WO2010083984A3 - Dispositif et procédé pour représenter la surface d'un échantillon - Google Patents

Dispositif et procédé pour représenter la surface d'un échantillon Download PDF

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Abstract

L'invention concerne un dispositif pour représenter la surface d'un échantillon, à l'aide d'un dispositif servant à enregistrer une pluralité de signaux à une pluralité de points de la surface, chaque signal présentant pour chaque point une pluralité de valeurs de signal associées à des canaux de mesure individuels. L'invention est caractérisée en ce que le dispositif comprend un dispositif d'analyse qui est conçu pour qu'une analyse totale ou partielle de plusieurs signaux qui sont chacun associés à des points différents de la surface de l'échantillon permette de caractériser un point de la surface d'échantillon.
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