WO2011096054A1 - 検査装置、ならびに、検査方法 - Google Patents

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信二 瀬戸
秀紀 関口
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独立行政法人情報通信研究機構
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317—Testing of digital circuits
    • G01R31/3181—Functional testing
    • G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/3193—Tester hardware, i.e. output processing circuits with comparison between actual response and known fault free response
    • G01R31/31937—Timing aspects, e.g. measuring propagation delay

Definitions

  • the present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method suitable for efficiently performing an immunity inspection of an electronic device.
  • Patent Document 1 listed later discloses a technique for performing an immunity test using a pyramid horn.
  • the conventional immunity test assumes that a single frequency electromagnetic wave enters. This is because it is assumed that ordinary electronic devices are installed close to each other.
  • an inspection apparatus used for inspecting immunity performance there is also a demand for an inspection apparatus used for inspecting immunity performance to be as small as possible.
  • an oscillator used for generating a clock frequency of a computer or the like is widely used from several megahertz to several tens of megahertz, but in order to radiate electromagnetic waves in this frequency band at a single frequency, Since an antenna with a size of several meters to several tens of meters is required, downsizing is strongly desired.
  • the present invention solves the above-described problems, and an object thereof is to provide an inspection apparatus and an inspection method suitable for efficiently performing an immunity inspection of an electronic device.
  • An inspection apparatus inspects an immunity characteristic of an electronic device against an electromagnetic wave between a first inspection frequency and a second inspection frequency, a first signal generator, a second signal A generator, an adjustment unit, and an application unit are provided and configured as follows.
  • the first signal generator generates a signal having a frequency included in a predetermined signal frequency band.
  • the second signal generator generates a signal having a frequency included in a predetermined signal frequency band.
  • the adjusting unit is configured to generate a frequency of a signal generated by the first signal generator (hereinafter referred to as “first generated frequency”) and a frequency of a signal generated by the second signal generator (hereinafter referred to as “first” 2), the first generation frequency and the second generation frequency so that the difference scans from the first inspection frequency to the second inspection frequency. ,adjust.
  • the application unit applies the signal generated by the first signal generator and the signal generated by the second signal generator to the electronic device.
  • the predetermined signal frequency band is a frequency band of several hundred megahertz to several gigahertz, and between the first inspection frequency and the second inspection frequency, several megahertz to several hundred megahertz. It can comprise so that it may be contained in the frequency band to.
  • the application unit superimposes the signal generated by the first signal generator and the signal generated by the second signal generator, so that the predetermined signal frequency band is obtained. It can be configured to be applied to an electronic device by radiating with a single antenna.
  • the application unit includes a first antenna that applies a signal generated by the first signal generator to the electronic device, and a signal generated by the second signal generator. And a second antenna that is applied to the first antenna.
  • the application unit superimposes the signal generated by the first signal generator and the signal generated by the second signal generator, so that the communication line or power It can comprise so that it may apply to an electronic device via a supply line.
  • an inspection apparatus including a first signal generator, a second signal generator, an adjustment unit, and an application unit has a first inspection frequency to a second inspection frequency.
  • the immunity characteristic of the electronic device with respect to the electromagnetic waves is inspected, and includes a first signal generation process, a second signal generation process, an adjustment process, and an application process, and is configured as follows.
  • the first signal generator generates a signal having a frequency included in a predetermined signal frequency band.
  • the second signal generator generates a signal having a frequency included in a predetermined signal frequency band.
  • the adjustment unit causes the frequency of the signal generated in the first signal generation step (hereinafter referred to as “first generation frequency”) and the signal generated in the second signal generation step. Of the first generation frequency and the second generation frequency so that the difference between the first inspection frequency and the second inspection frequency is scanned between the first inspection frequency and the second inspection frequency. Is adjusted.
  • the applying unit applies the signal generated in the first signal generating process and the signal generated in the second signal generating process to the electronic device.
  • the predetermined signal frequency band is a frequency band of several hundred megahertz to several gigahertz, and between the first test frequency and the second test frequency, several megahertz to several hundred megahertz. It can comprise so that it may be contained in the frequency band to.
  • the signal generated in the first signal generating step and the signal generated in the second signal generating step are superimposed to obtain a predetermined signal.
  • the signal generated in the first signal generating step and the signal generated in the second signal generating step are superimposed to obtain a predetermined signal.
  • the signal generated in the first signal generating step is applied to the electronic device by the first antenna, and the signal generated in the second signal generating step is used. It can comprise so that it may apply to an electronic device with a 2nd antenna.
  • the signal generated in the first signal generating step and the signal generated in the second signal generating step are superimposed to form a communication line.
  • it can comprise so that it may apply to an electronic device via an electric power supply line.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the inspection apparatus 101 inspects the immunity characteristics of the electronic device 151 for electromagnetic waves between the first inspection frequency and the second inspection frequency.
  • the inspection apparatus 101 includes a first signal generator 111, a second signal generator 112, An adjustment unit 113 and an application unit 114 are provided.
  • each of the first signal generator 111 and the second signal generator 112 generates a signal having a frequency included in a predetermined signal frequency band.
  • the frequency band that can be generated by the first signal generator 111 is a1 to b1
  • the generated frequency is f1
  • the frequency band that can be generated by the second signal generator 112 is a2 to b2.
  • f2 is the generated frequency.
  • These signal generators 111 and 112 are typically high frequency generators that generate signals having a frequency on the order of several hundred megahertz to several gigahertz, in which case the wavelength of the generated signal is less than a few meters. It is.
  • the generation frequency f1 and the generation frequency f2 can be adjusted to some extent. That is, a1 ⁇ f1 ⁇ b1 and a2 ⁇ f2 ⁇ b2.
  • the adjustment unit 113 scans the difference
  • the generation frequency and the second generation frequency are adjusted.
  • This phenomenon is typically a non-linear circuit element (for example, a semiconductor element such as a transistor, a diode, a varistor, or a lightning protection element) in which a high-frequency signal that has entered the electronic device 151 by being exposed to electromagnetic waves is present. .)) Is caused by the intermodulation product generated.
  • a non-linear circuit element for example, a semiconductor element such as a transistor, a diode, a varistor, or a lightning protection element
  • 30 MHz is generated inside the electronic device 151 as an intermodulation product.
  • the frequency of the intermodulation product can be expressed as n f1 ⁇ m f2, where n and m are positive integers.
  • the application unit 114 applies the signal generated by the first signal generator 111 and the signal generated by the second signal generator 112 to the electronic device 151 to be measured. Specifically, it is checked whether or not a failure or malfunction occurs in the electronic device 151 after applying the signal as described above.
  • the wavelength with respect to the frequency of 30 MHz is about 10 meters, and it is often difficult to inspect the electronic device 151 using the half-wave antenna, but the wavelength with respect to the frequency of 1 GHz is 30 cm.
  • the half-wave antenna can be considerably reduced in size. If the generated frequencies f1 and f2 are set to higher frequency bands, the antenna can be further reduced in size, and the inspection apparatus 101 can be reduced in size.
  • the intermodulation product as described above, it becomes easy to check the immunity performance in a frequency band lower than the signals of the generated frequencies f1 and f2.
  • the frequency of the crystal oscillator that first generates the clock is several MHz to several tens of MHz, even if the computer has a high-speed operation clock. Frequency division is performed to obtain a desired operation clock. Therefore, in examining the immunity performance, whether or not the crystal oscillator malfunctions or fails is an important key.
  • the inspection frequency band is in the range of several MHz to several tens of MHz.
  • the adjustment unit 113 adjusts one or both of the generation frequency f1 and the generation frequency f2 so that
  • the generation frequency of the first signal generator 111 is fixed at a1, and the second signal generator If the frequency of the generator 112 is adjusted to gradually increase from a1 to b1 (or from a value obtained by adding 1 MHz to a1 to a value obtained by adding several tens of MHz to a1) at a constant speed, It is possible to scan the band.
  • independent antennas 201 and 202 As a technique for the application unit 114 to apply the signal of the generated frequency f1 and the signal of the generated frequency f2 to the electronic device 151, it is easiest to prepare independent antennas 201 and 202 as shown in FIG. It is.
  • the antennas 201 and 202 various antennas such as a half-wave antenna, a Yagi antenna, and a horn antenna can be employed.
  • a signal superimposing circuit 301 is provided in the applying unit 114 to superimpose a signal having a generated frequency f1 and a signal having a generated frequency f2, and then an electromagnetic wave is generated by one antenna 311. There are also techniques to radiate.
  • a signal superimposing circuit 401 is provided in the applying unit 114 to superimpose the signal of the generated frequency f1 and the signal of the generated frequency f2, and then output by a wire 411 such as a coaxial cable. It is also possible to adopt a wired connection method such as connecting this to a communication port or power supply line of the electronic device 151 or directly connecting it to an electronic circuit board.

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Abstract

　検査周波数帯における電子機器（１５１）のイミュニティ特性を検査する検査装置（１０１）において、第１の信号発生器（１１１）と第２の信号発生器（１１２）とは、所定の信号周波数帯に含まれる周波数の信号を発生させる。調整部（１１３）は、第１の信号発生器（１１１）が発生させる信号の周波数と、第２の信号発生器（１１２）が発生させる信号の周波数と、の差が、所望の検査周波数帯を走査するように調整する。印加部（１１４）は、第１の信号発生器（１１１）により発生された信号と、第２の信号発生器（１１２）により発生された信号と、を、測定対象の電子機器（１５１）に印加する。

Description

検査装置、ならびに、検査方法
　本発明は、電子機器のイミュニティ検査を効率良く行うのに好適な検査装置ならびに検査方法に関する。
　外部から侵入する電磁波に対して電子機器が誤動作や故障等をせずに耐える性能は、電磁波イミュニティ性能と呼ばれ国際的な規格が定められており、種々のイミュニティ特性を検査する技術が提案されている。たとえば、後に掲げる特許文献１には、角錐ホーンを用いてイミュニティ試験を行う技術が開示されている。
　ここで、従来のイミュニティ試験は、単一周波数の電磁波が侵入してくることを想定している。これは、通常の電子機器が近接して設置された状況を想定しているからである。
特開２００６－３４３１９１号公報
　しかしながら、悪意のある第三者が電子機器を誤動作させたり故障させたりすることを意図して行うことを想定して、電磁波イミュニティ性能を検査したい、との要望は大きい。
　また、イミュニティ性能を検査する際に用いる検査装置は、できるだけ小型にしたい、との要望もある。特に、コンピュータなどのクロック周波数を発生させるために用いられる発振子は、数メガヘルツから数十メガヘルツのものが広く用いられているが、この周波数帯の電磁波を単一周波数で放射するためには、数メートルから数十メートルの大きさのアンテナが必要となってしまうため、小型化が強く望まれている。
　本発明は、以上のような課題を解決するもので、電子機器のイミュニティ検査を効率良く行うのに好適な検査装置ならびに検査方法を提供することを目的とする。
　上記の課題を解決するため、本発明の原理にしたがい、以下の発明を開示する。
　本発明の第１の観点に係る検査装置は、第１の検査周波数から第２の検査周波数までの間の電磁波に対する電子機器のイミュニティ特性を検査し、第１の信号発生器、第２の信号発生器、調整部、印加部を備え、以下のように構成する。
　ここで、第１の信号発生器は、所定の信号周波数帯に含まれる周波数の信号を発生させる。
　一方、第２の信号発生器は、所定の信号周波数帯に含まれる周波数の信号を発生させる。
　さらに、調整部は、第１の信号発生器により発生される信号の周波数（以下「第１の発生周波数」という。）と、第２の信号発生器により発生される信号の周波数（以下「第２の発生周波数」という。）と、の、差が、第１の検査周波数から第２の検査周波数までの間を走査するように、第１の発生周波数と、第２の発生周波数と、を、調整する。
　そして、印加部は、第１の信号発生器により発生された信号と、第２の信号発生器により発生された信号と、を、電子機器に印加する。
　また、本発明の検査装置において、所定の信号周波数帯は、数百メガヘルツから数ギガヘルツの周波数帯であり、第１の検査周波数から第２の検査周波数までの間は、数メガヘルツから数百メガヘルツまでの周波数帯に含まれるように構成することができる。
　また、本発明の検査装置において、印加部は、第１の信号発生器により発生された信号と、第２の信号発生器により発生された信号と、を、重畳して、所定の信号周波数帯用の１つのアンテナにより放射することにより、電子機器に印加するように構成することができる。
　また、本発明の検査装置において、印加部は、第１の信号発生器により発生された信号を電子機器に印加する第１のアンテナと、第２の信号発生器により発生された信号を電子機器に印加する第２のアンテナと、を有するように構成することができる。
　また、本発明の検査装置において、印加部は、第１の信号発生器により発生された信号と、第２の信号発生器により発生された信号と、を、重畳して、通信用線もしくは電力供給線を介して、電子機器に印加するように構成することができる。
　本発明のその他の観点に係る検査方法は、第１の信号発生器、第２の信号発生器、調整部、印加部を備える検査装置が、第１の検査周波数から第２の検査周波数までの間の電磁波に対する電子機器のイミュニティ特性を検査し、第１の信号発生工程、第２の信号発生工程、調整工程、印加工程を備え、以下のように構成する。
　ここで、第１の信号発生工程では、第１の信号発生器が、所定の信号周波数帯に含まれる周波数の信号を発生する。
　一方、第２の信号発生工程では、第２の信号発生器が、所定の信号周波数帯に含まれる周波数の信号を発生する。
　さらに、調整工程では、調整部が、第１の信号発生工程にて発生される信号の周波数（以下「第１の発生周波数」という。）と、第２の信号発生工程にて発生される信号の周波数（以下「第２の発生周波数」という。）と、の、差が、第１の検査周波数から第２の検査周波数までの間を走査するように、第１の発生周波数と、第２の発生周波数と、を、調整する。
　そして、印加工程では、印加部が、第１の信号発生工程にて発生された信号と、第２の信号発生工程にて発生された信号と、を、電子機器に印加する。
　また、本発明の検査方法において、所定の信号周波数帯は、数百メガヘルツから数ギガヘルツの周波数帯であり、第１の検査周波数から第２の検査周波数までの間は、数メガヘルツから数百メガヘルツまでの周波数帯に含まれるように構成することができる。
　また、本発明の検査方法において、印加工程では、第１の信号発生工程にて発生された信号と、第２の信号発生工程にて発生された信号と、を、重畳して、所定の信号周波数帯用の１つのアンテナにより放射することにより、電子機器に印加するように構成することができる。
　また、本発明の検査方法において、印加工程では、第１の信号発生工程にて発生された信号を第１のアンテナにより電子機器に印加し、第２の信号発生工程にて発生された信号を第２のアンテナにより電子機器に印加するように構成することができる。
　また、本発明の検査方法において、印加工程では、第１の信号発生工程にて発生された信号と、第２の信号発生工程にて発生された信号と、を、重畳して、通信用線もしくは電力供給線を介して、電子機器に印加するように構成することができる。
　本発明によれば、電子機器のイミュニティ検査を効率良く行うのに好適な検査装置ならびに検査方法を提供することができる。
本実施形態に係る検査装置の概要構成を示す説明図である。 印加部の具体的な構成の一例を示す説明図である。 印加部の具体的な構成の一例を示す説明図である。 印加部の具体的な構成の一例を示す説明図である。
　以下に本発明の実施形態を説明する。なお、以下にあげる実施形態は、説明のためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。したがって、当業者であれば、これらの各要素または全要素を、これと均等なものに置換した実施形態を採用することが可能であるが、これらの実施形態も、本発明の範囲に含まれる。
　図１は、本発明の実施形態に係る検査装置の概要構成を示す模式図である。以下、本図を参照して説明する。
　検査装置１０１は、第１の検査周波数から第２の検査周波数までの間の電磁波に対する電子機器１５１のイミュニティ特性を検査するもので、第１の信号発生器１１１、第２の信号発生器１１２、調整部１１３、印加部１１４を備える。
　ここで、第１の信号発生器１１１と、第２の信号発生器１１２と、は、いずれも、所定の信号周波数帯に含まれる周波数の信号を発生させる。
　ここで、第１の信号発生器１１１が発生可能な周波数帯がa1～b1であり、発生している発生周波数をf1とし、第２の信号発生器１１２が発生可能な周波数帯がa2～b2であり、発生している発生周波数をf2とする。
　第１の信号発生器１１１と、第２の信号発生器１１２と、に同じ設計構成の信号発生器を利用した場合は、a1 = a2かつb1 = b2となる。また、この場合、同程度のパワーの信号が発生されることになる。
　これらの信号発生器１１１、１１２は、典型的には、数百メガヘルツから数ギガヘルツのオーダーの周波数の信号を発生させる高周波発生器であり、この場合、発生される信号の波長は、数ｍ未満である。
　上記のように、発生周波数f1と、発生周波数f2と、は、ある程度調整が可能である。すなわち、a1≦f1≦b1かつa2≦f2≦b2である。
　そして、調整部１１３は、発生周波数f1と、発生周波数f2と、の、差|f1 - f2|が、第１の検査周波数から第２の検査周波数までの間を走査するように、第１の発生周波数と、第２の発生周波数と、を、調整する。
　この場合発生周波数f1と、発生周波数f2と、の差|f1 - f2|は、両者の周波数帯に重なりがあれば、
　　0≦|f1 - f2|≦max(|b1-b2|,|b1-a2|,|a1-b2|,|a1-a2|)
の範囲をとることができる。
　両者の周波数帯に重なりがなければ、
　　min(|b1-b2|,|b1-a2|,|a1-b2|,|a1-a2|)≦|f1 - f2|≦max(|b1-b2|,|b1-a2|,|a1-b2|,|a1-a2|)
の範囲をとることができる。
　発明者の研究によれば、このように、異なる周波数f1，f2の高周波信号を電子機器１５１に注入すると、差の周波数|f1 - f2|に相当するストレスを与えることができることが判明している。
　この現象は、電磁波を被爆させることによって電子機器１５１の内部に侵入した高周波信号が、内部に存在する非線型回路素子（たとえば、トランジスタ、ダイオード、バリスタ、避雷素子などの半導体素子が典型的である。）に影響を与えることで発生する相互変調積に起因するものである。
　たとえば、f1 = 1000MHz，f2 = 1030MHzのように、ギガヘルツ・オーダーの周波数の信号を発生させると、その差|f1 - f2| = 30MHzの信号が、相互変調積として電子機器１５１の内部で発生する。
　一般には、相互変調積の周波数は、n，mを正整数として、n f1±m f2のように表現できるが、本発明では、そのうち、パワーの大きい周波数|f1 - f2|を利用するのである。
　さらに、印加部１１４は、第１の信号発生器１１１により発生された信号と、第２の信号発生器１１２により発生された信号と、を、測定対象の電子機器１５１に印加する。具体的には、上記のような信号を印加した上で、電子機器１５１に故障や誤動作が生じるか否かをチェックする。
　ここで、３０ＭＨｚの周波数に対する波長は１０メートル程度であり、半波長アンテナを使用して電子機器１５１を検査しようとしても、その大きさから困難なことが多いが、１ＧＨｚの周波数に対する波長は３０センチメートル程度であり、半波長アンテナは、かなり小型化が可能である。発生周波数f1，f2をより高い周波数帯とすれば、アンテナの小型化をさらに図ることができ、検査装置１０１も小さくすることができる。
　したがって、上記のような相互変調積を用いることで、発生周波数f1，f2の信号よりも低い周波数帯のイミュニティ性能の検査が容易となるのである。たとえば、コンピュータのイミュニティ性能を検査する場合、高速な動作クロックのコンピュータであっても、そのクロックを最初に発生させる水晶発振子の周波数は、数ＭＨｚ～数十ＭＨｚ程度であり、これを逓倍、分周して、所望の動作クロックを得ている。したがって、イミュニティ性能の検査の上では、水晶発振子が誤動作したり故障したりするか否か、が重要な鍵となる。この場合は、数ＭＨｚ～数十ＭＨｚの範囲を検査周波数帯とする。
　ここで、調整部１１３は、発生周波数f1と発生周波数f2のいずれか一方もしくは双方を調整して、|f1 - f2|が、この検査周波数帯を走査するようにする。
　たとえば、第１の信号発生器１１１と第２の信号発生器１１２とで同じ機器構成を採用する場合には、第１の信号発生器１１１の発生周波数はa1で固定とし、第２の信号発生器１１２の発生周波数はa1からb1まで、（もしくは、a1に１ＭＨｚを加算した値から、a1に数十ＭＨｚを加算した値まで。）一定の速度で次第に大きくなるように調整すれば、検査周波数帯をスキャンすることが可能である。
　印加部１１４が発生周波数f1の信号と、発生周波数f2の信号と、を電子機器１５１に印加する手法としては、図２に示すように、それぞれ独立したアンテナ２０１、２０２を用意するのが最も容易である。アンテナ２０１、２０２としては、半波長アンテナ、八木アンテナ、ホーンアンテナ等、各種のものを採用することができる。
　このほか、図３に示すように、印加部１１４に信号重畳回路３０１を設けて、発生周波数f1の信号と、発生周波数f2の信号と、を重畳した上で、１つのアンテナ３１１により、電磁波を放射する手法もある。
　さらに、図４に示すように、印加部１１４に信号重畳回路４０１を設けて、発生周波数f1の信号と、発生周波数f2の信号と、を重畳した上で、同軸ケーブルなどの電線４１１により出力し、これを、電子機器１５１の通信ポートや電力供給線に接続したり、電子回路の基板に直接接続する等、有線接続の手法を採用することも可能である。
　本発明によれば、電子機器のイミュニティ検査を効率良く行うのに好適な検査装置ならびに検査方法を提供することができる。
　　１０１　検査装置
　　１１１　第１の信号発生器
　　１１２　第２の信号発生器
　　１１３　調整部
　　１１４　印加部
　　１５１　電子機器
　　２０１　アンテナ
　　２０２　アンテナ
　　３０１　信号重畳回路
　　３１１　アンテナ
　　４０１　信号重畳回路
　　４１１　電線

Claims (10)

  1. 　第１の検査周波数から第２の検査周波数までの間の電磁波に対する電子機器（１５１）のイミュニティ特性を検査する検査装置（１０１）であって、
    　所定の信号周波数帯に含まれる周波数の信号を発生させる第１の信号発生器（１１１）、
    　前記所定の信号周波数帯に含まれる周波数の信号を発生させる第２の信号発生器（１１２）、
    　前記第１の信号発生器（１１１）により発生される信号の周波数（以下「第１の発生周波数」という。）と、前記第２の信号発生器（１１２）により発生される信号の周波数（以下「第２の発生周波数」という。）と、の、差が、前記第１の検査周波数から前記第２の検査周波数までの間を走査するように、前記第１の発生周波数と、前記第２の発生周波数と、を、調整する調整部（１１３）、
    　前記第１の信号発生器（１１１）により発生された信号と、前記第２の信号発生器（１１２）により発生された信号と、を、前記電子機器（１５１）に印加する印加部（１１４）
    　を備えることを特徴とする検査装置（１０１）。
  2. 　請求項１に記載の検査装置（１０１）であって、
    　前記所定の信号周波数帯は、数百メガヘルツから数ギガヘルツの周波数帯であり、
    　前記第１の検査周波数から前記第２の検査周波数までの間は、数メガヘルツから数百メガヘルツまでの周波数帯に含まれる
    　ことを特徴とする検査装置（１０１）。
  3. 　請求項２に記載の検査装置（１０１）であって、
    　前記印加部（１１４）は、前記第１の信号発生器（１１１）により発生された信号と、前記第２の信号発生器（１１２）により発生された信号と、を、重畳して、前記所定の信号周波数帯用の１つのアンテナにより放射することにより、前記電子機器（１５１）に印加する
    　ことを特徴とする検査装置（１０１）。
  4. 　請求項２に記載の検査装置（１０１）であって、
    　前記印加部（１１４）は、前記第１の信号発生器（１１１）により発生された信号を前記電子機器（１５１）に印加する第１のアンテナ（２０１）と、前記第２の信号発生器（１１２）により発生された信号を前記電子機器（１５１）に印加する第２のアンテナ（２０２）と、
    　を有することを特徴とする検査装置（１０１）。
  5. 　請求項２に記載の検査装置（１０１）であって、
    　前記印加部（１１４）は、前記第１の信号発生器（１１１）により発生された信号と、前記第２の信号発生器（１１２）により発生された信号と、を、重畳して、通信用線もしくは電力供給線を介して、前記電子機器（１５１）に印加する
    　ことを特徴とする検査装置（１０１）。
  6. 　第１の信号発生器（１１１）、第２の信号発生器（１１２）、調整部（１１３）、印加部（１１４）を備える検査装置（１０１）が、第１の検査周波数から第２の検査周波数までの間の電磁波に対する電子機器（１５１）のイミュニティ特性を検査する検査方法であって、
    　前記第１の信号発生器（１１１）が、所定の信号周波数帯に含まれる周波数の信号を発生する第１の信号発生工程、
    　前記第２の信号発生器（１１２）が、前記所定の信号周波数帯に含まれる周波数の信号を発生する第２の信号発生工程、
    　前記調整部（１１３）が、前記第１の信号発生工程にて発生される信号の周波数（以下「第１の発生周波数」という。）と、前記第２の信号発生工程にて発生される信号の周波数（以下「第２の発生周波数」という。）と、の、差が、前記第１の検査周波数から前記第２の検査周波数までの間を走査するように、前記第１の発生周波数と、前記第２の発生周波数と、を、調整する調整工程、
    　前記印加部（１１４）が、前記第１の信号発生工程にて発生された信号と、前記第２の信号発生工程にて発生された信号と、を、前記電子機器（１５１）に印加する印加工程
    　を備えることを特徴とする検査方法。
  7. 　請求項６に記載の検査方法であって、
    　前記所定の信号周波数帯は、数百メガヘルツから数ギガヘルツの周波数帯であり、
    　前記第１の検査周波数から前記第２の検査周波数までの間は、数メガヘルツから数百メガヘルツまでの周波数帯に含まれる
    　ことを特徴とする検査方法。
  8. 　請求項７に記載の検査方法であって、
    　前記印加工程では、前記第１の信号発生工程にて発生された信号と、前記第２の信号発生工程にて発生された信号と、を、重畳して、前記所定の信号周波数帯用の１つのアンテナにより放射することにより、前記電子機器（１５１）に印加する
    　ことを特徴とする検査方法。
  9. 　請求項７に記載の検査方法であって、
    　前記印加工程では、前記第１の信号発生工程にて発生された信号を第１のアンテナ（２０１）により前記電子機器（１５１）に印加し、前記第２の信号発生工程にて発生された信号を第２のアンテナ（２０２）により前記電子機器（１５１）に印加する
    　を有することを特徴とする検査方法。
  10. 　請求項７に記載の検査方法であって、
    　前記印加工程では、前記第１の信号発生工程にて発生された信号と、前記第２の信号発生工程にて発生された信号と、を、重畳して、通信用線もしくは電力供給線を介して、前記電子機器（１５１）に印加する
    　ことを特徴とする検査方法。
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