WO2010035400A1 - 振動モータおよびそれを用いた携帯端末装置 - Google Patents

振動モータおよびそれを用いた携帯端末装置 Download PDF

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WO2010035400A1
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WO
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permanent magnet
vibration motor
coil
leaf spring
planar coil
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PCT/JP2009/004042
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Inventor
穴田佳謙
宮本英明
本間運也
Original Assignee
三洋電機株式会社
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/16—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with polarised armatures moving in alternate directions by reversal or energisation of a single coil system
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/04—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism
    • B06B1/045—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism using vibrating magnet, armature or coil system

Definitions

  • the present invention relates to a vibration motor that generates vibration, and more particularly to a vibration motor and a portable terminal device using the vibration motor.
  • Mobile terminals such as mobile phones and PDAs (Personal Digital Assistants) having a function of notifying users of incoming calls and emails by vibration of the housing are known.
  • a portable terminal may incorporate a small motor that generates vibration.
  • Conventionally known as such a motor is an actuator as a motor including a mover that vibrates due to electromagnetic force from a coil (see, for example, Patent Document 1 below).
  • the motor disclosed in Patent Document 1 includes a mover made of a disk-shaped magnet and a coil arranged so as to surround the mover, and the mover is moved in the vertical direction (electromagnetic force of the mover by electromagnetic force from the coil). Move linearly in the thickness direction.
  • the disk-shaped mover is configured to move in the vertical direction. Therefore, it is necessary to provide a moving space for the mover in the vertical direction, and the motor is structurally thinned. There is a problem that it is difficult.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a vibration motor that can be thinned.
  • the vibration motor includes a substrate having coils arranged apart from each other, a magnetic pole surface facing the coil on one surface side of the substrate, and a movable portion that moves on the coil along the coil arrangement direction. And an elastic member that is provided at both ends of the coil array and biases the movable portion in the moving direction.
  • the movable portion has flat side surfaces that face the elastic members at both ends.
  • This portable terminal device includes the above-described vibration motor.
  • a vibration motor that can be reduced in thickness can be provided.
  • FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. 1.
  • FIGS. 3A to 3D are conceptual diagrams showing how the permanent magnets reciprocate. It is a perspective view which shows the portable terminal device which concerns on 2nd Embodiment. It is a functional block diagram of the portable terminal device of FIG.
  • the vibration motor 100 is a linear drive vibration motor (linear motor) that is preferably used as a vibration generating motor in a mobile terminal device such as a mobile phone.
  • linear motor linear motor
  • the vibration motor 100 when a drive current flows through the coil in the magnetic field of the permanent magnet constituting the movable part, the Lorentz force acts on the coil and the reaction force acts on the permanent magnet.
  • the permanent magnet reciprocates by this reaction force.
  • the vibration motor 100 vibrates.
  • the moving direction of the permanent magnet is switched by a leaf spring. At that time, the permanent magnet is first rotated from the stationary state by the torque applied by the leaf spring.
  • FIG. 1 is a top view of the vibration motor 100 according to the first embodiment.
  • FIG. 1 shows a state where the cover 70 is removed.
  • 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
  • the vibration motor 100 includes a laminated substrate 10 having a first planar coil 12a and a second planar coil 12b, which are collectively referred to as a coil 12, a permanent magnet 20 constituting a movable portion, a guide frame 30, and a first plate.
  • a spring 42 and a second plate spring 44 and a cover 70 are provided.
  • the surface on which the permanent magnet 20 is mounted is referred to as the upper surface
  • the opposite surface is referred to as the lower surface.
  • the laminated substrate 10 is a substrate obtained by laminating the first insulating resin layer 52, the wiring layer 54 on which the coil 12 is formed, and the second insulating resin layer 56 in this order from the upper surface side.
  • the first insulating resin layer 52 and the second insulating resin layer 56 are insulating layers formed of a resist material or the like.
  • the wiring layer 54 includes a first planar coil 12a and a second planar coil 12b.
  • the first insulating resin layer 52 and the second insulating resin layer 56 insulate the first planar coil 12a and the second planar coil 12b included in the wiring layer 54 from the outside.
  • the first planar coil 12 a and the second planar coil 12 b are both flat spiral coils, and are arranged so that the surfaces of the coils are parallel to the upper surface 10 a of the multilayer substrate 10.
  • the term “parallel” includes not only the state of being parallel to each other but also the state of being deviated from the state of being parallel to such an extent that the permanent magnet 20 does not hinder the movement.
  • the first planar coil 12 a and the second planar coil 12 b are arranged apart from each other along the moving direction of the permanent magnet 20.
  • One end of the first planar coil 12 a that contacts the center of the spiral is connected to the first connection wiring 62, and one end that contacts the outside of the spiral is connected to the second connection wiring 64.
  • One end of the second planar coil 12 b that contacts the center of the spiral is connected to the fourth connection wiring 68, and one end that contacts the outside of the spiral is connected to the third connection wiring 66.
  • the first connection wiring 62 and the fourth connection wiring 68 are connected to the drive circuit of the vibration motor 100 by appropriate connection means. Both the second connection wiring 64 and the third connection wiring 66 are connected to the input end 16.
  • the direction of the spiral winding of the first planar coil 12a is different from the direction of the spiral winding of the second planar coil 12b.
  • the direction of the magnetic flux generated in each coil 12 is reversed when the polarity of the drive current is reversed.
  • the direction of the magnetic flux generated by each coil 12 also varies with time in accordance with the temporal variation of the polarity of the drive current.
  • the permanent magnet 20 is formed in a thin plate shape having a thickness of 1.4 mm made of a ferromagnetic material such as ferrite or neodymium.
  • the permanent magnet 20 has, as side surfaces, a flat first side surface 20a facing the first plate spring 42 and a flat second side surface 20b parallel to the first side surface 20a and facing the second plate spring 44.
  • the permanent magnet 20 has, as side surfaces, a convex first curved surface 20c and a first curved surface 20c between the first side surface 20a and the second side surface 20b along the arrangement direction of the coils 12 (the direction of arrow A1 or arrow A2). It has two curved surfaces 20d.
  • the first curved surface 20c is located on the opposite side of the second curved surface 20d with the center of gravity of the permanent magnet 20 in between.
  • a permanent magnet 20 is easily formed by cutting off two parts from a disc along two mutually parallel strings.
  • the diameter of the first curved surface 20c and the second curved surface 20d is 10 mm, and the first side surface is formed. It is formed so that the width between 20a and the second side surface 20b is 8 mm.
  • the permanent magnet 20 is magnetized in the thickness direction, and the magnetic pole surface 20N facing the upper surface 10a of the laminated substrate 10 has an N pole, and the magnetic pole surface 20S opposite to the magnetic pole surface 20N has an S pole. Then, the permanent magnet 20 moves on the upper surface 10a side of the laminated substrate 10 along the arrangement direction of the coils 12 (the direction of the arrow A1 or the arrow A2) by switching the polarity of the drive current flowing through the coil 12.
  • the guide frame 30 is provided on the upper surface 10 a of the multilayer substrate 10 so as to surround the array of the coils 12 and the permanent magnet 20.
  • the guide frame 30 is a rectangular frame having a certain width, and is formed of a nonmagnetic material such as aluminum or plastic.
  • the length of the inner peripheral surface 30a of the guide frame 30 in the short direction is 10.5 mm, and is formed to be slightly larger than the permanent magnet 20. Further, the length of the inner peripheral surface 30a in the longitudinal direction is 13.5 mm, and is formed so as to give a margin in the distance between the permanent magnet 20 and the inner peripheral surface 30a.
  • a first leaf spring 42 is provided on one short side of the guide frame 30 that is one end of the arrangement of the coils 12, and a second leaf spring 44 is provided on the other short side that is the other end of the arrangement of the coils 12.
  • Each leaf spring is a spring having a thickness of 350 ⁇ m, a length of 10 mm, and a width of 1.2 mm made of a nonmagnetic material such as PET (PolyEthylene Terephthalate).
  • One end of the first leaf spring 42 is embedded in the guide frame 30 from the first corner P1 of the inner peripheral surface 30a of the guide frame 30.
  • One end of the second leaf spring 44 is embedded in the guide frame 30 from a second corner P2 that is symmetrical to the first corner P1 with respect to the center of the inner peripheral surface 30a.
  • each leaf spring can be bent and deformed with the first corner P1 or the second corner P2 as a supporting point, and has a function of biasing the permanent magnets 20 toward the other leaf spring. .
  • Each leaf spring holds the permanent magnet 20 at a substantially central portion in the longitudinal direction of the guide frame 30 in a stationary state (a state in which no current flows through the coil 12). Then, when the permanent magnet 20 reciprocates on the upper surface 10 a of the multilayer substrate 10, the first leaf spring 42 and the second leaf spring 44 are alternately pressed by the permanent magnet 20. As a result, pressure is transmitted from these leaf springs to the guide frame 30. As a result, the guide frame 30 and the entire vibration motor 100 including the guide frame 30 vibrate.
  • the other leaf spring is in contact with the permanent magnet 20.
  • the first leaf spring 42 and the second leaf spring 44 move while maintaining the state in contact with the side surface of the permanent magnet 20 through the reciprocating movement of the permanent magnet 20.
  • the position where the first leaf spring 42 and the first side surface 20a are in contact with each other in the direction parallel to the upper surface 10a of the multilayer substrate 10 and along the first side surface 20a is the second leaf spring. It is designed to be different from the position where 44 and the second side surface 20b come into contact. Thereby, although the details will be described later, when the permanent magnet 20 switches its moving direction, rotation around the center of gravity occurs.
  • a cover 70 is bonded to the upper surface 30b of the guide frame 30 to prevent the permanent magnet 20 from popping out.
  • the operation of the vibration motor 100 configured as described above will be described.
  • the vibration motor 100 When the vibration motor 100 is stationary, no driving current flows through the first planar coil 12a and the second planar coil 12b, and the permanent magnet 20 sandwiched between the first leaf spring 42 and the second leaf spring 44 is
  • the guide frame 30 is stationary at a substantially central portion in the longitudinal direction.
  • a drive current (AC current) whose polarity is inverted at a predetermined frequency is supplied from the input end 16.
  • AC current a drive current whose polarity is inverted at a predetermined frequency
  • the wiring on the center side of the first planar coil 12a and the second planar coil 12b (the wiring along the short direction among the wirings indicated by broken lines in FIG. 1) is from left to right in FIG. A drive current flows toward.
  • the permanent magnet 20 When the direction of the drive current is reversed, the drive current flows from the right to the left in FIG. 1 through the wiring on the center side of the first planar coil 12a and the second planar coil 12b. Therefore, the permanent magnet 20 is subjected to a force for moving it in the direction of the arrow A2 by the same argument as above. In this way, the permanent magnet 20 reciprocates around it, for example, with respect to the laminated substrate 10 and the guide frame 30 at substantially the same frequency as the reversal of the drive current. Since the mass of the permanent magnet 20 is not negligible with respect to the mass around it, the circumference of the permanent magnet 20 vibrates in accordance with the reciprocating movement of the permanent magnet 20.
  • FIGS. 3A to 3D are conceptual diagrams showing the state of reciprocation including rotation around the center of gravity of the permanent magnet 20.
  • the permanent magnet 20 reciprocates as shown in FIGS. 3 (a), 3 (b), 3 (c), and 3 (d) and back to FIG. 3 (a).
  • the cover 70 is shown in a removed state.
  • FIG. 3A is a schematic top view of the vibration motor 100 when the permanent magnet 20 approaches the first leaf spring 42 and switches its moving direction.
  • the first leaf spring 42 is in contact with the entire surface of the first side surface 20 a of the permanent magnet 20 and biases the permanent magnet 20 toward the second leaf spring 44.
  • the second leaf spring 44 contacts the first edge P3 shared by the second side surface 20b of the permanent magnet 20 and the first curved surface 20c.
  • the first edge P3 is at a position shifted from the movement line of the center of gravity G of the permanent magnet 20.
  • the first edge P3 serves as an action point (fulcrum), and a force in a direction different from the direction from the first edge P3 toward the center of gravity G of the permanent magnet 20 is applied to the permanent magnet 20.
  • FIG. 3B is a schematic top view of the vibration motor 100 when the permanent magnet 20 moves toward the second leaf spring 44 (in the direction of arrow A2) and approaches the center of the guide frame 30 in the longitudinal direction.
  • the first leaf spring 42 contacts the entire surface of the first side surface 20a of the permanent magnet 20 and biases the permanent magnet 20 toward the second leaf spring 44 side.
  • the second leaf spring 44 is in contact with the entire surface of the second side surface 20b of the permanent magnet 20 and applies a force in a direction to push the permanent magnet 20 back to the first leaf spring 42 side.
  • FIG. 3 (c) is a schematic top view of the vibration motor 100 when the permanent magnet 20 approaches the second leaf spring 44 side and switches its moving direction. Since the operation at this time is the same as the operation described with reference to FIG.
  • FIG. 3D shows a schematic upper surface of the vibration motor 100 when the permanent magnet 20 moves toward the first leaf spring 42 (in the direction of arrow A1) and approaches the longitudinal center of the guide frame 30.
  • FIG. The operation at this time is the same as the operation described with reference to FIG.
  • each leaf spring is not in contact with the entire surface of the corresponding side surface of the permanent magnet 20 due to warpage or deflection of each leaf spring. Even in this case, it will be understood by those skilled in the art that the vibration motor 100 operates in the same manner as the operation here.
  • the permanent magnet 20 is configured to move on the upper surface 10a side of the multilayer substrate 10 along the arrangement direction of the coils 12 (the direction of the arrow A1 or the arrow A2). Therefore, it is not necessary to provide a space for moving the permanent magnet 20 in the direction perpendicular to the upper surface 10a of the multilayer substrate 10 as compared with the conventional vibration motor of only the vertical vibration type (vibration in the direction perpendicular to the substrate surface).
  • the degree of freedom in design for reducing the thickness in that direction can be ensured. As a result, a vibration motor that can be reduced in thickness can be provided.
  • a flat coil 12 is used, and the surface of the coil 12 is arranged so as to be parallel to the upper surface 10 a of the multilayer substrate 10. Therefore, since the laminated substrate 10 can be made thin, it contributes to the thinning of the vibration motor 100 as a whole.
  • the “vibration amount” is the acceleration of an object (for example, a mobile phone) to which a vibration motor is attached, or a value obtained by dividing the acceleration by the gravitational acceleration (9.8 m / s 2 ).
  • the permanent magnet 20 has a convex first curved surface 20c and a second curved surface 20d between the first side surface 20a and the second side surface 20b as side surfaces. Therefore, even when the permanent magnet 20 is in contact with the guide frame 30 in a state where the permanent magnet 20 is tilted to the left and right with respect to the moving direction in response to an external force, the corner portions of the permanent magnet 20 are in contact with each other as in the conventional case. Thus, the permanent magnet 20 can be moved smoothly and stably. This is because, even if the permanent magnet 20 contacts in a state of being tilted to the left and right, there is no corner portion that hits as in the conventional case. As a result, it is not necessary to increase the thrust of the permanent magnet 20 by further applying a current for canceling the force that hinders the movement of the permanent magnet 20 to the coil, and the power consumption can be suppressed.
  • the permanent magnet 20 has, as side surfaces, a flat first side surface 20a that faces the first plate spring 42 and a flat second side surface 20b that is parallel to the first side surface 20a and faces the second plate spring 44. And having. Therefore, the amount that can be displaced in the moving direction, that is, the moving amount is increased as compared with the case where the permanent magnet is a circle having the same diameter as that of the permanent magnet 20 according to the first embodiment. Thereby, the vibration amount of the permanent magnet 20 increases.
  • the first side surface 20a and the second side surface 20b are formed to be parallel to each other. Therefore, the symmetry of the force applied to the permanent magnet 20 from the first plate spring 42 and the second plate spring 44 is increased, and a smoother reciprocation of the permanent magnet 20 can be realized.
  • the first planar coil 12a and the second planar coil 12b are configured so that magnetic fluxes in opposite directions are generated in the first planar coil. Attraction and repulsion can be easily applied between 12a and the permanent magnet 20, and between the second planar coil 12b and the permanent magnet 20.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a portable terminal device 400 according to the second embodiment.
  • the mobile terminal device 400 is a mobile terminal such as a mobile phone or a PDA, and has a communication function.
  • the mobile terminal device 400 includes a display unit 402, a power switch 404, an antenna 406, a housing 408, and the vibration motor 100 according to the first embodiment. Other configurations are omitted for the sake of clarity.
  • the user turns on the power switch 404 to turn on the mobile terminal device 400.
  • the display unit 402 includes a liquid crystal panel and a touch panel that covers the liquid crystal panel.
  • the user operates the portable terminal device 400 by pressing down a part of the touch panel corresponding to a button or the like displayed on the liquid crystal panel.
  • the antenna 406 transmits and receives radio signals.
  • the vibration motor 100 is fixed to the housing 408 by appropriate fixing means.
  • FIG. 5 is a functional block diagram of the mobile terminal device 400.
  • the mobile terminal device 400 includes a drive control unit 412 and a communication unit 414.
  • the drive control unit 412 supplies a drive current to the vibration motor 100 via the input end 16, the first connection wiring 62, and the fourth connection wiring 68 to control the vibration. Further, the drive control unit 412 changes the polarity of the drive current to be supplied at a predetermined frequency.
  • the drive control unit 412 causes the vibration motor 100 to vibrate when it is detected that the touch panel portion is pressed or when the manner mode is set when a call or e-mail is received.
  • the communication unit 414 transmits and receives radio signals via the antenna 406 and controls communication with the outside.
  • the communication unit 414 detects a radio signal notifying the arrival of an e-mail to the mobile terminal device 400 via the antenna 406, the communication unit 414 transmits a signal for starting vibration to the drive control unit 412.
  • the drive control unit 412 receives the signal, the drive control unit 412 supplies the vibration motor 100 with a drive current whose polarity is inverted at a predetermined frequency.
  • the vibration motor 100 vibrates as described in the operation section of the first embodiment. Since the vibration motor 100 is fixed to the housing 408, the vibration of the vibration motor 100 is transmitted to the housing 408, and the housing 408 vibrates.
  • the mobile terminal device 400 According to the mobile terminal device 400 according to the second embodiment, the following effects can be obtained.
  • the present invention is not limited to this.
  • a structure similar to that of the laminated substrate 10 may be employed instead of the cover 70.
  • the vibration motor 100 may have a configuration in which a magnetic fluid is disposed so as to cover the entire surface of the permanent magnet 20.
  • a magnetic fluid is formed, for example, by mixing a ferromagnetic material such as nanometer-order iron and a solvent such as oil.
  • the surface of the first insulating resin layer 52 and / or the cover 70 on the permanent magnet 20 side is formed of a material having a friction coefficient lower than the friction coefficient of the surface of the first insulating resin layer 52 (or the cover 70).
  • a low friction layer may be provided. In this case, since the frictional resistance with the permanent magnet 20 can be reduced, the efficiency of converting electric energy into vibration increases. Furthermore, the response time of the permanent magnet 20 can be shortened.
  • diamond-like carbon (DLC) and fullerene which are carbon-based materials such as polytetrafluoroethylene (PTFE) and tetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymers which are fluororesins (PFA), tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer (FEP), polyolefin resin such as polyethylene, polypropylene, and titanium materials such as titanium, titanium nitride, and titanium oxide.
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • PFA fluororesins
  • FEP tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer
  • polyolefin resin such as polyethylene, polypropylene
  • titanium materials such as titanium, titanium nitride, and titanium oxide.
  • the guide frame 30 is provided on the upper surface 10a of the multilayer substrate 10 so as to surround the permanent magnet 20 and the coil 12 has been described.
  • the present invention is not limited to this.
  • the guide frame 30 does not have to surround the entire coil 12, and the coil 12 may be provided under the guide frame 30.
  • the present invention is not limited to this.
  • a laminated coil having two layers or three or more layers may be adopted as the coil 12.
  • the driving force of the permanent magnet 20 is improved.
  • the response time of the permanent magnet 20 can be shortened.
  • the present invention is not limited to this, and any member having a magnetic pole may be used. It goes without saying that the same argument holds even when the magnetic poles of the permanent magnet 20 are reversed. Moreover, although the permanent magnet 20 demonstrated the case where it had one pole pair which consists of a pair of N pole and S pole, it is not restricted to this, You may have how many pole pairs.
  • the laminated substrate 10 includes two coils
  • the number of coils is not limited thereto.
  • the present invention is not limited to this, and the upper surface of the vibration motor 100 may face the ground surface.
  • the permanent magnet 20 reciprocates in contact with the inner surface of the cover 70.
  • both the second connection wiring 64 and the third connection wiring 66 are connected to the input end 16, and the direction of the spiral of the first planar coil 12a and the second planar coil 12b
  • the present invention is not limited to this.
  • one end of the first planar coil 12a and one end of the second planar coil 12b are connected and common to both coils.
  • both coils may be configured to generate magnetic fluxes in different directions. In this case, both coils can be driven simultaneously by one drive current source, which contributes to simplification of the drive circuit.
  • the present invention is not limited to this.
  • the first planar coil 12a and the second planar coil 12b may be provided with different drive current sources.
  • both coils are embedded in the laminated substrate, it is difficult to change the pitch of the spirals.
  • the difference in characteristics, for example, inductance can be easily compensated so that the performance of the vibration motor is improved.
  • vibration motor 10 laminated substrate, 12 coil, 12a first planar coil, 12b second planar coil, 20 permanent magnet, 30 guide frame, 42 first leaf spring, 44 second leaf spring, 70 cover, 400 Mobile terminal device.
  • a vibration motor that can be reduced in thickness can be provided.

Landscapes

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  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Abstract

　振動モータ１００は、積層基板１０と、永久磁石２０と、ガイド枠３０と、第１の板バネ４２および第２の板バネ４４と、を備える。積層基板１０には第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂが形成される。永久磁石２０は、コイル１２と対向する磁極面を有し、積層基板１０の上面１０ａ側をコイル１２の配列方向に沿って移動する。第１の板バネ４２および第２の板バネ４４はコイル１２の配列の両端部に設けられ、永久磁石２０を移動方向に付勢する。永久磁石２０は第１の板バネ４２に接する平坦な第１側面２０ａと、第２の板バネ４４に接する平坦な第２側面２０ｂとを有する。永久磁石２０の移動方向が矢印Ａ１の向きから矢印Ａ２の向きに切り替わる際、第２の板バネ４４は、永久磁石２０の重心の移動線上からずれた位置で永久磁石２０の第２側面２０ｂと接触している。

Description

振動モータおよびそれを用いた携帯端末装置
　本発明は、振動を発生させる振動モータに関し、特に振動モータおよびそれを用いた携帯端末装置に関する。
　筐体の振動によって、ユーザに電話やＥメールの着信を知らせる機能を有する携帯電話やＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ　Ｄｉｇｉｔａｌ　Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）などの携帯端末が知られている。そのような携帯端末には、振動を発生させる小型のモータが組み込まれることがある。こうしたモータとしては、従来、コイルからの電磁力により振動する可動子を備えたモータとしてのアクチュエータが知られている（例えば、下記の特許文献１参照）。
　特許文献１に開示されたモータは、円板状のマグネットからなる可動子と、可動子を取り囲むように配置されたコイルとを備え、コイルからの電磁力により可動子が上下方向（可動子の厚み方向）に直線移動する。
特開２００６－６８６８８号公報
　近年携帯端末の薄型化が進み、そのためそれに組み込まれるモータも薄くする必要がある。上述のモータでは、円板状の可動子が上下方向に移動するように構成されているので、その上下方向に可動子の移動空間を設ける必要があり、構造的にモータの薄型化を図ることが困難であるという問題点がある。
　本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は薄型化を図ることが可能な振動モータの提供にある。
　本発明のある態様は、振動モータに関する。この振動モータは、互いに離間して配列されたコイルを有する基板と、基板の一方の面側において、コイルと対向する磁極面を有し、コイルの配列方向に沿ってコイル上を移動する可動部と、コイルの配列の両端部に設けられ、可動部を移動方向に付勢する弾性部材と、を備える。可動部は、両端部の弾性部材のそれぞれに対向する平坦側面を有する。可動部の移動方向が切り替わる際、可動部の移動方向側の弾性部材は、可動部の重心の移動線上からずれた位置で可動部の平坦側面と接触している。
　本発明の別の態様は、携帯端末装置である。この携帯端末装置は、上述の振動モータを備える。
　なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本発明の構成要素や表現を方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
　本発明によれば、薄型化を図ることが可能な振動モータを提供できる。
第１の実施の形態に係る振動モータの上面図である。 図１のＡ－Ａ線断面図である。 図３（ａ）～（ｄ）は、永久磁石の往復移動の様子を示す概念図である。 第２の実施の形態に係る携帯端末装置を示す斜視図である。 図４の携帯端末装置の機能ブロック図である。
　以下各図面に示される同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において本発明に係る各実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。
　（第１の実施の形態）
　第１の実施の形態に係る振動モータ１００は、携帯電話などの携帯端末装置における振動発生用のモータに好適に用いられるリニア駆動型振動モータ（リニアモータ）である。振動モータ１００では、可動部を構成する永久磁石の磁界中でコイルに駆動電流が流れることにより、コイルにはローレンツ力が、永久磁石にはその反作用力が働く。永久磁石は、この反作用力によって往復移動を行う。これにより、振動モータ１００が振動する。さらに往復移動中、永久磁石の移動方向は板バネによって切り替えられる。その際、永久磁石には、板バネによって加えられるトルクにより、静止状態からまず回転が発生する。
　図１は、第１の実施の形態に係る振動モータ１００の上面図である。図１ではカバー７０を取り外した状態を示す。図２は、図１のＡ－Ａ線断面図である。以下では、図１および図２を使用しながら振動モータ１００の構成を説明する。振動モータ１００は、コイル１２と総称される第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂを有する積層基板１０と、可動部を構成する永久磁石２０と、ガイド枠３０と、第１の板バネ４２および第２の板バネ４４と、カバー７０と、を備える。以下、積層基板１０の面のうち永久磁石２０が搭載されている面を上面とし、その反対側の面を下面とする。また、説明の便宜上、積層基板１０の下面が地表を向いており、重力は下方向に働く場合について考える。
　積層基板１０は、第１絶縁樹脂層５２と、コイル１２が形成される配線層５４と、第２絶縁樹脂層５６とを上面側からこの順番に積層してなる基板である。第１絶縁樹脂層５２および第２絶縁樹脂層５６は、レジスト材料等によって形成される絶縁層である。配線層５４は、第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂを含む。第１絶縁樹脂層５２および第２絶縁樹脂層５６は、配線層５４に含まれる第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂを外部から絶縁する。
　第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂはどちらも平らな渦巻状のコイルであり、そのコイルの面が積層基板１０の上面１０ａに対して平行となるように配列される。ここで、平行とは、互いに平行な状態だけでなく、永久磁石２０が移動する際の妨げとならない程度に平行な状態からずれた状態を含んでいる。また、第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂは、永久磁石２０の移動方向に沿って互いに離間して配列される。第１の平面コイル１２ａは、その渦巻の中心に当たる一端が第１接続配線６２と接続され、渦巻の外側に当たる一端が第２接続配線６４と接続される。第２の平面コイル１２ｂは、その渦巻の中心に当たる一端が第４接続配線６８と接続され、渦巻の外側に当たる一端が第３接続配線６６と接続される。
　第１接続配線６２および第４接続配線６８は振動モータ１００の駆動回路に適切な結線手段により接続される。第２接続配線６４と第３接続配線６６は共に入力端１６に接続される。第１の平面コイル１２ａの渦巻の巻回の方向と、第２の平面コイル１２ｂの渦巻の巻回の方向は異なるように形成される。このようなコイル１２の構成では、入力端１６から駆動電流を流すと、第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂには互いに逆方向の磁束が発生する。そして、それぞれのコイル１２に発生する磁束の向きは、駆動電流の極性が反転すると反転する。その結果、駆動電流の極性の時間的変動に応じて、それぞれのコイル１２によって発生される磁束の向きも時間的に変動する。
　永久磁石２０は、フェライトやネオジウムなどの強磁性材料からなる厚さ１．４ｍｍの薄板形状に形成されている。永久磁石２０は、側面として、第１の板バネ４２に対向する平坦な第１側面２０ａと、第１側面２０ａと平行で第２の板バネ４４に対向する平坦な第２側面２０ｂと、を有する。また、永久磁石２０は、側面として、第１側面２０ａと第２側面２０ｂとの間に、コイル１２の配列方向（矢印Ａ１または矢印Ａ２の方向）に沿った凸状の第１曲面２０ｃおよび第２曲面２０ｄを有する。第１曲面２０ｃは永久磁石２０の重心を挟んで第２曲面２０ｄと反対側に位置する。こうした永久磁石２０は、円板から２つの互いに平行な弦に沿って２つの部分を切り落とすことで容易に形成され、ここでは、第１曲面２０ｃおよび第２曲面２０ｄに関する直径が１０ｍｍ、第１側面２０ａと第２側面２０ｂとの間の幅が８ｍｍとなるように形成される。
　永久磁石２０は、その厚み方向に着磁されており、積層基板１０の上面１０ａと対向した磁極面２０ＮがＮ極、磁極面２０Ｎと反対側の磁極面２０ＳがＳ極となっている。そして、永久磁石２０は、コイル１２に流れる駆動電流の極性が切り替わることによって積層基板１０の上面１０ａ側をコイル１２の配列方向（矢印Ａ１または矢印Ａ２の方向）に沿って移動する。
　ガイド枠３０は、コイル１２の配列および永久磁石２０を囲むように積層基板１０の上面１０ａ上に設けられる。ガイド枠３０は、一定の幅を持つ長方形の枠であり、アルミニウムやプラスチックなどの非磁性素材によって形成される。ガイド枠３０の内周面３０ａの短手方向の長さは１０．５ｍｍであり、永久磁石２０よりも僅かに大きくなるように形成される。また、その内周面３０ａの長手方向の長さは１３．５ｍｍであり、永久磁石２０と内周面３０ａとの間の距離に余裕を持たせるように形成される。
　コイル１２の配列の一端であるガイド枠３０の一方の短辺側に第１の板バネ４２が、コイル１２の配列の他端である他方の短辺側に第２の板バネ４４が設けられる。各板バネは、ＰＥＴ（ＰｏｌｙＥｔｈｙｌｅｎｅ　Ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）などの非磁性材料からなる厚さ３５０μｍ、長さ１０ｍｍ、幅１．２ｍｍのバネである。第１の板バネ４２の一端は、ガイド枠３０の内周面３０ａの第１コーナーＰ１からガイド枠３０の内部へ埋設される。第２の板バネ４４の一端は、内周面３０ａの中心に対して第１コーナーＰ１と対称な第２コーナーＰ２からガイド枠３０の内部へ埋設される。
　第１の板バネ４２の他端側は、永久磁石２０の第１側面２０ａと接触するとともに、第２の板バネ４４の他端側は、永久磁石２０の第２側面２０ｂと接触している。このようにすることで、各板バネは、それぞれ、第１コーナーＰ１または第２コーナーＰ２を支持点として撓み変形可能になり、永久磁石２０を互いに他方の板バネ側に付勢する機能を有する。
　各板バネは、静止状態（コイル１２に電流を流していない状態）においては永久磁石２０をガイド枠３０の長手方向略中央部に保持する。そして、積層基板１０の上面１０ａ上において永久磁石２０が往復移動する際、第１の板バネ４２および第２の板バネ４４は交互に永久磁石２０によって押される。これによりこれらの板バネからガイド枠３０に圧力が伝達される。その結果、ガイド枠３０およびそれを含む振動モータ１００全体が振動する。
　また、永久磁石２０が第１の板バネ４２または第２の板バネ４４のいずれか一方の側に寄り切ったとき、つまりその移動方向を切り替えるときでも、他方の板バネが永久磁石２０に接するように設計される。つまり永久磁石２０の往復移動を通じて、第１の板バネ４２および第２の板バネ４４が永久磁石２０の側面と接触した状態を維持しながら移動する。さらに、積層基板１０の上面１０ａと平行な方向であって、かつ第１側面２０ａに沿った方向において、第１の板バネ４２と第１側面２０ａとが接触する位置は、第２の板バネ４４と第２側面２０ｂとが接触する位置と異なるように設計される。これにより、詳細は後述するが、永久磁石２０がその移動方向を切り替える際には、その重心の周りの回転が発生する。
　ガイド枠３０の上面３０ｂにはカバー７０が接着され、永久磁石２０の飛び出しを防止する。
　以上のように構成された振動モータ１００の動作について説明する。振動モータ１００の静止状態においては第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂには駆動電流は流れず、第１の板バネ４２および第２の板バネ４４によって挟持された永久磁石２０は、ガイド枠３０の長手方向略中央部に静止する。
　振動モータ１００を駆動する際は、入力端１６から、所定の周波数でその極性が反転する駆動電流（交流電流）が供給される。まず入力端１６から第１接続配線６２および第４接続配線６８に向けて駆動電流が流れる場合について考える。この場合、第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂの中央側の配線（図１において破線で示される配線のうち短手方向に沿った配線）には、図１中で左から右に向かって駆動電流が流れる。　
　永久磁石２０のＮ極２０Ｎが平面コイルと対向しているので、永久磁石２０が発生する磁界は、その永久磁石２０の真下においては、Ｎ極２０Ｎから積層基板１０の下面に向けて積層基板１０の上面１０ａをほぼ垂直に貫く。したがって、第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂの中央側の配線には、矢印Ａ２の向きにローレンツ力が働き、そのローレンツ力の反作用力（矢印Ａ１の向き）が永久磁石２０に働く。第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂは積層基板１０に埋め込まれて固定されているので、結果として永久磁石２０には矢印Ａ１の向きへそれを移動せしめる力が働く。
　駆動電流の向きが反転した場合は、第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂの中央側の配線には、図１中で右から左に向かって駆動電流が流れる。したがって上と同様の議論により永久磁石２０には矢印Ａ２の向きへそれを移動せしめる力が働く。このようにして、駆動電流の反転とほぼ同じ周波数で永久磁石２０がその周り、例えば積層基板１０およびガイド枠３０に対して往復移動する。永久磁石２０の質量はその周りの質量に対して無視できないので、永久磁石２０の往復移動に合わせて、その周りも振動する。
　永久磁石２０は、その移動方向が切り替わる際、永久磁石２０の重心の周りで回転する。図３（ａ）～（ｄ）は、永久磁石２０の重心の周りでの回転を含む往復移動の様子を示す概念図である。永久磁石２０は、図３（ａ）、図３（ｂ）、図３（ｃ）、図３（ｄ）と進んで再び図３（ａ）に戻るような往復移動を行う。なお、図３ではカバー７０を取り外した状態で示している。
　図３（ａ）は、永久磁石２０が第１の板バネ４２側に寄り切ってその移動方向を切り替える際の振動モータ１００の概略的な上面図である。第１の板バネ４２は、永久磁石２０の第１側面２０ａの全面と接触し、永久磁石２０を第２の板バネ４４側へ付勢する。第２の板バネ４４は、永久磁石２０の第２側面２０ｂと第１曲面２０ｃとが共有する第１縁部Ｐ３と接触する。第１縁部Ｐ３は、永久磁石２０の重心Ｇの移動線上からずれた位置にある。この第１縁部Ｐ３が作用点（支点）となり、第１縁部Ｐ３から永久磁石２０の重心Ｇへ向かう方向とは異なる方向の力を永久磁石２０に加える。この結果、永久磁石２０には、永久磁石２０をその重心Ｇの周りで回転させようとするトルクがかかる。このトルクによって永久磁石２０は、第１の板バネ４２側に寄り切って一旦止まった後第２の板バネ４４側に移動を始める前に、まず重心Ｇの周りで少量回転する。
　詳細は後述するが、永久磁石２０全体を回転させる場合には、永久磁石２０全体を直線移動（平行移動）させる場合に比べ、静止摩擦力が働く期間が短くなり、より小さな力（エネルギー）で永久磁石２０を移動させることができるようになる。
　図３（ｂ）は、永久磁石２０が第２の板バネ４４へ向けて（矢印Ａ２の方向）移動し、ガイド枠３０の長手方向中央付近に差し掛かった際の振動モータ１００の概略的な上面図である。第１の板バネ４２は、永久磁石２０の第１側面２０ａの全面と接触し、永久磁石２０を第２の板バネ４４側へ付勢する。第２の板バネ４４は、永久磁石２０の第２側面２０ｂの全面と接触し、永久磁石２０を第１の板バネ４２側へ押し返す向きの力を加える。
　図３（ｃ）は、永久磁石２０が第２の板バネ４４側に寄り切ってその移動方向を切り替える際の振動モータ１００の概略的な上面図である。この時の動作は、図３（ａ）で説明した動作と同様であるので説明を省略する。
　図３（ｄ）は、永久磁石２０が第１の板バネ４２へ向けて（矢印Ａ１の方向）移動し、ガイド枠３０の長手方向中央付近に差し掛かった際の振動モータ１００の概略的な上面図である。この時の動作は、図３（ｂ）で説明した動作と同様であるので説明を省略する。
　なお、上述の説明において各板バネが永久磁石２０の対応する側面の全面と接触するとしている箇所において、各板バネの反りや撓み等によっては全面と接触しない場合も考えられるが、そのような場合でも振動モータ１００はここでの動作と同様の動作を行うことは当業者には理解される。
　第１の実施の形態に係る振動モータ１００では、例えば以下の効果を得ることができる。
　（１）永久磁石２０はコイル１２の配列方向（矢印Ａ１または矢印Ａ２の方向）に沿って積層基板１０の上面１０ａ側を移動する構成とされる。したがって、従来の縦振動型（基板面と垂直な方向への振動）のみの振動モータに比べて、積層基板１０の上面１０ａと垂直な方向への永久磁石２０の移動空間を設ける必要がないので、その方向の厚みを小さくするための設計の自由度を確保することができる。その結果、薄型化を図ることが可能な振動モータを提供することができる。
　（２）平らなコイル１２が用いられ、そのコイル１２の面が積層基板１０の上面１０ａに対して平行となるように配置される。したがって、積層基板１０を薄くすることができるので振動モータ１００全体の薄型化に貢献する。
　（３）永久磁石２０の往復移動において、その移動方向が切り替わる際には、永久磁石２０と積層基板１０の上面１０ａとの間で静止摩擦力が生じる。ここで永久磁石２０が移動方向を切り替えて動き出すためには、積層基板１０の上面１０ａとの間の静止摩擦力を越える力が加えられなければならない。そこで、第１の実施の形態に係る振動モータ１００によれば、永久磁石２０の移動方向が切り替わる際、永久磁石２０の移動方向側の板バネは、永久磁石２０の重心Ｇの移動線上からずれた位置で永久磁石２０の平坦な側面と接触している。したがって、永久磁石２０の往復移動においてその移動方向が切り替わる際には、永久磁石２０はまずその重心Ｇの周りでの回転を始める。最初に回転を起こすために越えるべき静止摩擦力は、最初に平行移動を起こすために越えるべき静止摩擦力よりも小さいので、よりスムーズな永久磁石２０の往復移動が実現できる。また、摩擦抵抗が減少することにより、振動モータ１００の消費電力を低減できる。さらには、永久磁石２０の応答時間（永久磁石２０が所定の振動量に達するまでの時間）を短縮することもできる。ここで「振動量」とは、振動モータが取り付けられた物体（たとえば、携帯電話）の加速度、または加速度を重力加速度（９．８ｍ／ｓ２）で割った値である。
　（４）永久磁石２０は、側面として、第１側面２０ａと第２側面２０ｂとの間に、凸状の第１曲面２０ｃおよび第２曲面２０ｄを有する。したがって、外力を受けて永久磁石２０がその移動方向に対して左右に傾いた状態でガイド枠３０と接触する場合でも、従来のように永久磁石２０の角部分が接触して永久磁石２０の移動を阻害する力が働くことはなく、永久磁石２０をスムーズに安定して移動させることができる。これは、永久磁石２０が左右に傾いた状態で接触しても、従来のように突き当たる角部分がないためである。これにより、永久磁石２０の移動を阻害する力を打ち消す分の電流をコイルにさらに印加して永久磁石２０の推力を増加させる必要がなくなり、消費電力を抑制することができる。
　（５）永久磁石２０は、側面として、第１の板バネ４２に対向する平坦な第１側面２０ａと、第１側面２０ａと平行で第２の板バネ４４に対向する平坦な第２側面２０ｂと、を有する。したがって、永久磁石が第１の実施の形態に係る永久磁石２０と同程度の直径を有する円形である場合に比べて、その移動方向に変位できる量、すなわち移動量が増加する。これにより永久磁石２０の振動量が増加する。
　（６）永久磁石２０は、永久磁石２０の往復移動の際に、第１の板バネ４２および第２の板バネ４４が永久磁石２０の平坦な側面と接触した状態を維持しながら移動する。したがって、永久磁石２０と各板バネとが互いに離れて、再度接触することにより発生する騒音が確実に防止される。この結果、振動モータ１００の動作時の静音化を図ることができる。
　（７）第１側面２０ａと第２側面２０ｂは互いに平行となるように形成される。したがって、第１の板バネ４２および第２の板バネ４４から永久磁石２０に加えられる力の対称性は高くなり、よりスムーズな永久磁石２０の往復移動が実現できる。
　（８）コイル１２に電流が供給された際に、第１の平面コイル１２ａと第２の平面コイル１２ｂとでは互いに逆方向の磁束が生成されるように構成したことで、第１の平面コイル１２ａと永久磁石２０との間、および、第２の平面コイル１２ｂと永久磁石２０との間に、容易に引力および斥力を加えることができる。
　（９）ガイド枠３０は非磁性材料によって形成されるので、永久磁石２０とガイド枠３０との間に働く磁力は無視できるほど小さい。したがって、永久磁石２０の移動はよりスムーズとなる。
　（１０）第１の板バネ４２および第２の板バネ４４は非磁性材料によって形成されるので、永久磁石２０と第１および第２の板バネ４２、４４との間に働く磁力は無視できるほど小さい。したがって、永久磁石２０のよりスムーズな移動が実現される。
　（第２の実施の形態）
　図４は、第２の実施の形態に係る携帯端末装置４００を示す斜視図である。携帯端末装置４００は、携帯電話やＰＤＡなどの携帯端末であり、通信機能を有する。
　携帯端末装置４００は、表示部４０２と、電源スイッチ４０４と、アンテナ４０６と、筐体４０８と、第１の実施の形態に係る振動モータ１００と、を備える。これら以外の構成は、説明を明瞭にするために省略する。ユーザは電源スイッチ４０４をオンにして携帯端末装置４００に電源を入れる。表示部４０２は、液晶パネルと、その上を覆うタッチパネルと、を含む。ユーザは、その液晶パネルに表示されるボタン等に対応するタッチパネルの部分を押し下げることで携帯端末装置４００を操作する。アンテナ４０６は、無線信号を送受信する。振動モータ１００は適切な固定手段により筐体４０８に固定される。
　図５は、携帯端末装置４００の機能ブロック図である。携帯端末装置４００は、駆動制御部４１２および通信部４１４を備える。駆動制御部４１２は、入力端１６、第１接続配線６２および第４接続配線６８を介して振動モータ１００に駆動電流を供給してその振動を制御する。また、駆動制御部４１２は、供給する駆動電流の極性を所定の周波数で変える。そして、この駆動制御部４１２により、振動モータ１００は、タッチパネルの部分が押圧されたことを検知した場合や、電話やＥメールを着信した際にマナーモードに設定されている場合などに振動する。
　通信部４１４は、アンテナ４０６を介して無線信号を送受信し、外部との通信を制御する。
　以上のように構成された携帯端末装置４００の動作について説明する。通信部４１４がアンテナ４０６を通じて、携帯端末装置４００へのＥメールの着信を知らせる無線信号を検知すると、通信部４１４は駆動制御部４１２へ振動を開始せしめる信号を発信する。駆動制御部４１２はその信号を受信すると、振動モータ１００へ所定の周波数でその極性が反転する駆動電流を供給する。振動モータ１００は第１の実施の形態の動作の項で述べた通りに振動する。振動モータ１００は筐体４０８に固定されるので、振動モータ１００の振動は筐体４０８に伝わり、筐体４０８が振動する。
　第２の実施の形態に係る携帯端末装置４００によれば、以下の効果を得ることができる。
　（１１）薄型化が可能な振動モータ１００を振動源として搭載することで、振動モータ１００が薄型化される分、装置全体の薄型化を図ることが可能になる。
　（１２）消費電力が小さな振動モータ１００を振動源として搭載することで、装置全体の低消費電力化を図ることが可能になる。
　以上、実施の形態に係る振動モータおよび携帯端末装置の構成と動作について説明した。これらの実施の形態は例示であり、それらの各構成要素の組み合わせにいろいろな変形例が可能なこと、また、そうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
　第１の実施の形態では、永久磁石２０の一方の磁極面側に積層基板１０が存在し、他方の磁極面側にカバー７０が存在する場合について説明したが、これに限られない。たとえば、カバー７０の代わりに積層基板１０と同様の構造のものを採用してもよい。このように構成することで、永久磁石２０がその両磁極面側から駆動され、永久磁石２０の駆動力が向上する。その結果、永久磁石２０の応答時間を短縮することができる。
　第１の実施の形態による振動モータ１００では、永久磁石２０の表面全体を覆うように磁性流体を配置した構成としてもよい。この場合、磁性流体の潤滑作用によって、永久磁石２０と積層基板１０およびガイド枠３０との間の摩擦を低減することができるので、永久磁石２０をスムーズに移動させることができるとともに、摩擦抵抗による熱や音の発生を軽減することができる。なお、磁性流体は、たとえば、ナノメートルオーダーの鉄などの強磁性材料と、油などの溶媒とを混合することにより形成されている。
　第１絶縁樹脂層５２またはカバー７０もしくはその両方の永久磁石２０側の表面に、第１絶縁樹脂層５２（またはカバー７０）の表面が有する摩擦係数よりも低い摩擦係数を有する材料によって形成される低摩擦層が設けられてもよい。この場合、永久磁石２０との間の摩擦抵抗を軽減することができるので、電気エネルギーを振動へ変換する効率が上昇する。さらに、永久磁石２０の応答時間を短縮することもできる。上述の低摩擦層を構成する材料としては、炭素系材料であるダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）やフラーレンなど、フッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）など、ポリオレフィン樹脂であるポリエチレン、ポリプロピレンなど、チタン系材料であるチタン、窒化チタン、酸化チタンなど、が挙げられる。
　第１の実施の形態では、ガイド枠３０が永久磁石２０およびコイル１２を囲むように積層基板１０の上面１０ａ上に設けられる場合について説明したが、これに限られない。たとえば、ガイド枠３０がコイル１２全体を囲む必要はなく、ガイド枠３０の下にもコイル１２が設けられてもよい。
　第１の実施の形態では、積層基板１０の配線層５４として単層のコイル１２を採用する場合について説明したが、これに限られない。たとえば、コイル１２として２層あるいは３層以上の積層コイルを採用してもよい。この場合、コイル１２に発生する磁界を増強することができるので、永久磁石２０の駆動力が向上する。その結果、永久磁石２０の応答時間を短縮することができる。
　第１の実施の形態では、永久磁石２０を用いる場合について説明したが、これに限られず、磁極を有する部材であればよい。また、永久磁石２０の磁極を反転させた場合でも同様の議論が成立することは言うまでもない。また、永久磁石２０は、１対のＮ極およびＳ極からなる極対を１つ有する場合について説明したが、これに限られず、極対をいくつ有してもよい。
　第１の実施の形態では、積層基板１０がコイルを２つ含む場合について説明したが、コイルの数はこれに限られない。
　第１の実施の形態では、振動モータ１００の下面が地表を向いている場合について説明したが、これに限られず、振動モータ１００の上面が地表を向いていてもよい。この場合、永久磁石２０はカバー７０の内側の面に接して往復移動する。
　第１の実施の形態では、第２接続配線６４と第３接続配線６６は共に入力端１６に接続され、第１の平面コイル１２ａの渦巻の巻回の方向と、第２の平面コイル１２ｂの渦巻の巻回の方向が異なるように形成される場合について説明したが、これに限られず、例えば第１の平面コイル１２ａの一端と第２の平面コイル１２ｂの一端が接続され、両コイルに共通する駆動電流を流すと両コイルが互いに異なる方向の磁束を発生する構成とされればよい。この場合、１つの駆動電流源によって同時に両方のコイルを駆動できるので、駆動回路の簡素化に貢献する。
　第１の実施の形態では、１つの駆動電流源が第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂのどちらにも駆動電流を供給する場合について説明したが、これに限られない。たとえば、第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂはそれぞれ別の駆動電流源を備えてもよい。この場合、両コイルは積層基板内に埋設されてしまっているのでその渦巻のピッチなどを変えることが困難な状況において、それぞれのコイルに流す駆動電流の量などを調節することにより、両コイル間の特性、例えば、インダクタンス、の違いを、振動モータの性能が上がるように簡易に補償することができる。
　１００　振動モータ、　１０　積層基板、　１２　コイル、　１２ａ　第１の平面コイル、　１２ｂ　第２の平面コイル、　２０　永久磁石、　３０　ガイド枠、　４２　第１の板バネ、　４４　第２の板バネ、　７０　カバー、　４００　携帯端末装置。
　本発明によれば、薄型化を図ることが可能な振動モータを提供できる。

Claims (4)

  1. 　互いに離間して配列されたコイルを有する基板と、
    　前記基板の一方の面側において、前記コイルと対向する磁極面を有し、前記コイルの配列方向に沿って前記コイル上を移動する可動部と、
    　前記コイルの配列の両端部に設けられ、前記可動部を移動方向に付勢する弾性部材と、を備え、
    　前記可動部は、前記両端部の前記弾性部材のそれぞれに対向する平坦側面を有し、
    　前記可動部の移動方向が切り替わる際、前記可動部の移動方向側の前記弾性部材は、前記可動部の重心の移動線上からずれた位置で前記可動部の前記平坦側面と接触していることを特徴とする振動モータ。
  2. 　前記可動部は、前記平坦側面間に凸状の曲面を有することを特徴とする請求項１に記載の振動モータ。
  3. 　前記可動部は、前記可動部の往復移動の際に、前記弾性部材が前記可動部の前記平坦側面と接触した状態を維持しながら移動することを特徴とする請求項１に記載の振動モータ。
  4. 　請求項１に記載の振動モータと、
    　前記振動モータを駆動し振動を発生せしめる駆動制御部と、を備えることを特徴とする携帯端末装置。
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