WO2010136131A1 - Positionsmesseinrichtung zur erfassung der position wenigstens eines stellglieds eines fluidischen systems ohne positionssensor - Google Patents

Positionsmesseinrichtung zur erfassung der position wenigstens eines stellglieds eines fluidischen systems ohne positionssensor Download PDF

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WO2010136131A1
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Roberto Gutierrez Gonzalez
Jan Bredau
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Festo Ag & Co. Kg
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    • F15B2211/6326—Electronic controllers using input signals representing a flow rate the flow rate being an output member flow rate

Definitions

  • Position measuring device for detecting the position of at least one actuator of a fluidic system without position sensor
  • the invention relates to a position measuring device for detecting the position of at least one actuator of a fluidic system without a position sensor.
  • Position sensors and position measuring systems for controlling movements in fluidic systems, in particular working cylinders are known in many variations and are indispensable for process control. Under certain conditions, e.g. at very high temperatures, the use of position sensors and position measuring systems is very problematic and costly. Even if there are no high temperatures, position sensors and position measuring systems represent a cost factor that should be kept as low as possible, in particular if the measurement accuracy is not too high.
  • An object of the present invention is to provide a position measuring device for detecting the position of at least one actuator of a fluidic system, can be dispensed with the position sensors or WegmessSysteme.
  • the position-measuring device has the advantage that any position sensors or displacement measuring systems can be dispensed with and the position or positions can be determined indirectly via the detection of flow or volumetric flow and pressure. Therefore, the sensor system need not be arranged along the stroke path of the actuator, but may be arranged in the supply line to the fluidic system, so also externally, wherein the geometric position is variable. This allows a more variable geometric design of the arrangement with less cabling. By replacing position sensors or displacement measuring systems with cheaper flow and pressure sensors, the costs for position detection can be reduced.
  • the fluidic system is in particular a pneumatic system which is operated with compressed air.
  • volume flow and pressure sensor device has proven to be particularly advantageous as a measuring module, in particular as a surface-mounted or built-in module.
  • a measuring module can be mounted in a simple manner on or in the fluidic system or on or in the at least one control valve in a variable manner.
  • the volume flow and pressure sensor device can advantageously be arranged on or in one of the covers of the actuator or on the outside thereof.
  • valve battery If a plurality of control valves form a valve battery, then this can expediently be provided with one or more volumetric flow and pressure sensor devices, in particular in the form of modules.
  • the volume flow and pressure sensor device may also be advantageously assigned to a plurality of fluid-actuated actuators as a fluidic system. This proves to be particularly advantageous when the controller has means for temporally assigning the detected measurement signals of the volume flow and pressure sensor device to the actuated actuator in each case, so that the positions of the actuators of a plurality of actuators are detected with a volume flow and pressure sensor device can be.
  • the at least one fluid-actuated actuator is, for example, a linear drive, for example a working cylinder, or a rotary drive.
  • a linear drive for example a working cylinder, or a rotary drive.
  • FIG. 1 shows a schematic view of a working cylinder controlled by a control valve, wherein a volumetric flow and pressure sensor device is arranged in one of the supply lines to the working cylinder,
  • FIG. 2 shows an arrangement of two module-like volume flow and pressure sensor devices on a valve battery
  • Figure 3 shows the arrangement of a volume flow and pressure sensor device in the cylinder cover of a working cylinder.
  • a fluidic working cylinder 10 is controlled by a pressure source 11 having a pressure P via a valve assembly 12, which may be, for example, a 5/3 way valve or by two separate valves which are connected in the two supply lines 13, 14 to the two chambers of the fluidic working cylinder 10.
  • a valve assembly 12 which may be, for example, a 5/3 way valve or by two separate valves which are connected in the two supply lines 13, 14 to the two chambers of the fluidic working cylinder 10.
  • throttle check valves 15, 16 are connected, which represent expedient embodiments, but are not mandatory.
  • one of the two leads 13 is also designed as a measuring module volume flow and
  • Pressure sensor device 17 is connected, through which the guided to the corresponding working chamber of the working cylinder 10 or recirculated volume flow QN and the respective pressure p is measured.
  • the measured values QN and p of the volume flow and pressure sensor device 17 are fed to a controller 18, which may be designed as an external control center or as an individually assigned control device. Feeding can be wired or wireless. In this controller 18, from the measured values QN and p according to the relationship
  • A is the pressurizable area of the actuator 19, that is, the piston of the working cylinder 10
  • QK is the compression flow proportional to the actuator volume and the pressure change according to the relationship
  • V is the volume consisting of the dead volume, that is the volume of lines, hoses and the like, and the stroke-dependent cylinder volume.
  • K P i and K P 2 are pressure-dependent correction factors for the volume flow QN and the compression flow Qk. These correction factors take into account the actual pressure as well as temperature / heat effects which are taken into account with a polytropic coefficient. This coefficient is automatically determined by the size of the pressure, the pressure change and the traversing speed of the cylinder. The calculated position value x results from the integral of the piston speed, so that this is also obtained in a simple manner by omitting the integration.
  • the volumetric flow and pressure sensor device 17 can be used both during feeding and during discharge of pressure medium the associated supply line 13 are used. If the measurement takes place during the fluid feed, both correction factors are expediently taken into account as positive values. For a measurement during fluid removal, the two correction factors are expediently taken into account as negative values.
  • the volume flow and pressure sensor device 17 can also be switched on in the other (14) of the two supply lines. It is also possible, at the same time, to switch on a separate volume flow pressure sensor device in all feed lines 13, 14, which are then expediently connected to one and the same controller 18.
  • the determined position value x can be displayed and / or stored or recorded in a display and / or registration device 20.
  • the measurements start from the control signal for the valve arrangement 12, through which a volume flow is initiated.
  • the method can be made even more robust and simplified for pure end position determination by subjecting plausibility checks to pressure and volume flow patterns. For example, the measured values for pressure and volume flow at the beginning of the process are equal to zero. If the actuator 9 leaves an end position, pressure and flow rate reach their maximum. Upon reaching the opposite end position by the actuator 9, a final value is determined for the pressure, while the volume flow is zero.
  • the volume flow and pressure sensor device 17 and additional diagnoses can be realized, for example, the detection of the switching time via the pressure sensor by the pressure rise time is measured.
  • a valve arrangement 21 designed as a valve battery is shown as a fluidic system which consists of a multiplicity of plate valves 22 or other valves arranged side by side.
  • Two of the plate valves 22 are each equipped with a volume flow and pressure sensor device 17 lo, which is mounted as an add-on module to the respective plate valve 22.
  • each of the plate valves 22 may be provided with its own volume flow and pressure sensor device 17, wherein in addition to an installation, an installation can be realized.
  • Measuring signals of a volume flow and pressure sensor device 17 are assigned to the respective active valve or plate valve 22 with a corresponding actuator. For this purpose, only a single volume flow and pressure sensor device 17 for
  • valves or plate valves 22 may be provided, which is arranged in a common fluidic supply line.
  • An appropriate evaluation with the switching matrix can be equal to integrated in the valve battery.
  • 3o facilities 17 vary. If only the end positions are of interest, only the volumetric flow measuring signal can be evaluated for rough statements regarding the end positions then a pressure detection or a pressure sensor contained in the module is not required.
  • FIG. 3 shows a portion of the fluidic working cylinder 10 with its piston as an actuator 19 enlarged.
  • the working cylinder 10 has a cylinder tube 23 which is closed by a cover 24 at the illustrated end region.
  • the volume flow and pressure sensor device 17 is integrated as a built-in module in this lid 24, designed in particular as a cylinder cover. Alternatively, it may also be externally attached to the cover 24 or outside of the cylinder tube 23 as a module.
  • a fluidic working cylinder is shown as the fluidic system.
  • the invention is also applicable to actuators other than fluidic systems, wherein a fluidic system can also have a plurality of actuators or working cylinders.
  • the object of the present invention is the indirect position detection in fluidic systems or actuators, such as drives, cylinders and the like, by the use of volume flow and pressure sensor means. Advantages are the reduction of susceptibility, the reduction of commissioning - And cabling and a lower maintenance.
  • the working cylinder 10 shown has a piston rod, but could also be formed rodless. Instead of the illustrated working cylinder 10, another fluid-actuated actuator could also be present, for example a rotary drive, a crust breaker cylinder, a handling device or a gripping device.

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Abstract

Es wird eine Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position wenigstens eines Stellglieds (19) eines fluidischen Systems (10) ohne Positionssensoranordnung vorgeschlagen, wobei wenigstens ein fluidisches Steuerventil (12) zur Steuerung des fluidischen Systems (10) vorgesehen ist. In einer Zuleitung (13) zum fluidischen System (10) ist eine Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung (17) geschaltet, die direkt mit einem Controller (18) verbunden ist. Der Controller (18) besitzt Mittel zur Berechnung der Position x des Stellglieds (19) gemäß der Beziehung (I)

Description

Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position wenigstens eines Stellglieds eines fluidischen Systems ohne Positionssensor
Die Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position wenigstens eines Stellglieds eines fluidischen Systems ohne Positionssensor. Positionssensoren und Wegmesssysteme zur Steuerung von Bewegungen in fluidischen Systemen, insbesondere Arbeitszylindern, sind in vielfältigen Variationen bekannt und zur Prozesssteuerung unabdingbar. Unter bestimmten Bedingungen, z.B. bei sehr hohen Temperaturen, ist die Verwendung von Positionssensoren und Wegmesssystemen sehr problematisch und kostenintensiv. Auch wenn keine hohen Temperaturen vorliegen, stellen Positionssensoren und Wegmesssysteme einen Kostenfaktor dar, der insbesondere bei nicht zu hohen Anforderungen an die Messgenauigkeit möglichst gering gehalten werden sollte.
Aus der DE 103 55 250 B4 ist es bekannt, eine Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung in der Zuleitung zu einem Arbeits- zylinder anzuordnen. Dies dient jedoch nicht zur Positionserfassung des Kolbens, sondern zur Leckage-Ermittlung, indem die gemessenen Druck- und Volumenstromwerte mit Referenzwerten verglichen werden. Zur Ermittlung der Leckage ist zusätz- lieh ein Endstellungsschalter erforderlich. Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position wenigstens eines Stellglieds eines fluidischen Systems zu schaffen, bei der auf Positionssensoren oder WegmessSysteme verzichtet werden kann .
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Positionsmesseinrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Die erfindungsgemäße Positionsmesseinrichtung hat insbesondere den Vorteil, dass auf jegliche Positionssensoren oder Weg- messsysteme verzichtet werden kann und die Position bzw. Positionen indirekt über die Erfassung von Durchfluss bzw. Volumenstrom und Druck ermittelt werden können. Die Sensorik braucht deshalb nicht entlang des Hubwegs des Stellglieds angeordnet sein, sondern kann in der Zuleitung zum fluidischen System, also auch extern angeordnet sein, wobei die geometrische Position variabel ist. Dies ermöglicht eine variablere geometrische Auslegung der Anordnung bei geringerem Verkabelungsaufwand. Durch den Ersatz von Positionssensoren oder WegmessSystemen durch billigere Volumenstrom- und Drucksenso- ren können die Kosten für die Positionserfassung reduziert werden.
Das fluidische System ist insbesondere ein pneumatisches System, das mit Druckluft betrieben wird.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 1 angegebenen Positionsmesseinrichtung möglich. Als besonders vorteilhaft hat sich die Ausbildung der Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung als Messmodul, insbesondere als Anbau- oder Einbaumodul erwiesen. Ein solches Modul kann in einfacher Weise am oder im fluidischen System oder am oder im wenigstens einen Steuerventil in variabler Weise angebracht werden.
Weist das fluidische System wenigstens einen fluidbetätigten Aktor auf oder besteht es aus wenigstens einem fluidbetätigten Aktor, so kann die Volumenstrom- und Drucksensoreinrich- tung in vorteilhafter Weise an oder in einem der Deckel des Aktors oder an dessen Außenseite angeordnet werden.
Bilden mehrere Steuerventile eine Ventilbatterie, so kann diese zweckmäßigerweise mit einer oder mit mehreren Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtungen versehen sein, insbeson- dere in Form von Modulen.
Die Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung kann auch vorteilhaft mehreren fluidbetätigten Aktoren als fluidisches System zugeordnet sein. Dies erweist sich vor allem dann als besonders vorteilhaft, wenn der Controller Mittel zur zeitli- chen Zuordnung der erfassten Messsignale der Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung zum jeweils betätigten Aktor aufweist, so dass mit einer Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung die Positionen der Stellglieder mehrerer Aktoren er- fasst werden können.
Bei dem mindestens einen fluidbetätigten Aktor handelt es sich beispielsweise um einen Linearantrieb, z.B. um einen Arbeitszylinder, oder um einen Drehantrieb. Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 eine schematische Ansicht eines durch ein Steuer- ventil gesteuerten Arbeitszylinders, wobei eine Vo- lutnenstrom- und Drucksensoreinrichtung in eine der Zuleitungen zum Arbeitszylinder angeordnet ist,
Figur 2 eine Anordnung von zwei tnodulartigen Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtungen an einer Ventilbatte- rie und
Figur 3 die Anordnung einer Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung im Zylinderdeckel eines Arbeitszylinders.
Bei dem in Figur 1 schematisch dargestellten Ausführungsbei- spiel wird ein fluidischer Arbeitszylinder 10 als Beispiel eines fluidischen Systems durch eine einen Druck P aufweisende Druckquelle 11 über eine Ventilanordnung 12 gesteuert, bei der es sich beispielsweise um ein 5/3 -Wege-Ventil handeln kann oder um zwei separate Ventile, die in die beiden Zulei- tungen 13, 14 zu den beiden Kammern des fluidischen Arbeitszylinders 10 geschaltet sind. In beide Zuleitungen 13, 14 sind Drosselrückschlagventile 15, 16 geschaltet, die zweckmäßige Ausgestaltungen darstellen, jedoch nicht zwingend erforderlich sind. In eine der beiden Zuleitungen 13 ist darüber hinaus eine als Messmodul ausgebildete Volumenstrom- und
Drucksensoreinrichtung 17 geschaltet, durch die der zur entsprechenden Arbeitskammer des Arbeitszylinders 10 geführte bzw. rückgeführte Volumenstrom QN sowie der jeweilige Druck p gemessen wird. Die Messwerte QN und p der Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung 17 werden einem Controller 18 zugeführt, der als externe Steuerzentrale oder als individuell zugeordnete Steuereinrichtung ausgebildet sein kann. Die Zuführung kann kabel- gebunden oder auch drahtlos erfolgen. In diesem Controller 18 wird aus den Messwerten QN und p gemäß der Beziehung
Figure imgf000007_0001
die jeweilige Position x des als Stellglied 19 dienenden Kolbens des Arbeitszylinders 10 berechnet. Dabei ist A die druckbeaufschlagbare Fläche des Stellglieds 19, also des Kolbens des Arbeitszylinders 10, und QK der Kompressionsstrom, der proportional zum Aktuatorvolumen und der Druckänderung gemäß der Beziehung
Qk=V-dpldt
ist, wobei V das Volumen ist, das aus dem Totvolumen, also dem Volumen von Leitungen, Schläuchen und dergleichen, und dem hubabhängigen Zylindervolumen besteht. KPi und KP2 sind druckabhängige Korrekturfaktoren für den Volumenstrom QN und den Kompressionsstrom Qk. Diese Korrekturfaktoren berücksich- tigen den aktuellen Druck sowie Temperatur-/Wärmeeffekte, die mit einem Polytropenkoeffizienten berücksichtigt sind. Dieser Koeffizient wird automatisch durch die Größe des Druckes, der Druckänderung und der Verfahrgeschwindigkeit des Zylinders ermittelt. Der berechnete Positionswert x ergibt sich aus dem Integral der Kolbengeschwindigkeit, so dass auch diese in einfacher Weise dadurch erhalten wird, indem man auf die Integration verzichtet.
Die Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung 17 kann sowohl beim Einspeisen als auch beim Abführen von Druckmedium durch die zugeordnete Zuleitung 13 genutzt werden. Erfolgt die Messung während der Fluideinspeisung, werden beide Korrekturfaktoren zweckmäßigerweise als positive Werte berücksichtigt. Bei einer Messung während der Fluidabfuhr werden die beiden Korrekturfaktoren zweckmäßigerweise als negative Werte berücksichtigt .
Die Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung 17 kann auch in die andere (14) der beiden Zuleitungen eingeschaltet sein. Ebenso besteht die Möglichkeit, gleichzeitig in sämtliche Zu- leitungen 13, 14 jeweils eine eigene Volumenstrom- Drucksensoreinrichtung einzuschalten, die dann zweckmäßigerweise an ein und demselben Controller 18 angeschlossen sind.
Der ermittelte Positionswert x kann in einer Anzeige- und/oder Registriereinrichtung 20 angezeigt und/oder gespei- chert bzw. aufgezeichnet werden.
Bei der Ermittlung der Position gemäß dem vorstehend beschriebenen Verfahren bzw. gemäß der vorstehend angegebenen Beziehung beginnen die Messungen ab dem Steuersignal für die Ventilanordnung 12, durch das ein Volumenstrom initiiert wird. Das Verfahren kann zur reinen Endlagenermittlung noch robuster und vereinfachter gemacht werden, indem Druck- und Volumenstrommuster Plausibilitätskontrollen unterworfen werden. Beispielsweise sind die Messwerte für Druck und Volumenstrom zu Beginn des Vorgangs gleich Null. Verlässt das Stell- glied 9 eine Endlage, so erreichen Druck und Volumenstrom ihr Maximum. Bei Erreichen der entgegengesetzten Endlage durch das Stellglied 9 wird für den Druck ein Endwert festgestellt, während der Volumenstrom zu Null wird. Mit der Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung 17 können auch zusätzliche Diagnosen realisiert werden, z.B. die Erfassung der Schaltzeit über den Drucksensor, indem die Druckanstiegszeit gemessen wird.
5 In Figur 2 ist eine als Ventilbatterie ausgebildete Ventilanordnung 21 als fluidisches System dargestellt, die aus einer Vielzahl von aneinandergereihten Plattenventilen 22 oder sonstigen Ventilen besteht. Zwei der Plattenventile 22 sind jeweils mit einer Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung 17 lo ausgestattet, die als Anbaumodul an das jeweilige Plattenventil 22 angebaut ist. Prinzipiell kann auch jedes der Plattenventile 22 mit einer eigenen Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung 17 versehen sein, wobei neben einem Anbau auch ein Einbau realisiert werden kann. Durch Auswertung des Mus- i5 ters der Steuersignale seitens des Controllers 18 oder anderer Steuereinrichtungen, beispielsweise auch einer internen Steuereinrichtung der Ventilinsel, kann der Sensoraufwand verringert werden. Diese Steuersignale liegen bereits in der Ventilbatterie vor. Da selten alle Ventile gleichzeitig
20 schalten, können abhängig vom aktuellen Schaltzustand die
Messsignale einer Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung 17 dem jeweils aktiven Ventil bzw. Plattenventil 22 mit entsprechendem Aktuator zugeordnet werden. Hierfür kann auch nur eine einzige Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung 17 für
25 alle Ventile bzw. Plattenventile 22 vorgesehen sein, die in einer gemeinsamen fluidischen Zuführleitung angeordnet wird. Eine entsprechende Auswerteelektronik mit der Schaltmatrix kann gleich in der Ventilbatterie integriert sein. Applikationsabhängig kann die Zahl der Volumenstrom- und Drucksensor-
3o einrichtungen 17 variieren. Wenn nur die Endlagen interessieren, kann für grobe Aussagen hinsichtlich der Endlagen auch nur das Volumenstrom-Messsignal ausgewertet werden, wobei dann eine Druckerfassung bzw. ein im Modul enthaltener Drucksensor nicht erforderlich ist.
In Figur 3 ist ein Teilbereich des fluidischen Arbeitszylinders 10 mit seinem Kolben als Stellglied 19 vergrößert darge- stellt. Der Arbeitszylinder 10 weist ein Zylinderrohr 23 auf, das am dargestellten Endbereich durch einen Deckel 24 verschlossen ist . Die Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung 17 ist in diesem insbesondere als Zylinderdeckel ausgebildeten Deckel 24 als Einbaumodul integriert. Alternativ hierzu kann sie auch außen an dem Deckel 24 oder außen am Zylinderrohr 23 als Modul angebaut sein. In den Ausführungsbeispielen ist als fluidisches System ein fluidischer Arbeitszylinder dargestellt. Die Erfindung ist jedoch auch auf andere Aktoren als fluidische Systeme anwendbar, wobei ein fluidisches Sys- tem auch mehrere Aktoren bzw. Arbeitszylinder aufweisen kann.
Wie bereits ausgeführt, ist das Ziel der vorliegenden Erfindung die indirekte Positionserfassung in fluidischen Systemen bzw. Aktoren, wie Antrieben, Zylindern und dergleichen, durch die Verwendung von Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtun- gen. Vorteile sind dabei die Verringerung der Störanfälligkeit, die Reduzierung von Inbetriebnahme- und Verkabelungsaufwand sowie ein geringerer Wartungsaufwand.
Der gezeigte Arbeitszylinder 10 weist eine Kolbenstange auf, könnte jedoch auch kolbenstangenlos ausgebildet sein. Anstelle des gezeigten Arbeitszylinders 10 könnte auch ein anderer fluidbetätigter Aktor vorhanden sein, beispielsweise ein Drehantrieb, ein Krustenbrecherzylinder, eine Handhabungsvorrichtung oder eine GreifVorrichtung.

Claims

Ansprüche
1. Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position wenigstens eines Stellglieds (19) eines fluidischen Systems (12) ohne Positionssensoranordnung, mit wenigstens einem fluidischen Steuerventil (12; 21) zur Steuerung des fluidischen Systems (12), mit einer in eine Zuleitung (13) zum fluidischen System (12) geschalteten Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung (17) , die direkt mit einem Controller (18) verbunden ist, wobei der Controller (18) Mittel zur Berechnung der Position x des Stellglieds (19) gemäß der Beziehung
Figure imgf000011_0001
besitzt, wobei A die druckbeaufschlagte Fläche des Stellglieds (19) , QN der gemessene Volumenstrom, KPi und KP2 druckabhängige Korrekturfaktoren und QK der vom wirksamen Gesamtvolumen V und von der zeitlichen Ableitung des gemessenen i5 Druckes p abhängige Kompressionsstrom ist.
2. Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einem Kompressionsstrom gemäß
Qk=V-dpldt .
3. Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch 2o gekennzeichnet, dass die Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung (17) zwischen das wenigstens eine Steuerventil (12; 21) und das fluidische System (10) geschaltet ist.
4. Positionsmesseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung (17) als Messmodul ausgebildet ist, insbesondere als Anbau- oder Einbaumodul.
5. Positionsmesseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Volumenstrom- und
5 Drucksensoreinrichtung (17) am oder im fluidischen System (10) angeordnet ist.
6. Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das fluidische System (10) wenigstens einen fluidbetätigten Aktor, beispielsweise einen Arbeitszylin- lo der oder Drehantrieb, aufweist oder aus einem solchen besteht, wobei die Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung (17) zweckmäßigerweise an oder in einem der Deckel (24) des fluidbetätigten Aktors oder an dessen Außenseite angeordnet ist.
i5 7. Positionsmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung (17) am oder im wenigstens einen Steuerventil (12; 21) angebracht ist.
8. Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 7, dadurch ge-
2o kennzeichnet, dass mehrere Steuerventile (22) eine Ventilbatterie (21) bilden, die mit wenigstens einer Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung (17) versehen ist.
9. Positionsmesseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Volumenstrom- und
25 Drucksensoreinrichtung (17) mehreren Aktoren, insbesondere Arbeitszylindern oder Drehantrieben, als fluidisches System zugeordnet ist .
10. Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Controller (18) Mittel zur zeitlichen Zuordnung der erfassten Messsignale der Volumenstrom- und Drucksensoreinrichtung (17) zum jeweils betätigtem fluidi- sehen System, insbesondere Aktor aufweist .
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