WO2010023017A1

WO2010023017A1 - Optische positionsmesseinrichtung

Info

Publication number: WO2010023017A1
Application number: PCT/EP2009/058667
Authority: WO
Inventors: Michael Hermann
Original assignee: Dr. Johannes Heidenhain Gmbh
Priority date: 2008-08-28
Filing date: 2009-07-08
Publication date: 2010-03-04
Also published as: EP2318812A1; CN102138060A; CN102138060B; US20110188055A1; US8817272B2; JP5717633B2; DE102008044858A1; ES2526434T3; JP2012500981A; EP2318812B1

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position von zwei relativ zueinander in mindestens einer Messrichtung beweglichen Objekten. Die Positionsmesseinrichtung weist eine Maßverkörperung auf, die mit einem der beiden Objekte verbunden ist, die eine sich in Messrichtung erstreckende Inkrementalteilung sowie mindestens eine Referenzmarkierung an einer Referenzposition besitzt. Die Referenzmarkierung umfasst zwei zu einer Referenzmarkierungs-Symmetrieachse spiegelsymmetrisch angeordnete Referenzmarkierungs-Teilfelder, die jeweils aus einer sich in Messrichtung erstreckenden Struktur mit einer sich örtlich veränderlichen Teilungsperiode bestehen. Ferner weist die Positionsmesseinrichtung eine Abtasteinheit auf, die mit dem anderen der beiden Objekte verbunden ist und der Abtastmittel zugeordnet sind, die zur Erzeugung mindestens eines Referenzsignals an der Referenzposition dienen. Die Abtastmittel umfassen mindestens eine divergent in Richtung der Maßverkörperung abstrahlende Lichtquelle sowie eine Detektoranordnung mit Elementen, die entlang der Messrichtung derart angeordnet sind, dass sich ausgehend von einer zentralen Detektoranordnungs-Symmetrieachse in Messrichtung die Mittenabstände zwischen benachbarten Elementen in der gleichen Richtung verändern wie ausgehend von der Referenzmarkierungs-Symmetrieachse die Teilungsperioden der Strukturen in den Referenzmar kierungs-Teilfeldern.

Description

Optische Positionsmesseinrichtung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung.

Aus der EP 513 427 A1 der Anmelderin ist eine optische Positionsmesseinrichtung bekannt, die zur Erfassung der Position von zwei relativ zueinander in mindestens einer Messrichtung beweglichen Objekten geeignet ist. Hierzu umfasst die bekannte Positionsmesseinrichtung eine Maßverkörperung, die mit einem der beiden Objekte verbunden ist. Die Maßverkörperung weist eine sich in Messrichtung erstreckende Inkrementalteilung sowie mindestens eine Referenzmarkierung an einer Referenzposition auf. Die Referenzmar- kierung besteht aus einer Struktur mit einer sich örtlich veränderlichen Teilungsperiode, d.h. sie wird aus einer Struktur gebildet, die eine Vielzahl von verschiedenen Teilungsperioden umfasst. Derartige Strukturen werden auch als sog. gechirpte Teilungsstrukturen oder gechirpte Gitter bezeichnet. Ferner umfasst die Positionsmesseinrichtung eine Abtasteinheit, die mit dem anderen der beiden Objekte verbunden ist und Abtastmittel aufweist, die zur Erzeugung mindestens eines verschiebungsabhängigen Inkrementalsignals sowie mindestens eines Referenzsignals an einer Referenzposition über die optische Abtastung der Inkrementalteilung und der Referenzmarkierung entlang der Messstrecke dienen. Ein Referenzimpulssignal entsteht hierbei, wenn sich alle Signalfrequenzanteile, die durch die unterschiedlichen ge- chirpten Teilungsperioden der Maßverkörperung und der Abtastgitter entstehen, phasenrichtig überlagern.

In Figur 8 der EP 513 427 A1 ist eine spezielle Variante einer derart ausge- bildeten gechirpten Referenzmarkierung offenbart, die zwei zu einer Symmetrieachse spiegelsymmetrisch angeordnete Referenzmarkierungs-Teilfel- der umfasst. Die beiden Referenzmarkierungs-Teilfelder bestehen jeweils aus einer sich in Messrichtung erstreckenden Struktur mit einer sich örtlich veränderlichen Teilungsperiode. Die aus der EP 513 427 A1 bekannte Positionsmesseinrichtung basiert auf einem sog. interferentiellen Abtastprinzip, bei dem das erste Gitter im Abtaststrahlengang kollimiert, d.h. mit einem parallel-gerichteten Strahlenbündel beleuchtet wird. Die verschiebungsabhängigen Abtastsignale in Form der Inkremental- und Referenzsignale werden aus der konstruktiven und destruktiven Überlagerung mehrerer Teilstrahlenbündel gewonnen, die im Fall der Relativbewegung von Maßverkörperung und Abtasteinheit verschiebungsabhängige Phasenverschiebungen erfahren. Auf diese Art und Weise lassen sich hochaufgelöste Positionsinformationen in Bezug auf die Relativ- position der beiden Objekte gewinnen.

Ein hierzu alternatives Abtastprinzip für optische Positionsmesseinrichtungen ist beispielsweise aus der Veröffentlichung von R. Pettigrew mit dem Titel „Analysis of Gräting Imaging and its Application to Displacement Metrology" in SPIE Vol. 36, Ist European Congress on Optics applied to Metrology (1977), S. 325 - 332 bekannt. Maßgeblich bei diesem Abtastprinzip ist die divergente, d.h. nicht-kollimierte Beleuchtung des ersten Gitters im Abtaststrahlengang.

Die DE 197 48 802 A1 der Anmelderin betrifft ebenfalls gechirpte Referenzmarkierungen in optischen Positionsmesseinrichtungen. Aus dieser Druckschrift ist desweiteren bekannt, dass sich derartige Referenzmarkierungen auch in Verbindung mit den vorgenannten Abtastprinzipien einsetzen lassen, also in Verbindung mit Systemen, die eine divergente Beleuchtung des ers- ten Gitters im Abtaststrahlengang vorsehen. Weder die DE 197 48 802 A1 noch die oben erwähnte EP 513 427 A1 geben jedoch Hinweise, wie eine optische Positionsmesseinrichtung mit divergenter Beleuchtung konkret auszubilden ist, wenn gechirpte Referenzmarkierungen verwendet werden sollen.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine optische Positionsmesseinrichtung zu schaffen, bei der ein Abtastprinzip mit divergenter Beleuchtung verwendet wird und bei dem gechirpte Referenzmarkierungen zur Erzeugung hochauflösender Referenzsignale eingesetzt werden können. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine optische Positionsmesseinrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Vorteilhafte Ausführungen der erfindungsgemäßen optischen Positions- messeinrichtung ergeben sich aus den Maßnahmen in den abhängigen Ansprüchen.

Die erfindungsgemäße optische Positionsmesseinrichtung dient zur Erfassung der Position von zwei relativ zueinander in mindestens einer Mess- richtung beweglichen Objekten. Die Positionsmesseinrichtung weist eine Maßverkörperung auf, die mit einem der beiden Objekte verbunden ist, die eine sich in Messrichtung erstreckende Inkrementalteilung sowie mindestens eine Referenzmarkierung an einer Referenzposition besitzt. Die Referenzmarkierung umfasst zwei zu einer Referenzmarkierungs-Symmetrieachse spiegelsymmetrisch angeordnete Referenzmarkierungs-Teilfelder, die jeweils aus einer sich in Messrichtung erstreckenden Struktur mit einer sich örtlich veränderlichen Teilungsperiode bestehen. Ferner weist die Positionsmesseinrichtung eine Abtasteinheit auf, die mit dem anderen der beiden Objekte verbunden ist und der Abtastmittel zugeordnet sind, die zur Erzeu- gung mindestens eines Referenzsignals an der Referenzposition dienen. Die Abtastmittel umfassen mindestens eine divergent in Richtung der Maßverkörperung abstrahlende Lichtquelle sowie eine Detektoranordnung mit Elementen, die entlang der Messrichtung derart angeordnet sind, dass sich ausgehend von einer zentralen Detektoranordnungs-Symmetrieachse in Messrichtung die Mittenabstände zwischen benachbarten Elementen in der gleichen Richtung verändern wie ausgehend von der Referenzmarkierungs- Symmetrieachse die Teilungsperioden der Strukturen in den Referenzmar- kierungs-Teilfeldern.

Auf diese Art und Weise kann auch bei einem Abtastprinzip mit divergenter Beleuchtung die Erzeugung eines hochauflösenden Referenzimpulssignals mittels gechirpter Gitterstrukturen sichergestellt werden. Besonders vorteilhaft erweist sich hierbei darüber hinaus, dass die erfindungsgemäße Referenzimpulserzeugung wenig empfindlich gegenüber Änderungen des Ab- tastabstands zwischen Maßverkörperung und Abtasteinheit ist. Ferner ist die Erzeugung des Referenzimpulssignals bei der erfindungsgemäßen Positionsmesseinrichtung relativ unempfindlich gegenüber Verschmutzungen, was auf die genutzte Einfeldabtastung zurückzuführen ist. Dies bedeutet, dass die verschiedenen Signalanteile stets aus einer Teilungsperiode der abgetasteten Referenzmarkierung stammen. Zudem wird bei der Erzeugung des Referenzimpulssignals das gesamte ausgeleuchtete Feld der Referenzmarkierung genutzt. Dies ist sehr effektiv und hat große Signalamplituden, eine hohe Unempfindlichkeit gegenüber Störungen sowie ein geringes Signalrauschen zur Folge.

In Bezug auf die erfindungsgemäße optische Positionsmesseinrichtung, gibt es vielfältige Ausführungsmöglichkeiten.

So sind die Referenzmarkierungsteilfelder der erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung vorzugsweise derart ausgebildet, dass benachbart zur Referenzmarkierungs-Symmetrieachse die Strukturen jeweils die kleinsten Teilungsperioden aufweisen und in Messrichtung nach außen hin jeweils stetig größer werdende Teilungsperioden vorgesehen sind.

In einer vorteilhaften Ausführungsform ist die maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz der sich örtlich verändernden Teilungsperioden in den beiden Referenzmarkierungs-Teilfelder folgendermaßen gewählt:

/_M5(*) := 2/₀(jU ₊ lj für -^< x <0 und f_MS(x) := 2fljx - lj für O ≤ x ≤ ^ ,

wobei für L gilt:

L := — , n ganzzahlig,

/o mit: fωs M := maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz in Abhängigkeit der Position in Messrichtung x f₀ := mittlere maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz L := Länge der Struktur im jeweiligen Referenzmarkierungs-Teilfeld in Mess- richtung x

In einer möglichen Variante der erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung sind die Elemente der Detektoranordnung mit den nachfolgenden detektorseitigen Teilungsfrequenzen angeordnet:

/_De,0) := |/o 7* ^{+ 1} für - L < x < 0

und

mit: f_Det (x) := detektorseitige Teilungsfrequenz in Abhängigkeit der Position in Messrichtung x f₀ := mittlere maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz L := Länge der der jeweiligen detektorseitigen Elementanordnung in Messrichtung x k := 1 , 2

Es ist ferner möglich, die Elemente der Detektoranordnung entlang der Messrichtung derart anzuordnen, dass sie einem maßstäblich vergrößerten Abbild der Struktur aus den Referenzmarkierungs-Teilfeldern entsprechen.

Vorzugsweise wird die Ausdehnung der Lichtquelle in Messrichtung folgendermaßen gewählt:

mit: b_LQ := Ausdehnung der Lichtquelle in Messrichtung fo := mittlere maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz

Es ist möglich, dass zwischen der Lichtquelle und der Maßverkörperung eine Blende mit einem Sendespalt angeordnet ist.

Hierbei kann die Ausdehnung des Sendespalts in Messrichtung folgendermaßen gewählt werden:

^JSP

2f₀ mit: b_Sp := Ausdehnung des Sendespalts in Messrichtung fo := mittlere maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz

Vorzugsweise sind die Referenzmarkierung und die Inkrementalteilung als Phasengitter mit einem Phasenhub von 180° und einem Teilungsverhältnis von 1 :1 ausgebildet.

Alternativ ist es aber auch möglich, dass die Referenzmarkierung und die Inkrementalteilung als Amplitudengitter oder als Phasengitter mit einem Phasenhub von 90° und einem Teilungsverhältnis von 1 :1 ausgebildet sind.

Die Elemente der Detektoranordnung können als Array-Detektorelemente eines Detektorarrays ausgebildet sein.

Hierbei kann die Detektoranordnung einen ersten Satz von Array-Detektor- elementen und einen zweiten Satz von Array-Detektorelementen umfassen, wobei jeweils die Array-Detektorelemente eines Satzes ausgangsseitig zusammengeschaltet sind.

Die Elemente der Detektoranordnung können aber auch als Teilungsbereiche eines Abtastgitters ausgebildet sein, denen mindestens ein großflächiges Detektorelement nachgeordnet ist. Hierbei kann die Detektoranordnung zwei großflächige Detektorelemente umfassen, vor denen komplementär ausgestaltete Abtastgitter angeordnet sind.

Weitere Einzelheiten und Vorteile der vorliegenden Erfindung seien anhand der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen erfindungsgemäßer optischer Positionsmesseinrichtungen in Verbindung mit den Figuren erläutert.

Es zeigt

Figur 1 eine stark schematisierte Darstellung des Abtaststrahlengangs zur Erzeugung eines Referenzimpulssignals in einem ersten Ausführungsbeispiel der er- findungsgemäßen Positionsmesseinrichtung;

Figur 2 eine Draufsicht auf die Maßverkörperung der Positionsmesseinrichtung aus Figur 1 mit der Inkremen- talteilung und einer Referenzmarkierung;

Figur 3 eine schematisierte Teil-Ansicht der Detektionsebene der Positionsmesseinrichtung aus Figur 1 inklusive einer Verschaltungsmöglichkeit zur Erzeugung eines Referenzimpulssignals;

Figur 4a das aus einer Verschaltung gemäß Figur 3 resultierende Referenzimpuls-Taktsignal im Bereich der Referenzposition;

Figur 4b das aus einer Verschaltung gemäß Figur 3 resultierende Referenzimpuls-Gegentaktsignal im Bereich der Referenzposition; Figur 4c das aus einer Verschaltung gemäß Figur 3 resultierende Referenzimpulssignal im Bereich der Referenzposition;

Figur 5 eine stark schematisierte Darstellung des Abtaststrahlengangs zur Erzeugung eines Referenzimpulssignals in einem zweiten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Positionsmesseinrichtung;

Figur 6 eine Draufsicht auf die sendeseitig vorgesehenen

Gitter in der Positionsmesseinrichtung der Figur 5;

Figur 7 eine stark schematisierte Darstellung des Abtaststrahlengangs zur Erzeugung eines Referenz- impulssignals in einem dritten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Positionsmesseinrichtung;

Figur 8 eine Draufsicht auf die sendeseitig vorgesehenen

Gitter in der Positionsmesseinrichtung der Figur 7;

Figur 9 eine schematisierte Teil-Ansicht der Detektionsebene eines vierten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Positionsmesseinrichtung.

Anhand der Figuren 1 , 2, 3 sowie 4a - 4c sei nachfolgend eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung im Detail beschrieben. Figur 1 zeigt hierbei in stark schematisierter Form den Abtaststrahlengang zur Erzeugung des Referenzimpulssignals, Figur 2 eine Draufsicht auf die Maßverkörperung im Bereich der Referenzmarkierung, Figur 3 eine Teil-Ansicht der Detektionsebene inklusive der Verschaltung zur Erzeugung des Referenzimpulssignals sowie die Figuren 4a - 4c verschiedene Signalverläufe im Bereich der Referenzposition. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist die erfindungsgemäße optische Positionsmesseinrichtung als Durchlicht-Längenmessgerät ausgebildet und umfasst eine Abtasteinheit 20, die gegenüber der Maßverkörperung 10 in Messrichtung x beweglich angeordnet ist. Maßverkörperung 10 und Abtast- einheit 20 sind z.B. mit zwei zueinander in Messrichtung x beweglich angeordneten Objekten verbunden. Hierbei kann es sich beispielsweise um zwei zueinander bewegliche Maschinenteile handeln. Über die erzeugten, positionsabhängigen Ausgangssignale (Inkrementalsignale, Referenzimpulssignale) der erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung kann eine nachgeordnete Steuereinheit die Bewegung dieser Maschinenteile in bekannter Art und Weise geeignet steuern.

Die Darstellung in Figur 1 ist im übrigen stark schematisiert, insbesondere der für das Durchlichtsystem erforderliche Maßverkörperungs-Umgriff der Abtasteinheit 10 ist lediglich prinzipiell durch die strichlinierte Verbindung der lichtquellenseitigen Teile und der detektionsseitigen Teile der Abtasteinheit 10 angedeutet.

Die Maßverkörperung 10 umfasst im vorliegenden Beispiel eine sich in Messrichtuπg x erstreckende lineare Inkrementalteilung 12, die auf einem Teilungsträger 13 angeordnet ist. Die Inkrementalteilung 12 besteht aus periodisch mit der Teilungsperiode TP|_NC = 8μm in Messrichtung x angeordneten Teilbereichen mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften, die sich in der Teiluπgsebene in y-Richtung erstrecken. Im dargestellten Beispiel ist die Inkrementalteilung 12 als Phasengitter mit einem Phasenhub von 180° und einem Teilungsverhältnis von 1 :1 ausgebildet.

Benachbart zur Spur mit der Inkrementalteilung 12 ist auf Seiten der Maßverkörperung 10 eine Referenzmarkierung 11 an einer definierten Referenz- position x_REF auf dem Teilungsträger 13 angeordnet; grundsätzlich können selbstverständlich auch an mehreren Referenzpositionen entsprechende Referenzmarkierungen angeordnet werden. Die Referenzmarkierung 11 ist wie die Inkrementalteilung 12 ebenfalls als Durchlicht-Phasengitter mit einem Phasenhub von 180° ausgebildet und besteht aus Strukturen mit alter- nierend angeordneten Teilbereichen 1 1.1 , 11.2, die unterschiedliche phasenschiebende Wirkungen auf die einfallenden Strahlenbündel ausüben.

Wie aus den Figuren 1 und 2 ersichtlich ist, umfasst die Referenzmarkierung 11 an der Referenzposition X_REF zwei zu einer Referenzmarkierungs-Sym- metrieachse RS spiegelsymmetrisch angeordnete Referenzmarkierungs- Teilfelder 11_A, 11_B. Jedes der beiden Referenzmarkierungs-Teilfelder 11_A, 1 1 B besteht aus einer sich in Messrichtung x erstreckenden Struktur bzw. Gitterteilungs-Struktur mit sich jeweils sich örtlich verändernden Teilungspe- rioden. Im dargestellten Beispiel weisen hierbei jeweils die Strukturen benachbart zur Referenzmarkierungs-Symmetrieachse SR die kleinsten Teilungsperioden auf, in Messrichtung x nach außen hin sind jeweils stetig größer werdende Teilungsperioden vorgesehen.

In diesem Zusammenhang sei insbesondere auf die Figur 2 verwiesen, in der die Abstände d_R, zwischen benachbarten Teilbereichen 11.1 , 11.2 der Referenzmarkierung 1 1 im rechten Referenzmarkierungs-Teilfeld 1 1 _B eingezeichnet sind. Wie ersichtlich gilt von der Referenzmarkierungs-Symmetrie- achse RS ausgehend nach außen:

dm < d_R2 < d_R3 < d_R4

Die Strukturen in den beiden Referenzmarkierungs-Teilfeldem 11 _A, 1 1 _B der Referenzmarkierung 11 sind demzufolge als sog. gechirpte Teilungsstruktu- ren ausgebildet, wobei ein zur Referenzmarkierungs-Symmetrieachse RS spiegelsymmetrischer Chirpverlauf in den beiden Referenzmarkierungs- Teilfeldem 11 _A, 1 1_B vorgesehen ist. Die Referenzmarkierung 1 1 besitzt erfindungsgemäß demnach eine symmetrisch gechirpte Struktur.

Der jeweilige Chirpverlauf lässt sich für das vorliegende Beispiel auch als maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz f_Ms(x) der sich örtlich verändernden Teilungsperioden in den beiden Referenzmarkierungs-Teilfeldem 11_A, 11 _B konkret angeben. So wird die Größe f_Ms(x) vorzugsweise folgendermaßen gewählt: /**(*) - 2/₀| |* + l) für - ^ < x < 0 (Gl. 1.1) und f_MS(x) - 2fIjX -lj für θ < x < | , (Gl. 1.2) wobei für L gilt: L , n ganzzahlig, (Gl. 1.3)

mit:

W (^χ) ^;= maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz in Abhängigkeit der Position in Messrichtung x fo := mittlere maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz L := Länge der Struktur im jeweiligen Referenzmarkierungs-Teilfeld in Messrichtung x

Zur Erzeugung der verschiebungsabhängigen Ausgangssignale in Form der periodischen Inkrementalsignale und des mindestens einen Referenzim- pulssignals Rl an mindestens einer definierten Referenzposition x_REF, sind in der Abtasteinheit 20 eine Reihe von Komponenten angeordnet, die der Einfachheit halber zusammenfassend als Abtastmittel bezeichnet seien. Zu den für die Erzeugung des Referenzimpulssignals Rl nötigen Abtastmitteln gehören im vorliegenden Beispiel eine divergent in Richtung der Maßverkörpe- rung 10 abstrahlende Lichtquelle 21 sowie eine speziell ausgebildete und auf die Referenzmarkierung 1 1 abgestimmte Detektoranordnung 22. Hierbei umfasst die Detektoranordnung 22 Elemente, die entlang der Messrichtung x derart angeordnet sind, dass sich ausgehend von einer zentralen Detekto- ranordnungs-Symmetriachse DS in Messrichtung x die Mittenabstände zwi- sehen benachbarten Elementen in der gleichen Richtung verändern wie ausgehend von der Referenzmarkierungs-Symmetrieachse RS die Teilungsperioden der Strukturen in den beiden Referenzmarkierungs-Teilfel- dern 11_A, 11 _B- Die Detektoranordnung 22 besitzt demzufolge ebenso wie die Referenzmarkierung eine symmetrisch gechirpte Struktur bzgl. der Anord- nung der entsprechenden Elemente. Im dargestellten ersten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei den Elementen der Detektoranordnung 22, die in definierter Art und Weise auf die Referenzmarkierung in der Detektionsebene abgestimmt angeordnet werden, um Array-Detektorelemente 22.1 , 22.2 eines Detektorarrays, wie dies aus Figur 3 ersichtlich ist. Die Array-Detektorelemente 22.1 , 22.2 sind hierbei üblicherweise als Photodioden in einem entsprechenden Photodiodenar- ray ausgebildet, besitzen eine rechteckförmige Form und sind entlang der Messrichtung x benachbart aneinandergrenzend angeordnet. Die Rechtecks-Längsachse erstreckt sich jeweils senkrecht zur Messrichtung x ent- lang der in der Figur angegebenen y-Richtung.

Alternativ zu einer derartigen Ausbildung der Detektoranordnung 22 ist es aber auch möglich, dass es sich bei den Elementen der Detektoranordnung 22 um die Teilungsbereiche eines Abtastgitters handelt, denen großflächige Detektorelemente nachgeordnet sind. In Bezug auf diese Möglichkeit sei auf die nachfolgende Beschreibung des vierten Ausführungsbeispiels verwiesen.

Wie aus Figur 3 ersichtlich ist, umfasst die Detektoranordnung 22 des ersten Ausführungsbeispiels einen ersten Satz von Array-Detektorelementen 22.1 sowie einen zweiten Satz von Array-Detektorelementen 22.2. Die Array-Detektorelemente 22.1 , 22.2 des ersten und zweiten Satzes sind in Messrichtung alternierend angeordnet. Hierbei verändern sich die Mittenabstände d_Di,...d_Dn benachbarter Array-Detektorelemente 22.1 , 22.2 ausgehend von der zentralen Detektoranordnungs-Symmetrieachse DS nach außen hin in der gleichen Richtung wie auf Seiten der Referenzmarkierung 1 1 die Teilungsperioden der Strukturen in den beiden Referenzmarkierungs-Teilfel- dern 11_A, 1 1 _B- Wie ferner in Figur 3 erkennbar, sind in unmittelbarer Nachbarschaft zur Detektoranordnungs-Symmetrieachse DS die kleinsten Mitten- abstände und damit die in x-Richtung schmälsten Array-Detektorelemente 22.1 , 22.2 vorgesehen, jeweils nach außen hin werden stetig breiter werdende Array-Detektorelemente 22.1 , 22.2 platziert bzw. größer werdende Mittenabstände d_Dn vorgesehen. Die prinzipiell symmetrisch gechirpte Anordnung der Elemente der Detektoranordnung 22, d.h. in diesem Fall der Array-Detektorelemente 22.1 , 22.2 wird demzufolge erfindungsgemäß auf die ebenfalls symmetrisch gechirpte Anordnung der Strukturen der Referenzmarkierung 12 abgestimmt.

Wie ebenfalls aus Figur 3 ersichtlich ist, werden alle Array-Detektorelemente 22.1 , 22.2 eines Satzes jeweils ausgangseitig zusammengeschaltet. Aus den Array-Detektorelementen 22.1 des ersten Satzes resultiert beim Überfahren der Referenzmarkierung 11 das sogenannte Referenzimpuls-Taktsignal RI_T, wie es in Figur 4a im Bereich der Referenzposition X_REF darge- stellt ist. Die Array-Detektorelemente 22.2 des zweiten Satzes liefern das sogenannte Referenzimpuls-Gegentaktsignal RI_Gτ, welches in Figur 4b im Bereich der Referenzposition x_REF gezeigt ist. Das Referenzimpuls-Taktsignal Rl_τ und das Referenzimpuls-Gegentaktsignal RI_Gτ werden über das Differenzbildungselement 23 in Differenz verschaltet. Am Ausgang des Diffe- renzbildungselementes 23 resultiert dann das Referenzimpulssignal Rl, das zur Herstellung eines Absolutbezugs bei der Positionsmessung in bekannter Art und Weise weiterverarbeitbar ist; der Verlauf des derart erzeugten Referenzimpulssignals im Bereich der Referenzposition X_REF ist in Figur 4c dargestellt.

Auch die Anordnung der Elemente der Detektoranordnung 22 lässt sich ähnlich wie die Charakterisierung der Referenzmarkierungs-Teilfelder 11_A, 11_B mittels der Gleichungen 1.1 - 1.3 über die detektorseitigen Teilungsfrequenzen f_Det(x) beschreiben, die den örtlich veränderbaren Verlauf der Mit- tenabstände der Elemente festlegt. Die Größe f_DetW wird demnach vorzugsweise folgendermaßen gewählt:

f^Ür - L < X < 0 (Gl. 2.1)

und

f_DeX^x) für O ≤ x ≤ L , (Gl. 2.2)

mit: füet (x) := detektorseitige Teilungsfrequenz in Abhängigkeit der Position in Messrichtung x fo := mittlere maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz L := Länge der der jeweiligen detektorseitigen Elementanordnung in Mess- richtung x k := 1 , 2

Die Größe k in den Gleichungen 2.1 und 2.2 charakterisiert den Typ der jeweils gewählten optischen Abtastung, insbesondere welche von der Maß- Verkörperung erzeugten Beugungsordnungen zur Signalgewinnung beitragen.

So beschreibt k = 1 ein System, bei dem auf Seiten der Maßverkörperung 10 bzw. Inkrementalteilung 12 im wesentlichen +/- 1. Beugungsordnungen er- zeugt werden. Die Inkrementalteilung 12 als auch die Referenzmarkierung 11 sind in diesem Fall als Phasengitter mit einem Phasenhub von 180° und einem Teilungsverhältnis von 1 :1 ausgebildet.

Über k = 2 wird ein System charakterisiert, bei dem auf Seiten der Inkre- mentalteilung der Maßverkörperung neben den +/- 1. Beugungsordnungen auch eine 0. Beugungsordnung erzeugt wird und zur Signalgewinnung beiträgt. In diesem Fall gibt es dann detektionsseitig bestimmte Detektionsebe- nen, in denen ein maximaler Kontrast des aus der Abtastung der Maßverkörperung erzeugten Streifenmusters vorliegt. Eine hierzu geeignete Inkre- mentalteilung sowie die zugehörige Referenzmarkierung sind als Amplitudengitter ausgebildet oder aber als Phasengitter mit einem Phasenhub von 90° und einem Teilungsverhältnis von 1 :1.

Im Zusammenhang mit der gechirpten Referenzmarkierung ist das erwähnte Teilungsverhältnis hierbei jeweils als lokales Teilungsverhältnis anzusehen.

Als vorteilhaft hat sich desweiteren herausgestellt, wenn in der erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung die Ausdehnung b_LQ der Lichtquelle 21 in Messrichtung x gemäß der nachfolgenden Beziehung gewählt wird:

h_Q < -^₇ (Gl. 3) mit: b_LQ := Ausdehnung der Lichtquelle in Messrichtung fo := mittlere maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz

In einer konkreten Realisierung der ersten Ausführungsform einer erfin- dungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung sind die folgenden Parameter vorgesehen:

TPiNC = 8μm (Signalperiode = 4μm) fo = 35/mm L = 1 mm k = 1

Als Lichtquelle 21 ist hierbei eine Punktlichtquelle vorgesehen, beispielsweise eine sog. VCSEL-Lichtquelle (Vertical Cavity Surface Emitting Laser).

Weitere Ausführungsformen der erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung werden nunmehr nachfolgend anhand der restlichen Figuren erläutert. Hierbei wird jeweils lediglich auf die maßgeblichen Unterschiede zum ersten Ausführungsbeispiel eingegangen, ansonsten sei auf die ausführliche Erläuterung des ersten Beispiels verwiesen, insbesondere auch auf die in diesem Zusammenhang erläuterten Dimensionierungsregeln.

Eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung ist in den Figuren 5 und 6 teilweise schematisiert darge- stellt. Im Gegensatz zur konkreten ersten Ausführungsvariante wird nunmehr in der Abtasteinheit 200 keine punktförmige Lichtquelle 121 in Form einer VCSEL-Lichtquelle eingesetzt, sondern eine räumlich ausgedehnte Lichtquelle 121 , die aber ebenfalls wiederum divergent in Richtung der Maßver- körperung 110 abstrahlt. Beispielsweise kann hierzu eine LED mit einer Kantenlänge von 300μm eingesetzt werden. Aufgrund der Verwendung der räumlich ausgedehnten Lichtquelle 121 ist nunmehr zusätzlich eine Blende 150 mit einem Sendespalt 151 der Breite b in Messrichtung x zwischen der Lichtquelle 121 und der Maßverkörperung 1 10 angeordnet, da das genutzte Abtastprinzip eine Punktlichtquelle voraussetzt.

Bzgl. der Ausdehnung b des Sendespalts 151 in Messrichtung x sollte vorzugsweise die nachfolgende Gleichung (4) beachtet werden:

*_*- <A" (Gl.4)

In Figur 5 sind wiederum nur diejenigen Komponenten im Abtaststrahlengang dargestellt, die zur erfindungsgemäßen Erzeugung des Referenzim- pulssignals Rl dienen, nicht jedoch alle zur Erzeugung der Inkrementalsig- nale erforderlichen Komponenten.

In Figur 6 ist eine Draufsicht auf die Blende 150 dargestellt. Die Blende 150 umfasst neben dem bereits erwähnten Sendespalt 151 zur Erzeugung des Referenzimpulssignals Rl desweiteren noch ein in y-Richtung benachbart angeordnetes Sendegitter 161 für die Inkrementalabtastung.

In Bezug auf die Erzeugung eines Referenzimpulssignals Rl ist auch in dieser Variante wiederum vorgesehen, auf der Maßverkörperung 110 eine Re- ferenzmarkierung 111 mit symmetrisch gechirpten Strukturen in den beiden Referenzmarkierungs-Teilfeldern 111_A, 1 1 1 _B auszubilden. Die Abtastmittel auf Seiten der Abtasteinheit 120 umfassen wie schon im ersten Beispiel neben der divergenten Lichtquelle 121 eine Detektoranordnung 122 mit einer ebenfalls symmetrisch gechirpten Anordnung von Elementen, beispielsweise Array-Detektorelementen. In Bezug auf die konkreten Anordnungs-Gesetzmäßigkeiten sei wiederum auf die obigen Erläuterungen verwiesen. In einer konkreten Realisierung der zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung sind die folgenden Parameter vorgesehen:

TP_INC = 8μm (Signalperiode = 4μm) fo = 7.5/mm L = 2.133mm

k = 1

In dieser Ausführungsvariante resultiert ein Referenzimpulssignal, das erheblich breiter ist als die Signalperiode der Inkrementalsignale. Es ist daher erforderlich, das Referenzimpulssignal geeignet weiterzuverarbeiten, um ein Referenzimpulssignal mit der Breite einer Signalperiode der Inkrementalsig- nale zu erhalten.

Eine weitere, dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung ist in den Figuren 7 und 8 dargestellt.

Im Unterschied zu den bisher erläuterten Beispielen, in denen jeweils k = 1 gewählt wurde, ist nunmehr vorgesehen die Größe k = 2 zu wählen. Dies bedeutet, dass eine andere Maßverkörperung 221 zum Einsatz kommt. So ist nunmehr eine Inkrementalteilung mit einer deutlich größeren Teilungsperiode vorgesehen; bei der Signalgewinnung wird neben den +/- 1. Beu- gungsordnungen auch die erzeugte 0. Beugungsordnung verwendet.

Wie im zweiten Ausführungsbeispiel ist wiederum der Einsatz einer räumlich ausgedehnten, divergent abstrahlenden Lichtquelle 221 in der Abtasteinheit 220 vorgesehen, weshalb wiederum eine Blende 250 mit einem Sendespalt 251 der Breite b_Sp zwischen der Lichtquelle 221 und der Maßverkörperung 210 angeordnet ist.

Als weitere Besonderheit ist bei diesem Ausführungsbeispiel schließlich zu erwähnen, dass aufgrund des genutzten Abtastprinzips und der Nutzung der 0. Beugungsordnung nunmehr die Elemente der Detektoranordnung 222 entlang der Messrichtung x derart angeordnet sind, dass diese einem maßstäblich vergrößerten Abbild der Strukturen in den Referenzmarkierungs- Teilfeldern 21 1_A, 211_B der Referenzmarkierung 211 entsprechen.

In Bezug auf die grundsätzliche Anordnung der Strukturen in den Referenz- markierungs-Teilfeldern 21 1_A, 21 1 _B bzw. die Anordnung der Elemente in der Detektoranordnung 222 sei wiederum auf die Erläuterungen im Zusammenhang mit dem ersten Ausführungsbeispiel verwiesen.

Für eine konkrete Realisierung der dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung sind die folgenden Parameter vorgesehen:

Räumliche Ausdehnung der Lichtquelle (LED): 300μm

TPiNC = 20μm (Signalperiode = 20μm) f₀ = 11/mm

L = 2mm

k = 2

Mit der Wahl dieser Parameter resultiert in diesem Beispiel ein Referenzimpulssignal, das eine Breite besitzt, die der Inkrementalsignal-Periode entspricht.

Abschließend sei ein viertes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen optischen Positionsmesseinrichtung anhand der Figur 9 erläutert. Diese zeigt in schematisierter Form eine Ansicht der Detektionsebene in der Abtasteinheit mit einer alternativen Variante der Detektoranordnung 322.

In den bislang erläuterten drei Ausführungsbeispielen waren die entsprechend gechirpt angeordneten Elemente der Detektoranordnung jeweils als Array-Detektorelemente eines geeigneten Detektorarrays ausgebildet. Im vierten Ausführungsbeispiel ist nunmehr vorgesehen, dass es sich bei den entsprechend gechirpt angeordneten Elementen der Detektoranordnung 322 um die Teilungsbereiche 323.1 i ...323.1_n bzw. 323.I ₁ ...323.1 _n von Abtastgittern handelt, denen jeweils großflächige Detektorelemente 322.1 , 322.2 nachgeordnet sind. Im dargestellten Ausführungsbeispiel umfasst die De- tektoranordnung 322 zwei großflächige Detektorelemente 322.1 , 322.2 die jeweils rechteckförmig ausgebildet sind, wobei sich die Rechtecks-Längsachse in Messrichtung x erstreckt. Aufgrund der komplementären Ausgestaltung der Abtastgitter mit den entsprechend gechirpt angeordneten Teilungsbereichen 323.1 i ...323.1_n bzw. 323.2_! ...323.2_n wird über das Detek- torelement 322.1 das Referenzimpuls-Taktsignal Rl_τ und über das über das Detektorelement 322.2 das gegenphasige Referenzimpuls-Gegentaktsignal RI_GT erzeugt. Nach der Differenzbildung aus diesen beiden Signalen über das Differenzbildungselement 323 resultiert an dessen Ausgang das Referenzsignal Rl.

Die symmetrisch zur Detektoranordnungs-Symmetrieachse DS vorgesehen Anordnung der Teilungsbereiche 323.1₁ ...323.1_n bzw. 323.I₁ ...323.1_n entspricht für jedes Detektorelement 322.1 , 322.1 den oben erläuterten Gesetzmäßigkeiten für die Elemente verschiedenen der Detektoranordnungen, die dort jeweils als Array-Detektorelemente ausgebildet waren.

Eine derartige Variante zur Ausbildung der Detektoranordnung 322 kann beispielsweise dann in Betracht kommen, wenn relativ schmale Array-Detektorelemente erforderlich würden und diese technologiebedingt nicht mehr herstellbar sind. Grundsätzlich gibt es für derartige Detektorarrays bestimmte Minimalbreiten bzw. -abstände, die aufgrund technologischer Begrenzungen nicht unterschritten werden können. Demgegenüber ist es weniger problematisch entsprechend fein strukturierte Abtastgitter auf großflächigen Detektorelementen aufzubringen, die in Bezug auf die optische Ab- tastung gleichwertig funktionieren.

Neben den bislang erläuterten Ausführungsbeispielen gibt es im Rahmen der vorliegenden Erfindung selbstverständlich noch weitere Ausgestal- tungsmöglichkeiten für die erfindungsgemäße optische Positionsmesseinrichtung.

So kann die erfindungsgemäße Positionsmesseinrichtung sowohl als Län- genmessgerät zur Erfassung von linearen Verschiebebewegungen ausgebildet werden wie auch als rotatorisches Positionsmessgerät zur Erfassung von Rotationsbewegungen um eine Rotationsachse.

Ebenso ist es natürlich möglich, neben den erläuterten Durchlichtvarianten entsprechend aufgebaute Auflichtvarianten mit abgetasteten Reflexions- Maß Verkörperung en erfindungsgemäß auszubilden.

Claims

Patentansprüche

1. Optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position von zwei relativ zueinander in mindestens einer Messrichtung (x) beweglichen Objekten mit

- einer Maßverkörperung (10; 1 10; 210), die mit einem der beiden Ob- jekte verbunden ist und die eine sich in Messrichtung (x) erstreckende

Inkrementalteilung (12) sowie mindestens eine Referenzmarkierung (11; 1 11 ; 211) an einer Referenzposition (X_REF) aufweist, wobei die Referenzmarkierung (1 1 ; 111 ; 21 1) zwei zu einer Referenzmarkierungs- Symmetrieachse (RS) spiegelsymmetrisch angeordnete Referenzmar- kierungs-Teilfelder (11_A, 11 _B; 1 11_Al 111 _B; 211_A, 211 _B) umfasst, die jeweils aus einer sich in Messrichtung (x) erstreckenden Struktur mit einer sich örtlich veränderlichen Teilungsperiode bestehen,

- einer Abtasteinheit (20; 120; 220), die mit dem anderen der beiden Objekte verbunden ist und der Abtastmittel zugeordnet sind, die zur Er- zeugung mindestens eines Referenzsignals (Rl) an der Referenzposition (XR_EF) dienen, wobei die Abtastmittel mindestens folgende Komponenten umfassen:

- eine divergent in Richtung der Maßverkörperung (10; 1 10; 210) abstrahlende Lichtquelle (21 ; 121 ; 221), - eine Detektoranordnung (22; 122; 222) mit Elementen, die entlang der Messrichtung (x) derart angeordnet sind, dass sich ausgehend von einer zentralen Detektoranordnungs-Symmetrieachse (DS) in Messrichtung (x) die Mittenabstände (d_Di,...d_Dn) zwischen benachbarten Elementen in der gleichen Richtung verändern wie ausgehend von der Referenzmarkierungs-Symmetrieachse (RS) die Teilungsperioden der

Strukturen in den Referenzmarkierungs-Teilfeldern (11_A, 11 _B; 1 11_A,

2. Optische Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 1 , wobei die Refe- renzmarkierungs-Teilfelder (1 1_A, 1 1 _B; 1 1 1A, 1 1 1 _B; 211_A, 21 1 _B) derart ausgebildet sind, dass benachbart zur Referenzmarkierungs-Symmet- rieachse (RS) die Strukturen jeweils die kleinsten Teilungsperioden aufweisen und in Messrichtung (x) nach außen hin jeweils stetig größer werdende Teilungsperioden vorgesehen sind.

3. Optische Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 1 , wobei die maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz (f_Ms (x)) der sich örtlich verändernden Teilungsperioden in den beiden Referenzmarkierungs-Teil- feldern (11_A, 11_B; 111_A, 111 _B," 211_A, 211_B) folgendermaßen gewählt ist:

und

/**(*) = 2/₀(!* - l) für O ≤ x ≤ ^ ,

wobei für L gilt: L := , n ganzzahlig,

mit: f_MS (^χ) -⁼ maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz in Abhängigkeit der Position in Messrichtung x f₀ := mittlere maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz L := Länge der Struktur im jeweiligen Referenzmarkierungs-Teilfeld in

Messrichtung x

4. Optische Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 1 , wobei die Elemente der Detektoranordnung (22; 122; 222) mit den nachfolgenden detektorseitigen Teilungsfrequenzen (f_Det (x)) angeordnet sind:

und

mit:

W (x) := detektorseitige Teilungsfrequenz in Abhängigkeit der Position in Messrichtung x f₀ := mittlere maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz

L := Länge der der jeweiligen detektorseitigen Element-Anordnung in Messrichtung x k := 1 , 2

5. Optische Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 1 , wobei die Elemente der Detektoranordnung (222)entlang der Messrichtung (x) derart angeordnet sind, dass sie einem maßstäblich vergrößerten Abbild der Struktur aus den Referenzmarkierungs-Teilfeldern (211_A, 211 _B) entsprechen.

6. Optische Positionsmesseinrichtung Anspruch 1 , wobei die Ausdehnung der Lichtquelle (21 ; 121 ; 221) in Messrichtung (x) folgendermaßen gewählt ist:

^ZΛ mit: b_LQ := Ausdehnung der Lichtquelle in Messrichtung f₀ := mittlere maßverkörperungsseitige Teilungsfrequenz

7. Optische Positionsmesseinrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zwischen der Lichtquelle (121; 221) und der Maßverkörperung (110; 210) eine Blende (150; 250) mit einem Sendespalt (151 ; 251) angeordnet ist.

8. Optische Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 7, wobei die Ausdehnung des Sendespalts (151 ; 251) in Messrichtung (x) folgendermaßen gewählt ist:

mit: b_Sp := Ausdehnung des Sendespalts in Messrichtuπg fo := mittlere maßverkörperungsseitjge Teilungsfrequenz

9. Optische Positionsmesseinrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Referenzmarkierung (11 ; 111 ; 211) und die Inkrementalteilung (12) als Phasengitter mit einem Phasenhub von 180° und einem Teilungsverhältnis von 1 :1 ausgebildet sind.

10. Optische Positionsmesseinrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 - 7, wobei die Referenzmarkierung (11 ; 111 ; 211) und die Inkrementalteilung (12) als Amplitudengitter oder als Phasengitter mit einem Phasenhub von 90° und einem Teilungsverhältnis von 1 :1 ausgebildet sind.

11. Optische Positionsmesseinrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Elemente der Detektoranord- nung (22; 122; 222) als Array-Detektorelemente (22.1 , 22.2) eines De- tektorarrays ausgebildet sind.

12. Optische Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 11 , wobei die Detektoranordnung (22; 122; 222) einen ersten Satz von Array-Detektorele- menten (22.1) und einen zweiten Satz von Array-Detektorelementen

(22.1) umfasst und jeweils die Array-Detektorelemente (22.1 , 22.2) eines Satzes ausgangsseitig zusammengeschaltet sind.

13. Optische Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 1 , wobei die EIe- mente der Detektoranordnung (322) als Teilungsbereiche (323.I ₁

...323.1_n, 323.I₁ ...323.1_n) eines Abtastgitters ausgebildet sind, denen mindestens ein großflächiges Detektorelement (322.1 , 322.2) nachgeordnet ist.

14. Optische Positionsmesseinrichtung nach Anspruch 1 , wobei die Detektoranordnung (322) zwei großflächige Detektorelemente (322.1 , 322.2) umfasst, vor denen komplementär ausgestaltete Abtastgitter angeordnet sind.