの開閉制御を説明するフローチャートである。第３の実施の形態における電源装置を有するターボ分子ポンプを示す図である。第３の実施の形態における電源装置が有する冷却水バルブの開閉制御を説明するフローチャートである。

－第１の実施の形態－
　図１は、本発明の第１の実施の形態における電源装置３を有するターボ分子ポンプ１の構成を示す図である。ターボ分子ポンプ１は、ポンプ本体２と電源装置３とを含む。図１に示すターボ分子ポンプ１では、ホンプ本体２と電源装置３とが物理的に結合され一体化されているが、ホンプ本体２と電源装置３とが別々に設けられ、それらが互いに電源ケーブルで接続されているターボ分子ポンプにも本発明は適用できる。

　ポンプ本体２は、不図示の、回転翼が形成されたロータと、ロータを回転駆動するモータと、ロータを磁気浮上させることによりロータを支持する磁気軸受とを含んでいる。また、ポンプ本体２は、ヒータを用いた不図示の加熱装置と、冷却水路４とを含む。冷却水路４は、ポンプ本体内部に冷却水を流すための水路である。加熱装置による加熱と、冷却水による冷却とにより、ポンプ本体２の温度は、高温（たとえば、５０～７０℃）に保持される。また、冷却水路４を通じて流れる冷却水により、モータや磁気軸受が冷却される。

　電源装置３は、ポンプ本体２に含まれるモータや磁気軸受の駆動制御を行う。電源装置３は、冷却配管５と、冷却水バルブ６と、温度センサ１２と、ＣＰＵ（中央処理装置）８とを含む。冷却配管５は、電源装置内部に冷却水を流通させて電源装置を冷却するために設けられている。例えば、冷却配管５はパイプや冷却ブロックなどで構成され、さらに、それらのパイプや冷却ブロックには冷却フィンなどが設けられている。なお、本実施の形態としては冷却水を冷媒に用いているが、冷却水に限らず種々の冷媒を用いることができる。

　冷却水バルブ６は、冷却配管５を流れる冷却水の流量を制御するための電磁バルブである。冷却水バルブ６を開くと、冷却配管５を通じて冷却水が電源装置３の内部に流れ、冷却水バルブ６を閉じると、電源装置３の内部への冷却水の流通が止まる。

　温度センサ１２は、冷却水が流れる冷却配管５に配置され、冷却配管の温度を測定する。なお、冷却ブロック等の温度を測定する際には、パイプに近い部位の温度を測定することが望ましい。温度センサ１２によって検出された温度に関する信号はＣＰＵ８に入力される。ＣＰＵ８は、温度センサ１２から出力される信号に基づいて、冷却水バルブ６の開閉を制御する。

　図１の電源装置３には、電源装置内部の結露を検出するためのセンサである結露センサが図示されていない。一時的な湿度上昇によりポンプ運転が停止されてしまうということを防止するため、本実施の形態における電源装置３には、結露センサが設けられていないか、または結露検知感度を常時もしくは一時的に緩和した結露センサが設けられる。結露センサが設けられる場合には、実験、理論計算、あるいはシミュレーション等に基づき、吸湿水分の放出により上昇する湿度が予め特定され、その特定された湿度を超えた場合にのみ結露センサによる結露検出がなされるようにすることで、結露センサの結露検知感度を緩和することができる。実験、理論計算、あるいはシミュレーション等に基づき、電源装置３の起動開始から吸湿水分の放出完了までの時間が予め特定され、その特定された時間においてのみ、結露センサの結露検知感度が緩和されることとしてもよい。本実施の形態における電源装置３においては、結露センサが設けられていないか、または結露センサの結露検知感度が常時もしくは一時的に緩和されるため、以下に示すような、結露発生を防止するための温度制御がなされる。

　冷却水の温度が電源装置３の周囲温度よりも極端に低い場合には、冷却配管や、冷却配管によって冷やされたその近傍の部材に結露が発生しやすい。冷却水温度は可能な限り高い方が、結露が発生しないため、好ましい。本実施の形態では、電源装置３内部の過昇温を生じない範囲で、電源装置３内部を可能な限りの高い温度に保つことで、結露の発生を防止する。

　冷却配管５を流れる冷却水の温度に関して、電源装置内温度が過昇温状態になるのを防止するため、許容上限温度（冷媒管理上限温度）Ｔmaxが設定されている。そこで、本実施の形態では、図１に示すように冷却配管に温度センサ１２が配置されて冷却配管の温度Ｔが計測され、その冷却配管近傍の温度が許容上限温度Ｔmax付近に保たれるように冷却水バルブ６の開閉が制御される。具体的には、温度センサ１２によって検出された検出温度が許容上限温度Ｔmaxを超過したならば冷却水バルブ６を開いて冷却水を流通させ、検出された温度が許容上限温度Ｔmaxを超過しないならば冷却水バルブ６を閉じて冷却水の供給を停止する。許容上限温度Ｔmaxは、電源装置３を構成する回路部品等の温度上限値に依存し、実験、理論計算、あるいはシミュレーション等に基づき、予め決定される。

　第１の実施の形態における電源装置３が有する冷却水バルブ６の開閉制御について、図２に示すフローチャートを参照して説明する。ＣＰＵ８は、電源装置３の電源がオン状態になるとスタートするプログラムにしたがって、図２に示すフローチャートによって表される処理を実行する。

　ステップＳ３０１では、ＣＰＵ８は、ユーザが電源装置３の電源をオフにしたか否かを判定する。肯定判定の場合、本処理は終了する。否定判定の場合、ステップＳ３０２において、ＣＰＵ８は、冷却配管の温度Ｔが許容上限温度Ｔmaxを上回っているか否かを判定する。ステップＳ３０２において肯定判定のとき、ステップＳ３０３において、ＣＰＵ８は、冷却水バルブ６を開いて、冷却水による電源装置３の冷却を行う。ステップＳ３０３の処理が終了したならば、処理はステップＳ３０１へ戻る。

　ステップＳ３０２において否定判定のとき、ステップＳ３０４において、ＣＰＵ８は冷却水バルブ６を閉じ、処理はステップＳ３０１へ戻る。

　冷却配管の温度Ｔが許容上限温度Ｔmax付近に保たれるということは、冷却配管５に許容上限温度Ｔmaxの冷却水が流れている場合とほぼ同等の冷却状況となっていることを意味する。すなわち、電源装置３の内部温度が、上述した温度管理上において可能な限りの高い温度に保たれていることになり、結露が発生しにくい。さらに、結露センサを設けていないか、または結露センサの結露検知感度が常時もしくは一時的に緩和されるので、吸湿していた水分の放出により結露センサが動作してポンプ運転が停止されてしまうという不都合が生じることはない。

　なお、上述した本実施の形態における冷却水バルブ６の開閉制御においては、温度センサ１２による検出温度、すなわち冷却配管の温度Ｔが許容上限温度Ｔmaxを超えたときに、ＣＰＵ８によって冷却水バルブ６が開かれ、冷却水が流通することとしている。その場合、冷却配管の温度Ｔは低下するはずであるが、冷却水の流量低下や断水が原因で冷却配管の温度Ｔがポンプ運転の安全が確保できない温度にまで上昇することが考えられる。そのため、許容上限温度Ｔmaxよりも若干高い温度をポンプ運転停止温度に設定し、温度センサ１２による検出温度がポンプ運転停止温度を超えたときに、ＣＰＵ８がポンプ運転を停止させることで、安全が確保されることとしてもよい。

－第１の実施の形態の変形例－
　上述した第１の実施の形態の説明では、温度センサ１２によって検出される検出温度Ｔが許容上限温度Ｔmax付近に保たれるように、検出温度が許容上限温度を超過しているか下回っているかに応じて、冷却水バルブ６が開閉されるようにした。ここでは、別の制御方法について説明する。なお、電源装置３の構成については第１の実施の形態と同様である。

　電源装置３の給電開始直後にＣＰＵ８の初期化処理が実施される。ＣＰＵ８は、給電開始直後の冷却配管温度Ｔｓを、ＣＰＵ８の初期化処理中に温度センサ１２から取得しておき、ＣＰＵ８の内部メモリに記憶させるように記憶制御する。その後、ＣＰＵ８は、冷却水バルブ６を開いて冷却配管５に冷却水を流通させる。電源装置３への給電が停止していたときには、冷却配管は、ターボ分子ポンプ１周囲の周囲温度と略等しい温度であると考えることができる。例えば、周囲温度が２５℃であった場合には、給電開始直後の冷却配管の温度は２５℃となっている。温度センサ１２により計測される冷却配管の温度も周囲温度と同様の２５℃である。

　冷却水バルブ６が開かれて冷却配管５に冷却水が供給されると、冷却配管の温度は冷却水温度に近い値となる。すなわち、周囲温度が上記２５℃の場合、給電開始直後に計測される冷却配管の温度は周囲温度とほぼ同じ温度の２５℃付近であるが、例えば１５℃の冷却水が流通した場合、冷却配管の温度は、時間の経過とともに低下し、やがては冷却水温度である１５℃付近の温度となる。もし、冷却水温度が電源装置３の周囲温度よりも極端に低い場合には、結露が発生しやすい状態となると考えられる。

　給電開始直後の冷却配管の温度Ｔｓと、その後の冷却水が流通しているときの温度Ｔｃとの差ΔＴ＝Ｔｓ－Ｔｃが、大きすぎると結露が発生しやすい。ＣＰＵ８は、この差ΔＴが所定温度差ΔＴ０付近に保たれるように冷却水バルブ６を制御する。例えば、ＣＰＵ８は、差ΔＴが所定温度差ΔＴ０を下回っていない場合には冷却水バルブ６を閉じ、差ΔＴが所定温度差ΔＴ０を下回ったならば冷却水バルブ６を開く。なお、所定温度差ΔＴ０は、結露の発生を防止するための閾値であり、第１の実施の形態における許容上限温度Ｔmaxと同様に、予め、理論計算、シミュレーション、あるいは実験して実測するなどして求めておけば良い。

　第１の実施の形態の変形例における電源装置３が有する冷却水バルブ６の開閉制御について、図３に示すフローチャートを参照して説明する。ＣＰＵ８は、電源装置３の電源がオン状態になるとスタートするプログラムにしたがって、図３に示すフローチャートによって表される処理を実行する。

　ステップＳ４０１では、ＣＰＵ８は、電源装置３の電源がオン状態になった直後の冷却配管温度Ｔｓを、温度センサ１２から取得し、ＣＰＵ８の内部メモリに記憶させる。ステップＳ４０２では、ＣＰＵ８は、ユーザが電源装置３の電源をオフにしたか否かを判定する。肯定判定の場合、本処理は終了する。否定判定の場合、ステップＳ４０３において、最新の冷却配管温度Ｔｃを、温度センサ１２から取得し、差ΔＴを演算により取得する。ステップＳ４０４において、ＣＰＵ８は、差ΔＴが所定温度差ΔＴ０を下回っているか否かを判定する。ステップＳ４０４において肯定判定のとき、ステップＳ４０５において、ＣＰＵ８は、冷却水バルブ６を開いて、冷却水による電源装置３の冷却を行う。ステップＳ４０５の処理が終了したならば、処理はステップＳ４０２へ戻る。

　ステップＳ４０４において否定判定のとき、ステップＳ４０６において、ＣＰＵ８は冷却水バルブ６を閉じ、処理はステップＳ４０２へ戻る。

　この制御方法では、ＣＰＵ８は、電源装置３が起動すると、温度センサ１２による検出温度ＴｓをＣＰＵ８の初期化処理中に取得し、ＣＰＵ８の内部メモリに記憶させるようにしている。そのため、ＣＰＵ８はターボ分子ポンプ１周囲の周囲温度Ｔｓを基準とする差ΔＴを取得することができる。上述した本変形例のように制御することで、結露が発生しない程度の温度に電源装置３の内部温度を維持しつつ、電源装置内の温度を第１の実施の形態における制御方法に比べて低い温度に保つことができる。

－第２の実施の形態－
　図４は、本発明の第２の実施の形態における電源装置３を有するターボ分子ポンプ１の構成を示す図である。図１に示した構成と比較すると、図４に示す電源装置３に結露センサ７が設けられている点が異なっている。結露センサ７は、電源装置内部の結露を検出するためのセンサである。結露センサ７として、たとえば電気抵抗式のものや、水晶振動子式のものが用いられる。結露センサ７は、結露を検出しているときに結露検出信号をＣＰＵ８に出力し、結露を検出していないときに結露不検出信号をＣＰＵ８に出力する。

　第２の実施の形態における電源装置３が有する冷却水バルブ６の開閉制御について、図５に示すフローチャートを参照して説明する。ＣＰＵ８は、電源装置３の電源がオン状態になるとスタートするプログラムにしたがって、図５に示すフローチャートによって表される処理を実行する。

　ステップＳ１０１では、ＣＰＵ８は、結露センサ７から出力される信号に基づいて、結露センサ７が結露を検出してオンになったか否かを判定する。結露センサ７がオフの場合、すなわち結露が検出されていない場合には、ステップＳ１０１でＮＯと判定されてステップＳ１０２へ進む。ステップＳ１０２では、ＣＰＵ８は、冷却水バルブ６を開いて、冷却水による電源装置３の冷却を行う。ステップＳ１０２の処理が終了したならば、ステップＳ１０１へ戻る。

　一方、結露センサ７が結露を検出している場合には、ステップＳ１０１でＹＥＳと判定されてステップＳ１０３へ進む。ステップＳ１０３では、ＣＰＵ８は、ポンプが運転中か否かを判定し、ポンプ運転中の場合にはステップＳ１０５へ進み、ポンプ停止中の場合にはステップＳ１０４へ進む。ステップＳ１０４へ進んだ場合には、ステップＳ１０４においてＣＰＵ８は冷却水バルブ６を閉じ、ステップＳ１０１へ戻る。

　ステップＳ１０３でポンプ運転中と判定されてステップＳ１０５へ進んだ場合、ステップＳ１０５において、ＣＰＵ８は、電源装置内の冷却配管の温度Ｔが、電源装置内温度が過昇温状態になるのを防止するための許容上限温度Ｔmaxを超えているか否かを判定する。なお、電源装置３の内部温度の許容上限温度Ｔmaxは、第１の実施の形態の説明で述べたように、理論計算、シミュレーション、あるいは実験等によって測定するなどして予め決めれば良い。ステップＳ１０５で温度Ｔが許容上限温度Ｔmaxを超えていると判定されると、ステップＳ１０６へ進む。ステップＳ１０６では、ＣＰＵ８は、不図示の警報装置に、結露発生を知らせるアラームを発生させる。その後、ステップＳ１０７において、ＣＰＵ８はポンプの運転を停止し、図５に示すフローチャートによって表される処理が終了する。一方、ステップＳ１０５で温度Ｔが許容上限温度Ｔmaxを超えていないと判定されると、ステップＳ１０４へ進む。ステップＳ１０４で、ＣＰＵ８は冷却水バルブ６を閉じ、その後、ステップＳ１０１へ戻る。

　上述のように、本実施の形態では、ポンプ運転中に結露センサがオンになった場合、電源装置内の冷却配管の温度Ｔが、電源装置内温度が過昇温状態になるのを防止するための許容上限温度Ｔmax以下であれば、冷却水バルブ６が閉じられた状態でポンプ運転が継続される。温度Ｔが許容上限温度Ｔmaxを超えている場合は、ポンプの運転が停止されるような保護動作が実施される。このように、結露センサ７がオンになった場合でも、ポンプが直ちに停止されるのではなく、冷却水の流通が停止されて結露センサ７がオフになるのを待つようにした。そのため、吸湿された水分が放出されて結露センサ７がオンになった場合には、冷却水停止により電源装置内温度が上昇する。吸湿された水分が電源装置内温度上昇により放出されたことが原因での結露検出状態が解消されると、結露センサ７がオフになる。

　また、冷却水温度が低くて結露が発生しやすい状況の場合には、ステップＳ１０４およびＳ１０５の処理によって電源装置内温度が高めに保たれるが、高温状態での運転を継続しても結露が解消しない可能性がある。高温状態での運転を継続しても結露が解消しない場合には、電源装置内の冷却配管の温度Ｔが許容上限温度Ｔmaxを超える可能性がある。温度Ｔが許容上限温度Ｔmaxを超えたとき、電源装置内を冷却するため、冷却水バルブ６が開かれることとしてもよいが、結露が解消しない状態でポンプ運転が継続されることは好ましくない可能性がある。そこで、本実施の形態における電源装置３においては、上述したように、温度Ｔが許容上限温度Ｔmaxを超えた時点でポンプを安全に停止させることができる。

－第３の実施の形態－
　図６は、本発明の第３の実施の形態における電源装置３を有するターボ分子ポンプ１の構成を示す図である。図１に示した構成と比較すると、図６に示す電源装置３にバッテリ駆動のリアルタイムクロック（ＲＴＣ）９を設けた点が異なっている。ＲＴＣ９は、ＩＣによって得られるカウンタであり、バッテリ駆動のため、ＡＣ電源が供給されているか否かにかかわらずにカウント値がインクリメントされ続けるカウンタである。本実施の形態では、ＣＰＵ８の内部で電源装置３の通電時間を積算するＣＰＵ内部カウンタと、ＲＴＣ９等のようにＡＣ電源が供給されているか否かにかかわらずにカウントが進み続けるカウンタとの両方を用いて、電源装置３の無給電時間が算出される。無給電時間は、電源装置３への給電が遮断されていた時間であり、ＲＴＣ９によるカウント値ＣｒとＣＰＵ内部カウンタによるカウント値Ｃｃとの差に基づいて算出される。

　図７は、電源装置３の電源がオンされた給電開始時に実行される処理を示すフローチャートである。図７に示す処理は、図２に示す第１の実施の形態における電源装置３が有する冷却水バルブ６の開閉制御の前段で実行される処理であり、ＣＰＵ８は、電源装置３の電源がオン状態になるとスタートするプログラムにしたがって、図７に示すフローチャートによって表される処理を実行する。

　ステップＳ２０１では、ＣＰＵ８は、無給電時間ｔが所定の閾値ｔ０を超えているか否かを判定する。閾値ｔ０として、結露センサ７の動作に影響を与える吸湿が生じ得る程度の無給電時間が設定される。閾値ｔ０は、実験、理論計算、あるいはシミュレーション等に基づき、予め決定される。例えば、１２時間程度の値が閾値ｔ０として設定される。ステップＳ２０１でＣＰＵ８がｔ＞ｔ０であると判定すると、ステップＳ２０２でＣＰＵ８が冷却水バルブ６を閉じる。その結果、電源装置内温度が上昇し、吸湿された水分を放出させるためのエージング処理が開始される。

　一方、ステップＳ２０１でＣＰＵ８によってｔ≦ｔ０と判定された場合、すなわち、吸湿による結露センサ７の動作への影響が小さい場合には、ステップＳ２０５に進む。ステップＳ２０５では、ＣＰＵ８が冷却水バルブ６を開く。ステップＳ２０６において通常の運転モードに移行する。通常の運転モードとは、上述した第１の実施の形態で記載したバルブ制御が行われるモードである。

　処理がステップＳ２０１からステップＳ２０２へ進んだ場合のエージング処理について説明する。エージング処理においては、まず、上述したようにステップＳ２０２において冷却水バルブ６が閉じられる。次いで、ステップＳ２０３において、ＣＰＵ８は、電源装置３内部の冷却配管の温度Ｔ、すなわち温度センサ１２によって検出された検出温度が、許容上限温度Ｔmaxを超えたか否かを判定する。ステップＳ２０３で温度Ｔが許容上限温度Ｔmaxを超えたと判定されると、エージング処理は終了して、処理は上述したステップＳ２０５へ進む。

　一方、ステップＳ２０３でＴ≦Ｔmaxと判定されると、処理はステップＳ２０４へ進んで、ステップＳ２０４において、ＣＰＵ８は所定のエージング時間が経過したか否かを判定する。所定のエージング時間は、吸湿解消に十分な時間である。実験、理論計算、あるいはシミュレーション等に基づき、所定のエージング時間として所定時間が予め設定される。エージング処理によって電源装置内温度は高温になり、仮にエージング処理前の段階で吸湿が生じていた場合であっても、吸湿していた水分はエージング処理中に蒸発し、電源装置３の外部ヘ放出され、拡散されることとなる。

　電源装置３の電源がオンされた時点から、冷却配管の温度Ｔが許容上限温度Ｔmaxを超える時点までの時間が、実験、理論計算、あるいはシミュレーション等に基づき、上述した所定のエージング時間が予め設定される際に考慮されることとしても良い。この場合、図５に示すフローチャートにおいて、ステップＳ２０３における判定処理が不要となる。

　例えば電源装置３の保管時など、電源装置３ヘの給電が遮断された状態が継続した場合、周囲環境の湿度状態によっては電源装置内部の基板や回路素子ヘの吸湿が進行することがある。そのような吸湿が進行した状態で電源装置３ヘの給電が開始され、ポンプ運転が行われると、電源装置内温度の上昇によって、吸湿していた水分が電源装置内部に水蒸気として現われ、これによって結露センサによる結露検知がされやすい状況になってしまう事がある。しかしながら、上述のようなエージング処理を行うことにより、吸湿していた水分による結露検知を確実に防止することができる。

　なお、上述した実施の形態および変形例の説明では、ターボ分子ポンプの電源装置３を例に説明したが、ターボ分子ポンプに限らず種々の真空ポンプ、例えば、モレキュラードラッグポンプ等の電源装置に本発明を適用することができる。

　上述した各実施の形態および変形例はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせても良い。それぞれの実施の形態および変形例での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態および変形例に何ら限定されるものではない。

　次の優先権基礎出願の開示内容は引用文としてここに組み込まれる。
　日本国特許出願２０１1年第５１０７４号（２０１1年３月９日出願）

Claims

　冷媒を流通させるための冷却配管と、
　前記冷却配管の温度を検出する温度センサと、
　前記冷却配管における前記冷媒の流通量を調整するバルブと、
　前記温度センサによって検出された前記温度を、結露が発生しない所定温度に保つように、前記バルブの開閉を制御するバルブ制御部と、を備える真空ポンプ用電源装置。
　請求項１に記載の真空ポンプ用電源装置において、
　前記温度センサによって検出される前記温度が、前記所定温度としての冷媒管理上限温度を超過しないとき、前記バルブ制御部は前記バルブを閉じるように制御し、
　前記温度センサによって検出される前記温度が前記冷媒管理上限温度を超過したとき、前記バルブ制御部は前記バルブを開くように制御する真空ポンプ用電源装置。
　請求項２に記載の真空ポンプ用電源装置において、
　給電が遮断されている無給電時間を算出する無給電時間算出部をさらに備え、
　前記給電が開始された際、前記無給電時間が所定閾値を超えている場合には、前記バルブ制御部は、前記給電が開始されてから所定時間経過するまで前記バルブを閉じるように制御する真空ポンプ用電源装置。
　請求項１に記載の真空ポンプ用電源装置において、
　給電が開始された際、前記温度センサによって検出された前記温度を記憶部に記憶させる記憶制御部をさらに備え、
　前記記憶部によって記憶された前記温度と前記給電開始後の給電中に前記温度センサによって検出される前記温度との差が、前記記憶部によって記憶された前記温度と前記所定温度との所定温度差を下回っていないならば、前記バルブ制御部は前記バルブを閉じるように制御し、
　前記差が前記所定温度差を下回ったならば、前記バルブ制御部は前記バルブを開くように制御する真空ポンプ用電源装置。
　冷媒を流通させるための冷却配管と、
　前記冷却配管の温度を検出する温度センサと、
　前記冷却配管における前記冷媒の流通量を調整するバルブと、
　内部の結露を検出する結露センサと、
　前記結露センサによって前記結露が検出されてから、前記温度センサによって検出される前記温度が所定閾値を超えるまで前記バルブを閉じるように制御するとともに、前記結露センサによって前記結露が検出された後、前記温度センサによって検出される前記温度が前記所定閾値を超過したならば真空ポンプの運転を停止するように制御する制御部と、を備える真空ポンプ用電源装置。