JP2004188807A

JP2004188807A - Device and method for cleaning liquid drop discharging head, liquid drop discharging device, electrooptic device, its manufacturing method and electronic equipment

Info

Publication number: JP2004188807A
Application number: JP2002359972A
Authority: JP
Inventors: Kenji Kojima; 健嗣小島
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-12-11
Filing date: 2002-12-11
Publication date: 2004-07-08
Anticipated expiration: 2022-12-11
Also published as: JP4259107B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid drop discharging head cleaning device, which can uniformly give a cleaning liquid to a wiping sheet, a liquid drop discharging head cleaning method, a liquid drop discharging device equipped with the liquid drop discharging head cleaning device, an electrooptic device manufactured with the liquid drop discharging device, the manufacturing method of the electrooptic device employing the liquid drop discharging device and electronic equipment equipped with the electrooptic device. <P>SOLUTION: This liquid drop discharging head cleaning device is to clean the nozzle forming surface, through which liquid drops are discharged, of the liquid drop discharging head, and is equipped with a wiping sheet running mechanism for running a wiping sheet in order to wipe the nozzle forming surface, a plurality of injection nozzles 171a for jetting cleaning liquid against the wiping sheet, a cleaning liquid feeding means for feeding the cleaning liquid to each injection nozzle 171a and needle valves 44 provided in correspondence with each of the injection nozzles 171a as the injection amount regulating means for regulating the injection amounts sent from the injection nozzles 171a. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出ヘッド清掃装置、液滴吐出ヘッド清掃方法、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、インクジェットプリンターが主に民生用のプリンターとして広く用いられている。このインクジェットプリンターのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用した産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が知られている。この産業用の液滴吐出装置は、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用される。
【０００３】
このような液滴吐出装置における液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）は、そのノズル形成面にインク等の吐出液が付着していると、吐出した液滴が真っ直ぐに飛ばず、飛ぶ方向が乱れる（一般に「ヨレ」という）ことがあり、形成（描画）するパターンの精度に悪影響を及ぼす。このようなヨレ等を防止するため、液滴吐出装置には、液滴吐出ヘッドのノズル形成面を拭って清掃するワイピング機構（液滴吐出ヘッド清掃装置）が設けられている。
【０００４】
このようなワイピング機構では、洗浄液を吸収させたワイプ材でノズル形成面を拭う。このため、ワイピング機構には、ワイプ材へ向けて洗浄液を噴射する噴射口（ノズル）が設けられている。この噴射口は、ワイプ材全体に洗浄液を付与するために、ワイプ材の幅方向に沿って複数設置されている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、従来のワイピング機構では、各噴射口からの洗浄液の噴射量にムラがあるため、ワイプ材全体に均一に洗浄液を付与できなかった。このため、ワイプ材中に洗浄液が過多の領域や過少の領域が生じる結果、拭い残しを生じたり、洗浄液が無駄になったりするという問題があった。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−３４１３１９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ワイピングシートに均一に洗浄液を付与することができる液滴吐出ヘッド清掃装置、液滴吐出ヘッド清掃方法、かかる液滴吐出ヘッド清掃装置を備える液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドのノズル形成面を清掃する液滴吐出ヘッド清掃装置であって、
前記ノズル形成面を拭うワイピングシートを走行させるワイピングシート走行機構と、
前記ワイピングシートへ向けて洗浄液を噴射する複数の噴射口と、
前記各噴射口に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記各噴射口のそれぞれに対応して設けられ、当該噴射口からの噴射量を調整する噴射量調整手段とを備えることを特徴とする。
これにより、ワイピングシートに均一に洗浄液を付与することができる液滴吐出ヘッド清掃装置を提供することができる。
【０００８】
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置では、前記複数の噴射口は、前記ワイピングシートの送り方向に直交する方向に互いに間隔を空けて配置されていることが好ましい。
これにより、ノズル形成面を拭う前のワイピングシートの全体に渡ってより均一に洗浄液を付与することができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置では、前記噴射量調整手段は、対応する噴射口への洗浄液の流路の途中に設置された流量を調整する調整弁で構成されることが好ましい。
これにより、簡単な構成で、各噴射口からの噴射量の調整を容易かつ確実に行うことができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置では、前記複数の噴射口は、前記ワイピングシートの前記ノズル形成面が接触する面と反対側の面に向けて洗浄液を噴射することが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッド清掃装置の小型化が図れ、液滴吐出ヘッドとの干渉をより確実に防止することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置では、前記複数の噴射口は、前記ワイピングシートの前記ノズル形成面が接触する面と同じ側の面に向けて洗浄液を噴射することが好ましい。
これにより、噴射した洗浄液をワイピングシートにより確実に含浸させることができるとともに、より少ない量の洗浄液でも十分な清掃効果を得ることができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置は、複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル形成面を一括して清掃することが好ましい。
これにより、複数の液滴吐出ヘッドに対する清掃を高い効率で迅速に行うことができる。
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置は、前記ワイピングシートを前記ノズル形成面に押し付ける押し付け部材をさらに備えることが好ましい。
これにより、ノズル形成面に拭い残しを生じるのをより確実に防止するとともに、短時間で確実に清掃を行うことができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置では、前記押し付け部材は、ローラで構成されていることが好ましい。
これにより、ワイピングシートをより円滑に走行させつつ、ワイピングシートをノズル形成面に押し付けることができる。
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置では、前記ローラは、複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル形成面に対して一括してワイピングシートを押し付けるものであり、
前記ローラの外周面は、前記各ノズル形成面間のピッチ間隔に合わせて前記ローラの回転軸方向に沿って複数に分割されていることが好ましい。
これにより、ローラの外周面で構成される押し付け面が、各ノズル形成面間のピッチ間隔に合わせて分割されているので、隣接する押し付け面間で互いに干渉し合うのを防止することができ、各ノズル形成面のそれぞれにワイピングシートをより確実に押し付けることができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置は、前記各噴射口への洗浄液の流路の途中にそれぞれ設置された逆流防止弁をさらに備えることが好ましい。
これにより、各噴射口への洗浄液の流路における洗浄液の逆流を防止することができる。
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置では、前記洗浄液供給手段は、前記各噴射口にそれぞれ接続された枝管と、前記洗浄液を貯留する洗浄液タンクに接続された主管と、前記主管を前記各枝管に分岐させるマニホールドとを有することが好ましい。
これにより、洗浄液の配管内消費量を減らすことができるので、洗浄液の無駄がより少ないとともに、配管接続の作業も容易に行うことができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出ヘッド清掃方法は、走行するワイピングシートへ向けて複数の噴射口から洗浄液を噴射し、前記洗浄液が付与された前記ワイピングシートによって、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドのノズル形成面を拭って清掃する液滴吐出ヘッド清掃方法であって、
前記各噴射口からの洗浄液の噴射量が互いにほぼ同じになるように調整することを特徴とする。
これにより、ワイピングシートに均一に洗浄液を付与することができる液滴吐出ヘッド清掃方法を提供することができる。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置は、装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
前記ワーク載置部に載置されたワークに対して液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構と、
本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置とを備えることを特徴とする。
これにより、均一に洗浄液が付与されたワイピングシートで液滴吐出ヘッドのノズル形成面の清掃を拭うことにより、液滴吐出ヘッドの清掃を拭い残しを生じることなく確実に行うことができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成することが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１８】
本発明の電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、製造コストの低減を図りつつ、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備える電気光学装置を提供することができる。
本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。
これにより、ワークに対するパターンの形成（描画）を高い精度で行うことができるとともに、製造コストの低減が図れる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、製造コストの低減を図りつつ、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備える電子機器を提供することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置、液滴吐出ヘッド清掃方法および液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１、図２、図３および図４は、それぞれ、本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置を備える液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図、平面図、正面図および側面図である。なお、以下では、説明の便宜上、水平な一方向（図２中の上下方向に相当する方向）を「Ｙ軸方向」と言い、このＹ軸方向に垂直であって水平な方向（図２中の左右方向に相当する方向）を「Ｘ軸方向」と言う。また、Ｙ軸方向であって図２中の上方向への移動を「Ｙ軸方向に前進」、Ｙ軸方向であって図２中の下方向への移動を「Ｙ軸方向に後退」と言い、Ｘ軸方向であって図２中の右方向への移動を「Ｘ軸方向に前進」、Ｘ軸方向であって図２中の左方向への移動を「Ｘ軸方向に後退」と言う。
【００２０】
これらの図に示す液滴吐出装置（インクジェット描画装置）１は、ワークとしての基板Ｗに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液等の液体（吐出液）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出して所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができるものである。液滴吐出装置１が対象とする基板Ｗの素材は、特に限定されず、板状の部材であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。また、本発明で対象とするワークは、板状の部材に限らず、底面が平らな部材であればいかなるものでもよい。例えば、本発明は、レンズをワークとし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。
【００２１】
この液滴吐出装置１は、装置本体２と、ワーク載置部（ワークステージ）としての基板テーブル（基板ステージ）３と、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）５３を有するヘッドユニット１２０と、装置本体２の側方に設置された付帯装置１０とを備えている。なお、ヘッドユニット１２０および付帯装置１０については、後に詳述する。
【００２２】
液滴吐出ヘッド５３から吐出する液体としては、特に限定されず、カラーフィルタのフィルタ材料を含むインクの他、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。・有機ＥＬ（electroluminescence）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料。・電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料。・ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料。・電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料。・基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料。・各種コーティング材料。・電極を形成するための液状電極材料。・２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料。・金属配線を形成するための液状金属材料。・マイクロレンズを形成するためのレンズ材料。・レジスト材料。・光拡散体を形成するための光拡散材料。
【００２３】
図３に示すように、装置本体２は、床上に設置された架台２１と、架台２１上に設置された石定盤２２と、石定盤２２の上に設置された４本の支柱２３と、これらの支柱２３により支持されたガントリー構造部（上部構造部）２４とを有している。
架台２１は、アングル材等を方形に組んで構成された枠体２１１と、枠体２１１の下部に分散配置された複数の支持脚２１２とを有している。石定盤２２は、無垢の石材で構成され、その上面は、高い平面度を有している。本実施形態では、石定盤２２を設けたことにより、周囲の環境条件や振動等の影響を防ぎ、後述する基板テーブル３およびヘッドユニット１２０が高精度に移動することができる。
【００２４】
石定盤２２の上には、基板テーブル３と、Ｙ軸方向移動機構を構成するエアースライダ１０６およびリニアモータ１０１とが設置されている。基板テーブル３は、エアースライダ１０６によりＹ軸方向に円滑に移動可能に支持されるとともに、リニアモータ１０１の駆動により、Ｙ軸方向に前進・後退する。基板Ｗは、基板テーブル３上に載置される。基板テーブル３は、ガントリー構造部２４の下を通過可能になっている。基板テーブル３には、載置された基板Ｗを負圧により吸着・固定するための溝３１６が形成されている。また、基板テーブル３の下部には、θ軸回転駆動機構が設けられており、これにより、基板テーブル３は、基板テーブル３の中心を通る鉛直なθ軸を回転中心として所定範囲で回動可能になっている。
【００２５】
基板テーブル３のＸ軸方向に沿った２つの辺の付近には、それぞれ、基板Ｗに対する液滴吐出（描画）前に液滴吐出ヘッド５３から捨て吐出（フラッシングまたは予備吐出ともいう）された液滴を受ける描画前フラッシングユニット（図示せず）が設置されている。この描画前フラッシングユニットには、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出液は、この吸引チューブを通って回収され、付帯装置１０のタンク収納部１１に設置された排液タンク内に貯留される。
【００２６】
図２および図４に示すように、ガントリー構造部２４には、ブリッジ１０３と、Ｘ軸方向移動機構を構成する一対のＸ軸方向スライダ１０７、ボールねじ１０８およびサーボモータ１０９とが設置されている。ブリッジ１０３は、Ｘ軸方向スライダ１０７の案内により、Ｘ軸方向に円滑に移動可能に支持されるとともに、ボールねじ１０８およびこれを回転させるサーボモータ１０９の駆動により、Ｘ軸方向に前進・後退する。
【００２７】
図３に示すように、ブリッジ１０３には、ヘッドユニット１２０を支持するメインキャリッジ１０２がブリッジ１０３から吊り下げられるような状態で設置されている。このような構成により、ヘッドユニット１２０は、ブリッジ１０３とともに、基板テーブル３の上方空間においてＸ軸方向に前進・後退可能になっている。
なお、本実施形態では、前記Ｙ軸方向移動機構と前記Ｘ軸方向移動機構とで、基板テーブル３と液滴吐出ヘッド５３とを相対的に移動させる相対移動機構が構成される。
装置本体２の側方であって付帯装置１０が設置されたのと反対の側には、第１のエアー供給装置１４が設置されている（図３参照）。第１のエアー供給装置１４は、装置本体２側に設置された空気圧シリンダ等のアクチュエータの駆動源として機能する。
【００２８】
本実施形態の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド５３のいわゆる主走査は、基板テーブル３をＹ軸方向に移動させながら、図示しない移動距離検出手段（例えばリニアエンコーダまたはレーザー測長器）によって検出した基板テーブル３の移動距離（現在位置）に基づいて生成した吐出タイミングで、液滴吐出ヘッド５３を駆動して液滴を選択的に吐出することにより行う。また、これに対応して、いわゆる副走査は、液滴吐出ヘッド５３の非駆動時（非吐出時）に、ヘッドユニット１２０（液滴吐出ヘッド５３）をＸ軸方向に段階的（間欠的）移動させることにより行う。
【００２９】
このような液滴吐出装置１は、好ましくは、チャンバ（隔離された空間）９１に収納され、温度および湿度が管理された環境下に置かれている。チャンバ９１には、外部に設置された空調装置（図示せず）により生成された温度および湿度を調節した空気が導入される。このようなチャンバ９１によって液滴吐出装置１の周囲の温度および湿度が管理されることにより、温度変化による基板Ｗや装置各部の膨張・収縮が原因となって誤差が生じるのを防止することができ、基板Ｗ上に吐出液滴によって描画（形成）されるパターンの精度をより高くすることができる。また、タンク収納部１１も温度および湿度が管理された環境に置かれるので、吐出液の粘度等も安定し、吐出液滴によるパターンの形成（描画）をより高精度に行うことができる。また、チャンバ９１内へのチリ、ホコリ等の侵入を防止することができ、基板Ｗを清浄に維持することができる。
なお、チャンバ９１内には、空気以外のガス（例えば窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスなど）を温度調節して供給・充填し、このガスの雰囲気中で液滴吐出装置１を稼動することとしてもよい。
【００３０】
また、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の作動を制御する制御装置（図示せず）を有している。この制御装置は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、液滴吐出装置１の制御動作を実行するためのプログラム等の各種プログラムおよび各種データを記憶（格納）する記憶部とを有しており、液滴吐出装置１の各部の作動を制御する。
【００３１】
図５は、図１ないし図４に示す液滴吐出装置におけるパターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図である。以下、図５に基づいて、前記制御装置の制御による液滴吐出装置１のパターン形成動作ついて説明する。
図示しない給材・除材ロボットにより基板Ｗが基板テーブル３上の所定の位置に位置決めして給材（載置）されると、基板テーブル３に形成された溝３１６でのエアー吸引により、基板Ｗは、基板テーブル３に吸着・固定される。次いで、装置本体２に設置された認識カメラ（図示せず）が基板Ｗの所定の個所（１箇所または複数箇所）に設けられたアライメントマークを認識する。この認識結果に基づいて、前記θ軸回転駆動機構が作動して基板Ｗのθ軸回りの角度が補正されるとともに、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行われる。
以上のような基板Ｗのアライメント作業が完了すると、液滴吐出装置１は、基板Ｗ上に所定のパターンを形成（描画）する動作を開始する。この動作は、液滴吐出ヘッド５３（ヘッドユニット１２０）を基板Ｗに対し主走査および副走査することにより行われる。
【００３２】
本実施形態の液滴吐出装置１では、主走査は、ヘッドユニット１２０を装置本体２に対し停止した（移動しない）状態で、基板テーブル３の移動により基板ＷをＹ軸方向に移動させながら、基板Ｗに対し各液滴吐出ヘッド５３から液滴を吐出することにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸方向が主走査方向となる。
【００３３】
この主走査は、基板テーブル３の前進（往動）中に行っても、後退（復動）中に行っても、前進および後退の両方（往復）で行ってもよい。また、基板テーブル３を複数回往復させて、複数回繰り返し行ってもよい。このような主走査により、基板Ｗ上の、所定の幅（ヘッドユニット１２０により吐出可能な幅）で主走査方向に沿って延びる領域に、液滴の吐出が終了する。
【００３４】
このような主走査の後、副走査を行う。副走査は、液滴の非吐出時に、メインキャリッジ１０２（ブリッジ１０３）の移動により、ヘッドユニット１２０を前記所定の幅の分だけＸ軸方向に移動させることにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸方向が副走査方向となる。
このような副走査の後、前記と同様の主走査を行う。これにより、前回の主走査で液滴が吐出された領域に隣接する領域に対し、液滴が吐出される。
このようにして、主走査と副走査とを交互に繰り返し行うことにより、基板Ｗの全領域に対して液滴が吐出され、基板Ｗ上に、吐出された液滴（液体）による所定のパターンを形成（描画）することができる。
【００３５】
なお、本発明では、主走査方向と副走査方向とは、上述したのと逆になっていてもよい。すなわち、基板Ｗ（基板テーブル３）を停止させた状態で液滴吐出ヘッド５３（ヘッドユニット１２０）をＸ軸方向に移動させながら基板Ｗに対して液滴を吐出することによって主走査を行い、液滴の非吐出時に基板Ｗ（基板テーブル３）をＹ軸方向に移動させることによって副走査を行うように構成されていてもよい。
【００３６】
図６は、図１ないし図４に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットを示す平面図、図７は、ヘッドユニットを図６の矢印Ｃより見た側面図、図８は、図６および図７に示すヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの吐出機構を説明する説明図、図９は、液滴吐出ヘッドの一部分を示す図であって、（ａ）はノズル形成面５３ａに対向する側から見た図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図、図１０は、液滴吐出ヘッドを説明する図であり、（ａ）は主走査方向を示す説明図、（ｂ）はノズルピッチの変更を示す説明図である。以下、これらの図に基づいて、ヘッドユニット１２０および液滴吐出ヘッド５３の詳細について説明する。
【００３７】
図６および図７に示すように、本実施形態のヘッドユニット１２０は、ヘッド保持板１２２と、これに固定された１２個の液滴吐出ヘッド５３とを有している。各液滴吐出ヘッド５３は、副走査方向に対し斜めの姿勢で互いに重なるようにして６個ずつ二列に配列され、第１ヘッド列１２１Ａおよび第２ヘッド列１２１Ｂを構成している。第１ヘッド列１２１Ａおよび第２ヘッド列１２１Ｂは、互いに平行をなしており、なおかつ、それぞれの軸線ｃ１、ｃ２が、後述のワイピングシート７５の送り方向（図６の矢印Ｓ方向）に対して交差するように配置されている。
【００３８】
図８に示すように、各液滴吐出ヘッド５３は、たとえば、ピエゾ素子（圧電素子）を用いたヘッドであり、本体５３ｂのノズル形成面５３ａには、複数のノズル５３ｃが形成されている。そして、これらノズル５３ｃのそれぞれに対してピエゾ素子５３ｄが設けられている。このピエゾ素子５３ｄは、ノズル５３ｃと液室５３ｅに対応して配置されており、印加電圧Ｖｈが印加されることで、矢印Ｐ方向に伸縮し、液室５３ｅ内を加圧して所定量の液滴Ｒを各ノズル５３ｃから吐出させるようになっている。
【００３９】
図９（ａ）、（ｂ）に示すように、各液滴吐出ヘッド５３のノズル形成面５３ａには、複数列（本実施形態では二列）の溝５３ａ１、５３ａ２が互いに平行に形成されており、さらに、これら溝５３ａ１、５３ａ２の内部に、各ノズル５３ｃが等ピッチ間隔で穿設されている。
【００４０】
前述のように、これら液滴吐出ヘッド５３は互いに斜めに重なった状態に配置されている。これは、図１０（ａ）のように基板Ｗ上を各液滴吐出ヘッド５３を通過させながら液滴Ｒの吐出を行う際に、図１０（ｂ）のように走査方向（進行方向）に対して各液滴吐出ヘッド５３を適切な角度に傾けることで、製造する基板Ｗの画素ピッチｐ１に応じて見かけのノズル間隔ｐ２を一致させるためである。
【００４１】
なお、上述したようなヘッドユニット１２０における液滴吐出ヘッド５３の配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド５３同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における液滴吐出ヘッド５３を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりしてもよい。いずれにしても、複数個の液滴吐出ヘッド５３の全ノズル５３ｃによるドットが副走査方向において連続していればよい。
【００４２】
さらに、液滴吐出ヘッド５３は、副走査方向に対し傾斜した姿勢で設置されていなくてもよく、また、複数個の液滴吐出ヘッド５３が千鳥状、階段状に配設されていてもよい。また、所定長さのノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一の液滴吐出ヘッド５３で構成してもよい。また、メインキャリッジ１０２に複数のヘッドユニット１２０が搭載されていてもよい。
また、液滴吐出ヘッド５３は、上述したような構成に限らず、例えば、吐出液をヒータで加熱して沸騰させ、その圧力によって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたものなどでもよい。
【００４３】
図１１および図１２は、それぞれ、図１ないし図４に示す液滴吐出装置における付帯装置を示す側面図および平面図である。以下、これらの図に基づいて、液滴吐出装置１の付帯装置１０について説明する。
図１１および図１２に示すように、付帯装置１０は、ほぼ直方体をなす筐体１３と、筐体１３内に設けられたタンク収納部１１と、筐体１３の側面および内部に設置された第２のエアー供給装置１７と、筐体１３の上でＹ軸方向に移動可能に設置された移動台１２４と、キャッピングユニット６０と、ワイピングユニット（液滴吐出ヘッド清掃装置）７０と、重量測定ユニット９０と、ドット抜け検出ユニット１００とを有している。以下、この付帯装置１０の各部について説明するが、ワイピングユニット７０については、別途に後述する。
【００４４】
図１２に示すように、キャッピングユニット６０、ワイピングユニット７０および重量測定ユニット９０は、移動台１２４上にＹ軸方向に並んで設置されている。ヘッドユニット１２０が付帯装置１０の上方に位置した状態で移動台１２４がＹ軸方向に移動することにより、キャッピングユニット６０、ワイピングユニット７０および重量測定ユニット９０のいずれかがヘッドユニット１２０（液滴吐出ヘッド５３）の下方に位置し得るようになっている。ヘッドユニット１２０は、待機時（例えば基板Ｗの給材・除材時等）には付帯装置１０の上方に移動し、キャッピングおよびクリーニング（ワイピング）を行う。
【００４５】
キャッピングユニット６０は、複数の液滴吐出ヘッド５３のそれぞれに対応するように配置された複数のキャップ６１とこれらキャップ６１を昇降させる昇降機構とを有している。各キャップ６１には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、キャッピングユニット６０は、各キャップ６１で各液滴吐出ヘッド５３のノズル形成面５３ａを覆うとともに、ノズル形成面５３ａに形成されたノズル５３ｃから吐出液を吸引することができる。このようなキャッピングを行うことにより、液滴吐出ヘッド５３のノズル形成面５３ａが乾燥するのを防止したり、ノズル詰まりを回復（解消）したりすることができる。
【００４６】
キャッピングユニット６０によるキャッピングは、ヘッドユニット１２０の待機時や、ヘッドユニット１２０に吐出液を初期充填する際、吐出液を異種のものに交換する場合にヘッドユニット１２０から吐出液を排出する際、洗浄液によって流路を洗浄する際などに行われる。
キャッピングユニット６０によるキャッピング中に液滴吐出ヘッド５３から排出された吐出液は、前記吸引チューブを通って回収され、タンク収納部１１に設置された再利用タンク１１３に貯留される。再利用タンク１１３に回収された液体は、再利用に供される。ただし、流路の洗浄時に回収した洗浄液は再利用しない。
【００４７】
重量測定ユニット９０は、基板Ｗに対する液滴吐出動作の準備段階として、液滴吐出ヘッド５３からの１回の液滴吐出量（重量）を測定するのに利用するものである。すなわち、基板Ｗに対する液滴吐出動作前、ヘッドユニット１２０は、重量測定ユニット９０の上方に移動し、各液滴吐出ヘッド５３の全ノズル５３ｃから１回または複数回液滴を重量測定ユニット９０に対し吐出する。重量測定ユニット９０は、吐出された液滴を受ける液受けと、電子天秤等の重量計とを備えており、吐出された液滴の重量を計測する。または、液受けを取り外して装置外部の重量計で計測してもよい。後述する制御装置は、その重量計測結果に基づいて、ノズル５３ｃにおける１回の吐出液滴の量（重量）を算出し、その算出値が予め定められた設計値に等しくなるように、液滴吐出ヘッド５３を駆動するヘッドドライバの印加電圧を補正する。
【００４８】
ドット抜け検出ユニット１００は、移動台１２４上におけるキャッピングユニット６０の側方（装置本体２側）に設置されている。ドット抜け検出ユニット１００は、液滴吐出ヘッド５３のノズル５３ｃの目詰まりが原因となって生じるドット抜けを検出するものであり、例えばレーザー光を投光・受光する投光部および受光部を備えている。ドット抜け検出を行う際には、ヘッドユニット１２０がドット抜け検出ユニット１００の上方空間をＸ軸方向に移動しつつ、各ノズル５３ｃから液滴を捨て吐出し、ドット抜け検出ユニット１００は、この捨て吐出された液滴に対し投光・受光を行って、目詰まりしているノズル５３ｃの有無および個所を光学的に検出する。この際に液滴吐出ヘッド５３から吐出された吐出液は、ドット抜け検出ユニット１００が備える受け皿に溜まり、この受け皿の底部に接続された吸引チューブ（図示せず）を通って回収され、タンク収納部１１に設置された排液タンク（図示せず）内に貯留される。
【００４９】
タンク収納部１１には、各液滴吐出ヘッド５３から吐出する吐出液を貯留する一次タンク１１１と、ワイピングユニット７０へ供給される洗浄液を貯留する洗浄液タンク１１２と、前述したキャッピングユニット６０で吸引されて回収された液体を貯留する再利用タンク１１３と、描画前フラッシングおよびドット抜け検出の際に吐出されて回収された液体を貯留する排液タンク（図示せず）とがそれぞれ設置、収納されている。
第２のエアー供給装置１７は、一次タンク１１１および洗浄液タンク１１２からそれぞれ吐出液および洗浄液を送出するための圧力を供給する圧力供給源として機能したり、付帯装置１０における空気圧シリンダ等のアクチュエータの駆動源として機能したりする。
【００５０】
筐体１３の上には、二次タンク１８が固定的に設置されている。一次タンク１１１内に貯留された吐出液は、図示しない配管（チューブ）を通って、二次タンク１８に流入する。二次タンク１８内では、圧力が制御され、液量（水頭差）が調節されている。二次タンク１８内の吐出液は、図示しない配管（チューブ）を通ってヘッドユニット１２０の各液滴吐出ヘッド５３に供給される。
【００５１】
図１３は、ワイピングユニット７０のワイピングシート供給ユニットを示す斜視図、図１４は、同ワイピングシート供給ユニットを示す図であって、巻き出しローラおよび巻き取りローラの軸線に垂直をなす断面より見た縦断面図、図１５は、ワイピングユニット７０のローラユニットを示す斜視図、図１６は、同ローラユニットを、そのローラの軸線に垂直な断面より見た縦断面図、図１７は、ワイピングユニット７０による各ノズル形成面の清掃を説明する平面図、図１８は、同ワイピングユニット７０による各ノズル形成面の清掃を説明する側面図であって、（ａ）はワイピングシートをノズル形成面に対して押し付ける前の状態を示す図、（ｂ）は押し付け状態を示す図、図１９は、同ワイピングユニット７０による各ノズル形成面の清掃を説明する平面図、図２０は、ワイピングユニット７０の洗浄液の流路を示す配管系統図、図２１は、マニホールド、各ニードル弁およびそれらの支持板の表面を示す側面図、図２２は、マニホールド、各ニードル弁およびそれらの支持板を示す平面図、図２３は、マニホールド、各ニードル弁およびそれらの支持板の裏面を示す側面図である。以下、これらの図と、図１１および図１２とに基づいて、ワイピングユニット（液滴吐出ヘッド清掃装置）７０について詳細に説明する。
【００５２】
これらの図に示すワイピングユニット７０は、定期的あるいは随時に、各液滴吐出ヘッド５３の各ノズル形成面５３ａをワイピングシート７５によって拭って清掃するものである。ワイピングシート７５は、液体を吸収し得る性質を有しており、その材質としては特に限定されないが、例えばポリエステルからなる織布が好適に用いられる。
【００５３】
図１１および図１２に示すように、ワイピングユニット７０は、各ノズル形成面５３ａを拭うワイピングシート７５を各ノズル形成面５３ａに向けて押し付けるローラ（押し付け部材）７６と、ワイピングシート７５を各ノズル形成面５３ａに向かって巻き出して供給する巻き出しローラ７８と、各ノズル形成面５３ａを拭った後のワイピングシート７５を巻き取る巻き取りローラ７９と、該巻き取りローラ７９を回転駆動する電動モータ１５３とを備えている。
【００５４】
そして、このワイピングユニット７０によれば、巻き出しローラ７８から巻き出されるワイピングシート７５を各ノズル形成面５３ａに向かって供給しながらローラ７６で押し付けていくことで、ワイピングシート７５の新しい清掃面を絶えず各ノズル形成面５３ａに対して供給することができるようになっている。しかも、ローラ７６の押し付け力によりワイピングシート７５を各ノズル形成面５３ａに押し付ける構成であるため、各ノズル形成面５３ａに対して清掃面を確実に当てることもできるようになっている。
【００５５】
図１３および図１４に示すように、巻き出しローラ７８および巻き取りローラ７９は、それぞれの軸線回りに回動可能な状態で、ローラケーシング１５１に固定されており、巻き取りローラ７９を回転駆動させることで、巻き出しローラ７８からワイピングシート７５（図１３および図１４中では図示省略）を巻き出すことができるようになっている。ここで、巻き取りローラ７９の回転駆動は、該巻き取りローラ７９の回転軸７９ａの端部に同軸に取り付けられたプーリ７９ｂを、ベルト１５２を介して電動モータ１５３により駆動することで行われる。
【００５６】
同図に示すガイドローラ１５４は、ワイピングシート７５の流れを正しくガイドするためのものであり、その端部に備えられた回転速度計１５５（エンコーダ）がガイドローラ１５４の回転速度を検出することにより、ワイピングシート７５の送り速度を検出することができるようになっている。
そして、以上説明の巻き出しローラ７８と、巻き取りローラ７９と、ローラケーシング１５１と、ワイピングシート７５と、電動モータ１５３と、ガイドローラ１５４と、回転速度計１５５（エンコーダ）とを備えて、ワイピングシート供給ユニット１５０が構成されている。
【００５７】
図１５および図１６に示すように、ローラ７６は、その軸線回りに回動可能な状態でローラケーシング１６１に固定されており、ワイピングシート供給ユニット１５０から繰り出されてくるワイピングシート７５の送り速度に同期して回転駆動されるようになっている。ここで、ローラ７６の回転駆動は、該ローラ７６の回転軸７６ａの端部に同軸に取り付けられたプーリ７６ｃを、ベルト１６２を介して電動モータ１６３により駆動することで行われる。
そして、以上説明のローラ７６と、ローラケーシング１６１と、電動モータ１６３とを備えて、ローラユニット１６０が構成されている。また、ワイピングシート供給ユニット１５０と、ローラユニット１６０とで、ワイピングシート７５を走行させるワイピングシート走行機構が構成される。
【００５８】
ローラ７６の近傍には、各ノズル形成面５３ａを拭う前のワイピングシート７５へ向けて洗浄液を噴射する複数の噴射口（ノズル）１７１ａを備えたノズルユニット１７１が設置されている。このノズルユニット１７１は、複数の噴射口１７１ａが上向きに穿設された棒状の部材であり、ローラ７６の軸線（回転軸）に対し平行に配置されている。ノズルユニット１７１は、その真上を通過していくワイピングシート７５に対し、その裏面（下面）側から、各噴射口１７１ａより洗浄液を噴射する。これにより、各ノズル形成面５３ａを拭う直前のワイピングシート７５が洗浄液を吸収し、ワイピングシート７５を湿らせることができる。
【００５９】
このようにして、ワイピングシート７５に予め洗浄液を吸収させる理由は、洗浄液の洗浄効果により各ノズル形成面５３ａをよりきれいに拭き取ることはもちろんであるが、これに加えて下記理由も有している。すなわち、例えば乾いたワイピングシート７５を各ノズル形成面５３ａに対して押し付けた場合（乾式の場合）、ワイピングシート７５の吸い込みにより、各液滴吐出ヘッド５３内の吐出液をノズル形成面５３ａ側に余計に引き出してしまう恐れがある。これに対し、洗浄液により予めワイピングシート７５の清掃面を湿らせておく（湿式とする）ことで、余分な吐出液を液滴吐出ヘッド５３内部から抜き出すことなく、かつ、確実に各ノズル形成面５３ａに付着した吐出液を拭い取ることができるようになる。なお、洗浄液としては、特に限定されないが、例えば各種洗浄剤や有機溶剤などを使用することができる。
【００６０】
また、本実施形態では、複数の噴射口１７１ａは、ワイピングシート７５のノズル形成面５３ａが接触する面と反対側の面に向けて洗浄液を噴射し、ワイピングシート７５にその裏面側から洗浄液を吸収させる。これにより、噴射口１７１ａ（ノズルユニット１７１）をワイピングシート７５の下側に配置することができるので、ワイピングユニット７０の小型化（省スペース化）が図れ、液滴吐出ヘッド５３と干渉したりするのをより確実に防止することができる。
【００６１】
複数の噴射口１７１ａは、ワイピングシート７５の送り方向（走行方向）と直交する方向（ワイピングシート７５の幅方向）に互いに間隔を空けて配置されている。これにより、各ノズル形成面５３ａを拭う前のワイピングシート７５の全体に渡って洗浄液を付与することができる。なお、複数の噴射口１７１ａは、図示の構成のように、等間隔で配置されているのが好ましい。これにより、ワイピングシート７５の幅方向の全体に洗浄液をまんべんなく付与することができる。
【００６２】
また、本実施形態では、複数の噴射口１７１ａの配列方向は、ワイピングシート７５の幅方向に平行になっている。これにより、各噴射口１７１ａを極力小さいスペースに配置することができる。なお、このような構成と異なり、複数の噴射口１７１ａの配列方向は、ワイピングシート７５の幅方向に対し傾斜していてもよい。
【００６３】
また、噴射口１７１ａの設置間隔（ピッチ）は、特に限定されず、ワイピングシート７５の材質や洗浄液の種類などによってもその好ましい値は異なるが、通常、１５〜３０ｍｍ程度であるのが好ましい。また、噴射口１７１ａの設置個数は、特に限定されず、ワイピングシート７５の幅寸法などによってもその好ましい値は異なるが、通常、６〜１８個程度であるのが好ましい。なお、本実施形態では、噴射口１７１ａは、１２個設けられている。
【００６４】
ノズルユニット１７１に形成された各噴射口１７１ａは、互いに連通することなく独立している。そして、ノズルユニット１７１には、各噴射口１７１ａに対応する配管接続部１７１ｂが設けられており、各配管接続部１７１ｂには、それぞれ、対応する噴射口１７１ａに洗浄液を供給する枝管４１が接続されている。枝管４１は、図示の構成では、可撓性を有するチューブで構成されている。なお、図を見易くするため、図１５および図２３中では、１２本の枝管４１のうち３本のみを図示し、図２２中では、全部の枝管４１の図示を省略する。
【００６５】
図２０に示すように、各枝管４１は、洗浄液タンク１１２に接続された主管４２から、マニホールド４３を介して分岐している。洗浄液タンク１１２内の洗浄液は、主管４２、マニホールド４３および各枝管４１を通って、各噴射口１７１ａに供給される。このように、主管４２、マニホールド４３および各枝管４１によって、洗浄液供給手段が構成される。
【００６６】
また、洗浄液タンク１１２の内部は、加圧気体供給源１１０から供給される加圧された窒素ガス等の気体によって加圧されており、この圧力によって、送液（送出）される。
また、主管４２の途中には、流路を遮断し得る切り替え弁４７が設置されており、ワイピングを行わないときに主管４２からマニホールド４３への洗浄液の流れを止めることができるようになっている。
【００６７】
各枝管４１の途中には、それぞれ、流量を調整するニードル弁（調整弁）４４が設置されている。各ニードル弁４４は、対応する噴射口１７１ａからの噴射量を調整する噴射量調整手段として機能するものである。
また、各枝管４１の途中には、さらに、逆流防止弁（チェック弁）４６がそれぞれ設置されている。これにより、枝管４１内で洗浄液が逆流するのを防止することができる。各逆流防止弁４６は、ワイピングシート供給ユニット１５０およびローラユニット１６０の近傍に設けられた逆流防止弁設置部１８０にまとめて設置されている（図１１参照）。
【００６８】
図２１ないし図２３に示すように、マニホールド４３および各ニードル弁４４は、移動台１２４上であってワイピングシート供給ユニット１５０およびローラユニット１６０の近傍に設置された支持板７１に固定されている。
図２１に示すように、マニホールド４３の本体４３１は、支持板７１の表側に位置しており、この本体４３１に、主管４２が、調整弁４５を介して接続されている。調整弁４５を調整することにより、洗浄液タンク１１２からマニホールド４３への流量を調整することができる。また、支持板７１の表側には、各ニードル弁４４の調整ツマミ４４２がそれぞれ設けられている。
図２３に示すように、支持板７１の裏側には、各ニードル弁４４の本体４４１と、マニホールド４３の各分岐口４３２とが設けられている。各枝管４１は、各分岐口４３２から出て、各ニードル弁４４の本体４４１を経由し、各噴射口１７１ａ側へと延びている。
【００６９】
以上説明したような構成により、ワイピングユニット７０では、各ニードル弁４４の調整ツマミ４４２を回すことにより、各噴射口１７１ａからの洗浄液の噴射量をそれぞれ調整することができる。よって、各噴射口１７１ａからの洗浄液の噴射量を、洗浄液がワイピングシート７５の幅方向に均一に付与されるように調整することができる。この場合、各噴射口１７１ａからの噴射量が互い同じになるように調整することが好ましい。
【００７０】
本発明では、このようにして、洗浄液をワイピングシート７５の全体に均一に付与することができる。これにより、ワイピングシート７５に、洗浄液が少な過ぎて洗浄力が足りない領域を生じたり、洗浄液が多過ぎてそれ以上液体（拭き取った液体）を吸収できない領域を生じたりするのを防止することができる。よって、ワイピングシート７５の全体に渡って高い清掃効果が得られるので、拭い残しを生じるのを確実に防止することができる。すなわち、各ノズル形成面５３ａに対し、その全体を隈なく拭って、付着した液体を確実に除去することができる。その結果、液滴吐出ヘッド５３の各ノズル５３ｃからの液滴の吐出方向（飛ばす方向）にヨレ（乱れ）を生じることなく、真っ直ぐに液滴を飛ばすことができるので、基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を高い精度を維持して行うことができる。
【００７１】
さらに、ワイピングシート７５の全体に渡って均一に洗浄液を付与できるので、各噴射口１７１ａからの噴射量のムラを考慮して全体の噴射量を多めにしなければならないようなことがないので、洗浄液の消費量を必要最小限にすることができる。よって、洗浄液の無駄が少なく、ランニングコストの低減が図れ、基板Ｗ等の製造物の製造コストの低減に寄与する。
【００７２】
また、本実施形態では、洗浄液タンク１１２からワイピングユニット７０（ワイピングシート７５）の近傍のマニホールド４３までは１本の配管（主管４２）により洗浄液が供給され、マニホールド４３から複数の配管（枝管４１）に分岐して各噴射口１７１ａに洗浄液が供給される。これにより、洗浄液の配管内消費量を減らすことができるので、洗浄液の無駄がより少ないとともに、配管接続の作業も容易に行うことができる。
【００７３】
図１７に示すように、ワイピングユニット７０は、第１ヘッド列１２１Ａ、第２ヘッド列１２１Ｂをそれぞれ一括して（同時に）清掃することができるよう構成されている。すなわち、ローラ７６は、各列を構成する複数（６個）の液滴吐出ヘッド５３の各ノズル形成面５３ａに対して一括してワイピングシート７５を押し付けるよう構成されている。これにより、ヘッドユニット１２０の全体に対する清掃を高い効率で迅速に行うことができる。
【００７４】
また、ワイピングシート７５およびローラ７６は、これらワイピングシート７５およびローラ７６と、各ノズル形成面５３ａとの間の相対的な幅寸法Ｗ１、Ｗ２が、それぞれ、すべての各ノズル形成面５３ａがなす総和幅寸法Ｗ３以上とされている。同様に、ノズルユニット１７１の各噴射口１７１ａがなす総和幅寸法Ｗ４も、総和幅寸法Ｗ３よりも長くされている。
このように構成することにより、ワイピングシート７５の清掃面の範囲や、ローラ７６の押し付け範囲や、ノズルユニット１７１からの洗浄液塗布範囲から外れるノズル形成面５３ａが生じないので、すべてのノズル形成面５３ａを確実に残さず拭い取ることができるようになる。
【００７５】
さらに、本実施形態の液滴吐出装置１では、図１５および図１７に示すように、そのローラ７６が、各ノズル形成面５３ａ間のピッチ間隔に合わせて該ローラ７６の軸線方向に複数分割された分割ローラ７６ｂと、軸線を共通の軸線とする回転軸７６ａとを有する構成を採用している。すなわち、ローラ７６の外周面は、各ノズル形成面５３ａ間のピッチ間隔に合わせてローラ７６の回転軸方向に沿って複数に分割されている。そして、各分割ローラ７６ｂの外周面は、ワイピングシート７５を各ノズル形成面５３ａに向けてそれぞれが押し付ける押し付け面７６ｂ１となっている。各分割ローラ７６ｂは、好ましくはその少なくとも外周部が例えばゴム等の弾性材料で構成されており、押し付け面７６ｂ１に対する押圧力に対して反発する弾性を備えている。
【００７６】
このように、ローラ７６は、複数の押し付け面７６ｂ１を有する複数の分割ローラ７６ｂに分割されており、なおかつ、これら押し付け面７６ｂ１間のピッチ間隔を、各ノズル形成面５３ａ間のピッチ間隔に合わせてあるので、各ノズル形成面５３ａにワイピングシート７５を押し付けている状態において、互いに隣接する各押し付け面７６ｂ１間で互いに干渉し合うことがないようになっている。
【００７７】
より詳細には、各ノズル形成面５３ａに設けられている第１ノズル列ｎ１および第２ノズル列ｎ２の、ワイピングシート７５の送り方向に交差する交差方向（図１７の紙面上下方向）の幅寸法Ｗａよりも幅広となるように、各押し付け面７６ｂ１（分割ローラ７６ｂ）の幅寸法Ｗｂが設定されており、なおかつ、これら幅寸法Ｗｂ内に、対応する各幅寸法Ｗａがそれぞれ収まるように各押し付け面７６ｂ１（分割ローラ７６ｂ）の配置が設定されている。
【００７８】
したがって、すべてのノズル形成面５３ａ毎にそれぞれ専用の押し付け面７６ｂ１を供給することができるので、すべてのノズル形成面５３ａへのワイピングシート７５の押し付けをより確実に確保することができるようになっている。
例えば、ローラ７６を分割せず、その外周面を単独の押し付け面として構成した場合、他の液滴吐出ヘッド５３よりもノズル形成面５３ａがワイピングシート７５側に突出したものがあるとすると、この突出したノズル形成面５３ａは、ワイピングシート７５に良く当接することができる。しかし、良く当接する分、ワイピングシート７５の清掃面の周囲を巻き込んで余分に凹ませるので、その両隣位置のノズル形成面５３ａから清掃面が離れやすくなり、これら両隣位置の各ノズル形成面５３ａを拭いにくくなる。これに対し、本実施形態では、互いに分割された各押し付け面７６ｂ１を採用しているので、例え上述のような突出したノズル形成面５３ａが有ったとしても、この突出したノズル形成面５３ａが、他の押し付け面７６ｂ１を巻き込んで凹ませることがない。これにより、互いに隣接する各押し付け面７６ｂ１間で互いに干渉し合うことがないので、それぞれが均等に拭われてより確実に清掃されるようになっている。
なお、本発明では、ローラ７６は、複数に分割されておらず、その外周面が回転軸方向に沿って連続しているものであってもよい。
【００７９】
図６で図示したように、各液滴吐出ヘッド５３は、複数個をそれぞれ一列配置してまとめることで、第１ヘッド列１２１Ａおよび第２ヘッド列１２１Ｂを構成している。そして、これら第１ヘッド列１２１Ａおよび第２ヘッド列１２１Ｂは、ワイピングシート７５の送り方向（矢印Ｓ方向）に交差するように配置され、なおかつ、これら第１ヘッド列１２１Ａおよび第２ヘッド列１２１Ｂは、描画する画素ピッチに合わせて、前記送り方向から見た場合の位置がシフト量Ｓｈだけずれたものとなっている。
【００８０】
本実施形態のワイピングユニット７０は、このシフト量Ｓｈのずれを吸収するべく、各列毎に（第１ヘッド列１２１Ａおよび第２ヘッド列１２１Ｂ毎に）、各ノズル形成面５３ａに対する各押し付け面７６ｂ１の相対位置を合わせるローラ位置調整部（図示せず）を備えている。
このローラ位置調整部は、図６の紙面垂直方向に移動台１２４をスライド移動させる駆動機構であり、この移動台１２４上に据え付けられているワイピングユニット７０を一体にスライド移動させることができるようになっている。すなわち、図１９に示すように、ローラ７６を、ワイピングシート７５の送り方向に交差する方向にシフトして位置決めすることができるようになっている。
【００８１】
図１９に示すように、各ノズル形成面５３ａの清掃のために定位置に固定された第１ヘッド列１２１Ａおよび第２ヘッド列１２１Ｂに対し、ローラ７６を紙面右方向に移動させることで、第１ヘッド列１２１Ａ、そして第２ヘッド列１２１Ｂの順にそれぞれのノズル形成面５３ａを清掃するが、前述のように、これら第１ヘッド列１２１Ａおよび第２ヘッド列１２１Ｂ間には、シフト量Ｓｈがあるため、第１ヘッド列１２１Ａを清掃した後のローラ７６を、ローラ位置調整部によりシフト量Ｓｈ分だけ予めスライド移動させることで、このシフト量Ｓｈを吸収することができるようになっている。
【００８２】
したがって、このローラ位置調整部を備えたことにより、製造する基板Ｗの画素ピッチやサイズ等の仕様変更が生じて、第１ヘッド列１２１Ａおよび第２ヘッド列１２１Ｂ間のシフト量Ｓｈが変更になったとしても、これに対応して、ローラ位置調整部が、各列の各ノズル形成面５３ａの位置に一致するように各押し付け面７６ｂ１の相対位置を調整することができるようになっている。これにより、各列の全ノズル形成面５３ａの充分な清掃作業を行うことができるようになる。
【００８３】
ところで、各ノズル形成面５３ａへのワイピングシート７５の押し付け圧は、好ましくは、１００〜１０００ｇｆの範囲内の所定圧となるように設定されている。これは、押し付け圧を適正に保つことにより、ワイピングシート７５を強く押し付けすぎて各ノズル形成面５３ａを傷付けたり、もしくは、押し付け力が弱すぎて各ノズル形成面５３ａに付着した液体が拭いきれずに残ったりするのを防止するためである。より具体的に言うと、所定圧が１００ｇｆよりも小さいと、押し付け力が弱すぎて各ノズル形成面５３ａに付着した液体が拭いきれずに残る恐れがあり、また、所定圧が１０００ｇｆよりも大きくなると、強く押し付けすぎて各ノズル形成面５３ａを傷付けたりする恐れがあるので、所定圧を１００〜１０００ｇｆの範囲内に収まるように設定するのが好ましい。この所定圧は、ワイピングシートの材料およびローラ７６の硬度に応じて設定されることがより好ましい。例えば、ワイピングシート７５としてポリエステルを用い、ローラ７６として硬度２０〜７０度程度のゴム部材を用いる場合にあっては、２００〜４００ｇｆの範囲内の所定圧となるように設定されることがより好ましい。
【００８４】
この押し付け圧の設定に際しては、押し付け圧を直接計測する方法もあるが、本実施形態では、図１８（ａ）、（ｂ）に示すように、ワイピングシート７５を介してローラ７６を各ノズル形成面５３ａに押し付けた際に、ワイピングシート７５およびローラ７６の変位量（つぶれ量）が所定寸法となるようにすることで設定してもよい。より具体的に言うと、上記の変位量は、ワイピングシート７５の材料や厚さおよびローラ７６の硬度に応じて適正範囲が規定される。例えば、ワイピングシート７５としてポリエステル繊維による厚さ０．６ｍｍのシートを用い、ローラ７６として硬度３０〜６０度のゴムを用いた場合、ノズル形成面５３ａ、ワイピングシート７５およびローラ７６が接した状態のローラ７６の回転軸の位置と、押し付け後の回転軸の位置の押し付け方向における変位量が、０．１〜１ｍｍの範囲内となるように設定されている。
【００８５】
すなわち、図１８（ａ）に示す押し付け前では、各液滴吐出ヘッド５３から離れた位置にローラユニット１６０が位置しており、そのときのワイピングシート７５の上面（洗浄面）の鉛直方向高さをＨ１とする。そして、各液滴吐出ヘッド５３のノズル形成面５３ａの鉛直方向高さをＨ２とした場合に、Ｈ２−Ｈ１が、０．１〜１ｍｍの範囲内となるように設定されている。
【００８６】
これにより、図１８（ｂ）に示すように、ヘッドクリーニングのためにローラユニット１６０のローラ７６を、ノズルユニット１７１の真下に来るようにローラユニット駆動機構（図示せず）で水平移動させたときに、ワイピングシート７５およびローラ７６が、定位置に固定された各液滴吐出ヘッド５３の各ノズル形成面５３ａにより下方に押されて変形する。そして、この変形量をＧとした場合に、変形量Ｇが、０．１〜１ｍｍの範囲内となるように設定されている。
【００８７】
この変位量Ｇが０．１ｍｍに満たない場合には、ワイピングシート７５による押し付け圧が不十分であるとして判断し、逆に、１ｍｍを超える場合には、ワイピングシート７５による押し付け圧が強すぎるとして判断することができるようになる。したがって、変位量Ｇを０．１〜１ｍｍ内に収めるようにすることで、各ノズル形成面５３ａに加わる押し付け圧を直接測定せずとも、ワイピングシート７５の押し付け圧が所定圧内に収まるように容易に設定することができるのである。
【００８８】
図２４は、ワイピングユニットの他の実施形態におけるローラユニットを、そのローラの軸線に垂直な断面より見た縦断面図である。以下、この図に基づいて、ワイピングユニット（液滴吐出ヘッド清掃装置）の他の実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については説明を省略する。
【００８９】
図２４に示すように、本実施形態のワイピングユニットにおけるローラユニット１６０’では、ローラ７６へ向かって移動するワイピングシート７５の上方に、ノズルユニット１７１が設置されている。このノズルユニット１７１には、複数の噴射口１７１ａが下向きに穿設されており、ノズルユニット１７１は、その真下を通過していくワイピングシート７５に対し、その表面（上面）側から、各噴射口１７１ａより洗浄液を噴射する。
【００９０】
また、ローラ７６とワイピングシート供給ユニット１５０との間を走行するワイピングシート７５は、図示しないガイドローラの案内により、前述した実施形態よりも下側の位置を通過するように構成されている。これにより、ワイピングシート７５の上方に、ノズルユニット１７１を設置するスペースが作り出され、ノズルユニット１７１が上方に突出しないように配置されている。
【００９１】
このように、本実施形態では、複数の噴射口１７１ａは、ワイピングシート７５のノズル形成面５３ａが接触する面と同じ側の面に向けて洗浄液を噴射し、ワイピングシート７５にその表面側から洗浄液を吸収させる。これにより、噴射口１７１ａから洗浄液を重力に逆らわずに噴射するので、噴射した洗浄液の全量をワイピングシート７５により確実に含浸させることができる。また、洗浄液が付与された面と同じ面でノズル形成面５３ａを拭き取るので、より少ない量の洗浄液でも十分な清掃効果を得ることができる。
【００９２】
以上、本発明の液滴吐出ヘッド清掃装置、液滴吐出ヘッド清掃方法および液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、液滴吐出ヘッド清掃装置および液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【００９３】
また、各噴射口からの噴射量を調整する噴射量調整手段は、図示の構成に限らず、いかなる構成のものでもよい。また、噴射量調整手段は、手動で調整を行うものに限らず、各噴射口からの噴射量をセンサーにより検出し、その検出結果に基づいて、自動的に調整するものであってもよい。
また、ワイピングシートをノズル形成面に押し付ける押し付け部材は、ローラに限らず、ワイピングシートの裏面に摺動しつつこれをノズル形成面に押し付けるパッドのような部材であってもよい。
【００９４】
また、本発明の液滴吐出装置は、ワーク載置部を装置本体に対し互いに直交する水平な２方向（Ｙ軸方向およびＸ軸方向）に移動させるものでもよい。すなわち、本発明の液滴吐出装置は、ヘッドユニットを装置本体に対し固定とし、ワークをＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。また、本発明の液滴吐出装置は、これと逆に、ワーク（ワーク載置部）を装置本体に対し固定とし、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。すなわち、本発明の液滴吐出装置は、ワーク載置部と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させるよう構成されたものであればよい。
また、本発明の電気光学装置は、以上説明したような本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。本発明の電気光学装置の具体例としては、特に限定されないが、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
【００９５】
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、液晶表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色のフィルタ材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、基板上に多数のフィルタエレメントを配列してなるカラーフィルタを製造し、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造することができる。この他、本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色の発光材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列してなる有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
また、本発明の電子機器は、前述したようにして製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。本発明の電子機器の具体例としては、特に限定されないが、前述したようにして製造された液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図。
【図２】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図３】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す正面図。
【図４】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図５】パターン形成動作を説明するための模式図。
【図６】図１ないし図４に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットを示す平面図。
【図７】ヘッドユニットを図６の矢印Ｃより見た側面図。
【図８】図６および図７に示すヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの吐出機構を説明する説明図。
【図９】液滴吐出ヘッドの一部分を示す図であって、（ａ）はノズル形成面５３ａに対向する側から見た図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図。
【図１０】液滴吐出ヘッドを説明する図であり、（ａ）は主走査方向を示す説明図、（ｂ）はノズルピッチの変更を示す説明図。
【図１１】図１ないし図４に示す液滴吐出装置における付帯装置を示す側面図。
【図１２】図１ないし図４に示す液滴吐出装置における付帯装置を示す平面図。
【図１３】図１ないし図４に示す液滴吐出装置におけるワイピングユニットのワイピングシート供給ユニットを示す斜視図。
【図１４】同ワイピングシート供給ユニットを示す図であって、巻き出しローラおよび巻き取りローラの軸線に垂直をなす断面より見た縦断面図。
【図１５】同ワイピングユニットのローラユニットを示す斜視図。
【図１６】同ローラユニットを、そのローラの軸線に垂直な断面より見た縦断面図。
【図１７】同ワイピングユニットによる各ノズル形成面の清掃を説明する平面図。
【図１８】同ワイピングユニットによる各ノズル形成面の清掃を説明する側面図であって、（ａ）はワイピングシートをノズル形成面に対して押し付ける前の状態を示す図、（ｂ）は押し付け状態を示す図。
【図１９】同ワイピングユニットによる各ノズル形成面の清掃を説明する平面図。
【図２０】ワイピングユニットの洗浄液の流路を示す配管系統図。
【図２１】マニホールド、各ニードル弁およびそれらの支持板の表面を示す側面図。
【図２２】マニホールド、各ニードル弁およびそれらの支持板を示す平面図。
【図２３】マニホールド、各ニードル弁およびそれらの支持板の裏面を示す側面図。
【図２４】ワイピングユニットの他の実施形態におけるローラユニットを、そのローラの軸線に垂直な断面より見た縦断面図。
【符号の説明】
４１……枝管、４２……主管、４３……マニホールド、４４……ニードル弁、４６……逆流防止弁、４７……切り替え弁、１１０……加圧気体供給源、１７１ａ……噴射口[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a droplet discharge head cleaning device, a droplet discharge head cleaning method, a droplet discharge device, an electro-optical device, a method of manufacturing an electro-optical device, and an electronic apparatus.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, ink jet printers have been widely used mainly as consumer printers. There is known an industrial droplet discharge apparatus (inkjet drawing apparatus) to which the inkjet method (droplet discharge method) of the inkjet printer is applied. This industrial droplet discharge device is used, for example, for manufacturing a color filter or an organic EL display device of a liquid crystal display device, or for forming a metal wiring on a substrate.
[0003]
In a droplet discharge head (inkjet head) in such a droplet discharge device, when a discharge liquid such as ink adheres to a nozzle forming surface, the discharged droplet does not fly straight, but flies in a disturbed direction ( (Generally referred to as "skew"), which adversely affects the accuracy of a pattern to be formed (drawn). In order to prevent such deflection, the droplet discharge device is provided with a wiping mechanism (droplet discharge head cleaning device) for wiping and cleaning the nozzle forming surface of the droplet discharge head.
[0004]
In such a wiping mechanism, the nozzle forming surface is wiped with a wipe material that has absorbed the cleaning liquid. Therefore, the wiping mechanism is provided with an injection port (nozzle) for injecting the cleaning liquid toward the wipe material. A plurality of injection ports are provided along the width direction of the wipe material in order to apply the cleaning liquid to the entire wipe material (for example, see Patent Document 1).
However, in the conventional wiping mechanism, the cleaning liquid cannot be uniformly applied to the entire wipe material because the amount of the cleaning liquid injected from each injection port is uneven. For this reason, there is a problem that a region where the amount of the cleaning liquid is too large or a region where the amount of the cleaning liquid is too small occurs in the wiping material, so that wiping is left behind or the cleaning liquid is wasted.
[0005]
[Patent Document 1]
JP 2001-341319 A
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to provide a droplet discharge head cleaning device capable of uniformly applying a cleaning liquid to a wiping sheet, a droplet discharge head cleaning method, a droplet discharge device including the droplet discharge head cleaning device, and a droplet discharge device. An object of the present invention is to provide an electro-optical device manufactured using the device, a method of manufacturing an electro-optical device using such a droplet discharge device, and an electronic apparatus including the electro-optical device.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
Such an object is achieved by the present invention described below.
A droplet discharge head cleaning device of the present invention is a droplet discharge head cleaning device that cleans a nozzle forming surface of a droplet discharge head that discharges droplets,
A wiping sheet traveling mechanism for traveling a wiping sheet for wiping the nozzle forming surface,
A plurality of jets for jetting a cleaning liquid toward the wiping sheet,
Cleaning liquid supply means for supplying a cleaning liquid to each of the injection ports,
An injection amount adjusting unit is provided corresponding to each of the injection ports and adjusts an injection amount from the injection port.
Accordingly, it is possible to provide a droplet discharge head cleaning device capable of uniformly applying the cleaning liquid to the wiping sheet.
[0008]
In the droplet discharge head cleaning device according to the aspect of the invention, it is preferable that the plurality of ejection ports are arranged at intervals from each other in a direction orthogonal to a feeding direction of the wiping sheet.
Thus, the cleaning liquid can be more uniformly applied to the entire wiping sheet before wiping the nozzle forming surface.
[0009]
In the droplet ejection head cleaning device of the present invention, it is preferable that the ejection amount adjusting means is constituted by an adjustment valve that adjusts a flow rate provided in the middle of the flow path of the cleaning liquid to the corresponding ejection port.
This makes it possible to easily and reliably adjust the injection amount from each injection port with a simple configuration.
[0010]
In the droplet discharge head cleaning device according to the aspect of the invention, it is preferable that the plurality of ejection ports eject the cleaning liquid toward a surface of the wiping sheet opposite to a surface on which the nozzle forming surface contacts.
This makes it possible to reduce the size of the droplet discharge head cleaning device, and to more reliably prevent interference with the droplet discharge head.
[0011]
In the droplet discharge head cleaning device according to the aspect of the invention, it is preferable that the plurality of ejection ports eject the cleaning liquid toward a surface of the wiping sheet on the same side as a surface on which the nozzle forming surface contacts.
This makes it possible to reliably impregnate the jetted cleaning liquid with the wiping sheet, and to obtain a sufficient cleaning effect even with a smaller amount of the cleaning liquid.
[0012]
It is preferable that the droplet discharge head cleaning device of the present invention collectively cleans each nozzle forming surface of the plurality of droplet discharge heads.
This makes it possible to quickly and efficiently clean the plurality of droplet discharge heads with high efficiency.
It is preferable that the droplet discharge head cleaning device of the present invention further includes a pressing member that presses the wiping sheet against the nozzle forming surface.
Accordingly, it is possible to more reliably prevent the wiping residue from being left on the nozzle forming surface, and to surely perform the cleaning in a short time.
[0013]
In the droplet discharge head cleaning device of the present invention, it is preferable that the pressing member is constituted by a roller.
Thus, the wiping sheet can be pressed against the nozzle forming surface while the wiping sheet travels more smoothly.
In the droplet discharge head cleaning device of the present invention, the roller presses the wiping sheet collectively against each nozzle forming surface of the plurality of droplet discharge heads,
It is preferable that an outer peripheral surface of the roller is divided into a plurality of portions along a rotation axis direction of the roller in accordance with a pitch interval between the nozzle forming surfaces.
Thereby, since the pressing surface formed by the outer peripheral surface of the roller is divided according to the pitch interval between the respective nozzle forming surfaces, it is possible to prevent interference between adjacent pressing surfaces, The wiping sheet can be more reliably pressed against each of the nozzle forming surfaces.
[0014]
It is preferable that the droplet discharge head cleaning device of the present invention further includes a backflow prevention valve provided in the flow path of the cleaning liquid to each of the ejection ports.
Thereby, the backflow of the cleaning liquid in the flow path of the cleaning liquid to each injection port can be prevented.
In the droplet discharge head cleaning device of the present invention, the cleaning liquid supply means includes a branch pipe connected to each of the ejection ports, a main pipe connected to a cleaning liquid tank that stores the cleaning liquid, and a main pipe connected to the branch pipe. And a manifold for branching into a pipe.
Accordingly, the consumption of the cleaning liquid in the pipe can be reduced, so that the waste of the cleaning liquid is reduced and the pipe connection operation can be easily performed.
[0015]
A method of cleaning a droplet discharge head according to the present invention is directed to a nozzle of a droplet discharge head that ejects a cleaning liquid from a plurality of ejection ports toward a running wiping sheet and discharges droplets by the wiping sheet to which the cleaning liquid is applied. A droplet discharge head cleaning method for wiping and cleaning a forming surface,
The injection amount of the cleaning liquid from each injection port is adjusted so as to be substantially the same.
Accordingly, it is possible to provide a method of cleaning the droplet discharge head that can uniformly apply the cleaning liquid to the wiping sheet.
[0016]
The droplet discharge device of the present invention, the device body,
A work placement part on which the work is placed,
A droplet discharge head that discharges droplets to a work placed on the work placement unit,
A relative movement mechanism for relatively moving the work placement unit and the droplet discharge head,
The liquid ejection head cleaning device of the present invention is provided.
Thus, by wiping the cleaning of the nozzle forming surface of the droplet discharge head with the wiping sheet to which the cleaning liquid is uniformly applied, the droplet discharge head can be reliably cleaned without leaving any wiping residue. An apparatus can be provided.
[0017]
The droplet discharge device of the present invention forms a predetermined pattern on the work by discharging droplets from the droplet discharge head while relatively moving the work placement section and the droplet discharge head. Is preferred.
Thereby, various patterns can be formed (drawn) on the work according to the purpose.
[0018]
An electro-optical device according to the present invention is manufactured using the droplet discharge device according to the present invention.
Accordingly, it is possible to provide an electro-optical device including a high-performance component on which a pattern is formed (drawn) with high accuracy while reducing manufacturing costs.
A method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention uses the droplet discharge device according to the present invention.
Accordingly, it is possible to provide a method of manufacturing an electro-optical device that can form (draw) a pattern on a work with high accuracy and reduce manufacturing costs.
An electronic apparatus according to the present invention includes the electro-optical device according to the present invention.
Thus, it is possible to provide an electronic device including a high-performance component on which a pattern is formed (drawn) with high accuracy while reducing manufacturing costs.
[0019]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a droplet discharge head cleaning device, a droplet discharge head cleaning method, and a droplet discharge device of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
FIGS. 1, 2, 3, and 4 are a perspective view, a plan view, a front view, and a side view, respectively, showing an embodiment of a droplet discharge device including the droplet discharge head cleaning device of the present invention. In the following, for convenience of description, one horizontal direction (a direction corresponding to the vertical direction in FIG. 2) is referred to as a “Y-axis direction”, and a direction perpendicular to the Y-axis direction and horizontal (in FIG. (A direction corresponding to the left-right direction) is referred to as “X-axis direction”. Further, movement in the Y-axis direction and upward in FIG. 2 is referred to as “forward in the Y-axis direction”, and movement in the Y-axis direction and downward in FIG. 2 is referred to as “retreat in the Y-axis direction”. In other words, movement in the X-axis direction to the right in FIG. 2 is referred to as “forward in the X-axis direction”, and movement in the X-axis direction to the left in FIG. 2 is referred to as “retreat in the X-axis direction”. To tell.
[0020]
The droplet discharge device (inkjet drawing device) 1 shown in these drawings applies a liquid (discharge liquid) such as, for example, ink or a functional liquid containing a target material to a substrate W as a work by an inkjet method (droplet). This is a device that forms (draws) a predetermined pattern by discharging in the state of minute droplets by a discharge method, for example, manufacturing a color filter or an organic EL device in a liquid crystal display device, or forming a metal wiring on a substrate. It can be used for forming. The material of the substrate W targeted by the droplet discharge device 1 is not particularly limited, and any material may be used as long as it is a plate-like member. For example, a glass substrate, a silicon substrate, a flexible substrate, and the like may be targeted. it can. Further, the work to be targeted in the present invention is not limited to a plate-shaped member, and may be any member as long as the member has a flat bottom surface. For example, the present invention can also be applied to a droplet discharge device that forms a coating such as an optical thin film by discharging a droplet to the lens using a lens as a work.
[0021]
The droplet discharge device 1 includes an apparatus main body 2, a substrate table (substrate stage) 3 as a work mounting portion (work stage), a head unit 120 having a plurality of droplet discharge heads (inkjet heads) 53, An auxiliary device 10 is provided on the side of the device main body 2. The head unit 120 and the accessory device 10 will be described later in detail.
[0022]
The liquid discharged from the droplet discharge head 53 is not particularly limited. In addition to the ink containing the filter material of the color filter, for example, a liquid containing the following various materials (including a dispersion such as a suspension or an emulsion). It can be. A light emitting material for forming an EL light emitting layer in an organic EL (electroluminescence) device. A fluorescent material for forming a phosphor on an electrode in an electron emission device; -A fluorescent material for forming a phosphor in a PDP (Plasma Display Panel) device. -An electrophoretic material forming an electrophoretic body in an electrophoretic display device. A bank material for forming a bank on the surface of the substrate W;・ Various coating materials. A liquid electrode material for forming an electrode; A particle material forming a spacer for forming a minute cell gap between two substrates; A liquid metal material for forming metal wiring; A lens material for forming a microlens;・ Resist material. A light diffusion material for forming a light diffuser;
[0023]
As shown in FIG. 3, the apparatus main body 2 includes a gantry 21 installed on the floor, a stone stool 22 installed on the gantry 21, and four pillars 23 installed on the stone stool 22. And a gantry structure (upper structure) 24 supported by these columns 23.
The gantry 21 has a frame body 211 formed by assembling an angle material or the like in a rectangular shape, and a plurality of support legs 212 distributed below the frame body 211. The stone platen 22 is made of solid stone, and the upper surface thereof has a high flatness. In the present embodiment, the provision of the stone surface plate 22 prevents the influence of surrounding environmental conditions, vibrations, and the like, and enables the substrate table 3 and the head unit 120 described later to move with high accuracy.
[0024]
On the stone platen 22, the substrate table 3, the air slider 106 and the linear motor 101 constituting the Y-axis direction moving mechanism are installed. The substrate table 3 is supported by the air slider 106 so as to be able to move smoothly in the Y-axis direction, and is driven forward and backward in the Y-axis direction by driving of the linear motor 101. The substrate W is placed on the substrate table 3. The substrate table 3 can pass under the gantry structure 24. The substrate table 3 is formed with a groove 316 for adsorbing and fixing the placed substrate W by negative pressure. Further, a θ-axis rotation drive mechanism is provided below the substrate table 3, whereby the substrate table 3 can rotate within a predetermined range around a vertical θ-axis passing through the center of the substrate table 3. It has become.
[0025]
In the vicinity of two sides along the X-axis direction of the substrate table 3, liquid discharged (also referred to as flushing or preliminary discharge) from the droplet discharge head 53 before droplet discharge (drawing) on the substrate W, respectively. A pre-drawing flushing unit (not shown) for receiving drops is provided. A suction tube (not shown) is connected to the pre-drawing flushing unit, and the discarded and discharged liquid is collected through the suction tube and set in the tank storage section 11 of the auxiliary device 10. It is stored in the drainage tank.
[0026]
As shown in FIGS. 2 and 4, the gantry structure 24 is provided with a bridge 103, a pair of X-axis direction sliders 107, a ball screw 108, and a servomotor 109 constituting an X-axis direction moving mechanism. . The bridge 103 is supported movably in the X-axis direction by the guide of the X-axis direction slider 107, and moves forward and backward in the X-axis direction by driving of the ball screw 108 and the servomotor 109 for rotating the same. .
[0027]
As shown in FIG. 3, the main carriage 102 that supports the head unit 120 is installed on the bridge 103 so as to be suspended from the bridge 103. With such a configuration, the head unit 120 can move forward and backward in the X-axis direction in the space above the substrate table 3 together with the bridge 103.
In the present embodiment, the Y-axis direction moving mechanism and the X-axis direction moving mechanism constitute a relative moving mechanism for relatively moving the substrate table 3 and the droplet discharge head 53.
A first air supply device 14 is provided on the side of the device main body 2 opposite to the side on which the auxiliary device 10 is provided (see FIG. 3). The first air supply device 14 functions as a drive source for an actuator such as a pneumatic cylinder installed on the device main body 2 side.
[0028]
In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the so-called main scanning of the droplet discharge head 53 is performed by moving the substrate table 3 in the Y-axis direction while moving distance detecting means (not shown) (for example, a linear encoder or a laser length measuring device). The droplet discharge head 53 is driven to selectively discharge droplets at a discharge timing generated based on the movement distance (current position) of the substrate table 3 detected by the above. Correspondingly, so-called sub-scanning is performed by intermittently moving the head unit 120 (droplet discharge head 53) in the X-axis direction when the droplet discharge head 53 is not driven (during non-discharge). This is done by moving.
[0029]
Such a droplet discharge device 1 is preferably housed in a chamber (isolated space) 91 and is placed in an environment where temperature and humidity are controlled. Air whose temperature and humidity are adjusted by an air conditioner (not shown) installed outside is introduced into the chamber 91. By controlling the temperature and humidity around the droplet discharge device 1 by such a chamber 91, it is possible to prevent an error from occurring due to expansion and contraction of the substrate W and various parts of the device due to a temperature change. As a result, the accuracy of the pattern drawn (formed) on the substrate W by the discharged droplets can be further increased. Further, since the tank storage section 11 is also placed in an environment where the temperature and the humidity are controlled, the viscosity and the like of the discharged liquid are stabilized, and the formation (drawing) of the pattern by the discharged liquid droplets can be performed with higher accuracy. In addition, it is possible to prevent dust and the like from entering the chamber 91 and to keep the substrate W clean.
A gas other than air (for example, an inert gas such as nitrogen, carbon dioxide, helium, neon, argon, krypton, xenon, and radon) is supplied and filled into the chamber 91 at a controlled temperature. The droplet discharge device 1 may be operated in an atmosphere.
[0030]
Further, the droplet discharge device 1 has a control device (not shown) for controlling the operation of each part of the droplet discharge device 1. The control device includes a CPU (Central Processing Unit) and a storage unit that stores (stores) various programs such as a program for executing a control operation of the droplet discharge device 1 and various data. The operation of each part of the droplet discharge device 1 is controlled.
[0031]
FIG. 5 is a schematic diagram for explaining a pattern forming operation (drawing operation) in the droplet discharge device shown in FIGS. Hereinafter, the pattern forming operation of the droplet discharge device 1 under the control of the control device will be described with reference to FIG.
When the substrate W is positioned at a predetermined position on the substrate table 3 and is supplied (placed) by a supply / removal robot (not shown), the substrate W is suctioned by air in a groove 316 formed in the substrate table 3, and the substrate W is removed. W is attracted and fixed to the substrate table 3. Next, a recognition camera (not shown) installed in the apparatus main body 2 recognizes an alignment mark provided at a predetermined location (one or more locations) on the substrate W. Based on the recognition result, the θ-axis rotation drive mechanism is operated to correct the angle of the substrate W about the θ-axis, and the position correction of the substrate W in the X-axis direction and the Y-axis direction is performed on the data. .
When the alignment operation of the substrate W as described above is completed, the droplet discharge device 1 starts an operation of forming (drawing) a predetermined pattern on the substrate W. This operation is performed by main scanning and sub scanning of the substrate W with the droplet discharge head 53 (head unit 120).
[0032]
In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the main scanning is performed while moving the substrate W in the Y-axis direction by moving the substrate table 3 with the head unit 120 stopped (not moving) with respect to the device main body 2. This is performed by discharging droplets from each droplet discharge head 53 onto the substrate W. That is, in the present embodiment, the Y-axis direction is the main scanning direction.
[0033]
This main scanning may be performed during the forward movement (forward movement) of the substrate table 3, during the backward movement (return movement), or during both the forward movement and the backward movement (reciprocation). Further, the substrate table 3 may be reciprocated a plurality of times, and may be repeatedly performed a plurality of times. By such a main scan, the discharge of the liquid droplets is completed in an area extending along the main scan direction with a predetermined width (a width that can be discharged by the head unit 120) on the substrate W.
[0034]
After such a main scan, a sub-scan is performed. The sub-scan is performed by moving the head unit 120 in the X-axis direction by the predetermined width by moving the main carriage 102 (bridge 103) when the droplet is not ejected. That is, in the present embodiment, the X-axis direction is the sub-scanning direction.
After such sub-scanning, the same main scanning as described above is performed. As a result, the droplet is ejected to a region adjacent to the region where the droplet was ejected in the previous main scan.
By alternately repeating the main scanning and the sub-scanning in this manner, droplets are ejected to the entire region of the substrate W, and a predetermined pattern of the ejected droplets (liquid) is formed on the substrate W. Can be formed (drawn).
[0035]
In the present invention, the main scanning direction and the sub-scanning direction may be opposite to those described above. That is, main scanning is performed by discharging droplets onto the substrate W while moving the droplet discharge head 53 (head unit 120) in the X-axis direction while the substrate W (substrate table 3) is stopped, Sub-scanning may be performed by moving the substrate W (substrate table 3) in the Y-axis direction during non-ejection of droplets.
[0036]
FIG. 6 is a plan view showing a head unit in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 to 4, FIG. 7 is a side view of the head unit as viewed from an arrow C in FIG. 6, and FIG. FIG. 9 is a view illustrating a part of the droplet discharge head provided in the head unit shown in FIG. 9, and FIG. 9A is a view showing a part of the droplet discharge head, and FIG. FIG. 10B is a cross-sectional view taken along line DD of FIG. 10A, FIG. 10 is a diagram for explaining the droplet discharge head, FIG. 10A is an explanatory diagram showing the main scanning direction, and FIG. It is explanatory drawing which shows the change of. Hereinafter, the head unit 120 and the droplet discharge head 53 will be described in detail with reference to these drawings.
[0037]
As shown in FIGS. 6 and 7, the head unit 120 of the present embodiment has a head holding plate 122 and twelve droplet discharge heads 53 fixed thereto. The droplet discharge heads 53 are arranged in two rows of six each so as to overlap each other in an oblique posture with respect to the sub-scanning direction, and form a first head row 121A and a second head row 121B. The first head row 121A and the second head row 121B are parallel to each other, and their respective axes c1 and c2 intersect with the feeding direction of the wiping sheet 75 described later (the direction of arrow S in FIG. 6). It is arranged to be.
[0038]
As shown in FIG. 8, each droplet discharge head 53 is, for example, a head using a piezo element (piezoelectric element), and a plurality of nozzles 53c are formed on a nozzle forming surface 53a of a main body 53b. A piezo element 53d is provided for each of the nozzles 53c. The piezo element 53d is arranged corresponding to the nozzle 53c and the liquid chamber 53e, and expands and contracts in the direction of arrow P when an applied voltage Vh is applied, and pressurizes the liquid chamber 53e to apply a predetermined amount of liquid. The droplet R is ejected from each nozzle 53c.
[0039]
As shown in FIGS. 9A and 9B, a plurality of rows (two rows in this embodiment) of grooves 53a1 and 53a2 are formed in the nozzle forming surface 53a of each droplet discharge head 53 in parallel with each other. In addition, nozzles 53c are formed at equal pitch intervals inside the grooves 53a1 and 53a2.
[0040]
As described above, the droplet discharge heads 53 are arranged so as to be obliquely overlapped with each other. This is because, when the droplet R is discharged while passing over each of the droplet discharge heads 53 on the substrate W as shown in FIG. 10A, the droplet R is discharged in the scanning direction (the traveling direction) as shown in FIG. On the other hand, by tilting each of the droplet discharge heads 53 at an appropriate angle, the apparent nozzle interval p2 is matched according to the pixel pitch p1 of the substrate W to be manufactured.
[0041]
The arrangement pattern of the droplet discharge heads 53 in the head unit 120 as described above is an example. For example, adjacent droplet discharge heads 53 in each head row are arranged at an angle of 90 ° (adjacent heads May be arranged in a “C” shape, or the droplet discharge heads 53 between the head rows may be arranged at an angle of 90 ° (heads between the rows may be formed in a “C” shape). In any case, the dots by all the nozzles 53c of the plurality of droplet discharge heads 53 need only be continuous in the sub-scanning direction.
[0042]
Further, the droplet discharge heads 53 do not have to be installed in a posture inclined with respect to the sub-scanning direction, and a plurality of droplet discharge heads 53 may be arranged in a staggered or stepwise manner. . In addition, as long as a nozzle row (dot row) having a predetermined length can be configured, this may be configured by a single droplet discharge head 53. Further, a plurality of head units 120 may be mounted on the main carriage 102.
In addition, the droplet discharge head 53 is not limited to the above-described configuration. For example, a droplet discharge head 53 may be configured to heat a discharge liquid with a heater to boil the liquid, and discharge the liquid droplet from a discharge nozzle by the pressure. Good.
[0043]
FIGS. 11 and 12 are a side view and a plan view, respectively, showing an accessory device in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 to 4. Hereinafter, the auxiliary device 10 of the droplet discharge device 1 will be described with reference to these drawings.
As shown in FIGS. 11 and 12, the auxiliary device 10 includes a substantially rectangular parallelepiped housing 13, a tank storage unit 11 provided in the housing 13, and a second housing 13 installed on the side surface and inside of the housing 13. 2, an air supply device 17, a movable table 124 mounted on the housing 13 so as to be movable in the Y-axis direction, a capping unit 60, a wiping unit (droplet discharge head cleaning device) 70, and a weight measuring unit. 90 and a missing dot detection unit 100. Hereinafter, each part of the auxiliary device 10 will be described, but the wiping unit 70 will be separately described later.
[0044]
As shown in FIG. 12, the capping unit 60, the wiping unit 70, and the weight measuring unit 90 are arranged on the movable base 124 in the Y-axis direction. When the movable table 124 moves in the Y-axis direction while the head unit 120 is positioned above the auxiliary device 10, any one of the capping unit 60, the wiping unit 70, and the weight measuring unit 90 is moved to the head unit 120 (droplet ejection). It can be located below the head 53). The head unit 120 moves above the auxiliary device 10 during standby (for example, when supplying or removing the substrate W), and performs capping and cleaning (wiping).
[0045]
The capping unit 60 has a plurality of caps 61 arranged so as to correspond to each of the plurality of droplet discharge heads 53, and an elevating mechanism for elevating the caps 61. A suction tube (not shown) is connected to each cap 61, and the capping unit 60 covers the nozzle forming surface 53 a of each droplet discharge head 53 with each cap 61 and is formed on the nozzle forming surface 53 a. The discharged liquid can be sucked from the discharged nozzle 53c. By performing such capping, it is possible to prevent the nozzle forming surface 53a of the droplet discharge head 53 from drying, and to recover (eliminate) nozzle clogging.
[0046]
The capping by the capping unit 60 is performed when the head unit 120 is in a standby state, when the head unit 120 is initially filled with the discharge liquid, when the discharge liquid is discharged from the head unit 120 when the discharge liquid is replaced with a different liquid, and the cleaning liquid This is performed when the flow path is washed.
The discharge liquid discharged from the droplet discharge head 53 during the capping by the capping unit 60 is collected through the suction tube and stored in a reuse tank 113 installed in the tank storage unit 11. The liquid collected in the reuse tank 113 is provided for reuse. However, the washing liquid collected at the time of washing the channel is not reused.
[0047]
The weight measuring unit 90 is used to measure the amount (weight) of a single droplet discharge from the droplet discharge head 53 as a preparation stage for the droplet discharge operation on the substrate W. That is, before the droplet discharging operation on the substrate W, the head unit 120 moves above the weight measuring unit 90, and applies one or more droplets from all the nozzles 53c of each droplet discharging head 53 to the weight measuring unit 90. It discharges to. The weight measurement unit 90 includes a liquid receiver that receives the discharged droplets and a weighing scale such as an electronic balance, and measures the weight of the discharged droplets. Alternatively, the liquid receiver may be removed and measurement may be performed with a weighing scale outside the apparatus. The control device, which will be described later, calculates the amount (weight) of one ejection droplet from the nozzle 53c based on the result of the weight measurement, and adjusts the droplet so that the calculated value becomes equal to a predetermined design value. The applied voltage of the head driver that drives the ejection head 53 is corrected.
[0048]
The dot missing detection unit 100 is installed on the movable platform 124 on the side of the capping unit 60 (apparatus main body 2 side). The dot missing detection unit 100 detects missing dots caused by clogging of the nozzles 53c of the droplet discharge head 53, and includes, for example, a light projecting unit that projects and receives laser light and a light receiving unit. ing. When performing missing dot detection, the head unit 120 discards and discharges droplets from each nozzle 53c while moving in the X-axis direction above the dot missing detection unit 100, and the dot missing detection unit 100 Light emission and light reception are performed on the ejected droplets, and the presence or absence and location of the clogged nozzle 53c are optically detected. At this time, the liquid discharged from the liquid droplet discharge head 53 accumulates in a tray provided in the dot missing detection unit 100, is collected through a suction tube (not shown) connected to the bottom of the tray, and is collected in the tank. It is stored in a drainage tank (not shown) installed in the section 11.
[0049]
The tank storage section 11 stores a primary tank 111 for storing the discharge liquid discharged from each of the droplet discharge heads 53, a cleaning liquid tank 112 for storing the cleaning liquid supplied to the wiping unit 70, and suction by the capping unit 60 described above. A reuse tank 113 for storing the collected liquid and a drain tank (not shown) for storing the liquid discharged and collected during the flushing before drawing and the detection of missing dots are installed and stored respectively. I have.
The second air supply device 17 functions as a pressure supply source that supplies pressure for sending out a discharge liquid and a cleaning liquid from the primary tank 111 and the cleaning liquid tank 112, respectively, and drives an actuator such as a pneumatic cylinder in the auxiliary device 10. Or function as a source.
[0050]
A secondary tank 18 is fixedly installed on the housing 13. The discharged liquid stored in the primary tank 111 flows into the secondary tank 18 through a pipe (tube) (not shown). In the secondary tank 18, the pressure is controlled, and the liquid amount (head difference) is adjusted. The liquid discharged from the secondary tank 18 is supplied to each liquid droplet discharging head 53 of the head unit 120 through a pipe (tube) (not shown).
[0051]
FIG. 13 is a perspective view illustrating the wiping sheet supply unit of the wiping unit 70, and FIG. 14 is a diagram illustrating the wiping sheet supply unit, as viewed from a cross section perpendicular to the axes of the unwind roller and the take-up roller. FIG. 15 is a perspective view showing a roller unit of the wiping unit 70, FIG. 16 is a vertical sectional view of the roller unit viewed from a cross section perpendicular to the axis of the roller, and FIG. FIG. 18 is a side view illustrating cleaning of each nozzle forming surface by the wiping unit 70, and FIG. 18A is a side view illustrating cleaning of each nozzle forming surface by the wiping unit 70. FIG. FIG. 19B is a diagram showing a state before pressing, FIG. 19B is a diagram showing a pressing state, and FIG. FIG. 20 is a plan view for explaining cleaning, FIG. 20 is a piping diagram showing the flow path of the cleaning liquid of the wiping unit 70, FIG. 21 is a side view showing the surfaces of the manifold, each needle valve and their support plates, and FIG. FIG. 23 is a plan view showing the manifold, each needle valve and their support plates, and FIG. 23 is a side view showing the back surface of the manifold, each needle valve and their support plates. Hereinafter, the wiping unit (droplet discharge head cleaning device) 70 will be described in detail with reference to these drawings and FIGS. 11 and 12.
[0052]
The wiping unit 70 shown in these figures is for wiping and cleaning the nozzle forming surfaces 53a of the droplet discharge heads 53 with a wiping sheet 75 regularly or as needed. The wiping sheet 75 has a property capable of absorbing liquid, and the material thereof is not particularly limited. For example, a woven fabric made of polyester is preferably used.
[0053]
As shown in FIGS. 11 and 12, the wiping unit 70 includes a roller (pressing member) 76 for pressing a wiping sheet 75 wiping each nozzle forming surface 53a toward each nozzle forming surface 53a, and a wiping sheet 75 for forming each nozzle forming surface 53a. An unwinding roller 78 that unwinds and supplies the surface 53a, a winding roller 79 that winds up the wiping sheet 75 after wiping each nozzle forming surface 53a, and an electric motor 153 that rotationally drives the winding roller 79. And
[0054]
According to the wiping unit 70, the wiping sheet 75 unwound from the unwind roller 78 is supplied toward the respective nozzle forming surfaces 53a while being pressed by the rollers 76, so that a new cleaning surface of the wiping sheet 75 is removed. The supply can be continuously performed to each nozzle forming surface 53a. In addition, since the wiping sheet 75 is pressed against each nozzle forming surface 53a by the pressing force of the roller 76, the cleaning surface can be reliably applied to each nozzle forming surface 53a.
[0055]
As shown in FIGS. 13 and 14, the unwind roller 78 and the take-up roller 79 are fixed to the roller casing 151 so as to be rotatable around their respective axes, and rotate the take-up roller 79. Thus, the wiping sheet 75 (not shown in FIGS. 13 and 14) can be unwound from the unwind roller 78. Here, the rotation drive of the take-up roller 79 is performed by driving a pulley 79 b coaxially attached to an end of a rotation shaft 79 a of the take-up roller 79 by an electric motor 153 via a belt 152.
[0056]
The guide roller 154 shown in the figure is for correctly guiding the flow of the wiping sheet 75, and a tachometer 155 (encoder) provided at the end detects the rotation speed of the guide roller 154. , The feed speed of the wiping sheet 75 can be detected.
The above-described unwinding roller 78, winding roller 79, roller casing 151, wiping sheet 75, electric motor 153, guide roller 154, and tachometer 155 (encoder) are provided for wiping. The sheet supply unit 150 is configured.
[0057]
As shown in FIGS. 15 and 16, the roller 76 is fixed to the roller casing 161 so as to be rotatable around its axis, and is adjusted to the feed speed of the wiping sheet 75 fed from the wiping sheet supply unit 150. They are driven to rotate in synchronization. Here, the rotation of the roller 76 is performed by driving a pulley 76c coaxially attached to an end of a rotation shaft 76a of the roller 76 by an electric motor 163 via a belt 162.
The roller unit 160 includes the roller 76 described above, the roller casing 161, and the electric motor 163. Further, the wiping sheet supply unit 150 and the roller unit 160 constitute a wiping sheet traveling mechanism that causes the wiping sheet 75 to travel.
[0058]
In the vicinity of the roller 76, a nozzle unit 171 having a plurality of ejection ports (nozzles) 171a for ejecting the cleaning liquid toward the wiping sheet 75 before wiping each nozzle forming surface 53a is provided. The nozzle unit 171 is a rod-shaped member in which a plurality of injection ports 171a are drilled upward, and is arranged in parallel with the axis (rotation axis) of the roller 76. The nozzle unit 171 injects the cleaning liquid from each ejection port 171a from the back surface (lower surface) side of the wiping sheet 75 passing right above the nozzle unit 171. Thereby, the wiping sheet 75 immediately before wiping each nozzle forming surface 53a can absorb the cleaning liquid and wet the wiping sheet 75.
[0059]
The reason why the cleaning liquid is absorbed in the wiping sheet 75 in advance in this manner is not only to wipe out each nozzle forming surface 53a more cleanly by the cleaning effect of the cleaning liquid, but also for the following reason. That is, for example, when a dry wiping sheet 75 is pressed against each nozzle forming surface 53a (in the case of a dry type), the liquid discharged from each droplet discharge head 53 is sucked by the wiping sheet 75 toward the nozzle forming surface 53a. There is a risk that it will be pulled out unnecessarily. On the other hand, by moistening the cleaning surface of the wiping sheet 75 in advance with a cleaning liquid (wet-type), it is possible to ensure that each nozzle formation surface does not have to be discharged from the inside of the droplet discharge head 53 without excessive discharge liquid. It becomes possible to wipe off the discharged liquid adhering to 53a. In addition, although it does not specifically limit as a washing | cleaning liquid, For example, various cleaning agents, an organic solvent, etc. can be used.
[0060]
Further, in the present embodiment, the plurality of ejection ports 171a eject the cleaning liquid toward the surface of the wiping sheet 75 opposite to the surface on which the nozzle forming surface 53a contacts, and absorb the cleaning liquid from the back side of the wiping sheet 75. Let it. Accordingly, the ejection port 171a (nozzle unit 171) can be disposed below the wiping sheet 75, so that the wiping unit 70 can be reduced in size (to save space) and interfere with the droplet discharge head 53. Can be more reliably prevented.
[0061]
The plurality of injection ports 171a are arranged at an interval from each other in a direction (width direction of the wiping sheet 75) orthogonal to a feeding direction (running direction) of the wiping sheet 75. Thus, the cleaning liquid can be applied to the entire wiping sheet 75 before wiping each nozzle forming surface 53a. Note that the plurality of injection ports 171a are preferably arranged at equal intervals as in the configuration shown in the figure. Thus, the cleaning liquid can be applied evenly to the entire width of the wiping sheet 75.
[0062]
Further, in the present embodiment, the arrangement direction of the plurality of ejection ports 171 a is parallel to the width direction of the wiping sheet 75. Thereby, each injection port 171a can be arranged in a space as small as possible. Note that, unlike such a configuration, the arrangement direction of the plurality of ejection ports 171a may be inclined with respect to the width direction of the wiping sheet 75.
[0063]
The installation interval (pitch) of the injection ports 171a is not particularly limited, and its preferable value varies depending on the material of the wiping sheet 75, the type of the cleaning liquid, and the like, but is preferably about 15 to 30 mm. In addition, the number of the injection ports 171a is not particularly limited, and its preferable value varies depending on the width dimension of the wiping sheet 75 and the like, but it is usually preferably about 6 to 18. In the present embodiment, twelve injection ports 171a are provided.
[0064]
Each injection port 171a formed in the nozzle unit 171 is independent without communicating with each other. The nozzle unit 171 is provided with a pipe connection portion 171b corresponding to each of the injection ports 171a, and each of the pipe connection sections 171b is connected to a branch pipe 41 that supplies a cleaning liquid to the corresponding injection port 171a. Have been. The branch pipe 41 is formed of a flexible tube in the illustrated configuration. 15 and 23, only three of the twelve branch pipes 41 are shown in FIGS. 15 and 23, and all the branch pipes 41 are not shown in FIG.
[0065]
As shown in FIG. 20, each branch pipe 41 branches from a main pipe 42 connected to the cleaning liquid tank 112 via a manifold 43. The cleaning liquid in the cleaning liquid tank 112 is supplied to each injection port 171a through the main pipe 42, the manifold 43, and each branch pipe 41. As described above, the main pipe 42, the manifold 43, and the branch pipes 41 constitute a cleaning liquid supply unit.
[0066]
Further, the inside of the cleaning liquid tank 112 is pressurized by a gas such as pressurized nitrogen gas supplied from the pressurized gas supply source 110, and liquid is sent (sent) by this pressure.
A switching valve 47 that can shut off the flow path is provided in the middle of the main pipe 42 so that the flow of the cleaning liquid from the main pipe 42 to the manifold 43 can be stopped when wiping is not performed. .
[0067]
In the middle of each branch pipe 41, a needle valve (adjustment valve) 44 for adjusting the flow rate is provided. Each needle valve 44 functions as an injection amount adjusting unit that adjusts the injection amount from the corresponding injection port 171a.
In the middle of each branch pipe 41, a check valve (check valve) 46 is further installed. Thereby, the backflow of the cleaning liquid in the branch pipe 41 can be prevented. The check valves 46 are collectively installed in a check valve installation section 180 provided near the wiping sheet supply unit 150 and the roller unit 160 (see FIG. 11).
[0068]
As shown in FIGS. 21 to 23, the manifold 43 and each needle valve 44 are fixed to a support plate 71 installed on the moving table 124 near the wiping sheet supply unit 150 and the roller unit 160.
As shown in FIG. 21, the main body 431 of the manifold 43 is located on the front side of the support plate 71, and the main pipe 42 is connected to the main body 431 via the adjustment valve 45. By adjusting the adjustment valve 45, the flow rate from the cleaning liquid tank 112 to the manifold 43 can be adjusted. On the front side of the support plate 71, adjustment knobs 442 for the respective needle valves 44 are provided.
As shown in FIG. 23, a main body 441 of each needle valve 44 and each branch port 432 of the manifold 43 are provided on the back side of the support plate 71. Each branch pipe 41 exits from each branch port 432, passes through the main body 441 of each needle valve 44, and extends to each injection port 171a side.
[0069]
With the configuration as described above, the wiping unit 70 can adjust the injection amount of the cleaning liquid from each injection port 171a by turning the adjustment knob 442 of each needle valve 44. Therefore, the injection amount of the cleaning liquid from each injection port 171a can be adjusted so that the cleaning liquid is uniformly applied in the width direction of the wiping sheet 75. In this case, it is preferable to adjust the injection amounts from the respective injection ports 171a to be the same.
[0070]
In the present invention, the cleaning liquid can be uniformly applied to the entire wiping sheet 75 in this manner. Accordingly, it is possible to prevent the wiping sheet 75 from having a region where the cleaning liquid is too small and the cleaning power is insufficient, or a region where the cleaning liquid is too large and the liquid (the wiped liquid) cannot be absorbed any more. it can. Therefore, a high cleaning effect is obtained over the entire wiping sheet 75, so that it is possible to reliably prevent the unwiped portion from being left. In other words, the entire surface of each nozzle forming surface 53a can be wiped and the adhering liquid can be reliably removed. As a result, the droplets can be blown straight without causing a distortion (disorder) in the discharge direction (flying direction) of the droplets from each nozzle 53c of the droplet discharge head 53, so that a pattern is formed on the substrate W. (Drawing) can be performed while maintaining high accuracy.
[0071]
Further, since the cleaning liquid can be applied uniformly over the entire wiping sheet 75, there is no need to increase the entire injection amount in consideration of unevenness in the injection amount from each injection port 171a. Consumption can be minimized. Therefore, there is little waste of the cleaning liquid, the running cost can be reduced, and the manufacturing cost of the product such as the substrate W can be reduced.
[0072]
In the present embodiment, the cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid tank 112 to the manifold 43 near the wiping unit 70 (wiping sheet 75) by one pipe (main pipe 42), and a plurality of pipes (branch pipes 41) are supplied from the manifold 43. The cleaning liquid is supplied to each injection port 171a. Accordingly, the consumption of the cleaning liquid in the pipe can be reduced, so that the waste of the cleaning liquid is reduced and the pipe connection operation can be easily performed.
[0073]
As shown in FIG. 17, the wiping unit 70 is configured to be able to collectively (simultaneously) clean the first head row 121A and the second head row 121B. That is, the rollers 76 are configured to collectively press the wiping sheet 75 against the respective nozzle forming surfaces 53a of the plurality (six) of the droplet discharge heads 53 constituting each row. Thus, cleaning of the entire head unit 120 can be quickly performed with high efficiency.
[0074]
The relative widths W1 and W2 between the wiping sheet 75 and the roller 76 and each of the nozzle forming surfaces 53a are the sum of the respective nozzle forming surfaces 53a. The width dimension is set to W3 or more. Similarly, the total width dimension W4 formed by the respective injection ports 171a of the nozzle unit 171 is longer than the total width dimension W3.
With this configuration, there is no generation of the nozzle forming surface 53a that is out of the range of the cleaning surface of the wiping sheet 75, the pressing range of the roller 76, or the cleaning liquid application range from the nozzle unit 171. Can be reliably wiped off without leaving.
[0075]
Further, in the droplet discharge device 1 of the present embodiment, as shown in FIGS. 15 and 17, the roller 76 is divided into a plurality in the axial direction of the roller 76 in accordance with the pitch interval between the nozzle forming surfaces 53a. And a rotary shaft 76a having a common axis as the divided roller 76b. That is, the outer peripheral surface of the roller 76 is divided into a plurality of portions along the rotation axis direction of the roller 76 in accordance with the pitch interval between the nozzle forming surfaces 53a. The outer peripheral surface of each split roller 76b is a pressing surface 76b1 that presses the wiping sheet 75 toward each nozzle forming surface 53a. Preferably, at least the outer peripheral portion of each of the divided rollers 76b is made of an elastic material such as rubber, for example, and has resilience against a pressing force against the pressing surface 76b1.
[0076]
As described above, the roller 76 is divided into the plurality of divided rollers 76b having the plurality of pressing surfaces 76b1, and the pitch interval between the pressing surfaces 76b1 is adjusted to the pitch interval between the nozzle forming surfaces 53a. Therefore, in a state where the wiping sheet 75 is pressed against each nozzle forming surface 53a, the pressing surfaces 76b1 adjacent to each other do not interfere with each other.
[0077]
More specifically, the width dimension of the first nozzle row n1 and the second nozzle row n2 provided on each nozzle forming surface 53a in the cross direction (vertical direction on the paper surface of FIG. 17) crossing the feed direction of the wiping sheet 75. The width Wb of each pressing surface 76b1 (divided roller 76b) is set so as to be wider than Wa, and each pressing is performed such that the corresponding width Wa falls within the width Wb. The arrangement of the surface 76b1 (divided roller 76b) is set.
[0078]
Therefore, a dedicated pressing surface 76b1 can be supplied for each of the nozzle forming surfaces 53a, so that the pressing of the wiping sheet 75 against all the nozzle forming surfaces 53a can be more reliably ensured. I have.
For example, when the roller 76 is not divided and its outer peripheral surface is configured as a single pressing surface, if there is a nozzle forming surface 53a that projects to the wiping sheet 75 side from other droplet discharge heads 53, The protruding nozzle forming surface 53a can come into good contact with the wiping sheet 75. However, the cleaning surface of the wiping sheet 75 is wrapped around the cleaning surface of the wiping sheet 75 so that the cleaning surface is easily departed from the nozzle forming surface 53a on both sides of the cleaning surface of the wiping sheet 75. It becomes difficult to wipe. On the other hand, in the present embodiment, since the pressing surfaces 76b1 divided from each other are adopted, even if the protruding nozzle forming surface 53a as described above is present, the protruding nozzle forming surface 53a is The other pressing surface 76b1 is not entangled by being entangled. Accordingly, the pressing surfaces 76b1 adjacent to each other do not interfere with each other, so that the pressing surfaces 76b1 are evenly wiped and more reliably cleaned.
Note that, in the present invention, the roller 76 may not be divided into a plurality of rollers, and the outer peripheral surface may be continuous along the rotation axis direction.
[0079]
As shown in FIG. 6, each of the droplet discharge heads 53 constitutes a first head row 121A and a second head row 121B by arranging a plurality of them in a row. The first head row 121A and the second head row 121B are arranged so as to intersect in the feeding direction of the wiping sheet 75 (the direction of the arrow S), and the first head row 121A and the second head row 121B are arranged. The position when viewed from the feed direction is shifted by the shift amount Sh in accordance with the pixel pitch for drawing.
[0080]
The wiping unit 70 of the present embodiment absorbs the shift amount Sh by absorbing each pressing surface 76b1 against each nozzle forming surface 53a for each row (for each of the first head row 121A and the second head row 121B). And a roller position adjusting unit (not shown) for adjusting the relative positions of the rollers.
The roller position adjusting unit is a drive mechanism that slides the moving table 124 in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 6 so that the wiping unit 70 installed on the moving table 124 can be integrally slid. Has become. That is, as shown in FIG. 19, the rollers 76 can be shifted and positioned in a direction intersecting the feed direction of the wiping sheet 75.
[0081]
As shown in FIG. 19, the roller 76 is moved rightward on the paper surface with respect to the first head row 121A and the second head row 121B fixed at fixed positions for cleaning the respective nozzle forming surfaces 53a. The nozzle forming surfaces 53a are cleaned in the order of the first head row 121A and the second head row 121B. As described above, there is a shift amount Sh between the first head row 121A and the second head row 121B. Therefore, the roller 76 after cleaning the first head row 121A is slid in advance by the shift amount Sh by the roller position adjusting unit, so that the shift amount Sh can be absorbed.
[0082]
Therefore, the provision of the roller position adjusting unit causes a change in specifications such as a pixel pitch and a size of the substrate W to be manufactured, thereby changing the shift amount Sh between the first head row 121A and the second head row 121B. Even in this case, the roller position adjusting unit can adjust the relative position of each pressing surface 76b1 so as to correspond to the position of each nozzle forming surface 53a in each row. Accordingly, it is possible to perform a sufficient cleaning operation of all the nozzle forming surfaces 53a of each row.
[0083]
Incidentally, the pressing pressure of the wiping sheet 75 against each nozzle forming surface 53a is preferably set to be a predetermined pressure within a range of 100 to 1000 gf. This is because, by keeping the pressing pressure appropriately, the wiping sheet 75 is pressed too strongly to damage the respective nozzle forming surfaces 53a, or the pressing force is too weak to remove the liquid adhering to the respective nozzle forming surfaces 53a. It is to prevent the remaining in the. More specifically, if the predetermined pressure is smaller than 100 gf, the pressing force is too weak, and the liquid adhered to each nozzle forming surface 53a may remain without being wiped, and the predetermined pressure may be larger than 1000 gf. If so, there is a possibility that each nozzle forming surface 53a may be damaged due to excessive pressing, so it is preferable to set the predetermined pressure to fall within the range of 100 to 1000 gf. This predetermined pressure is more preferably set according to the material of the wiping sheet and the hardness of the roller 76. For example, in a case where a polyester member is used as the wiping sheet 75 and a rubber member having a hardness of about 20 to 70 degrees is used as the roller 76, it is more preferable that the predetermined pressure is set within a range of 200 to 400 gf. .
[0084]
In setting the pressing pressure, there is a method of directly measuring the pressing pressure. In the present embodiment, as shown in FIGS. 18A and 18B, the roller 76 is formed by the wiping sheet 75 to form each nozzle. The displacement (crushing amount) of the wiping sheet 75 and the roller 76 when pressed against the surface 53a may be set to a predetermined size. More specifically, an appropriate range is defined for the displacement amount according to the material and thickness of the wiping sheet 75 and the hardness of the roller 76. For example, when a 0.6 mm thick sheet of polyester fiber is used as the wiping sheet 75 and rubber having a hardness of 30 to 60 degrees is used as the roller 76, the nozzle forming surface 53 a, the wiping sheet 75 and the roller 76 are in contact with each other. The amount of displacement of the position of the rotating shaft of the roller 76 and the position of the rotating shaft after pressing in the pressing direction is set to be in the range of 0.1 to 1 mm.
[0085]
That is, before pressing as shown in FIG. 18A, the roller unit 160 is located at a position away from each droplet discharge head 53, and the vertical height of the upper surface (cleaning surface) of the wiping sheet 75 at that time. Is H1. When the vertical height of the nozzle forming surface 53a of each droplet discharge head 53 is H2, H2−H1 is set to be in the range of 0.1 to 1 mm.
[0086]
Accordingly, as shown in FIG. 18B, when the roller 76 of the roller unit 160 is horizontally moved by the roller unit driving mechanism (not shown) so as to be directly below the nozzle unit 171 for head cleaning. Then, the wiping sheet 75 and the roller 76 are pressed downward by the respective nozzle forming surfaces 53a of the respective droplet discharge heads 53 fixed at fixed positions, and are deformed. When the amount of deformation is G, the amount of deformation G is set to be in the range of 0.1 to 1 mm.
[0087]
If the displacement G is less than 0.1 mm, it is determined that the pressing pressure by the wiping sheet 75 is insufficient, and if it exceeds 1 mm, it is determined that the pressing pressure by the wiping sheet 75 is too strong. You will be able to judge. Accordingly, by setting the displacement G within 0.1 to 1 mm, the pressing pressure of the wiping sheet 75 can be kept within a predetermined pressure without directly measuring the pressing pressure applied to each nozzle forming surface 53a. It can be easily set.
[0088]
FIG. 24 is a longitudinal sectional view of a roller unit according to another embodiment of the wiping unit as viewed from a section perpendicular to the axis of the roller. Hereinafter, another embodiment of the wiping unit (droplet discharge head cleaning device) will be described with reference to this drawing, but the description will focus on differences from the above-described embodiment, and description of similar items will be omitted. I do.
[0089]
As shown in FIG. 24, in the roller unit 160 ′ of the wiping unit of the present embodiment, a nozzle unit 171 is provided above a wiping sheet 75 that moves toward the roller 76. The nozzle unit 171 is provided with a plurality of ejection ports 171a facing downward, and the nozzle unit 171 applies a plurality of ejection ports from the front (upper surface) side to the wiping sheet 75 passing directly below the nozzles. The cleaning liquid is sprayed from 171a.
[0090]
Further, the wiping sheet 75 traveling between the roller 76 and the wiping sheet supply unit 150 is configured to pass a lower position than the above-described embodiment by the guide of a guide roller (not shown). Accordingly, a space for installing the nozzle unit 171 is created above the wiping sheet 75, and the nozzle unit 171 is arranged so as not to protrude upward.
[0091]
As described above, in the present embodiment, the plurality of ejection ports 171a eject the cleaning liquid toward the same surface as the surface on which the nozzle forming surface 53a of the wiping sheet 75 contacts, and the cleaning liquid is applied to the wiping sheet 75 from the front side. Absorb. As a result, the cleaning liquid is injected from the injection port 171a without opposing gravity, so that the entire amount of the injected cleaning liquid can be reliably impregnated with the wiping sheet 75. Further, since the nozzle forming surface 53a is wiped with the same surface as the surface to which the cleaning liquid is applied, a sufficient cleaning effect can be obtained even with a smaller amount of the cleaning liquid.
[0092]
As described above, the droplet discharge head cleaning device, the droplet discharge head cleaning method, and the droplet discharge device of the present invention have been described with reference to the illustrated embodiments. However, the present invention is not limited to this. Each part constituting the cleaning device and the droplet discharge device can be replaced with an arbitrary component having the same function. Further, an arbitrary component may be added.
[0093]
Further, the injection amount adjusting means for adjusting the injection amount from each injection port is not limited to the illustrated configuration, and may have any configuration. Further, the injection amount adjusting means is not limited to the one that performs the adjustment manually, but may be one that detects the injection amount from each injection port by a sensor and automatically adjusts based on the detection result.
Further, the pressing member that presses the wiping sheet against the nozzle forming surface is not limited to a roller, and may be a member such as a pad that presses the wiping sheet against the nozzle forming surface while sliding on the back surface of the wiping sheet.
[0094]
Further, the droplet discharge device of the present invention may be one in which the work placement section is moved in two horizontal directions (Y-axis direction and X-axis direction) perpendicular to each other with respect to the apparatus main body. That is, the droplet discharge device of the present invention is configured to perform main scanning and sub-scanning by fixing the head unit to the device main body and moving the work in the Y-axis direction and the X-axis direction, respectively. Good. On the contrary, in the droplet discharge device of the present invention, the work (work placement portion) is fixed to the device main body, and the head unit (droplet discharge head) is moved in the Y-axis direction and the X-axis direction, respectively. By doing so, the main scanning and the sub-scanning may be performed. That is, the droplet discharge device of the present invention may be any device that is configured to relatively move the work placement unit and the droplet discharge head.
Further, an electro-optical device according to the present invention is characterized by being manufactured using the above-described droplet discharge device according to the present invention. Specific examples of the electro-optical device according to the invention are not particularly limited, and examples thereof include a liquid crystal display device and an organic EL display device.
[0095]
Further, a method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention uses the droplet discharge device according to the present invention. The method for manufacturing an electro-optical device according to the invention can be applied to, for example, a method for manufacturing a liquid crystal display device. That is, by selectively discharging the liquid containing the filter material of each color onto the substrate using the droplet discharge device of the present invention, a color filter having a large number of filter elements arranged on the substrate is manufactured. A liquid crystal display device can be manufactured using a color filter. In addition, the method for manufacturing an electro-optical device according to the invention can be applied to, for example, a method for manufacturing an organic EL display device. That is, by selectively discharging a liquid containing a luminescent material of each color onto a substrate using the droplet discharge device of the present invention, an organic pixel having a large number of pixel pixels including an EL luminescent layer arranged on the substrate. An EL display device can be manufactured.
According to another aspect of the invention, there is provided an electronic apparatus including the electro-optical device manufactured as described above. Specific examples of the electronic apparatus of the present invention include, but are not particularly limited to, a personal computer and a mobile phone equipped with the liquid crystal display device and the organic EL display device manufactured as described above.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a droplet discharge device of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing an embodiment of the droplet discharge device of the present invention.
FIG. 3 is a front view showing an embodiment of the droplet discharge device of the present invention.
FIG. 4 is a side view showing an embodiment of the droplet discharge device of the present invention.
FIG. 5 is a schematic diagram for explaining a pattern forming operation.
FIG. 6 is a plan view showing a head unit in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 to 4;
FIG. 7 is a side view of the head unit viewed from an arrow C in FIG. 6;
FIG. 8 is an explanatory diagram illustrating a discharge mechanism of a droplet discharge head included in the head unit illustrated in FIGS. 6 and 7.
9A and 9B are views showing a part of the droplet discharge head, where FIG. 9A is a view as viewed from a side facing a nozzle forming surface 53a, and FIG. 9B is a cross-sectional view taken along line DD of FIG.
10A and 10B are diagrams illustrating a droplet discharge head, wherein FIG. 10A is an explanatory diagram illustrating a main scanning direction, and FIG. 10B is an explanatory diagram illustrating a change in a nozzle pitch.
FIG. 11 is a side view showing an auxiliary device in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 to 4;
FIG. 12 is a plan view showing an auxiliary device in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 to 4;
FIG. 13 is a perspective view showing a wiping sheet supply unit of the wiping unit in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 to 4;
FIG. 14 is a view showing the wiping sheet supply unit, and is a longitudinal sectional view as seen from a section perpendicular to the axes of the unwind roller and the take-up roller.
FIG. 15 is a perspective view showing a roller unit of the wiping unit.
FIG. 16 is a longitudinal sectional view of the roller unit as viewed from a section perpendicular to the axis of the roller.
FIG. 17 is a plan view illustrating cleaning of each nozzle forming surface by the wiping unit.
18A and 18B are side views illustrating cleaning of each nozzle forming surface by the wiping unit, wherein FIG. 18A is a diagram illustrating a state before the wiping sheet is pressed against the nozzle forming surface, and FIG. FIG.
FIG. 19 is a plan view illustrating cleaning of each nozzle forming surface by the wiping unit.
FIG. 20 is a piping diagram showing a flow path of a cleaning liquid of the wiping unit.
FIG. 21 is a side view showing the surfaces of the manifold, the needle valves, and their support plates.
FIG. 22 is a plan view showing a manifold, each needle valve, and a support plate thereof.
FIG. 23 is a side view showing the back surface of the manifold, the needle valves, and their support plates.
FIG. 24 is a longitudinal sectional view of a roller unit according to another embodiment of the wiping unit viewed from a section perpendicular to the axis of the roller.
[Explanation of symbols]
41 ... branch pipe, 42 ... main pipe, 43 ... manifold, 44 ... needle valve, 46 ... check valve, 47 ... switching valve, 110 ... pressurized gas supply source, 171a ... injection port

Claims

A droplet discharge head cleaning device that cleans a nozzle forming surface of a droplet discharge head that discharges droplets,
A wiping sheet traveling mechanism for traveling a wiping sheet for wiping the nozzle forming surface,
A plurality of jets for jetting a cleaning liquid toward the wiping sheet,
Cleaning liquid supply means for supplying a cleaning liquid to each of the injection ports,
A droplet discharge head cleaning device, comprising: an ejection amount adjusting unit provided for each of the ejection ports to adjust an ejection amount from the ejection port.

The droplet ejection head cleaning device according to claim 1, wherein the plurality of ejection ports are arranged at intervals from each other in a direction orthogonal to a feeding direction of the wiping sheet.

The droplet ejection head cleaning device according to claim 1, wherein the ejection amount adjustment unit is configured by an adjustment valve that adjusts a flow rate provided in a flow path of the cleaning liquid to the corresponding ejection port.

4. The droplet discharge head cleaning device according to claim 1, wherein the plurality of ejection ports eject the cleaning liquid toward a surface of the wiping sheet opposite to a surface with which the nozzle forming surface contacts. 5.

4. The droplet discharge head cleaning device according to claim 1, wherein the plurality of ejection ports eject the cleaning liquid toward a surface of the wiping sheet on the same side as a surface on which the nozzle forming surface contacts. 5.

The droplet discharging head cleaning apparatus according to claim 1, wherein the nozzle forming surfaces of the plurality of droplet discharging heads are collectively cleaned.

7. The droplet discharge head cleaning device according to claim 1, further comprising a pressing member that presses the wiping sheet against the nozzle forming surface.

The droplet ejection head cleaning device according to claim 7, wherein the pressing member is configured by a roller.

The roller is to press the wiping sheet collectively against each nozzle forming surface of the plurality of droplet discharge heads,
The droplet discharge head cleaning device according to claim 8, wherein an outer peripheral surface of the roller is divided into a plurality of portions along a rotation axis direction of the roller in accordance with a pitch interval between the nozzle forming surfaces.

The droplet discharge head cleaning device according to any one of claims 1 to 9, further comprising a check valve installed in the flow path of the cleaning liquid to each of the ejection ports.

The cleaning liquid supply means includes a branch pipe connected to each of the injection ports, a main pipe connected to a cleaning liquid tank storing the cleaning liquid, and a manifold for branching the main pipe into the branch pipes. 11. The droplet discharge head cleaning device according to any one of claims 10 to 10.

A droplet discharge head that injects a cleaning liquid from a plurality of injection ports toward a running wiping sheet and wipes and cleans a nozzle forming surface of a droplet discharge head that discharges droplets by the wiping sheet to which the cleaning liquid has been applied. Cleaning method,
A method for cleaning a droplet discharge head, wherein adjustment is made so that the amount of the cleaning liquid ejected from each of the ejection ports is substantially equal to each other.

The device body,
A work placement part on which the work is placed,
A droplet discharge head that discharges droplets to a work placed on the work placement unit,
A relative movement mechanism for relatively moving the work placement unit and the droplet discharge head,
A droplet discharge device comprising the droplet discharge head cleaning device according to any one of claims 1 to 11.

14. The droplet according to claim 13, wherein a predetermined pattern is formed on the work by discharging a droplet from the droplet discharge head while relatively moving the work placement unit and the droplet discharge head. Discharge device.

An electro-optical device manufactured using the droplet discharge device according to claim 13.

A method for manufacturing an electro-optical device, comprising using the droplet discharge device according to claim 13.

An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 15.