WO2012057317A1 - Raw material supplying device and deposition device - Google Patents
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Definitions
- the present invention provides a raw material supply apparatus that can effectively supply a powder raw material by effectively suppressing the phenomenon that the powder raw material becomes a clod-like lump and the phenomenon of clogging during the supply process.
- the purpose is to provide.
- it aims at providing the vapor deposition apparatus using the raw material supply apparatus.
- the raw material supply apparatus of the present invention includes a storage tank, a ball feeder, and a vibrator.
- the storage tank includes a container part that can accommodate a powder raw material therein and a nozzle part that is provided at one end of the container part and discharges the powder raw material to the outside.
- the ball feeder has an opening into which the nozzle portion can be inserted at the top, and extends from the bottom surface of the ball feeder main body to which the powder raw material discharged from the storage tank is supplied, and extends outward from the ball feeder main body. It consists of a supply path.
- the vibrator has a ball feeder main body installed on the upper surface, and vibrates as necessary.
- the powder raw material in the raw material supply device, when the powder raw material is supplied to the evaporating dish in a vacuum, the powder raw material becomes a clod-like lump or clogging occurs in the raw material supply device in the supply process. The phenomenon is suppressed. Thereby, supply of a powder raw material can be performed smoothly. Moreover, according to the vapor deposition apparatus using this raw material supply apparatus, since the powder raw material used as a vapor deposition source is supplied smoothly, the film-forming precision can be improved.
- the manufacturing method of the plastic lens using the vapor deposition apparatus 11 of FIG. 1 is demonstrated.
- the surface of the plastic lens is the evaporation object 14, an example of forming an antireflection film made of SiO 2.
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Abstract
A raw material supplying device (1) is configured from: a storage tank (30) capable of holding a powdery raw material (28) inside; a bowl feeder (40) into which the powdery raw material (28) ejected from the storage tank (30) is supplied; and a vibrator (60) which has the main body (50 of the bowl feeder mounted on the upper surface thereof and which vibrates as necessary. The bowl feeder (40) is provided with a main body (50), and a supply path (51) which extends from the bottom surface (54) of the main body (50), outward from the main body (50). When the vibrator (60) vibrates, the powdery raw material (28) is ejected from the bowl feeder (40), and when the vibrator stops, the ejection stops.
Description
本発明は、粉末原料を蒸発皿に供給するための原料供給装置、及び、その原料供給装置を用いた蒸着装置に関する。
The present invention relates to a raw material supply apparatus for supplying a powder raw material to an evaporating dish and a vapor deposition apparatus using the raw material supply apparatus.
従来、プラスチックレンズの表面に反射防止膜を形成する技術が知られている。このような反射防止膜は、低屈折率層と高屈折率層を交互に積み重ねて構成される。反射防止膜は、真空蒸着法によって成膜されるものが多い。
Conventionally, a technique for forming an antireflection film on the surface of a plastic lens is known. Such an antireflection film is formed by alternately stacking low refractive index layers and high refractive index layers. Many antireflection films are formed by vacuum deposition.
プラスチックレンズの製造方法に用いられる一般的な蒸着装置では、蒸着源を昇華若しくは蒸発させるためのルツボに供給し、ルツボを加熱することにより蒸着源をプラスチックレンズなどの蒸着対象に向けて飛散する。蒸着源としては成膜される膜の屈折率に対応した物質が用いられ、その蒸着源の形態は、例えば、錠剤状、プレート状、そして、粉末状のものがある。
In a general vapor deposition apparatus used for a plastic lens manufacturing method, a vapor deposition source is supplied to a crucible for sublimation or evaporation, and the crucible is heated to scatter the vapor deposition source toward a vapor deposition target such as a plastic lens. As the vapor deposition source, a substance corresponding to the refractive index of the film to be formed is used. Examples of the vapor deposition source include tablets, plates, and powders.
ところで、蒸着源として、粉末状の蒸着源を使用する場合、粉末原料がルツボに供給される量を制御する必要がある。ルツボへの供給量が少ない場合、蒸着源から飛散する量が減少し、反射防止膜を構成する層の厚さに不足が生じる。一方、ルツボへの供給量が過剰な場合、過剰量の原料が蒸発装置内に散らかる恐れがある。粉末状の蒸着源をルツボに供給する原料供給装置としては、例えば、特許文献１及び２に記載された構成が提案されている。
Incidentally, when a powdery vapor deposition source is used as the vapor deposition source, it is necessary to control the amount of powder raw material supplied to the crucible. When the supply amount to the crucible is small, the amount scattered from the vapor deposition source decreases, and the thickness of the layer constituting the antireflection film becomes insufficient. On the other hand, when the supply amount to the crucible is excessive, an excessive amount of raw material may be scattered in the evaporator. For example, configurations described in Patent Documents 1 and 2 have been proposed as a raw material supply apparatus that supplies a powdery vapor deposition source to a crucible.
特許文献１及び２に記載の原料供給装置は、漏斗状のノズルを有する貯蔵タンクと、貯蔵タンクから原料が供給されるボールフィーダと、ボールフィーダを振動させるバイブレータとから構成されている。この供給装置では、貯蔵タンクの内壁面にらせん状の溝が形成されており、ボールフィーダの底からボールフィーダの材料排出口に向けて溝を通じて原料が移動するように構成されている。
The raw material supply apparatus described in Patent Documents 1 and 2 includes a storage tank having a funnel-shaped nozzle, a ball feeder to which the raw material is supplied from the storage tank, and a vibrator that vibrates the ball feeder. In this supply apparatus, a spiral groove is formed on the inner wall surface of the storage tank, and the raw material moves through the groove from the bottom of the ball feeder toward the material discharge port of the ball feeder.
このような原料供給装置は、蒸着装置内に組み込まれるものであるため、原料供給装置に収納されている粉末原料は、真空状態にさらされる。粉末状態の原料が真空環境にさらされると、粒子間にあったわずかな気体が脱気され過密状態になる。過密状態が継続すると、クロッド状の塊が出現するおそれがある。例えば、特許文献１及び２に記載の原料供給装置を使用すると、過密になった粉末がらせん状の溝を移動していくうちにさらに圧縮され、結果的に目詰まりを起こすおそれがある。さらに、クロッド状の塊が溝に押し込まれた場合、材料供給に滞りが生じる。この場合、当然として粉末原料をルツボに送り込むことができず、蒸着することができなくなる。反射防止膜の成膜において、このような現象が生じると反射防止膜としての光学特性が低下するほか、膜強度など、当初の製膜設計と異なる事態が生じる。
また、特許文献１、２に記載のボールフィーダは、その構造が複雑である。このため、作業者は、材料排出量を均一化するために煩雑な作業を要求される。たとえば、バイブレータとボールフィーダをつなぐ板ばねの調整や、オシロスコープを使用したバイブレータの振動条件設定や、減圧速度や真空度などの真空条件、さらには、粉末原料の粒度といった、厳しい条件設定をする必要がある。 Since such a raw material supply apparatus is incorporated in a vapor deposition apparatus, the powder raw material accommodated in the raw material supply apparatus is exposed to a vacuum state. When the raw material in a powder state is exposed to a vacuum environment, a slight gas existing between the particles is degassed and becomes in an overcrowded state. If the overcrowding state continues, there is a risk that a clod-like lump appears. For example, when the raw material supply apparatuses described inPatent Documents 1 and 2 are used, the powder that has become dense may be further compressed as it moves through the spiral groove, resulting in clogging. Furthermore, when the crod-like lump is pushed into the groove, the material supply is delayed. In this case, as a matter of course, the powder raw material cannot be fed into the crucible and cannot be deposited. When such a phenomenon occurs in the formation of the antireflection film, the optical characteristics as the antireflection film are deteriorated, and the situation such as film strength is different from the original film formation design.
Moreover, the structure of the ball feeder described inPatent Documents 1 and 2 is complicated. For this reason, the worker is required to perform complicated work in order to make the material discharge amount uniform. For example, it is necessary to set strict conditions such as adjusting the leaf spring that connects the vibrator and ball feeder, setting vibration conditions for the vibrator using an oscilloscope, vacuum conditions such as the decompression speed and degree of vacuum, and the particle size of the powder raw material. There is.
また、特許文献１、２に記載のボールフィーダは、その構造が複雑である。このため、作業者は、材料排出量を均一化するために煩雑な作業を要求される。たとえば、バイブレータとボールフィーダをつなぐ板ばねの調整や、オシロスコープを使用したバイブレータの振動条件設定や、減圧速度や真空度などの真空条件、さらには、粉末原料の粒度といった、厳しい条件設定をする必要がある。 Since such a raw material supply apparatus is incorporated in a vapor deposition apparatus, the powder raw material accommodated in the raw material supply apparatus is exposed to a vacuum state. When the raw material in a powder state is exposed to a vacuum environment, a slight gas existing between the particles is degassed and becomes in an overcrowded state. If the overcrowding state continues, there is a risk that a clod-like lump appears. For example, when the raw material supply apparatuses described in
Moreover, the structure of the ball feeder described in
上述の点に鑑み、本発明は、粉末原料がクロッド状の塊になる現象や供給過程で目詰まりを起こす現象が効果的に抑制され、粉末原料の供給を確実に行うことができる原料供給装置を提供することを目的とする。また、その原料供給装置を用いた蒸着装置を提供することを目的とする。
In view of the above points, the present invention provides a raw material supply apparatus that can effectively supply a powder raw material by effectively suppressing the phenomenon that the powder raw material becomes a clod-like lump and the phenomenon of clogging during the supply process. The purpose is to provide. Moreover, it aims at providing the vapor deposition apparatus using the raw material supply apparatus.
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明の原料供給装置は、貯蔵タンクと、ボールフィーダと、バイブレータとを備える。貯蔵タンクは、内部に粉末原料を収容可能な容器部と、容器部の一端に設けられ、粉末原料を外部に排出するノズル部とで構成されている。ボールフィーダは、上部にノズル部が挿入可能な開口部を有し、貯蔵タンクから排出された粉末原料が供給されるボールフィーダ本体と、ボールフィーダ本体の底面から、ボールフィーダ本体の外方向に延びる供給路とで構成されている。バイブレータは、上面にボールフィーダ本体が設置され、必要に応じて振動する。そして、本発明の原料供給装置では、バイブレータを発振したときに、ボールフィーダ本体の粉末原料が供給路から排出されると共に、貯蔵タンクからボールフィーダ本体に粉末原料が供給される。また、バイブレータの振動を停止したときに、ボールフィーダ本体の粉末原料が供給路から排出されるのが停止すると共に、貯蔵タンクからボールフィーダ本体への粉末原料の供給が停止される。
In order to solve the above problems and achieve the object of the present invention, the raw material supply apparatus of the present invention includes a storage tank, a ball feeder, and a vibrator. The storage tank includes a container part that can accommodate a powder raw material therein and a nozzle part that is provided at one end of the container part and discharges the powder raw material to the outside. The ball feeder has an opening into which the nozzle portion can be inserted at the top, and extends from the bottom surface of the ball feeder main body to which the powder raw material discharged from the storage tank is supplied, and extends outward from the ball feeder main body. It consists of a supply path. The vibrator has a ball feeder main body installed on the upper surface, and vibrates as necessary. And in the raw material supply apparatus of this invention, when a vibrator is oscillated, the powder raw material of a ball feeder main body is discharged | emitted from a supply path, and a powder raw material is supplied to a ball feeder main body from a storage tank. Further, when the vibration of the vibrator is stopped, the powder raw material of the ball feeder main body stops being discharged from the supply path, and the supply of the powder raw material from the storage tank to the ball feeder main body is stopped.
本発明の原料供給装置では、バイブレータの振動の停止時においては、ボールフィーダ本体に排出された粉末原料によりノズル部の開口が閉塞してノズル部からの供給が中断する。このため、ボールフィーダ本体に貯まる粉末原料の量は、ボールフィーダ本体の底面からノズル部までの距離で決定される。また、供給路はボールフィーダ本体の底面からボールフィーダ本体の外方向に延びるため、ボールフィーダ本体の底に長時間粉末原料が蓄積されることがない。このため、ボールフィーダ本体内部で過剰に圧縮された状態の粉末原料が残りにくい。
In the raw material supply apparatus of the present invention, when the vibration of the vibrator is stopped, the opening of the nozzle portion is closed by the powder raw material discharged to the ball feeder main body, and the supply from the nozzle portion is interrupted. For this reason, the amount of the powder raw material stored in the ball feeder main body is determined by the distance from the bottom surface of the ball feeder main body to the nozzle portion. Further, since the supply path extends from the bottom surface of the ball feeder main body to the outside of the ball feeder main body, the powder raw material is not accumulated for a long time on the bottom of the ball feeder main body. For this reason, the powder raw material of the state compressed excessively inside the ball feeder main body is hard to remain.
また、本発明の原料供給装置は、ボールフィーダ本体の底面からノズル部の先端までの高さが、ノズル部の先端と、ボールフィーダ本体と供給路との境界と、ボールフィーダ本体の底面を結ぶ角度θが４５度以下となるように設定されている。これにより、バイブレータの非稼働時において、供給口から粉末原料が不測に排出されることが効果的に抑制される。
In the raw material supply apparatus of the present invention, the height from the bottom surface of the ball feeder main body to the tip of the nozzle portion connects the tip of the nozzle portion, the boundary between the ball feeder main body and the supply path, and the bottom surface of the ball feeder main body. The angle θ is set to be 45 degrees or less. This effectively suppresses the powder raw material from being unexpectedly discharged from the supply port when the vibrator is not in operation.
また、本発明の蒸着装置は、被蒸着物支持面に、複数の被蒸着物を支持するドームと、蒸発皿に粉末原料を供給する原料供給装置と、被蒸着物に飛散される粉末原料が配置される蒸発皿を備える。そして、原料供給装置は、貯蔵タンクと、ボールフィーダと、バイブレータとを備える。貯蔵タンクは、内部に粉末原料を収容可能な容器部と、容器部の一端に設けられ、粉末原料を外部に排出するノズル部とで構成されている。ボールフィーダは、上部にノズル部が挿入可能な開口部を有し、貯蔵タンクから排出された粉末原料が供給されるボールフィーダ本体と、ボールフィーダ本体の底面から、ボールフィーダ本体の外方向に延びる供給路とで構成されている。バイブレータは、上面にボールフィーダ本体が設置され、必要に応じて振動する。そして、原料供給装置では、バイブレータを発振したときに、ボールフィーダ本体の粉末原料が供給路から排出されると共に、貯蔵タンクからボールフィーダ本体に粉末原料が供給される。また、バイブレータの振動を停止したときに、ボールフィーダ本体の粉末原料が供給路から排出されるのが停止すると共に、貯蔵タンクからボールフィーダ本体への粉末原料の供給が停止される。
Further, the vapor deposition apparatus of the present invention includes a dome for supporting a plurality of vapor deposition objects on a vapor deposition object support surface, a raw material supply apparatus for supplying powder raw materials to an evaporation dish, and a powder raw material scattered on the vapor deposition objects. An evaporating dish is provided. The raw material supply apparatus includes a storage tank, a ball feeder, and a vibrator. The storage tank includes a container part that can accommodate a powder raw material therein and a nozzle part that is provided at one end of the container part and discharges the powder raw material to the outside. The ball feeder has an opening into which the nozzle portion can be inserted at the top, and extends from the bottom surface of the ball feeder main body to which the powder raw material discharged from the storage tank is supplied, and extends outward from the ball feeder main body. It consists of a supply path. The vibrator has a ball feeder main body installed on the upper surface, and vibrates as necessary. In the raw material supply device, when the vibrator is oscillated, the powder raw material of the ball feeder main body is discharged from the supply path, and the powder raw material is supplied from the storage tank to the ball feeder main body. Further, when the vibration of the vibrator is stopped, the powder raw material of the ball feeder main body stops being discharged from the supply path, and the supply of the powder raw material from the storage tank to the ball feeder main body is stopped.
本発明の蒸着装置では、原料供給装置において、供給路はボールフィーダ本体の底面からボールフィーダ本体の外方向に延びるため、ボールフィーダ本体の底に長時間粉末原料が蓄積されることがない。このため、ボールフィーダ本体内部で過剰に圧縮された状態の粉末原料が残りにくく、粉末原料がクロッド状に凝集することがない。これにより、粉末原料を滞りなく蒸発皿に供給することができ、成膜精度を高めることができる。
In the vapor deposition apparatus of the present invention, in the raw material supply apparatus, the supply path extends from the bottom surface of the ball feeder main body to the outside of the ball feeder main body, so that the powder raw material is not accumulated on the bottom of the ball feeder main body for a long time. For this reason, the powder raw material in an excessively compressed state inside the ball feeder main body is unlikely to remain, and the powder raw material does not aggregate in a crod shape. Thereby, a powder raw material can be supplied to an evaporating dish without delay, and the film-forming precision can be improved.
本発明によれば、原料供給装置において、真空内で粉末原料を蒸発皿に供給する際に、粉末原料がクロッド状の塊になる現象や、供給過程において、原料供給装置内で目詰まりを起こす現象が抑制される。これにより、粉末原料の供給を円滑に行うことができる。また、この原料供給装置を用いた蒸着装置によれば、蒸着源となる粉末原料が円滑に供給されるので、成膜精度を向上させることができる。
According to the present invention, in the raw material supply device, when the powder raw material is supplied to the evaporating dish in a vacuum, the powder raw material becomes a clod-like lump or clogging occurs in the raw material supply device in the supply process. The phenomenon is suppressed. Thereby, supply of a powder raw material can be performed smoothly. Moreover, according to the vapor deposition apparatus using this raw material supply apparatus, since the powder raw material used as a vapor deposition source is supplied smoothly, the film-forming precision can be improved.
以下に、本発明の実施形態に係る原料供給装置及び蒸着装置の一例を、図面を参照しながら説明する。本発明の実施形態は以下の順で説明する。なお、本発明は以下の例に限定されるものではない。
１．第１の実施形態
１－１ 蒸着装置
１－２ 原料供給装置の構成、及び動作
１－３ プラスチックレンズの製造方法
２．第２の実施形態：原料供給装置の他の例
３．第３の実施形態：原料供給装置の他の例 Below, an example of the raw material supply apparatus and vapor deposition apparatus which concern on embodiment of this invention is demonstrated, referring drawings. Embodiments of the present invention will be described in the following order. In addition, this invention is not limited to the following examples.
1. First Embodiment 1-1 Vapor Deposition Device 1-2 Configuration and Operation of Raw Material Supply Device 1-3 Plastic Lens Manufacturing Method 2. Second embodiment: other example of raw material supply apparatus Third embodiment: Another example of the raw material supply apparatus
１．第１の実施形態
１－１ 蒸着装置
１－２ 原料供給装置の構成、及び動作
１－３ プラスチックレンズの製造方法
２．第２の実施形態：原料供給装置の他の例
３．第３の実施形態：原料供給装置の他の例 Below, an example of the raw material supply apparatus and vapor deposition apparatus which concern on embodiment of this invention is demonstrated, referring drawings. Embodiments of the present invention will be described in the following order. In addition, this invention is not limited to the following examples.
1. First Embodiment 1-1 Vapor Deposition Device 1-2 Configuration and Operation of Raw Material Supply Device 1-3 Plastic Lens Manufacturing Method 2. Second embodiment: other example of raw material supply apparatus Third embodiment: Another example of the raw material supply apparatus
〈１．第１の実施形態〉
［１－１ 蒸着装置］
図１に、本発明の第１の実施形態に係る蒸着装置１１の概略構成を示す。
図１に示すように、本実施形態例の蒸着装置１１は、曲面を有するレンズなどの被蒸着物１４を複数支持するドーム１２と、所望の蒸着材料である粉末原料２８が上部に配置された蒸発皿７０と、減圧手段１６を有する真空チャンバー１５と、原料供給装置１とを備える。ドーム１２、蒸発皿７０、原料供給装置１は、真空が維持された真空チャンバー１５内に配置されている。 <1. First Embodiment>
[1-1 Vapor deposition equipment]
In FIG. 1, schematic structure of thevapor deposition apparatus 11 which concerns on the 1st Embodiment of this invention is shown.
As shown in FIG. 1, in thevapor deposition apparatus 11 of this embodiment, a dome 12 that supports a plurality of vapor deposition objects 14 such as a lens having a curved surface, and a powder raw material 28 that is a desired vapor deposition material are arranged at the top. The evaporating dish 70, the vacuum chamber 15 having the decompression means 16, and the raw material supply apparatus 1 are provided. The dome 12, the evaporating dish 70, and the raw material supply apparatus 1 are disposed in a vacuum chamber 15 in which a vacuum is maintained.
［１－１ 蒸着装置］
図１に、本発明の第１の実施形態に係る蒸着装置１１の概略構成を示す。
図１に示すように、本実施形態例の蒸着装置１１は、曲面を有するレンズなどの被蒸着物１４を複数支持するドーム１２と、所望の蒸着材料である粉末原料２８が上部に配置された蒸発皿７０と、減圧手段１６を有する真空チャンバー１５と、原料供給装置１とを備える。ドーム１２、蒸発皿７０、原料供給装置１は、真空が維持された真空チャンバー１５内に配置されている。 <1. First Embodiment>
[1-1 Vapor deposition equipment]
In FIG. 1, schematic structure of the
As shown in FIG. 1, in the
ドーム１２は、粉末原料２８側に面して所定の曲率を有する被蒸着物支持面１２ａを有するドーム型の部材で構成されている。ドーム１２の被蒸着物支持面１２ａには、レンズなどの被蒸着物１４を支持するホルダー（図示せず）が複数個設けられている。また、ドーム１２の頂上部には、円筒形状のドームヘッド１０が取り付けられている。このドームヘッド１０は、ドーム１２を真空チャンバー１５内に保持するために設けられているものである。そして、ドーム１２は、ドームヘッド１０により、ドーム１２の中心軸周りに回転可能に構成されている。
The dome 12 is formed of a dome-shaped member having a deposition target support surface 12a having a predetermined curvature facing the powder raw material 28 side. A plurality of holders (not shown) for supporting the deposition target 14 such as a lens are provided on the deposition target support surface 12 a of the dome 12. A cylindrical dome head 10 is attached to the top of the dome 12. The dome head 10 is provided to hold the dome 12 in the vacuum chamber 15. The dome 12 is configured to be rotatable around the central axis of the dome 12 by the dome head 10.
蒸発皿７０は、例えば金属材料で構成されており、後述する原料供給装置１から粉末原料２８が排出される位置に配置されている。蒸発皿７０に配置された粉末原料２８は、粉末の蒸着材料で構成されており、原料供給装置１から蒸発皿７０に必要な量だけ供給される。蒸発皿７０に供給された粉末原料２８は蒸着源となり、ドーム１２の被蒸着物支持面１２ａに備えられた被蒸着物１４に向けて飛散するように構成されている。このとき、粉末原料２８は、蒸発皿７０の下方側に設置された電子ビーム（図示せず）の照射によって飛散する。
The evaporating dish 70 is made of, for example, a metal material, and is disposed at a position where the powder raw material 28 is discharged from the raw material supply apparatus 1 described later. The powder raw material 28 arranged in the evaporating dish 70 is made of a powder vapor deposition material, and is supplied from the raw material supply apparatus 1 to the evaporating dish 70 in a necessary amount. The powder raw material 28 supplied to the evaporating dish 70 serves as a vapor deposition source, and is configured to scatter toward the vapor deposition target 14 provided on the vapor deposition target support surface 12a of the dome 12. At this time, the powder raw material 28 is scattered by irradiation with an electron beam (not shown) installed on the lower side of the evaporating dish 70.
原料供給装置１は、貯蔵タンク３０と、ボールフィーダ４０と、バイブレータ６０とで構成されている。図２は、本実施形態例の蒸着装置１１に用いられる原料供給装置１の構成を示す断面図である。また、図３は、バイブレータ停止時における原料供給装置１の概略構成図であり、図４は、バイブレータ作動時の原料供給装置１の概略構成図である。図３及び図４では、構成をわかりやすくするため、一部を断面図で示し、その他を斜視図で示している。図２～図４を用いて、原料供給装置１と、その動作について説明する。
The raw material supply device 1 includes a storage tank 30, a ball feeder 40, and a vibrator 60. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the raw material supply apparatus 1 used in the vapor deposition apparatus 11 of this embodiment. 3 is a schematic configuration diagram of the raw material supply apparatus 1 when the vibrator is stopped, and FIG. 4 is a schematic configuration diagram of the raw material supply apparatus 1 when the vibrator is operated. 3 and 4, a part is shown in a sectional view and the other is shown in a perspective view for easy understanding of the configuration. The raw material supply apparatus 1 and its operation will be described with reference to FIGS.
［１－２ 原料供給装置の構成、及び動作］
貯蔵タンク３０は、容器部３２とノズル部３８とから構成されており、ステンレス等の金属材料で形成されている。容器部３２は、円筒形の側壁部３５と、側壁部３５の一端に形成された上底３１と、他端に形成されたノズル部本体３６とで構成され、内部には、所望の量の粉末原料２８が収容されている。上底３１は、側壁部３５の一端を塞ぐような平板状の部材で構成されており、一部に、粉末原料２８を容器部３２内部に供給するための開口３４を有している。開口３４は、粉末原料２８の供給時以外は、蓋部３３で封止されている。 [1-2 Composition and operation of raw material supply apparatus]
Thestorage tank 30 includes a container portion 32 and a nozzle portion 38, and is formed of a metal material such as stainless steel. The container part 32 is comprised by the cylindrical side wall part 35, the upper base 31 formed in the end of the side wall part 35, and the nozzle part main body 36 formed in the other end, and a desired quantity is contained inside. The powder raw material 28 is accommodated. The upper bottom 31 is formed of a flat plate-like member that closes one end of the side wall portion 35, and has an opening 34 for supplying the powder raw material 28 into the container portion 32. The opening 34 is sealed with a lid 33 except when the powder raw material 28 is supplied.
貯蔵タンク３０は、容器部３２とノズル部３８とから構成されており、ステンレス等の金属材料で形成されている。容器部３２は、円筒形の側壁部３５と、側壁部３５の一端に形成された上底３１と、他端に形成されたノズル部本体３６とで構成され、内部には、所望の量の粉末原料２８が収容されている。上底３１は、側壁部３５の一端を塞ぐような平板状の部材で構成されており、一部に、粉末原料２８を容器部３２内部に供給するための開口３４を有している。開口３４は、粉末原料２８の供給時以外は、蓋部３３で封止されている。 [1-2 Composition and operation of raw material supply apparatus]
The
また、ノズル部本体３６は、漏斗状の部材で構成されている。そして、このノズル部本体３６は、ノズル部本体３６の中央に形成された円筒形状のノズル部３８が容器部３２の外側に突出するように、側壁部３５の他端に形成されている。本実施形態例では、容器部３２とノズル部３８とは一体に形成されており、所望の金属材料によって構成されている。
貯蔵タンク３０では、必要に応じて、容器部３２内部に収容された粉末原料２８がノズル部３８の先端から排出され、ボールフィーダ４０に供給される。 Moreover, the nozzle partmain body 36 is comprised by the funnel-shaped member. The nozzle portion main body 36 is formed at the other end of the side wall portion 35 so that a cylindrical nozzle portion 38 formed at the center of the nozzle portion main body 36 protrudes outside the container portion 32. In this embodiment, the container part 32 and the nozzle part 38 are integrally formed and are made of a desired metal material.
In thestorage tank 30, the powder raw material 28 accommodated in the container portion 32 is discharged from the tip of the nozzle portion 38 and supplied to the ball feeder 40 as necessary.
貯蔵タンク３０では、必要に応じて、容器部３２内部に収容された粉末原料２８がノズル部３８の先端から排出され、ボールフィーダ４０に供給される。 Moreover, the nozzle part
In the
ボールフィーダ４０は、ボールフィーダ本体５０と、供給路５１とで構成されている。ボールフィーダ本体５０は、四角形状の底部５３と、底部５３を囲んで一方向に立設し、所定の位置に供給口４８を有する側壁４２とを有し、底部５３に対向する側壁４２側の上面が全面開口された開口部４１とされた有底箱形状とされている。供給口４８は、ボールフィーダ本体５０の内部と供給路５１とを連通するための開口であり、底部５３の側壁４２側の面（以下、底面５４）から、側壁４２の高さ分の開口とされている。すなわち、本実施形態例では、供給口４８において、側壁４２が形成されていない。ボールフィーダ本体５０は、開口部４１側が貯蔵タンク３０のノズル部３８に対向するように、後述するバイブレータ６０上部に配置されている。
The ball feeder 40 includes a ball feeder main body 50 and a supply path 51. The ball feeder main body 50 has a rectangular bottom portion 53 and a side wall 42 that stands in one direction so as to surround the bottom portion 53 and has a supply port 48 at a predetermined position. It has a bottomed box shape in which the upper surface is an opening 41 having a full opening. The supply port 48 is an opening for communicating the inside of the ball feeder main body 50 with the supply path 51, and is an opening corresponding to the height of the side wall 42 from the surface on the side wall 42 side (hereinafter referred to as the bottom surface 54) of the bottom 53. Has been. That is, in this embodiment, the side wall 42 is not formed at the supply port 48. The ball feeder main body 50 is disposed on a vibrator 60 described later so that the opening 41 side faces the nozzle portion 38 of the storage tank 30.
供給路５１は、平板状の底部５６と、底部５６の対向する二辺に立設された側壁５２とで構成され、その底部５６の側壁５２側の面（以下、底面５７）は、ボールフィーダ本体５０の底面５４と連続して形成されている。供給路５１の底部５６は、ボールフィーダ本体５０の供給口４８に接続された一端から、他端側に向けて重力方向に下がる傾斜を有して構成されている。また、供給路５１の他端は、蒸発皿７０の上部に位置するように配置される。本実施形態例では、ボールフィーダ本体５０及び供給路５１は一体に形成されており、ボールフィーダ４０は、貯蔵タンク３０と同様、ステンレス等の所望の金属材料で構成されている。
ボールフィーダ４０では、ボールフィーダ本体５０に貯蔵タンク３０から粉末原料２８が供給され、また、ボールフィーダ本体５０に供給された粉末原料２８を、供給路５１を介して蒸発皿７０に供給する。 Thesupply path 51 is composed of a flat bottom portion 56 and side walls 52 erected on two opposite sides of the bottom portion 56, and a surface on the side wall 52 side (hereinafter referred to as a bottom surface 57) of the bottom portion 56 is a ball feeder. It is formed continuously with the bottom surface 54 of the main body 50. The bottom portion 56 of the supply path 51 is configured to have an inclination that descends in the direction of gravity from one end connected to the supply port 48 of the ball feeder main body 50 toward the other end side. Further, the other end of the supply path 51 is arranged so as to be positioned above the evaporating dish 70. In the present embodiment, the ball feeder main body 50 and the supply path 51 are integrally formed, and the ball feeder 40 is made of a desired metal material such as stainless steel, like the storage tank 30.
In theball feeder 40, the powder raw material 28 is supplied from the storage tank 30 to the ball feeder main body 50, and the powder raw material 28 supplied to the ball feeder main body 50 is supplied to the evaporating dish 70 via the supply path 51.
ボールフィーダ４０では、ボールフィーダ本体５０に貯蔵タンク３０から粉末原料２８が供給され、また、ボールフィーダ本体５０に供給された粉末原料２８を、供給路５１を介して蒸発皿７０に供給する。 The
In the
バイブレータ６０は、上面が平坦面とされた円柱状の部材で構成され、必要に応じて、振動する構成とされている。バイブレータ６０は、上面にボールフィーダ４０を配置できる構成であればどのような形状でもよい。
The vibrator 60 is configured by a columnar member whose upper surface is a flat surface, and is configured to vibrate as necessary. The vibrator 60 may have any shape as long as the ball feeder 40 can be disposed on the upper surface.
次に、ボールフィーダ４０と貯蔵タンク３０のノズル部３８の位置関係、及び原料供給装置１の動作について説明する。前述したように、貯蔵タンク３０のノズル部３８は、ボールフィーダ本体５０の開口部４１側に配置される。図２に示すように、本実施形態例では、ノズル部３８は、ボールフィーダ本体５０の底面５４から高さＨの位置に調整され、この高さＨは、底面５４から立設する側壁４２の高さよりも小さい値とされる。このように、ノズル部３８は、ボールフィーダ本体５０の開口部４１から底面５４側に少し入り込んだ位置とされることが好ましい。そして、ノズル部３８の先端と、ボールフィーダ本体５０の底面５４と供給路５１との境界５５と、ボールフィーダ本体５０の底面５４が形成する角度θが４５度以下となるように調整される。すなわち、ノズル部３８先端位置と、ボールフィーダ本体５０の底面５４と供給路５１の底面５７との境界５５までの距離Ｓが以下の式を満たすように調整される。
Next, the positional relationship between the ball feeder 40 and the nozzle portion 38 of the storage tank 30 and the operation of the raw material supply apparatus 1 will be described. As described above, the nozzle portion 38 of the storage tank 30 is disposed on the opening 41 side of the ball feeder main body 50. As shown in FIG. 2, in the present embodiment, the nozzle portion 38 is adjusted to a height H position from the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50, and this height H is the height of the side wall 42 standing from the bottom surface 54. The value is smaller than the height. As described above, it is preferable that the nozzle portion 38 is located at a position slightly entering the bottom surface 54 side from the opening 41 of the ball feeder main body 50. Then, the angle θ formed by the tip of the nozzle portion 38, the boundary 55 between the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50 and the supply path 51, and the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50 is adjusted to be 45 degrees or less. That is, the distance S between the tip position of the nozzle portion 38 and the boundary 55 between the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50 and the bottom surface 57 of the supply path 51 is adjusted to satisfy the following expression.
このような位置関係が維持されることにより、バイブレータ６０の振動が停止している状態では、図３に示すように、粉末原料２８はボールフィーダ本体５０の底面５４上に維持される。そして、バイブレータ６０が発振している状態においては、図４に示すように、供給路５１に粉末原料２８が誘導される。誘導された粉末原料２８は、蒸発皿７０に供給され、蒸着源となる。このとき、供給路５１に誘導された量とほぼ同量の粉末原料２８が貯蔵タンク３０からボールフィーダ本体５０に供給される。バイブレータ６０を停止すると、貯蔵タンク３０のノズル部３８内は、ボールフィーダ本体５０に供給された粉末原料２８により閉塞するため、貯蔵タンク３０からボールフィーダ本体５０への粉末原料２８の供給も停止する。
By maintaining such a positional relationship, the powder raw material 28 is maintained on the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50 as shown in FIG. 3 in a state where the vibration of the vibrator 60 is stopped. In a state where the vibrator 60 is oscillating, the powder raw material 28 is guided to the supply path 51 as shown in FIG. The induced powder raw material 28 is supplied to the evaporating dish 70 and becomes a vapor deposition source. At this time, approximately the same amount of the powder raw material 28 as supplied to the supply path 51 is supplied from the storage tank 30 to the ball feeder main body 50. When the vibrator 60 is stopped, the inside of the nozzle portion 38 of the storage tank 30 is blocked by the powder raw material 28 supplied to the ball feeder main body 50, so the supply of the powder raw material 28 from the storage tank 30 to the ball feeder main body 50 is also stopped. .
ところで、図２に示す角度θを４５度に調整することで、ノズル部からボールフィーダ本体５０に供給される粉末原料２８は、母線と底面の形成する角度が４５度の円錐形状に蓄積される。角度θが４５度よりも大きい角度である場合、ボールフィーダ本体５０に盛られた粉末材料２８の傾斜が急になり、バイブレータ６０の停止時においても粉末原料２８がボールフィーダ本体５０から供給路５１側に誘導される可能性がある。そうすると、蒸発皿７０に過剰に粉末原料２８が供給され、粉末原料２８が溢れてしまう。このため、ノズル部３８の先端と、ボールフィーダ本体５０の底面５４と供給路５１の底面５７との境界５５と、ボールフィーダ本体５０の底面５４が形成する角度θを４５度以下に調整するのが好ましい。
By adjusting the angle θ shown in FIG. 2 to 45 degrees, the powder raw material 28 supplied from the nozzle portion to the ball feeder main body 50 is accumulated in a conical shape with an angle formed by the bus bar and the bottom surface of 45 degrees. . When the angle θ is larger than 45 degrees, the inclination of the powder material 28 accumulated in the ball feeder main body 50 becomes steep, and the powder raw material 28 is supplied from the ball feeder main body 50 to the supply path 51 even when the vibrator 60 is stopped. May be guided to the side. If it does so, the powder raw material 28 will be supplied to the evaporating dish 70 excessively, and the powder raw material 28 will overflow. Therefore, the angle θ formed by the tip of the nozzle portion 38, the boundary 55 between the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50 and the bottom surface 57 of the supply path 51, and the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50 is adjusted to 45 degrees or less. Is preferred.
また、ボールフィーダ本体５０の底面５４の縁部全てにおいて、ノズル部３８先端からの距離Ｓが上述の［数１］を満たすように構成されることが好ましい。ボールフィーダ本体５０の底面５４全域に渡ってこのような条件が満たされることで、バイブレータ６０の停止時では、粉末原料２８の円錐形状が崩れず、粉末原料２８が不測に供給路５１に誘導されるのをより効果的に抑制することができる。
In addition, it is preferable that the distance S from the tip of the nozzle portion 38 satisfies the above [Equation 1] at all edges of the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50. When such a condition is satisfied over the entire bottom surface 54 of the ball feeder main body 50, the conical shape of the powder raw material 28 does not collapse when the vibrator 60 is stopped, and the powder raw material 28 is unexpectedly guided to the supply path 51. Can be more effectively suppressed.
また、ノズル部３８は、ボールフィーダ本体５０の底面５４から高さＨの位置に調整され、この高さＨが、底面５４から立設する側壁４２の高さよりも小さい値とされることにより、ボールフィーダ本体５０から粉末原料２８が溢れるのを防ぐことができる。
Further, the nozzle portion 38 is adjusted to a position at a height H from the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50, and this height H is set to a value smaller than the height of the side wall 42 standing from the bottom surface 54. It is possible to prevent the powder raw material 28 from overflowing from the ball feeder main body 50.
本実施形態例の原料供給装置１では、供給路５１はボールフィーダ本体５０の底面５４からボールフィーダ本体５０の外方向に延びるため、ボールフィーダ本体５０の底に長時間粉末原料２８が蓄積されることがない。このため、ボールフィーダ本体５０内部で過剰に圧縮された状態の粉末原料２８が残りにくい。これにより、粉末原料２８がクロッド状に凝集するのを防ぐことができる。
In the raw material supply apparatus 1 of the present embodiment, the supply path 51 extends from the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50 to the outside of the ball feeder main body 50, so that the powder raw material 28 is accumulated on the bottom of the ball feeder main body 50 for a long time. There is nothing. For this reason, the powder raw material 28 in an excessively compressed state within the ball feeder main body 50 hardly remains. Thereby, it can prevent that the powder raw material 28 aggregates in the shape of a crod.
また、本実施形態例の原料供給装置１では、ボールフィーダ４０は金属材料で構成されているため、ボールフィーダ４０そのものが帯電しないことから、粉末原料２８の帯電によるボールフィーダ４０側面への付着などが生じない。また、帯電状態にある粉末原料２８は、ボールフィーダ４０に帯電電流がリークするため、粉末同士の電着現象も抑制される。また、ボールフィーダ本体５０のノズル部３８に対向する側の上面は、全域に渡って開口された開口部４１とされており、また、その開口部４１は、供給口４８に連続している。供給口４８とボールフィーダ本体５０の開口部４１との間に仕切りが生じないため、供給口４８に向かう粉末原料２８の不規則な動きが抑制される。
Further, in the raw material supply apparatus 1 of the present embodiment example, since the ball feeder 40 is made of a metal material, the ball feeder 40 itself is not charged, so that the powder raw material 28 is attached to the side surface of the ball feeder 40 by charging. Does not occur. In addition, since the charged powder material 28 leaks a charging current to the ball feeder 40, the electrodeposition phenomenon between the powders is also suppressed. Further, the upper surface of the ball feeder main body 50 on the side facing the nozzle portion 38 is an opening 41 that is opened over the entire area, and the opening 41 is continuous with the supply port 48. Since no partition is formed between the supply port 48 and the opening 41 of the ball feeder main body 50, irregular movement of the powder raw material 28 toward the supply port 48 is suppressed.
さらに、供給口４８から延びる供給路５１には、両側に側壁５２が形成されている。両側に側壁５２を有することにより、バイブレータ６０の振動の揺らぎで供給路５１を移動する粉末原料２８が進行方向に対して直交する方向にはみ出すことが抑制される。また、供給路５１は、重力方向に下がるように傾斜して形成されているため、供給路５１に粉末原料２８が貯まることなく、バイブレータ６０の振動でボールフィーダ本体５０に蓄積された粉末原料２８が容易に蒸発皿７０まで誘導される。
Furthermore, side walls 52 are formed on both sides of the supply path 51 extending from the supply port 48. By having the side walls 52 on both sides, the powder raw material 28 moving in the supply path 51 due to the vibration fluctuation of the vibrator 60 is suppressed from protruding in the direction orthogonal to the traveling direction. In addition, since the supply path 51 is formed so as to be lowered in the direction of gravity, the powder raw material 28 accumulated in the ball feeder main body 50 by the vibration of the vibrator 60 without storing the powder raw material 28 in the supply path 51. Is easily guided to the evaporating dish 70.
そして、本実施形態例の原料供給装置１によれば、ボールフィーダ４０には、ボールフィーダ本体５０の底面５４とノズル部３８との距離で決まる量の粉末原料２８が随時供給されるので、粉末原料２８がボールフィーダ本体５０に堆積している時間を短時間とすることができる。このため、粉末原料２８がボールフィーダ４０上でクロッド状の塊になることが大幅に抑制される。また、供給路５１の長さを調整することにより、貯蔵タンク３０から蒸発皿７０までの粉末原料２８の移動経路を短くすることができるため、原料移動時の摩擦による静電気の発生を抑制することができる。このため、静電気により粉末原料が散乱する現象や、真空チャンバー１５内に電着する現象が抑制される。
And according to the raw material supply apparatus 1 of this embodiment, since the powder raw material 28 in an amount determined by the distance between the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50 and the nozzle portion 38 is supplied to the ball feeder 40 at any time. The time during which the raw material 28 is deposited on the ball feeder main body 50 can be shortened. For this reason, it is greatly suppressed that the powder raw material 28 becomes a clod-like lump on the ball feeder 40. In addition, by adjusting the length of the supply path 51, the movement path of the powder raw material 28 from the storage tank 30 to the evaporating dish 70 can be shortened, so that the generation of static electricity due to friction during the movement of the raw material is suppressed. Can do. For this reason, the phenomenon that the powder material is scattered by static electricity and the phenomenon of electrodeposition in the vacuum chamber 15 are suppressed.
［１－３ プラスチックレンズの製造方法］
次に、図１の蒸着装置１１を用いたプラスチックレンズの製造方法について説明する。以下では、被蒸着物１４であるプラスチックレンズの表面に、ＳｉＯ２からなる反射防止膜を形成する例を説明する。 [1-3 Plastic Lens Manufacturing Method]
Next, the manufacturing method of the plastic lens using thevapor deposition apparatus 11 of FIG. 1 is demonstrated. Hereinafter, the surface of the plastic lens is the evaporation object 14, an example of forming an antireflection film made of SiO 2.
次に、図１の蒸着装置１１を用いたプラスチックレンズの製造方法について説明する。以下では、被蒸着物１４であるプラスチックレンズの表面に、ＳｉＯ２からなる反射防止膜を形成する例を説明する。 [1-3 Plastic Lens Manufacturing Method]
Next, the manufacturing method of the plastic lens using the
まず、ドーム１２の被蒸着物支持面１２ａに被蒸着物１４を支持させ、減圧手段１６を用いて、真空チャンバー１５内を真空に維持する。
次に、バイブレータ６０を発振させることにより、ボールフィーダ４０を振動させ、ボールフィーダ本体５０の粉末原料２８を供給路５１を介して蒸発皿７０に誘導させる。本実施形態例では、粉末原料２８として、ＳｉＯ２の粉末を用いる。粉末原料２８が蒸発皿７０に誘導されることにより、蒸発皿７０に誘導された量とほぼ同量の粉末原料２８が、貯蔵タンク３０からボールフィーダ本体５０に供給される。 First, thedeposition target 14 is supported on the deposition target support surface 12 a of the dome 12, and the vacuum chamber 15 is maintained in a vacuum state using the decompression unit 16.
Next, thevibrator 60 is oscillated to vibrate the ball feeder 40, and the powder raw material 28 of the ball feeder main body 50 is guided to the evaporating dish 70 via the supply path 51. In this embodiment, a powder of SiO 2 is used as the powder raw material 28. When the powder raw material 28 is guided to the evaporating dish 70, the same amount of the powder raw material 28 as that guided to the evaporating dish 70 is supplied from the storage tank 30 to the ball feeder main body 50.
次に、バイブレータ６０を発振させることにより、ボールフィーダ４０を振動させ、ボールフィーダ本体５０の粉末原料２８を供給路５１を介して蒸発皿７０に誘導させる。本実施形態例では、粉末原料２８として、ＳｉＯ２の粉末を用いる。粉末原料２８が蒸発皿７０に誘導されることにより、蒸発皿７０に誘導された量とほぼ同量の粉末原料２８が、貯蔵タンク３０からボールフィーダ本体５０に供給される。 First, the
Next, the
そして、蒸発皿７０に所望の量だけ粉末原料２８が供給されたら、バイブレータ６０の振動を停止する。これにより、蒸発皿７０への粉末原料２８の供給が停止し、ボールフィーダ本体５０の底面５４に貯まった粉末原料２８により、貯蔵タンク３０のノズル部３８が閉塞されるため、貯蔵タンク３０からのボールフィーダ本体５０への粉末原料２８の供給が停止する。
Then, when the powder raw material 28 is supplied to the evaporating dish 70 by a desired amount, the vibration of the vibrator 60 is stopped. Thereby, supply of the powder raw material 28 to the evaporating dish 70 is stopped, and the nozzle portion 38 of the storage tank 30 is closed by the powder raw material 28 stored on the bottom surface 54 of the ball feeder main body 50. Supply of the powder raw material 28 to the ball feeder main body 50 is stopped.
次に、ドームヘッド１０を回転駆動することにより、ドーム１２を回転させながら、電子銃を用いて蒸発皿７０上部の粉末原料２８を飛散させる。これにより、ドーム１２の被蒸着物支持面１２ａに支持された被蒸着物１４であるプラスチックレンズ表面に、粉末原料２８が被着する。そして、被蒸着物１４の表面に、ＳｉＯ２からなる反射防止膜が生成される。
Next, by rotating the dome head 10, the powder raw material 28 on the evaporating dish 70 is scattered using an electron gun while rotating the dome 12. Thereby, the powder raw material 28 adheres to the surface of the plastic lens, which is the deposition object 14 supported by the deposition object support surface 12 a of the dome 12. Then, an antireflection film made of SiO 2 is generated on the surface of the deposition object 14.
本実施形態例では、蒸発皿７０上の粉末原料２８が足りなくなった場合、再度、バイブレータ６０を発振することにより、粉末原料２８を必要な分だけボールフィーダ本体５０から蒸発皿７０に供給する。また、蒸発皿７０に十分な量の粉末原料２８が供給された後はバイブレータ６０を停止することにより、粉末原料２８の供給を停止することができる。これにより、随時、必要な量の粉末原料２８を蒸発皿７０に供給することができるので、反射防止膜の厚みを一定に保つことができ、また、余分な粉末原料２８が蒸着装置１１内に散乱することを防ぐことができる。
In this embodiment, when the powder raw material 28 on the evaporating dish 70 is insufficient, the vibrator 60 is again oscillated to supply the powder raw material 28 from the ball feeder main body 50 to the evaporating dish 70 as much as necessary. In addition, after the sufficient amount of the powder raw material 28 is supplied to the evaporating dish 70, the supply of the powder raw material 28 can be stopped by stopping the vibrator 60. Accordingly, a necessary amount of the powder raw material 28 can be supplied to the evaporating dish 70 at any time, so that the thickness of the antireflection film can be kept constant, and the excess powder raw material 28 is contained in the vapor deposition apparatus 11. Scattering can be prevented.
また、本実施形態例では、原料供給装置１において、粉末原料２８がクロッド状の塊になる現象や供給過程で目詰まりを起こす現象が抑制されるため、蒸発皿７０への粉末原料２８の供給を滞り無く行うことができ、蒸着工程を円滑に行うことができる。これにより、被蒸着物１４表面に形成される反射防止膜の光学特性を維持することができ、膜強度の製膜設計を精度良く行うことができる。本実施形態例では、ＳｉＯ２の粉末原料を用いて成膜する例としたが、本実施形態例の原料供給装置１及び蒸着装置１１に用いることのできる粉末原料はＳｉＯ２に限られるものではない。
Further, in the present embodiment example, in the raw material supply apparatus 1, the phenomenon that the powder raw material 28 becomes a crod-like lump or the phenomenon that clogging occurs in the supply process is suppressed. The deposition process can be performed smoothly. Thereby, the optical characteristics of the antireflection film formed on the surface of the deposition object 14 can be maintained, and the film forming design with film strength can be performed with high accuracy. In the present embodiment example, the film is formed using the SiO 2 powder raw material, but the powder raw material that can be used in the raw material supply apparatus 1 and the vapor deposition apparatus 11 of the present embodiment is not limited to SiO 2. Absent.
〈２．第２の実施形態〉
次に、本発明の第２の実施形態に係る原料供給装置について説明する。図５は、本実施形態例の原料供給装置１０１の断面を示す構成図である。本実施形態例の原料供給装置１０１も、第１の実施形態と同様、図１の蒸着装置１１に用いることができるものである。本実施形態例の原料供給装置１０１は、ボールフィーダ４０を設置する架台１５８と、ボールフィーダ４０の周囲を包囲するガイド部１８０が構成されている点で、第１の実施形態に係る原料供給装置１と異なり、その他の構成は、第１の実施形態と同様である。図５において、図２に対応する部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。 <2. Second Embodiment>
Next, the raw material supply apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention is demonstrated. FIG. 5 is a configuration diagram showing a cross section of the rawmaterial supply apparatus 101 of the present embodiment. Similarly to the first embodiment, the raw material supply apparatus 101 of this embodiment can also be used in the vapor deposition apparatus 11 of FIG. The raw material supply apparatus 101 according to the present embodiment is configured with a base 158 on which the ball feeder 40 is installed and a guide unit 180 that surrounds the periphery of the ball feeder 40. Unlike the first embodiment, other configurations are the same as those in the first embodiment. In FIG. 5, parts corresponding to those in FIG.
次に、本発明の第２の実施形態に係る原料供給装置について説明する。図５は、本実施形態例の原料供給装置１０１の断面を示す構成図である。本実施形態例の原料供給装置１０１も、第１の実施形態と同様、図１の蒸着装置１１に用いることができるものである。本実施形態例の原料供給装置１０１は、ボールフィーダ４０を設置する架台１５８と、ボールフィーダ４０の周囲を包囲するガイド部１８０が構成されている点で、第１の実施形態に係る原料供給装置１と異なり、その他の構成は、第１の実施形態と同様である。図５において、図２に対応する部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。 <2. Second Embodiment>
Next, the raw material supply apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention is demonstrated. FIG. 5 is a configuration diagram showing a cross section of the raw
架台１５８は、金属材料で構成されており、バイブレータ６０の上面に設置されている。架台１５８は、バイブレータ６０の上面から貯蔵タンク３０が配置された方向に所定の高さまで延びる棒状の部材と、棒状の部材の端部に接合された、図示しない平板部材とで構成されており、その平板部材の上部にボールフィーダ４０が設置されている。ボールフィーダ４０が架台１５８に設置されることにより、ボールフィーダ４０とバイブレータ６０との距離が離れるので、バイブレータ６０に粉末原料２８が直接飛散することを抑制することができる。
The gantry 158 is made of a metal material and is installed on the upper surface of the vibrator 60. The gantry 158 is composed of a rod-shaped member extending from the upper surface of the vibrator 60 to a predetermined height in the direction in which the storage tank 30 is disposed, and a flat plate member (not shown) joined to the end of the rod-shaped member. A ball feeder 40 is installed on top of the flat plate member. Since the distance between the ball feeder 40 and the vibrator 60 is increased by installing the ball feeder 40 on the mount 158, it is possible to prevent the powder raw material 28 from directly scattering on the vibrator 60.
ガイド部１８０は、バイブレータ６０及びボールフィーダ４０を囲むように形成された円筒形状のガイド部本体１８１と、ガイド部本体１８１の外周に取り付けられた外側ノズル部１８５とで構成されている。ガイド部本体１８１は、ボールフィーダ４０の供給路５１をガイド部本体１８１の外側に露出させる窓部１８３を有している。ガイド部本体１８１の底部には、図示しない容器が設置されており、バイブレータ６０の振動などにより飛散した粉末原料２８が回収できるように構成されている。また、外側ノズル部１８５は、筒状の部材で構成されており、ガイド部本体１８１に形成された窓部１８３を覆うように、ガイド部本体１８１に取り付けられている。
The guide unit 180 includes a cylindrical guide unit main body 181 formed so as to surround the vibrator 60 and the ball feeder 40, and an outer nozzle unit 185 attached to the outer periphery of the guide unit main body 181. The guide portion main body 181 has a window portion 183 that exposes the supply path 51 of the ball feeder 40 to the outside of the guide portion main body 181. A container (not shown) is installed at the bottom of the guide portion main body 181 so that the powder raw material 28 scattered by the vibration of the vibrator 60 can be collected. The outer nozzle portion 185 is formed of a cylindrical member, and is attached to the guide portion main body 181 so as to cover the window portion 183 formed in the guide portion main body 181.
外側ノズル部１８５は、外側ノズル部本体１８４と箱部１８２とで構成されている。外側ノズル部本体１８４は、ガイド部本体１８１の窓部１８３と連通し、供給路５１から誘導された粉末原料２８を連続してガイド部１８０の外側に誘導可能な筒状とされ、筒内部がガイド部本体１８１の外側に配置された蒸発皿７０に向けて、重力方向に傾斜して形成されている。外側ノズル部本体１８４は、ガイド部本体１８１の窓部１８３を介して供給路５１と連通しており、ボールフィーダ４０の供給路５１に誘導された粉末原料２８は、外側ノズル部本体１８４を通じて、ガイド部１８０の外側に設置された蒸発皿７０に供給される。
The outer nozzle part 185 is composed of an outer nozzle part body 184 and a box part 182. The outer nozzle portion main body 184 communicates with the window portion 183 of the guide portion main body 181 and has a cylindrical shape that can continuously guide the powder raw material 28 guided from the supply path 51 to the outside of the guide portion 180. It is formed so as to be inclined in the direction of gravity toward the evaporating dish 70 disposed outside the guide portion main body 181. The outer nozzle part main body 184 communicates with the supply path 51 via the window part 183 of the guide part main body 181, and the powder raw material 28 guided to the supply path 51 of the ball feeder 40 passes through the outer nozzle part main body 184. It is supplied to the evaporating dish 70 installed outside the guide part 180.
箱部１８２は、ガイド部本体１８１の外周面との間に、密閉された所望の空間を得るために構成されており、ガイド部本体１８１に形成された窓部１８３の上側の領域を覆うことのできる箱形状に形成されている。箱部１８２とガイド部本体１８１の外周面とで囲まれた空間は、ガイド部本体１８１の窓部１８３及び外側ノズル部本体１８４の内部と連通している。本実施形態例では、箱部１８２とガイド部本体１８１との間の空間は、供給路５１から外側ノズル部１８５に排出された粉末原料２８が、外側ノズル部本体１８４の内壁に衝突した場合に、衝突による粉末原料２８の巻き上がりを緩衝する領域として機能する。
The box portion 182 is configured to obtain a desired sealed space between the outer peripheral surface of the guide portion main body 181 and covers an upper region of the window portion 183 formed in the guide portion main body 181. It is formed in a box shape. A space surrounded by the box part 182 and the outer peripheral surface of the guide part main body 181 communicates with the window part 183 of the guide part main body 181 and the inside of the outer nozzle part main body 184. In this embodiment, the space between the box part 182 and the guide part main body 181 is such that the powder raw material 28 discharged from the supply path 51 to the outer nozzle part 185 collides with the inner wall of the outer nozzle part main body 184. It functions as a region for buffering the winding of the powder raw material 28 due to the collision.
そして、本実施形態例では、ガイド部１８０は金属材料で構成されている。このため、仮に粉末原料２８が帯電していたとしても、外側ノズル部１８５により放電が完了する。外側ノズル部本体１８４から排出された粉末原料２８は、帯電防止されているので、飛散することなく、速やかに蒸発皿７０に供給される。
And in this embodiment, the guide part 180 is comprised with the metal material. For this reason, even if the powder raw material 28 is charged, the outer nozzle portion 185 completes the discharge. Since the powder raw material 28 discharged from the outer nozzle part main body 184 is antistatic, the powder raw material 28 is promptly supplied to the evaporating dish 70 without being scattered.
本実施形態例の原料供給装置１０１も、第１の実施形態と同様、蒸着装置１１の真空チャンバー１５内に設置して用いる。
本実施形態例の原料供給装置１０１では、粉末原料２８のクロッド化を抑制できることに加え、蒸発皿７０へ粉末原料２８を供給する際における蒸着装置１１内へ粉末原料２８の飛散を効果的に抑制することができる。
その他、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。 Similarly to the first embodiment, the rawmaterial supply apparatus 101 of the present embodiment is also used by being installed in the vacuum chamber 15 of the vapor deposition apparatus 11.
In the rawmaterial supply apparatus 101 of the present embodiment, in addition to suppressing the powder raw material 28 from being crushed, the powder raw material 28 is effectively suppressed from being scattered into the vapor deposition apparatus 11 when the powder raw material 28 is supplied to the evaporating dish 70. can do.
In addition, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.
本実施形態例の原料供給装置１０１では、粉末原料２８のクロッド化を抑制できることに加え、蒸発皿７０へ粉末原料２８を供給する際における蒸着装置１１内へ粉末原料２８の飛散を効果的に抑制することができる。
その他、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。 Similarly to the first embodiment, the raw
In the raw
In addition, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.
〈３．第３の実施形態〉
次に、本発明の第３の実施形態に係る原料供給装置について説明する。図６は、本実施形態例の原料供給装置２０１の概略構成図である。本実施形態例の原料供給装置２０１は、ボールフィーダの構成が、第１の実施形態に係る原料供給装置と異なり、その他の構成は、第１の実施形態の原料供給装置と同様の構成を有する。図６において、図２に対応する部分には、同一符号を付し、重複説明を省略する。 <3. Third Embodiment>
Next, the raw material supply apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention is demonstrated. FIG. 6 is a schematic configuration diagram of the rawmaterial supply apparatus 201 of the present embodiment. The raw material supply apparatus 201 of the present embodiment is different from the raw material supply apparatus according to the first embodiment in the configuration of the ball feeder, and the other configurations are the same as those of the raw material supply apparatus of the first embodiment. . In FIG. 6, parts corresponding to those in FIG.
次に、本発明の第３の実施形態に係る原料供給装置について説明する。図６は、本実施形態例の原料供給装置２０１の概略構成図である。本実施形態例の原料供給装置２０１は、ボールフィーダの構成が、第１の実施形態に係る原料供給装置と異なり、その他の構成は、第１の実施形態の原料供給装置と同様の構成を有する。図６において、図２に対応する部分には、同一符号を付し、重複説明を省略する。 <3. Third Embodiment>
Next, the raw material supply apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention is demonstrated. FIG. 6 is a schematic configuration diagram of the raw
図６に示すように、本実施形態例の原料供給装置２０１のボールフィーダ２４０は、円筒形状のボールフィーダ本体２４４と、ボールフィーダ本体２４４の側面に接続された供給路５１とで構成されている。ボールフィーダ本体４４は、所定の領域に供給口２５０を有する円筒形状の側壁２４３と、側壁２４３の一端を封止する円盤状の底部（図示せず）と、側壁２４３の他端に設けられ、中央部に開口部２４１を有する円盤状の蓋部２４５とで構成されている。側壁２４３の他端に設けられた蓋部２４５に形成された開口部２４１は、ノズル部３８が挿入可能なように、ノズル部３８の外径よりも少し大きい径を有して形成されている。
供給口２５０は、側壁２４３の一部が、底部の蓋部２４５に面する側の面（以下、底面２５４）側から所定の高さまで開口されることにより形成されている。 As shown in FIG. 6, theball feeder 240 of the raw material supply apparatus 201 according to the present embodiment includes a cylindrical ball feeder main body 244 and a supply path 51 connected to the side surface of the ball feeder main body 244. . The ball feeder main body 44 is provided at a cylindrical side wall 243 having a supply port 250 in a predetermined region, a disk-shaped bottom (not shown) for sealing one end of the side wall 243, and the other end of the side wall 243. It is comprised with the disk-shaped cover part 245 which has the opening part 241 in the center part. The opening 241 formed in the lid 245 provided at the other end of the side wall 243 has a diameter slightly larger than the outer diameter of the nozzle 38 so that the nozzle 38 can be inserted. .
Thesupply port 250 is formed by opening a part of the side wall 243 up to a predetermined height from the surface (hereinafter referred to as the bottom surface 254) facing the lid portion 245 at the bottom.
供給口２５０は、側壁２４３の一部が、底部の蓋部２４５に面する側の面（以下、底面２５４）側から所定の高さまで開口されることにより形成されている。 As shown in FIG. 6, the
The
図７に、図６の原料供給装置２０１におけるボールフィーダ２４０を、方向Ａから見たときの構成を示す。図７に示すように、本実施形態例の原料供給装置２０１では、蓋部２４５の開口部２４１からノズル部３８がボールフィーダ本体２４４の内部に挿入されるように、貯蔵タンク３０のノズル部３８側にボールフィーダ２４０が配置される。本実施形態例においても、ノズル部３８先端からボールフィーダ本体２４４と供給路５５１との境界までの距離と、底面２５４からノズル部３８先端までの高さとの関係は、第１の実施形態と同様とすることが望ましい。
7 shows a configuration of the ball feeder 240 in the raw material supply apparatus 201 of FIG. As shown in FIG. 7, in the raw material supply apparatus 201 of this embodiment, the nozzle unit 38 of the storage tank 30 is inserted so that the nozzle unit 38 is inserted into the ball feeder main body 244 from the opening 241 of the lid 245. A ball feeder 240 is arranged on the side. Also in this embodiment, the relationship between the distance from the tip of the nozzle portion 38 to the boundary between the ball feeder main body 244 and the supply path 551 and the height from the bottom 254 to the tip of the nozzle portion 38 is the same as in the first embodiment. Is desirable.
本実施形態例では、ノズル部３８がボールフィーダ本体２４４内部に挿入され、かつ、ボールフィーダ本体２４４に蓋部２４５が形成されている。このため、ボールフィーダ２４０に貯蔵タンク３０から粉末原料２８が供給されるときや、バイブレータ６０の振動刺激により粉末原料が供給路５１側に誘導されるとき、ボールフィーダ本体２４４の外部に粉末原料２８が飛散しにくくなる。
In the present embodiment, the nozzle portion 38 is inserted into the ball feeder main body 244, and the lid portion 245 is formed on the ball feeder main body 244. For this reason, when the powder raw material 28 is supplied to the ball feeder 240 from the storage tank 30 or when the powder raw material is guided to the supply path 51 side by vibration stimulation of the vibrator 60, the powder raw material 28 is provided outside the ball feeder main body 244. Becomes difficult to scatter.
そして、本実施形態例では、ボールフィーダ本体２４４の供給口２５０の開口高さＴが、ボールフィーダ本体２４４の底面２５４からノズル部３８の先端までの高さＨの０．７倍以上に形成されるのが好ましい。供給口２５０の開口高さＴが、ボールフィーダ本体２４４の底面２５４からノズル部３８の先端までの高さＨに対して７０％よりも小さい場合、バイブレータ６０の振動刺激による排出のとき、粉末原料２８が供給口２５０の上部に形成された側壁に接触し、蒸着源への供給量が不規則に変化するおそれがある。
In this embodiment, the opening height T of the supply port 250 of the ball feeder main body 244 is formed to be 0.7 times or more the height H from the bottom surface 254 of the ball feeder main body 244 to the tip of the nozzle portion 38. It is preferable. When the opening height T of the supply port 250 is smaller than 70% with respect to the height H from the bottom surface 254 of the ball feeder main body 244 to the tip of the nozzle portion 38, when discharging by vibration stimulation of the vibrator 60, the powder raw material 28 contacts the side wall formed at the upper part of the supply port 250, and the supply amount to the vapor deposition source may change irregularly.
また、本実施形態例では、ボールフィーダ本体２４４が円筒形状とされているため、ボールフィーダ本体２４４内の粉末原料２８の振動挙動が均質になり、粉末原料２８は一定の振動挙動が示される。これにより、原料供給量の定量性を向上させることができる。その他、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
In this embodiment, the ball feeder main body 244 has a cylindrical shape, so that the vibration behavior of the powder raw material 28 in the ball feeder main body 244 becomes uniform, and the powder raw material 28 exhibits a constant vibration behavior. Thereby, the quantitative property of the raw material supply amount can be improved. In addition, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.
以上、本発明について、第１～第３の実施形態を示して詳細に示したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に記載した実施形態を様々に変形、変更したものが含まれる。
As described above, the present invention has been described in detail by showing the first to third embodiments. However, these are merely examples, and do not limit the scope of the claims. The technology described in the claims includes various modifications and changes of the above-described embodiment.
例えば、上述した第１～第３の実施形態では、原料供給装置は金属製であるとしたが、セラミックス製、ガラス製等、真空環境下において使用できる素材であれば各種使用することができる。また、ボールフィーダ本体から延びる供給路は、上面が開放された形状で示したが、上面が覆われる筒状で構成してもよい。また、第１～第３の実施形態で示したボールフィーダ本体の形状は、円筒型又は矩形箱型としたが、これに限定されない。例えば、側壁が、底面側から開口部側にかけて広がるように形成された皿型形状であってもよい。
For example, in the first to third embodiments described above, the raw material supply device is made of metal, but various materials can be used as long as they can be used in a vacuum environment such as ceramics and glass. Further, the supply path extending from the ball feeder main body is shown as having a shape with an open upper surface, but may be configured in a cylindrical shape with the upper surface covered. The shape of the ball feeder main body shown in the first to third embodiments is a cylindrical shape or a rectangular box shape, but is not limited to this. For example, the dish shape formed so that a side wall may spread from the bottom face side to the opening part side may be sufficient.
本発明は、真空蒸着装置において、蒸着源として、粉末を使用する技術に対して有効である。
The present invention is effective for a technique using powder as a deposition source in a vacuum deposition apparatus.
１・・・原料供給装置、１０・・・ドームヘッド、１１・・・蒸着装置、１２・・・ドーム、１２ａ・・・被蒸着物支持面、１４・・・被蒸着物、１５・・・真空チャンバー、１６・・・減圧手段、２８・・・粉末原料、３０・・・貯蔵タンク、３１・・・上底、３２・・・容器部、３３・・・蓋部、３４・・・開口、３５・・・側壁部、３６・・・ノズル部本体、３８・・・ノズル部、４０・・・ボールフィーダ、４１・・・開口部、４２・・・側壁、４４・・・ボールフィーダ本体、４８・・・供給口、５０・・・ボールフィーダ本体、５１・・・供給路、５２・・・側壁、５３・・・底部、５４・・・底面、５５・・・境界、５６・・・底部、５７・・・底面、６０・・・バイブレータ、７０・・・蒸発皿、１０１・・・原料供給装置、１５８・・・架台、１８０・・・ガイド部、１８１・・・ガイド部本体、１８２・・・箱部、１８３・・・窓部、１８４・・・外側ノズル部本体、１８５・・・外側ノズル部、２０１・・・原料供給装置、２４０・・・ボールフィーダ、２４１・・・開口部、２４３・・・側壁、２４４・・・ボールフィーダ本体、２４５・・・蓋部、２５０・・・供給口、２５４・・・底面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Raw material supply apparatus, 10 ... Dome head, 11 ... Evaporation apparatus, 12 ... Dome, 12a ... Deposition object support surface, 14 ... Deposition object, 15 ... Vacuum chamber, 16 ... decompression means, 28 ... powder raw material, 30 ... storage tank, 31 ... upper bottom, 32 ... container part, 33 ... lid part, 34 ... opening 35 ... side wall, 36 ... nozzle body, 38 ... nozzle, 40 ... ball feeder, 41 ... opening, 42 ... side wall, 44 ... ball feeder body 48 ... Supply port, 50 ... Ball feeder body, 51 ... Supply path, 52 ... Side wall, 53 ... Bottom, 54 ... Bottom, 55 ... Boundary, 56 ... -Bottom part, 57 ... Bottom, 60 ... Vibrator, 70 ... Evaporating dish, 101 ... Raw material supply device 158: Stand, 180 ... Guide part, 181 ... Guide part body, 182 ... Box part, 183 ... Window part, 184 ... Outer nozzle part body, 185 ... Outside Nozzle part, 201 ... Raw material supply device, 240 ... Ball feeder, 241 ... Opening part, 243 ... Side wall, 244 ... Ball feeder body, 245 ... Cover part, 250 ... Supply port, 254 ... Bottom
Claims (5)
- 内部に粉末原料を収容可能な容器部と、前記容器部の一端に設けられ、前記粉末原料を外部に排出するノズル部とからなる貯蔵タンクと、
上部に前記ノズル部が挿入可能な開口部を有し、前記貯蔵タンクから排出された粉末原料が供給されるボールフィーダ本体と、前記ボールフィーダ本体の底面から前記ボールフィーダ本体の外方向に延びる供給路とからなるボールフィーダと、
上面に前記ボールフィーダ本体が設置され、必要に応じて振動するバイブレータとを備え、
前記バイブレータを発振したときに、前記ボールフィーダ本体の粉末原料が供給路から排出されると共に、前記貯蔵タンクから前記ボールフィーダ本体に粉末原料が供給され、
前記バイブレータの振動を停止したときに、前記ボールフィーダ本体の粉末原料が供給路からの排出が停止すると共に、前記貯蔵タンクから前記ボールフィーダ本体への粉末原料の供給が停止する
ことを特徴とする原料供給装置。 A storage tank comprising a container part capable of storing a powder raw material therein, and a nozzle part provided at one end of the container part and discharging the powder raw material to the outside;
A ball feeder main body having an opening into which the nozzle part can be inserted and supplied with the powder raw material discharged from the storage tank, and a supply extending from the bottom surface of the ball feeder main body toward the outside of the ball feeder main body A ball feeder consisting of roads,
The ball feeder main body is installed on the upper surface, and includes a vibrator that vibrates as necessary,
When the vibrator oscillates, the powder raw material of the ball feeder main body is discharged from the supply path, and the powder raw material is supplied from the storage tank to the ball feeder main body,
When the vibration of the vibrator is stopped, discharge of the powder raw material of the ball feeder main body from the supply path is stopped, and supply of the powder raw material from the storage tank to the ball feeder main body is stopped. Raw material supply equipment. - 前記ボールフィーダ本体の底面からノズル部の先端までの高さは、前記ノズル部の先端と、前記ボールフィーダ本体と前記供給路との境界と、前記ボールフィーダ本体の底面を結ぶ角度θが、４５度以下となるように設定されている
請求項１に記載の原料供給装置。 The height from the bottom surface of the ball feeder main body to the tip of the nozzle portion is such that an angle θ connecting the tip of the nozzle portion, the boundary between the ball feeder main body and the supply path, and the bottom surface of the ball feeder main body is 45. The raw material supply apparatus of Claim 1. - 前記バイブレータ上部には、所望の高さの架台が設けられ、前記ボールフィーダ本体は架台上部に設置されている
請求項２に記載の原料供給装置。 The raw material supply apparatus according to claim 2, wherein a pedestal having a desired height is provided at an upper portion of the vibrator, and the ball feeder main body is installed at the upper portion of the pedestal. - 前記バイブレータ及び前記ボールフィーダの周囲を囲むと共に、前記供給路の先端を外部に露出させる開口を有するガイド部本体と、前記ガイド部本体の開口と連通し、供給路から誘導された粉末原料を連続してガイド部本体の外側に誘導可能な筒状の外側ノズル部とからなるガイド部を備える
請求項３に記載の原料供給装置。 Surrounding the vibrator and the ball feeder and having an opening that exposes the tip of the supply path to the outside, the guide body communicates with the opening of the guide section main body, and the powder raw material guided from the supply path is continuous. The raw material supply apparatus according to claim 3, further comprising a guide portion including a cylindrical outer nozzle portion that can be guided to the outside of the guide portion main body. - 被蒸着物支持面に、複数の被蒸着物を支持するドームと、
内部に粉末原料を収容可能な容器部と、容器部の一端に設けられ、前記粉末原料を外部に排出するノズル部とからなる貯蔵タンクと、上部に前記ノズル部が挿入可能な開口部を有し、前記貯蔵タンクから排出された粉末原料が供給されるボールフィーダ本体と、前記ボールフィーダ本体の底面から前記ボールフィーダ本体の外方向に延びる供給路とからなるボールフィーダと、上面に前記ボールフィーダ本体が設置され、必要に応じて振動するバイブレータとを備え、前記バイブレータを発振したときに、前記ボールフィーダ本体の粉末原料が供給路から排出されると共に、前記貯蔵タンクから前記ボールフィーダ本体に粉末原料が供給され、前記バイブレータの振動を停止したときに、前記ボールフィーダ本体の粉末原料が供給路からの排出が停止すると共に、前記貯蔵タンクから前記ボールフィーダ本体への粉末原料の供給が停止する原料供給装置と、
前記原料供給装置から前記粉末原料が供給される蒸発皿とを備え、
前記蒸発皿上の粉末原料が前記被蒸着物に飛散される
ことを特徴とする蒸着装置。 A dome for supporting a plurality of deposition objects on the deposition object support surface;
There is a storage tank consisting of a container part that can contain the powder raw material inside, a nozzle part that is provided at one end of the container part and discharges the powder raw material to the outside, and an opening part through which the nozzle part can be inserted. A ball feeder main body to which the powder raw material discharged from the storage tank is supplied, a ball feeder comprising a supply path extending from the bottom surface of the ball feeder main body to the outside of the ball feeder main body, and the ball feeder on the upper surface. And a vibrator that vibrates as necessary. When the vibrator is oscillated, the powder raw material of the ball feeder main body is discharged from the supply path, and the powder from the storage tank to the ball feeder main body When the raw material is supplied and the vibration of the vibrator is stopped, the powder raw material of the ball feeder main body is discharged from the supply path. There is stopped, and the raw material supply device supplying the powder material is stopped from the storage tank to the bowl feeder body,
An evaporating dish to which the powder raw material is supplied from the raw material supply device,
The vapor deposition apparatus, wherein the powder raw material on the evaporating dish is scattered on the deposition object.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 11836450 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
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| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 11836450 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |