WO2010148584A1 - 集束传输设备 - Google Patents

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WO2010148584A1
WO2010148584A1 PCT/CN2009/073418 CN2009073418W WO2010148584A1 WO 2010148584 A1 WO2010148584 A1 WO 2010148584A1 CN 2009073418 W CN2009073418 W CN 2009073418W WO 2010148584 A1 WO2010148584 A1 WO 2010148584A1
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WO
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rest
hugh
chamber
same
requirements
Prior art date
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PCT/CN2009/073418
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English (en)
French (fr)
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杨明生
范继良
郭远伦
王曼媛
王勇
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东莞宏威数码机械有限公司
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67196Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the transfer chamber
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742Mechanical parts of transfer devices

Definitions

  • the semi-conformity is also a very important part. It is an important factor in improving the originality, efficiency and qualification, and is also an important factor in reducing costs. Therefore, as the cost of land is increasing, the more attention is paid to the efficiency of use, the reduction of land use is used to reduce the cost of households, and the competitiveness is increased.
  • the following are common
  • the wood provides each, wherein the base, the rest, the control system, the multi-side and the side of the sensor, the same door and the same door, the hollow, hollow, and rest on the base, one end sealed Bottom extension
  • the same door is installed in the side channel and connected to the same door.
  • the same door is installed on the rest sensor connection, the sensor control system is connected, and the sensor control unit is the same door or the same door.
  • each near window and the surface of the window are transparent
  • the sensor is mounted on the surface of the transparent window
  • the end of the window is opposite to the side of the channel at the top and bottom of the rest.
  • the transparent window and the sensor on the side make the sensor to the sum of the same, or the same door, so that the internal and other aspects of the internal monitoring.
  • each near, inverted is installed at the bottom of the rest. , so that each part has a high inverted installation, to prevent oil, oil and other small breaks, extended use.
  • the support, the base connection, and the support base are retractable connections. , for each positioning and use of support, making each job more reliable.
  • each is near, mounted on the bottom of the rest, inside the seal extension,
  • the inner wall of Hugh has the same internal strength, and the outer side of Hugh has the same external strength. , making the installation more reliable and reliable
  • Hugh is a closed or rest.
  • the rest of the cylinder or the rest of the rest makes the rest more efficient.
  • 82a is connected, 82a is installed on the top of the rest 2, and the 82a control unit is closed 81a.
  • Hugh 29 the assembly and disassembly of the components in the Hugh 2 and the rest of the rest of the rest of the 81a and 82a, so that the rest of the 81a rest 29 or the same sealing performance.
  • the upper portion 84a is weldedly connected, the upper portion 84a is evenly distributed with a sealing connection 840a, and the rest 81a has a seal 811a that seals the connection 840a.
  • the upper sealing member consisting of upper 83a and upper portion 84a enables the inner working of each 100 to prevent the pollutants from being within 100
  • each 100 near window 9 the surface of the window 9 is transparent
  • the sensor 4 is mounted on the surface of the transparent window 9
  • the window 9 is transparent on the top and bottom of the side of the channel 50 at the end of the window 5
  • the window 9 and the sensor 4 on the side, the sensor 4 to the 100 and the 3, or the same door, so that each of the 100 within the 100, the other side of the operation 2 internal monitoring.
  • each 100 nearly 200, 200 inverted installation at the bottom of the rest 2 20 connected. 200, so that each 100 has a high 200 upside-down installation, preventing oil, oil and other small breaks of 200, extending the use of 200.
  • Each of the 100 gods of different types of sheep is connected to each other with a reliable seal, which makes each 100 compatible.
  • the rest of the cylinder or the rest of the rest 2 makes the rest of the 2 more efficient.
  • the working principle of the 100 and the glass of 600 are sent to the sheep 510 in each of the 100 rests.
  • the control of each 100 is controlled by the control system.
  • the direction of the channel 50 along the side 5 is also the same as that of the control system.
  • the sensor 4 of the transparent window 9 is used to sense the sensor 4 sensor. 4 to 3 will be the result of the anti-control system, and then the control system will go to the same door 6 to drive the same door.) 3, 33 in the next 600, 3 and 6, 3, 33 to 600 to V curing
  • the sensors 4 to 3 are not in the sensor 4, the result is reversed, and then the control system controls the same door 6 with the same door.
  • the control unit 7 (the middle) is out of the control, so that the device 7 is special, and the device is fixed on the 7 and 3
  • the glass control is 3 to the hot sheep 530, the control system is also the sensor 4 on the window 9.
  • the glass sensor 4 sensor 4 to 3 will be the anti-control system, and then the control system will be Same door 6
  • the glass to the V-solidified sheep S2 sensor 4 to 3 is not in the sensor 4, the result will be reversed, and then the control system will control the same door 6 with the same door, the same as the finished base 600, the glass is cured in V In the sheep S20.
  • 600 and glass in the V-cured second sheep S40 600 and glass in the V-cured sheep S20 are no longer embarrassing.
  • both the 600 and the glass are fixed in the V-cured sheep S20.
  • the 3 V-cured sheep S20 curing 600 and the glass are made by the first sheep Yuan S50, and the V-cured second sheep 540 Medium-cured 600 and glass are also under the control of the system
  • the rest of the 2, 3, and the control system and the 7th rest 2 form 20, so that each of the 100 can fully utilize the internals of Hugh 2, and improve the internal utilization of Hugh 2, making each 100 more In order to reduce the occupancy of each 100 land resources, the cost of production is reduced.
  • the other aspect of the rest of the passage 50 is such that each 100 is connected with each different type of god, and the sheep is connected and the seal is reliable.

Description

各 木領域
本 涉及 于提供 同的 各, 尤其涉及 于 各 同 或 的和 的 提供密封 同的
各。 背景 木
看 的不 、 科技的不 及可利用的土地資源的日益減少, 們越未越重視資源 約及其利用效率, 以減少 生存的 , 使得 自然和 以滿足中固新型的工 化道路要求。
其中, 在 休行止、 屯子行止及 行止等的 工 各中, 成 半成 同的 也是很重要的 部分。 它 到提高 的原 、 效率及合格 的重要因素 , 也是降低 成本重要因素 。 因此, 在 用地的成本日益增 的今天, 越未越重視 各的 同利用效率, 減少 土地的使用量以降低 戶戶 的成本, 而提高 在 中 爭力。 但是, 上的 各普遍存在以下的
目前, 在 統中, 各 般都是羊 羊 的工作模式, 即是 在某 介工序 需要用 介 各 的 各。 但是, 在 流水域的生 中, 了能滿足 的流水域 要求, 尤其是滿足 工 序 繁多的 休 的生 要求, 需要許多 各 責各工序同的 以 流水域 目的。 方面使得 休 在流水域 中需求大量的 各 休 的 各, 增 了制造和使 用 各的成本 另 方面使得 各占用了大量的土地資源, 增 了土 地的使用成本, 而增 了 的生 成本以及降低 在 上 爭力。 同 由于 各是 某 半 休 的流水域 要求而 制造的 休 更新換代 , 于 休 上的大多 各均不能 新的 休 的 要求, 而使得 各的兼容性 。 因此, 急需要 、 兼容性好及能有效縮小 地面 的 于 各 同 或 的和 的 提供密封 同的
各。 內容
本 的目的在于提供 、 兼容性好及能有效縮小 地面 的 于 各 同 或 的和 的 提供密封 同的 各。
上 目的, 本 的 木 提供 各, 其中, 各 底座、 休、 、 、 控制 統、 、 多 側面 及 側面 相互 的 感器、 同門及同門 , 休 中空 , 中空 形成 , 休 于 底座 上, 的一端密封 休的底部 延伸
內 連接, 的另 端
連接, 控制 統 連接, 側面 具有 通 道, 側面 于 休的 壁上 通道
連通, 同門安裝于 側面 的 通道內 同門 連 接, 同門 安裝于 休上 感器 連接, 感器 控制 統 連接, 感器控制所 同門 同門 或 同。
較佳 , 各近 休 及 , 休的 頂部 有 休 , 休 接于 休上
連接, 安裝于 休上, 控制所 休 休 行密封 同或 。 休 , 方 于 休內 部件的裝拆及 于 休的 休 及 , 使得 休
休 或 密封性能 。 休 , 各 近 上密封部件, 上密封部件 上 及上部 , 上 的 端連接于 休的 休 的 , 另 端 上部 連接, 上 均勻分布有密封連接 , 休 具有 密封連接 的密 封 。 由上 及上部 組成的上密封部件, 使得 各內 的 的 于 空的 下 , 防止污染物 各內的 污染, 提高 的 工原 休 的密封 和上部 的密封連 接 , 使得 休 上部 密封更可靠, 固定更方 。 休 , 休 有 透明 的 。 透明 的 , 方 操作 各 監控及 。
較佳 , 各近 窗口 , 窗口 的 面呈透明 , 感器安裝于 透明 的窗口 的 面上, 窗口 相 地 于 側面 的 通道的末端 分別 于 休的頂部和底部
透明 的窗口 和 于 上的 感器, 方面使得 感器 到 各的和 , 而 或 同同門, 使得 各內的 更 、 更 致 另 方面 于操作 休內部 監控。
較佳 , 各近 , 倒立安裝于 休的底部 連通。 , 使得 各內 部具有高的 的倒立安裝, 防止 、 油污等小 休 了 , 延長 的使用 。
較佳 , 各近 支撐組件, 支撐組件
及支撐 , 底座 接, 支撐 底座可伸縮 的連接。 , 于 各定位和使用 支撐 , 使得 各工作 更 、 更可靠。
較佳 , 各近 , 安裝于 休的 底部, 密封 延伸 內,
休的內壁 同 有內 強 , 休的外 側面 同 有外 強 。 , 使得 安裝更方 、 可靠
內、 外 強 , 增 各的 休 , 防止 各 , 各更可靠地工作。 休 , 側面 平板 , 通 平板 的 側面 , 使得 各 各神不同 型的生 各連接 羊、 密封可靠, 而使得 各具有 的兼容性。
較佳 , 休 圓柱休或多 休。 圓柱休或多 休的 休, 使得 休的 更 利用率更高。
現有 木相比, 由于本 的 休、 、 、 控制 統及 , 休形成 , 使本 的 各能充分利用 休內部的 同, 提高 休內部 同的利用率, 使得 各的 更 以減少 各 的土地資源的占用量, 而降低 的生 成本。 同 由于本 的具有 通道的側面 , 方面使得 通道 相連通的 休內的 更 另 方面使得 各 同 各神 不同 型的生 各連接, 連接 羊、 密封可靠, 而使 各具有 的兼容性能。 說明
1是本 各的 示意囤。
2是本 各的另 示意 。 4是本 各拆卸 休 、 及底座 的 示意囤。
5是本 各拆卸 休 、 及底座 的另 示意囤。
6是本 各的和 的 。
7是本 各的和 的流程 。 休 方式
了 細說明本 各的 木內容、 特 , 以下結合 方式 配合 步說明。
1至 3所示, 本 各100 底座1、 休2、 3、 ( 中未 )、 控制 統、 7、 多 側面 5及 側面 5相互 的 感器4、 同門 ( 中未 )及同門 6, 休2 中空 , 中空 形成 20, 休2 支架 15 固定于 底座1的上方, 7的上端密封 休2的底部 延伸 20內 3連接, 其中, 6所示,
3 固定 31, 中同 32及 33, 固定 31的 端固 定于 7上, 固定 31的另 端 中同 32的 端 連接, 中同 32的另 端 33 連接,通 由固定 31、 中同 32及
33組成的和 3, 使得 3能在360度的 同內自由 , 7 的下 連接, 控制 統 連接, 側面 5 有 通道50, 側面 5 于 休2的 壁上 通道50 20連通, 同 ( 中未 )安裝于 側面 5的 通道50內 同門 6連接, 同門 6安裝于 休2的底部上 感器4 連接, 感器4 控制 統 連接, 感器4控制所 同門 6 同門 或 同。 休 , 側面 5 平板 , 通 平板 的側面 5,使得 各100 各神不同 型的生 各 同的連接 羊、 密封可靠, 而使得 各 100具有 的兼容性。 結合 4至 5, 更具休 , 下
仇者, 各100近 休 81a及 82a, 休2的頂部 有 休 29, 休 81a 接于 休2 L
82a連接, 82a安裝于 休2的頂 部上, 82a控制所 休 81a 休 29 行密 封 同或 。 休 29, 方 于 休2內部件的裝拆及 于 休 2的 休 81a及 82a, 使得 休 81a 休 29 或 同 密封性能 。 休 , 各100近 上密封部件, 上密封部件 上 83a及上部 84a, 上 83a的外側 休2的 休 29焊接連接, 上 83a的內則 上部 84a焊接連接, 上部 84a均勻分布有 密封連接 840a, 休 81a具有 密封連接 840a 的密封 811a。 由上 83a及上部 84a組成的上密封部件,使得 各100內 的 的 于 空的 下工作, 防止污染物 各 100 內的
污染,提高 的 工原 休 81a的密封 811a和上部 84a 的密封連接 840a, 使得 休 81a 上部 84a密封更可靠, 固定更方 。 更具休 , 各100近 下 81b及下 82b,
7 下 82b的底部, 下 82b密封 7, 下 82b 下 81b的 端連接, 下 81b另 端 休2的底部連接 下 81b及下 82b, 使得 各100 具有 的密封性能 休 2 內的部件裝拆 。 休 , 休 81a 有 透明 的 810a 更具休 , 810a 于 休 81a。 透明 的 810a, 方 操作 各100 監 控及 。
仇者, 各100近 窗口 9, 窗口 9的 面 呈透明 , 感器 4安裝于 透明 的窗口 9的 面上, 窗口 9相 地 于 側面 5的 通道50的末端 分別 于 休 2的頂部和底部 透明 的窗口 9和 于 上的 感器4, 方面使得 感器4 到 各 100的和 3 , 而 或 同同門, 使得 各 100 內的 更 、 更 致 另 方面 于操作 休2內部 監控。
仇者, 各100近 200, 200倒立安 裝于 休2的底部 20連通。 200, 使得 各100內部具有高的 200的倒立安裝, 防止 、 油污等小 休 了 200, 延長 200的使用 。
仇者, 各 100近 支撐組件, 支撐組件 11及支撐 12, 11 螺釘110 ( 中未 ) 固定于 底座 1上, 11 接, 支撐 12 相互配合的可 市高度的 、 120 底座1連接而使支撐 12 120的中 方向 。 11, 于 各100定 位和使用 支撐 12, 使得 各 100 的工作需求 而 支撐 12 地面接 可靠性, 而使得 各100工作 更 穩定、 更可靠。
仇者, 各100近 24, 24安裝于 休2的底部 休 , 24焊接于 休2的底部以使 24 固定可靠。 7密封 24 延伸 20 內, 24 休2的內壁 同焊接有內 強 22, 休2的 外 側面 5 同焊接有外 強 23。 24, 使得
7安裝更方 、 可靠 內、 外 強 22 23, 增 各100 的 休 , 防止 各 100 , 各 100更可靠地工 作。 休 , 側面 5 平板 , 通 平板 的側面 5, 使得
各 100 各神不同 型的生 各連接 羊、 密封可靠, 而使得 各100具有 的兼容性。
仇者, 休 2 圓柱休或多 休, 其中, 多 休可 休、 休、 十 休等等, 然 非限制性者。 圓柱休或多 休的 休2, 使得 休2的 更 利用率更高。
結合 , 本 各 100 的工作原理作 的 鍍膜 的 600和 玻璃 于 各 100的 休2內 此 的 600 送至 羊 510 中。 接看, 各 100的控制 統 往 出 介 控制 , 在控制 統的控制 下 3沿側面 5的 通道50方向 同 控制 統也往 于 透明 的窗口 9上的 感器4 出 介 令 感器4 感器 4 到 3 將 結果 反 控制 統, 再由 控制 統往同門 6 出 介 驅使同門 中 未 ) 接看, 3的 33在 下 600, 3及 6所示, 3的 33把 600 至 V固化 合第 羊 S2 中 感器4 到 3不在 感器4 就將 結 果反 控制 統, 再由控制 統控制同門 6 同同門。 接看, 控 制 統 往 7 的 裝置 ( 中未 ) 出 介 控制 , 令 裝置 7特 , 而使固定于 7上的和 3
7 特至占用于 玻璃的側面 5相 此 的控制 統往
出 介 玻璃控制 以 3往 熱 羊 530 中 同 , 控制 統也往 于窗口 9上的 感器 4 出 介 玻璃 令 感器4工作 感器4 到 3 將 玻璃 結果 反 控制 統, 再由控制 統往同門 6 出 介 玻璃
側面 5的同門 ( 中未 ) 接看, 3的
33在 下 玻璃 把 玻璃 至 V固化 合第 羊 S2 中 感器4 到 3不在 感器4 就將 結果反 控制 統, 再由控制 統控制同門 6 同同門, 就 同 完成基 600、 玻璃在 V固化 合第 羊 S20中 。 其中, 600和 玻璃在 V固化 合第二羊 S40中 600和 玻璃 在 V固化 合第 羊 S20中 是 的, 在此不再 贅。
600和 玻璃均在 V固化 合第 羊 S20中 固定化 合 , 在控制 統作用下, 控制 3 V固化 合第 羊 S20 固化 合 600和 玻璃由第 羊元瑜 S50 同 , 在 V固化 合第二羊 540 中 固化 合的 600和 玻璃也在控制 統作用下
, 使 3 V固化 合第二羊 S40 固化 合 的 600和 玻璃由第二 羊 560 。 了 各100的內 部的 。 其中, 了防止已 各 100 內的 污染 以降低 精度, 在 下, 3將 各 100 內的 儲存在暫存羊 S70中。
本 的 休2、 3、 、 控制 統及 7 休2形成 20, 使本 的 各100能充分利用 休2內 部的 同, 提高 休2內部 同的利用率, 使得 各 100的 更 以減少 各 100 土地資源的占用量, 而降低 的生 成 本。 同 由于本 的具有 通道50的側面 5, 方面使得 通 道50相連通的 休2內的 更 另 方面使得 各100 同 各神不同 型的生 各連接, 連接 羊、 密封可靠, 而使
各100具有 的兼容性能。
本 各 100 涉及的和 、 控制 統及同門 統的 原理均力本領域普通 木 需要 熟 的, 在此不再做 的說明。
以上 揭露的 力本 的較佳 而已 然不能以此未限定本 明 , 因此依本 所作的等同 化, 仍 于本 涵蓋 的 。

Claims

1. 各, 其特 在于 底座、 休、 、
、 控制 統、 、 多 側面 及 側面 相互 的 感器、 同 及同 , 休 中空 , 中空 形成 , 休 于 底座 上, 的 端密封 休的底部 延伸 內 連接, 的另 端
連接, 控制 統 連接, 側面 具有 通道, 側面 于 休的 壁上 通道 連通, 同 安裝于 側面 的 通道內
同 連接, 同 安裝于 休上 感器 連 接, 感器 控制 統 連接, 感器控制所 同
同 或 。
2. 要求 1 的 各, 其特 在于 近 休 及
, 休的頂部 有 休 , 休 接于 休上 連接, 安裝于 休上,
控制所 休 休 行密封 或 。
3. 要求2 的 各, 其特 在于 近 上密封部件, 上密封部件 上 及上部 , 上 的 端連接于 休的 休 的 , 另 端 上部 連接, 上部 均勻分布有密封連 接 , 休 具有 密封連接 的密封 。
4. 要求2 的 各, 其特 在于 休 有 透 明 的 。
5. 要求 1 的 各, 其特 在于 近 窗口 , 窗 口 的 面呈透明 , 感器安裝于 透明 的窗口 的 面上, 休的頂部和底部。
6. 要求 1 的 各, 其特 在于 近 ,
7. 要求 1 的 各, 其特 在于 近 支撐組件, 支撐組件 及支撐 , 底座 接, 支撐 底座可伸縮的連接。
8. 要求 1 的 各, 其特 在于 近 ,
安裝于 休的底部, 密封 延伸
內, 休的內壁 同 有內 強 , 休的外 側面 同 有外 強 。
9. 要求 1 的 各, 其特 在于 側面 平板 。
10. 要求 1 的 各, 其特 在于 休 圓柱休或多 休。
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