KR101590002B1 - Continuous feeder of uniformly fine powder having a cohesion prevent unit - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치는, 내부에 공간을 구비하여 분말을 수용하는 용기와, 상기 용기 내부의 공간을 분말이 저장되는 저장공간과 비산(飛散)되는 비산공간으로 구획하고, 일측에는 비산공간 내부에 비산된 분말 일부가 저장공간으로 이송하도록 안내하는 연통부가 구비된 구획판과, 상기 용기 내부에서 분말을 지지하며, 동력발생수단으로부터 제공받은 힘으로 저장공간의 분말을 비산공간으로 공급하는 공급판과, 상기 용기 외부에서 제공받은 기체를 비산공간으로 안내시에 공급판에 대하여 직교하도록 분사하여 분말을 비산시키는 기체안내관과, 상기 저장공간 내부의 비산된 분말을 용기 외부로 안내하며, 진동을 발생하여 분말의 응집을 제한하는 응집방지유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.The apparatus for continuously supplying a uniform fine powder with an anti-aggregation unit according to the present invention comprises: a container having a space therein to receive powder; a storage space in which the powder is stored; A partition plate provided at one side thereof with a communicating part for guiding a part of the powder scattered in the scattering space to be transferred to the storage space and a partition plate for supporting the powder inside the container, A gas guide tube for spraying the gas supplied from the outside of the vessel to the scattering space so as to be orthogonal to the feeding plate when guided to the scattering chamber to scatter the powder; And an aggregation prevention unit for guiding the powder to the outside of the container and generating vibration to restrict agglomeration of the powder .

Description

응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치{Continuous feeder of uniformly fine powder having a cohesion prevent unit}Technical Field [0001] The present invention relates to a continuous feeder of uniform fine powder having a coagulation preventing unit,

본 발명은 균일 미세분말 연속 공급장치에 관한 것으로, 용기 내부에서 비산된 분말이 외부로 토출될 때 분말의 응집을 방지한 상태로 이송 경로를 형성할 수 있도록 한 응집방지유닛을 구비한 균일 미세분말 연속 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a uniform fine powder continuous feeder, and more particularly, to a uniform fine powder continuous feeder having a coagulation preventive unit capable of forming a feed path while preventing scattering of powder when the powder scattered in the container is discharged to the outside To a continuous feeder.

본 발명은 용기의 내부 공간을 저장공간과 비산공간으로 구획하되, 저장공간에 저장되어 있던 분말을 비산공간에 공급 후 수직 방향의 기체를 공급하여 분말을 비산(飛散)시키고, 비산된 분말을 저장공간 상부로 다시 이송하여 분말의 균일하고 정량적인 공급이 가능하도록 한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에 관한 것이다.In the present invention, the inner space of the container is divided into a storage space and a scattering space. After the powder stored in the storage space is supplied to the scattering space, a gas in the vertical direction is supplied to disperse the powder, To an upper portion of the space to allow uniform and quantitative supply of powders.

본 발명은 비산공간에 공급되는 분말의 양을 일정하게 유지하여 균일한 분말을 연속적으로 공급할 수 있도록 한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a uniform fine powder continuous feeder equipped with an anti-aggregation unit capable of continuously feeding uniform powder while keeping the amount of powder supplied to the scattering space constant.

본 발명은 비산공간과 저장공간의 용적비 조절이 가능하고, 비산공간 내부로 공급되는 분말의 양을 제어할 수 있도록 설계하여 품질 및 생산성이 향상될 수 있도록 한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method for controlling the volume ratio of a scattering space and a storage space and for controlling the amount of powder supplied into the scattering space, Supply device.

본 발명은 진동발생수단을 구비하여 비산공간 내부의 분말 공급량을 보다 정밀하게 제어할 수 있도록 한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a uniform fine powder continuous feeding device provided with a vibration generating means and equipped with an anti-coagulation unit capable of more precisely controlling the powder feed amount in the scattering space.

일반적으로 크기가 수십 마이크로미터 이하의 미세한 분말들은 정전기적 인력으로 인하여 서로 붙어서 더 큰 크기의 응집체 덩어리를 형성한다.In general, fine powders of a size of a few tens of micrometers or less adhere to each other due to electrostatic attraction to form agglomerates of larger size.

따라서 용사 및 에어로졸 진공 증착에 사용되는 분말의 경우 통상적인 방법은 정량적인 공급이 가능하게 미세 분말을 과립화시켜 원형형태로 만들어 유동성을 증진시키고 이를 미세 관이나 홀을 통해 공급해주는 방법의 분말 공급 장치가 사용되고 있는 실정이다. Therefore, in the case of powder used for spraying and aerosol vacuum deposition, a usual method is to form a circular shape by granulating the fine powder so as to be able to supply quantitatively, thereby improving fluidity and supplying the powder through a micro tube or a hole Is used.

도 1은 과립형 분말과 미립형 분말의 SEM 사진으로서, 응집된 과립형 분말은 내부에 다수의 1차 입자들이 약하게 결합된 상태로 이루어지는데, 이들 과립형 분말은 응집력에 의해 점차 크기가 커져 분말의 유동성을 악화시키게 되므로 통상의 방법으로는 분말을 연속적으로 일정하게 이송시키는 것이 어렵다.FIG. 1 is a SEM photograph of granular powder and granular powder, wherein granulated granular powder is formed in such a state that a large number of primary particles are weakly bound therein, and these granular powders gradually become large in size due to cohesive force, The flowability of the powder is deteriorated, and therefore it is difficult to carry the powder uniformly and continuously by a usual method.

따라서 용사 및 에어로졸 진공 증착에 사용되는 분말의 경우 대부분 분말의 형태를 원형으로 만들어 분말의 유동성을 높여 사용하고 있으며, 과립화 공정의 추가로 인해 분말 가격이 높아지고 아울러 분말의 크기가 커져 코팅층의 특성이 저하되는 단점이 있어 이의 개선이 필요한 실정이다.Therefore, in the case of powders used for spraying and aerosol vacuum deposition, most of the powders are formed into a circular shape to increase the fluidity of the powders. Further, due to the addition of the granulation process, the powder is increased in price and the size of the powder is increased, There is a disadvantage in that it is required to be improved.

특히 에어로졸 데포지션 코팅법과 같이 미세한 분말을 사용하여야 하는 우수한 코팅층을 만들 수 있는 경우에는 미립 분말 공급의 정량적 조절이 매우 중요하며 분말의 균일한 공급 및 유동 상태에 따라 코팅층의 특성이 크게 좌우되며 아울러 코팅의 속도, 코팅의 균일도도 차이가 발생되어 이를 제어하는 것이 매우 중요하다. Particularly, in the case where an excellent coating layer such as an aerosol deposition coating method can be produced, quantitative control of fine powder feed is very important and the characteristics of the coating layer depend on the uniform supply and flow state of the powder, And the uniformity of the coating are also different, and it is very important to control them.

이에 따라 대한민국 공개특허 특2001-0052900호에는 도 2와 같이 초음파 진동을 이용하여 분말을 분산시킬 수 있도록 한 장치가 개시되어 있다.Accordingly, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2001-0052900 discloses an apparatus for dispersing powder using ultrasonic vibration as shown in FIG.

그러나 상기 종래 기술은 대용량의 분말을 공급하는데 한계가 있고, 정량적이지 못하며, 분산된 분말은 결국 이송관 내부에 응집되어 공급량이 불균일한 문제점이 있다.However, the prior art has a limitation in supplying a large amount of powder, is not quantitative, and the dispersed powder eventually flocculates inside the conveying pipe, resulting in a problem that the amount of the supplied powder is uneven.

한편, 대한민국 등록특허 제10-1230241호에는 도 3과 같이 챔버내부에 수송기체를 분사하여 분말을 비산시키고, 비산된 분말을 수송관을 통해 토출시킬 수 있도록 한 기술이 개시되어 있고, 대한민국 등록특허 제10-0916944호에는 수송관 내부에 압력측정기를 구비하여 에어로졸의 시간당 유량 및 속도분포가 일정한지를 체크할 수 있도록 한 기술이 개시되어 있다.On the other hand, Korean Patent No. 10-1230241 discloses a technique in which a carrier gas is sprayed into a chamber as shown in FIG. 3 so that powder is scattered and scattered powder can be discharged through a transport pipe. No. 10-0916944 discloses a technique for providing a pressure gauge inside a transport pipe to check whether the flow rate and velocity distribution per hour of the aerosol are constant.

그러나 상기와 같은 종래 기술은 에어로졸의 이송 경로를 담당하는 수송관 내부의 벽면에 원천적으로 분말이 응집되지 않도록 구성되어 있지 않으므로, 분말의 일정한 공급이 불가능한 문제점이 있다.However, the above-mentioned prior art has a problem in that it is impossible to uniformly supply powder because the powder does not aggregate on the wall surface of the inside of the transport pipe responsible for the transport path of the aerosol.

또한, 수송관의 내부면에 부착된 상태로 응집된 분말덩어리들은 공기 흐름에 의해 내부면으로부터 떨어져 에어로졸과 같이 유동하게 되며, 이때 도 4와 같이 불균일한 성막층을 형성하게 되는 문제점이 있다In addition, the agglomerated powder agglomerates adhered to the inner surface of the transport pipe are separated from the inner surface by the air flow and flow together with the aerosol. In this case, there is a problem that a non-uniform deposition layer is formed as shown in FIG. 4

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위한 것으로, 용기 내부에서 비산(飛散)된 분말이 외부로 토출될 때 분말의 응집을 방지한 상태로 이송 경로를 형성할 수 있도록 한 응집방지유닛을 구비한 균일 미세분말 연속 공급장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a coagulation method and a coagulation method which are capable of forming a conveyance path in a state of preventing powder coagulation when powder scattered in a container is discharged to the outside And to provide a uniform fine powder continuous feeding device having a preventive unit.

본 발명의 다른 목적은, 비산공간에 공급되는 분말의 양을 일정하게 유지하여 균일한 분말을 연속적으로 공급할 수 있도록 한 응집방지유닛을 구비한 균일 미세분말 연속 공급장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a uniform fine powder continuous supply device having an anti-aggregation unit capable of continuously supplying uniform powder while keeping the amount of powder supplied to the scattering space constant.

본 발명의 또 다른 목적은, 비산공간과 저장공간의 용적비 조절이 가능하고, 비산공간 내부로 공급되는 분말의 양을 제어할 수 있도록 설계하여 품질 및 생산성이 향상될 수 있도록 한 응집방지유닛을 구비한 균일 미세분말 연속 공급장치를 제공하는 것이다.Yet another object of the present invention is to provide an agglomeration prevention unit which can control the volume ratio of the scattering space and the storage space and can control the amount of the powder supplied into the scattering space to improve quality and productivity And to provide a uniform fine powder continuous feeding device.

본 발명의 또 다른 목적은, 진동발생수단을 구비하여 비산공간 내부의 분말 공급량을 보다 정밀하게 제어할 수 있도록 한 응집방지유닛을 구비한 균일 미세분말 연속 공급장치를 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a uniform fine powder continuous feeding device provided with a vibration generating means and equipped with an aggregation preventing unit which can more precisely control the powder feed amount in the scattering space.

본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치는, 내부에 공간을 구비하여 분말을 수용하는 용기와, 상기 용기 내부의 공간을 분말이 저장되는 저장공간과 비산(飛散)되는 비산공간으로 구획하고, 일측에는 비산공간 내부에 비산된 분말 일부가 저장공간으로 이송하도록 안내하는 연통부가 구비된 구획판과, 상기 용기 내부에서 분말을 지지하며, 동력발생수단으로부터 제공받은 힘으로 저장공간의 분말을 비산공간으로 공급하는 공급판과, 상기 용기 외부에서 제공받은 기체를 비산공간으로 안내시에 공급판에 대하여 직교하도록 분사하여 분말을 비산시키는 기체안내관과, 상기 저장공간 내부의 비산된 분말을 용기 외부로 안내하며, 진동을 발생하여 분말의 응집을 제한하는 응집방지유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.The apparatus for continuously supplying a uniform fine powder with an anti-aggregation unit according to the present invention comprises: a container having a space therein to receive powder; a storage space in which the powder is stored; A partition plate provided at one side thereof with a communicating part for guiding a part of the powder scattered in the scattering space to be transferred to the storage space and a partition plate for supporting the powder inside the container, A gas guide tube for spraying the gas supplied from the outside of the vessel to the scattering space so as to be orthogonal to the feeding plate when guided to the scattering chamber to scatter the powder; And an aggregation prevention unit for guiding the powder to the outside of the container and generating vibration to restrict agglomeration of the powder .

상기 응집방지유닛은, 상기 저장공간과 연통하는 응집방지관과, 상기 응집방지관에 진동을 제공하는 다수의 진동발생기와, 상기 진동발생기의 움직임 제한 및 보호를 위한 보호부재를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.The coagulation prevention unit may include an aggregation prevention pipe communicating with the storage space, a plurality of vibration generators for providing vibration to the coagulation prevention pipe, and a protection member for restricting and protecting movement of the vibration generator .

상기 공급판의 상면에는, 상기 저장공간에서 수용된 분말이 공급판 회전시에 비산공간으로 이송되게 하는 요철이 방사상으로 다수 구비됨을 특징으로 한다.The upper surface of the supply plate is provided with a plurality of projections and depressions radially to allow the powder contained in the storage space to be transferred to the scattering space when the supply plate is rotated.

상기 용기의 하측에는, 진동을 발생하는 진동발생수단이 구비됨을 특징으로 한다.And a vibration generating means for generating vibration is provided on the lower side of the container.

상기 구획판은 저장공간과 비산공간의 용적비를 조절 가능하게 구성됨을 특징으로 한다.Wherein the partition plate is configured to adjust a volume ratio of the storage space and the scattering space.

본 발명에서는 용기 내부에서 비산(飛散)된 분말이 외부로 토출될 때 분말의 응집을 방지한 상태로 이송 경로를 형성할 수 있도록 한 응집방지유닛이 구비된다.In the present invention, an anti-aggregation unit is provided which is capable of forming a conveying path in a state in which powder is prevented from agglomerating when powder scattered inside the container is discharged to the outside.

또한, 비산공간에서 비산된 분말 중에서 상대적으로 가볍고 미세한 분말을 저장공간 상부로 다시 이송시켜 외부로 배출할 수 있도록 구성된다.In addition, relatively light and fine powder among the scattered powder in the scattering space can be transported to the upper part of the storage space and discharged to the outside.

따라서 분말의 정량적인 공급이 가능하며, 연속적인 에어로졸 생성이 가능한 이점이 있다.Therefore, it is possible to supply the powder quantitatively, and there is an advantage that continuous aerosol generation is possible.

뿐만 아니라, 본 발명에서는 비산공간과 저장공간의 용적비 조절이 가능하고, 비산공간 내부로 공급되는 분말의 양을 제어할 수 있으며, 진동발생수단을 구비하였다.In addition, in the present invention, it is possible to control the volume ratio of the scattering space and the storage space, to control the amount of the powder supplied into the scattering space, and to provide the vibration generating means.

따라서, 비산공간 내부의 분말 공급량을 보다 정밀하게 제어할 수 있게 되므로 에어로졸의 품질과 생선성을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.Accordingly, it is possible to more precisely control the amount of powder supplied in the scattering space, thereby maximizing the quality of the aerosol and the fishy property.

도 1 은 과립형 분말과 미립형 분말의 SEM 사진.
도 2 는 대한민국 공개특허 특2001-0052900호에 개시된 장치구성도.
도 3 은 대한민국 등록특허 제10-1230241호에 게시된 장치 구성도.
도 4 는 에어로졸의 분말 입도가 불균일한 상태로 성막시 상태를 나타낸 실물 사진.
도 5 는 본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치의 외관 구성을 보인 사시도.
도 6 은 본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에서 커버를 제거하여 내부 구성을 나타낸 사시도.
도 7 은 본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치의 내부 구성을 보인 종단면도.
도 8 은 본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에서 요부 구성인 연통부의 작용을 보이기 위한 상태도.
도 9 는 본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에서 커버 내부 구조를 나타낸 횡단면도.
도 10 은 본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치를 이용하여 성막된 유리기판의 실물 사진.
도 11 은 본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에서 요부구성인 응집방지유닛의 외관을 보인 사시도.
도 12 는 본 발명에 이한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에서 요부구성인 응집방지유닛의 세부 구성을 보인 절개 사시도.
도 13 은 본 발명에 의한 균일 미세분말 연속 공급장치 동작시 커버 내부 상태를 나타낸 도 7의 Ⅰ-Ⅰ'부 횡단면도.
도 14 는 본 발명에 의한 균일 미세분말 연속 공급장치에서 용기 내부에 기체를 공급하지 않고 공급판만 회전시 분말의 이동상태를 나타낸 도 7의 Ⅰ-Ⅰ'부 횡단면도.
1 is a SEM photograph of a granular powder and a fine powder.
2 is a block diagram of the apparatus disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 2001-0052900.
3 is a block diagram of the apparatus disclosed in Korean Patent No. 10-1230241.
Fig. 4 is a photograph showing a state at the time of film formation in a state where the powder particle size of the aerosol is uneven.
5 is a perspective view showing the external structure of a uniform fine powder continuous feeder equipped with an anti-aggregation unit according to the present invention.
6 is a perspective view showing the internal structure of the continuous fine powder continuous feeder equipped with the anti-aggregation unit according to the present invention with the cover removed.
7 is a longitudinal sectional view showing the internal structure of a continuous fine powder continuous feeder equipped with an anti-aggregation unit according to the present invention.
8 is a view for showing the action of the communication part constituting the main part in the continuous fine powder continuous feeder equipped with the anti-aggregation unit according to the present invention.
9 is a cross-sectional view showing the internal structure of the cover in the uniform fine powder continuous feeder equipped with the anti-aggregation unit according to the present invention.
10 is a photograph of a glass substrate formed by using a uniform fine powder continuous feeder equipped with an anti-aggregation unit according to the present invention.
11 is a perspective view showing the appearance of an anti-aggregation unit as a main component in a continuous fine powder continuous feeder equipped with an anti-aggregation unit according to the present invention.
12 is an exploded perspective view showing the detailed structure of the coagulation preventing unit as a main constituent in the continuous fine powder continuous feeder equipped with the coagulation preventing unit according to the present invention.
FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'of FIG. 7 showing the inner state of the cover when the continuous fine powder continuous feeder according to the present invention is operated.
FIG. 14 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'of FIG. 7 showing the movement of the powder during the rotation of the supply plate without supplying gas into the container in the uniform fine powder continuous supply apparatus according to the present invention.

이하 첨부된 도 5를 참조하여 본 발명에 의한 균일 미세분말 연속 공급장치(이하 '공급장치(100)'이라 칭함)의 외관 구성을 설명한다.Hereinafter, the outer configuration of the uniform fine powder continuous feeder (hereinafter referred to as "feeder 100") according to the present invention will be described with reference to FIG.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may appropriately define the concept of the term in order to describe its invention in the best possible way It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

따라서 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are merely preferred embodiments of the present invention, and are not intended to represent all of the technical ideas of the present invention. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may be present.

도 5는 본 발명에 의한 균일 미세분말 연속 공급장치(100)의 외관 구성을 보인 사시도이다.FIG. 5 is a perspective view showing the external configuration of the continuous fine powder continuous feeder 100 according to the present invention.

도면과 같이 본 발명에 의한 공급장치(100)는 다량의 분말을 저장하고, 동작시 저장된 분말을 비산(飛散)시켜 에어로졸을 만든 후 외부(에어로졸의 공급대상 장치)로 안내하는 장치이다.As shown in the drawing, the supply apparatus 100 according to the present invention stores a large amount of powder, scatters powder stored at the time of operation, forms an aerosol, and guides the powder to the outside (a device to be supplied with an aerosol).

상기 공급장치(100)는 대략 원통 형상으로 이루어져 내부에 분말이 저장되는 용기(110)가 구비되며, 상기 용기(110)의 측면은 커버(111)에 의해 내부가 차폐된 상태이다.The supply device 100 has a substantially cylindrical shape and is provided with a container 110 in which powder is stored. The side surface of the container 110 is covered with a cover 111.

상기 용기(110)의 상측에는 회전동력을 발생하는 동력발생수단(120)이 구비된다.And a power generating means 120 for generating a rotational power is provided on the upper side of the container 110.

상기 동력발생수단(120)은 외부로부터 전원을 인가받아 회전동력을 발생하며, 상기 동력발생수단(120)이 발생한 회전동력은 용기(110) 내부로 전달되도록 구성된다.The power generating unit 120 receives power from the outside to generate rotational power and the rotational power generated by the power generating unit 120 is transmitted to the inside of the vessel 110.

그리고, 상기 동력발생수단(120)은 회전동력의 방향을 전환하기 위한 기어나, 회전속도 조절을 위한 변속기를 더 구비할 수 있다.The power generation unit 120 may further include a gear for switching the direction of the rotational power or a transmission for adjusting the rotational speed.

상기 용기(110)의 상면에는 용기(110)의 내부를 선택적으로 개방시킬 수 있도록 투입구(112)가 구비되며, 상기 투입구(112)를 통해 용기(110) 내부로 분말의 공급이 가능하다.The upper surface of the container 110 is provided with an inlet 112 for selectively opening the inside of the container 110 and the powder can be supplied into the container 110 through the inlet 112.

여기서 상기 분말은 크기와 형태에 제한을 두지 않으며, 풍력에 의해 비산될 수 있는 것이라면 어떠한 분말이든 적용 가능하다.Here, the powder is not limited in size and shape, and any powder can be applied as long as it can be scattered by wind power.

상기 용기(110)의 상면 전반부에는 기체안내관(113)이 구비된다. 상기 기체안내관(113)은 용기(110) 외부에 구비된 기체공급수단(도시되지 않음)과 연통되게 연결되어 기체공급수단에서 공급하는 기체를 용기(110) 내부로 안내하는 역할을 수행한다.A gas guide pipe 113 is provided in the upper part of the upper surface of the container 110. The gas guide pipe 113 communicates with gas supply means (not shown) provided outside the vessel 110 to guide the gas supplied from the gas supply means into the vessel 110.

상기 기체안내관(113)의 후측에는 분말배출관(114)이 구비된다. 상기 분말배출관(114)은 용기(110) 내부에 기체가 공급됨에 따라 비산되어 에어로졸 상태가 된 분말을 용기(110) 외부로 안내하기 위한 구성이다.A powder discharge pipe 114 is provided on the rear side of the gas guide pipe 113. The powder discharge pipe 114 is configured to guide the powder that is scattered as the gas is supplied into the container 110 into the aerosol state to the outside of the container 110.

보다 상세하게는 상기 분말배출관(114)은 용기(110) 내부에서 비산된 분말 중 일부(상대적으로 미세한 분말)를 용기(110) 외부로 배출하기 위한 구성이다.More specifically, the powder discharge pipe 114 is configured to discharge a part (relatively fine powder) of powder scattered inside the container 110 to the outside of the container 110.

상기 용기(110)의 하측에는 진동발생수단(130)이 구비된다. 상기 진동발생수단(130)은 진동을 발생하여 상기 용기(110)에 제공하기 위한 것으로, 본 발명에서는 전자석 발진기를 채택하여 수십 내지 수백㎐의 진동주파수 범위 내에서 조정 가능하게 구성하였다. A vibration generating means 130 is provided below the container 110. The vibration generating means 130 generates vibration and provides the vibration to the container 110. In the present invention, the vibration generating means 130 is configured to be adjustable within a vibration frequency range of tens to hundreds of Hz by adopting an electromagnet oscillator.

상기 분말배출관(114)에는 본 발명의 요부 구성인 응집방지유닛(200)이 연결된다.The powder discharge pipe (114) is connected to the coagulation preventing unit (200), which is a main component of the present invention.

상기 응집방지유닛(200)은 분말배출관(114)을 통해 용기(110) 외부로 배출된 에어로졸의 이송 경로를 안내하기 위한 것으로, 이송하는 에어로졸이 내부에서 응집되지 않도록 하는 기능을 갖고 있다.The coagulation preventing unit 200 is for guiding a transport path of the aerosol discharged to the outside of the container 110 through the powder discharge pipe 114 and has a function of preventing the aerosol to be transported from being agglomerated inside.

상기 응집방지유닛(200)의 세부 구성은 아래에서 상세히 하기로 한다.The details of the coagulation preventing unit 200 will be described in detail below.

이하 첨부된 도 6 내지 도 9를 참조하여 상기 공급장치(100)의 세부 구성을 설명한다.The detailed configuration of the supply apparatus 100 will be described below with reference to FIGS. 6 to 9 attached hereto.

도 6는 본 발명에 의한 균일 미세분말 연속 공급장치(100)에서 커버(111)를 제거하여 내부 구성을 나타낸 사시도이고, 도 7은 본 발명에 의한 균일 미세분말 연속 공급장치(100)의 내부 구성을 보인 종단면도이다.FIG. 6 is a perspective view showing the internal structure of the continuous powder feeder 100 according to the present invention by removing the cover 111, FIG. 7 is a perspective view showing the internal structure of the continuous powder feeder 100 Fig.

그리고, 도 8은 본 발명에 의한 균일 미세분말 연속 공급장치에서 요부 구성인 연통부의 작용을 보이기 위한 상태도이며, 도 9는 본 발명에 의한 균일 미세분말 연속 공급장치(100)에서 커버(111) 내부 구조를 나타낸 횡단면도이다.FIG. 9 is a view showing a state in which the operation of the communicating part constituting the main part in the continuous fine powder continuous feeder according to the present invention is shown. Fig.

도 6는 용기(110) 내부의 세부 구성을 보다 상세하게 설명하기 위하여 커버(111)를 제거한 상태이다.6 is a state in which the cover 111 is removed in order to explain the detailed structure inside the container 110 in more detail.

도면과 같이 상기 용기(110)의 내부에는 분말이 저장되는 저장공간(115)과, 저장공간(115)에 저장되어 있던 분말(도 7의 도면부호 P)을 연속적으로 수용하여 비산시키기 위한 비산공간(116)이 구획되어 있다.As shown in the figure, the container 110 has a storage space 115 in which powder is stored and a scattering space 115 in which the powder (P in FIG. 7) stored in the storage space 115 is continuously received and scattered. (Not shown).

즉, 상기 용기(110) 내부에는 대략 "V"형태의 횡단면을 가지는 구획판(140)이 직립되게 고정 설치되어 있다.That is, in the inside of the container 110, a partition plate 140 having a substantially V-shaped cross section is fixed upright.

상기 구획판(140)은 상단부가 용기(110)의 내부 천장과 결합되어 움직이지 않도록 고정되어 있으며, 수직 하방향으로 길게 뻗어 하단부가 용기(110)의 내부 바닥과 인접하도록 구성된다.The upper end of the partition plate 140 is fixed to the inner ceiling of the container 110 so as not to move and is configured to extend vertically downward so that the lower end of the partition plate 140 is adjacent to the inner bottom of the container 110.

따라서, 상기 구획판(140)은 용기(110) 내부의 공간을 비산공간(116)과 저장공간(115)으로 구획할 수 있다.Therefore, the partition plate 140 can divide the space inside the container 110 into the flared space 116 and the storage space 115.

또한 상기 구획판(140)은 벌어진 각도의 조절이 가능하도록 구성된다. 이것은 비산공간(116)과 저장공간(115)의 용적량을 조절할 수 있도록 하기 위한 것으로, 상기 구획판(140)의 각도를 증가시키게 되면 비산공간(116)의 용적이 늘어나게 되고, 저장공간(115)의 용적은 상대적으로 감소하게 된다.Further, the partition plate 140 is configured to be able to adjust the angle of opening. This increases the volume of the fogging space 116 and the storage space 115. When the angle of the partition plate 140 is increased, the volume of the fogging space 116 is increased, The volume of the container is relatively reduced.

본 발명의 실시예에서 비산공간(116)은 저장공간(115)의 용적에 대하여 1/12 ~ 1/6 범위의 용적으로 조절 가능하도록 구성하였다.In the embodiment of the present invention, the fogging space 116 is configured to be adjustable in a volume ranging from 1/12 to 1/6 with respect to the volume of the storage space 115.

그리고, 상기 구획판(140)으로 제한된 공간인 비산공간(116) 내부에는 전술한 기체안내관(113)의 단부가 연통된다.The end portion of the gas guide pipe 113 communicates with the inside of the scattering space 116, which is a limited space defined by the partition plate 140.

보다 상세하게는 상기 기체안내관(113)은 용기(110)의 상면을 관통하여 용기(110) 내부로 연장되되, 하단부는 바닥면에 근접하며, 하측 방향으로는 다수의 통공이 구비되어 기체안내관(113)을 통해 하측 방향으로 이송된 기체를 용기(110)의 바닥면에 대하여 직교하는 방향으로 분사되게 안내하게 된다.More specifically, the gas guide pipe 113 extends through the upper surface of the container 110 to the inside of the container 110. The lower end of the guide pipe 113 is close to the bottom surface of the container 110, The gas transferred in the downward direction through the pipe 113 is guided to be sprayed in a direction orthogonal to the bottom surface of the container 110.

본 발명에서 상기 기체안내관(113)은 하측부를 절곡하여 대략 'ㄴ' 형상을 가지며, 가로로 절곡된 부분의 하면에는 다수의 통공을 천공함으로써 상기 기체안내관(113)을 따라 이송된 기체가 다수 갈래로 나뉘어 하측 방향으로 분사될 수 있게 구성하였다.In the present invention, the gas guide tube 113 has a substantially 'b' shape by bending a lower portion thereof, and a plurality of through holes are formed in the lower surface of the transversely bent portion to allow the gas conveyed along the gas guide tube 113 It is divided into a plurality of branches so as to be sprayed in the downward direction.

따라서, 상기 비산공간(116) 내부 바닥에 존재하는 분말(P)은 통공을 통해 분사되는 기체에 의해 균일하게 비산될 수 있다.Therefore, the powder P existing in the bottom of the scattering space 116 can be uniformly scattered by the gas injected through the through holes.

상기 용기(110)의 내부 바닥에는 공급판(150)이 구비된다. 상기 공급판(150)은 원판형상을 갖는 것으로, 상기 동력발생수단(120)으로부터 회전동력을 제공받아 회전 가능하게 구성된다.A supply plate 150 is provided on the inner bottom of the container 110. The supply plate 150 has a disk shape and is configured to be rotatable by receiving rotational power from the power generation means 120.

그리고, 상기 공급판(150)은 저장공간(115)에 저장된 분말(P)을 상향 지지하는 역할과, 저장공간(115)의 분말(P)을 일정량만큼 비산공간(116)으로 공급하는 역할을 동시에 수행한다.The supply plate 150 serves to upwardly support the powder P stored in the storage space 115 and to supply the powder P of the storage space 115 to the scattering space 116 by a predetermined amount Concurrently.

즉, 상기 공급판(150)은 용기(110) 내부에서 일정한 높이를 유지하여 분말(P)을 지지하며, 상기 동력발생수단(120)의 동작에 의해 회전시에 상면이 저장공간(115)과 비산공간(116)을 교번 순회하여 비산공간(116) 내부로 분말(P)을 공급하게 된다.That is, the supply plate 150 supports the powder P while maintaining a predetermined height in the container 110, and when the powder is rotated by the operation of the power generating means 120, And the powder P is supplied into the scattering space 116 by alternating the scattering spaces 116.

이를 위해 상기 공급판(150)의 상면에는 요철(152)이 다수 구비된다. 상기 요철(152)은 공급판(150)의 상면을 하측 방향으로 함몰시켜 단차를 갖도록 구성됨으로써 내부에 분말(P)의 수용이 가능하다.For this, a plurality of protrusions 152 are provided on the upper surface of the supply plate 150. The concavities and convexities 152 are formed to depress the upper surface of the supply plate 150 in a downward direction so as to have a step so that the powder P can be received therein.

따라서, 상기 요철(152) 내부에 수용된 분말(P)은 공급판(150)이 시계방향(도 6에서 볼 때)으로 회전시에 비산공간(116) 내부로 공급 가능하게 된다.Accordingly, the powder P contained in the concavity and convexity 152 can be supplied into the scattering space 116 when the supply plate 150 rotates clockwise (as viewed in FIG. 6).

본 발명의 실시예에서 상기 요철(152)은 공급판(150)의 상면에 다수 개로 함몰 형성하되, 방사상으로 등간격 배열되게 구성하였다.In the embodiment of the present invention, the concavities and convexities 152 are formed on the upper surface of the supply plate 150 by a plurality of depressions 152, which are radially arranged at equal intervals.

그러나, 상기 비산공간(116)으로 공급되어야 할 분말(P)의 양이나 분말(P)의 크기에 따라 다양하게 변경 실시 가능하다.However, various modifications may be made depending on the amount of the powder P to be supplied to the scattering space 116 or the size of the powder P.

예컨대, 상기 요철(152)은 공급판(150)의 상면에서 상방향으로 돌출되게 구성할 수도 있을 것이며, 도 6과 같은 곡선으로 형성하지 않고 다수의 점(원기둥) 형태로 함몰 형성할 수도 있다.For example, the concavity and convexity 152 may protrude upward from the upper surface of the supply plate 150, and may be formed in a plurality of points (cylinders) instead of the curves as shown in FIG.

한편, 상기 공급판(150)의 중앙은 동력발생수단(120)으로부터 회전동력을 제공받을 수 있도록 회전축(도 7의 도면부호 122)과 결합되어 있다.Meanwhile, the center of the supply plate 150 is connected to a rotary shaft (reference numeral 122 in FIG. 7) so as to receive a rotational power from the power generating means 120.

상기 회전축(122)은 공급판(150)의 회전중심축 역할을 수행하는 것으로, 공급판(150)의 중앙에서 상방향으로 직립되게 축결합되며, 상부는 동력발생수단(120)과 회전동력 전달이 가능하게 결합되어 있다.The rotation shaft 122 serves as a rotation center shaft of the supply plate 150 and is axially coupled upwards in the up direction at the center of the supply plate 150. The upper portion is connected to the power generating means 120, Respectively.

상기 구획판(140)의 하단부에는 블레이드(142)를 더 구비할 수 있다.The partition plate 140 may further include a blade 142 at a lower end thereof.

상기 블레이드(142)는 구획판(140)의 횡단면과 대응하는 형상을 갖도록 구성되어 구획판(140)의 하단부에 결합된 것으로, 상기 블레이드(142)의 하단부는 도 7과 같이 공급판(150)의 상면으로부터 이격될 수도 있으며, 공급판(150)의 상면과 접촉하도록 길이가 연장되어 설치될 수도 있다.The blade 142 is configured to have a shape corresponding to the cross section of the partition plate 140 and is coupled to the lower end of the partition plate 140. The lower end of the blade 142 is connected to the supply plate 150, And may be extended to be in contact with the upper surface of the supply plate 150.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 블레이드(142)의 하단부가 도 7과 같이 공급판(150)으로부터 이격되도록 구성되면, 상기 공급판(150)은 요철(152)에 수용된 분말(P)과 블레이드(142)의 하단부에서 공급판(150) 상면까지 쌓여 있는 분말(P)을 비산공간(116)으로 공급할 수 있게 된다.More specifically, when the lower end of the blade 142 is configured to be spaced apart from the supply plate 150 as shown in FIG. 7, the supply plate 150 is rotated by the blade P The powder P accumulated from the lower end of the supply plate 150 to the upper surface of the supply plate 150 can be supplied to the scattering space 116.

반면, 상기 블레이드(142)의 하단부가 공급판(150)의 상면과 접촉하는 상태로 구성되면, 상기 공급판(150)은 요철(152)에 수용된 분말(P)만을 비산공간(116)에 공급하게 된다.When the lower end of the blade 142 is in contact with the upper surface of the supply plate 150, the supply plate 150 feeds only the powder P contained in the unevenness 152 to the scattering space 116 .

이와 같이 상기 공급판(150)과 블레이드(142)의 이격 거리에 따라 비산공간(116)으로 공급되는 분말(P)의 양을 조절할 수 있다.Thus, the amount of the powder P supplied to the scattering space 116 can be adjusted according to the distance between the supply plate 150 and the blade 142.

한편 상기 구획판(140)의 상단부에는 연통부(144)가 구비된다. 상기 연통부(144)는 비산공간(116) 내부에 비산되어 있는 분말 중 일부를 다시 저장공간(115)으로 안내하기 위한 것이다.On the other hand, a communicating portion 144 is provided at the upper end of the partition plate 140. The communicating portion 144 is for guiding part of the powder scattered in the scattering space 116 to the storage space 115 again.

따라서 상기 연통부(144)는 구획판(140) 내부에서 비산된 분말이 저장공간(115)으로 다시 빠져나올 수 있는 범위 내라면 형성 위치, 크기 등을 다양하게 변경하여 실시 가능할 것이다.Accordingly, if the powder scattered in the partition plate 140 is allowed to escape into the storage space 115, the communicating part 144 may be changed in various positions and sizes.

즉, 도 7과 같이 상기 연통부(144)는 비산공간(116)과 저장공간(115)이 서로 연통되도록 구획판(140) 상부 일부를 절개하여 형성할 수 있다.7, the communicating part 144 may be formed by cutting a part of the upper part of the partition plate 140 so that the fogging space 116 and the storage space 115 are communicated with each other.

이때 상기 비산공간(116)에서 비산된 분말 중에서 상대적으로 크고 무거운 분말들은 급격하게 낙하하는 반면, 작고 가벼운 분말들은 비산공간(116)의 상부까지 떠오른 후 연통부(144)를 통해 저장공간(115) 내부로 이송하게 된다.At this time, the powder relatively large and heavy among the powder scattered in the scattering space 116 abruptly drops while the small and light powder floats to the upper part of the scattering space 116 and then flows into the storage space 115 through the communicating part 144. [ And is transported to the inside.

상기 연통부(144)를 구비함에 따라 상기 분말배출관(114)을 통해 용기(110) 밖으로 배출되는 분말은 보다 미세하고 균일한 입도를 가질 수 있게 된다.The powder discharged to the outside of the container 110 through the powder discharge pipe 114 can have finer and uniform particle size.

한편, 상기 연통부(144)의 다른 실시예로서, 상기 블레이드(142)와 공급판(150) 사이의 미세한 틈이 연통부(144) 역할을 수행할 수 있다.As another example of the communication part 144, a minute gap between the blade 142 and the supply plate 150 may serve as a communication part 144. [

즉, 상기 비산공간(116) 내부는 기체안내관(113)의 작용에 의해 분말들이 비산되어 있는 상태이나 빠른 속도로 분사되는 캐리어가스로 인해 와류 등이 발생될 수 있으므로 분말이 고르게 분산된 상태만 유지하기는 어려울 수 있다.In other words, in the scattering space 116, due to the action of the gas guide tube 113, the powders are scattered, but a vortex or the like may be generated due to the carrier gas injected at a high speed. Therefore, It can be difficult to keep.

따라서, 상기 비산공간(116) 내부에서 비산되긴 하였으나 불균일한 에어로졸은 블레이드(142)와 공급판(150) 사이의 틈을 통해 저장공간(115)으로 빠져나갈 수 있고, 저장공간(115)으로 빠져나온 에어로졸은 보다 균일한 상태가 될 수 있다.Therefore, the uneven aerosol scattered inside the scattering space 116 can escape into the storage space 115 through the gap between the blade 142 and the supply plate 150, The resulting aerosols can become more uniform.

그리고 상기 연통부(144)는 비산공간(116) 내부에서 비산된 분말이 저장공간(115)으로 이송될 수 있는 범위 내라면 다양한 크기, 개수, 위치를 변경하여 실시 가능하며, 저장공간(115)으로 이송하고자 하는 에어로졸의 입자 크기를 고려하여 구획판(140)의 상/하부 또는 중앙에도 형성될 수 있음은 물론이다.The communicating part 144 may be implemented in various sizes, numbers, and positions as long as the powder scattered in the scattering space 116 can be transferred to the storage space 115. In the storage space 115, It may be formed on the upper / lower portion or the center of the partition plate 140 considering the particle size of the aerosol to be transferred to the partition plate 140.

상기 분말배출관(114)에는 본 발명의 요부 구성인 응집방지유닛(200)이 연결된다. 상기 응집방지유닛(200)은 에어로졸이 요구되는 곳까지 이송 경로를 형성하는 것으로, 이송 중 에어로졸의 응집이 미연에 차단되도록 하는 기능도 갖고 있다.The powder discharge pipe (114) is connected to the coagulation preventing unit (200), which is a main component of the present invention. The flocculation preventing unit 200 has a function of forming a transport path to a place where an aerosol is required, and blocking the agglomeration of the aerosol during transportation.

즉, 상기 용기(110) 내부에서 고르게 분산된 에어로졸이 분말배출관(114)을 통해 배출되었다 하더라도, 이송 경로를 따라 이송 중에 응집이 될 수도 있고, 경로 상에 부착된 상태로 응집될 수도 있다.That is, even if the aerosols dispersed evenly inside the container 110 are discharged through the powder discharge pipe 114, they may be agglomerated in the course of transportation along the transport path or may be agglomerated in the state of being attached on the path.

이런 경우 용기(110) 내부에서 균일하게 분산시켰다 하더라도 이송 중에 응집이 발생하게 되는 것이므로 공급장치(110)의 분산 능력을 저감하게 된다.In this case, even if they are uniformly dispersed in the container 110, coagulation occurs during transportation, so that the dispersing ability of the feeding device 110 is reduced.

따라서 상기 응집방지유닛(200)은 분말이 분산되어 있는 에어로졸을 이송시에 응집이 되지 않도록 차단하는 역할을 수행하며, 상기 응집방지유닛(200)의 작용에 의해 도 10과 같이 균일한 성막 결과물을 얻을 수 있다.Therefore, the anti-flocculation unit 200 blocks the aerosols in which the powder is dispersed from being aggregated at the time of transportation, and by the action of the flocculation prevention unit 200, Can be obtained.

도 10은 본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치를 이용하여 성막된 유리기판의 실물 사진이다.10 is a photograph of a glass substrate formed by using a uniform fine powder continuous feeder equipped with an anti-aggregation unit according to the present invention.

이하 첨부된 도 11 및 도 12를 참조하여 상기 응집방지유닛의 구성을 세부적으로 살펴본다.Hereinafter, the configuration of the coagulation prevention unit will be described in detail with reference to FIGS. 11 and 12 attached hereto.

도 11은 본 발명에 의한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에서 요부구성인 응집방지유닛의 외관을 보인 사시도이고, 도 12는 본 발명에 이한 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치에서 요부구성인 응집방지유닛의 세부 구성을 보인 절개 사시도이다.FIG. 11 is a perspective view showing the appearance of an anti-coagulation unit as a main component in a continuous fine powder continuous feeder equipped with an anti-coagulation unit according to the present invention, and FIG. 12 is a perspective view of a uniform fine powder continuous Fig. 8 is a cutaway perspective view showing the detailed structure of the coagulation preventing unit which is a main constituent in the supplying device.

도면과 같이 상기 응집방지유닛(200)은 소정의 길이를 갖는 관형상을 가지며, 양단부에는 연결부재(202)가 구비된다. 상기 연결부재(202)는 응집방지유닛이 대상물과 연통하도록 결합하기 위한 구성으로, 한 쌍의 연결부재(202) 중 어느 하나는 분말배출관(114)와 연결된다.As shown in the figure, the coagulation preventing unit 200 has a tubular shape having a predetermined length, and a connecting member 202 is provided at both ends. One of the pair of connecting members 202 is connected to the powder discharge pipe 114. The connecting member 202 is connected to the powder discharge pipe 114. [

상기 응집방지유닛은 도 12와 같이 내부가 천공된 관형상의 응집방지관(210)과, 상기 응집방지관의 외측에 위치하여 진동을 발생하는 진동발생기(230)와, 상기 진동발생기(230)가 응집방지관(210)에 일정한 위치를 유지한 상태로 접촉하도록 구속력을 제공하는 보호부재(220)를 포함하여 구성된다.12, the anti-flocculation unit includes a tubular anti-coagulation tube 210 having an inner perforation formed therein, a vibration generator 230 positioned outside the anti-coagulation tube to generate vibration, And a protective member 220 for applying a restraining force to the flocculation preventing pipe 210 so as to contact the flocculation preventing pipe 210 while maintaining a predetermined position.

상기 응집방지관(210)은 본 발명의 실시예에서 플렉시블한 재질로 형성된 관을 사용하였으나, 에어로졸이 이송되어야 할 곳까지의 거리와 이송량 등을 고려하여 다양한 재질, 굵기 및 길이를 갖도록 변경 적용 가능하다.Although the cohesion prevention pipe 210 is made of a flexible material in the embodiment of the present invention, the cohesion prevention pipe 210 may be modified to have various materials, thicknesses, and lengths in consideration of the distance to the aerosol to be transported and the amount of transportation. Do.

상기 진동발생기(230)는 외부로부터 전원을 인가받아 진동을 발생하는 구성으로, 상기 응집방지관(210)의 외면과 인접하도록 고정되며 다수로 이루어져 응집방지관(210)의 모든 길이에 걸쳐 진동을 제공하게 된다.The vibration generator 230 is configured to generate vibration by being supplied with power from the outside and is fixed adjacent to the outer surface of the cohesion prevention pipe 210, .

본 발명의 실시예에서 상기 진동발생기(230)는 응집방지관(210)의 외주면에 서로 마주보도록 한 쌍씩 배치하였으며, 일정 간격 이격한 위치에 한 쌍씩 배치하였다.In the embodiment of the present invention, the vibration generators 230 are arranged on the outer circumferential surface of the coagulation preventing tube 210 so as to face each other, and a pair of the vibration generators 230 are disposed at predetermined intervals.

그리고 상기 진동발생기(230)의 외측으로는 전원인가를 위한 전원선(204)이 구비되며, 다수의 진동발생기(230)는 모두 전기적으로 연결되어 있다.A power supply line 204 for power supply is provided outside the vibration generator 230, and all the vibration generators 230 are electrically connected to each other.

상기 진동발생기(230)의 외측에는 보호부재(220)가 구비된다. 상기 보호부재(220)는 진동발생기(230)가 응집방지관(210)의 외면에 접촉한 상태를 유지하면서 움직임이 제한되도록 하는 구성으로, 다양한 소재로 채택하여 사용될 수 있으며, 상기 전원선(204)의 움직임을 제한하는 역할도 동시에 수행함이 바람직하다.A protective member 220 is provided on the outer side of the vibration generator 230. The protection member 220 is configured to restrict movement while maintaining a state in which the vibration generator 230 is in contact with the outer surface of the cohesion prevention pipe 210. The protection member 220 may be used as various materials, It is preferable to simultaneously perform the role of restricting the movement of the user.

상기와 같은 구성에 의해 상기 전원선(204)을 통해 전원이 인가되고, 상기 진동발생기(230)가 진동을 발생하게 되면, 이러한 진동은 상기 응집방지관(210)에 전달되어 내부를 경유하는 분말의 응집이 제한될 수 있다.When the power is applied through the power line 204 and the vibration generator 230 generates vibration, the vibration is transmitted to the cohesion prevention tube 210, May be limited.

이하 첨부된 도 5 내지 도 14를 참조하여 사이와 같이 구성되는 공급장치(100)의 작용을 설명한다.Hereinafter, the operation of the supply apparatus 100 configured as described above will be described with reference to Figs. 5 to 14 attached hereto.

도 13은 본 발명에 의한 균일 미세분말 연속 공급장치 동작시 커버 내부 상태를 나타낸 도 7의 Ⅰ-Ⅰ'부 횡단면도이고, 도 14는 본 발명에 의한 균일 미세분말 연속 공급장치에서 용기 내부에 기체를 공급하지 않고 공급판만 회전시 분말의 이동상태를 나타낸 도 7의 Ⅰ-Ⅰ'부 횡단면도이다.FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'of FIG. 7 showing the internal state of the cover during operation of the continuous fine powder continuous feeder according to the present invention, and FIG. 14 is a cross- Fig. 7 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'of Fig. 7 showing the state of movement of the powder when the supply plate alone is rotated.

먼저, 도 6과 같은 상태(도 5에서 커버(111)는 설치되어야 함)에서 투입구(112)를 열어 저장공간(115) 내부에 분말(P)을 투입하게 된다. 이때 상기 투입구(112)는 저장공간(115)의 상측에 위치함이 바람직하며, 상기 용기(110) 내부에 분말(P)이 투입되기 전은 도 9와 같은 상태이다.First, the powder P is introduced into the storage space 115 by opening the inlet 112 in the state shown in FIG. 6 (the cover 111 should be installed in FIG. 5). In this case, the inlet 112 is preferably located above the storage space 115, and the state before the powder P is introduced into the container 110 is as shown in FIG.

그리고, 상기 기체안내관(113)은 기체공급수단(도시되지 않음)과 연통되게 연결되어 기체(아르곤, 질소, 건조된 공기 등)의 수급이 가능한 상태이며, 상기 분말배출관(114)은 응집방지유닛(200)에 의해 에어로졸 공급 대상 장치의 진공 펌프나 진공 밸브 등과 연통되게 연결되어 있다.The gas guide pipe 113 is connected to the gas supply means (not shown) to be able to supply and receive a gas (argon, nitrogen, dried air, etc.) Unit 200 to be connected to a vacuum pump or a vacuum valve or the like of the aerosol supply object device.

상기와 같이 준비가 완료되면 상기 진동발생수단(130)을 동작시켜 상기 용기(110) 내부의 분말(P)에 진동을 제공함으로써 요철(152) 내부에 분말(P)이 효율적으로 수용될 수 있게 한다.When the preparation is completed as described above, the vibration generating means 130 is operated to provide vibration to the powder P in the container 110, so that the powder P can be efficiently received in the concavity and convexity 152 do.

그리고, 상기 진동발생기(230)는 응집방지관(210)에 진동을 제공하여 응집방지관(210) 내부에 에어로졸이 경유할 때 분말이 내부벽면에 부착 및 응집되지 않도록 제한하게 된다.The vibration generator 230 provides vibration to the anti-cohesion pipe 210 to restrict the powder from adhering to the inner wall surface when the aerosol passes through the cohesion prevention pipe 210 and to prevent the cohesion.

만일 상기와 같이 준비된 후 기체안내관(113)이 동작하지 않는 상태(기체가 비산공간(116) 내부에 공급되지 않는 상태)로 공급판(150)이 회전하고, 상기 블레이드(142)의 단부와 공급판(150)의 상면이 맞닿도록 조절된 상태라면, 도 14와 같이 저장공간(115) 내부에 위치한 요철(152) 안에만 분말(P)이 존재하는 상태가 될 것이다.If the supply plate 150 rotates in a state in which the gas guide pipe 113 is not operated (the gas is not supplied into the scattering space 116) after the preparation as described above, If the upper surface of the supply plate 150 is adjusted to be in contact with the upper surface of the supply plate 150, the powder P will be present only in the unevenness 152 inside the storage space 115 as shown in FIG.

그리고, 도 14와 같은 상태에서 기체안내관(113)을 통해 비산공간(116) 내부로 기체가 유입되어 공급판(150)의 상면으로 수직하게 분사되면, 요철(152)에 수용되어 있던 분말(P)은 비산되어 도 13과와 같은 상태가 된다.When the gas is introduced into the scattering space 116 through the gas guide pipe 113 in the state of FIG. 14 and is vertically injected into the upper surface of the supply plate 150, the powder P is scattered and becomes a state as shown in FIG.

즉, 상기 저장공간(115) 내부에는 많은 분말(P)이 저장되어 있고, 공급판(150)의 시계방향 회전에 의해 비산공간(116) 내부로 분말(P)이 공급되면, 공급과 동시에 기체에 의해 분말은 비산공간(116) 내부에서 비산된다.That is, a large amount of powder P is stored in the storage space 115. When the powder P is supplied into the scattering space 116 by the clockwise rotation of the supply plate 150, The powder is scattered inside the scattering space 116.

이때 상기 요철(152)의 형상, 공급판(150)의 회전속도 등을 조절하면 상기 저장공간(115) 내부로 공급되는 분말(P)의 양을 조절할 수 있게 된다.At this time, the amount of the powder P supplied into the storage space 115 can be adjusted by adjusting the shape of the concavity and convexity 152, the rotation speed of the supply plate 150, and the like.

한편, 상기 비산공간(116) 내부에서 비산된 분말 중 일부는 연통부(144)를 통해 저장공간(115)으로 다시 유입되며, 저장공간(115)으로 유입된 작고 가벼우며균일한 분말들은 분말배출관(114)을 통해 비산공간(116) 외부로 배출된다.Part of the powder scattered in the scattering space 116 flows into the storage space 115 through the communication part 144. The small and light uniform powder flowing into the storage space 115 flows into the powder discharge pipe 115, And is discharged to the outside of the scattering space 116 through the through hole 114.

상기 분말배출관(114)을 통해 배출된 에어로졸은 응집방지유닛(200)의 작용에 의해 응집방지관(210) 내부 벽면에 응집되거나 부착되지 못하고 일정한 속도로 이송된 후 에어로졸 공급 대상 장치로 이송된다.The aerosol discharged through the powder discharge pipe (114) is agglomerated or not adhered to the inner wall surface of the coagulation preventing pipe (210) by the action of the coagulation preventing unit (200) and is transported at a constant speed before being transferred to the aerosol supply target device.

이러한 본 발명의 범위는 상기에서 예시한 실시예에 한정되지 않고, 상기와 같은 기술범위 안에서 당업계의 통상의 기술자에게 있어서는 본 발명을 기초로 하는 다른 많은 변형이 가능할 것이다.The scope of the present invention is not limited to the embodiments described above, and many other modifications based on the present invention will be possible to those skilled in the art within the scope of the present invention.

예를 들어 본 발명의 실시예에서는 연통부(144)를 절제하여 형성하였으나, 비산된 분말 중 일부를 선택적으로 이송할 수 있도록 하는 범위 내라면 메쉬(mesh)를 추가로 설치할 수도 있을 것이다.For example, in the embodiment of the present invention, the communication part 144 is cut out, but a mesh may be additionally provided so long as it can selectively transfer a part of the scattered powder.

또한 본 발명의 실시예에서는 구획판(140)의 하단에 블레이드(142)를 구비하였으나, 구획판(140)의 높이를 조절함으로써 구획판(140)이 블레이드(142)의 역할을 동시에 수행할 수 있도록 구성할 수 있음은 자명하다.In the embodiment of the present invention, the blade 142 is provided at the lower end of the partition plate 140, but the partition plate 140 can perform the role of the blade 142 simultaneously by adjusting the height of the partition plate 140 It is obvious that it can be configured to be.

100. 균일 미세분말 연속 공급장치 110. 용기
111. 커버 112. 투입구
113. 기체안내관 114. 분말배출관
115. 저장공간 116. 비산공간
120. 동력발생수단 122. 회전축
130. 진동발생수단 140. 구획판
142. 블레이드 144. 연통부
150. 공급판 152. 요철
200. 응집방지유닛 202. 연결부재
204. 전원선 210. 응집방지관
220. 보호부재 230. 진동발생기
P . 분말
100. Uniform fine powder continuous feeder 110. Container
111. Cover 112. Inlet port
113. Gas guide pipe 114. Powder discharge pipe
115. Storage space 116. Non-storage space
120. Power generating means 122. Rotary shaft
130. Vibration generating means 140. Compartment plate
142. The blade 144. The communication part
150. Supply plate 152. Unevenness
200. Anti-flocculation unit 202. Connecting member
204. Power line 210. Anti-condensation tube
220. Protective member 230. Vibration generator
P. powder

Claims (5)

삭제delete 내부에 공간을 구비하여 분말을 수용하는 용기와, 상기 용기 내부의 공간을 분말이 저장되는 저장공간과 비산(飛散)되는 비산공간으로 구획하고, 일측에는 비산공간 내부에 비산된 분말 일부가 저장공간으로 이송하도록 안내하는 연통부가 구비된 구획판과, 상기 용기 내부에서 분말을 지지하며, 동력발생수단으로부터 제공받은 힘으로 저장공간의 분말을 비산공간으로 공급하는 공급판과, 상기 용기 외부에서 제공받은 기체를 비산공간으로 안내시에 공급판에 대하여 직교하도록 분사하여 분말을 비산시키는 기체안내관과, 상기 비산공간에서 비산된 후 연통부를 통해 저장공간으로 유입된 분말을 용기 외부로 안내하며, 진동을 발생하여 분말의 응집을 제한하는 응집방지유닛을 포함하여 구성되며,
상기 응집방지유닛은,
상기 저장공간과 연통하는 응집방지관과,
상기 응집방지관에 진동을 제공하는 다수의 진동발생기와,
상기 진동발생기의 움직임 제한 및 보호를 위한 보호부재를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치.
A space for storing the powder in the container, and a storage space for storing the powder and a scattering space for scattering the powder, and a part of the powder scattered in the scattering space is stored in the storage space A supply plate for supporting the powder in the container and supplying the powder of the storage space to the scattering space by a force provided from the power generating means, A gas guiding tube for spraying the gas so as to be orthogonal to the supply plate when guiding the gas into the scattering space to scatter the powder and a powder introduced into the storage space through the communicating part after being scattered in the scattering space, And an agglomeration prevention unit for restricting agglomeration of the powder,
The coagulation preventing unit includes:
An anti-condensation tube communicating with the storage space,
A plurality of vibration generators for providing vibration to the anti-
And a protection member for restricting movement of the vibration generator and protecting the vibration generator.
제 2 항에 있어서, 상기 공급판의 상면에는,
상기 저장공간에서 수용된 분말이 공급판 회전시에 비산공간으로 이송되게 하는 요철이 방사상으로 다수 구비됨을 특징으로 하는 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치.
The apparatus according to claim 2, wherein on the upper surface of the supply plate,
Wherein the plurality of concavities and convexities are radially provided so that the powder contained in the storage space is transferred to the scattering space during rotation of the supply plate.
제 3 항에 있어서, 상기 용기의 하측에는,
진동을 발생하는 진동발생수단이 구비됨을 특징으로 하는 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치.
The container according to claim 3,
Wherein the anti-aggregation unit is provided with a vibration generating means for generating vibration.
제 4 항에 있어서, 상기 구획판은 저장공간과 비산공간의 용적비를 조절 가능하게 구성됨을 특징으로 하는 응집방지유닛이 구비된 균일 미세분말 연속 공급장치.
[6] The apparatus of claim 4, wherein the partition plate is configured to adjust a volume ratio of the storage space and the scattering space.
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