WO2010117034A1 - プローブカード - Google Patents

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probe card
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shape
wiring board
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憲 山村
眞司 村田
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Alps Electric Co Ltd
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    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
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    • G—PHYSICS
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    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects

Definitions

  • the present invention relates to a probe card, and more particularly to a probe card that can be suitably used for a probe card in which probes extending in the vertical direction are arranged in an array.
  • probes also referred to as contacts
  • vertical type probes the advantage of the vertical probe is that it can be arranged in an array (see Patent Document 1).
  • the present invention has been made in view of these points, and while keeping the load applied to the probe low, the probe stroke length is increased in a narrow effective space, and the probe is stably expanded and contracted. It is an object of the present invention to provide a probe card that can be used.
  • the probe card of the present invention includes, as a first aspect, a wiring board having connection terminals and a first beam portion to an nth beam formed in a plate shape having a predetermined width.
  • a plurality of beam portions up to a portion are arranged in an inclined manner or horizontally, and from a first beam portion connected directly or indirectly to a connection terminal of a wiring board
  • the stroke length of the probe can be reduced in a narrow effective space. Can be long.
  • each beam part which comprises the spring part of a probe is each formed in the plate shape which has predetermined width
  • the probe card according to the second aspect of the present invention is the probe card according to the first aspect, wherein the beam part has a polygonal plate, a circular plate, an elliptical plate or other one or both ends narrower than the width of the intermediate portion. It is characterized by being formed in a plate shape.
  • the elastic force can be made larger than that of the probe having each beam portion formed in a linear shape. Further, the elastic force of the probe can be easily controlled by changing the width of the beam portion.
  • the probe card according to the third aspect of the present invention is characterized in that, in the probe card according to the second aspect, the beam portion is formed in a donut shape.
  • the control of the elastic force of the probe can be facilitated by the size of the hole provided in each beam portion.
  • the probe card according to the fourth aspect of the present invention is the probe card according to the first aspect, wherein the contact portion of the beam portion that contacts the electrode pad to be contacted as the contact portion of the probe is formed in parallel with the electrode pad. It is characterized by being.
  • the contact area with the electrode pad can be increased.
  • the probe card according to a fifth aspect of the present invention is the probe card according to the first aspect, wherein the probe is arranged between the connection terminal of the wiring board and the first beam part by arranging the first beam part from the wiring board on the electrode pad. It is characterized by having a raised base that is raised on the installation side.
  • the probe card of the fifth aspect of the present invention it is possible to suppress the first inclined beam portion from bottoming on the wiring board.
  • a probe card according to a sixth aspect of the present invention is the probe card according to the fifth aspect, wherein the probe is formed to extend in a horizontal direction from the bulkhead, and the bulkhead and the lower end of the first beam portion are connected to each other. It has a horizontal beam part to be connected.
  • the probe card of the sixth aspect of the present invention since the horizontal beam portion is interposed between the bulkhead and the first inclined beam portion, the behavior control of the elastic deformation of the probe can be easily performed.
  • a probe card according to a seventh aspect of the present invention is the probe card according to the first aspect, wherein the probe is connected between the ends of the beam portions adjacent in the vertical direction and is formed in a column shape. It is characterized by having a vertical connection part.
  • the probe card of the seventh aspect of the present invention it is possible to prevent interfacial peeling from each beam part by interposing the vertical connection part between each beam part.
  • the shape of the beam portion constituting the spring portion of the probe, the stepped shape thereof, and the like are as described above, the load applied to the probe is kept low while the effective space is small.
  • the effect is that the stroke length of the probe is increased and the probe can stably extend and contract.
  • the perspective view which shows an example of the probe card of this embodiment The perspective view which shows an example of the probe card of this embodiment
  • the perspective view which shows an example of the probe of this embodiment The perspective view which shows an example of the probe of this embodiment
  • the perspective view which shows an example of the probe of this embodiment The perspective view which shows an example of the state which formed the vertical connection part in the probe of this embodiment
  • Sectional drawing which shows an example of the formation process of the bulkhead and horizontal beam part in the manufacturing method of the probe of this embodiment
  • Sectional drawing which shows an example of the joining method of a bulkhead base, a horizontal beam part, and a 1st inclination beam part in the manufacturing method of the probe of this embodiment.
  • Sectional drawing which shows an example of the joining method of a 1st inclination beam part, a vertical connection part, and a 2nd inclination beam part in the manufacturing method of the probe of this embodiment.
  • a perspective view showing an example of another probe A perspective view showing an example of another probe The perspective view which shows an example of the probe of other embodiment
  • probe card of the present invention will be described based on an embodiment thereof.
  • the probe card 1 includes a wiring board 3 having a connection terminal 3a and a probe 2 as shown in FIG.
  • the probe 2 of this embodiment has a spring portion composed of a plurality of beam portions (for example, 4, 5, etc.).
  • this spring portion as shown in FIG. 1 or FIG. 2, the first beam portion 4 to the nth beam portion (n is an arbitrary integer equal to or greater than 2) (part number is 5, 6, or N)
  • n is an arbitrary integer equal to or greater than 2
  • a plurality of beam portions up to a certain number are arranged in an inclined manner or horizontally.
  • the inclined beam portion is called a second inclined beam portion 5
  • the horizontally arranged beam portion is called a second horizontal beam portion 6 as shown in FIG. 3, for example.
  • this spring portion is used as each hinge portion H (see FIG.
  • a single arm pantograph shape is formed.
  • This spring part may be formed in a Z shape as shown in FIG. 3 or FIG.
  • the single arm pantograph shape or Z-shape of the spring portion may be single as shown in FIG. 1 or FIG. 3, or may be continuous as shown in FIG. 2 or FIG.
  • the beam portions are each formed in a plate shape having a predetermined width.
  • the beam portion (for example, 4) is preferably formed in a plate shape in which the width of one end or both ends of a polygonal plate, a circular plate, an elliptical plate or the like is narrower than the width of the intermediate portion. Further, it is more preferable that the beam portion (for example, 4) is formed in a donut shape.
  • the contact portion (for example, 5a, 6a, Na) of the beam portion is in contact with an electrode pad (not shown) to be contacted as a contact portion of the probe 2 as shown in FIG.
  • the contact portion (for example, 5a, 6a, Na) of the beam portion is preferably formed in parallel with the electrode pad.
  • the first inclined beam portion 4 may be directly connected to the connection terminal 3a of the wiring board 3 or may be indirectly connected.
  • the probe 2 may have a metal bulkhead 8 between the connection terminal 3 a of the wiring board 3 and the first beam portion 4.
  • the raised base 8 raises the first beam portion 4 from the wiring board 3 to the electrode pad arrangement side (upward), and indirectly connects the first inclined beam portion 4 and the connection terminal 3 a of the wiring board 3. Connect.
  • the probe 2 may have a horizontal beam portion 9 as shown in FIG. 3 or FIG.
  • the horizontal beam portion 9 is formed to extend in the horizontal direction from the bulkhead 8 and connects the bulkhead 8 and the lower end of the first beam portion 4.
  • the probe 2 may have a vertical connection portion 25 as shown in FIG.
  • the vertical connection portion 25 is formed in a columnar shape, and between each end portion of each beam portion adjacent in the vertical direction, for example, the upper end of the first inclined beam portion 4 and the second beam portion 5 (or 6). It is interposed between the lower end.
  • the probe 2 of the probe card 1 of this embodiment can be formed by various methods.
  • a first resist plating mold is formed in which the first inclined beam portion 4 is formed in the hole 10a as shown in FIG. 6A.
  • the first inclined beam portion 4 is formed by plating
  • the first resist plating mold is removed as shown in FIG. 6C
  • the first resist embedding base having a flat upper surface as shown in FIG. 6D is formed, as shown in FIG. 6E.
  • Formation of a second resist plating mold in which the second inclined beam portion 5 is formed by plating inside the hole 15a, plating formation of the second beam portion 5 (or 6) as shown in FIG. 6F, and resist as shown in FIG. 6G It is formed through removal.
  • the probe 2 of this embodiment is an optional additional process.
  • the resist plating mold 21 for the horizontal beam portion 9 and the horizontal beam portion 9 plating are formed and the vertical connection portion 25 as shown in FIG. 10 is formed. May be.
  • the spring portion of the probe 2 is independent (or continuous as shown in FIG. 2) by arranging a plurality of beam portions 4 and 5 vertically as shown in FIG.
  • the single arm pantograph shape (or the Z shape shown in FIG. 3 or 4) is formed. Therefore, the stroke length of the probe 2 can be increased in a narrow effective space.
  • Each of the aforementioned beam portions (for example, 4 and 5) is formed in a plate shape having a predetermined width. Therefore, unlike the probe 2 formed by combining linear or C-shaped beam portions (for example, 4 and 5) as shown in FIG. 11 or FIG. 12, the probe 2 moves unnecessarily in the horizontal direction when the probe 2 contracts. Therefore, it is possible to prevent the behavior of the expansion / contraction operation of the probe from being disturbed.
  • the beam portion is preferably formed in a plate shape in which the width of one end or both ends of a polygonal plate, a circular plate, an elliptical plate or the like is narrower than the width of the intermediate portion.
  • the elastic force can be made larger than that of the probe 2 having a narrow linear or C-shaped beam portion (for example, 4, 5) as shown in FIG.
  • the control of the elastic force of the probe 2 such that the elastic force is increased in accordance with the contraction amount of the spring part of the probe 2 by making the width of the intermediate part of the beam part larger than the widths of the upper and lower ends. can do.
  • the beam portion is formed in a donut shape. This makes it easy to adjust the elastic force of the probe 2 caused by the low load applied to the probe 2 in the decreasing direction depending on the size of the hole provided in each beam portion. Even if it is increased, the elastic force generated by the probe 2 can be reduced. As a result, it is possible to improve the behavioral stability of the probe 2 in the contraction direction by enlarging the entire width of the probe 2 and to easily control the elastic force of the probe 2.
  • the contact portion (for example, 5a, 6a, Na) of the beam portion is preferably formed in parallel with the electrode pad. Thereby, a contact area with an electrode pad can be enlarged.
  • the probe 2 preferably has a bulkhead 8 as shown in FIG. 2 or FIG.
  • a bulkhead 8 By forming the bulkhead 8, it is possible to prevent the first inclined beam portion 4 from bottoming out to the wiring board 3 at an early stage.
  • the probe 2 is preferably formed with a horizontal beam portion 9. Even if the horizontal beam portion 9 is deformed, the position of the contact portion (for example, 5a, 6a, Na) of the beam portion is less likely to be shifted left and right, so that the elastic force of the probe 2 is controlled by adding the horizontal beam portion 9, The behavior control of the elastic deformation of the probe 2 can be easily performed.
  • the probe 2 has a vertical connection portion 25 as shown in FIG.
  • the vertical connection portion 25 By interposing the vertical connection portion 25 between the beam portions (for example, 4 and 5), it is possible to prevent interface peeling from between the beam portions (for example, 4 and 5).
  • the shape of the beam portion constituting the spring portion of the probe 2 and their columnar shape are as described above, the load applied to the probe 2 is kept low.
  • the effect is that the stroke length of the probe 2 can be increased in a narrow effective space, and the probe 2 can be stably expanded and contracted.

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Abstract

【課題】プローブに加える荷重を低く維持したまま、狭小の有効スペースでプローブのストローク長さを長くし、かつ、プローブが安定して伸縮動作することができるプローブカードを提供する。 【解決手段】本発明のプローブカード１のプローブ２においては、ばね部として、ドーナツ形状の楕円板状に形成された第１ビーム部４および第２ビーム部５が傾斜配置されている。また、プローブ２は、第１ビーム部４の上端部および第２ビーム部５の下端部をヒンジ部Ｈとして２個のビーム部を連結させ、シングルアームパンタグラフ形状に形成されている。

Description

プローブカード
　本発明は、プローブカードに係り、特に、垂直方向に延在するプローブがアレイ配置されるプローブカードに好適に利用できるプローブカードに関する。
　一般的に、プローブカードに用いられるプローブ（接触子とも言う。）については、主に、水平カンチレバー型プローブと、垂直型プローブとの２種類のプローブが挙げられる。そのうちの垂直型プローブのメリットは、アレイ配置できる点である(特許文献１を参照）。
　従来の垂直型プローブにおいては、プローブの高い耐久性と低い接点抵抗とを実現するため、低荷重と高ストロークとの両立が要求されていた。
特開２００８－５３０３４号公報
　しかしながら、従来の垂直型プローブにおいては、最近のプローブの狭小化により各プローブ間のピッチ間距離およびプローブの有効スペースが小さくなったため、プローブに加える荷重を低く維持したまま、狭小の有効スペースでプローブのストローク長さを長くすることが難しくなってきたという問題が生じてきた。
　したがって、例えば数μｍ～数十μｍ幅のプローブを１５０μｍ以下のピッチ間隔で配置する状況のようなプローブの有効スペースおよび各プローブ間のピッチ間距離が小さくなる場合であっても、低荷重および長いストローク長を実現し、かつ、安定して伸縮動作する新規な立体形状のプローブを提供する必要が生じてきた。
　そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、プローブに加える荷重を低く維持したまま、狭小の有効スペースでプローブのストローク長さを長くし、かつ、プローブが安定して伸縮動作することができるプローブカードを提供することを本発明の目的としている。
　前述した目的を達成するため、本発明のプローブカードは、その第１の態様として、接続端子を有する配線板と、所定の幅を有する板形状にそれぞれ形成された第１ビーム部から第ｎビーム部（ｎは２以上の任意の整数である。）までの複数のビーム部を傾斜配置または水平配置し、かつ、配線板の接続端子に直接的または間接的に接続された第１ビーム部から第ｎビーム部までの各端部を各々のヒンジ部として複数のビーム部を順次連結させることにより、単独のまたは連続したシングルアームパンタグラフ形状またはＺ字形状に形成されているばね部を有するプローブとを備えることを特徴としている。
　本発明の第１の態様のプローブカードによれば、プローブのばね部が単独のまたは連続したシングルアームパンタグラフ形状またはＺ字形状に形成されているので、狭小の有効スペースでプローブのストローク長さを長くすることができる。また、プローブのばね部を構成する各ビーム部が所定の幅を有する板形状にそれぞれ形成されているので、プローブの収縮時にプローブが不必要に水平方向に動いてしまうことを防止することができる。
　本発明の第２の態様のプローブカードは、第１の態様のプローブカードにおいて、ビーム部は、多角形板、円形板、楕円形板その他の一端または両端の幅が中間部の幅よりも狭い板状に形成されていることを特徴としている。
　本発明の第２の態様のプローブカードによれば、直線状に形成した各ビーム部を有するプローブよりもその弾性力を大きくすることができる。また、ビーム部の幅を変更することにより、プローブの弾性力の制御を容易にすることができる。
　本発明の第３の態様のプローブカードは、第２の態様のプローブカードにおいて、ビーム部は、ドーナツ形状に形成されていることを特徴としている。
　本発明の第３の態様のプローブカードによれば、各ビーム部の内部に設けられた孔の大きさによってプローブの弾性力の制御を容易にすることができる。
　本発明の第４の態様のプローブカードは、第１の態様のプローブカードにおいて、プローブの接触部として接触対象となる電極パッドに接触するビーム部の接触箇所は、電極パッドと平行に形成されていることを特徴としている。
　本発明の第４の態様のプローブカードによれば、電極パッドとの接触面積を大きくすることができる。
　本発明の第５の態様のプローブカードは、第１の態様のプローブカードにおいて、プローブは、配線板の接続端子と第１ビーム部との間において配線板から第１ビーム部を電極パッドの配設側に嵩上げする嵩上台を有していることを特徴としている。
　本発明の第５の態様のプローブカードによれば、第１傾斜ビーム部が配線板に底付きしてしまうことを抑制することができる。
　本発明の第６の態様のプローブカードは、第５の態様のプローブカードにおいて、プローブは、嵩上台から水平方向に延在して形成されており、嵩上台と第１ビーム部の下端とを接続する水平ビーム部を有していることを特徴としている。
　本発明の第６の態様のプローブカードによれば、嵩上台と第１傾斜ビーム部との間に水平ビーム部が介在するので、プローブの弾性変形の挙動制御を容易に行なうことができる。
　本発明の第７の態様のプローブカードは、第１の態様のプローブカードにおいて、プローブは、上下方向に隣位する各ビーム部の各端部の間を接続しており、柱状に形成されている垂直接続部を有していることを特徴としている。
　本発明の第７の態様のプローブカードによれば、各ビーム部の間に垂直接続部が介在することによって各ビーム部との間から界面剥離することを防止することができる。
　本発明のプローブカードによれば、プローブのばね部を構成するビーム部の形状、それらの段組形状などを上記の通りにしたので、プローブに加える荷重を低く維持したまま、狭小の有効スペースでプローブのストローク長さを長くし、かつ、プローブが安定して伸縮動作することができるという効果を奏する。
本実施形態のプローブカードの一例を示す斜視図 本実施形態のプローブカードの一例を示す斜視図 本実施形態のプローブの一例を示す斜視図 本実施形態のプローブの一例を示す斜視図 本実施形態のプローブにおいて垂直接続部を形成した状態の一例を示す斜視図 本実施形態のプローブの製造方法をＡ～Ｇの順に示す斜視図および断面図 本実施形態のプローブの製造方法における嵩上台の形成工程の一例を示す断面図 本実施形態のプローブの製造方法における嵩上台および水平ビーム部の形成工程の一例を示す断面図 本実施形態のプローブの製造方法において嵩上台、水平ビーム部および第１傾斜ビーム部の接合方法の一例を示す断面図 本実施形態のプローブの製造方法において第１傾斜ビーム部、垂直接続部および第２傾斜ビーム部の接合方法の一例を示す断面図 他のプローブの一例を示す斜視図 他のプローブの一例を示す斜視図 他の実施形態のプローブの一例を示す斜視図
　以下、本発明のプローブカードをその一実施形態により説明する。
　本実施形態のプローブカード１は、例えば図１に示すように、接続端子３ａを有する配線板３およびプローブ２を備えている。
　本実施形態のプローブ２は、複数のビーム部（例えば４、５など）で構成されたばね部を有する。このばね部においては、図１または図２に示すように、第１ビーム部４から第ｎビーム部（ｎは２以上の任意の整数である。）（部品番号は５、６、またはＮである。）までの複数のビーム部が傾斜配置または水平配置されている。傾斜配置されたビーム部を例えば図１に示すように第２傾斜ビーム部５と称し、水平配置されたビーム部を例えば図３に示すように第２水平ビーム部６と称する。また、このばね部は、配線板３の接続端子３ａに接続された第１ビーム部４から第ｎビーム部Ｎまでの各端部を一体形成された各々のヒンジ部Ｈ（図１参照）として複数のビーム部を順次連結させることにより、シングルアームパンタグラフ形状に形成されている。このばね部は、図３または図４に示すように、Ｚ字形状に形成されていても良い。また、ばね部のシングルアームパンタグラフ形状またはＺ字形状は、図１または図３に示すように単独であっても良いし、図２または図４に示すように連続しても良い。
　ビーム部（例えば４）は、所定の幅を有する板形状にそれぞれ形成されている。このビーム部（例えば４）は、多角形板、円形板、楕円形板その他の一端または両端の幅が中間部の幅よりも狭い板状に形成されていることが好ましい。また、このビーム部（例えば４）は、ドーナツ形状に形成されていることがなお好ましい。
　ビーム部の接触箇所（例えば５ａ、６ａ、Ｎａ）は、図１、図３または図４に示すように、プローブ２の接触部として接触対象となる電極パッド（図示せず）に接触する。このビーム部の接触箇所（例えば５ａ、６ａ、Ｎａ）は、電極パッドと平行に形成されていることが好ましい。
　第１傾斜ビーム部４は、配線板３の接続端子３ａに対して直接的に接続されていても良いし、間接的に接続されていても良い。例えば、プローブ２は、図２または図４に示すように、配線板３の接続端子３ａと第１ビーム部４との間に、金属製の嵩上台８を有していても良い。この嵩上台８は、配線板３から第１ビーム部４を電極パッドの配設側（上方）に嵩上げするものであって、第１傾斜ビーム部４と配線板３の接続端子３ａとを間接的に接続する。
　また、プローブ２は、図３または図４に示すように、水平ビーム部９を有していても良い。この水平ビーム部９は、嵩上台８から水平方向に延在して形成されており、嵩上台８と第１ビーム部４の下端とを接続するものである。
　さらに、プローブ２は、図５に示すように、垂直接続部２５を有していても良い。垂直接続部２５は、柱状に形成されており、上下方向に隣位する各ビーム部の各端部の間、例えば、第１傾斜ビーム部４の上端と第２ビーム部５（または６）の下端との間に介在している。
　本実施形態のプローブカード１のプローブ２は種々の方法で形成することができる。例えば、本実施形態のプローブ２は、必須の工程として、図６Ａに示すような穴１０ａの内部に第１傾斜ビーム部４がめっき形成される第１レジストめっき型の形成、図６Ｂに示すような第１傾斜ビーム部４のめっき形成、図６Ｃに示すような第１レジストめっき型の除去、図６Ｄに示すような上面が平らな第１レジスト埋込台座の形成、図６Ｅに示すような穴１５ａの内部に第２傾斜ビーム部５がめっき形成される第２レジストめっき型の形成、図６Ｆに示すような第２ビーム部５（または６）のめっき形成および図６Ｇに示すようなレジストの除去を経て、形成される。
　また、本実施形態のプローブ２は、任意の追加工程として、図７に示すような第１レジストめっき型の形成前に嵩上台８用レジストめっき型２０および嵩上台８のめっき形成、図８および図９に示すような第１レジストめっき型の形成前に水平ビーム部９用レジストめっき型２１および水平ビーム部９めっきの形成ならびに図１０に示すような垂直接続部２５のめっき形成を経て、形成されていても良い。
　次に、本実施形態のプローブカード１の作用を説明する。
　本実施形態のプローブカード１において、プローブ２のばね部は、例えば図１に示すように、複数のビーム部４、５を上下に段組することにより、単独の（または図２のように連続した）シングルアームパンタグラフ形状（または図３または図４に示すＺ字形状）に形成されている。そのため、狭小の有効スペースでプローブ２のストローク長さを長くすることができる。
　前述の各ビーム部（例えば４、５）は、所定の幅を有する板形状にそれぞれ形成されている。そのため、図１１または図１２に示すような直線状またはＣ形状のビーム部（例えば４、５）を組み合わせてなるプローブ２とは異なり、プローブ２の収縮時にプローブ２が不必要に水平方向に動いてプローブの伸縮動作の挙動を乱してしまうことを防止することができる。
　また、ビーム部は、図１３に示すように、多角形板、円形板、楕円形板その他の一端または両端の幅が中間部の幅よりも狭い板状に形成されていることが好ましい。この場合、図１１または図１２に示すような幅の狭い線状またはＣ形状のビーム部（例えば４、５）を有するプローブ２よりもその弾性力を大きくすることができる。また、ビーム部の中間部の幅を上下両端の幅よりも大きくすることにより、プローブ２のばね部の収縮量に応じて弾性力を大きくさせるといったようなプローブ２の弾性力の制御を容易にすることができる。
　特に、図１から図４に示すように、ビーム部がドーナツ形状に形成されていることがより好ましい。こうすれば、各ビーム部の内部に設けられた孔の大きさによってプローブ２に印加された低荷重により生じるプローブ２の弾性力を減少方向に調整することが容易になるので、プローブ２の全幅を大きくしてもプローブ２が生じる弾性力を小さくすることができる。これにより、プローブ２の全幅の拡大によるプローブ２の収縮方向への挙動安定性を向上させるとともに、プローブ２の弾性力の制御を容易にすることができる。
　また、例えば、図１の第２ビーム部５（または６）の上端のように、ビーム部の接触箇所（例えば５ａ、６ａ、Ｎａ）は、電極パッドと平行に形成されていることが好ましい。これにより、電極パッドとの接触面積を大きくすることができる。
　また、プローブ２は、図２または図４に示すように、嵩上台８を有していることが好ましい。嵩上台８を形成することにより、第１傾斜ビーム部４が配線板３に早期に底付きしてしまうことを抑制することができる。
　嵩上台８を形成する場合、プローブ２には水平ビーム部９が形成されていることが好ましい。水平ビーム部９が変形してもビーム部の接触箇所（例えば５ａ、６ａ、Ｎａ）の位置が左右にずれることが少ないので、プローブ２の弾性力を水平ビーム部９の追加により制御しつつ、プローブ２の弾性変形の挙動制御を容易に行なうことができる。
　さらに、このプローブ２には、図５に示すように、垂直接続部２５が形成されていることが好ましい。各ビーム部（例えば４、５）の間に垂直接続部２５が介在することによって各ビーム部（例えば４、５）の間から界面剥離することを防止することができる。
　すなわち、本実施形態のプローブカード１によれば、プローブ２のばね部を構成するビーム部の形状、それらの段組形状などを上記の通りにしたので、プローブ２に加える荷重を低く維持したまま、狭小の有効スペースでプローブ２のストローク長さを長くし、かつ、プローブ２が安定して伸縮動作することができるという効果を奏する。
　なお、本発明は、前述した実施形態などに限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
　１　プローブカード
　２　プローブ
　３　配線板
　４　第１傾斜ビーム部
　５　第２傾斜ビーム部
　６　第２水平ビーム部
　７　第３傾斜ビーム部
　８　嵩上台
　９　水平ビーム部

Claims (7)

  1. 　接続端子を有する配線板と、
    　所定の幅を有する板形状にそれぞれ形成された第１ビーム部から第ｎビーム部（ｎは２以上の任意の整数である。）までの複数のビーム部を傾斜配置または水平配置し、かつ、前記配線板の接続端子に直接的または間接的に接続された前記第１ビーム部から前記第ｎビーム部までの各端部を各々のヒンジ部として前記複数のビーム部を順次連結させることにより、単独のまたは連続したシングルアームパンタグラフ形状またはＺ字形状に形成されているばね部を有するプローブと
    を備えることを特徴とするプローブカード。
  2. 　前記ビーム部は、多角形板、円形板、楕円形板その他の一端または両端の幅が中間部の幅よりも狭い板状に形成されている
    ことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
  3. 　前記ビーム部は、ドーナツ形状に形成されている
    ことを特徴とする請求項２に記載のプローブカード。
  4. 　前記プローブの接触部として接触対象となる電極パッドに接触する前記ビーム部の接触箇所は、前記電極パッドと平行に形成されている
    ことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
  5. 　前記プローブは、前記配線板の接続端子と前記第１ビーム部との間において前記配線板から前記第１ビーム部を前記電極パッドの配設側に嵩上げする嵩上台を有している
    ことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
  6. 　前記プローブは、前記嵩上台から水平方向に延在して形成されており、前記嵩上台と前記第１ビーム部の下端とを接続する水平ビーム部を有している
    ことを特徴とする請求項５に記載のプローブカード。
  7. 　前記プローブは、上下方向に隣位する前記各ビーム部の各端部の間を接続しており、柱状に形成されている垂直接続部を有している
    ことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
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