WO2012053231A1 - ポンプ装置 - Google Patents

Abstract

定期的なメンテナンスが不要で、軽量、小型なフィルター付きクーラントポンプ装置を提供することを目的とする。本発明は、容積型ポンプ（９）と、容積型ポンプの吸入側に設けたサイクロンフィルター（１２）と、サイクロンフィルター（１２）の吸入側に設けられた非容積型ポンプ（４０）を備え、前記サイクロンフィルター（１２）は一次サイクロン（２０）及び二次サイクロン（３０）を含み、一次サイクロン（２０）及び二次サイクロン（３０）は分離された異物（切り粉等）を排出する機構（排出口２０ｃ、３０ｃ）を設けており、前記非容積型ポンプ（４０）の吐出流量は前記容積型ポンプ（９）の吐出流量よりも大きくなる様に設定されており、前記容積型ポンプ（９）と前記サイクロンフィルター（１２）と前記非容積型ポンプ（４０）とは垂直方向に直線状に連結して配置されている。

Description

ポンプ装置

　本発明は、液体を吸入して吐出するポンプに関し、より詳細には異物が混入した作動流体（例えば、下水、泥水、汚水、工作機械の潤滑油、クーラント等の液体）を吸入して吐出するため、フィルター機構を備えたポンプ装置に関するものである。

　係るポンプ装置は、例えば、工作機械における金属加工油（クーラント）の循環のために使用されている。その場合、吐出圧力が比較的低い低圧ポンプと、吐出圧力が比較的高い中圧及び高圧ポンプを用意して、低圧ポンプにより加工時の切粉除去を行い、中圧及び高圧ポンプにより深穴加工等の工具の切削性を向上しつつ、加工中の切粉除去を行なっている。すなわち、ポンプの使い分けをしている。

　低圧ポンプには主に遠心ポンプ等の非容積型ポンプが使用されている。これらのポンプは大容量に対して有利であり、サクションフィルターも例えばストレーナー程度のものでよく、メンテナンス性に優れている。しかし、高圧を得るにはインペラーを多段にして設置する必要があり、ポンプ部分が長くなって設置スペースが大きく取られる点が不利である。

　中圧及び高圧ポンプにおいては、トロコイドポンプのような容積型ポンプが効率に優れている。
　しかし、容積型ポンプで大容量を得るには、大容量のローターが必要になり、本体も大きなものになる。また、異物の噛みこみによりポンプが故障する恐れがあるため、吸入側にフィルターが不可欠となる。その結果、配管の手間が増えると共にフィルターの定期的なメンタナンスが必要になる。
　そのため、中圧及び高圧ポンプとしては、非容積型ポンプとしては実質的に不可能な程度の高圧で吐出するべき場合以外には、非容積型ポンプが多く使用されている。

　ここで、工作機械に使用されるクーラント液に異物が混入していると、加工中の材料の傷や工具の磨耗・損傷の原因となる。そのため、例えばタンク内部にスラッジ除去装置を設置し、ポンプの保護を目的としたストレーナーを設け、或いは、サクションフィルターとは別にフィルターを設置し、以って、清浄なクーラント液を供給している。
　特に高圧ポンプにより供給されるクーラント液では、噴出する液体の速度も速くなる場合があるので、クーラント液中の異物が加工中の材料に与える影響も大きくなる。そのため、クーラント液の清浄を、厳密に行なう必要がある。

　例えば、クーラントの様な作業流体を清浄にするために、従来から種々の技術が提案されている。
　一般的な型式のフィルター付きクーラントポンプに係る従来技術では、電動モーターで駆動される容積型ポンプの吸入側にフィルターを取り付けている。しかし、ろ過にはフィルターエレメントを使用しているので、定期的にフィルターエレメントの洗浄または交換を行う必要がある。
　また構造上、重量が大きいため、大きな重量に耐えることが出来る頑丈で大きな台に設置する必要がある。さらに、係る従来技術はサイズが大きくなるため、大きな設置スペースがなければ設置できないという問題を有している。

　その他の従来技術として、例えば、サイクロンフィルターの吸入側及び流出側に電動モーターで回転するインペラーを接続して、その流出側にポンプを配置したものが提案されている（特許文献１参照）。
　しかし、係る従来技術ではサイクロンフィルター内部に異物が滞留するので、定期的にサイクロンフィルター内部に滞留した異物を除去する作業が必要となる。また、インペラーに自吸性はなく、インペラーが接液するまでは液体を吐出できない欠点がある。

　或いは、サイクロンフィルターの流出側に遠心ポンプを設けたものも提案されている（特許文献２参照）。さらに、サイクロンフィルターの流出側に軸流ポンプを設けたものも提案されている（特許文献３参照）。
　しかし、係る従来技術（特許文献２、特許文献３）においても、サイクロンフィルター内部に滞留した異物を除去する作業が必要である。それに加えて、自吸性がないため、吸入側に別途作動流体を吸い込む（呼び込む）ための装置が必要となる。

特開２００５－２７９６０９号公報 特公昭４９－１００２６号公報 特開平６－２２１２９３号公報

　本発明は上述した従来技術の問題点に鑑みて提案されたものであり、定期的なメンテナンスが不要で、自吸性を具備しており、軽量且つ小型なポンプ装置の提供を目的としている。

　本発明のポンプ装置（Ｐ１、Ｐ２）は、（例えば、電動モーター１によって駆動される）容積型ポンプ（例えば、トロコイドポンプ９）と、容積型ポンプ（９）の吸入側に設けたサイクロンフィルター（１２）と、サイクロンフィルター（１２）の吸入側に設けられた非容積型ポンプ（遠心ポンプ、インペラー４０）を備え、前記サイクロンフィルター（１２）は一次サイクロン（２０）及び二次サイクロン（３０）を含み、一次サイクロン（２０）及び二次サイクロン（３０）は分離された異物（切り粉等）を排出する機構（排出口２０ｃ、３０ｃ）を設けており、前記非容積型ポンプ（４０）の吐出流量は前記容積型ポンプ（９）の吐出流量よりも大きくなる様に設定されており、前記容積型ポンプ（９）と前記サイクロンフィルター（１２）と前記非容積型ポンプ（４０）とは垂直方向に直線状に連結して配置されていることを特徴としている（図１～図８参照）。

　本発明において、前記一次サイクロン（２０）の流出口（２０ｂ）と前記二次サイクロン（３０）の吸入口（３０ａ）とを連通する空間に、二次回転ポンプ（二次インペラー６０）を配置することが好ましい（図９～図１１参照）。

　また本発明のポンプ装置（Ｐ３～Ｐ６）は、（例えば、電動モーターによって駆動される）容積型ポンプ（例えば、トロコイドポンプ９）と、容積型ポンプ（９）の吸入側に設けたサイクロンフィルター（１２０）と、サイクロンフィルター（１２０）の排出側に設けられた非容積型ポンプ（遠心ポンプ、コンタミ排出用インペラー４００）を備え、前記サイクロンフィルター（１２０）は一次サイクロン（２００、２００Ａ）及び二次サイクロン（３００）を含み、一次サイクロン（２００、２００Ａ）及び二次サイクロン（３００）は分離された異物（切り粉等）を排出する機構（排出口２００ｃ、３００ｃ）を設けており、前記容積型ポンプ（９）と前記サイクロンフィルター（１２０）と前記非容積型ポンプ（４００）とは垂直方向に直線状に連結して配置されており、前記非容積型ポンプ（４００）は一次サイクロン（２００、２００Ａ）及び二次サイクロン（３００）から排出された異物を包含する作動流体を吸引する機能（或いは、吸引し、外部へ加圧して排出する機能）を有していることを特徴としている（図１２～図２４、図２７～図２９参照）。

　上述した本発明のポンプ装置（Ｐ４、Ｐ６）において、前記一次サイクロン（２００、２００Ａ）の流出口（２００ｂ）と前記二次サイクロン（３００）の吸入口（３００ａ）とを連通する空間に、二次回転ポンプ（二次インペラー６００）を配置することが好ましい（図２５、図２６、図３０参照）。
　そして、前記二次回転ポンプ（二次インペラー６００）の吐出流量は前記容積型ポンプ（９）の吐出流量よりも大きくなる様に設定されるのが好ましい。

　本発明のポンプ装置（Ｐ５、Ｐ６）の実施に際して、二次サイクロン（３００）の排出口（３００ｃ）が連通している空間（Ｃａ）と前記非容積型ポンプ（４００）が収容されている空間（Ｃｂ）とを区画する隔壁（仕切り板４５０ｂ）が設けられており、一次サイクロン（２００Ａ）の排出口（２００ｃ）下端部が前記隔壁（４５０ｂ）近傍まで延在しているのが好ましい。

　上述した構成を具備する本発明のポンプ装置によれば、一次サイクロン（２０、２００、２００Ａ）及び二次サイクロン（３０、３００）により、比較的大きな異物（固体）は一次サイクロン（２０、２００、２００Ａ）により分離され、比較的小さな異物（固体）は二次サイクロン（３０、３００）により分離されるので、清浄な作動流体のみが容積型ポンプ（９）に供給され、容積型ポンプ（９）の寿命が向上する。
　また、一次サイクロン（２０、２００、２００Ａ）及び二次サイクロン（３０、３００）は分離された固体を排出する機構（排出口２０ｃ、２００ｃ、３０ｃ、３００ｃ）を設けているので、一次サイクロン（２０、２００、２００Ａ）及び二次サイクロン（３０、３００）で分離された固体は一次サイクロン（２０、２００、２００Ａ）及び二次サイクロン（３０、３００）の内部に滞留することなく、固体を排出する機構（排出口２０ｃ、２００ｃ、３０ｃ、３００ｃ）から排出される。そのため、一次サイクロン（２０、２００、２００Ａ）及び二次サイクロン（３０、３００）の内部から固体を除去する作業を別途行なう必要がなく、フィルター構造について、いわゆるメンテナンスフリーの状態が実現出来る。

　また本発明によれば、清浄液を吐出する容積型ポンプ（９）よりも非容積型ポンプ（４０）の吐出流量を多くしたので、容積型ポンプ（９）の吸入口における吸入負圧により、一次サイクロン（２０）及び／又は二次サイクロン（３０）の内部に負圧が発生することが防止され、排出口（２０ｃ、３０ｃ）から作動流体が逆流してしまうことが防止される。
　そのため、逆流した作動流体に混在する異物が、容積型ポンプ（９）に吸入されてしまうことが防止される。

　さらに本発明によれば、容積型ポンプ（トロコイドポンプ９）とサイクロンフィルター（１２、１２０）と非容積型ポンプ（４０、４００）とが垂直方向に直線状に連結して配置されているので、ポンプ装置全体をコンパクト化することが可能である。それと共に、設置スペースを省略することが出来る。

　本発明によれば、一次サイクロンの排出口（２０ｃ、２００ｃ）、二次サイクロンの排出口（３０ｃ、３００ｃ）、ストレーナー（２６ＳＴ）を作動流体（例えば、クーラント）の液面以下に配置することにより、トロコイドポンプ（９）の自吸性を確保することが出来る。
　また、非容積型ポンプ（４０、４００）は容積型ポンプ（９）及びサイクロンフィルター（１２、１２０）と一体化しているので、容積型ポンプ（９）について、従来は必要とされていた吸入側へのフィルターを別途設置することが不要になる。
　これに加えて、本発明によれば、作動流体が工作機械のクーラントであれば、容積型ポンプ（９）から清浄な高圧クーラントを供給することが出来るので、工作機械の加工精度が向上する。

　本発明において、一次サイクロン（２０、１２０）の流出口（２０ｂ、２００ｂ）と前記二次サイクロン（３０、３００）の吸入口（３０ａ、３００ａ）とを連通する空間に、二次回転ポンプ（二次インペラー６０、６００）を配置すれば、二次サイクロン（３０、３００）における旋回流（Ｃｎ、Ｆ７ｘ）の流速が早くなり、微細な異物を作動流体から分離することが出来る。
　また、二次回転ポンプ（二次インペラー６０、６００）により作動流体にヘッドが付加される結果、二次サイクロン（３０、３００）における吐出圧力が上昇し、容積型ポンプ（トロコイドポンプ９）の吸入口における負圧との相乗効果により、容積型ポンプ（トロコイドポンプ９）の作動流体吸入を促進することが出来る。
　それに加えて、二次回転ポンプ（二次インペラー６０、６００）によりヘッドが付加されて二次サイクロン（３０、３００）における圧力が上昇するので、容積型ポンプ（トロコイドポンプ９）の吸入口に負圧が存在しても、二次サイクロン（３０、３００）内に負圧が生じることが防止される。

　本発明のポンプ装置（Ｐ３～Ｐ６）において、前記非容積型ポンプ（４００）が一次サイクロン（２００、２００Ａ）及び二次サイクロン（３００）から排出された異物を包含する作動流体を吸引する機能を有する様に構成すれば、（２００、２００Ａ）及び二次サイクロン（３００）から排出された異物（コンタミ）を作動流体貯蔵用の容器（例えば、クーラントタンク）に戻すことに代えて、前記非容積型ポンプ（４００）の吐出口から異物の処理機構（図２１～図２４参照）に供給することが容易となる。
　そのため、作動流体貯蔵用の容器（例えば、クーラントタンク）を長期間に亘って、清浄な状態に保つことが出来る。

　これに加えて、本発明のポンプ装置（Ｐ５、Ｐ６）において、二次サイクロン（３００）の排出口（３００ｃ）が連通している空間（Ｃａ）と前記非容積型ポンプ（４００）が収容されている空間（Ｃｂ）とを区画する隔壁（仕切り板４５０ｂ）が設けられており、一次サイクロン（２００Ａ）の排出口（２００ｃ）下端部が前記隔壁（４５０ｂ）近傍まで延在する様に構成すれば、二次サイクロン（３００）から排出されたコンタミを含んだクーラントの流れ（Ｆ８、Ｆ８ｘ）が、一次サイクロン（２００Ａ）内に逆流しようとしても、排出口（２００ｃ）下端部が前記隔壁（４５０ｂ）近傍まで延在する一次サイクロン（２００Ａ）により、遮断される。
　また、一次サイクロン（２００Ａ）からのコンタミを含むクーラントの流れ（Ｆ１２）が二次サイクロン（３００）内に逆流しようとしても、一次サイクロン（２００Ａ）の排出口（２００ｃ）下端部が前記隔壁（４５０ｂ）近傍に位置しているので、当該クーラントの流れ（Ｆ１２）は、前記非容積型ポンプ（４００）が収容されている空間（Ｃｂ）に吸引される。

本発明の第１実施形態を示す側断面図である。 第１実施形態に係るポンプ装置と従来のクーラントポンプ装置とを比較して示す説明図である。 インペラーケーシングとクーラントの流れを示す断面図である 一次サイクロンに流入するまでのクーラントの流れを示す断面図である。 一次サイクロンに流入した後のクーラントの流れを示す断面図である。 一次サイクロンから流出して二次サイクロンへ流入するクーラントの流れを示す断面図である。 二次サイクロンから流出して、ポンプ吐出口から吐出されるクーラントの流れを示す断面図である。 図７のＹ－Ｙ線矢視断面図である。 本発明の第２実施形態を示す部分断面図である。 図９のＸ－Ｘ線矢視断面図である。 二次インペラーと二次サイクロンに連通する切欠との関係を示す説明図である。 本発明の第３実施形態を示す側断面図である。 第３実施形態におけるポンプシャフトと延長シャフトの接続部を示す断面図である。 第３実施形態で用いられるインペラーの取り付け状態を示す断面図である。 第３実施形態に係るポンプ装置の一次サイクロンの縦断面図である。 第３実施形態において、一次サイクロンに流入するまでのクーラントの流れを示す断面図である。 第３実施形態において、一次サイクロンに流入した後のクーラントの流れを示す断面図である。 第３実施形態において、一次サイクロンから流出して二次サイクロンへ流入したクーラントの流れを示す断面図である。 第３実施形態において、二次サイクロンから流出して、ポンプ吐出口から吐出されるクーラントの流れを示す断面図である。 第３実施形態において、排出用インペラーからクーラントが排出される状態を示す部分断面図である。 第３実施形態に係るポンプ装置を工作機械のクーラント供給に用いる場合の機器の配置を示す図である。 第３実施形態に係るポンプ装置を工作機械のクーラント供給に用いる場合の機器の配置を示し、図２１とは異なる機器の組み合わせを示す説明図である。 第３実施形態に係るポンプ装置を工作機械のクーラント供給に用いる場合の機器の配置を示し、図２１、図２２とは異なる機器の組み合わせを示す説明図である。 第３実施形態に係るポンプ装置を工作機械のクーラント供給に用いる場合の機器の配置を示し、図２１、図２２、図２３とは異なる機器の組み合わせを示す説明図である。 本発明の第４実施形態を示す側断面図である。 第４実施形態において、一次サイクロンから流出して二次サイクロンへ流入したクーラントの流れを示す断面図である。 本発明の第５実施形態を示す側断面図である。 第５実施形態に係るポンプ装置の一次サイクロンの縦断面図である。 第５実施形態において、排出用インペラーからクーラントが排出される状態を示すインペラーケーシングの縦断面図である。 本発明の第６実施形態を示す側断面図である。 排出用インペラーの変形例を示す断面図である。 図３１の排出用インペラーの斜視図である。

　以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図１～図８は、本発明の第１実施形態を示している。
　図１において、全体を符号Ｐ１で示すポンプ装置は、電動モーター１と、台部２と、トロコイドポンプ９と、サイクロンフィルター１２とを備えている。
　電動モーター１は台部２の上面に配置されており、台部２の下面２ｕは、クーラントタンクＴの上面に配置されている。
　図１において、台部２の下方には、トロコイドポンプ９が取り付けられている。
　ここで、トロコイドポンプ９はインナーローターとアウターローターから成るトロコイドローター１０の噛み合いによる容積変化により作動流体を吐出するポンプである。そして、トロコイドポンプ９の下方或いは吸入側には、符号１２で包括的に示すサイクロンフィルターが取り付けられている。

　電動モーター１の駆動軸１ａは、下方に延在している。駆動軸１ａの下端部にカップリング４が取り付けられている。カップリング４は、駆動軸１ａに固定された上部カップリング４ａと、上部カップリング４ａに着脱可能な下部カップリング４ｂを備えている。
　下部カップリング４ｂの下方には、駆動軸１ａより小径なシャフト６が取り付けられている。シャフト６には、トロコイドポンプ９のローター１０が固着されている。
　シャフト６は、ローター１０を貫通して、サイクロンフィルター１２の下部まで延在している。図３で示す様に、シャフト６の下端部には、インペラー４０が締結されている。

　図１において、台部２の内部には中央空間部２ａが形成され、中央空間部２ａではカップリング４が回転自在に配置されている。
　中央空間部２ａの下部に貫通孔２ｂが形成され、貫通孔２ｂ内ではシャフト６を回転自在に支持されている。
　図１及び図７で示す様に、貫通孔２ｂの半径方向外方には、トロコイドポンプ吐出口１０Ｂが形成されている。トロコイドポンプ吐出口１０Ｂは、図示しない工作機械における潤滑を必要とする箇所や、冷却を必要とする箇所等に連通する。

　図１において、サイクロンフィルター１２は、中央ケーシング１５と、一次サイクロン２０と、二次サイクロン３０と、インペラーケーシング４５とで構成されている。
　図１及び図７で示す様に、中央ケーシング１５は、上方部材１５ａと、中央部材１５ｂと、下方部材１５ｃで構成されている。
　上方部材１５ａは、トロコイドポンプ９を介して台部２に固着されている。上方部材１５ａには貫通孔１５ｄが形成され、貫通孔１５ｄ内ではシャフト６が回転自在に支持されている。

　中央部材１５ｂはオイルシールＯＳ１５を備え、オイルシールＯＳ１５はシャフト６に密着摺動しトロコイドポンプ９の吸入口１０Ａへの異物の侵入を防止している。
　また、中央部材１５ｂには、複数の二次サイクロン３０における二次サイクロン流入口３０ａ及び二次サイクロン流出口３０ｂが配置されており、二次サイクロン流入口３０ａ及び二次サイクロン流出口３０ｂは、複数の二次サイクロン３０における上方の領域に設けられている。
　ここで、中央部材１５ｂの下部には案内溝２０ａが形成されており、案内溝２０ａは二次サイクロン吸入口３０ａに連通している。

　図７のＹ－Ｙ矢視断面図である図８で示す様に、中央部材１５ｂの中心部にシャフト６が貫通しており、シャフト６の半径方向外方には、複数の湾曲した案内溝２０ａが形成されている。案内溝２０ａの各々の半径方向内方端部は一次サイクロン流出口２０ｂに連通しており、案内溝２０ａの半径方向外方端部は二次サイクロン吸入口３０ａに連通している。
　（二次サイクロン吸入口３０ａに連通している）案内溝２０ａの半径方向外方端部は切欠として構成されており、当該切欠位置は二次サイクロン吸入口３０ａの接線方向に連通しており、当該切欠と二次サイクロン吸入口３０ａは、その境界に段差を生じないように接続されている。案内溝２０ａの半径方向外方端部における切欠と、二次サイクロン吸入口３０ａは、段差を生じないように接続することにより、クーラントは効率良く二次サイクロン３０内に流入する。

　図７で示す様に、下方部材１５ｃの中心部は、一次サイクロン２０の流出口２０ｂを支持している。
　下方部材１５ｃの半径方向外方の周縁部には、複数の二次サイクロン３０の上部が固定されている。
　そして下方部材１５ｃは、一次サイクロン２０の上部を支持しており、一次サイクロンケーシング２６の上部を支持している。

　サイクロンフィルター１２は、比較的大きな異物を分離する一次サイクロン２０と、比較的小さな異物を分離する複数の二次サイクロン３０とを有している。
　図４、図５で示す様に、一次サイクロン２０は、一次サイクロンケーシング２６の半径方向内方に収容されており、インペラー４０の吐出部に連通する吸入口４５ｃを有している。そして、一次サイクロン２０と一次サイクロンケーシング２６の間の環状空間２０Ｉは、吸入口４５ｃと一次サイクロン２０の流入口２０ｄを連通する流路を構成している。

　一次サイクロン２０の上方縁部２０ＥＵと下方部材１５ｃの間には切欠があり、一次サイクロン２０の流入口（一次サイクロン流入口）２０ｄを構成している。
　一次サイクロン２０の上方の領域には、一次サイクロン流出口２０ｂが設けられている。
　一次サイクロン流出口２０ｂの半径方向内方の空間には、シャフト６が貫通している。換言すれば、一次サイクロン流出口２０ｂはシャフト６を包囲する様に配置されており、一次サイクロン２０から二次サイクロン３０に向うクーラントは、シャフト６の外周面と一次サイクロン流出口２０ｂの内周面の環状空間を経由して流れる様に構成されている。

　図４、図５から明らかな様に、一次サイクロン２０は、上方から中央にかけては同一径であるが、中央から下方に向うにつれて縮径する形状である。
　一次サイクロン２０の下方端部２０ＥＤは、上部ケーシング４５ａにより支持されている。そして、一次サイクロン２０の下方端部２０ＥＤは、一次サイクロン排出口２０ｃに連通している。

　複数の二次サイクロン３０は、一次サイクロンケーシング２６の周縁部に配置されている。
　細かい異物を除去するために、二次サイクロン３０の径を小さくして、内部の旋回流（Ｃｎ：図６参照）の周方向速度を早くする必要がある。しかし、二次サイクロン３０の径寸法を小さくすると、二次サイクロン３０の吐出量はトロコイドポンプ９の吸入量に等しいので、二次サイクロン３０の吐出流速が速くなりすぎる。そのため、二次サイクロン３０を複数（図示の実施形態では例えば６個）配置して、複数の二次サイクロン３０全体の吐出流量が、トロコイドポンプ９の吸入流量に対応できる様に構成されている。この時、二次サイクロン３０の排出口３０ｃより異物を吸入しない様に一次サイクロン２０の吐出流量をインペラー容量と一次サイクロン２０の排出容量で調整しなければならない。

　図６で示す様に、二次サイクロン３０の上方には二次サイクロン流入口３０ａが設けられ、二次サイクロン流入口３０ａは、上述した様に、中央部材１５ｂの下面側に形成された案内溝２０ａに連通している。
　二次サイクロン流入口３０ａの半径方向内方には、二次サイクロン流出口３０ｂが設けられている。換言すれば、二次サイクロン流入口３０ａは、二次サイクロン流出口３０ｂの半径方向外方の環状空間として構成されている。
　二次サイクロン３０の下方端部には、小径の二次サイクロン排出口３０ｃが形成されている。クーラント内に混入した比較的小さな異物は、二次サイクロン排出口３０ｃから二次サイクロン３０外に排出される。

　図３、図４において、インペラーケーシング４５は、上部ケーシング４５ａと、下部ケーシング４５ｂにより構成されている。
　上部ケーシング４５ａには、一次サイクロンケーシング２６の吸入口４５ｃ及び一次サイクロン排出口２０ｃが形成されている。
　下部ケーシング４５ｂは、その下方に凹状となった空隙４５ｄが形成されている。
　一次サイクロンケーシング２６の吸入口４５ｃは、空隙４５ｄと、インペラー４０を介して環状空間２０Ｉを連通している。ここで、環状空間２０Ｉは、一次サイクロン２０と一次サイクロンケーシング２６の間に形成されている。

　下部ケーシング４５ｂは、締結用ボルトＢ４０により、上部ケーシング４５ａに固定されている。
　下部ケーシング４５ｂの中央部には吸入孔４５ｅが形成されており、吸入孔４５ｅはインペラー吸入口４０ａに連通している。

　上部ケーシング４５ａと下部ケーシング４５ｂの間の空間４５Ｉに、インペラー４０が配置されている。インペラー４０は、シャフト６の末端部に固着されている。
　インペラー４０は、中央内部のインペラー吸入口４０ａからクーラントＣｆを吸入して、ヘッドを付加するように構成されている。図示はされていないが、インペラー４０に代えて、斜流ポンプ、軸流ポンプ、渦巻きポンプ、及びその他の遠心ポンプを用いることも出来る。また、インペラー４０は、図３で示すセミオープンインペラーに限定されるのではなく、図３１、図３２で示す様なクローズドインペラーであっても良い。
　下部ケーシング４５ｂの下縁部には、大きな異物がポンプ装置内に侵入することを防止するため、ストレーナー５０が取り付けられている。

　インペラー４０の吐出量は、トロコイドポンプ９の吐出量を上回るように構成されている。ポンプ吸入口１０Ａの吸入負圧によって、一次サイクロン２０及び二次サイクロン３０の内部が負圧にならぬようにするためである。
　一次サイクロン２０及び二次サイクロン３０が負圧になると、異物を排出する排出口である一次サイクロン排出口２０ｃ及び／又は二次サイクロン排出口３０ｃから、異物を含んだクーラントが、一次サイクロン２０及び二次サイクロン３０に逆流して、トロコイドポンプ９を損傷してしまう恐れがある。
　係る危険性を回避するために、一次サイクロン２０及び二次サイクロン３０の内部が正圧となり、一次サイクロン排出口２０ｃ及び／又は二次サイクロン排出口３０ｃから（異物を包含する）クーラントが一次サイクロン２０及び二次サイクロン３０の内部に逆流しない様に、インペラー４０の吐出量がトロコイドポンプ９の吐出量を上回るように設定されている。

　図２において、右側の領域に第１実施形態に係るポンプ装置Ｐ１が示されている。
　第１実施形態に係るポンプ装置Ｐ１は、図２の左側の領域に示す従来のポンプ装置に比較して、設置面積或いは投影面積が小さい。第１実施形態に係るポンプ装置Ｐ１では、モータ１、トロコイドポンプ９、サイクロンフィルター１２、インペラー４０が、垂直方向に１直線状に配置されているからである。
　図２において、インペラー４０はクーラントタンクＴの液面Ｔａよりも下方に位置しているので、いわゆる「呼び水」等を行なわなくても、第１実施形態に係るポンプ装置Ｐ１はタンクＴからクーラントを吸入してトロコイドポンプ９に供給して、図示しない工作機械に供給することが出来る。すなわち、図示の実施形態のポンプ装置Ｐ１は、自吸性を有する様に構成されている。

　次に、第１実施形態に係るポンプ装置Ｐ１におけるクーラントの流れについて、図１～図８を参照して説明する。
　図１、図３において、インペラー４０が回転することにより、クーラントタンクＴ内のクーラントは、矢印Ｃｆで示す様に、インペラー４０に吸入される。その際に、ストレーナー５０によって、クーラントに包含される大きな異物が除去される。ついで、インペラー吸入口４５ｅ及びインペラー吸入口４０ａを経由して、クーラントはインペラー４０の内部に流入する。流入したクーラントは、インペラー４０の回転によりヘッドが付加されて、矢印Ｃｇで示す様に、空間４５Ｉ内で、半径方向外方に向かって付勢される。

　クーラントの流れＣｇは空間４５Ｉ内で旋回流を形成し、矢印Ｃｈで示す様に、空間４５Ｉの外周部から円弧状の案内溝２０ａを通ってケーシング吸入口４５ｃに吸入される。
　そして図４で示す様に、ケーシング吸入口４５ｃから空間２０Ｉに流入したクーラントは、矢印Ｃｉで示すクーラントの旋回流となり、一次サイクロン２０とケーシング２６の間の空間２０Ｉを旋回しながら上昇して、一次サイクロン吸入口２０ｄを介して一次サイクロン２０内に流入する。

　そして、一次サイクロン２０内でクーラントは旋回流Ｃｊ（図５参照）となって、下方に進行する。
　一次サイクロン２０内で旋回流Ｃｊが進行する間に、クーラントに包含された大きな異物は下方に降下する。降下した異物は、矢印Ｃｊｏで示す様に、一次サイクロン排出口２０ｃからクーラントタンクＴ内に排出される。同時に、余剰のクーラントが、一次サイクロン排出口２０ｃからクーラントタンクＴに排出される。
　図５で示すように、一次サイクロン２０の下方に到達したクーラントの旋回流Ｃｊは、矢印Ｃｋ（点線）で示す様に、シャフト６に沿って上昇する。一次サイクロン２０の下方の内径が減少しているため、旋回流Ｃｊが進行することにより一次サイクロン２０の下方の圧力が上昇する。係る圧力上昇により、旋回流Ｃｊは反転して、上方に向う流れＣｋとなる。

　矢印Ｃｋで示すクーラントの流れは、一次サイクロン流出口２０ｂを介して（一次サイクロン２０から）流出し、図６における矢印Ｃｍで示す様に、中央部材１５ｂ下面の案内溝２０ａを介して、二次サイクロン吸入口３０ａから、二次サイクロン３０内に流入する。

　クーラントの旋回流Ｃｎは、二次サイクロン３０内を下方向に進行する。そして、内径が減少することにより、二次サイクロン３０の下方領域では、クーラントの旋回流Ｃｎが進行することにより、圧力が上昇する。そのため、下降して来た旋回流Ｃｎは反転し、流れＣｏとなって、二次サイクロン３０内を上昇する。
　そして、クーラントの流れＣｏは、二次サイクロン流出口３０ｂ、ポンプ吸入口１０Ａ（図７参照）を経由して、トロコイドポンプ９に吸入される。
　図７において、トロコイドポンプ９のローター１０によって昇圧されたクーラントは、矢印Ｃｐで示す様に、ポンプ吐出口１０Ｂから高圧のクーラントとして、図示しない工作機械側に吐出される。

　ここで、一次サイクロン２０、二次サイクロン３０には、トロコイドポンプ９の吸入口１０Ａにおける負圧が作用する恐れがある。
　しかし、上述した様に、インペラー４０の吐出流量がトロコイドポンプ９の吐出流量よりも大きく設定されており、一次サイクロン２０、二次サイクロン３０にはトロコイドポンプ９の吐出量以上のクーラントが供給され、トロコイドポンプ９の吸入口１０Ａにおける負圧が作用しても、一次サイクロン２０、二次サイクロン３０内が負圧となってしまうことはない。
　そのため、一次サイクロン２０の一次サイクロン排出口２０ｃからクーラントが一次サイクロン２０内に逆流すること、二次サイクロン３０の二次サイクロン排出口３０ｃからクーラントが二次サイクロン３０内に逆流することが防止される。

　図示しない工作機械に供給されたクーラントは、切（削）粉を含んだ状態で、クーラントタンクＴ（図２参照）に戻される。
　クーラント中の切（削）粉は比重が大きいので、クーラントタンクＴの底部に沈殿する。沈殿した切（削）粉は、スラッジとしてクーラントタンクＴ外に排出される。クーラントタンクＴに残ったクーラントは、上述した態様で、再びポンプ装置内に吸入されて、一次サイクロン２０、二次サイクロン３０により異物が除去されて、トロコイドポンプ９のポンプ吐出口１０Ｂから、図示しない工作機械側に吐出される。

　上述した様に、第１実施形態では、トロコイドポンプ９の吐出量を上回る様にインペラー４０の吐出量が設定されているので、一次サイクロン２０及び／又は二次サイクロン３０の内部が負圧にならず、一次サイクロン排出口２０ｃ及び／又は二次サイクロン排出口３０ｃから、クーラントタンクＴ内の要清浄化液が逆流せず、異物を包含したクーラントがトロコイドポンプ９内に吸入されることがないという利点がある。
　そして、一次サイクロン２０で分離された異物は一次サイクロン排出口２０ｃを介して排出され、二次サイクロン３０で分離された異物は二次サイクロン排出口３０ｃを介して排出されるので、一次サイクロン２０、二次サイクロン３０の内部に異物は滞留せず、そのため、定期的に一次サイクロン２０、二次サイクロン３０内から異物を除去する作業が不必要になる。
　また、電動モーター１、トロコイドポンプ９、サイクロンフィルター１２、インペラー４０までが垂直方向に直列に配置され、設置投影面積が減少するので、スペースが節約されるという利点がある。

　次に、図９～図１１を参照して、本発明の第２実施形態（ポンプ装置全体に符号Ｐ２を付す）を説明する。以下の説明では、図１～図８で示す第１実施形態とは異なる部分を中心に説明する。
　図９において、中央ケーシング部１５は、上方部材１５ａ（図９では明示せず）と、中央部材１５ｂと、下方部材１５ｃから構成されている。
　そして、中央部材１５ｂの下面と、下方部材１５ｃの間の空間である二次インペラーケーシング６０ｃ（図１０参照）には、二次インペラー６０が配置されている。二次インペラー６０はシャフト６に取り付けられている。
　また、二次インペラー６０は、図３で示すセミオープンインペラーに限定されるのではなく、図３１、図３２で示す様なクローズドインペラーであっても良い。

　図９のＸ－Ｘ矢視断面を示す図１０において、符号６０ａは二次インペラー６０の基部平坦部である。二次インペラー６０は、基部平坦部６０ａに、湾曲した複数の羽根６０Ａを取り付けて構成されている。
　図１０において、中央部材１５ｂには、二次インペラー６０の半径方向外方に符号１３０で示す切欠が形成されている。切欠１３０は、中央部材１５ｂの円周方向に等間隔に形成されており、二次インペラーケーシング６０ｃと同じ深さで形成されている。切欠１３０の断面形状は、一部が欠けた円形である。

　切欠１３０の直下に二次サイクロン３０が設けられている。
　第１実施形態で説明したのと同様に、切欠１３０と二次サイクロン３０の流入口３０ａの境界部分に段差が生じない様に構成されている。
　切欠１３０を模式的に示す図１１において、切欠１３０が正円に対して欠けている部分が、二次インペラーケーシング６０ｃと重複している。
　以下、係る重複している部分（図１１でハッチングを付けた箇所）を「切欠１３０と二次インペラーケーシング６０ｃとの重複部分」と標記する。

　切欠１３０と二次インペラーケーシング６０ｃとの重複部分の幅寸法が、図１１では符号Ｌで示されている。発明者の実験によれば、幅寸法Ｌは、二次インペラーケーシング６０ｃの内径をＤ０、切欠１３０の内径（二次サイクロン３０の流入口３０ａの内径）をＤ１、二次サイクロン流出口３０ｂの外径をＤ２とすれば、
　一般的にサイクロンの最適寸法である　Ｄ１≒３Ｄ２　の場合に、
　Ｄ０≒（３～５）Ｄ１　であれば、　Ｌ＝（０．６～０．８）×Ｄ１　であるのが望ましい。

　図１１において、「切欠１３０と二次インペラーケーシング６０ｃとの重複部分」の左端Ｌｏを基点とする接線Ｌｔ（二次インペラーケーシング６０ｃを示す円の接線）が、二次サイクロン流出口３０ｂを示す外径Ｄ２の円を通過しない様にすることが好ましい。

　クーラントの流れについて、第１実施形態と異なる部分を主として説明する。
　図１０において、二次インペラー６０が矢印Ｒ方向に回転すると、クーラントは矢印Ｃｒで示す流れとなり、切欠１３０内に流入する。そして、切欠１３０内では渦流Ｓとなり、二次サイクロン吸入口３０ａに流入し、クーラントの旋回流Ｃｎ（図９参照）が形成される。
　そして、二次インペラー６０の回転エネルギによりクーラントの旋回流Ｃｎ（図９参照）が形成されるので、第１実施形態に比較して旋回流Ｃｎの流速が速くなり、より細かい異物の分離が可能になる。

　切欠１３０を上述した様に形成することにより、二次インペラー６０が回転して発生するクーラントの旋回流Ｃｒのエネルギは、クーラントが二次サイクロン３０内で旋回流Ｃｎを形成するのに効率良く変換される。
　ここで、切欠１３０と二次インペラーケーシング６０ｃとの重複部分の幅寸法Ｌが小さ過ぎると、二次インペラー６０が回転してもクーラントは切欠１３０、二次サイクロン３０内に流入し難くなる。
　一方、切欠１３０と二次インペラーケーシング６０ｃとの重複部分の幅寸法Ｌが大き過ぎると、切欠１３０内において、矢印ＡＳで示す流れ（図１０参照）が生じ、係る流れＡＳは渦流Ｓを打ち消す様に作用するので、二次インペラー６０が回転して発生するエネルギが、二次サイクロン３０内で旋回流Ｃｎ（図９参照）を形成するのに変換され難くなってしまう。
　また、切欠１３０と二次インペラーケーシング６０ｃとの重複部分を大きくし過ぎると、二次サイクロン流出口３０ｂと重複（或いは干渉）してしまうので不都合である。

　図９～図１１を参照して説明した第２実施形態によれば、二次インペラー６０によりクーラントにヘッドが付加されて、二次サイクロン３０における旋回流Ｃｎの流速が早くなるので、第１実施形態に比較して、二次サイクロン３０でクーラントからより微細な異物を分離することが出来るという効果がある。
　また、二次インペラー６０によりヘッドが付加される結果、二次サイクロン３０における吐出圧力が上昇する。二次サイクロン３０における吐出圧力の上昇は、トロコイドポンプ９の吸入口１０Ａ（図７参照）における負圧との相乗効果により、クーラントのトロコイドポンプ９への吸入を促進する。

　それに加えて、二次インペラー６０によりヘッドが付加されて二次サイクロン３０における吐出圧力が上昇するので、トロコイドポンプ９の吸入口１０Ａ（図７参照）に負圧が発生しても、二次サイクロン３０内に負圧が生じることはない。そのため、二次サイクロン排出口３０ｃから、タンクＴ内のクーラントが（二次サイクロン３０内に）逆流してしまうことが、第１実施形態に比較して、より一層防止される。
　この時、二次インペラー６０の吐出流量をトロコイドポンプ９の吐出流量より多く設定することは一次インペラー４０と同様である。
　第２実施形態における上述した以外の構成及び作用効果については、第１実施形態と同様である。

　次に、図１２～図２４、図３１、図３２を参照して、本発明の第３実施形態を説明する。
　なお、図１２～図３０において、図１～図１１で示す実施形態と同様な構成要素については、図１～図１１で用いたと同様な符号を付している。
　図１２において、第３実施形態に係るポンプ装置は、全体を符号Ｐ３で示されており、電動モーター１と、台部２と、トロコイドポンプ９と、サイクロンフィルター１２０とを備えている。サイクロンフィルター１２０の（図１２における）下方には、排出用インペラーケーシング４５０が設けられている。

　台部２の中央には、中央空間部２ａが形成されている。中央空間部２ａは、明示しないオイルシール格納室を挟んで、貫通孔２ｂによって、台部２の下端側と連通している。貫通孔２ｂは、シャフト６Ａを回転自在に支持している。
　図１２では明示していないオイルシール格納室にはオイルシールＯＳが介装され、作動流体（例えば、クーラント）が、貫通孔２ｂを経由して電動モーター１側に浸入するのを防止している。
　電動モーター１は台部２の上面に配置されている。台部２の下面（取付け面）２ｕは、例えば、クーラントタンクＴの上面に取り付けられる。

　電動モーター１の駆動軸１ａは、垂直方向（図１２では下方）に延在し、その駆動軸１ａの下端部にカップリング４が取り付けられている。カップリング４は、駆動軸１ａに固定された上部カップリング４ａと、上部カップリング４ａに着脱可能な下部カップリング４ｂを備えている。
　カップリング４は、台部２の中央空間部２ａに収容されている。

　台部２の下方には、トロコイドポンプ９が取り付けられている。トロコイドポンプ９は、インナーローターとアウターローターから成るトロコイドローター１０の噛み合いによる容積変化により作動流体を吐出するポンプである。
　台部２における貫通孔２ｂの半径方向外方には、トロコイドポンプの吐出口１０Ｂが形成されている。
　トロコイドポンプ９の回転軸（以下、「ポンプシャフト」と言う）６Ａは、トロコイドローター１０を貫通するように配置され、トロコイドローター１０と一体になって回転する様に構成されている。

　図１２では、トロコイドポンプ９の下端面側には、サイクロンフィルター１２０の構成要件の一つである中央ケーシング１５０が配置されている。
　サイクロンフィルター１２０は、中央ケーシング１５０と、一次サイクロン２００と、複数の二次サイクロン３００と、サイクロンケーシング１５０ｆと、排出用インペラーケーシング４５０を備えている。
　中央ケーシング１５０は、上方部材１５０ａと、中央部材１５０ｂと、下方部材１５０ｃを有している。

　上方部材１５０ａは円環の外縁を有する蓋状体であり、その中央には貫通孔１５０ｄが形成されており、貫通孔１５０ｄ内でポンプシャフト６Ａを回転自在に支持している。
　上方部材１５０ａには、垂直方向に延在して（上方部材１５０ａを）貫通するポンプ吸入口１０Ａが形成されており、ポンプ吸入口１０Ａは貫通孔１５０ｄに隣接して設けられている。
　中央部材１５０ｂの中央には、オイルシールＯＳ１５０を格納するためのオイルシール格納室１５２ｂが形成されている。オイルシール格納室１５２ｂにはオイルシールＯＳ１５０が格納されており、オイルシールＯＳ１５０はシャフト６Ａに密着摺動し、トロコイドポンプ９の吸入口１０Ａへの異物の侵入を防止している。

　下方部材１５０ｃの中央には貫通孔１５２ｃが形成されており、貫通孔１５２ｃは延長シャフト６Ｃの上端部を回動自在に収容すると共に、作動流体（クーラント等）が通過する。
　図１２では、下方部材１５０ｃの下面側には、一次サイクロン流出口２００ｂと、ガイド部材１５０ｇと、サイクロンケーシング１５０ｆと、複数の二次サイクロン３００と、複数の取付ボルト挿通用ステム１５０ｃｓが、（下方部材１５０ｃに）取り付けられている。ガイド部材１５０ｇは、一次サイクロン２００の流入口として機能する。ここで、一次サイクロン流出口２００ｂ、ガイド部材１５０ｇ、サイクロンケーシング１５０ｆと、複数の二次サイクロン３００、取付ボルト挿通用ステム１５０ｃｓの順番で、下方部材１５０ｃの半径方向中心部から半径方向外方に配置されている。
　下方部材１５０ｃにおける貫通孔１５２ｃと、複数の二次サイクロン３００の各々における流入口３００ａとは、複数の案内溝２００ａによって連通する様に形成されている。案内溝２００ａは、図８で示す案内溝２０ａに相当する構成要件であり、中央部材１５０ｂに形成されており、図１２の左右方向の平面内において（平面的に）湾曲した形状となっている。

　下方部材１５０ｃにおける一次サイクロン流出口２００ｂは、下方部材１５０ｃの下面側中央における円筒形状の部材として構成されている。一次サイクロン流出口２００ｂは、その一部が１次サイクロン２００の内部に侵入する様に構成されている。
　下方部材１５０ｃにおけるガイド部材１５０ｇは、例えば、全体が円筒形状に構成されている。図１２では明示されていないが、円筒形状に構成されたガイド部材１５０ｇは部分的に切り欠かれており、当該切欠箇所が、一次サイクロン流入口として機能するように構成されている。
　また、ガイド部材１５０ｇの下端は、一次サイクロン２００の上端を固定して支持するように構成されている。

　下方部材１５０ｃにおけるサイクロンケーシング１５０ｆは、円筒状に形成され、サイクロンケーシング１５０ｆの下端と、インペラーケーシング４５０の上方部材４５０ａとによって、円筒状のストレーナー２６ＳＴを固定している。
　ストレーナー２６ＳＴを経由して、作動流体（例えば、クーラント）がポンプ装置Ｐ３へ流入する。換言すれば、ストレーナー２６ＳＴは、ポンプ装置Ｐ３における作動流体の流入口である。
　ストレーナー２６ＳＴは、大きな異物がポンプ装置内に侵入することを防止する機能を奏する。ストレーナー２６ＳＴの外径寸法は、サイクロンケーシング１５０ｆの外寸法形と等しく設定されている。

　下方部材１５０ｃに取り付けられた複数の二次サイクロン３００は、一次サイクロン２００及び下方部材１５０ｃに対して、第１実施形態と同様に配置されている。図１８のＹ－Ｙ線矢視断面図は図８と同様となる。そのため、図１８のＹ－Ｙ線矢視断面は、別途図示してはいない。
　図１２において、下方部材１５０ｃにおける取付ボルト挿通用ステム１５０ｃｓは、細長い筒状に形成されている。そして、細長い筒状の取付ボルト挿通用ステム１５０ｃｓの内部には、インペラーケーシング取付用ボルトＢ２５の軸部が挿通される。

　上方部材１５０ａ、中央部材１５０ｂ、下方部材１５０ｃは、それぞれ隣接する部材同士でインロー構造を有し、当該インロー構造によって、同心で積層されるように構成されている。そして、部材１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃの境界は、シール（Ｏ－リング等）により気密とされている。
　上方部材１５０ａは、上方部材１５０ａと台部２との間にトロコイドポンプ９を介装した状態で、複数本の通しボルトＢ１０によって台部２の下端に取り付けられている。
　そして、台部２の下端に取り付けられた上方部材１５０ａに、インロー構造によって予め積層した中央部材１５０ｂ及び下方部材１５０ｃが、複数本の通しボルトＢ１５によって締結されている。

　下部カップリング４ｂの下方には、ポンプシャフト６Ａが取り付けられている。前述したように、ポンプシャフト６Ａには、トロコイドポンプ９のローター１０が、公知の手段（例えば、キーやピン、コッター等）で固着されている。
　ポンプシャフト６Ａは、ローター１０を貫通して、中央ケーシング１５０における下方部材１５０ｃ内まで侵入している。シャフト６Ａの先端近傍には、先端に近づくに従って縮径するテーパー部分６Ａｔが形成され、その先、シャフト先端まで縮径部６Ａｂが続く（図１３参照）。

　図１３において、ポンプシャフト６Ａの下端には、シート部材６Ｄを介して、貫通ボルト６Ｂによって、円筒状の延長シャフト６Ｃがシャフト６Ａと一体に接続されている。ここで、貫通ボルト６Ｂの上端に形成された雄ねじ６Ｂｏが、シャフト６Ａ下端に形成された雌ねじ６Ａｉに螺合することによって、円筒状の延長シャフト６Ｃがポンプシャフト６Ａの下端に接続されている。
　シート部材６Ｄは円環状であり、シート部材６Ｄの半径方向内方には、シャフト６Ａのテーパー部分６Ａｔと相補形状のテーパー６Ｄｔが施されている。
　延長シャフト６Ｃの上端の中空部には上方拡径部６Ｃａが形成され、この拡径部６Ｃａにポンプシャフト６Ａの先端縮径部６Ａｂが嵌合されている。
　ここで、図１３ではポンプシャフト６Ａと延長シャフト６Ｃは別体になっているが、ポンプシャフト６Ａと延長シャフト６Ｃを一本のシャフトとして構成しても良い。

　図１４で示すように、延長シャフト６Ｃの下端の中空部には下方拡径部６Ｃｂが形成され、その下方拡径部６Ｃｂに、第１の保持部材６Ｅが嵌合されている。
　図１４において、延長シャフト６Ｃの下端には、第１の保持部材６Ｅ及び第２の保持部材６Ｎを介して、貫通ボルト６Ｂによって、コンタミ排出用のインペラー４００が取り付けられている。
　第１の保持部材６Ｅは、円筒状の外周中央に鍔部６Ｅｆを設けている。
　第２の保持部材６Ｎは、図１４における上方に円形の窪み（凹部）６Ｎａが形成され、中央部には貫通ボルト６Ｂの軸部を挿通させる貫通孔６Ｎｃが形成されている。

　第１の保持部材６Ｅにおける鍔部６Ｅｆの外径寸法と、第２の保持部材６Ｎの外径寸法とは概略同じであり、第１の保持部材６Ｅにおける軸部の外径寸法と、第２の保持部材６Ｎにおける円形の窪み（凹部）６Ｎａの内径寸法とは同じである。そして、第１の保持部材６Ｅにおける下端側の軸部と、第２の保持部材６Ｎにおける円形の窪み（凹部）６Ｎａとは、インロー構造となっている。
　インペラー４００は、中心に貫通孔４００ｉを有する薄い板状部材４０１の一方の面（図１４では上面）に、円周方向に均等ピッチとなる様に、複数のブレード４０２が放射状に形成されている。
　第１の保持部材６Ｅの軸部（図１４の下方側）は、インペラー４００の薄い板状部材４０１と嵌合可能に構成されている。

　インペラー４００は、ブレード４０２が固設された面が上になるようにして配置されている。
　インペラー４００の貫通孔４００ｉには、第１の保持部材６Ｅの軸部（図１４では下方側）が挿通されている。図１４では、第１の保持部材６Ｅの軸部の下端部は、インペラー４００の薄い板状部材４０１を貫通して、板状部材４０１から突出している。
　図１４において、板状部材４０１から突出した第１の保持部材６Ｅの軸部下端部に、第２の保持部材６Ｎの窪み（凹部）６Ｎａが嵌合している。以って、第１の保持部材６Ｅ、インペラー４００、第２の保持部材６Ｎが一体化されている。

　第１の保持部材６Ｅ、インペラー４００、第２の保持部材６Ｎが一体化した状態で、第２の保持部材６Ｎの下側（凹部６Ｎａが形成されていない側）の貫通孔６Ｎｃから、貫通ボルト６Ｂの軸部が、第１の保持部材６Ｅ、インペラー４００、第２の保持部材６Ｎに挿通されている。
　第１の保持部材６Ｅの軸部（図１４の上方側）は、延長シャフト６Ｃの下方拡径部６Ｃｂに嵌合されている。
　図１２で示すように、貫通ボルト６Ｂの雄ねじ部６Ｂｏの先端（図１２では上端）は、延長シャフト６Ｃの上端から突出している。延長シャフト６Ｃの上端から突出した貫通ボルト６Ｂの雄ねじ部６Ｂｏは、ポンプシャフト６Ａ下端の雌ねじ６Ａｉに螺合している。

　ここで、排出用のインペラー４００は、図１４で示す様なセミオープンインペラーに限定される訳ではなく、図３１、図３２において全体を符合４００Ｂで示す様なクローズドインペラーであっても良い。
　図３１、図３２において、クローズドタイプのインペラー４００Ｂは、シュラウド（側板）４４０と、その内部に設けられた複数のブレード４０２Ｂを有している。そして、シュラウド４４０は、作動流体（クーラント等）の吸入口４００Ｂｉを構成する円筒状の突起部分４４２を備えている。そして、インペラー４００Ｂは、半径方向外方端部に構成された吐出口４００Ｂｏを備えている。

　図１４で示す様なセミオープンインペラーでは、図２０において、ブレード４０２の上縁部４０２Ｔと仕切り板４５０ｂ（図１２、図２０を参照して後述）の下面４５０ｂＵの間に形成された隙間は、干渉しない程度で、出来る限り小さいことが要求される。これに対して、図３１、図３２で示すインペラー４００Ｂでは、図３１において、シュラウド４４０の半径方向外方に延在した領域の上面４４０Ｔと、仕切り板４５０ｂの下面４５０ｂＵの間の隙間については、両者が干渉しなければ、微小寸法である必要はない。
　ただし、図３１において、シュラウド４４０の突起部分４４２における外周面４４２ｏと、仕切り板４５０ｂの内周面４５０ｂｉとの間の隙間は、インペラー４００Ｂの回転に支障を生じない範囲で、出来る限り小さくすることが望ましい。これに対して、図１４のセミオープンインペラー４００では、その様な要請は存在しない。
　なお、図示はされていないが、排出用インペラー４００、４００Ｂに代えて、斜流ポンプ、軸流ポンプ、渦巻きポンプ、及びその他の遠心ポンプを用いることも出来る。

　図１３、図１４で示す構造は、図１～図１２で示す実施形態、図２５～図３０で示す実施形態についても、適用することが出来る。
　第３実施形態においても、第１実施形態及び第２実施形態と同様に、インペラー４００に代えて、斜流ポンプ、軸流ポンプ、渦巻きポンプ、及びその他の遠心ポンプを用いることも出来る。

　図１２、図２０において、インペラーケーシング４５０は、上部ケーシング４５０ａと、仕切り板４５０ｂと、下部ケーシング４５０ｃとで構成されている。
　図示の例では、上部ケーシング４５０ａ、仕切り板４５０ｂ、下部ケーシング４５０ｃの各々の外形寸法は、同一に設定されている。
　インペラーケーシング４５０における上部ケーシング４５０ａは、円筒状の外縁４５１ａを有した蓋状に形成されている。

　上部ケーシング４５０ａの中央には貫通孔４５２ａが形成され、貫通孔４５２ａには一次サイクロン２００が嵌着している。
　上部ケーシング４５０ａの外縁４５１ａ近傍の複数個所には貫通孔４５４ａが形成され、貫通孔４５４ａには二次サイクロン３００の下端が嵌着している。
　さらに、上部ケーシング４５０ａの外縁４５１ａ近傍には、複数のボルト孔４５６ａが形成されている。そして、上部ケーシング４５０ａの外縁４５１ａの下端面には、複数の雌ねじ４５８ａが形成されている。

　ここで、一次サイクロン２００は、図１５にその断面形状の一例が示されている。図１５において、一次サイクロン２００は全体が円筒形状であり、全長の大半を占める大径部２０１と、小径部２０３と、テーパー先端部２０４とを有している。大径部２０１と、小径部２０３との境界は、段部２０２となっている。
　一次サイクロン２００の円筒内部は、大径部２０１の開口側（図１５では上方）に円筒空間部２０５を有し、その円筒空間部に連続してテーパー空間部２０６が設けられており、テーパー空間部２０６は、一次サイクロン２００の下端２００ｅに向かって縮径している。ここで、テーパー空間部２０６の下端が、一次サイクロン排出口２００ｃとなっている。
　図２０において、上部ケーシング４５０ａの貫通孔４５２ａには、一次サイクロン２００の小径部２０３（図１５参照）が嵌着している。

　図２０において、インペラーケーシング４５０における仕切り板４５０ｂは、全体が円盤形状であり、中央には貫通孔４５２ｂが形成されている。そして、仕切り板４５０ｂの外縁近傍には、複数のボルト孔４５４ｂが形成されている。複数のボルト孔４５４ｂは雌ねじ４５８ａと同数だけ形成されており、複数のボルト孔４５４ｂの位置は、上部ケーシング４５０ａに形成された複数の雌ねじ４５８ａの投影位置と一致している。
　図２０では、仕切り板４５０ｂにおける貫通孔４５２ｂの直径は、インペラー４００においてブレード４０２の形成されていない領域（板状部材４０１のみの領域）の直径と、概略等しい。

　インペラーケーシング４５０における下部ケーシング４５０ｃは、全体が、円筒状の外縁を有した深皿の様な形状に形成されている。
　下部ケーシング４５０ｃにおける外縁４５１ｃの側部には、作動流体（コンタミを含む作動流体：例えば、切り粉等を包含するクーラント）を排出する排出口４５２ｃが形成されている。
　円筒状の外縁４５１ｃの下端面において、ボルト孔４５４ｂの投影位置と同一の位置には、ボルト孔４５４ｃが形成されている。ボルト孔４５４ｃの数は、仕切り板４５０ｂのボルト孔４５４ｂと同数である。

　上部ケーシング４５０ａと、仕切り板４５０ｂと、下部ケーシング４５０ｃは、これ等の部材（４５０ａ、４５０ｂ、４５０ｃ）を積層した状態で、（複数の）締結ボルトＢ４５により、一体化されている。そして、上部ケーシング４５０ａと、仕切り板４５０ｂと、下部ケーシング４５０ｃが、締結ボルトＢ４５により一体化された状態が、明細書及び添付図面では「インペラーケーシング４５０」と標記されている。
　インペラーケーシング４５０は、上部ケーシング４５０ａ及び仕切り板４５０ｂで形成される第１の空間Ｃａと、仕切り板４５０ｂ及び下部ケーシング４５０ｃで形成される第２の空間Ｃｂを備えている。
　そして、インペラー４００は、第２の空間Ｃｂ内に配置されている。
　なお、図１２～図３０の各実施形態では、図１～図１１の実施形態とは異なり、インペラー４００の吐出量は、トロコイドポンプ９の吐出量を上回るとは限らない。

　次に、図１６～図２０を参照して、ポンプ装置Ｐ３内における作動流体（例えば工作機械の冷却用に用いるクーラント）の流れを、説明する。
　図１６では明瞭ではないが、ポンプ装置Ｐ３におけるトロコイドポンプ９から下方の領域は、図２１で示す様に、クーラントタンクＴのクーラント（液）内に浸されている。
　ポンプ装置Ｐ３の起動時には、ストレーナー２６ＳＴの上端部まで、作動流体（クーラント）に浸っている必要がある。図１６において、ポンプ装置Ｐ３がクーラントタンクＴのクーラント（液）内に浸されているため、ポンプ装置Ｐ３が起動すると、作動流体であるクーラントは直ちに、ストレーナー２６ＳＴから、環状空間２００Ｉに流入する（矢印Ｆ１）。ここで、環状空間２００Ｉは、半径方向について、一次サイクロン２００とサイクロンケーシング１５０ｆとの間に形成されている。

　環状空間２００Ｉに流入したクーラントは、図１７で示す様に、環状空間２００Ｉを旋回流となって（図１７の）上方に向かって流れ（矢印Ｆ２）、一次サイクロン２００の上端とガイド部材１５０ｇの隙間（一次サイクロン流入口：ガイド部材１５０ｇに設けた図示しない切欠）から、一次サイクロン２００の内部に流入する（矢印Ｆ３）。ここで、一次サイクロン２００内へのクーラントの吸入は、トロコイドポンプ９とインペラー４００の吸引力により行なわれる。
　一次サイクロン２００の内部に流入したクーラントは、延長シャフト６Ｃと一次サイクロン２００の内周により構成される環状空間をらせん状に旋回しながら、一次サイクロン２００の内部を降下する（矢印Ｆ４）。
　図示はされていないが、一次サイクロン２００及び二次サイクロン３００の内周面に、らせん状のブレードを形成し、らせん状の旋回流が生じやすいように構成することも可能である。

　図１７から明らかな様に、一次サイクロン２００内部は、下方に向かうに連れて半径方向寸法が減少している（縮径している）。したがって、一次サイクロン２００の内部を降下するとクーラントは昇圧される。そして、一次サイクロン２００内部で、クーラントは上方に向う流れに反転（Ｕターン）し（矢印Ｆ５）、一次サイクロン２００内部の中心部を上昇する。
　一次サイクロン２００内で矢印Ｆ４で示す様にクーラントが旋回流となって下降する間に、クーラントに包含された大きな異物（コンタミ）は下方に降下する。降下した異物（コンタミ）及び余剰のクーラントは、矢印Ｆ４ｘで示す様に、一次サイクロン排出口２００ｃから、インペラーケーシング４５０の第１の空間Ｃａ（図１２、図２０参照）内に排出される。

　図１８において、一次サイクロン２００内部を上昇したクーラント（矢印Ｆ５）は、矢印Ｆ６で示すように、中央ケーシング１５０における中央部材１５０ｂに形成された案内溝２００ａを経由して、二次サイクロン流入口３００ａから二次サイクロン３００に流入する。
　二次サイクロン３００に流入したクーラントは、旋回流となって二次サイクロン３００内を下降する（矢印Ｆ７）。

　二次サイクロン３００の内径は、一次サイクロン２００の内径よりも小さいので、同じ流量なら二次サイクロン３００内で生じるクーラントの旋回流Ｆ７の円周方向速度は、一次サイクロン２００内の旋回流Ｆ４の円周方向速度よりも早くなる。
　そのため、一次サイクロン２００で除去できなかった小さな異物は、一次サイクロン２００の旋回流より流速（円周方向速度）が速い旋回流Ｆ７によって、クーラントから分離される。

　クーラントから分離した異物（比較的小さな異物：コンタミ）は、矢印Ｆ８で示す様に、二次サイクロン３００下端の二次サイクロン排出口３００ｃから、インペラーケーシング４５０の第１の空間Ｃａ（図１２、図２０参照）内に排出される。
　二次サイクロン３００の内部においても、下方に向かうに連れて半径方向寸法が減少している（縮径している）ので、二次サイクロン３００の内部を降下するとクーラントは昇圧される。そして、二次サイクロン３００内部で、クーラントは上方に向う流れに反転（Ｕターン）し（矢印Ｆ９）、二次サイクロン３００の中心部を上昇する。

　図１９において、二次サイクロン３００の内部を上昇したクーラントは、二次サイクロン排出口３００ｂから、円環状空間ＤＳに流入する（矢印Ｆ９）。円環状空間ＤＳは、中央ケーシング１５０における上方部材１５０ａと、中央部材１５０ｂで構成されている。
　円環状空間ＤＳに流入したクーラントは、上方部材１５０ａに形成されたポンプ吸入孔１０Ａを介して、トロコイドポンプ９に流入し、加圧される（矢印Ｆ１０）。
　トロコイドポンプ９で加圧されたクーラントは、矢印Ｆ１１で示す様に、流れ流路２ｃを流過し、ポンプ吐出口１０Ｂから吐出される。そして、図１９では図示しない供給系統を経由して、工作機械（図１９では図示せず）に供給される。

　図２０において、インペラーケーシング４５０の第２の空間Ｃｂ内に配置されたインペラー４００は、電動モーター１の回転によって駆動される。インペラー４００が回転することによって、第１の空間Ｃａ内は負圧になる。
　一次サイクロン２００の排出口２００ｃから排出された異物（コンタミ）を含む流体（矢印Ｆ４ｘ）と、二次サイクロン３００の排出口３００ｃから排出された異物（コンタミ）を含む流体（矢印Ｆ８）は、第１の空間Ｃａ内の負圧により吸引され、第１の空間Ｃａに流入する。そして、仕切り板４５０ｂの貫通孔４５２ｂを介して第２の空間Ｃｂに流入する。
　第２の空間Ｃｂに流入した異物（コンタミ）を含む流体は、インペラー４００が回転することにより、下方部材４５０ｃに形成された排出口４５２ｃから排出される（矢印Ｆ１４）。排出口４５２ｃから排出された異物（コンタミ）を含む流体は、図２０では図示しない処理ラインを経由して、所定の処理装置（例えばフィルターや、マグネットセパレータ等）に送られて、クーラントと異物（コンタミ：切（削）粉等）が選別処理される。

　ここで、図３１、図３２で示すクローズドインペラー４００Ｂを用いる場合には、図２０において、一次サイクロン２００の排出口２００ｃから排出された異物（コンタミ）を含む流体（矢印Ｆ４ｘ）と、二次サイクロン３００の排出口３００ｃから排出された異物（コンタミ）を含む流体（矢印Ｆ８）は、第１の空間Ｃａに流入した後、図３１において、シュラウド４４０の突起部分４４２が構成する吸入口４００Ｂｉに流入する。
　そして、吸入口４００Ｂｉからクローズドインペラー４００Ｂ内に流入した作動流体は、インペラー４００Ｂの回転により昇圧して、吐出口４００Ｂｏから第２の空間Ｃｂ（図２０参照）内に吐出される。
　その他については、図１４、図２０を参照して説明したセミオープンインペラー４００と同様である。

　図２１は、例えば、工作機械で使用されたクーラントを第３実施形態のポンプ装置Ｐ３を用いて濾過して、清浄化されたクーラントを再び工作機械に供給し、ポンプ装置Ｐ３で捕集したコンタミ中の金属片等を分離する機器（設備）を示している。
　図２１において、クーラントタンクＴの天蓋部Ｔｔの上面には、第３実施形態に係るポンプ装置Ｐ３の台部２の取付け面２ｕが取り付けられている。クーラントタンクＴには、工作機械（図示せず）から、戻しラインＲＬを介して、使用後のクーラントが戻される。そして、ポンプ装置Ｐ３の吐出口１０Ｂには、クーラント供給ラインＣＬが、図示しない工作機械まで連通している。

　ポンプ装置Ｐ３の排出口４５２ｃにはコンタミ処理ラインＸＬが接続され、コンタミ処理ラインＸＬは、マグネットセパレータＭＳにおける処理液投入口ＭＳｉの直上まで連通している。
　コンタミ処理ラインＸＬには、ラインフィルターＦＴが介装されている。ラインフィルターＦＴでは、異物が除去される。ラインフィルターＦＴで、異物が除去された後、鉄系の切（削）粉を含んだクーラント処理液は、マグネットセパレータＭＳの処理液投入口ＭＳｉに排出される。
　マグネットセパレータＭＳでは、鉄系の切（削）粉を、帯磁ローラ（図示せず）で吸い寄せ、吸い寄せた切（削）粉を所定の手段で帯磁ローラから分離して、クーラントタンクＴ脇に設置した切（削）粉回収ボックスＢＫに回収する。

　図２２は、図２１とは異なるコンタミ処理設備を示している。図２１の設備のコンタミ処理ラインＸＬに設けられているラインフィルターＦＴが、図２２の設備では省略されている。
　図２２のコンタミ処理設備は、クーラント処理液中の異物の大部分が鉄系の切（削）粉で占められており、鉄系の切（削）粉のみを除去すれば良い場合に用いられる。そして、図２２のコンタミ処理設備は、図２１の設備に比較して、ラインフィルターＦＴが省略されている分だけ、コンタミ処理ラインＸＬのメンテナンスが容易である。

　図２３のコンタミ処理設備は、図２１の設備からマグネットセパレータＭＳを省略した構造となっている。
　図２３の設備では、マグネットセパレータＭＳが省略されているので、図２１の設備に比較して、設備投資及び運転経費が軽減される。

　図２４のコンタミ処理設備は、図２１の設備からマグネットセパレータＭＳ及びラインフィルターＦＴを省略して、コンタミ処理ラインＸＬの吐出口にペーパーフィルターＰＦを備えている。
　図２４の設備は、マグネットセパレータＭＳ及びラインフィルターＦＴを省略しているので、図２１～図２３の設備よりも、設備投資及び運転経費を低く抑えることが出来る。
　なお、図２１～図２４の各設備において、第３実施形態に係るポンプ装置Ｐ３に代えて、図２５～図３０の実施形態に係るポンプ装置Ｐ４～Ｐ６を使用することが可能である。
　また、図２１～図２４の各設備を経由せずに、排出口４５２ｃから排出された作動流体（クーラント）を、直接タンクに戻しても良い。

　図１２～図２４の第３実施形態によれば、排出用のインペラー４００は、仕切り板４５０ｂを介して、一次サイクロン２００の至近距離に配置されている。しかも、二次サイクロン３００の排出口３００ｃは、仕切り板４５０ｂ上の第１の空間Ｃａ内に開口している。
　従って、ポンプ装置Ｐ３が稼動して、排出用のインペラー４００が回転すれば、第１の空間Ｃａには負圧が生じる。そして、比重量が大きな切（削）粉等のコンタミ（異物）を含んだクーラント処理液は、一次サイクロン２００排出口２００ｃ及び二次サイクロン３００の排出口３００ｃから、効率良く第２の空間Ｃｂに吸い込まれ、排出口４５２ｃからポンプ装置Ｐ３外に排出される。

　ポンプ装置Ｐ３外に排出されたコンタミを含んだクーラント処理液は、例えば、コンタミ処理ラインＸＬのラインフィルターＦＴで異物が除去される。
　異物が除去されたクーラント処理液は、更にマグネットセパレータで鉄系の切（削）粉が除去され、残ったクーラントがクーラントタンクＴ内に回収される。
　第３実施形態における上述した以外の構成及び作用効果については、第１実施形態と同様である。

　次に、図２５、図２６を参照して、第４実施形態について説明する。
　図２５、図２６で示す第４実施形態において、ポンプ装置は、全体を符号Ｐ４で示されている。
　図２５、図２６の第４実施形態は、中央ケーシング１５０における中央部材１５０ｂと下方部材１５０ｃとの間に形成されている円形断面の空間に、二次インペラー６００を設けている点で、図１２～図２４の第３実施形態と相違している。
　換言すれば、第４実施形態は、二次インペラーを設けているという点で、第２実施形態に対応している。

　第４実施形態に係るポンプ装置Ｐ４では、図２６で示す様に、中央ケーシング１５０における中央部材１５０ｂと下方部材１５０ｃとの間に、断面円形の空間１５０Ｒが形成されている。
　円形断面の空間１５０Ｒの内部には、ブレード面６０２を（図２６の）下方に向けた二次インペラー６００が、ポンプシャフト６Ａと延長シャフト６Ｃとの接続部に固着されている。そして、二次インペラー６００は、排出用のインペラー４００と同様に、電動モーター１によって回転駆動される。
　ここで、二次インペラー６００は、図１４で示す様なセミオープンインペラーに限定される訳ではなく、図３１、図３２において全体を符合４００Ｂで示す様なクローズドインペラーであっても良い。

　第４実施形態においては、インペラー４００とトロコイド９の吸引力に加えて、二次インペラー６００の吸引力により、作動流体が一次サイクロン２００内に吸引される。
　図２６において、一次サイクロン２００内部の中心近傍を上昇したクーラント（矢印Ｆ５）は、二次インペラー６００によって更にヘッドが付加されて、複数の二次サイクロン３００内部に流れ込む（矢印Ｆ６ｘ）。
　二次サイクロン３００内部のクーラントの流れＦ７ｘは、第３実施形態で示した二次サイクロン３００内部のクーラントの流れＦ７に対して、二次インペラー６００によって加速されている分だけ、圧力が増加している。その他の点については、図２６で示すクーラントの流れＦ７ｘ、Ｆ８ｘ、Ｆ９ｘは、図１８（第３実施形態）で示すクーラントの流れＦ７、Ｆ８、Ｆ９と同様の挙動を示し、同様に流れる。

　第４実施形態のポンプ装置Ｐ４における二次インペラー６００の吐出量は、トロコイドポンプ９の吐出量よりも大きく設定している。
　二次インペラー６００によって、二次サイクロン３００内の内圧を高めるとともに、二次サイクロン３００内に負圧が生じるのを防止するためである。

　第４実施形態によれば、一次サイクロン２００と二次サイクロン３００との間に二次インペラー６００を介装しているので、二次サイクロン３００内のクーラントの旋回流Ｆ７ｘが、（第３実施形態の場合に比較して）更に高圧となり、矢印Ｆ７ｘの旋回流の円周方向速度がさらに高速となり、より微細な異物を（二次サイクロン３００によって）分離することが出来る。
　それに加えて、二次インペラー６００によりヘッドが付加されて二次サイクロン３００における吐出圧力が上昇するので、トロコイドポンプ９の吸入口１０Ａに負圧が発生しても、二次サイクロン３００内に負圧が生じることはない。そのため、二次サイクロン３００内における異物の分離能力が低下することは無い。
　第４実施形態における上述した以外の構成及び作用効果については、第３実施形態と同様である。

　次に、図２７～図２９を参照して、第５実施形態を説明する。
　図２７～図２９の第５実施形態において、全体を符合Ｐ５で示すポンプ装置は、一次サイクロン２００Ａの軸方向寸法を、図１２～図２０の第３実施形態における一次サイクロン２００の軸方向寸法に比較して長く設定している。
　そのため、図２７～図２９の第５実施形態では、一次サイクロン２００Ａの下端部が、図１２～図２０の第３実施形態に比較して、吐出側（図中下方）へ延長している。

　図２８において、第５実施形態で用いられる一次サイクロン２００Ａは、大径部２０１と、小径部２０３と、テーパー部２０４と、先端縮径部２０７とを有している。大径部２０１と、小径部２０３との境界は段部２０２である。
　第５実施形態の一次サイクロン２００Ａは、第３実施形態の一次サイクロン２００に比較すると、大径部２０１から小径部２０３までは同様の形状であるが、テーパー部２０４から先端縮径部２０７までの軸方向寸法が長くなっている。そして、第５実施形態の一次サイクロン２００Ａの下端２００ｅは、第３実施形態の一次サイクロン２００の下端２００ｅよりも、下方に延長している。

　図２０（第３実施形態）と図２９（第５実施形態）とを比較すれば明らかなように、第３実施形態では、一次サイクロン２００における下端位置は、第１空間Ｃａ内に侵入している（図２０）。ただし、一次サイクロン２００の下端が、第１空間Ｃａ内に侵入しない様に構成することも可能である。これに対して、図２９で示すように、第５実施形態では、一次サイクロン２００Ａにおける下端の位置は、第１空間Ｃａの下端であり、仕切り板４５０ｂ近傍の位置まで到達している。
　図２９で示すように、第５実施形態において、一次サイクロン２００Ａの下端を仕切り板４５０ｂ近傍の位置まで延長しているため、排出用インペラー４００による吸引力（一次サイクロン２００Ａからのコンタミを含むクーラントの流れＦ１２と、二次サイクロン３００からのコンタミを含むクーラントの流れＦ８を、第２空間Ｃｂへ吸引する力）が減少しても、二次サイクロン３００から排出されたコンタミを含んだクーラントの流れＦ８が一次サイクロン２００Ａ内に逆流すること、或いは、一次サイクロン２００Ａからのコンタミを含むクーラントの流れＦ１２が二次サイクロン３００に逆流することが防止される。

　二次サイクロン３００から排出されたコンタミを含んだクーラントの流れＦ８が、一次サイクロン２００Ａ内に逆流しようとしても、下端が仕切り板４５０ｂ近傍の位置まで到達している一次サイクロン２００Ａにより、遮断される。
　また、一次サイクロン２００Ａからのコンタミを含むクーラントの流れＦ１２が二次サイクロン３００に逆流しようとしても、一次サイクロン２００Ａの下端は仕切り板４５０ｂ近傍に位置しているので、そのまま、排出用インペラー４００の吸引力により、第２空間Ｃｂに流入する。
　図２７～図２９の第５実施形態における上述した以外の構成及び作用効果以外については、図１２～図２４の第３実施形態と同様である。

　次に、図３０を参照して、第６実施形態について説明する。
　図３０の第６実施形態に係るポンプ装置は、全体が符号Ｐ６で示されている。
　図３０の第６実施形態は、中央ケーシング１５０における中央部材１５０ｂと下方部材１５０ｃとの間の円形断面の空間に、二次インペラー６００を設けた点で、図２７～図２９の第５実施形態とは相違している。
　換言すれば、図３０の第６実施形態は、図２５、図２６の第４実施形態と、図２７～図２９の第５実施形態を組み合わせた実施形態である。

　図３０の第６実施形態は、図２７～図２９の第５実施形態に対して、一次サイクロン２００と二次サイクロン３００との間に二次インペラー６００を介装しているので、第５実施形態に比較して、二次サイクロン３００内がさらに高圧となり、クーラントの旋回流が高速である。その結果、第５実施形態に比較して、より微細な異物（コンタミ）が、二次サイクロン３００によってクーラントから分離される。
　それに加えて、二次インペラー６００によりヘッドが付加されて二次サイクロン３００における吐出圧力が上昇するので、トロコイドポンプ９の吸入口１０Ａに負圧が発生しても、二次サイクロン３００内に負圧が生じることはない。
　なお、第２実施形態と同様に、第５実施形態においても、二次インペラー６００の吐出流量は、トロコイドポンプ９の吐出流量より多く設定されている。
　図３０の第６実施形態における上述した以外の構成及び作用効果については、図２７～図２９の第５実施形態と同様である。

　図示の実施形態はあくまで例示であり、本発明の技術的範囲を限定するものではない。例えば、インペラー４０、４００、６００に代えて、斜流ポンプ、軸流ポンプ、渦巻きポンプ、及びその他の遠心ポンプを用いることも出来る。
　また、図示の実施形態では、作動流体として工作機械のクーラントが例示されているが、実施形態に係るポンプ装置を、下水や汚水、泥流等について使用することも出来る。

Ｔ・・・クーラントタンク
Ｔａ・・液面
１・・・電動モーター
１ａ・・・駆動軸
２・・・台部
４・・・カップリング
４ａ・・・上部カップリング
４ｂ・・・下部カップリング
６・・・シャフト
６Ａ・・・ポンプシャフト
６Ｂ・・・挿通ボルト
６Ｃ・・・延長シャフト
６Ｄ・・・シート部材
９・・・トロコイドポンプ
１０・・ローター
１０Ａ・・・ポンプ吸入口
１０Ｂ・・・ポンプ吐出口
１２・・・サイクロンフィルター
１５・・・中央ケーシング
１５ａ・・・上方部材
１５ｂ・・・中央部材
１５ｃ・・・下方部材
２０・・・一次サイクロン
２０ａ・・・案内溝
２０ｂ・・・一次サイクロン流出口
２０ｃ・・・一次サイクロン排出口
２０ｄ・・・一次サイクロン吸入口
２６・・・サイクロンケーシング
２６ＳＴ、５０・・・ストレーナー
３０・・・二次サイクロン
３０ａ・・・二次サイクロン吸入口
３０ｂ・・・二次サイクロン流出口
３０ｃ・・・二次サイクロン排出口
４０、４００，４００Ｂ・・・インペラー
４０ａ・・・インペラー吸入口
４５・・・インペラーケーシング
４５ａ・・・インペラー上部ケーシング
４５ｂ・・・インペラー下部ケーシング
４５ｃ・・・ケーシング吸入口
６０・・・ニ次インペラー
６０ｃ・・・二次インペラーケーシング
１２０・・・サイクロンフィルター
１５０・・・中央ケーシング
１５０ａ・・・上方部材
１５０ｂ・・・中央部材
１５０ｃ・・・下方部材
１５０ｄ・・・貫通孔
１５０ｆ・・・サイクロンケーシング
１５０ｇ・・・ガイド部材
２００・・・一次サイクロン
２００ａ・・・案内溝
２００ｂ・・・一次サイクロン流出口
２００ｃ・・・一次サイクロン排出口
３００・・・二次サイクロン
３００ａ・・・二次サイクロン吸入口
３００ｂ・・・二次サイクロン排出口
４５０・・・インペラーケーシング
４５０ａ・・・上部ケーシング
４５０ｂ・・・仕切り板
４５０ｃ・・・下部ケーシング
６００・・・二次インペラー

Claims (5)

1. 　容積型ポンプと、容積型ポンプの吸入側に設けたサイクロンフィルターと、サイクロンフィルターの吸入側に設けられた非容積型ポンプを備え、前記サイクロンフィルターは一次サイクロン及び二次サイクロンを含み、一次サイクロン及び二次サイクロンは分離された異物を排出する機構を設けており、前記非容積型ポンプの吐出流量は前記容積型ポンプの吐出流量よりも大きくなる様に設定されており、前記容積型ポンプと前記サイクロンフィルターと前記非容積型ポンプとは垂直方向に直線状に連結して配置されていることを特徴とするポンプ装置。
2. 　前記一次サイクロンの流出口と前記二次サイクロンの吸入口とを連通する空間に、二次非容積型ポンプを配置した請求項１のポンプ装置。
3. 　容積型ポンプと、容積型ポンプの吸入側に設けたサイクロンフィルターと、サイクロンフィルターの排出側に設けられた非容積型ポンプを備え、前記サイクロンフィルターは一次サイクロン及び二次サイクロンを含み、一次サイクロン及び二次サイクロンは分離された異物を排出する機構を設けており、前記容積型ポンプと前記サイクロンフィルターと前記非容積型ポンプとは垂直方向に直線状に連結して配置されており、前記非容積型ポンプは一次サイクロン及び二次サイクロンから排出された異物を包含する作動流体を吸引する機能を有していることを特徴とするポンプ装置。
4. 　前記一次サイクロンの流出口と前記二次サイクロンの吸入口とを連通する空間に、二次回転ポンプを配置した請求項３のポンプ装置。
5. 　二次サイクロンの排出口が連通している空間と前記非容積型ポンプが収容されている空間とを区画する隔壁が設けられており、一次サイクロンの排出口下端部が前記隔壁近傍まで延在している請求項３、４の何れかのポンプ装置。

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