WO2010029714A1

WO2010029714A1 - 振動モータおよびそれを用いた携帯端末装置

Info

Publication number: WO2010029714A1
Application number: PCT/JP2009/004380
Authority: WO
Inventors: 宍田佳謙; 宮本英明; 本間運也
Original assignee: 三洋電機株式会社
Priority date: 2008-09-12
Filing date: 2009-09-04
Publication date: 2010-03-18

Abstract

　振動モータは、積層基板１０１０と、移動子１０２０と、ガイド枠１０３０と、第１の板バネ１０４２と、第２の板バネ１０４４と、カバー（不図示）と、を備える。積層基板１０１０は、第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂを含む。移動子１０２０は、磁気シールド部材１０２２と、永久磁石と、を含む。ガイド枠１０３０の一方の短辺側に第１の板バネ１０４２が、他方の短辺側に第２の板バネ１０４４が設けられる。永久磁石のＮ極に対応する磁極面は積層基板１０１０に接し、Ｓ極に対応する磁極面には磁気シールド部材１０２２が取り付けられる。第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂは互いに逆向きの磁束を発生させる。第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂの磁束の向きを一定周期で切り換えることにより移動子１０２０を往復移動させる。

Description

振動モータおよびそれを用いた携帯端末装置

　本発明は、振動を発生させる振動モータに関し、特に振動モータおよびそれを用いた携帯端末装置に関する。

　筐体の振動によって、ユーザに電話やＥメールの着信を知らせる機能を有する携帯電話やＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ　Ｄｉｇｉｔａｌ　Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）などの携帯端末が知られている。そのような携帯端末には、振動を発生させる小型のモータが組み込まれることがある。こうしたモータとしては、従来、コイルからの電磁力により振動する可動子を備えたモータとしてのアクチュエータが知られている（例えば、下記の特許文献１、特許文献２および特許文献３参照）。

　特許文献１に開示されたモータは、円板状のマグネットからなる可動子と、可動子を取り囲むように配置されたコイルとを備え、コイルからの電磁力により可動子が上下方向（可動子の厚み方向）に直線移動する。

　特許文献２に開示された振動装置は、ガイドレールを備え、そのガイドレールには、走行子としての四角筒状に形成された可動コイルが外装されている。また、可動コイルの上面には、長方体状に形成された振動子（慣性体）が連結されている。また、可動コイルと離間して永久磁石が配設されており、可動コイルに通電する電流の方向を切り換えることで、可動コイルとともに振動子がガイドレールに沿って往復動する。

　特許文献３に記載された振動アクチュエータは、固定部と、マグネット及びヨークから構成される可動部と、可動部を固定部に対して可動自在に保持するＭ字型の弾性部材と、マグネットの磁束と鎖交するコイルとを備えており、コイルに電流を流すことにより可動部が横方向（可動部の厚み方向とは垂直な方向）に直線移動する。

　上記構成により、ブラシ付きモータを用いた従来の振動アクチュエータと比較して、摩耗部分をなくすことができる。そのため、ノイズの発生を抑制することができ、動作信頼性の高い振動アクチュエータを提供することができる。

特開２００６－６８６８８号公報特開２００４－１７４３０９号公報特開２００２－２００４６０号公報

　近年携帯端末の薄型化が進み、そのためそれに組み込まれるモータも薄くする必要がある。特許文献１に開示されたモータでは、円板状の可動子が上下方向に移動するように構成されているので、その上下方向に可動子の移動空間を設ける必要があり、構造的にモータの薄型化を図ることが困難であるという問題点がある。

　特許文献２に開示されたモータでは、可動コイルおよび振動子の厚さ分だけケース本体を厚くする必要があり、やはり構造的にモータの薄型化を図ることが困難である。

　また、永久磁石等の磁石を用いて駆動されるモータでは、モータから漏れ出す磁束が携帯端末の他の部分や携帯端末の周囲の機器に影響を与える場合がある。

　本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は薄型化を図ることが可能であるとともに、磁束の漏れ出しを軽減した振動モータの提供にある。

　本発明のある態様は、振動モータに関する。この振動モータは、コイルを有する基板と、基板の一方の面側において、コイルと対向する磁極面を有し、基板上を移動する可動部と、基板の一方の面上に設けられ、可動部の移動を受けとめる伝達部と、可動部に伴って動く磁気シールド部材と、を備える。

　本発明の別の態様は、携帯端末装置である。この携帯端末装置は、上述の振動モータと、振動モータを駆動し振動を発生せしめる駆動制御部と、を備える。

　本発明のさらに別の態様は振動モータである。この振動モータは、固定部と、磁石と、前記磁石の磁束と鎖交して配置され、前記磁石を移動させるコイルと、前記磁石の移動方向において前記固定部と前記磁石との間に配置された弾性部材と、前記磁石の前記コイルと対向する第１面とは反対側の第２面を覆う第２面用磁気シールドと、前記磁石の側面を覆う側面用磁気シールドとを含む磁気シールド部材とを備えることを特徴としている。

　また、本発明の携帯機器は、上述した振動モータを備えることを特徴としている。

　なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本発明の構成要素や表現を方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。

　本発明によれば、振動モータの薄型化を図ることができる。また、磁束の漏れ出しを軽減した振動モータを提供できる。

第１の実施の形態に係る振動モータの上面図である。図１のＨ－Ｈ線断面図である。変形例に係る振動モータの主要部のＨ－Ｈ線断面図である。図４（ａ）～（ｃ）はそれぞれ、第２の実施の形態に係る振動モータの上面図、側面図、下面図である。図４（ａ）のＪ－Ｊ線断面図である。第３の実施の形態に係る携帯端末装置を示す斜視図である。図６のＫ－Ｋ線断面図である。図６の携帯端末装置の機能ブロック図である。変形例に係る永久磁石を示す上面図である。第４の実施の形態に係る振動モータの上面図である。図１０のＬ－Ｌ線断面図である。図１０の第１配線層の上面図である図１０の第２配線層の上面図である。図１０の振動モータの下面図である。図１０の移動子が第１の板バネ側に寄った状態を示す上面図である。本発明の第５実施形態に係る振動モータの構成を説明するための分解斜視図である。上記振動モータの可動部の構成を説明するための分解斜視図である。（ａ）は上記振動モータの内部構造を説明するための上面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ’断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＢ－Ｂ’断面図である。（ａ）は上記振動モータのコイル基板の上層に形成された平面コイルの上面図であり、（ｂ）は上記コイル基板の下層に形成された平面コイルの上面図であり、（ｃ）は上記コイル基板のＸ－Ｘ’断面図である。（ａ）は上記振動モータの皿付きバネの構成を説明するための上面図であり、（ｂ）は（ａ）を矢印の方向から見た正面図である。（ａ）～（ｃ）は、上記振動モータの駆動方法を説明するための断面図である。

　以下各図面に示される同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において本発明に係る各実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。

　（第１の実施の形態）
　第１の実施の形態に係る振動モータ１１００は、携帯電話などの携帯端末装置における振動発生用のモータに好適に用いられるリニア駆動型振動モータ（リニアモータ）である。振動モータ１１００では、可動部を構成する永久磁石の磁界中でコイルに駆動電流が流れることにより、コイルにはローレンツ力が、永久磁石にはその反作用力が働く。永久磁石は、この反作用力によって往復移動を行う。これにより、振動モータ１１００が振動する。その振動モータ１１００では、永久磁石の片面に磁気シールド部材を取り付けて、磁束の漏れを軽減する。

　図１は、第１の実施の形態に係る振動モータ１１００の上面図である。図２は、図１のＨ－Ｈ線断面図である。以下では、図１および図２を使用しながら振動モータ１１００の構成を説明する。振動モータ１１００は、コイル１０１２と総称される第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂを含む積層基板１０１０と、移動子１０２０と、ガイド枠１０３０と、第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４と、カバー（不図示）と、を備える。以下、積層基板１０１０の面のうち移動子１０２０が搭載されている面を上面とし、その反対側の面を下面とする。また、説明の便宜上、積層基板１０１０の下面が地表を向いており、重力は下方向に働く場合について考える。

　積層基板１０１０は、第１絶縁樹脂層１０５２と、コイル１０１２が形成される配線層１０５４と、第２絶縁樹脂層１０５６とを上面側からこの順番に積層してなる基板である。第１絶縁樹脂層１０５２は、レジスト材料等によって形成される絶縁層である。第１絶縁樹脂層１０５２の上面には、第１絶縁樹脂層１０５２の表面が有する摩擦係数よりも低い摩擦係数を有する素材によって形成される低摩擦層１０５８を設ける。これにより、移動子１０２０との間の摩擦抵抗が軽減するので、電気エネルギーを振動へ変換する効率が上昇する。さらに、移動子１０２０の応答時間（移動子１０２０が所定の振動量に達するまでの時間）を短縮させることができる。ここで「振動量」とは、振動モータが取り付けられた物体（たとえば、携帯電話）の加速度、または加速度を重力加速度（９．８ｍ／ｓ^２）で割った値である。低摩擦層を形成する材料としては、炭素系材料であるダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）やフラーレンなど、フッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）など、ポリオレフィン樹脂であるポリエチレン、ポリプロピレンなど、チタン系材料であるチタン、窒化チタン、酸化チタンなど、が挙げられる。

　配線層１０５４は、第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂを含む。第１絶縁樹脂層１０５２および第２絶縁樹脂層１０５６は、配線層１０５４に含まれる第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂを外部から絶縁する。

　第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂはどちらも平らな渦巻状のコイルであり、そのコイルの面が積層基板１０１０の上面１０１０ａに対して平行となるように配列される。ここで、平行とは、互いに平行な状態だけでなく、移動子１０２０が移動する際の妨げとならない程度に平行な状態からずれた状態を含んでいる。第１の平面コイル１０１２ａの渦巻の中心に当たる一端は第１接続配線１０６２と接続され、第１の平面コイル１０１２ａの渦巻の外側に当たる一端は第２接続配線１０６４と接続される。第２の平面コイル１０１２ｂの渦巻の中心に当たる一端は第４接続配線１０６８と接続され、第２の平面コイル１０１２ｂの渦巻の外側に当たる一端は第３接続配線１０６６と接続される。第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂは、移動子１０２０の移動方向に沿って互いに離間して配列される。

　第１接続配線１０６２および第４接続配線１０６８は振動モータ１１００の駆動回路に適切な結線手段により接続される。第２接続配線１０６４と、第３接続配線１０６６は共に入力端１０１６に接続される。第１の平面コイル１０１２ａの渦巻の巻回の方向と、第２の平面コイル１０１２ｂの渦巻の巻回の方向は異なるように形成される。このようなコイル１０１２の構成では、入力端１０１６から駆動電流を流すと、第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂには互いに逆方向の磁束が発生する。そしてそれぞれのコイル１０１２に発生する磁束の向きは、駆動電流の極性が反転すると反転する。その結果、駆動電流の極性の時間的変動に応じて、それぞれのコイル１０１２によって発生される磁束の向きも時間的に変動する。

　移動子１０２０は、磁気シールド部材１０２２と、永久磁石１０２４とを含む。
　永久磁石１０２４は、フェライトやネオジウムなどの強磁性材料からなる直径１０ｍｍ、厚さ１．４ｍｍの円板形状に形成され、その厚み方向に１対の磁極が着磁されている。永久磁石１０２４は、積層基板１０１０に平行となるように対向して配置され、積層基板１０１０に面しコイル１０１２に対向する磁極面１０２４ＮをＮ極とし、その反対側の磁極面１０２４ＳをＳ極とする。その磁極面１０２４Ｓには、磁気シールド部材１０２２が取り付けられる。永久磁石１０２４は、磁極面１０２４Ｎと磁極面１０２４Ｓとの間に側面１０２４ａを有する。

　永久磁石１０２４はコイル１０１２に流れる駆動電流の極性が切り替わることによって積層基板１０１０の上面１０１０ａ側を、コイル１０１２の配列方向（矢印Ｈ１または矢印Ｈ２の方向）に沿って移動する。ここで、平行とは、互いに平行な状態だけでなく、永久磁石１０２４が移動する際の妨げとならない程度に平行な状態からずれた状態（永久磁石１０２４が積層基板１０１０に対して所定の角度傾斜した状態）を含んでいる。

　磁気シールド部材１０２２は、円筒の一端を閉じた形のカップ状の部材であってその平均厚さは０．１ｍｍであり、パーマロイなどの透磁率の比較的高い材料によって形成される。磁気シールド部材１０２２は透磁率が高いので、周囲の磁束線をより多くその内部に閉じこめる。これにより、磁束源からの磁束が磁気シールド部材１０２２を越えて広がることを抑制する。磁気シールド部材１０２２の内側の底面１０２２ａは、永久磁石１０２４の磁極面１０２４Ｓと接する。磁気シールド部材１０２２の内側の側面１０２２ｂは円筒状であり、その直径は永久磁石１０２４が嵌合するように形成される。また、その高さは永久磁石１０２４の厚さに揃えるように形成される。したがって、磁気シールド部材１０２２は、永久磁石１０２４の側面１０２４ａのほぼ全面を覆うように形成される。

　磁気シールド部材１０２２と永久磁石１０２４との間には比較的強い磁気引力が働くので、磁気シールド部材１０２２は永久磁石１０２４にこの磁気引力によって固定される。

　ガイド枠１０３０は、移動子１０２０およびコイル１０１２の配列を囲むように積層基板１０１０の上面１０１０ａ上に設けられる。ガイド枠１０３０は、第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４と共に移動子１０２０の往復移動を振動モータ１１００全体に伝達するように形成された、厚さが１．６ｍｍで一定の幅を持つ長方形の枠であり、アルミニウムやプラスチックなどの非磁性素材によって形成される。ガイド枠１０３０の内周面１０３０ａの短手方向の長さは１０．５ｍｍであり、移動子１０２０の直径よりも僅かに大きくなるように形成される。また、その内周面１０３０ａの長手方向の長さは１３．５ｍｍであり、移動子１０２０と内周面１０３０ａとの間の距離に余裕を持たせるように形成される。これにより移動子１０２０はガイド枠１０３０の長手方向矢印Ｈ１または矢印Ｈ２の方向に、積層基板１０１０の上面１０１０ａ上を往復移動する。

　図２に示されるように、ガイド枠１０３０の接着面１０３０ｂに対応する積層基板１０１０の上面１０１０ａ上の領域では第１絶縁樹脂層１０５２が除去される。そしてそこに露出している配線層１０５４の面と、接着面１０３０ｂとが接着される。

　ガイド枠１０３０の一方の短辺側に第１の板バネ１０４２が、他方の短辺側に第２の板バネ１０４４が設けられる。各板バネは、ＰＥＴ（ＰｏｌｙＥｔｈｙｌｅｎｅ　Ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）などの非磁性材料からなる厚さ３５０μｍ、長さ１０ｍｍ、幅１．２ｍｍのバネである。第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４のそれぞれの一端はガイド枠１０３０の内部に埋設される。また、第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４のそれぞれの他端により、移動子１０２０をその側面から挟み込んでいる。このようにすることで、各板バネは、それぞれ、ガイド枠１０３０への取り付け部分を支持点として撓み変形可能になり、移動子１０２０を互いに他方の板バネ側に付勢する機能を有する。各板バネは、静止状態（コイル１０１２に電流を流していない状態）においては移動子１０２０をガイド枠１０３０の長手方向略中央部に保持する。そして、積層基板１０１０の上面１０１０ａ上において移動子１０２０が往復移動する際、第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４は交互に移動子１０２０によって押される。これによりこれらの板バネからガイド枠１０３０に振動が伝達される。その結果ガイド枠１０３０およびそれを含む振動モータ１１００全体が振動する。

　ガイド枠１０３０の上面にはカバー（不図示）が接着され、移動子１０２０の飛び出しを防止する。また、カバーの積層基板１０１０側の面に、第１絶縁樹脂層１０５２の表面が有する摩擦係数よりも低い摩擦係数を有する材料によって形成される低摩擦層を設けてもよい。このような低摩擦層を形成する材料としては、第１絶縁樹脂層１０５２の上面に形成される低摩擦層１０５８と同一の材料が用いられる。この場合、移動子１０２０とカバーとの間の摩擦抵抗を軽減することができるので、電気エネルギーを振動へ変換する効率が上昇する。さらに、移動子１０２０の応答時間（移動子１０２０が所定の振動量に達するまでの時間）を短縮することができる。

　以上のように構成された振動モータ１１００の動作について説明する。振動モータ１１００の静止状態においては第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂには駆動電流は流れず、第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４によって挟持された移動子１０２０は、ガイド枠１０３０の長手方向略中央部に図１のように静止する。

　振動モータ１１００を駆動する際は、入力端１０１６から、所定の周波数でその極性が反転する駆動電流（交流電流）が供給される。まず入力端１０１６から第１接続配線１０６２および第４接続配線１０６８に向けて駆動電流が流れる場合について考える。この場合、第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂの中央側の配線（図１において破線で示される配線のうち短手方向に沿った配線）には、図１中で左から右に向かって駆動電流が流れる。

　永久磁石１０２４のＮ極１０２４Ｎが平面コイルと対向しているので、永久磁石１０２４が発生する磁界は、その永久磁石１０２４の真下においては、Ｎ極１０２４Ｎから積層基板１０１０の下面に向けて積層基板１０１０の上面１０１０ａをほぼ垂直に貫く。したがって、第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂの中央側の配線には、矢印Ｈ２の向きにローレンツ力が働き、そのローレンツ力の反作用力（矢印Ｈ１の向き）が永久磁石１０２４に働く。第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂは積層基板１０１０に埋め込まれて固定されているので、結果として永久磁石１０２４には矢印Ｈ１の向きへそれを移動せしめる力が働く。

　駆動電流の向きが反転した場合は、第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂの中央側の配線には、図１中で右から左に向かって駆動電流が流れる。したがって上と同様の議論により永久磁石１０２４には矢印Ｈ２の向きへそれを移動せしめる力が働く。このようにして、駆動電流の反転とほぼ同じ周波数で移動子１０２０がその周り、例えば積層基板１０１０およびガイド枠１０３０に対して往復移動する。移動子１０２０の質量はその周りの質量に対して無視できないので、移動子１０２０の往復移動に合わせて、その周りも振動する。

　第１の実施の形態に係る振動モータ１１００では、例えば以下の効果を得ることができる。

　（１）移動子１０２０はコイル１０１２の配列方向（矢印Ｈ１または矢印Ｈ２の方向）に沿って積層基板１０１０の上面１０１０ａ側を移動する構成とされる。したがって、従来の縦振動型（基板面と垂直な方向への振動）のみの振動モータに比べて、積層基板１０１０の上面１０１０ａと垂直な方向への移動子１０２０の移動空間を設ける必要がないので、その方向の厚みを小さくするための設計の自由度を確保することができる。その結果、薄型化を図ることが可能な振動モータを提供することができる。

　（２）永久磁石１０２４の磁極面１０２４Ｓは磁気シールド部材１０２２によって覆われている。したがって、磁極面１０２４Ｓから振動モータ１１００の外部への磁束の漏れ出しを軽減することができる。

　（３）磁気シールド部材１０２２は永久磁石１０２４に取り付けられ、磁気シールド部材１０２２と永久磁石１０２４は一体的に移動する。したがって、磁気シールド部材１０２２と永久磁石１０２４との間の磁気引力は移動子１０２０の移動へ作用しないので、よりスムーズな動作が実現できる。

　（４）平らなコイル１０１２が用いられ、そのコイル１０１２の面が積層基板１０１０の上面１０１０ａに対して平行となるように配置される。したがって、積層基板１０１０を薄くすることができるので振動モータ１１００全体の薄型化に貢献する。

　（５）磁気シールド部材１０２２と永久磁石１０２４との間には比較的強い磁気引力が働くので、磁気シールド部材１０２２は永久磁石１０２４にこの磁気引力によって固定される。つまりなんら他の部材を介さずに互いに固定されるので、振動モータ１１００の製造工程の簡素化やコストダウンに貢献する。

　（６）磁気シールド部材１０２２の円筒状の側面１０２２ｂは、その直径が永久磁石１０２４と嵌合するよう形成されているため、永久磁石１０２４を径方向に固定している。したがって、移動子１０２０が往復移動する際、永久磁石１０２４と磁気シールド部材１０２２が径方向に互いにずれにくい。これにより磁気シールド部材１０２２と永久磁石１０２４との固定の信頼性が向上する。

　（７）ガイド枠１０３０は非磁性材料によって形成されるので、永久磁石１０２４とガイド枠１０３０との間に働く磁力は無視できるほど小さい。したがって、移動子１０２０の往復移動はよりスムーズとなる。

　（８）第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４は非磁性材料によって形成されるので、永久磁石１０２４と第１および第２の板バネ１０４２、１０４４との間に働く磁力は無視できるほど小さい。したがって、移動子１０２０のよりスムーズな往復移動が実現される。

　（９）ガイド枠１０３０の接着面１０３０ｂは、低い摩擦係数を有する材料によって形成される低摩擦層１０５８もしくはレジスト材料等によって形成される第１絶縁樹脂層１０５２が除去された配線層１０５４に接着される。そのため、接着面１０３０ｂを低摩擦層１０５８もしくは第１絶縁樹脂層１０５２に接着する場合と比較して、ガイド枠１０３０と積層基板１０１０との接着強度を高めることができる。

　（１０）磁気シールド部材１０２２は永久磁石１０２４の磁極面１０２４Ｓだけでなく永久磁石１０２４の側面までも覆うように形成されている。これにより移動子１０２０の径方向への磁束の漏れ出しを軽減することができる。また、磁気シールド部材１０２２の内側の側面１０２２ｂの高さは永久磁石１０２４の厚さに揃えるように形成される。したがって、上記の径方向への磁束の漏れ出しはさらに軽減される。

　（１１）第１および第２の平面コイル１０１２ａ、１０１２ｂの表面に対向するように、永久磁石１０２４の磁極面が配置されるように構成している。これにより、永久磁石１０２４側から発生する磁力線（磁力線が生じる磁極面）と第１および第２の平面コイル１０１２ａ、１０１２ｂに電流を流すことにより発生する磁束線（磁束線が生じるコイル面）とが平行になる。これに対して、上記特許文献２に記載の構成では、磁石からの磁力線とコイルからの磁束線とは直交する。したがって、上記特許文献２に記載の構成に比べて振動モータ１１００における構成は、磁力線と磁束線とが重なる量が大きいので、その分、永久磁石１０２４を移動させる際の駆動力を大きくすることができる。

　上述の第１の実施の形態では、磁気シールド部材１０２２の側面は永久磁石１０２４の厚さに揃えるように形成されるが、これに限定されず、磁気シールド部材１０２２は、永久磁石１０２４の側面１０２４ａの少なくとも一部を覆うように形成されればよい。例えば以下の変形例が考えられる。
　変形例に係る振動モータ１２００と第１の実施の形態に係る振動モータ１１００との差異は、磁気シールド部材の形状である。振動モータ１２００の上面図は図１と同様である。図３は、振動モータ１２００の主要部のＨ－Ｈ線断面図である。

　振動モータ１２００は移動子１２２０を含み、移動子１２２０は、磁気シールド部材１２２２と、永久磁石１０２４とを含む。磁気シールド部材１２２２は、円筒の一端を閉じた形のカップ状の部材であり、パーマロイなどの透磁率の比較的高い材料によって形成される。磁気シールド部材１２２２の内側の底面１２２２ａは、永久磁石１０２４の磁極面１０２４Ｓと接する。磁気シールド部材１２２２の内側の側面１２２２ｂもまた円筒状であり、その直径は永久磁石１０２４が嵌合するように形成される。また、その高さは永久磁石１０２４の厚さよりも小さくなるよう形成される。図３中の鎖線は、永久磁石１０２４の磁極面から発して磁気シールド部材１２２２の側面に吸収される代表的な磁束線を示す。

　本変形例に係る振動モータ１２００によれば、例えば以下の効果を得ることができる。

　（１２）磁気シールド部材１０２２は、永久磁石１０２４の側面１０２４ａの少なくとも一部を覆うように形成される。したがって、永久磁石１０２４のＮ極から発して磁気シールド部材１２２２へ吸収されてゆく磁束線の径方向へのふくらみが、第１の実施の形態の場合よりも大きくなる。これにより、そのような磁束線のうち、Ｎ極から発して一度下向きに第１の平面コイル１０１２ａまたは第２の平面コイル１０１２ｂのいずれか一方を通過した後に、磁気シールド部材１２２２へ戻ってゆく過程で上向きに同じコイルを再び通過する磁束線の数を減らすことができる。これにより、その同じコイルによって移動子１２２０に及ぼされる磁力のうち打ち消し合う成分が減少するので、より効率的に移動子１２２０を往復移動させることができる。

　（１３）永久磁石１０２４の厚さから磁気シールド部材１２２２の内側の側面１２２２ｂの高さを引いた差の値Δｄは、径方向への磁束の漏れ出しを防止する度合いと上述の移動子１２２０の往復移動の効率化の度合いとが拮抗する値となるように設計されてもよい。この場合その両者のバランスがとれた構成を実現できる。

　（第２の実施の形態）
　図４（ａ）は、第２の実施の形態に係る振動モータ１３００の上面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）の振動モータ１３００の側面図である。図４（ｃ）は、図４（ａ）の振動モータ１３００の下面図である。概略的に言うと、第２の実施の形態に係る振動モータ１３００は、積層基板１３１０の両面に第１の実施の形態の移動子、ガイド枠および板バネを備える。

　図５は、図４（ａ）のＪ－Ｊ線断面図である。振動モータ１３００の積層基板１３１０は、第３絶縁樹脂層１１５２と、配線層１０５４と、第４絶縁樹脂層１３５２とを積層してなる基板である。第３絶縁樹脂層１１５２は、第１の実施の形態の第１絶縁樹脂層１０５２と同等の構成とされる。説明を簡単にするため、低摩擦層は図示しない。積層基板１３１０の第３絶縁樹脂層１１５２側の面には、第１移動子１１２０、第１ガイド枠１１３０、第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４が設けられる。第１移動子１１２０は、第１磁気シールド部材１１２２と、第１永久磁石１１２４とを含む。これらの部材のそれぞれは、対応する第１の実施の形態の部材と同等の構成とされる。配線層１０５４は、第１の実施の形態と同様に第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂを含む。

　積層基板１３１０の第４絶縁樹脂層１３５２側の面には、第２移動子１３２０、第２ガイド枠１３３０、第３の板バネ１３４２および第４の板バネ１３４４が設けられる。第２移動子１３２０は、第２磁気シールド部材１３２２と、第２永久磁石１３２４とを含み、第２永久磁石１３２４の磁極面１３２４Ｓが積層基板１３１０に対向して第４絶縁樹脂層１３５２と接する点以外は第１の実施の形態に係る移動子１０２０と同等の構成とされる。第２ガイド枠１３３０、第３の板バネ１３４２および第４の板バネ１３４４は、そのそれぞれが対応する第１の実施の形態のガイド枠１０３０、第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４と同等の構成とされる。

　第２の実施の形態に係る振動モータ１３００によれば、第１の実施の形態に係る振動モータ１１００による効果に加えて例えば以下の効果を得ることができる。

　（１４）振動モータ１３００は、積層基板１３１０の両面に第１の実施の形態の移動子、ガイド枠および板バネを備える。したがって、振動モータ１３００の一方の面のみでなく両面から外部への磁束の漏れ出しを軽減することができる。これにより例えば振動モータ１３００が組み込まれている携帯端末装置の他の部品への漏れ磁束の影響を軽減できる。

　（１５）第１永久磁石１１２４のＮ極が積層基板１３１０に対向し、第２永久磁石１３２４のＳ極が積層基板１３１０に対向する構成とされる。したがって、第１移動子１１２０と第２移動子１３２０は磁力により互いに引きつけ合う。これにより、それらの移動子が積層基板１３１０の面から外れないようにする部材を使用しなくてもいいので、振動モータ１３００の製造がより容易となる。

　（第３の実施の形態）
　図６は、第３の実施の形態に係る携帯端末装置１４００を示す斜視図である。携帯端末装置１４００は、携帯電話やＰＤＡなどの携帯端末であり、通信機能を有する。

　携帯端末装置１４００は、表示部１４０２と、電源スイッチ１４０４と、アンテナ１４０６と、筐体１４０８と、後述する制御基板１４１０と、第１の実施の形態に係る振動モータ１１００と、を備える。これら以外の構成は、説明を明瞭にするために省略する。表示部１４０２は、液晶パネルと、その上を覆うタッチパネルと、を含む。ユーザは、その液晶パネルに表示されるボタン等に対応するタッチパネルの部分を押し下げることで携帯端末装置１４００を操作する。ユーザは電源スイッチ１４０４をオンにして携帯端末装置１４００に電源を入れる。アンテナ１４０６は、無線信号を送受信する。

　図７は、図６のＫ－Ｋ線断面図である。制御基板１４１０は、筐体１４０８に固定され、後述する駆動制御部１４１２に対応する回路および後述する通信部１４１４に対応する回路を含み、さらに携帯端末装置１４００の種々の機能を可能ならしめる他の回路を含む。

　振動モータ１１００は、振動モータ１１００の面のうち磁気シールド部材１０２２側の面が、その反対側の面よりも筐体１４０８に近くなるように、制御基板１４１０上に固定される。つまり図７において、カバー１１０２の上面１１０２ａと筐体１４０８との間の距離Δｈ１が、積層基板１０１０の下面１０１０ｂと筐体１４０８との間の距離Δｈ２よりも小さくなるように設計される。振動モータ１１００の第１接続配線１０６２、第４接続配線１０６８および入力端１０１６は、適切な結線手段により制御基板１４１０の配線と結線され、駆動制御部１４１２に対応する回路に接続される。

　図８は、携帯端末装置１４００の機能ブロック図である。携帯端末装置１４００は、駆動制御部１４１２および通信部１４１４を備える。駆動制御部１４１２は、入力端１０１６、第１接続配線１０６２および第４接続配線１０６８を介して振動モータ１１００に駆動電流を供給してその振動を制御する。また、駆動制御部１４１２は、供給する駆動電流の極性を所定の周波数で変える。通信部１４１４は、アンテナ１４０６を介して無線信号を送受信し、外部との通信を制御する。そして、この駆動制御部１４１２により、振動モータ１１００は、タッチパネルの部分が押圧されたことを検知した場合や、電話やＥメールを着信した際にマナーモードに設定されている場合などに振動する。

　以上のように構成された携帯端末装置１４００の動作について説明する。通信部１４１４がアンテナ１４０６を通じて、携帯端末装置１４００への着信を知らせる無線信号を検知すると、通信部１４１４は駆動制御部１４１２へ振動を開始せしめる信号を発信する。駆動制御部１４１２はその信号を受信すると、振動モータ１１００へ所定の周波数でその極性が反転する駆動電流を供給する。振動モータ１１００は第１の実施の形態の動作の項で述べた通りに振動する。振動モータ１１００と制御基板１４１０とは固定され、さらに制御基板１４１０は筐体１４０８に固定されるので、振動モータ１１００の振動は筐体１４０８に伝わり、筐体１４０８が振動する。
　また、タッチパネルの部分が押圧された場合、同様にして振動モータ１１００が振動し、筐体１４０８が振動する。この際、着信を検知した場合の振動のモードとは異なる振動のモードで振動する。

　第３の実施の形態に係る携帯端末装置１４００によれば、例えば以下の効果を得ることができる。

　（１６）上記の振動モータ１１００を振動源として搭載することで、振動モータ１１００が薄型化される分、装置全体の薄型化を図ることが可能となる。

　（１７）振動モータ１１００は、振動モータ１１００の面のうち磁気シールド部材１０２２側の面が、その反対側の面よりも筐体１４０８に近くなるように、制御基板１４１０上に固定される。これにより携帯端末装置１４００の外部への磁束の漏れ出しをより軽減することができる。また、筐体１４０８に鉄などの強磁性体が近づいた場合でも、それによる振動モータ１１００の動作への影響を軽減することができる。

　なお、第２の実施の形態の項で述べた振動モータ１３００が携帯端末装置に組み込まれてもよい。この場合、薄型で漏れ磁束の少ない携帯端末装置が実現できる。

　（第４の実施の形態）
　第４の実施の形態に係る振動モータ１５００は、第１の実施の形態に係る振動モータ１１００と同様にリニア駆動型振動モータ（リニアモータ）である。振動モータ１５００では、対となる磁極を２つ有し可動部を構成する永久磁石の磁界中でコイルに駆動電流が流れることにより、コイルにはローレンツ力が、永久磁石にはその反作用力が働く。永久磁石は、この反作用力によって往復移動を行う。これにより、振動モータ１５００が振動する。その振動モータ１５００では、永久磁石の片面に磁気シールド部材を取り付けて、磁束の漏れを軽減する。なお、この磁気シールド部材は、ヨークとして機能してもよい。

　図１０は、第４の実施の形態に係る振動モータ１５００の上面図である。図１１は、図１０のＬ－Ｌ線断面図である。図１０ではカバー基板１５０２を取り外した状態を示す。また、図１０では、第１絶縁樹脂層１５５１の下にある第１の平面コイル１５１２ａ、第１ビア１５０４および第２ビア１５０６を示す。ガイド枠１５３０および移動子１５２０の下に隠れる部分を破線で、それ以外の部分を実線で示す。以下では、図１０および図１１を使用しながら振動モータ１５００の構成を説明する。

　振動モータ１５００は、平面コイル１５１２と総称される第１の平面コイル１５１２ａおよび第２の平面コイル１５１２ｂを含む積層基板１５１０と、移動子１５２０と、ガイド枠１５３０と、第１の板バネ１５４２および第２の板バネ１５４４と、カバー基板１５０２と、を備える。以下、積層基板１５１０の面のうち移動子１５２０が搭載されている面を上面とし、その反対側の面を下面とする。また、説明の便宜上、積層基板１５１０の下面が地表を向いており、重力は下方向に働く場合について考える。

　積層基板１５１０は、第１絶縁樹脂層１５５１と、第１の平面コイル１５１２ａが形成される第１配線層１５５２と、第２絶縁樹脂層１５５３と、第２の平面コイル１５１２ｂが形成される第２配線層１５５４と、第３絶縁樹脂層１５５５と、を上面側からこの順番に積層してなる基板である。第１絶縁樹脂層１５５１、第２絶縁樹脂層１５５３および第３絶縁樹脂層１５５５は、レジスト材料等によって形成される絶縁層である。第２絶縁樹脂層１５５３には、第１の平面コイル１５１２ａと第２の平面コイル１５１２ｂとを電気的に接続する第１ビア１５０４が設けられる。第１絶縁樹脂層１５５１は第１の平面コイル１５１２ａを外部から絶縁する。第３絶縁樹脂層１５５５は第２の平面コイル１５１２ｂを外部から絶縁する。

　第１の平面コイル１５１２ａおよび第２の平面コイル１５１２ｂはどちらも平らな渦巻状のコイルであり、そのコイルの面が積層基板１５１０の上面１５１０ａに対して平行となるように形成される。ここで、平行とは、互いに平行な状態だけでなく、移動子１５２０が移動する際の妨げとならない程度に平行な状態からずれた状態を含んでいる。第１の平面コイル１５１２ａおよび第２の平面コイル１５１２ｂはいずれも矩形であり、後述する移動子１５２０の移動方向に沿う辺を有する。
　第１の平面コイル１５１２ａおよび第２の平面コイル１５１２ｂは、それらを積層基板１５１０の上面１５１０ａへ投影した像が互いに重なり合うように形成される。

　第１の平面コイル１５１２ａの辺のうち、移動子１５２０の移動方向に沿った辺に含まれる配線群の幅ｄ２が、移動方向と交差する辺に含まれる配線群の幅ｄ１よりも小さくなるように、第１の平面コイル１５１２ａが形成される。これは、移動方向に沿った辺に含まれる配線群の配線の幅、ピッチ又はその両方を、移動方向と交差する辺に含まれる配線群のそれよりも小さくすることにより達成される。
　第２の平面コイル１５１２ｂも同様に形成される。
　平面コイル１５１２のさらなる詳細は図１２および図１３で後述する。

　移動子１５２０は、第１磁気シールド部材１５２２と、第１の永久磁石１５２４と、第２の永久磁石１５２６と、を含む。
　第１の永久磁石１５２４および第２の永久磁石１５２６はそれぞれ、フェライトやネオジウムなどの強磁性材料からなる矩形状に形成され、その厚み方向に１対の磁極を成すように着磁されている。第１の永久磁石１５２４および第２の永久磁石１５２６の面積および厚みはほぼ同じくなるよう形成される。

　第１の永久磁石１５２４と第２の永久磁石１５２６とは、その厚み方向でずれがないよう接着固定される。そのようにして接着固定された第１の永久磁石１５２４および第２の永久磁石１５２６を総称して接着済み永久磁石と呼ぶ。第２の永久磁石１５２６の重心から第１の永久磁石１５２４の重心へ向かう方向を矢印Ｌ１で示し、その逆の方向を矢印Ｌ２で示す。

　接着済み永久磁石は、積層基板１５１０に面し平面コイル１５１２のコイル面に対向する第１磁極面１５６０と、その反対側の第２磁極面１５６２と、を有する。第１の永久磁石１５２４のＮ極と第２の永久磁石１５２６のＳ極とが第１磁極面１５６０に配置される。第１の永久磁石１５２４のＳ極と第２の永久磁石１５２６のＮ極とが第２磁極面１５６２に配置される。
　接着済み永久磁石の側面のうち第１の板バネ１５４２が当接する部分を第１当接部分Ｍ、第２の板バネ１５４４が当接する部分を第２当接部分Ｑと呼ぶ。
　第２磁極面１５６２には、第１磁気シールド部材１５２２が取り付けられる。

　接着済み永久磁石を含む移動子１５２０は、平面コイル１５１２に流れる駆動電流の極性が切り替わることによって積層基板１５１０の上面１５１０ａ側を、第１磁極面１５６０における磁極の配置の方向（矢印Ｌ１または矢印Ｌ２の方向、以降磁極配置方向と略す）に沿って移動する。

　第１磁気シールド部材１５２２は、接着済み永久磁石の第２磁極面１５６２からはみ出さないよう形成された矩形の板状部材であり、透磁率の比較的高い材料によって形成される。この材料としては、ソフトフェライト（軟鉄）、ケイ素鋼板、パーマロイ（鉄とニッケルの合金）、スーパーマロイ（鉄とニッケルとモリブデンの合金）、パーメンジュール（鉄とコバルトの合金）、センダスト（鉄とシリコンとアルミニウムの合金）などの軟磁性材料が適している。第１磁気シールド部材１５２２は透磁率が高いので、周囲の磁束線がより多くその内部を選択的に通過する。これにより、接着済み永久磁石からの磁束が第１磁気シールド部材１５２２を越えて広がることを抑制する。
　なお、前述のごとく第１の永久磁石１５２４および第２の永久磁石１５２６は矩形であり、第１磁気シールド部材１５２２は第２磁極面１５６２からはみ出さないので、移動子１５２０は全体として矩形状である。
　以降、第１磁気シールド部材１５２２の質量は、接着済み永久磁石の質量に比べて小さく、接着済み永久磁石の重心Ｐと移動子１５２０の重心とがほぼ一致する場合を考える。したがって、移動子１５２０の重心を便宜上重心Ｐと呼ぶ。

　第１磁気シールド部材１５２２と接着済み永久磁石との間には比較的強い磁気引力が働くので、第１磁気シールド部材１５２２は接着済み永久磁石にこの磁気引力によって固定される。

　詳細は後述するが、第１の板バネ１５４２および第２の板バネ１５４４には折り返された折曲部が設けられている。その折曲部は、図１０に示す第１当接部分Ｍおよび第２当接部分Ｑが磁極配置方向（矢印Ｌ１または矢印Ｌ２の方向）に沿って並び、振動モータ１５００の上面から見た場合にそれらを結ぶ線分ＭＱが移動子１５２０の重心Ｐを通過するよう形成される。また、移動子１５２０の往復移動中、第１当接部分Ｍおよび第２当接部分Ｑは接着済み永久磁石の側面上でその位置を変えない。
　なお、線分ＭＱは移動子１５２０の重心Ｐの十分近く、たとえば重心Ｐから接着済み永久磁石の短辺の１０分の１程度の距離の範囲内を通過してもよい。また、第１当接部分Ｍおよび第２当接部分Ｑは幅を有する面であってもよい。

　移動子１５２０を上から見たときの移動子１５２０の４つの角部１５２０ａは、丸みを帯びた形状に加工されている。また、移動子１５２０の移動方向側の縁部１５２０ｂも、丸みを帯びた形状に加工されている。

　ガイド枠１５３０は、移動子１５２０および平面コイル１５１２を囲むように積層基板１５１０の上面１５１０ａ上に設けられる。ガイド枠１５３０は、第１の板バネ１５４２および第２の板バネ１５４４と共に移動子１５２０の往復移動を振動モータ１５００全体に伝達するように形成された、長方形の枠であり、アルミニウムやプラスチックなどの非磁性素材によって形成される。

　ここで便宜的にガイド枠１５３０を、磁極配置方向に沿う第１ガイド部１５３２と、第１ガイド部１５３２と対向し磁極配置方向に沿う第２ガイド部１５３４と、磁極配置方向の一端側に位置する第１バネ取り付け部１５３６と、磁極配置方向の他端側に位置する第２バネ取り付け部１５３８と、に分ける。

　図１０に示されるとおり、第１ガイド部１５３２および第２ガイド部１５３４は、平面コイル１５１２の辺のうち移動子１５２０の移動方向に沿った辺に含まれる配線群と重複する。
　なお、図１０は移動方向に沿った配線群の全てが第１ガイド部１５３２および第２ガイド部１５３４の下になっている場合を示しているが、配線群の一部のみが重複してもよい。

　第１バネ取り付け部１５３６の内面１５３６ａに第１の板バネ１５４２が取り付けられる。第１の板バネ１５４２は、ＰＥＴなどの非磁性材料からなるバネである。第１の板バネ１５４２の一部は内面１５３６ａに接着固定される。第１の板バネ１５４２のうち、内面１５３６ａから出て第１当接部分Ｍに至るまでの間には一度折り返された折曲部１５４２ａが設けられる。

　第２バネ取り付け部１５３８の内面１５３８ａに第２の板バネ１５４４が取り付けられる。第２の板バネ１５４４は、第１の板バネ１５４２と同様、ＰＥＴなどの非磁性材料からなるバネである。第２の板バネ１５４４の一部は内面１５３８ａに接着固定される。第２の板バネ１５４４のうち、内面１５３８ａから出て第２当接部分Ｑに至るまでの間には一度折り返された折曲部１５４４ａが設けられる。
　第１の板バネ１５４２および第２の板バネ１５４４は、上から見ると、ガイド枠１５３０の中心を通り積層基板１５１０に垂直な軸に対して１８０度の回転対称となっている。

　各板バネは、図１０のような静止状態（平面コイル１５１２に電流を流していない状態）においては移動子１５２０を磁極配置方向の略中央部に保持する。そして、積層基板１５１０の上面１５１０ａ上において移動子１５２０が往復移動する際、第１の板バネ１５４２および第２の板バネ１５４４は交互に移動子１５２０によって押される。これによりこれらの板バネからガイド枠１５３０に圧力が伝達される。その結果、ガイド枠１５３０およびそれを含む振動モータ１５００全体が振動する。

　ガイド枠１５３０の上面にはカバー基板１５０２が接着され、移動子１５２０の飛び出しを防止する。
　積層基板１５１０の下面１５１０ｂには第２磁気シールド部材１５７０が取り付けられる。第２磁気シールド部材１５７０は、第１磁気シールド部材１５２２と同様の材料によって形成される。第２磁気シールド部材１５７０は透磁率が高いので、周囲の磁束線がより多くその内部を選択的に通過する。これにより、接着済み永久磁石からの磁束が第２磁気シールド部材１５７０を越えて広がることを抑制する。

　図１２は、図１０の第１配線層１５５２の上面図である。第１の平面コイル１５１２ａの渦巻の中心に当たる一端は第１ビア１５０４を介して第２の平面コイル１５１２ｂの渦巻の中心に当たる一端と接続される。第１の平面コイル１５１２ａの渦巻の外側に当たる一端は第２ビア１５０６と接続される。第２ビア１５０６は、積層基板１５１０の下面１５１０ｂに設けられた第１電極パッド１５０６ａに接続される。

　図１３は、図１０の第２配線層１５５４の上面図である。第２の平面コイル１５１２ｂの渦巻の外側に当たる一端は第３ビア１５０８と接続される。第３ビア１５０８は、積層基板１５１０の下面１５１０ｂに設けられた第２電極パッド１５０８ａに接続される。

　第２ビア１５０６および第３ビア１５０８は第１電極パッド１５０６ａおよび第２電極パッド１５０８ａを介してそれぞれ振動モータ１５００の駆動回路に接続される。図１２および図１３に示されるとおり、第１の平面コイル１５１２ａの渦巻の巻回の方向と、第２の平面コイル１５１２ｂの渦巻の巻回の方向は異なるように形成される。このような平面コイル１５１２の構成では、第２ビア１５０６または第３ビア１５０８から駆動電流を流すと、第１の平面コイル１５１２ａおよび第２の平面コイル１５１２ｂには同じ向きの磁束が発生する。そしてそれぞれの平面コイル１５１２に発生する磁束の向きは、駆動電流の極性が反転すると反転する。その結果、駆動電流の極性の時間的変動に応じて、それぞれの平面コイル１５１２によって発生される磁束の向きも時間的に変動する。

　図１４は、図１０の振動モータ１５００の下面図である。第２磁気シールド部材１５７０には、第１電極パッド１５０６ａおよび第２電極パッド１５０８ａが覆われないよう切り欠き部分が設けられる。これにより外部から給電端子などを第１電極パッド１５０６ａおよび第２電極パッド１５０８ａへ接続することが可能となる。

　図１５は、移動子１５２０が第１の板バネ１５４２側に寄った状態を示す上面図である。移動子１５２０は第１の板バネ１５４２によって第２の板バネ１５４４側に付勢される。また、第１の板バネ１５４２の折曲部１５４２ａは、静止状態と比べて折りたたまれた状態となる。したがって、折曲部１５４２ａが元の状態に戻ろうとする力により、移動子１５２０は第２の板バネ１５４４側へさらに付勢される。図１５のように移動子１５２０が片方の板バネ側に寄った状態であっても移動子１５２０は、振動モータ１５００の上面から見た場合に線分ＭＱが移動子１５２０の重心Ｐを通過する状態を維持しながら移動する。第２の板バネ１５４４側に寄った場合についても同様である。

　以上のように構成された振動モータ１５００の動作について説明する。振動モータ１５００の静止状態においては第１の平面コイル１５１２ａおよび第２の平面コイル１５１２ｂには駆動電流は流れず、第１の板バネ１５４２および第２の板バネ１５４４によって挟持された移動子１５２０は、ガイド枠１５３０の磁極配置方向の略中央部に図１０のように静止する。

　振動モータ１５００を駆動する際は、第２ビア１５０６または第３ビア１５０８から、所定の周波数でその極性が反転する駆動電流（交流電流）が供給される。上向きに磁束が発生するよう平面コイル１５１２に駆動電流が流れる場合、平面コイル１５１２に面する永久磁石のＮ極にはローレンツ力の反作用力の合力として平面コイル１５１２の中心から遠ざかる向きの力が加えられる。反対にＳ極には平面コイル１５１２の中心へ向かう向きの力が加えられる。下向きに磁束が発生するよう平面コイル１５１２に駆動電流が流れる場合は、加えられる力の向きが逆になる。

　したがって、第２ビア１５０６から第３ビア１５０８に向けて駆動電流が流れる場合は、Ｎ極が平面コイル１５１２と対向する第１の永久磁石１５２４には矢印Ｌ１の向きに力が加えられる。Ｓ極が平面コイル１５１２と対向する第２の永久磁石１５２６にも矢印Ｌ１の向きに力が加えられる。結果として移動子１５２０には、積層基板１５１０の上面１５１０ａ上を、矢印Ｌ１の向きに、第１の板バネ１５４２を押す形で移動せしめる力が働く。
　駆動電流の向きが反転した場合は、Ｎ極が平面コイル１５１２と対向する第１の永久磁石１５２４には矢印Ｌ２の向きに力が加えられる。Ｓ極が平面コイル１５１２と対向する第２の永久磁石１５２６にも矢印Ｌ２の向きに力が加えられる。結果として移動子１５２０には、積層基板１５１０の上面１５１０ａ上を、矢印Ｌ２の向きに、第２の板バネ１５４４を押す形で移動せしめる力が働く。このようにして、駆動電流の反転とほぼ同じ周波数で移動子１５２０がその周り、例えば積層基板１５１０およびガイド枠１５３０に対して往復移動する。移動子１５２０の質量はその周りの質量に対して無視できないので、移動子１５２０の往復移動に合わせて、その周りも振動する。

　第４の実施の形態に係る振動モータ１５００では、例えば以下の効果を得ることができる。

　（１８）移動子１５２０は磁極配置方向（矢印Ｌ１または矢印Ｌ２の方向）に沿って積層基板１５１０の上面１５１０ａ側を移動する構成とされる。したがって、従来の縦振動型（基板面と垂直な方向への振動）のみの振動モータに比べて、積層基板１５１０の上面１５１０ａと垂直な方向への移動子１５２０の移動空間を設ける必要がないので、その方向の厚みを小さくするための設計の自由度を確保することができる。その結果、薄型化を図ることが可能な振動モータを提供することができる。

　（１９）平らな平面コイル１５１２が用いられ、その平面コイル１５１２の面が積層基板１５１０の上面１５１０ａに対して平行となるように配置される。したがって、積層基板１５１０を薄くすることができるので振動モータ１５００全体の薄型化に貢献する。

　（２０）第１の永久磁石１５２４のＮ極と第２の永久磁石１５２６のＳ極とが第１磁極面１５６０に配置される。したがって、第１の永久磁石１５２４のＮ極から出た磁束の多くは第２の永久磁石１５２６のＳ極に帰るので、第１磁極面１５６０から振動モータ１５００の外部への磁束の漏れ出しを軽減することができる。特に、積層基板１５１０の下面１５１０ｂに第２磁気シールド部材１５７０を設けても、第２磁気シールド部材１５７０と接着済み永久磁石との間の磁気引力によって移動子１５２０の移動が阻害されない程度まで軽減することができる。

　（２１）第１の永久磁石１５２４のＳ極と第２の永久磁石１５２６のＮ極とが第２磁極面１５６２に配置される。したがって、第２の永久磁石１５２６のＮ極から出た磁束の多くは第１の永久磁石１５２４のＳ極に帰るので、第２磁極面１５６２から振動モータ１５００の外部への磁束の漏れ出しを軽減することができる。

　（２２）接着済み永久磁石の第２磁極面１５６２は第１磁気シールド部材１５２２によって覆われている。したがって、第２磁極面１５６２から振動モータ１５００の外部への磁束の漏れ出しを軽減することができる。

　（２３）第１磁気シールド部材１５２２は接着済み永久磁石に取り付けられ、第１磁気シールド部材１５２２と接着済み永久磁石は一体的に移動する。したがって、第１磁気シールド部材１５２２と接着済み永久磁石との間の磁気引力は移動子１５２０の移動へ作用しないので、よりスムーズな動作が実現できる。

　（２４）第１磁気シールド部材１５２２と接着済み永久磁石との間には比較的強い磁気引力が働くので、第１磁気シールド部材１５２２は接着済み永久磁石にこの磁気引力によって固定される。つまりなんら他の部材を介さずに互いに固定されるので、振動モータ１５００の製造工程の簡素化やコストダウンに貢献する。

　（２５）積層基板１５１０の下面１５１０ｂには第２磁気シールド部材１５７０が取り付けられる。したがって、第１磁極面１５６０から振動モータ１５００の外部への磁束の漏れ出しを軽減することができる。

　（２６）移動子１５２０を付勢する部材として板バネを用いている。したがって、たとえばつるまきバネを使用する場合と比べて、バネが占めるスペースを小さくすることができる。これは移動子１５２０が移動方向に変位できる量の向上に寄与し、ひいては振動モータ１５００の振動量を増やすこともできる。

　（２７）第１の板バネ１５４２には折曲部１５４２ａが、第２の板バネ１５４４には折曲部１５４４ａが設けられる。したがって、その折曲部によって板バネの弾性力が向上し、移動子１５２０の往復移動がより安定する。

　（２８）第１の板バネ１５４２および第２の板バネ１５４４は、上から見ると、ガイド枠１５３０の中心を通り積層基板１５１０に垂直な軸に対して１８０度の回転対称となっている。これにより、移動子１５２０へ加えられる力の対称性が高まり、移動子１５２０の移動がよりスムーズとなる。

　（２９）移動子１５２０における第１当接部分Ｍおよび第２当接部分Ｑが磁極配置方向（矢印Ｌ１または矢印Ｌ２の方向）に沿って並ぶよう第１の板バネ１５４２の折曲部１５４２ａおよび第２の板バネ１５４４の折曲部１５４４ａが形成される。したがって、移動子１５２０の往復移動中、移動子１５２０にはその位置によらず移動方向に沿った力が加えられる。これにより、より効率良く移動子１５２０を往復移動させることができる。また、移動子１５２０の移動方向のぶれを小さくすることができ、より安定した振動モータ１５００の動作を実現できる。

　（３０）移動子１５２０における第１当接部分Ｍおよび第２当接部分Ｑを結ぶ線分ＭＱが移動子１５２０の重心Ｐまたは重心Ｐの十分近くを通過するよう第１の板バネ１５４２の折曲部１５４２ａおよび第２の板バネ１５４４の折曲部１５４４ａが形成される。したがって、各板バネが移動子１５２０に加える力は移動子１５２０の重心Ｐを向いており、重心Ｐ周りの回転を誘導しない。これにより、移動子１５２０の重心Ｐ周りの回転は起こりにくく、より効率良く安定した移動子１５２０の往復移動を実現できる。

　（３１）振動モータ１５００では、板バネを一体的に構成して、さらにガイド枠１５３０に沿ってはめ込むようにする。これにより、長期間振動動作を繰り返しても、支持点（支持部）となるガイド枠の切り込み部分が広がるなど変形することはなく、板バネの緩みなどによる振動モータの動作信頼性の低下（劣化）を防止できる。

　（３２）移動子１５２０と積層基板１５１０との接触部分に当たる、移動子１５２０の移動方向側の縁部１５２０ｂを丸みを帯びた形状に加工したことで、そこでの摩擦抵抗を角接触する場合に比べて軽減できる。

　（３３）移動子１５２０が磁極配置方向に沿って移動するようガイド枠１５３０が形成される。したがって、磁力による推力を移動子１５２０により効率的に伝えることができる。

　（３４）平面コイル１５１２のコイル面と第１磁極面１５６０とが対向する構成とされる。したがって、平面コイル１５１２をより薄くすることによってその分の振動モータ１５００のさらなる薄型化が可能となる。

　（３５）積層基板１５１０は、矩形の移動子１５２０を備える。したがって、移動子１５２０の回転は第１ガイド部１５３２および第２ガイド部１５３４によってより抑制されるので、移動子１５２０の移動がより安定する。また、矩形としたことで、たとえばその長辺と同じ直径を有する円形の移動子よりも重くすることができ、振動量を増やすことができる。

　（３６）移動子１５２０を上から見たときの移動子１５２０の４つの角部１５２０ａは、丸みを帯びた形状に加工されている。したがって、移動子１５２０の角部１５２０ａがガイド枠１５３０に突き当たったとしてもそこで引っかかりにくくなり、移動子１５２０の移動がより安定する。

　（３７）第１の平面コイル１５１２ａの辺のうち、移動子１５２０の移動方向に沿った辺に含まれる配線群の幅ｄ２が、移動方向と交差する辺に含まれる配線群の幅ｄ１よりも小さくなるように、第１の平面コイル１５１２ａが形成される。第２の平面コイル１５１２ｂについても同様とされる。したがって、たとえば幅ｄ１と幅ｄ２とが等しい場合に比べて、幅ｄ２を小さくした分、移動方向と交差する辺に含まれる配線群の長さを長くすることができる。これにより、同じ駆動電流でより大きな推力を移動子１５２０に加えることができ、効率的である。

　（３８）第１ガイド部１５３２および第２ガイド部１５３４は、平面コイル１５１２の辺のうち移動子１５２０の移動方向に沿った辺に含まれる配線群と重複する。したがって、移動子１５２０は移動方向に沿った辺に含まれる配線群からより遠くなる。その結果、移動子１５２０に加わる力のうち、移動子１５２０の移動方向以外の方向の成分を低減できるので、移動子１５２０の移動がよりスムーズとなる。

　（３９）第１および第２の平面コイル１５１２ａ、５１２ｂの表面に対向するように、移動子１５２０の磁極面が配置されるように構成している。これにより、移動子１５２０側から発生する磁力線（磁力線が生じる磁極面）と第１および第２の平面コイル１５１２ａ、１５１２ｂに電流を流すことにより発生する磁束線（磁束線が生じるコイル面）とが平行になる。これに対して、上記特許文献２に記載の構成では、磁石からの磁力線とコイルからの磁束線とは直交する。したがって、上記特許文献２に記載の構成に比べて振動モータ１５００における構成は、磁力線と磁束線とが重なる量が大きいので、その分、移動子１５２０を移動させる際の駆動力を大きくすることができる。

　（４０）第１の平面コイル１５１２ａおよび第２の平面コイル１５１２ｂは、それらを積層基板１５１０の上面１５１０ａへ投影した像が互いに重なり合うように形成される。さらに第２ビア１５０６または第３ビア１５０８から駆動電流を流すと、第１の平面コイル１５１２ａおよび第２の平面コイル１５１２ｂには同じ向きの磁束が発生する。したがって、平面コイル１５１２に発生する磁界を増強することができるので、移動子１５２０の駆動力が向上する。その結果、移動子１５２０の応答時間（移動子１５２０が所定の振動量に達するまでの時間）を短縮することができる。

　また、平面コイルをひとつだけ備える場合は、平面コイルの２つの電極のうちひとつを平面コイルの中心から取り出さなければならない。したがって、積層基板の下面の中心付近に設けられる電極パッドに対応する開口部を第２磁気シールド部材に設ける必要がある。しかしながら第４の実施の形態に係る振動モータ１５００では平面コイルの２つの電極の両方を平面コイルの外側から取り出すことができる。したがって、図１４に示されるとおり第２磁気シールド部材１５７０に切り欠きを設けるだけでよく、開口部を設ける場合に比べて第２磁気シールド部材１５７０の製造上有利である。

　なお、第３の実施の形態において、携帯端末装置は、第１の実施の形態に係る振動モータ１１００の代わりに第４の実施の形態に係る振動モータ１５００を搭載してもよい。この場合、薄型で漏れ磁束の少ない携帯端末装置が実現できる。

　以上、実施の形態に係る振動モータおよび携帯端末装置の構成と動作について説明した。これらの実施の形態は例示であり、それらの各構成要素の組み合わせにいろいろな変形例が可能なこと、また、そうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。

　第１の実施の形態および第２の実施の形態では、積層基板の配線層として単層のコイル１０１２を採用する場合について説明したが、これに限られない。たとえば、コイル１０１２として２層あるいは３層以上の積層コイルを採用してもよい。この場合、コイル１０１２に発生する磁界を増強することができるので、永久磁石１０２４の駆動力が向上する。その結果、移動子の応答時間（移動子が所定の振動量に達するまでの時間）を短縮することができる。

　第１および第４の実施の形態では、永久磁石を用いる場合について説明したが、これに限られず、磁極を有する部材であればよい。また、永久磁石の磁極を反転させた場合でも同様の議論が成立することは言うまでもない。また第１の実施の形態では、永久磁石１０２４は、１対の磁極を１つ有する場合について説明したが、これに限られず、１対の磁極をいくつ有してもよい。

　第１および第４の実施の形態では、積層基板がコイルを２つ含む場合について説明したが、コイルの数はこれに限られない。

　第１および第４の実施の形態では、振動モータの下面が地表を向いている場合について説明したが、これに限られず、振動モータの上面が地表を向いていてもよい。この場合、移動子はカバー（第４の実施の形態の場合はカバー基板）の内側の面に接して往復移動する。

　第１の実施の形態では、ガイド枠１０３０は、第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４と共に移動子１０２０の往復移動を振動モータ１１００全体に伝達するように形成される場合について説明したが、これに限られず、移動子１０２０の移動を受けとめるように形成されればよい。

　第１の実施の形態では、磁気シールド部材１０２２は円筒の一端を閉じた形のカップ状の部材である場合について説明したが、これに限られず、例えば円盤状の部材であってもよい。この場合、打ち抜き加工のみで磁気シールド部材を作成することが可能となり、シールドの製造が容易となりおよびコストダウンに貢献する。また、その円盤の縁部に複数の爪を設けてもよい。この場合、その爪が永久磁石を磁気シールド部材に対して径方向に固定するので、固定の信頼性が向上する。

　第１の実施の形態では、第２接続配線１０６４と、第３接続配線１０６６は共に入力端１０１６に接続され、第１の平面コイル１０１２ａの渦巻の巻回の方向と、第２の平面コイル１０１２ｂの渦巻の巻回の方向が異なるように形成される場合について説明したが、これに限られず、例えば第１の平面コイル１０１２ａの一端と第２の平面コイル１０１２ｂの一端が接続され、両コイルに共通する駆動電流を流すと両コイルが互いに異なる方向の磁束を発生する構成とされればよい。この場合、１つの駆動電流源によって同時に両方のコイルを駆動できるので、駆動回路の簡素化に貢献する。

　第１および第２の実施の形態では、１つの駆動電流源が第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂのどちらにも駆動電流を供給する場合について説明したが、これに限られない。たとえば、第１の平面コイル１０１２ａおよび第２の平面コイル１０１２ｂはそれぞれ別の駆動電流源を備えてもよい。この場合、両コイルは積層基板内に埋設されてしまっているのでその渦巻のピッチなどを変えることが困難な状況において、それぞれのコイルに流す駆動電流の量などを調節することにより、両コイル間の特性、例えばインダクタンス、の違いを、振動モータの性能が上がるように簡易に補償することができる。

　第１および第２の実施の形態では、移動子が積層基板の面上を往復移動する場合について説明したが、これに限られず、移動子はコイルから及ぼされる磁力によって当該面上を移動すればよい。特に周期的に同じ位置に戻る運動であればよく、例えばガイド枠をリング状に形成すると共に複数のコイルを当該リングと同心円状に配置し、当該コイルを適切に駆動することで移動子をリング状のガイド枠に沿って円運動させてもよい。この場合、当該円運動がガイド枠から振動モータ全体に伝わり、振動モータ全体が当該円運動と同様の動きをする。このように様々なバリエーションの動きが可能となる。

　第１および第４の実施の形態では、磁気シールド部材は永久磁石に磁気引力によって固定される場合について説明したが、これに限られず、例えば磁気シールド部材は接着剤などの固定手段によって永久磁石に固定されてもよい。この場合、磁気シールド部材と永久磁石との間の固定の信頼性を更に高めることができる。

　第１の実施の形態では、第１の板バネ１０４２および第２の板バネ１０４４はどちらもＰＥＴなどの非磁性材料からなる厚さ３５０μｍ、長さ１０ｍｍ、幅１．２ｍｍのバネである場合について説明したが、これに限られず、コイル１０１２の配列の両端部に設けられ、移動子１０２０を支持する弾性部材であればよい。この場合、移動子１０２０の往復移動がガイド枠１０３０および積層基板１０１０等に効率的に伝わるので、振動モータ１１００全体をより効率的に振動させることができる。また、積層基板１０１０の上面１０１０ａ上に設けられ、永久磁石１０２４の移動を受けとめる伝達部であってもよい。

　第１および第２の実施の形態では、永久磁石１０２４の磁極面１０２４Ｓに取り付けられた磁気シールド部材１０２２の部分と、永久磁石１０２４の側面１０２４ａを覆う部分とが、一体化している場合について説明したが、これに限られない。たとえば、それらの部分は連続して設けられていれば別々の部材であってもよい。

　第１および第４の実施の形態では、磁気シールド部材と永久磁石とが接する場合について説明したが、これに限られず、磁気シールド部材は永久磁石に伴って動けばよい。

　第１の実施の形態では、ガイド枠１０３０が移動子１０２０およびコイル１０１２を囲むように積層基板１０１０の上面１０１０ａ上に設けられる場合について説明したが、これに限られない。たとえば、ガイド枠１０３０がコイル１０１２全体を囲む必要はなく、ガイド枠１０３０の下にもコイル１０１２が設けられてもよい。

　第１および第２の実施の形態では、永久磁石は円板形状に形成される場合について説明したが、これに限られず、例えば小判型形状に形成されてもよい。図９は、変形例に係る永久磁石１０２８を示す上面図である。永久磁石１０２８は、円板から２つの互いに平行な弦に沿って２つの部分を切り落とした形状を有する。永久磁石１０２８は図９の矢印Ｈ１および矢印Ｈ２の方向に移動するように振動モータに搭載される。この場合、切り落とした部分だけ永久磁石１０２８の移動量（移動範囲）が拡がるので、その分、永久磁石１０２８がさらに加速されるので、振動モータの振動量が増加する。また、永久磁石１０２８がコイル１０１２間を移動する際は、永久磁石１０２８と積層基板１０１０との接触部分は線状となるが、永久磁石１０２８が傾斜せず面接触する場合よりも摩擦抵抗が軽減される。

　第４の実施の形態に係る振動モータ１５００において、第１絶縁樹脂層１５５１またはカバー基板１５０２もしくはその両方の移動子１５２０側の表面に、第１絶縁樹脂層１５５１（またはカバー基板１５０２）の表面が有する摩擦係数よりも低い摩擦係数を有する材料によって形成される低摩擦層が設けられてもよい。この場合、移動子１５２０との間の摩擦抵抗を軽減することができるので、電気エネルギーを振動へ変換する効率が上昇する。さらに、移動子１５２０の応答時間（移動子１５２０が所定の振動量に達するまでの時間）を短縮することもできる。上述の低摩擦層を構成する材料としては、第１の実施の形態における低摩擦層１０５８と同様の材料が用いられる。

　第４の実施の形態では、第１磁気シールド部材１５２２は、接着済み永久磁石の第２磁極面１５６２からはみ出さないよう形成される場合について説明したが、これに限られない。たとえば、第１磁気シールド部材は、接着済み永久磁石の平面コイル１５１２と対向する第１磁極面１５６０とは反対側の第２磁極面１５６２に取り付けられた部分から、接着済み永久磁石の側面の少なくとも一部を覆うように延在してもよい。この場合、第１磁気シールド部材は接着済み永久磁石を径方向に固定する。したがって、移動子１５２０が往復移動する際、接着済み永久磁石と第１磁気シールド部材とが径方向に互いにずれにくい。これにより第１磁気シールド部材と接着済み永久磁石との固定の信頼性が向上する。

　また、側面に延在する部分により、移動子１５２０の径方向への磁束の漏れ出しを軽減することができる。また、第１磁気シールド部材の内側の側面の高さは接着済み永久磁石の厚さに揃えるように形成されてもよい。この場合、上記の径方向への磁束の漏れ出しはさらに軽減される。

　第４の実施の形態では、積層基板１５１０が第１の平面コイル１５１２ａおよび第２の平面コイル１５１２ｂを含む場合について説明したが、これに限られない。たとえば、積層基板が平面コイルをひとつだけ含んでもよい。この場合、積層基板の構成が簡単となる。

　第４の実施の形態では、第１の永久磁石１５２４と第２の永久磁石１５２６とが直接互いに接着固定される場合について説明したが、これに限られない。たとえば第１の永久磁石１５２４と第２の永久磁石１５２６との間にスペーサを挿入し、第１の永久磁石１５２４および第２の永久磁石１５２６をそのスペーサに接着固定してもよい。この場合、そのスペーサの質量分だけ移動子１５２０の質量を増やすことができ、振動量の増加に寄与する。

　第４の実施の形態では、移動子に板バネの一端を固定しておらず、これが当該移動子が積層基板に対して傾斜して移動する一因となっているが、当該移動子を傾斜させて移動させる手段はこれに限られない。たとえば、平面コイルの配線のピッチを、中央側を密に、外側を疎にしてもよい。また、第２磁気シールド部材を外すと、第２磁気シールド部材と移動子との間の磁気引力が無くなり、移動子はより傾斜しやすくなる。

　第４の実施の形態では、接着済み永久磁石が２対の磁極を有する構成について説明したが、これに限らず、平面コイルと対向する面においてＮ極とＳ極とを有している構成であればよい。

　第４の実施の形態では、第１の板バネ１５４２および第２の板バネ１５４４はどちらもＰＥＴなどの非磁性材料からなるバネである場合について説明したが、これに限られない。

　本発明の第５実施形態について説明する。従来の振動モータについて本発明者は以下の課題を認識した。
　特許文献３に記載された振動アクチュエータでは、マグネットの各磁極間で磁束が形成されるため、磁路が長くなってしまう。そのため、コイルに強い磁力を作用させることができず、十分な振動量を得ることが困難である。

　本発明の第５実施形態は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、薄型化を図ることが可能であるとともに、十分な振動量が得られる振動モータ及び携帯機器を提供することである。

　（第５実施形態）
　本発明の第５実施形態に係る振動モータ１の構成について、図１６～図２０を参照して説明する。図１６は、振動モータ１の構成を説明するための分解斜視図である。

　振動モータ１は、可動部２と、コイル基板３と、皿付きバネ４と、上側筐体５ａと、下側筐体５ｂとから構成されている。上側筐体５ａ及び下側筐体５ｂは、互いの開口部を塞ぐように組み合わせることにより直方体の筐体５を形成する。筐体５の内部には、可動部２、コイル基板３及び皿付きバネ４が収容されている。振動モータ１は、コイル基板３に電流を流すことにより、筐体５内において可動部２を往復移動させ、皿付きバネ４及び筐体５で可動部２の移動を受け止めて振動する構成である。

　図１７は、可動部２の構成を説明するための分解斜視図である。可動部２は、磁石６と、筒型ヨーク７と、側面用ヨーク８とから構成されている。磁気シールドとしての機能を有する筒型ヨーク７及び側面用ヨーク８が磁石６を覆うことにより、磁石６の磁束が可動部２の外部に漏出することを抑制している。

　磁石６は、磁性材料から構成された直方体の部材であり、その厚み方向に一対の磁極を有する２つの領域６１、６２と、領域６１、６２の間に磁性材料からなる中性領域６３とを含む。ここで、領域６１、６２は、互いに磁極が逆方向となっている。

　なお、磁石６は、単一の磁性材料に対して領域６１、６２及び中性領域６３を含むように着磁することによって形成してもよいし、２つの磁石の間に磁化されていない磁性材料を挟んで接着することによって形成してもよい。

　筒型ヨーク７は、保磁力が小さく透磁率が大きい材料によって構成された直方体の部材であり、その長手方向に中空が形成されている。筒型ヨーク７を構成する材料としては、パーマロイ、炭素鋼、普通鋼、珪素鋼、フェライト系ステンレス、パーメンジュール、マルテンサイト系ステンレス、析出硬化系ステンレス等が好適である。このように、筒型ヨーク７は透磁率が大きい材料から構成されているので、周囲の磁束線をより多くその内部に閉じこめることができる。磁石６と筒型ヨーク７との間に働く磁気引力により、磁石６は筒型ヨーク７の内壁底面に固定されている。このとき、磁石６の領域６１、６２及び中性領域６３が筒型ヨーク７の開口面とは垂直な方向に延びるように、磁石６は筒型ヨーク７に固定されている。なお、磁石６と筒型ヨーク７との間の固定をより強固するために、接着剤を用いて接着させてもよい。

　側面用ヨーク８は、筒型ヨーク７と同一の材料によって構成されており、筒型ヨーク７の両開口面のうち、磁石６が設けられている部分を塞ぐように配置された側面領域８ａと、筒型ヨーク７の外壁底面を覆うように配置された底面領域８ｂとを含んでいる。側面領域８ａの高さは、可動部２の移動によりコイル基板３と接触しないように、磁石６の側面の上端よりも下側に形成されている。なお、側面用ヨーク８と、磁石６及び筒型ヨーク７とは、接着剤を用いて固定されている。

　図１８（ａ）は振動モータ１の内部構造を説明するための上面図であり、図１８（ｂ）は図１８（ａ）のＡ－Ａ’断面図であり、図１８（ｃ）は図１８（ａ）のＢ－Ｂ’断面図である。コイル基板３は、矩形状の基板であり、筒型ヨーク７の開口面からコイル基板３の長手方向に沿って挿入されている。コイル基板３の短辺側の両端部が上側筐体５ａ及び下側筐体５ｂで挟まれることにより、コイル基板３は筐体５に固定されている。コイル基板３と磁石６の磁極面とは、筒型ヨーク７の内部で平行になるように配置されている。ここで、平行とは、互いに平行な状態だけでなく、可動部２が往復移動する際の妨げにならない程度に平行な状態からずれた状態を含んでいる。

　図１９（ａ）はコイル基板３の上層に形成された平面コイル９の上面図であり、図１９（ｂ）はコイル基板３の下層に形成された平面コイル９の上面図であり、図１９（ｃ）はコイル基板３のＸ－Ｘ’断面図である。平面コイル９は、コイル基板３の内部に２層の渦巻状に形成されている。

　具体的には、コイル基板３は、図１９（ｃ）に示すように、４層構造となっており、平面コイル９が埋設されたコイル層３ｂ、３ｃと、その両面に設けられた絶縁層３ａ、３ｄとから構成されている。絶縁層３ａ、３ｄは、コイル層３ｂ、３ｃに設けられた平面コイル９を外部から絶縁している。平面コイル９は、コイル層３ａにおいて、電極パッド１０ａからコイル基板３の中心部に向かって略矩形状に反時計回りに巻かれた上層コイル９１と、コイル層３ｂにおいて、コイル基板３の中心部から電極パッド１０ｂに向かって略矩形状に反時計回りに巻かれた下層コイル９２とから構成されている。平面コイル９の上層コイル９１及び下層コイル９２は、コイル基板３の中心部において接続されている。

　また、平面コイル９は、図１９（ａ）、（ｂ）に示すように、コイル層３ｂ、３ｃにおいて、コイル基板３の長手方向に沿って延びる複数のコイル線を含む領域９Ａ、９Ｂを有しており、領域ごとに同じ方向に電流が流れるように形成されている。また、平面コイル９は、その両端が電極パッド１０ａ、１０ｂを介して図示しない駆動電流供給回路に接続されており、駆動電流供給回路から矢印Ａ方向又はＢ方向に電流が供給される。駆動電流供給回路は、所定の周期で平面コイル９に供給する電流の方向を切り替える。

　図２０（ａ）は皿付きバネ４の構成を説明するための上面図であり、図２０（ｂ）は図２０（ａ）を矢印の方向から見た正面図である。皿付きバネ４は、非磁性材料から構成されており、２つの板バネ４ａ、４ｂと、受皿４ｃとが一体的に形成されている。皿付きバネ４は、受皿４ｃ上に可動部２を搭載し、可動部２の移動方向における両側面を板バネ４ａ、４ｂによって挟みこんで支持し、可動部２の移動を受け止めるものである。皿付きバネ４を構成する材料としては、ＳＵＳ３０１、３０４等が好適である。

　２つの板バネ４ａ、４ｂは、下側筐体５ｂに固定される固定部４ｄ、４ｅと、可動部２を支持する支持部４ｆ、４ｇとを含んでいる。支持部４ｆ、４ｇは、可動部２の移動を受け止めるために、下側筐体５ｂと可動部２との間で１つの屈曲点４Ｘ、４Ｙを有している。また、支持部４ｆ、４ｇは、図２０（ｂ）に示すように、可動部２の重心Ａを含む移動方向上に位置するように配置されており、その高さは可動部２の高さに合わせて設計されている。

　一方、固定部４ｄ、４ｅの上端の高さは、図２０（ｃ）に示すように、支持部４ｆ、４ｇの上端の高さよりも低くなっている。これは、コイル基板３が配置された場合、固定部４ｄ、４ｅの上端の高さを支持部４ｆ、４ｇと同一にしていると、固定部４ｄ、４ｅとコイル基板３とが接触してしまうためである。そのため、固定部４ｄ、４ｅは、コイル基板３と接触しない高さに設計されている。

　また、可動部２の移動に伴い、受皿４ｃ及び支持部４ｆ、４ｇが下側筐体５ｂの内壁底面と接触しないように、受皿４ｃ及び支持部４ｆ、４ｇの下端が固定部４ｄ、４ｅの下端よりも高い位置にくるように構成されている。すなわち、皿付きバネ４は、下側筐体５ｂの内壁底面から浮いた状態で可動部２を保持する。また、受皿４ｃは、可動部２が搭載されるために、可動部２の底面と略同一の形状を有している。

　なお、振動モータ１の組み立て段階において、皿付きバネ４は、受皿４ｃが２つに分かれており、一方の受皿４ｃには板バネ４ａが、他方の受皿４ｃには板バネ４ｂが接続されている。各部品は、可動部２の底面に固定されることにより皿付き板バネ４を構成する。

　次に、振動モータ１の駆動方法について、図２１を参照して説明する。図２１（ａ）～（ｃ）は、振動モータ１の駆動方法を説明するための断面図である。ここでは、可動部２をまずＸ１方向に移動させる場合について説明する。

　振動モータ１を駆動する場合、コイル基板３の平面コイル９に、駆動電流供給回路より電極パッド１０ａを介して、図１９（ａ）に示すＡ方向に電流が供給される。これにより、平面コイル９の領域９Ａには、図２１（ａ）に示すように、コイル基板３の長手方向に沿って紙面奥側から手前側、すなわちＺ２方向に電流が流れる。また、平面コイル９の領域９Ｂには、コイル基板３の長手方向に沿って紙面手前側から奥側、すなわちＺ１方向に電流が流れる。

　ここで、磁石６のコイル基板３と対向する面のＮ極面６ＡとＳ極面６Ｂとの間において発生する磁界の向きは、Ｎ極面６Ａ上においては、Ｎ極面６Ａの表面からコイル基板３に向かった方向、すなわちＹ１方向となる。また、Ｓ極面６Ｂ上においては、コイル基板３からＳ極面６Ｂに向かった方向、すなわちＹ２方向となる。このように、磁石６のＮ極面６ＡとＳ極面６Ｂとの間において発生する磁界は、平面コイル９の領域９Ａ、９Ｂの電流の流れる方向と直交することとなる。

　そのため、平面コイル９の領域９Ａを流れる電流は、磁石６のＮ極面６Ａ上の磁界からＸ２方向への力を受ける。また、平面コイル９の領域９Ｂを流れる電流は、磁石６のＳ極面６Ｂ上の磁界からＸ２方向への力を受ける。すなわち、コイル基板３には、Ｘ２方向への力が作用する。

　しかし、コイル基板３は上側筐体５ａ及び下側筐体５ｂにより固定されているので、磁石６は反作用によりＸ１方向への力を受けることになる。したがって、可動部２は、図２１（ｂ）に示すように、Ｘ１方向に移動する。このとき、可動部２は、Ｘ１方向において皿付きバネ４の板バネ４ｂに支持されているために、板バネ４ｂが撓んで可動部２の移動を受け止める。

　次に、駆動電流供給回路は、平面コイル９に供給する電流の向きを、図１９（ｂ）に示すＢ方向に切り替える。これにより、平面コイル９の領域９Ａには、図２１（ｃ）に示すように、コイル基板３の長手方向に沿って紙面手前側から奥側、すなわちＺ１方向に電流が流れる。また、平面コイル９の領域９Ｂには、コイル基板３の長手方向に沿って紙面奥側から手前側、すなわちＺ２方向に電流が流れる。

　そのため、平面コイル９の領域９Ａを流れる電流は、磁石６のＮ極面６Ａ上の磁界からＸ１方向への力を受ける。また、平面コイル９の領域９Ｂを流れる電流は、磁石６のＳ極面６Ｂ上の磁界からＸ１方向への力を受ける。これにより、可動部２は、図２１（ｃ）に示すように、Ｘ２方向に移動する。このとき、可動部２は、Ｘ２方向において皿付きバネ４の板バネ４ａに支持されているために、板バネ４ａが撓んで可動部２の移動を受け止める。

　以上のように、振動モータ１は、駆動電流供給回路により平面コイル９に供給する電流の方向を切り替えることにより、可動部２をＸ１方向及びＸ２方向に往復移動させる。このとき、駆動電流供給回路が平面コイル９に電流を供給するタイミングを調節することにより、可動部２を共振させることができ、大きな振動量を得ることが可能である。

　なお、可動部２をＸ１方向に最大に移動させたとき、磁石６のＮ極面６Ａが平面コイル９の領域９Ｂと重畳してしまうと、領域９Ｂを流れる電流がＮ極面６Ａ上の磁界からＸ１方向の力を受け、磁石６にＸ２方向への力が作用してしまう。すなわち、可動部２が移動しようとする方向とは逆方向に力が作用し、振動モータ１の振動量が低下してしまう。

　そこで、磁石６は、可動部２をＸ１方向に最大に移動させたとき、磁石６のＮ極面６Ａが平面コイル９の領域９Ｂと重畳することがないように、中性領域６３の幅が調節されている。中性領域６３は磁化されていないので、領域９Ｂと対向したとしても、磁石６をＸ２方向へ移動させるための力は作用しない。また、可動部２をＸ２方向に最大に移動させた場合も同様に、磁石６のＳ極面６Ｂと平面コイル９の領域９Ａとが重畳しないように、磁石６の中性領域６３の幅が調節されている。したがって、中性領域６３の幅は、磁石６と平面コイル９との関係で決定される。

　以下に、本実施形態の振動モータ１の効果について説明する。

　（４１）振動モータ１は、可動部２をコイル基板３に沿って移動させている。これにより
、可動部２の移動スペースをその厚み方向に設ける必要がなく、装置全体を薄型化することが可能である。

　（４２）振動モータ１は、下側筐体５ｂと筒型ヨーク７との間に板バネ４ａ、４ｂが設けられている。これにより、コイル基板３が挿入された部分を気にすることなく、板バネ４ａ、４ｂを配置することができ、設計自由度を向上させることができる。すなわち、板バネ４ａ、４ｂの設置位置を自由に設定でき、また、十分な高さを有する板バネ４ａ、４ｂを用いることが可能である。そのため、振動モータ１は、可動部２の移動を効率良く受け止めることができ、振動量を増大させることができる。

　（４３）振動モータ１は、板バネ４ａ、４ｂが可動部２の重心Ａを含む移動方向上に位置するように配置されている。これにより、板バネ４ａ、４ｂが可動部２の移動を効率良く受け止めることができるため、振動モータ１の振動量を増大させることができる。

　（４４）振動モータ１は、筒型ヨーク７が磁気シールドとしての機能を有している。これにより、磁石６が生じる磁束が筒型ヨーク７内を通過するため、筒型ヨーク７が設けられていない場合と比較して、磁路を短くすることができる。そのため、平面コイル９に作用する磁力が大きくなり、振動モータ１の振動量を増大させることができる。

　（４５）振動モータ１は、筒型ヨーク７の両開口面のうち、磁石６が設けられている部分を塞ぐよう配置されるとともに、筒型ヨーク７の外壁底面を覆うように配置された側面用ヨーク８を備えている。これにより、磁石６のＮ極面６Ａ、Ｓ極面６Ｂと、側面用ヨーク８の端部との間で磁束が形成されるため、側面用ヨーク８が設けられていない場合と比較して、磁路を短くすることができる。そのため、平面コイル９に作用する磁力が大きくなり、振動モータ１の振動量を増大させることができる。

　（４６）振動モータ１は、筒型ヨーク７及び側面用ヨーク８により、磁石６のコイル基板３と対向する面以外の部分を覆っている。これにより、磁石６が生じる磁束が可動部２の外部に漏出することを抑制することができるため、振動モータ１の動作効率を高めることができ、振動量を増大させることが可能である。

　（４７）振動モータ１の磁石６は、その厚み方向に一対の磁極を有する２つの領域６１、６２と、領域６１、６２の間に磁性材料からなる中性領域６３とを含むように形成されており、領域６１、６２には互いに磁極が逆方向となっている。これにより、磁石６が生じる下方向の磁束を低減することができるため、振動モータ１における下方向への磁束漏れを抑制することができる。その結果、振動モータ１の動作効率を高めることができ、振動量を増大させることができる。

　（４８）磁石６の中性領域６３は、磁石６をＸ１方向に最大に移動させた場合に、平面コイル９の領域９Ｂと磁石６のＮ極面６Ａとが重畳しないように設計されており、磁石６をＸ２方向に最大に移動させた場合に、平面コイル９の領域９Ａと磁石６のＳ極面６Ｂとが重畳しないように設計されている。これにより、可動部２をＸ１、Ｘ２方向に最大に移動させた場合、可動部２が移動しようとする方向とは逆方向に力が作用することを防止することができる。そのため、振動モータ１の振動量を増大させることができる。

　（４９）振動モータ１の皿付きバネ４は、受皿４ｃ及び支持部４ｆ、４ｇの下端が、固定部４ｄ、４ｅの下端よりも高い位置にくるように構成されている。これにより、可動部２は下側筐体５ｂの内壁底面からは浮上した状態で保持されるために、可動部２が移動した場合に受皿４ｃと下側筐体５ｂの内壁底面との間に摩擦が生じることを防止することができる。そのため、可動部２を効率良く移動させることができるために、振動モータ１の振動量を増大させることができる。

　（５０）支持部４ｆ、４ｇは、可動部２の移動を受け止めるために、下側筐体５ｂと可動部２との間で１つの屈曲点４Ｘ、４Ｙを有している。したがって、その屈曲点４Ｘ、４Ｙによって皿付きバネ４の弾性力が向上し、可動部２の往復移動がより安定する。

　以上のように、本実施形態の振動モータ１の構成について説明してきたが、本発明の振動モータは上述した構成に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。以下に、振動モータ１の変形例及びその効果について説明する。

　（ア）本実施形態では、本発明の「コイル」として平面コイル９を用いているが、平面コイルに限られず、その厚み方向に厚みのあるコイルを用いてもよい。

　（イ）本実施形態では、本発明の「弾性部材」として板バネ４ａ、４ｂを用いているが、板バネに限られず、ねじりバネ等の他の構成の弾性部材を用いてもよい。ただし、どのような構成の弾性部材を用いるとしても、バネ定数を大きくするために、そのサイズは可動部２の高さに近い方が好ましい。

　（ウ）本実施形態では、板バネ４ａ、４ｂが可動部２の重心Ａを含む移動方向上に位置するように配置されているが、重心Ａを含む移動方向上でなくとも、可動部２の移動方向に設けられていればよい。また、本実施形態では、可動部２の移動方向における両側面に板バネが設けられているが、可動部２の移動方向における一方の側面にのみ設けられている構成であってもよい。また、可動部２の移動方向における両側面において、それぞれ２つ以上の板バネが設けられている構成であってもかまわない。

　（エ）本実施形態では、皿付きバネ４は板バネ４ａ、４ｂと受皿４ｃとが一体的に形成されているが、受皿４ｃが設けられていない構成であってもかまわない。

　（オ）本実施形態では、皿付きバネ４は非磁性材料から構成されているが、磁性材料から構成されていてもよい。この場合、皿付きバネ４は磁気シールドとしての機能を有するために、磁石６が生じる磁束が振動モータ１の外部に漏出することを更に抑制することができる。そのため、振動モータ１の動作効率を高め、振動量を増大させることが可能である。

　（カ）本実施形態では、振動モータ１の組み立て段階において、皿付きバネ４は、受皿４ｃが２つに分かれており、一方の受皿４ｃには板バネ４ａが、他方の受皿４ｃには板バネ４ｂが接続されている構成であるが、本発明はこれに限られない。すなわち、皿付き板バネ４は、振動モータ１の組み立て段階において、既に一体となった構成のものを用いてもよい。

　（キ）本実施形態では、コイル基板３の磁石６と対向する面には何も設けられていないが、コイル基板３表面の摩擦係数よりも低い摩擦係数を有する低摩擦層が形成されていてもよい。これにより、可動部２が移動する場合、コイル基板３と磁石６との摩擦によるエネルギーの損失を抑制できる。そのため、可動部２を効率的に移動させることができ、振動モータ１の振動量を増加させることが可能である。

　（ク）本実施形態では、可動部２は筒型ヨーク７の内壁底面に磁石６が固定されている構成であるが、本発明はこれに限られない。すなわち、可動部２は、側面用ヨーク８に磁石６を搭載し、側面用ヨーク８が筒型ヨーク７の内壁底面に固定されている構成であってもよい。また、筒型ヨーク７の下端が開口面から突出しており、折り曲げることにより磁石６の側面を覆うような構成であってもかまわない。この場合、側面用ヨーク８を設ける必要が無くなるため、部品数を低減することができ、装置全体を薄型化することが可能である。

　（ケ）本実施形態では、側面用ヨーク８の側面領域８ａの高さは、磁石６の側面の上端よりも下側に形成されているが、本発明はこれに限られない。

　例えば、振動モータ１を薄型化する必要が無い場合には、側面領域８ａの高さを、磁石６の側面の上端よりも突出した構成とすることが好ましい。振動モータ１を薄型化する必要がなければ、側面領域８ａを高くしたとしても、可動部２の移動によりコイル基板３と側面領域８ａとが接触することは防止することができる。さらに、側面領域８ａを高くすることにより、磁石６が生じる磁束が可動部２の外部に漏出することを更に抑制することができる。

　また、振動モータ１の振動量を本実施形態よりも更に増大させたい場合には、側面領域８ａの高さを、磁石６の側面の上端と略同一とすることが好ましい。これにより、磁石６のＮ極面６Ａ、Ｓ極面６Ｂと、側面用ヨーク８の端部との間で形成される磁束の磁路を最短とすることができる。そのため、平面コイル９に作用する磁力が更に大きくなり、振動モータ１の振動量を増大させることができる。

　（コ）本実施形態では、側面用ヨーク８を筒型ヨーク７と同一の材料によって構成しているが、異なる材料を用いてもよい。この場合、側面用ヨーク８は筒型ヨーク７よりも磁石６からの距離が遠いために、低磁界でも透磁率の高い材料、例えば、パーマロイ等が好適に用いられる。

　（サ）本実施形態では、磁石６と平面コイル９との位置関係が、磁石６をＸ１方向に最大に移動させた場合に、平面コイル９の領域９Ｂと磁石６のＮ極面６Ａとが重畳しないように設計されており、磁石６をＸ２方向に最大に移動させた場合に、平面コイル９の領域９Ａと磁石６のＳ極面６Ｂとが重畳しないように設計されているが、本発明はこれに限られない。

　例えば、磁石６と平面コイル９との位置関係は、磁石６をＸ１方向に最大に移動させた場合に、領域９ＢとＮ極面６Ａとが重畳する面積よりも、領域９ＢとＳ極面６Ｂとが重畳する面積の方が大きくなるように設計されており、磁石６をＸ２方向に最大に移動させた場合に、領域９ＡとＳ極面６Ｂとが重畳する面積よりも、領域９ＡとＮ極面６Ａとが重畳する面積の方が大きくなるように設計されていてもよい。

　これにより、可動部２をＸ１、Ｘ２方向に最大に移動させた場合であっても、可動部２が移動しようとする方向に作用する力を、その逆方向に作用する力よりも大きくすることができる。

　また、本実施形態では、磁石６と平面コイル９との位置関係の調節を、磁石６の中性領域６３の幅を調節することにより行っているが、皿付きバネ４の板バネ４ａ、４ｂの弾性力や、平面コイル９の領域９Ａと領域９Ｂとの間隔や、筒型ヨーク７の短手方向の長さ等を調節することにより行ってもよい。

　１　振動モータ、　２　可動部、　３　コイル基板、　４　皿付きバネ（弾性部材）、　５　筐体（固定部）、　５ａ　上側筐体（固定部）、　５ｂ　下側筐体（固定部）、　６　磁石、　７　筒型ヨーク、　８　側面用ヨーク（磁気シールド部材）、　９　平面コイル（コイル）、　１１００　振動モータ、　１０１０　積層基板、　１０１２　コイル、　１０１２ａ　第１のコイル、　１０１２ｂ　第２のコイル、　１０１６　入力端、　１０２０　移動子、　１０２２　磁気シールド部材、　１０２４　永久磁石、　１０３０　ガイド枠、　１０４２　第１の板バネ、　１０４４　第２の板バネ、　１４００　携帯端末装置。

　本発明の振動モータは、可動部をコイル面に沿って移動させるために、可動部の移動スペースをその厚み方向に設ける必要がなく、薄型化することができる。また、上記振動モータでは、磁石のコイルと対向する磁極面と、側面用磁気シールドの端部との間で磁束が形成されるため、磁路を短くすることができる。そのため、コイルに作用する磁力が大きくなり、上記振動モータの振動量を増大させることができる。

　また、本発明の携帯機器は、上記振動モータを搭載しているために、薄型化を図るとともに、振動量を増大させることが可能となる。

Claims

　コイルを有する基板と、
　前記基板の一方の面側において、前記コイルと対向する磁極面を有し、前記基板上を移動する可動部と、
　前記基板の一方の面上に設けられ、前記可動部の移動を受けとめる伝達部と、
　前記可動部に伴って動く磁気シールド部材と、を備えることを特徴とする振動モータ。
　前記可動部の前記磁極面には、前記可動部の移動方向においてＮ極とＳ極とが配置されることを特徴とする請求項１に記載の振動モータ。
　前記磁気シールド部材は、前記可動部のうち、前記コイルと対向する磁極面とは反対側の面に取り付けられることを特徴とする請求項１に記載の振動モータ。
　前記磁気シールド部材は、前記可動部のうち、前記コイルと対向する磁極面とは反対側の面に取り付けられた部分から、前記可動部の側面の少なくとも一部を覆うように延在していることを特徴とする請求項３に記載の振動モータ。
　前記コイルは渦巻き状のコイルであることを特徴とする請求項１に記載の振動モータ。
　前記可動部は、単一のコイル上を移動することを特徴とする請求項１に記載の振動モータ。
　請求項１に記載の振動モータと、
　前記振動モータを駆動し振動を発生せしめる駆動制御部と、を備えることを特徴とする携帯端末装置。
　前記振動モータの面のうち前記磁気シールド部材側の面が、その反対側の面よりも当該携帯端末装置の筐体に近くなるように前記振動モータが前記筐体の内部に配置されることを特徴とする請求項７に記載の携帯端末装置。
　固定部と、
　磁石と、
　前記磁石と対向して配置され、前記磁石を移動させるコイルと、
　前記磁石の移動方向において前記固定部と前記磁石との間に配置された弾性部材と、
　前記磁石の前記コイルと対向する第１面とは反対側の第２面を覆う第２面用磁気シールドと、前記磁石の側面を覆う側面用磁気シールドとを含む磁気シールド部材とを備えることを特徴とする振動モータ。
　前記側面用磁気シールドは、前記磁石の側面の前記第２面側の端部から前記第１面側の端部近傍まで形成されていることを特徴とする請求項９に記載の振動モータ。
　前記側面用磁気シールドの前記第１面側の端部は、前記磁石の側面の前記第１面側の端部よりも前記第２面側となるように形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の振動モータ。
　前記側面用磁気シールドの前記第１面側の端部は、前記磁石の側面の前記第１面側の端部よりも前記第２面から離れた位置まで延びて形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の振動モータ。
　請求項９に記載の振動モータを備えることを特徴とする携帯機器。