WO2011155324A1 - Inkjet application device - Google Patents
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Abstract
An inkjet application device is provided with an inkjet head (21) which has a nozzle surface (22), a band-shaped woven member (64) which wipes the nozzle surface (22), and a conveyance arm (56). The inkjet head (21) has formed therein: nozzle holes (24) which open out to the nozzle surface (22) and which eject ink; and an ink supply pipe and an ink supply chamber which supply the ink toward the nozzle holes (24). In a front view of the nozzle surface (22), the nozzle surface (22) has defined thereon: a nozzle hole region (41) in which the nozzle holes (24) are open; and a closed region (42) which is disposed adjacent to the nozzle hole region (41) and from which the ink supply pipe and the ink supply chamber which are formed within the inkjet head (21) project. The conveyance arm (56) moves the band-shaped woven member (64) against the inkjet head (21) along the direction in which the nozzle hole region (41) and the closed region (42) are arranged.
Description
この発明は、一般的には、インクジェット塗布装置に関し、より特定的には、ノズル面を拭き取るためのクリーニング機構を備えるインクジェット塗布装置に関する。
The present invention generally relates to an ink jet coating apparatus, and more particularly to an ink jet coating apparatus including a cleaning mechanism for wiping the nozzle surface.
従来のインクジェットヘッドのクリーニング装置に関して、たとえば、特開２００６－２４８１０２号公報には、インクジェットヘッドのノズル面の余剰吐出液の拭き取り状態を向上させ、溶液の吐出を安定させることを目的としたインクジェット塗布装置が開示されている（特許文献１）。
Regarding a conventional inkjet head cleaning device, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-248102 discloses an inkjet coating for the purpose of improving the wiping state of excess ejection liquid on the nozzle surface of an inkjet head and stabilizing the ejection of the solution. An apparatus is disclosed (Patent Document 1).
特許文献１に開示されたインクジェット塗布装置は、ワイピングクロスと、そのワイピングクロスをインクジェットヘッドのノズル面の前面に繰り出す繰り出し機構と、ワイピングクロスをノズル面に押し付けるローラとを有する。ワイピングクロスは、低発塵性の吸水性を有する帯状の部材、たとえばポリエステル繊維から形成されている。ローラがワイピングクロスをノズル面に対して押圧しつつ、ノズル面に沿って移動することによって、ノズル面が拭き取られる。
The inkjet coating apparatus disclosed in Patent Document 1 includes a wiping cloth, a feeding mechanism that feeds the wiping cloth to the front surface of the nozzle surface of the inkjet head, and a roller that presses the wiping cloth against the nozzle surface. The wiping cloth is formed of a band-shaped member having a low dust generation and water absorption, for example, a polyester fiber. The nozzle surface is wiped off by the roller moving along the nozzle surface while pressing the wiping cloth against the nozzle surface.
また、特開２００５－３０５８４５号公報には、液体吐出ヘッドのノズル面のクリーニング効果を向上させることを目的とした、液体吐出ヘッドのクリーニング装置が開示されている（特許文献２）。特許文献２に開示されたクリーニング装置は、ノズル面に接触する面が繊維質の吸収体によって形成され、ノズル面をワイプするクリーニングローラを備える。
Also, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-305845 discloses a liquid ejection head cleaning device for the purpose of improving the cleaning effect of the nozzle surface of the liquid ejection head (Patent Document 2). The cleaning device disclosed in Patent Document 2 includes a cleaning roller in which a surface that contacts the nozzle surface is formed by a fibrous absorbent body and wipes the nozzle surface.
また、特開２００６－７５７７号公報には、吐出信頼性を向上させることを目的とした印字清掃機構が開示されている（特許文献３）。特許文献３に開示された印字清掃機構は、弾性のある多孔質材からなるクリーニングローラと、不織布からなり、インクの拭き取り時にインクを供給するヘッド部とクリーニングローラとの間に配置されるクリーニングペーパとを備える。
In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-7577 discloses a print cleaning mechanism aimed at improving ejection reliability (Patent Document 3). The print cleaning mechanism disclosed in Patent Document 3 includes a cleaning roller made of an elastic porous material, and a cleaning paper made of a nonwoven fabric and disposed between a head portion that supplies ink when the ink is wiped off, and the cleaning roller. With.
基板の表面にレジストや配向膜などの機能性膜を形成する製造工程に、インクジェット塗布装置が利用されている。インクジェット塗布装置の利用に際しては、ノズル面に付着したインクの液膜によって安定したインクの吐出が妨げられるおそれがあるため、ノズル面に付着したインクを拭き取るためのクリーニング装置が用いられる。具体的には、ノズル面がある程度湿った状態を維持するようにインクを拭き取ることにより、吐出の安定性が実現される。
An inkjet coating apparatus is used in a manufacturing process for forming a functional film such as a resist or an alignment film on the surface of a substrate. When using the ink jet coating apparatus, there is a possibility that stable ink ejection may be hindered by the liquid film of the ink adhering to the nozzle surface. Therefore, a cleaning device for wiping off the ink adhering to the nozzle surface is used. Specifically, the ejection stability is realized by wiping the ink so that the nozzle surface is kept moist to some extent.
しかしながら、ノズル面に付着するインクの量は、ノズル孔との位置関係に起因して場所によって異なる。この場合に、付着するインク量が少ないにもかかわらず、他の場所と同じようにインクを拭き取ると、その場所でノズル面が乾燥し、インクの残渣が固形化する現象が生じる。さらに、固形化したインクによってノズル面の状態が悪化し、その状態が進行すると、インクを安定して吐出できないという懸念が生じる。
However, the amount of ink adhering to the nozzle surface varies depending on the location due to the positional relationship with the nozzle holes. In this case, if the ink is wiped off in the same manner as in other places even though the amount of ink adhering is small, the nozzle surface is dried in that place, and the ink residue is solidified. Furthermore, when the state of the nozzle surface deteriorates due to the solidified ink and the state progresses, there is a concern that the ink cannot be stably ejected.
そこでこの発明の目的は、上記の課題を解決することであり、インクの吐出が安定化されるインクジェット塗布装置を提供することである。
Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide an ink jet coating apparatus in which ink ejection is stabilized.
この発明に従ったインクジェット塗布装置は、ノズル面を有するインクジェットヘッドと、ノズル面を拭き取るための吸収体と、移動機構部とを備える。インクジェットヘッドには、ノズル面に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔と、複数のノズル孔に向けてインクを供給する供給孔とが形成される。吸収体は、ノズル面に付着したインクを吸収する。移動機構部は、吸収体とノズル面とを対向させた状態で、吸収体およびインクジェットヘッドを相対移動させる。ノズル面を正面から見た場合に、ノズル面には、複数のノズル孔が開口する第１領域と、第１領域に隣り合って配置され、インクジェットヘッドの内部に形成された供給孔が投影される第２領域とが規定される。移動機構部は、第１領域および第２領域が並ぶ方向に沿って吸収体およびインクジェットヘッドを相対移動させる。
An ink jet coating apparatus according to the present invention includes an ink jet head having a nozzle surface, an absorber for wiping the nozzle surface, and a moving mechanism. The ink jet head is formed with a plurality of nozzle holes that open on the nozzle surface and eject ink, and supply holes that supply ink toward the plurality of nozzle holes. The absorber absorbs ink adhering to the nozzle surface. The moving mechanism unit relatively moves the absorber and the inkjet head in a state where the absorber and the nozzle surface face each other. When the nozzle surface is viewed from the front, a first area where a plurality of nozzle holes are opened and a supply hole which is disposed adjacent to the first area and is formed inside the inkjet head are projected onto the nozzle surface. The second region is defined. The moving mechanism unit relatively moves the absorber and the inkjet head along the direction in which the first region and the second region are arranged.
このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、吸収体は、ノズル面に付着するインク量が多い第１領域と、ノズル面に付着するインク量が少ない第２領域とを順に拭き取るように、インクジェットヘッドに対して相対移動される。これにより、第１領域に付着したインクが吸収体によって吸収されるとともに、吸収体に吸収されたインクが第２領域に移る。これにより、第２領域が極度に乾燥し、ノズル面にインクの固形物が生じることを防止できる。結果、本発明によれば、インクジェット塗布装置からのインクの吐出を安定化させることができる。
According to the inkjet coating apparatus configured in this way, the absorber wipes the first region with a large amount of ink adhering to the nozzle surface and the second region with a small amount of ink adhering to the nozzle surface in order, It is moved relative to the inkjet head. Thereby, the ink adhering to the first region is absorbed by the absorber, and the ink absorbed by the absorber moves to the second region. Accordingly, it is possible to prevent the second region from being extremely dried and the ink solid matter from being generated on the nozzle surface. As a result, according to the present invention, it is possible to stabilize the ejection of ink from the ink jet coating apparatus.
また好ましくは、複数のインクジェットヘッドが、第１領域および第２領域が一方向に並ぶように設けられる。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、複数のインクジェットヘッドの第１領域および第２領域が順に吸収体によって拭き取られる。このため、各インクジェットヘッドの第２領域が極度に乾燥し、ノズル面にインクの固形物が生じることを防止できる。
Preferably, a plurality of inkjet heads are provided so that the first region and the second region are aligned in one direction. According to the ink jet coating apparatus configured in this manner, the first region and the second region of the plurality of ink jet heads are sequentially wiped by the absorber. For this reason, it can prevent that the 2nd area | region of each inkjet head dries extremely, and the solid substance of an ink arises on a nozzle surface.
また好ましくは、各インクジェットヘッドの第１領域が、第１領域および第２領域が並ぶ方向に沿って千鳥状に配置されるように、複数のインクジェットヘッドが複数列に渡って設けられる。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、各列の複数のインクジェットヘッドの第１領域および第２領域が順に吸収体によって拭き取られる。このため、各インクジェットヘッドの第２領域が極度に乾燥し、ノズル面にインクの固形物が生じることを防止できる。
Also preferably, a plurality of inkjet heads are provided in a plurality of rows so that the first region of each inkjet head is arranged in a staggered manner along the direction in which the first region and the second region are arranged. According to the ink jet coating apparatus configured as described above, the first region and the second region of the plurality of ink jet heads in each row are sequentially wiped by the absorber. For this reason, it can prevent that the 2nd area | region of each inkjet head dries extremely, and the solid substance of an ink arises on a nozzle surface.
また好ましくは、吸収体は、インクを吸収可能な帯状部材が多層に巻き回されて形成される。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、帯状部材を多層に巻き回す構造によって、吸収体の吸液性を高めることができる。
Preferably, the absorber is formed by winding a belt-like member capable of absorbing ink in multiple layers. According to the ink jet coating apparatus configured as described above, the absorbent property of the absorber can be increased by the structure in which the belt-shaped member is wound in multiple layers.
また好ましくは、帯状部材は、編み物からなる。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、インクが編み物の編み目に浸入するため、ノズル面に付着したインクを吸収体に吸収することができる。
Also preferably, the belt-like member is made of knitting. According to the ink jet coating apparatus configured as described above, the ink enters the stitches of the knitted fabric, so that the ink adhering to the nozzle surface can be absorbed by the absorber.
また好ましくは、複数のノズル孔を通じてポリイミドの溶液が基板に向けて吐出される。吸収体によって、ノズル面に付着したポリイミドの溶液が拭き取られる。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、ポリイミドの溶液を安定して基板に向けて吐出することができる。
Preferably, the polyimide solution is discharged toward the substrate through a plurality of nozzle holes. The polyimide solution adhering to the nozzle surface is wiped off by the absorber. According to the inkjet coating apparatus configured as described above, the polyimide solution can be stably discharged toward the substrate.
また好ましくは、第１領域および第２領域は、吸収体およびインクジェットヘッドの相対移動に伴って、吸収体による第１領域の拭き取りに連続して第２領域の拭き取りが実施されるように配置されている。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、第１領域からインクを吸収した吸収体によって第２領域が拭き取られるため、第２領域が極度に乾燥することを防止できる。
Preferably, the first area and the second area are arranged such that the second area is wiped continuously with the wiper of the first area by the absorber as the absorber and the inkjet head move relative to each other. ing. According to the ink jet coating apparatus configured as described above, the second region is wiped off by the absorber that has absorbed the ink from the first region, so that the second region can be prevented from being extremely dried.
以上に説明したように、この発明に従えば、インクの吐出が安定化されるインクジェット塗布装置を提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide an ink jet coating apparatus in which ink ejection is stabilized.
この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings referred to below, the same or corresponding members are denoted by the same reference numerals.
図１は、この発明の実施の形態におけるインクジェット塗布装置を示す斜視図である。図１を参照して、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０は、液晶ディスプレイの製造工程において、液晶基板１６の表面に配向膜を形成する工程に用いられる。
FIG. 1 is a perspective view showing an ink jet coating apparatus according to an embodiment of the present invention. With reference to FIG. 1, the inkjet coating apparatus 10 in this Embodiment is used for the process of forming an alignment film on the surface of the liquid crystal substrate 16 in the manufacturing process of a liquid crystal display.
まず、インクジェット塗布装置１０の基本的な構造について説明すると、インクジェット塗布装置１０は、載置台１２と、搬送アーム１４と、インクジェットヘッド２１とを有する。
First, the basic structure of the inkjet coating apparatus 10 will be described. The inkjet coating apparatus 10 includes a mounting table 12, a transport arm 14, and an inkjet head 21.
載置台１２には、インクを吐出する対象物である液晶基板１６が載置される。液晶基板１６は、配向膜が形成される主表面１６ａを有する。液晶基板１６は、主表面１６ａが水平方向に延在するように載置台１２に載置される。液晶基板１６は、主表面１６ａを正面から見た場合に矩形形状を有する。液晶基板１６は、一例として、２１６０×２４６０ｍｍ、もしくは２８５０×３０５０ｍｍのサイズを有する大型基板である。
On the mounting table 12, a liquid crystal substrate 16 that is a target for ejecting ink is placed. The liquid crystal substrate 16 has a main surface 16a on which an alignment film is formed. The liquid crystal substrate 16 is mounted on the mounting table 12 so that the main surface 16a extends in the horizontal direction. The liquid crystal substrate 16 has a rectangular shape when the main surface 16a is viewed from the front. As an example, the liquid crystal substrate 16 is a large substrate having a size of 2160 × 2460 mm or 2850 × 3050 mm.
本実施の形態では、液晶基板１６に配向膜を形成するため、主表面１６ａにポリイミドの溶液が塗布される。なお、液晶基板１６の主表面１６ａに塗布される材料は、ポリイミドに限られず、配向膜の原料となりうる材料が適宜選択される。
In the present embodiment, in order to form an alignment film on the liquid crystal substrate 16, a polyimide solution is applied to the main surface 16a. The material applied to the main surface 16a of the liquid crystal substrate 16 is not limited to polyimide, and a material that can be a raw material for the alignment film is appropriately selected.
インクジェットヘッド２１は、液晶基板１６に向けてインクを吐出する機能を有する。インクジェットヘッド２１は、載置台１２の上方に設けられている。インクジェットヘッド２１は、ノズル面２２を有する。ノズル面２２は、水平方向に延在する。
The inkjet head 21 has a function of ejecting ink toward the liquid crystal substrate 16. The inkjet head 21 is provided above the mounting table 12. The inkjet head 21 has a nozzle surface 22. The nozzle surface 22 extends in the horizontal direction.
搬送アーム１４は、載置台１２に載置された液晶基板１６と、インクジェットヘッド２１とを相対移動させるための基板用の移動機構部として設けられている。より具体的には、搬送アーム１４は、載置台１２に接続されおり、載置台１２を矢印１０１に示す水平方向に搬送することが可能なように設けられている。搬送アーム１４の駆動に伴って、載置台１２に載置された液晶基板１６がインクジェットヘッド２１の下を通過する。この間、ノズル面２２から液晶基板１６に向けてポリイミドの溶液が吐出されることにより、主表面１６ａにポリイミド膜が塗布される。
The transport arm 14 is provided as a moving mechanism unit for the substrate for moving the liquid crystal substrate 16 mounted on the mounting table 12 and the inkjet head 21 relative to each other. More specifically, the transport arm 14 is connected to the mounting table 12 and is provided so as to be able to transport the mounting table 12 in the horizontal direction indicated by the arrow 101. As the transport arm 14 is driven, the liquid crystal substrate 16 mounted on the mounting table 12 passes under the inkjet head 21. During this time, a polyimide solution is discharged from the nozzle surface 22 toward the liquid crystal substrate 16, whereby a polyimide film is applied to the main surface 16a.
図２は、図１中の矢印ＩＩに示す方向から見たインクジェットヘッドを示す底面図である。図３は、図２中のＩＩＩ－ＩＩＩ線上に沿ったインクジェットヘッドを示す断面図である。
FIG. 2 is a bottom view showing the ink-jet head viewed from the direction indicated by arrow II in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the ink jet head taken along line III-III in FIG.
図２および図３を参照して、本実施の形態では、複数のインクジェットヘッド２１ｐが組み合わさって、インクジェットヘッド２１が構成されている。複数のインクジェットヘッド２１ｐは、液晶基板１６の搬送方向（図２中の矢印１０１に示す方向）に直交する方向（図２中の矢印１０２に示す方向）に並んでいる。複数のインクジェットヘッド２１ｐは、各インクジェットヘッド２１ｐのノズル面２２が同一平面上に延在するように組み合わされている。液晶基板１６の搬送方向に直交する方向におけるインクジェットヘッド２１の全長は、同方向における液晶基板１６の幅よりも大きくなるように設定されている。インクジェットヘッド２１ｐは、互いに同一構造を有する。
Referring to FIG. 2 and FIG. 3, in the present embodiment, the inkjet head 21 is configured by combining a plurality of inkjet heads 21p. The plurality of inkjet heads 21p are arranged in a direction (direction indicated by an arrow 102 in FIG. 2) orthogonal to the transport direction (direction indicated by the arrow 101 in FIG. 2) of the liquid crystal substrate 16. The plurality of inkjet heads 21p are combined so that the nozzle surfaces 22 of the inkjet heads 21p extend on the same plane. The total length of the inkjet head 21 in the direction orthogonal to the transport direction of the liquid crystal substrate 16 is set to be larger than the width of the liquid crystal substrate 16 in the same direction. The inkjet heads 21p have the same structure.
なお、組み合わされるインクジェットヘッド２１ｐの数は、液晶基板１６の大きさを考慮して適宜決定される。
The number of inkjet heads 21p to be combined is appropriately determined in consideration of the size of the liquid crystal substrate 16.
インクジェットヘッド２１ｐは、ブロック部材としてのヘッド本体３１およびノズル板３２と、可撓板３８と、ピエゾ（圧電）素子３６と、駆動部３４とを有する。
The inkjet head 21p includes a head main body 31 and a nozzle plate 32 as a block member, a flexible plate 38, a piezoelectric (piezoelectric) element 36, and a drive unit 34.
ヘッド本体３１には、その上面から下面に貫通する開口部３５が形成されている。開口部３５の内側には、駆動部３４および複数のピエゾ素子３６が配置されている。ヘッド本体３１の下面には、開口部３５を塞ぐように可撓板３８が設けられている。ノズル板３２は、可撓板３８を覆うようにヘッド本体３１の下面に取り付けられている。ノズル板３２は、ノズル面２２を有する。ノズル面２２は、液晶基板１６の搬送方向に短辺を有し、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に長辺を有する、矩形形状を有する。
The head body 31 has an opening 35 penetrating from the upper surface to the lower surface. Inside the opening 35, a drive unit 34 and a plurality of piezo elements 36 are arranged. A flexible plate 38 is provided on the lower surface of the head body 31 so as to close the opening 35. The nozzle plate 32 is attached to the lower surface of the head body 31 so as to cover the flexible plate 38. The nozzle plate 32 has a nozzle surface 22. The nozzle surface 22 has a rectangular shape having a short side in the transport direction of the liquid crystal substrate 16 and a long side in a direction orthogonal to the transport direction of the liquid crystal substrate 16.
インクジェットヘッド２１ｐには、複数のノズル孔２４が形成されている。ノズル孔２４は、液晶基板１６に向けてインクを吐出するための孔である。ノズル孔２４は、ノズル板３２に形成されている。ノズル孔２４は、ノズル面２２に開口するように形成されている。複数のノズル孔２４は、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に互いに間隔を隔てて並んでいる。
A plurality of nozzle holes 24 are formed in the inkjet head 21p. The nozzle hole 24 is a hole for ejecting ink toward the liquid crystal substrate 16. The nozzle hole 24 is formed in the nozzle plate 32. The nozzle hole 24 is formed so as to open in the nozzle surface 22. The plurality of nozzle holes 24 are arranged at intervals from each other in a direction orthogonal to the transport direction of the liquid crystal substrate 16.
本実施の形態では、複数のノズル孔２４が、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に沿って千鳥状に並んでいる。液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に配列されるノズル孔２４の数は、液晶基板１６の搬送方向に配列されるノズル孔２４の数よりも多い。
In the present embodiment, the plurality of nozzle holes 24 are arranged in a staggered manner along a direction orthogonal to the transport direction of the liquid crystal substrate 16. The number of nozzle holes 24 arranged in the direction orthogonal to the transport direction of the liquid crystal substrate 16 is larger than the number of nozzle holes 24 arranged in the transport direction of the liquid crystal substrate 16.
インクジェットヘッド２１ｐには、複数のインク室２６がさらに形成されている。複数のインク室２６は、ノズル板３２に形成されている。複数のインク室２６は、それぞれ、複数のノズル孔２４に対応して形成されている。各ノズル孔２４は、インク室２６に連通している。インク室２６は、ノズル孔２４に対してノズル面２２の反対側に形成されている。インク室２６は、ノズル孔２４が連通する位置とは反対側で開口するように形成されている。ノズル板３２がヘッド本体３１に取り付けられた状態で、インク室２６の上記開口が可撓板３８によって閉塞されている。インク室２６には、後述するインク供給機構によって、インクが常時貯留される。
A plurality of ink chambers 26 are further formed in the inkjet head 21p. The plurality of ink chambers 26 are formed in the nozzle plate 32. The plurality of ink chambers 26 are formed corresponding to the plurality of nozzle holes 24, respectively. Each nozzle hole 24 communicates with the ink chamber 26. The ink chamber 26 is formed on the opposite side of the nozzle surface 22 with respect to the nozzle hole 24. The ink chamber 26 is formed so as to open on the side opposite to the position where the nozzle hole 24 communicates. With the nozzle plate 32 attached to the head body 31, the opening of the ink chamber 26 is closed by the flexible plate 38. Ink is always stored in the ink chamber 26 by an ink supply mechanism described later.
可撓板３８には、複数のピエゾ素子３６が固着されている。複数のピエゾ素子３６は、それぞれ、可撓板３８を隔てて複数のインク室２６と向かい合う位置に設けられている。開口部３５の内部において、ピエゾ素子３６は駆動部３４に電気的に接続されている。駆動部３４からピエゾ素子３６に駆動電力が供給されると、可撓板３８がインク室２６内に向けて撓む。この可撓板３８の変形に伴ってインク室２６内の容積が減少するため、インク室２６に貯留されたインクがノズル孔２４を通じて吐出される。
A plurality of piezo elements 36 are fixed to the flexible plate 38. Each of the plurality of piezo elements 36 is provided at a position facing the plurality of ink chambers 26 with a flexible plate 38 interposed therebetween. Inside the opening 35, the piezo element 36 is electrically connected to the drive unit 34. When drive power is supplied from the drive unit 34 to the piezo element 36, the flexible plate 38 bends into the ink chamber 26. Since the volume in the ink chamber 26 decreases with the deformation of the flexible plate 38, the ink stored in the ink chamber 26 is ejected through the nozzle holes 24.
図４は、図３中のＩＶ－ＩＶ線上に沿ったインクジェットヘッドを示す断面図である。図２から図４を参照して、インク室２６にインクを供給するためのインク供給機構について説明する。インクジェットヘッド２１ｐには、インク供給管２９およびインク供給室２８と、枝管２７とがさらに形成されている。インク供給管２９およびインク供給室２８は、インクジェットヘッド２１に導入されたインクをノズル孔２４に向けて供給するための供給孔として設けられている。インク供給管２９およびインク供給室２８は、インクジェットヘッド２１の内部において、ノズル孔２４に向かうインクが通る通路を形成する供給孔として設けられている。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the ink jet head taken along line IV-IV in FIG. The ink supply mechanism for supplying ink to the ink chamber 26 will be described with reference to FIGS. An ink supply pipe 29, an ink supply chamber 28, and a branch pipe 27 are further formed in the inkjet head 21p. The ink supply pipe 29 and the ink supply chamber 28 are provided as supply holes for supplying the ink introduced into the inkjet head 21 toward the nozzle holes 24. The ink supply pipe 29 and the ink supply chamber 28 are provided inside the inkjet head 21 as supply holes that form a passage through which ink flows toward the nozzle holes 24.
インク供給室２８は、ノズル板３２に形成されている。インク供給室２８は、図３および図４中に示す断面において、複数のノズル孔２４の両側の位置にそれぞれ形成されている。枝管２７は、ノズル板３２に形成されている。枝管２７は、インク供給室２８と、複数のインク室２６との間をそれぞれ連通させるように形成されている。図４中に示す断面において、枝管２７は、液晶基板１６の搬送方向に距離を隔てたインク室２６間を通って、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に沿って直線状に延び、２つのインク供給室２８間を連通させている。さらに枝管２７は、その直線状に延びる部分から各インク室２６に向けて枝分かれして延びている。
The ink supply chamber 28 is formed in the nozzle plate 32. The ink supply chambers 28 are respectively formed at positions on both sides of the plurality of nozzle holes 24 in the cross section shown in FIGS. The branch pipe 27 is formed on the nozzle plate 32. The branch pipe 27 is formed to communicate between the ink supply chamber 28 and the plurality of ink chambers 26. In the cross section shown in FIG. 4, the branch pipe 27 extends linearly along a direction perpendicular to the transport direction of the liquid crystal substrate 16 through the ink chambers 26 spaced apart in the transport direction of the liquid crystal substrate 16. The two ink supply chambers 28 are communicated with each other. Further, the branch pipe 27 is branched and extended from the linearly extending portion toward each ink chamber 26.
インク供給管２９は、ヘッド本体３１に形成されている。インク供給管２９は、インク供給室２８に連通して形成されている。インク供給管２９は、ノズル面２２を正面から見た場合に、インク供給室２８に重なる位置に形成されている。インク供給管２９には、外部からインクジェットヘッド２１ｐにインクを供給する配管が接続されている。
The ink supply pipe 29 is formed in the head main body 31. The ink supply pipe 29 is formed in communication with the ink supply chamber 28. The ink supply pipe 29 is formed at a position overlapping the ink supply chamber 28 when the nozzle surface 22 is viewed from the front. A pipe for supplying ink from the outside to the ink jet head 21p is connected to the ink supply pipe 29.
インク供給管２９およびインク供給室２８は、ノズル面２２に開口することなく、インクジェットヘッド２１ｐの内部に形成されている。
The ink supply pipe 29 and the ink supply chamber 28 are formed in the ink jet head 21p without opening in the nozzle surface 22.
このような構成により、インク供給室２８には、インク供給管２９を通じてインクが供給される。一方、ノズル孔２４を通じてインクが吐出されるのに伴って、インク室２６の内部は負圧となる。このため、インク供給室２８に供給されたインクが、枝管２７を通って随時、インク室２６に補給される。
With this configuration, ink is supplied to the ink supply chamber 28 through the ink supply pipe 29. On the other hand, as ink is ejected through the nozzle holes 24, the inside of the ink chamber 26 becomes negative pressure. Therefore, the ink supplied to the ink supply chamber 28 is supplied to the ink chamber 26 as needed through the branch pipe 27.
図２および図３を参照して、各インクジェットヘッド２１ｐのノズル面２２には、ノズル孔２４が開口するノズル孔領域４１と、インク供給管２９およびインク供給室２８が形成され、閉塞された表面が延在する閉塞領域４２（４２ｍ，４２ｎ）とが規定されている。ノズル面２２を正面から見た場合に、インク供給管２９およびインク供給室２８は閉塞領域４２に投影される。閉塞領域４２ｍと、ノズル孔領域４１と、閉塞領域４２ｎとは、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に並んでいる。すなわち、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向において、ノズル孔領域４１は、ノズル面２２の中央に配置され、閉塞領域４２は、ノズル面２２の両端に配置されている。
2 and 3, the nozzle surface 22 of each inkjet head 21p is formed with a nozzle hole region 41 in which the nozzle holes 24 are opened, an ink supply pipe 29 and an ink supply chamber 28, and is closed. Is defined as a closed region 42 (42m, 42n). When the nozzle surface 22 is viewed from the front, the ink supply pipe 29 and the ink supply chamber 28 are projected onto the closed area 42. The closed area 42m, the nozzle hole area 41, and the closed area 42n are arranged in a direction orthogonal to the transport direction of the liquid crystal substrate 16. That is, the nozzle hole region 41 is disposed at the center of the nozzle surface 22 and the blocking regions 42 are disposed at both ends of the nozzle surface 22 in a direction orthogonal to the transport direction of the liquid crystal substrate 16.
このような構成により、複数のインクジェットヘッド２１ｐは、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２が液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に一列に並ぶように設けられている。複数のインクジェットヘッド２１ｐの配列方向において、ノズル孔領域４１と、閉塞領域４２（４２ｍ，４２ｎ）とが交互に並ぶ。
With such a configuration, the plurality of inkjet heads 21p are provided such that the nozzle hole region 41 and the closed region 42 are arranged in a line in a direction orthogonal to the transport direction of the liquid crystal substrate 16. In the arrangement direction of the plurality of inkjet heads 21p, the nozzle hole regions 41 and the closed regions 42 (42m, 42n) are alternately arranged.
図１を参照して、インクジェット塗布装置１０は、ノズル面２２に付着したインクを拭き取るためのクリーニング装置５０を有する。続いて、クリーニング装置５０の構造について説明する。
Referring to FIG. 1, the inkjet coating apparatus 10 has a cleaning device 50 for wiping off ink adhering to the nozzle surface 22. Next, the structure of the cleaning device 50 will be described.
クリーニング装置５０は、クリーニングローラ５１と、ベース部材５４と、搬送アーム５６とを有する。
The cleaning device 50 includes a cleaning roller 51, a base member 54, and a transfer arm 56.
クリーニングローラ５１は、ベース部材５４に対して着脱可能に設けられている。搬送アーム５６は、クリーニングローラ５１とインクジェットヘッド２１とを相対移動させるための移動機構部として設けられている。搬送アーム５６は、ベース部材５４に接続されており、ベース部材５４に装着されたクリーニングローラ５１を矢印１０２に示す水平方向に搬送することが可能なように設けられている。搬送アーム５６は、クリーニングローラ５１を、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に搬送することが可能なように設けられている。
The cleaning roller 51 is detachably attached to the base member 54. The transport arm 56 is provided as a moving mechanism unit for moving the cleaning roller 51 and the inkjet head 21 relative to each other. The transport arm 56 is connected to the base member 54, and is provided so that the cleaning roller 51 attached to the base member 54 can be transported in the horizontal direction indicated by the arrow 102. The transport arm 56 is provided so that the cleaning roller 51 can be transported in a direction perpendicular to the transport direction of the liquid crystal substrate 16.
なお、クリーニングローラ５１を搬送する手段は、搬送アーム５６の形態に限られず、たとえば、レールやコンベアを利用した形態であってもよい。
The means for transporting the cleaning roller 51 is not limited to the form of the transport arm 56, and may be, for example, a form using a rail or a conveyor.
図５は、図１中のクリーニングローラを示す斜視図である。図５を参照して、クリーニングローラ５１は、円柱状の外観を有する。クリーニングローラ５１は、芯筒６３と、吸収体としての帯状編み物６４とを有する。
FIG. 5 is a perspective view showing the cleaning roller in FIG. Referring to FIG. 5, the cleaning roller 51 has a cylindrical appearance. The cleaning roller 51 has a core cylinder 63 and a strip-shaped knitted fabric 64 as an absorber.
芯筒６３は、仮想線である中心軸１１０の軸線に沿って延在する筒形状を有する。帯状編み物６４は、一方向に長辺を有し、その一方向に直交する方向に短辺を有する帯形状を有する。帯状編み物６４は、芯筒６３に対して多層に巻き回されている。帯状編み物６４は、中心軸１１０を中心に巻き回されている。帯状編み物６４は、中心軸１１０の軸方向において一定の直径を有する。
The core cylinder 63 has a cylindrical shape extending along the axis of the central axis 110 that is a virtual line. The strip knitted fabric 64 has a strip shape having a long side in one direction and a short side in a direction orthogonal to the one direction. The strip knitted fabric 64 is wound around the core cylinder 63 in multiple layers. The strip-shaped knitted fabric 64 is wound around the central axis 110. The strip-shaped knitted fabric 64 has a constant diameter in the axial direction of the central shaft 110.
図６は、クリーニングローラによるノズル面の拭き取り工程を示す底面図である。図６を参照して、クリーニングローラ５１は、その搬送方向に直交する方向に中心軸１１０が延びるように位置決めされる。クリーニングローラ５１（帯状編み物６４）は、中心軸１１０の軸方向において、ノズル面２２よりも若干大きい寸法に設定されている。
FIG. 6 is a bottom view showing the nozzle surface wiping process by the cleaning roller. Referring to FIG. 6, the cleaning roller 51 is positioned such that the central shaft 110 extends in a direction orthogonal to the conveyance direction. The cleaning roller 51 (band-shaped knitted fabric 64) is set to have a size slightly larger than the nozzle surface 22 in the axial direction of the central shaft 110.
搬送アーム５６による搬送時、クリーニングローラ５１は、ノズル面２２の表面に対して平行移動しながら、複数のインクジェットヘッド２１ｐの下方を順に通過する。この間、帯状編み物６４の外周面が各インクジェットヘッド２１ｐのノズル面２２に接触することにより、ノズル面２２に付着したインクが拭き取られる。
During conveyance by the conveyance arm 56, the cleaning roller 51 sequentially passes below the plurality of inkjet heads 21p while moving parallel to the surface of the nozzle surface 22. During this time, the outer peripheral surface of the belt-shaped knitted fabric 64 comes into contact with the nozzle surface 22 of each inkjet head 21p, so that the ink attached to the nozzle surface 22 is wiped off.
なお、本実施の形態では、ノズル面２２の拭き取り時、クリーニングローラ５１を移動させることによって帯状編み物６４とインクジェットヘッド２１とを相対移動させたが、本発明はこれに限られず、たとえば、静止するクリーニングローラ５１に対してインクジェットヘッド２１を移動させてもよい。
In the present embodiment, when wiping the nozzle surface 22, the belt-shaped knitted fabric 64 and the inkjet head 21 are moved relative to each other by moving the cleaning roller 51. However, the present invention is not limited to this, and, for example, is stationary. The inkjet head 21 may be moved with respect to the cleaning roller 51.
また、クリーニングローラ５１は、編み物に替わって、たとえば、織り物や不織布などを用いて構成されてもよい。また、帯状部材を多層に巻き回す構造に限られず、たとえば、連続気泡構造を有するスポンジを用いてノズル面２２の拭き取りを行なってもよい。
Further, the cleaning roller 51 may be configured using, for example, a woven fabric or a non-woven fabric instead of the knitted fabric. Moreover, it is not restricted to the structure which winds a strip | belt-shaped member in a multilayer, For example, you may wipe off the nozzle surface 22 using the sponge which has an open cell structure.
次に、図１中のインクジェット塗布装置１０によって奏される作用、効果について説明する。
Next, functions and effects achieved by the ink jet coating apparatus 10 in FIG. 1 will be described.
図７は、クリーニングローラによる拭き取り前のノズル面の様子を示す断面図である。図７を参照して、ノズル孔２４からインクが吐出されるのに伴って、ノズル面２２にインクが付着する。この際、ノズル孔２４に近いノズル孔領域４１では、付着するインク量が多くなり、ノズル孔２４から遠い閉塞領域４２では、付着するインク量が少なくなる。ノズル面２２に厚膜のインク膜が形成されたままインクの吐出工程が実行されると、可撓板３８（図３を参照のこと）の変形に伴う駆動力がノズル面２２の表層のインクにまで十分に伝わらず、インク滴が適切に吐出されないという問題が生じる。このため、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０においては、クリーニング装置５０を用いてノズル面２２の拭き取り工程を実施する。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing the state of the nozzle surface before wiping with the cleaning roller. Referring to FIG. 7, the ink adheres to the nozzle surface 22 as the ink is ejected from the nozzle hole 24. At this time, the amount of adhering ink increases in the nozzle hole region 41 close to the nozzle hole 24, and the amount of adhering ink decreases in the closed region 42 far from the nozzle hole 24. When the ink ejection process is executed while the thick ink film is formed on the nozzle surface 22, the driving force accompanying the deformation of the flexible plate 38 (see FIG. 3) is applied to the surface layer ink on the nozzle surface 22. This causes a problem that ink droplets are not properly ejected. For this reason, in the inkjet coating apparatus 10 in this Embodiment, the cleaning process 50 is used and the wiping off process of the nozzle surface 22 is implemented.
図８は、比較のためのインクジェット塗布装置において、クリーニングローラの搬送方向を示す底面図である。図９は、図８中の比較のためのインクジェット塗布装置において、ノズル面の拭き取り工程を示す断面図である。図１０は、図９中の拭き取り工程が実施された後のノズル面の様子を示す断面図である。
FIG. 8 is a bottom view showing the conveying direction of the cleaning roller in an inkjet coating apparatus for comparison. FIG. 9 is a cross-sectional view showing a nozzle surface wiping process in the inkjet coating apparatus for comparison in FIG. FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a state of the nozzle surface after the wiping process in FIG. 9 is performed.
図８から図１０を参照して、図中に示す比較のためのインクジェット塗布装置においては、クリーニングローラ５１を、液晶基板１６の搬送方向に平行な方向（図１および図２中の矢印１０１に示す方向）に搬送させる場合が想定されている。
8 to 10, in the comparative inkjet coating apparatus shown in the figure, the cleaning roller 51 is moved in a direction parallel to the transport direction of the liquid crystal substrate 16 (indicated by an arrow 101 in FIGS. 1 and 2). The case where it conveys in the direction shown) is assumed.
この場合、図９中に示すように、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２にかかわらず、ノズル面２２に付着したインクが均一に帯状編み物６４に吸収される。このため、付着するインク量が相対的に少ない閉塞領域４２では、インクが乾いた状態となり、時間の経過とともに、インクの残渣が固形化する。その結果、図１０中に示すように、ノズル面２２に固形物７３が生じる。このような固形物７３が生じた状態で、クリーニングローラ５１による拭き取り工程を続行すると、固形物７３に起因して、帯状編み物６４の外周面とノズル面２２との間に微小な隙間が生じ、ノズル面２２の拭き取り性が低下するおそれが生じる。また、帯状編み物６４の外周面と固形物７３とが擦れることによって、帯状編み物６４の発塵性が低下するおそれが生じる。
In this case, as shown in FIG. 9, regardless of the nozzle hole region 41 and the closed region 42, the ink adhering to the nozzle surface 22 is uniformly absorbed by the belt-shaped knitted fabric 64. For this reason, in the closed region 42 where the amount of adhering ink is relatively small, the ink is in a dry state, and the ink residue is solidified as time passes. As a result, as shown in FIG. 10, a solid 73 is generated on the nozzle surface 22. When the wiping process by the cleaning roller 51 is continued in a state where such a solid material 73 is generated, a minute gap is generated between the outer peripheral surface of the band-shaped knitted fabric 64 and the nozzle surface 22 due to the solid material 73, There is a risk that the wiping performance of the nozzle surface 22 may be reduced. Moreover, when the outer peripheral surface of the strip-shaped knitted fabric 64 and the solid material 73 are rubbed, there is a possibility that the dust generation property of the strip-shaped knitted fabric 64 is lowered.
図１１は、図６中の拭き取り工程が実施された後のノズル面の様子を示す断面図である。図６および図１１を参照して、これに対して、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０においては、クリーニングローラ５１を、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向（矢印１０２に示す方向）に移動させる。このため、帯状編み物６４は、一方向に配列された複数のインクジェットヘッド２１ｐのノズル孔領域４１および閉塞領域４２を交互に拭き取ることになる。特に最初の閉塞領域４２を除いては、帯状編み物６４によるノズル孔領域４１の拭き取りに連続して閉塞領域４２の拭き取りが実施されることになる。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a state of the nozzle surface after the wiping process in FIG. 6 is performed. Referring to FIGS. 6 and 11, in contrast, in inkjet coating apparatus 10 in the present embodiment, cleaning roller 51 is set in a direction perpendicular to the transport direction of liquid crystal substrate 16 (direction indicated by arrow 102). Move. For this reason, the strip-shaped knitted fabric 64 wipes the nozzle hole regions 41 and the closed regions 42 of the plurality of inkjet heads 21p arranged in one direction alternately. In particular, except for the first closed region 42, the closed region 42 is wiped continuously after wiping the nozzle hole region 41 with the band-shaped knitted fabric 64.
この場合、ノズル面２２の拭き取り時に、ノズル孔領域４１に付着したインクが帯状編み物６４に移行することにより、帯状編み物６４は湿った状態となる。閉塞領域４２は、その湿った状態の帯状編み物６４によって拭き取られるため、閉塞領域４２が極度に乾燥することを防止できる。結果、ノズル面２２にインクの固形物が生じることを防止できる。
In this case, when the nozzle surface 22 is wiped, the ink adhering to the nozzle hole region 41 is transferred to the belt-like knitted fabric 64, so that the belt-like knitted fabric 64 becomes wet. Since the closed region 42 is wiped off by the wet band-shaped knitted fabric 64, the closed region 42 can be prevented from being extremely dried. As a result, ink solid matter can be prevented from being generated on the nozzle surface 22.
以上に説明した、この発明の実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０の構造についてまとめて説明すると、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０は、ノズル面２２を有するインクジェットヘッド２１と、ノズル面２２を拭き取るための吸収体としての帯状編み物６４と、移動機構部としての搬送アーム５６とを備える。インクジェットヘッド２１には、ノズル面２２に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔２４と、複数のノズル孔２４に向けてインクを供給する供給孔としてのインク供給管２９およびインク供給室２８とが形成される。帯状編み物６４は、ノズル面２２に付着したインクを吸収する。搬送アーム５６は、帯状編み物６４とノズル面２２とを対向させた状態で、帯状編み物６４およびインクジェットヘッド２１を相対移動させる。
When the structure of the inkjet coating apparatus 10 according to the embodiment of the present invention described above is described together, the inkjet coating apparatus 10 according to the present embodiment wipes the inkjet head 21 having the nozzle surface 22 and the nozzle surface 22. A belt-like knitted fabric 64 serving as an absorbent body and a transport arm 56 serving as a moving mechanism unit are provided. The inkjet head 21 has a plurality of nozzle holes 24 that are opened in the nozzle surface 22 and eject ink, and an ink supply pipe 29 and an ink supply chamber 28 that serve as supply holes for supplying ink toward the plurality of nozzle holes 24. Is formed. The strip-shaped knitted fabric 64 absorbs ink attached to the nozzle surface 22. The transport arm 56 relatively moves the belt-like knitted fabric 64 and the inkjet head 21 in a state where the belt-shaped knitted fabric 64 and the nozzle surface 22 face each other.
ノズル面２２を正面から見た場合に、ノズル面２２には、複数のノズル孔２４が開口する第１領域としてのノズル孔領域４１と、ノズル孔領域４１に隣り合って配置され、インクジェットヘッド２１の内部に形成されたインク供給管２９およびインク供給室２８が投影される第２領域としての閉塞領域４２とが規定される。搬送アーム５６は、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２が並ぶ方向に沿って帯状編み物６４およびインクジェットヘッド２１を相対移動させる。
When the nozzle surface 22 is viewed from the front, the nozzle surface 22 is disposed adjacent to the nozzle hole region 41 as a first region where a plurality of nozzle holes 24 are opened, and the nozzle hole region 41. The ink supply pipe 29 and the closed region 42 as the second region onto which the ink supply chamber 28 is projected are defined. The transport arm 56 relatively moves the band-shaped knitted fabric 64 and the inkjet head 21 along the direction in which the nozzle hole region 41 and the closed region 42 are arranged.
このように構成された、この発明の実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０によれば、クリーニングローラ５１をノズル孔領域４１および閉塞領域４２が並ぶ方向に移動させることにより、ノズル面２２が局所的に乾燥することを防ぐ。これにより、ノズル面２２にインクの固形物が生じることを防止し、ノズル孔２４から安定してインクが吐出されるインクジェット塗布装置１０を実現することができる。
According to the inkjet coating apparatus 10 in the embodiment of the present invention configured as described above, the nozzle surface 22 is locally moved by moving the cleaning roller 51 in the direction in which the nozzle hole region 41 and the closed region 42 are arranged. Prevent drying out. Thereby, it is possible to prevent the ink solid matter from being generated on the nozzle surface 22 and to realize the ink jet coating apparatus 10 in which ink is stably ejected from the nozzle hole 24.
なお、本実施の形態では、インクジェット塗布装置１０が、液晶ディスプレイ用の基板表面に配向膜を形成する工程に用いられる場合を説明したが、本発明は、これに限られず、たとえば、基板表面にレジストを形成する工程に利用されてもよい。
In the present embodiment, the case where the inkjet coating apparatus 10 is used for the step of forming an alignment film on the surface of a substrate for a liquid crystal display has been described. However, the present invention is not limited to this. You may utilize for the process of forming a resist.
図１２は、図２中に示すインクジェット塗布装置の変形例を示す底面図である。図１２を参照して、本変形例では、複数のインクジェットヘッド２１ｐが、液晶基板１６の搬送方向（矢印１０１に示す方向）において複数列に並んで設けられている。各インクジェットヘッド２１ｐのノズル孔領域４１は、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向（矢印１０２に示す方向）、すなわち、クリーニングローラ５１の移動方向に沿って千鳥状に並んで設けられている。複数のインクジェットヘッド２１ｐは、液晶基板１６の搬送方向においてノズル孔領域４１の範囲が部分的に重なり合うように配置されている。
FIG. 12 is a bottom view showing a modification of the ink jet coating apparatus shown in FIG. Referring to FIG. 12, in the present modification, a plurality of inkjet heads 21p are provided side by side in a plurality of rows in the transport direction of liquid crystal substrate 16 (the direction indicated by arrow 101). The nozzle hole regions 41 of the respective ink jet heads 21p are provided in a staggered manner along the direction orthogonal to the transport direction of the liquid crystal substrate 16 (the direction indicated by the arrow 102), that is, the moving direction of the cleaning roller 51. The plurality of inkjet heads 21p are arranged such that the range of the nozzle hole region 41 partially overlaps in the transport direction of the liquid crystal substrate 16.
このような構成によれば、複数のインクジェットヘッド２１ｐの各列において、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２がクリーニングローラ５１によって交互に拭き取られるため、閉塞領域４２が極度に乾燥することを防止できる。
According to such a configuration, in each row of the plurality of inkjet heads 21p, the nozzle hole area 41 and the closed area 42 are alternately wiped by the cleaning roller 51, so that the closed area 42 can be prevented from being extremely dried. .
なお、千鳥状に配置されたノズル面２２を拭き取るクリーニングローラ５１は、複数のインクジェットヘッド２１ｐの各列に対応して設けられてもよいし、全列を一括して拭き取るように１つだけ設けられてもよい。
The cleaning roller 51 for wiping the nozzle surfaces 22 arranged in a staggered pattern may be provided corresponding to each row of the plurality of inkjet heads 21p, or only one so as to wipe all rows at once. May be.
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
この発明は、主に、液晶ディスプレイの配向膜や、レジストなどの機能膜を基板上に形成する装置として利用される。
The present invention is mainly used as an apparatus for forming an alignment film of a liquid crystal display and a functional film such as a resist on a substrate.
１０ インクジェット塗布装置、１２ 載置台、１４ 搬送アーム、１６ 液晶基板、１６ａ 主表面、２１，２１ｐ インクジェットヘッド、２２ ノズル面、２４ ノズル孔、２６ インク室、２７ 枝管、２８ インク供給室、２９ インク供給管、３１ ヘッド本体、３２ ノズル板、３４ 駆動部、３５ 開口部、３６ ピエゾ素子、３８ 可撓板、４１ ノズル孔領域、４２，４２ｍ，４２ｎ 閉塞領域、５０ クリーニング装置、５１ クリーニングローラ、５４ ベース部材、５６ 搬送アーム、６３ 芯筒、６４ 帯状編み物、７３ 固形物。
10 inkjet coating device, 12 mounting table, 14 transport arm, 16 liquid crystal substrate, 16a main surface, 21,21p inkjet head, 22 nozzle face, 24 nozzle hole, 26 ink chamber, 27 branch pipe, 28 ink supply chamber, 29 ink Supply pipe, 31 head body, 32 nozzle plate, 34 drive unit, 35 opening, 36 piezo element, 38 flexible plate, 41 nozzle hole area, 42, 42m, 42n closed area, 50 cleaning device, 51 cleaning roller, 54 Base member, 56 transfer arm, 63 core cylinder, 64 strip knitted fabric, 73 solid material.
Claims (7)
- ノズル面（２２）を有し、前記ノズル面（２２）に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔（２４）と、前記複数のノズル孔（２４）に向けてインクを供給する供給孔（２９，２８）とが形成されるインクジェットヘッド（２１）と、
前記ノズル面（２２）に付着したインクを吸収し、前記ノズル面（２２）を拭き取るための吸収体（６４）と、
前記吸収体（６４）と前記ノズル面（２２）とを対向させた状態で、前記吸収体（６４）および前記インクジェットヘッド（２１）を相対移動させる移動機構部（５６）とを備え、
前記ノズル面（２２）を正面から見た場合に、前記ノズル面（２２）には、前記複数のノズル孔（２４）が開口する第１領域（４１）と、前記第１領域（４１）に隣り合って配置され、前記インクジェットヘッド（２１）の内部に形成された前記供給孔（２９，２８）が投影される第２領域（４２）とが規定され、
前記移動機構部（５６）は、前記第１領域（４１）および前記第２領域（４２）が並ぶ方向に沿って前記吸収体（６４）および前記インクジェットヘッド（２１）を相対移動させる、インクジェット塗布装置。 A plurality of nozzle holes (24) that have a nozzle surface (22), open to the nozzle surface (22), and discharge ink; and supply holes (ink) that supply ink toward the plurality of nozzle holes (24) 29, 28) and an inkjet head (21) formed;
An absorber (64) for absorbing ink adhering to the nozzle surface (22) and wiping the nozzle surface (22);
A moving mechanism (56) for relatively moving the absorber (64) and the inkjet head (21) in a state where the absorber (64) and the nozzle surface (22) are opposed to each other;
When the nozzle surface (22) is viewed from the front, the nozzle surface (22) includes a first region (41) in which the plurality of nozzle holes (24) are opened, and the first region (41). A second region (42) that is arranged adjacent to and projected from the supply holes (29, 28) formed inside the inkjet head (21);
The moving mechanism (56) moves the absorber (64) and the inkjet head (21) relative to each other along the direction in which the first region (41) and the second region (42) are arranged. apparatus. - 複数の前記インクジェットヘッド（２１）が、前記第１領域（４１）および前記第２領域（４２）が一方向に並ぶように設けられる、請求項１に記載のインクジェット塗布装置。 The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein a plurality of the inkjet heads (21) are provided such that the first region (41) and the second region (42) are arranged in one direction.
- 各前記インクジェットヘッド（２１）の前記第１領域（４１）が、前記第１領域（４１）および前記第２領域（４２）が並ぶ方向に沿って千鳥状に配置されるように、前記複数のインクジェットヘッド（２１）が複数列に渡って設けられる、請求項２に記載のインクジェット塗布装置。 The plurality of the first regions (41) of each inkjet head (21) are arranged in a staggered manner along the direction in which the first regions (41) and the second regions (42) are arranged. The inkjet coating apparatus according to claim 2, wherein the inkjet head (21) is provided in a plurality of rows.
- 前記吸収体（６４）は、インクを吸収可能な帯状部材が多層に巻き回されて形成される、請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット塗布装置。 The ink jet coating apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the absorber (64) is formed by winding a belt-like member capable of absorbing ink in multiple layers.
- 前記帯状部材は、編み物からなる、請求項４に記載のインクジェット塗布装置。 The inkjet coating apparatus according to claim 4, wherein the belt-shaped member is made of knitting.
- 前記複数のノズル孔（２４）を通じてポリイミドの溶液が基板に向けて吐出され、
前記吸収体（６４）によって、前記ノズル面（２２）に付着したポリイミドの溶液が拭き取られる、請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェット塗布装置。 A polyimide solution is discharged toward the substrate through the plurality of nozzle holes (24),
The inkjet coating apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein a polyimide solution attached to the nozzle surface (22) is wiped off by the absorber (64). - 前記第１領域（４１）および前記第２領域（４２）は、前記吸収体（６４）および前記インクジェットヘッド（２１）の相対移動に伴って、前記吸収体（６４）による前記第１領域（４１）の拭き取りに連続して前記第２領域（４２）の拭き取りが実施されるように配置されている、請求項１から６のいずれか１項に記載のインクジェット塗布装置。 The said 1st area | region (41) and the said 2nd area | region (42) are the said 1st area | region (41) by the said absorber (64) with the relative movement of the said absorber (64) and the said inkjet head (21). The inkjet coating device according to any one of claims 1 to 6, wherein the second region (42) is disposed so as to be continuously wiped off.
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