WO2009116408A1 - コア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法およびコア／シェル型半導体ナノ粒子 - Google Patents

コア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法およびコア／シェル型半導体ナノ粒子 Download PDF

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秀樹 星野
一賀 午菴
尚大 岡田
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コニカミノルタエムジー株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a core / shell type semiconductor nanoparticle manufacturing method and a core / shell type semiconductor nanoparticle manufactured using the manufacturing method.
  • Recent detection equipment enhancement and labeling material brightness enhancement enable single molecule detection, identification, and observation of motion, and play a major role in analytical chemistry, molecular biology, and analysis of nanostructures. Has been fulfilled.
  • the nanoparticle phosphor can set the emission peak wavelength relatively freely in the range of about 400 nm to 2000 nm by selecting the size and material as compared with the fluorescent dye, and can widen the Stokes shift.
  • advantages such as the ability to enhance detection performance by reducing the influence of noise due to overlap with excitation light and background, and the ability to observe moving objects for a long time because of very little discoloration. .
  • quantum dot a substance that exhibits a quantum confinement effect in a nanometer-sized semiconductor substance.
  • a quantum dot is a small lump within about 10 and several nanometers in which several hundred to several thousand semiconductor atoms are gathered, but when absorbing energy from an excitation source and reaching an energy excited state, the energy of the quantum dot Releases energy corresponding to the band gap. Therefore, it is considered that by adjusting the size or material composition of the quantum dots, it is possible to adjust the energy band gap and use energy in various levels of wavelength bands.
  • quantum dots have a crystal structure and the property that the band gap changes depending on the particle size, and the emission wavelength changes with the change of the band gap. This leads to spectral variations. In order to avoid this, there is a fundamental problem such as complicated operations such as classifying particles of a single spectrum.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to produce core / shell type semiconductor nanoparticles that produce core / shell type semiconductor nanoparticles with small emission spectrum variations and high emission intensity. It is to provide a method. Another object of the present invention is to provide a core / shell type semiconductor nanoparticle having a high emission intensity with a small variation in emission spectrum produced by using the core / shell type semiconductor nanoparticle production method.
  • Another object is to provide a labeling material useful for observation of a single molecule.
  • the core is manufactured, and then a part of the porous material is dissolved, and the compound containing the element is recrystallized on the core prepared in the pores, thereby forming a shell layer.
  • the present invention it is possible to provide a core / shell type semiconductor nanoparticle manufacturing method for manufacturing core / shell type semiconductor nanoparticles having a small emission spectrum variation and high emission intensity.
  • the present invention there is provided a method for producing core / shell type semiconductor nanoparticles having small emission spectrum variations and high emission intensity. Moreover, the core / shell type semiconductor nanoparticle manufactured using the said manufacturing method can be provided.
  • the present invention relates to a method for producing a core / shell type semiconductor nanoparticle having a core and a shell layer, the element containing the element contained in the shell layer, and the fineness of a porous material having a plurality of pores whose pore diameters are controlled.
  • a core is produced in the pores, and then a part of the porous material is dissolved, and a compound containing the element is recrystallized on the core produced in the pores to form a shell layer to form a core / shell.
  • Type semiconductor nanoparticles are produced.
  • the core particles forming the core of the core / shell type semiconductor nanoparticles are produced in the pores of the porous material, and the core particles are made of semiconductor nanoparticles.
  • semiconductor nanoparticles are produced using pores of a porous material whose pore size is controlled, and then a part of the porous material is dissolved to form a shell layer.
  • a core / shell type semiconductor nanoparticle is produced by making the semiconductor nanoparticle into a core shell.
  • the manufacturing method of the core / shell type semiconductor nanoparticles of the present invention is a manufacturing method having the above-described characteristics, and includes the following steps including at least two steps.
  • the porous material is dissolved, and the compound containing the element is recrystallized on the core formed in the pores, a shell layer is formed, and the semiconductor nanoparticles are core-shelled to form a core / shell type semiconductor.
  • the core / shell type semiconductor nanoparticles of the present invention can be formed using various semiconductor materials.
  • Group IV, Group II, and Group III semiconductor compounds in the periodic table of elements can be used.
  • MgS, MgSe, MgSe, MgTe, CaS, CaSe, CaTe, SrS, SrSe, SrTe, BaS, BaSe, BaTe, ZnS, ZnSe, ZnTe, CdS, CdSe, HgS, HgSe and HgTe can be mentioned.
  • GaAs, GaN, GaPGaSb, InGaAs, InP, InN, InSb, InAs, AlAs, AlP, AlSb, and AlS are preferable.
  • Ge, Pb and Si are particularly suitable.
  • the core / shell type semiconductor nanoparticles are core / shell type semiconductor nanoparticles having a core / shell structure composed of core particles made of semiconductor particles and a shell layer covering the core particles. It is preferable that the chemical compositions of the particles and the shell layer are different.
  • the average particle size of the core / shell type semiconductor nanoparticles according to the present invention is preferably 2 nm to 20 nm, and more preferably 3 nm to 10 nm.
  • the standard deviation value of the particle diameter is preferably 0.01 to 2.00, more preferably 0.01 to 1.0.
  • the “average particle diameter” of the core / shell type semiconductor nanoparticles according to the present invention is an average value of 50 measured with a transmission electron microscope (TEM).
  • a particularly preferable semiconductor material is Si. If necessary, a trace amount of a doping material such as Ga may be included.
  • the liquid phase method As a production method of the liquid phase method, there are a coprecipitation method, a sol-gel method, a uniform precipitation method, a reduction method and the like which are precipitation methods.
  • the reverse micelle method, the supercritical hydrothermal synthesis method, and the like are also excellent methods for producing nanoparticles (for example, JP 2002-322468, JP 2005-239775, JP 10-310770 A). No., JP 2000-104058 A, etc.).
  • the opposing raw material semiconductor is evaporated by the first high temperature plasma generated between the electrodes, and in the second high temperature plasma generated by electrodeless discharge in a reduced pressure atmosphere.
  • a method of separating and removing nanoparticles from an anode made of a raw material semiconductor by electrochemical etching see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2003-515459).
  • a laser ablation method see, for example, JP-A-2004-356163 and the like are used.
  • a method of synthesizing a powder containing particles by reacting a raw material gas in a gas phase in a low pressure state is also preferably used.
  • the core particle production method is particularly preferably a liquid phase production method.
  • ⁇ Shell layer> Various semiconductor materials can be used as the semiconductor material used for the shell layer. However, the material needs to be larger than the band gap of the semiconductor material used for the core particles. When the band gap of the shell layer is smaller than the band gap of the semiconductor material used for the core particles, the quantum confinement effect cannot be sufficiently obtained and the emission intensity is lowered.
  • the semiconductor material and the specific examples used for the shell layer e.g., SiO 2, ZnO, ZnS, ZnSe, ZnTe, CdO, CdS, CdSe, CdTe, MgS, MgSe, GaS, GaN, GaP, GaAs, GaSb, InAs, Examples thereof include InN, InP, InSb, AlAs, AlN, AlP, AlSb, or a mixture thereof.
  • a particularly preferable semiconductor material for the shell layer is SiO 2 .
  • the element contained in the porous material is Si and the shell layer is SiO 2 .
  • the shell layer according to the present invention may not completely cover the entire surface of the core particle as long as the core particle is not partially exposed to cause a harmful effect.
  • the porous material used in the present invention is a porous material having pores whose pore size is controlled, and is not particularly limited as long as the pore size is controlled on the nanometer order, and any material such as a sheet or porous particles Can also be used.
  • the material that can be used as the shell layer in other words, the porous material needs to contain an element contained in the shell layer.
  • CTAB cetyltrimethylammonium bromide
  • a curing method for curing is one of the preferred embodiments.
  • the pore diameter-controlled pores in the porous material having pore diameter-controlled pores are fine diameters controlled in nanometer order, and the average pore diameter is 1 nm or more and 30 nm or less. means.
  • the average pore diameter is preferably 2 nm to 20 nm, and more preferably 3 nm to 10 nm.
  • pores of which the diameter is controlled according to the present invention means that the standard deviation value of the pore diameter is 0.01 to 1.00, preferably 0.01 to 0.30, particularly preferably 0.00. It is preferably 07 to 0.22.
  • the variation in particle size of semiconductor nanoparticles is reduced, and the half-value width of the emission spectrum from visible light to the near-infrared region is reduced, so that a very sharp spectrum is obtained and a single unit with high accuracy is obtained. It leads to single molecule detection, identification, and observation of movement.
  • the pore diameter can be measured with a transmission electron microscope (TEM).
  • the pore diameter is an average value of the maximum diameter and the minimum diameter of the pores observed by TEM.
  • the pore diameter is measured for 100 pores to obtain a number average value, and this average value is used as the average pore diameter value.
  • the standard deviation is a value based on these 100 measured values.
  • the material used for dissolving the porous material is not particularly limited, but inorganic acids such as nitric acid, sulfuric acid and hydrofluoric acid are one of preferred embodiments.
  • the core / shell type semiconductor nanoparticles of the present invention (hereinafter also simply referred to as semiconductor nanoparticles of the present invention) have a half-value width of 2 to 50 nm in the emission band of the maximum emission wavelength of the emission spectrum when irradiated with excitation light. It is preferable that Here, the “half-value width” is the length of the wavelength corresponding to the peak width at half the intensity of the emission peak of the emission band of the maximum emission wavelength in the emission spectrum. More preferably, it is 2 to 30 nm, and most preferably 2 to 15 nm.
  • the silicon nanoparticles of the present invention can be applied to single molecule analysis in various technical fields.
  • a single molecule observation method by further changing the semiconductor nanoparticles having different emission spectra to be labeled with a plurality of types of molecules, respectively, by irradiating the molecules with excitation light, a plurality of types can be simultaneously used.
  • the applicable types of molecules include structural isomers having the same chemical composition but different chemical structures.
  • the semiconductor nanoparticles of the present invention can be applied to a biological material fluorescent labeling agent.
  • a biological substance labeling agent using the semiconductor nanoparticles of the present invention to living cells or living bodies having a target (tracking) substance, it binds or adsorbs to the target substance, and the conjugate or adsorbent has a predetermined content.
  • fluorescence dynamic imaging of the target (tracking) substance can be performed. That is, the biomaterial labeling agent using the semiconductor nanoparticles of the present invention can be used for bioimaging methods (technical means for visualizing biomolecules constituting the biomaterial and dynamic phenomena thereof).
  • hydrophilic treatment method for example, there is a method of chemically and / or physically binding a surface modifier to the particle surface after removing the lipophilic group on the surface with pyridine or the like.
  • the surface modifier those having a carboxyl group / amino group as a hydrophilic group are preferably used, and specific examples include mercaptopropionic acid, mercaptoundecanoic acid, aminopropanethiol and the like.
  • 10 ⁇ 5 g of semiconductor nanoparticles are dispersed in 10 ml of pure water in which 0.2 g of mercaptoundecanoic acid is dissolved, and stirred at 40 ° C. for 10 minutes to treat the surface of the shell layer.
  • the surface of the inorganic nanoparticle shell layer can be modified with a carboxyl group.
  • the biological material labeling agent using the semiconductor nanoparticles of the present invention can be obtained by bonding the above-described hydrophilic treated semiconductor nanoparticles and a molecular labeling substance via an organic molecule.
  • the biological substance labeling agent using the semiconductor nanoparticles of the present invention can be labeled with a biological substance when the molecular labeling substance specifically binds and / or reacts with the target biological substance.
  • Examples of the molecular labeling substance include nucleotide chains, antibodies, antigens and cyclodextrins.
  • the hydrophilic semiconductor nanoparticles and the molecular labeling substance are bonded via organic molecules.
  • the organic molecule is not particularly limited as long as it is an organic molecule capable of binding a semiconductor nanoparticle and a molecular labeling substance.
  • proteins albumin, myoglobin, casein, etc., and avidin, which is a kind of protein, are used together with biotin. It is also preferably used.
  • the form of the bond is not particularly limited, and examples thereof include a covalent bond, an ionic bond, a hydrogen bond, a coordinate bond, physical adsorption, and chemical adsorption.
  • a bond having a strong bonding force such as a covalent bond is preferable from the viewpoint of bond stability.
  • the semiconductor nanoparticles are hydrophilized with mercaptoundecanoic acid
  • avidin and biotin can be used as organic molecules.
  • the carboxyl group of the semiconductor nanoparticles subjected to the hydrophilic treatment is preferably covalently bonded to avidin, the avidin is further selectively bonded to biotin, and biotin is further bonded to the biological material labeling agent, thereby Become.
  • Example 1 Preparation of Semiconductor Nanoparticle 1 (Comparison) (Production Method 101) >> 1 ml of oleic acid and 1 ml of oleylamine were added to 50 ml of dioctyl ether, stirred well, and then heated to 100 ° C. while degassing. After stirring for 3 hours, the reaction vessel was heated to 200 ° C. while being filled with argon. After stirring for 1 hour, 1 ml of SiCl 4 was added dropwise over 30 seconds, and then stirred for 30 minutes. After cooling to 100 ° C. and stirring for 5 hours, the mixture was further cooled to room temperature.
  • the obtained semiconductor nanoparticles 1 have an average particle diameter of 5.21 nm and a standard deviation of 3.80 according to observation with a transmission electron microscope (TEM) (device name: H-9500, manufactured by Hitachi High-Tech).
  • TEM transmission electron microscope
  • the nanoparticle was a particle having a silicon nucleus and a surface layer of silica.
  • the porous silica film was impregnated in 50 ml of dioctyl ether to which 1 ml of oleic acid and 1 ml of oleylamine had been added, and after stirring well, it was heated to 100 ° C. while degassing. After stirring for 3 hours, the reaction vessel was heated to 200 ° C. while being filled with argon. After stirring for 1 hour, 1 ml of SiCl 4 was added dropwise over 30 seconds, and then stirred for 30 minutes. After cooling to 100 ° C. and stirring for 5 hours, the mixture was further cooled to room temperature to form a silicon core.
  • the obtained porous silica film was vacuum-dried and heat-treated in an atmosphere of nitrogen 99% oxygen 1% at 800 ° C. for 2 hours.
  • the obtained semiconductor nanoparticles 2 were examined for the particle diameter by observation with a transmission electron microscope (TEM) (device name: H-9500, manufactured by Hitachi High-Tech). The average particle diameter was 5.26 nm and the standard deviation was 0.21. Met. Also, as a result of Auger electron spectroscopy (device name: JAMP-7800F, manufactured by JEOL Ltd.) and FT-IR analysis (device name: FT-IR6100, manufactured by JEOL Ltd.), particles having a silicon nucleus and a silica surface layer Met.
  • TEM transmission electron microscope
  • Auger electron spectroscopy device name: JAMP-7800F, manufactured by JEOL Ltd.
  • FT-IR6100 manufactured by JEOL Ltd.
  • Semiconductor nanoparticles 3 were produced in the same manner as the semiconductor nanoparticles 2 except that this porous silica film was used.
  • the average particle size was 5.25 nm and the standard deviation was 0.13. Further, as a result of Auger electron spectroscopy and FT-IR analysis, the particles had a silicon nucleus and a surface layer of silica.
  • Semiconductor nanoparticles 4 were produced in the same manner as the semiconductor nanoparticles 2 except that this porous silica film was used.
  • the average particle diameter was 5.26 nm and the standard deviation was 0.06. Further, as a result of Auger electron spectroscopy and FT-IR analysis, the particles had a silicon nucleus and a surface layer of silica.
  • the semiconductor nanoparticles of the present invention have a small variation in emission spectrum and a high emission intensity. From this, it can be said that the semiconductor nanoparticles of the present invention are excellent as a labeling material for single molecule observation.
  • the present invention it is possible to provide a method for producing core / shell type semiconductor nanoparticles having a small emission spectrum variation and high emission intensity, and also to provide core / shell type semiconductor nanoparticles produced using the production method. I understand.
  • Example 2 1 ⁇ 10 ⁇ 5 g of the semiconductor nanoparticles prepared in Example 1 was redispersed in 10 ml pure water in which 0.2 g of mercaptoundecanoic acid was dissolved, and the surface was hydrophilized by stirring at 40 ° C. for 10 minutes. Various nanoparticles were obtained.
  • the obtained avidin conjugate nanoparticle solution was mixed and stirred with a biotinylated oligonucleotide having a known base sequence to prepare an oligonucleotide labeled with the nanoparticle.

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Abstract

　本発明は、コアおよびシェル層を有するコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法であって、該シェル層に含有される元素を含有し、孔径制御された細孔を複数有する多孔質材料の該細孔中で該コアを作製し、その後、該多孔質材料の一部を溶解し、さらに該細孔中で作製された該コア上に、該元素を含む化合物を再結晶させ、シェル層を形成しコア／シェル型半導体ナノ粒子を製造することを特徴とし、発光スペクトルのばらつきが小さく、発光強度の高いコア／シェル型半導体ナノ粒子が提供できる。

Description

コア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法およびコア／シェル型半導体ナノ粒子
　本発明は、コア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法およびその製造方法を用いて製造されたコア／シェル型半導体ナノ粒子に関する。
　近年の検出機材の高感度化や標識材料の高輝度化によって、単一分子の検出、同定、及び、運動の観察が可能になり、分析化学、分子生物学及びナノ構造体の解析に大きな役割を果たしてきている。
　単一分子の観察に使用される標識材料として、蛍光色素やナノ粒子蛍光体が提案されている。特にナノ粒子蛍光体は蛍光色素に比べて、大きさや材質を選択することにより、およそ４００ｎｍ～２０００ｎｍの範囲で比較的自由に発光ピーク波長を設定することができること、ストークスシフトを広くとることができ、励起光との重なりやバックグラウンドによるノイズ影響を小さくすることで検出能を高めることができること、また褪色が非常に少ないため、長時間の動体観察が可能であることなど、利点が非常に多い。
　一般に、ナノメートルサイズの半導体物質で量子閉じ込め（ｑｕａｎｔｕｍ　ｃｏｎｆｉｎｅｍｅｎｔ）効果を示す物質は「量子ドット」と称されている。このような量子ドットは、半導体原子が数百個から数千個集まった１０数ｎｍ程度以内の小さな塊であるが、励起源から光を吸収してエネルギー励起状態に達すると、量子ドットのエネルギーバンドギャップに相当するエネルギーを放出する。したがって、量子ドットの大きさまたは物質組成を調節すると、エネルギーバンドギャップを調節することができて様々な水準の波長帯のエネルギーを利用することができる可能性があると考えられている。
　しかしながら、量子ドットは、結晶構造をもち、粒径によりバンドギャップが変化するという性質を持ち、バンドギャップの変化に伴い発光波長が変化するため、個々の粒径のばらつきが、直接粒子毎の発光スペクトルのばらつきにつながる。これを回避するには、単一スペクトルの粒子を分級するなど煩雑な操作が必要になるなどの原理的な問題を抱えている。
　また、単一分子の観察に使用される標識材料には、低コスト、地球環境に対して優しい、人体に無毒性・無害性でかつ省エネルギー化の実現、といったキーワードを持つ新規な材料を開発していく必要がある。これらのキーワードをすべて満足させることのできる材料として、シリコンが挙げられるが上記課題を解決できる製法は未だ得られていない。
　一方、多孔質材料の細孔中にナノサイズの粒子が内在していることを特徴とするナノ粒子分散材料、シート、積層体を提供する技術が開示されているが（例えば、特許文献１参照）、しかしながら、コア／シェル型半導体ナノ粒子及び個々の粒径のばらつきと粒径に起因する発光スペクトルのばらつき、発光強度については全く記載されていない。
特開２００５－１３９３７６号公報
　本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、本発明の目的は、発光スペクトルのばらつきが小さく、発光強度の高いコア／シェル型半導体ナノ粒子を製造するコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法を提供することにある。また、該コア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法を用いて製造された発光スペクトルのばらつきが小さく、発光強度の高いコア／シェル型半導体ナノ粒子を提供することにある。
　更には、単一分子の観察に有用な標識材料を提供することにある。
　本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
　１．コアおよびシェル層を有するコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法であって、該シェル層に含有される元素を含有し、孔径制御された細孔を複数有する多孔質材料の該細孔中で該コアを作製し、その後、該多孔質材料の一部を溶解し、さらに該細孔中で作製された該コア上に、該元素を含む化合物を再結晶させ、シェル層を形成しコア／シェル型半導体ナノ粒子を製造することを特徴とするコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法。
　２．前記多孔質材料がシリカであることを特徴とする前記１記載のコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法。
　３．前記コアが、シリコンからなることを特徴とする前記１または２記載のコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法。
　４．前記１から３のいずれか１項に記載のコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法により製造されたことを特徴とするコア／シェル型半導体ナノ粒子。
　本発明によれば、発光スペクトルのばらつきが小さく、発光強度の高いコア／シェル型半導体ナノ粒子を製造するコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法を提供することができる。また、該コア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法を用いて製造された発光スペクトルのばらつきが小さく、発光強度の高いコア／シェル型半導体ナノ粒子を提供することができる。
　本発明によれば、発光スペクトルのばらつきが小さく、発光強度の高いコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法を提供することである。また、当該製造方法を用いて製造されたコア／シェル型半導体ナノ粒子を提供することができる。
　以下、本発明を実施するための最良の形態について説明するが、本発明はこれらに限定されない。
　本発明は、コアおよびシェル層を有するコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法であって、このシェル層に含有される元素を含有し、孔径制御された細孔を複数有する多孔質材料の細孔中でコアを作製し、その後、多孔質材料の一部を溶解し、さらに細孔中で作製されたコア上に、前記元素を含む化合物を再結晶させ、シェル層を形成しコア／シェル型半導体ナノ粒子を製造することを特徴とする。
　本発明において、コア／シェル型半導体ナノ粒子のコアを形成するコア粒子は、多孔質材料の細孔中で作製されるが、コア粒子は、半導体ナノ粒子からなる。
　本発明のコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法は、孔径制御された多孔質材料の細孔を用いて半導体ナノ粒子を作製した後、該多孔質材料の一部を溶解してシェル層としかつ該半導体ナノ粒子をコアとしてコアシェル化してコア／シェル型半導体ナノ粒子を製造することを特徴とする。
　（コア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法）
　本発明のコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法は、上記の特徴を有する製造方法であるが、下記の少なくとも２つの工程を含む工程からなる。
　（１）孔径制御された細孔を有する多孔質材料の存在下で半導体ナノ粒子の原料を添加し反応させて「細孔に半導体ナノ粒子含有多孔質材料」を生成させる工程
　（２）該「細孔に半導体ナノ粒子含有多孔質材料」の多孔質材料を溶解してシェル層としかつ該半導体ナノ粒子をコアとしてコアシェル化してコア／シェル型半導体ナノ粒子とする工程
　尚、（２）の工程では、多孔質材料を溶解して、さらに細孔中で作製されたコア上に、該元素を含む化合物を再結晶させ、シェル層を形成し、半導体ナノ粒子をコアシェル化してコア／シェル型半導体ナノ粒子とする。
　（コア／シェル型半導体ナノ粒子の形成材料）
　本発明のコア／シェル型半導体ナノ粒子は種々の半導体材料を用いて形成することができる。例えば、元素の周期表のIV族、II族、及びIII族の半導体化合物を用いることができる。
　II族の半導体の中では、特に、ＭｇＳ、ＭｇＳｅ、ＭｇＳｅ、ＭｇＴｅ、ＣａＳ、ＣａＳｅ、ＣａＴｅ、ＳｒＳ、ＳｒＳｅ、ＳｒＴｅ、ＢａＳ、ＢａＳｅ、ＢａＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＨｇＳ、ＨｇＳｅ及びＨｇＴｅを挙げることができる。
　III族の半導体の中では、ＧａＡｓ、ＧａＮ、ＧａＰＧａＳｂ、ＩｎＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＩｎＮ、ＩｎＳｂ、ＩｎＡｓ、ＡｌＡｓ、ＡｌＰ、ＡｌＳｂ及びＡｌＳが好ましい。
　IV族の半導体の中では、Ｇｅ、Ｐｂ及びＳｉは特に適している。
　本発明においては、コア／シェル型半導体ナノ粒子（蛍光半導体粒子）であるのでコア／シェル構造を有する粒子にすることを要する。この場合、コア／シェル型半導体ナノ粒子は半導体粒子からなるコア粒子と該コア粒子を被覆するシェル層とで構成されるコア／シェル構造を有するコア／シェル型半導体ナノ粒子であって、該コア粒子とシェル層の化学組成が相異するものであることが好ましい。
　本発明に係るコア／シェル型半導体ナノ粒子の平均粒径に関しては、２ｎｍ～２０ｎｍであることが好ましく、３ｎｍ～１０ｎｍであることがより好ましい。かつ、粒径の標準偏差値が０．０１～２．００であることが好ましく、０．０１～１．０であることがより好ましい。
　上記範囲であることにより半導体ナノ粒子個々の粒径のばらつきが小さくなり、可視光から近赤外領域の発光スペクトルの半値幅が狭くなるため、非常にシャープなスペクトルが得られ、高精度な単一分子の検出、同定、及び、運動の観察につながる。尚、本発明に係るコア／シェル型半導体ナノ粒子の「平均粒径」とは、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により５０個を実測し、その平均値を示す。
　以下、コア粒子とシェル層について説明する。
　〈コア粒子〉
　コア粒子に用いられる半導体材料としては、種々の半導体材料を用いることができる。具体例としては、例えば、ＭｇＳ、ＭｇＳｅ、ＭｇＴｅ、ＣａＳ、ＣａＳｅ、ＣａＴｅ、ＳｒＳ、ＳｒＳｅ、ＳｒＴｅ、ＢａＳ、ＢａＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＧａＡｓ、ＧａＰ、ＧａＳｂ、ＩｎＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＩｎＮ、ＩｎＳｂ、ＩｎＡｓ、ＡｌＡｓ、ＡｌＰ、ＡｌＳｂ、ＡｌＳ、ＰｂＳ、ＰｂＳｅ、Ｇｅ、Ｓｉ、又はこれらの混合物等が挙げられる。本発明において、特に好ましい半導体材料は、Ｓｉである。なお、必要があればＧａなどのドープ材料を極微量含んでもよい。
　本発明のコア粒子の製造については、従来公知の種々の方法を用いることができる。
　液相法の製造方法としては、沈殿法である、共沈法、ゾルーゲル法、均一沈殿法、還元法などがある。そのほかに、逆ミセル法、超臨界水熱合成法、などもナノ粒子を作製する上で優れた方法である（例えば、特開２００２－３２２４６８号、特開２００５－２３９７７５号、特開平１０－３１０７７０号、特開２０００－１０４０５８号公報等を参照。）。
　気相法の製造方法としては、（１）対向する原料半導体を電極間で発生させた第一の高温プラズマによって蒸発させ、減圧雰囲気中において無電極放電で発生させた第二の高温プラズマ中に通過させる方法（例えば特開平６－２７９０１５号公報参照。）、（２）電気化学的エッチングによって、原料半導体からなる陽極からナノ粒子を分離・除去する方法（例えば特表２００３－５１５４５９号公報参照。）、レーザーアブレーション法（例えば特開２００４－３５６１６３号参照。）などが用いられる。また、原料ガスを低圧状態で気相反応させて、粒子を含む粉末を合成する方法も、好ましく用いられる。
　コア粒子の製造方法としては、特に液相法による製造方法が好ましい。
　〈シェル層〉
　シェル層に用いられる半導体材料としては、種々の半導体材料を用いることができる。但し、コア粒子に用いられる半導体材料のバンドギャップよりも大きい材料であることが必要である。シェル層のバンドギャップがコア粒子に用いられる半導体材料のバンドギャップよりも小さいと量子閉じ込め効果が充分に得られず発光強度が低くなってしまう。
　シェル層に用いられる半導体材料と具体例としては、例えば、ＳｉＯ2、ＺｎＯ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＣｄＯ、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＭｇＳ、ＭｇＳｅ、ＧａＳ、ＧａＮ、ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＧａＳｂ、ＩｎＡｓ、ＩｎＮ、ＩｎＰ、ＩｎＳｂ、ＡｌＡｓ、ＡｌＮ、ＡｌＰ、ＡｌＳｂ、又はこれらの混合物等が挙げられる。
　本発明において、シェル層として特に好ましい半導体材料は、ＳｉＯ2である。
　即ち、多孔質材料中に含有される元素がＳｉであり、シェル層がＳｉＯ２であることが好ましい態様である。
　なお、本発明に係るシェル層は、コア粒子が部分的に露出して弊害を生じない限り、コア粒子の全表面を完全に被覆するものでなくてもよい。
　（多孔質材料）
　本発明に用いられる多孔質材料としては、孔径制御された細孔を有する多孔質材料であり、ナノメーターオーダーで孔径が制御されたものなら特に限定はなく、シート状や多孔質粒子等いかなるものも使用できる。但し、シェル層として使用可能な材料、換言すると、多孔質材料はシェル層に含有される元素を含有する必要がある。
　例えば、多孔質材料としてＳｉＯ2を用いる場合、「Ｎａｔｕｒｅ、３５９、ｐ．７１０－７１２、Ｃ．Ｔ．Ｋｒｅｓｇｅほか４名、（１９９２）」に示されるような、セチルトリメチルアンモニウムブロミド（ＣＴＡＢ）を鋳型としてケイ酸成分を反応させることにより直径２～８ｎｍの円筒状細孔を２次元－六方構造に形成させる合成方法や、ゾルゲル法のような溶液法により作製した溶液を塗布した膜に、熱硬化させる合成方法等が好ましい態様のひとつである。
　尚、本発明において、孔径制御された細孔を有する多孔質材料における孔径制御された細孔とは、ナノメーターオーダーで制御された細径であり、平均孔径が１ｎｍ以上３０ｎｍ以下であることを意味する。平均孔径が、２ｎｍ～２０ｎｍであることが好ましく、３ｎｍ～１０ｎｍであることがより好ましい。
　本発明に係る口径制御された細孔を有するとは、孔径の標準偏差値が０．０１～１．００であることであり、０．０１～０．３０であることが好ましく、特に０．０７～０．２２であることが好ましい。
　上記範囲であることにより半導体ナノ粒子個々の粒径のばらつきが小さくなり、可視光から近赤外領域の発光スペクトルの半値幅が狭くなるため、非常にシャープなスペクトルが得られ、高精度な単一分子の検出、同定、及び、運動の観察につながる。尚、孔径は透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により測定することができる。
　孔径は、ＴＥＭにより観察された細孔の最大径と最小径の平均値であり、この孔径を１００個の細孔について測定し数平均値を求めこの平均値を平均孔径の値とする。
　上記標準偏差は、この１００個の測定値に基づく値である。
　（多孔質材料の溶解）
　本発明において、多孔質材料の溶解に用いられる材料に特に限定はないが、硝酸、硫酸、フッ酸等の無機酸が好ましい態様のひとつである。
　（発光スペクトル）
　本発明のコア／シェル型半導体ナノ粒子（以下、単に、本発明の半導体ナノ粒子ともいう。）は、励起光を照射したときの発光スペクトルの極大発光波長の発光帯の半値幅が２～５０ｎｍであることが好ましい。ここで「半値幅」とは、発光スペクトルにおける極大発光波長の発光帯の発光ピーク強度の１／２の強度でのピーク幅に相当する波長の長さである。より好ましくは２～３０ｎｍであり、２～１５ｎｍであることが最も好ましい。
　（応用例）
　本発明のシリコンナノ粒子は、種々の技術分野における単一分子分析に応用できる。例えば、単一分子観察方法において、更には、異なる発光スペクトルをもつ半導体ナノ粒子で複数種類の分子をそれぞれ標識するように変更することにより、該分子に励起光を照射することによって、同時に複数種類の分子の同定を行う（複数種類分子観察方法を行う）こともできる。なお、適用可能な複数種類の分子としては、化学組成は同じであるが化学構造の異なる構造異性体等も含む。
　以下において、代表的な応用例について説明する。
　（生体物質標識剤とバイオイメージング）
　本発明の半導体ナノ粒子は、生体物質蛍光標識剤に適応することができる。また、標的（追跡）物質を有する生細胞もしくは生体に本発明の半導体ナノ粒子を用いた生体物質標識剤を添加することで、標的物質と結合もしくは吸着し、該結合体もしくは吸着体に所定の波長の励起光を照射し、当該励起光に応じて蛍光半導体粒子から発生する所定の波長の蛍光を検出することにより、上記標的（追跡）物質の蛍光動態イメージングを行うことができる。すなわち、本発明の半導体ナノ粒子を用いた生体物質標識剤は、バイオイメージング法（生体物質を構成する生体分子やその動的現象を可視化する技術手段）に利用することができる。
　〔半導体ナノ粒子の親水化処理〕
　半導体ナノ粒子の表面は、一般的には、疎水性であるため、例えば生体物質標識剤として使用する場合は、このままでは水分散性が悪く、粒子が凝集してしまう等の問題があるため、コア／シェル型半導体ナノ粒子のシェル層の表面を親水化処理することが好ましい。
　親水化処理の方法としては例えば、表面の親油性基をピリジン等で除去した後に粒子表面に表面修飾剤を化学的および／または物理的に結合させる方法がある。表面修飾剤としては、親水基として、カルボキシル基・アミノ基を持つものが好ましく用いられ、具体的にはメルカプトプロピオン酸、メルカプトウンデカン酸、アミノプロパンチオールなどがあげられる。具体的には、例えば、半導体ナノ粒子１０-5ｇをメルカプトウンデカン酸０．２ｇが溶解した純水１０ｍｌ中に分散させて、４０℃、１０分間攪拌し、シェル層の表面を処理することで無機ナノ粒子のシェル層の表面をカルボキシル基で修飾することができる。
　〔生体物質標識剤〕
　本発明の半導体ナノ粒子を用いた生体物質標識剤は、上述した親水化処理された半導体ナノ粒子と、分子標識物質とを有機分子を介して結合させて得られる。
　〈分子標識物質〉
　本発明の半導体ナノ粒子を用いた生体物質標識剤は分子標識物質が目的とする生体物質と特異的に結合および／または反応することにより、生体物質の標識が可能となる。
　該分子標識物質としては例えば、ヌクレオチド鎖、抗体、抗原およびシクロデキストリン等が挙げられる。
　〈有機分子〉
　本発明の半導体ナノ粒子を用いた生体物質標識剤は、親水化処理された半導体ナノ粒子と、分子標識物質とが有機分子を介して結合されている。該有機分子としては半導体ナノ粒子と分子標識物質とを結合できる有機分子であれば特に制限はないが、例えば、タンパク質中でも、アルブミン、ミオグロビンおよびカゼイン等、またタンパク質の一種であるアビジンをビオチンと共に用いることも好適に用いられる。上記結合の態様としては特に限定されず、共有結合、イオン結合、水素結合、配位結合、物理吸着および化学吸着等が挙げられる。結合の安定性から共有結合などの結合力の強い結合が好ましい。
　具体的には、半導体ナノ粒子をメルカプトウンデカン酸で親水化処理した場合は、有機分子としてアビジンおよびビオチンを用いることができる。この場合親水化処理された半導体ナノ粒子のカルボキシル基はアビジンと好適に共有結合し、アビジンがさらにビオチンと選択的に結合し、ビオチンがさらに生体物質標識剤と結合することにより生体物質標識剤となる。
　以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。尚、特に断りない限り、実施例中の「部」あるいは「％」の表示は、「質量部」あるいは「質量％」を表す。
　実施例１
　《半導体ナノ粒子１（比較）の作製（製造方法１０１）》
　オレイン酸１ｍｌとオレイルアミン１ｍｌをジオクチルエーテル５０ｍｌに添加し、よく攪拌した後、脱気しながら１００℃まで加熱した。３時間攪拌後、反応容器をアルゴンで満たしながら２００℃まで加熱した。１時間攪拌後、３０秒間でＳｉＣｌ4を１ｍｌ滴下して、その後、３０分間攪拌した。１００℃まで冷却して５時間攪拌後、さらに室温まで冷却した。
　得られた溶液を真空乾燥すると、ゲル状の有機物とナノ粒子の混合物が得られた。これをメタノールで数回洗浄すると、茶褐色の粉体が得られた。これを酸素プラズマ処理することで、粒子表面に付着した有機物を除去して、半導体ナノ粒子１（比較）を作製した。
　得られた半導体ナノ粒子１（粉体）は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）（機器名称：Ｈ－９５００、日立ハイテク社製）観察によれば、平均粒径５．２１ｎｍで標準偏差３．８０のナノ粒子が含まれており、オージェ電子分光法およびＦＴ－ＩＲ分析の結果、シリコン核とシリカの表面層を有する粒子であった。
　《半導体ナノ粒子２（本発明）の作製（製造方法１０２）》
　テトラエトキシシリケート０．１ｍｌをエタノール９．０ｍｌ中に溶解し、硝酸を触媒として０．６ｍｌ添加し、６０℃で５時間加熱攪拌した。その後、３５℃で４８時間攪拌してコーティング液を作製した。次にガラス基板に作製したコーティング液を３５００ｒｐｍでスピンコートにより塗布し、凍結乾燥後、５２０℃で１時間熱処理し多孔質シリカフィルムを得た。作製した多孔質シリカフィルムを透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察により孔径を調べたところ、平均孔径５．２５ｎｍで標準偏差０．２２であった。
　オレイン酸１ｍｌとオレイルアミン１ｍｌが添加されたジオクチルエーテル５０ｍｌに、上記の多孔質シリカフィルムを含浸し、よく攪拌した後、脱気しながら１００℃まで加熱した。３時間攪拌後、反応容器をアルゴンで満たしながら２００℃まで加熱した。１時間攪拌後、３０秒間でＳｉＣｌ4を１ｍｌ滴下して、その後、３０分間攪拌した。１００℃まで冷却して５時間攪拌後、さらに室温まで冷却しシリコンからなるコアを形成した。
　得られた多孔質シリカフィルムを真空乾燥し、これを８００℃２時間窒素９９％酸素１％の雰囲気で加熱処理した。
　その後、２８℃の２０質量％フッ酸水溶液中に添加して多孔質シリカフィルムを溶解した。４０分間攪拌した後、石灰を用いて中和して、シリカを上記コア上に再結晶させ半導体ナノ粒子２（本発明）を作製した。
　得られた半導体ナノ粒子２は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）（機器名称：Ｈ－９５００、日立ハイテク社製）観察により粒径を調べたところ、平均粒径５．２６ｎｍで標準偏差０．２１であった。また、オージェ電子分光法（機器名称：ＪＡＭＰ－７８００Ｆ、日本電子社製）およびＦＴ－ＩＲ分析（機器名称：ＦＴ－ＩＲ６１００、日本電子社製）の結果、シリコン核とシリカの表面層を有する粒子であった。
　《半導体ナノ粒子３（本発明）の作製（製造方法１０３）》
　テトラエトキシシリケート０．１ｍｌをエタノール９．０ｍｌ中に溶解し、硝酸を触媒として０．６ｍｌ添加し、６０℃で５時間加熱攪拌した。その後、３５℃で４８時間攪拌してコーティング液を作製した。次にガラス基板に作製したコーティング液を４０００ｒｐｍでスピンコートにより塗布し、凍結乾燥後、４８０℃で１．２時間熱処理し多孔質シリカフィルムを得た。作製した多孔質シリカフィルムを透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察により孔径を調べたところ、平均孔径５．２４ｎｍで標準偏差０．１５であった。
　この多孔質シリカフィルムを用いた以外は上記半導体ナノ粒子２と同様の方法で半導体ナノ粒子３を作製した。
　得られた半導体ナノ粒子３は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察により粒径を調べたところ、平均粒径５．２５ｎｍで標準偏差０．１３であった。また、オージェ電子分光法およびＦＴ－ＩＲ分析の結果、シリコン核とシリカの表面層を有する粒子であった。
　《半導体ナノ粒子４（本発明）の作製（製造方法１０４）》
　テトラエトキシシリケート０．１ｍｌをエタノール９．０ｍｌ中に溶解し、硝酸を触媒として０．６ｍｌ添加し、６０℃で５時間加熱攪拌した。その後、４０℃で５０時間攪拌してコーティング液を作製した。次にガラス基板に作製したコーティング液を４０００ｒｐｍでスピンコートにより塗布し、凍結乾燥後、４８０℃で１．２時間熱処理し多孔質シリカフィルムを得た。作製した多孔質シリカフィルムを透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察により孔径を調べたところ、平均孔径５．２５ｎｍで標準偏差０．０７であった。
　この多孔質シリカフィルムを用いた以外は上記半導体ナノ粒子２と同様の方法で半導体ナノ粒子４を作製した。
　得られた半導体ナノ粒子４は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察により粒径を調べたところ、平均粒径５．２６ｎｍで標準偏差０．０６であった。また、オージェ電子分光法およびＦＴ－ＩＲ分析の結果、シリコン核とシリカの表面層を有する粒子であった。
　《評価方法》
　（発光スペクトルの、半値幅、極大発光波長、相対発光ピーク強度）
　得られた半導体ナノ粒子について、分光蛍光光度計Ｆ－７０００（日立ハイテク社製）を用いて、蛍光スペクトルを測定した。発光スペクトルの、半値幅、極大発光波長、相対発光ピーク強度を表１に示す。相対発光ピーク強度は、半導体ナノ粒子１（比較）を１００とすることにより求めた。
　結果を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１から明らかなように、本発明の半導体ナノ粒子は発光スペクトルのばらつきが小さく、発光強度が高いことがわかる。このことから、本発明の半導体ナノ粒子は、単一分子観察の標識材料として優れているといえる。
　本発明により、発光スペクトルのばらつきが小さく、発光強度の高いコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法を提供できる、また、当該製造方法を用いて製造されたコア／シェル型半導体ナノ粒子を提供できることがわかる。
　実施例２
　実施例１において作製した半導体ナノ粒子をメルカプトウンデカン酸０．２ｇを溶解した１０ｍｌ純水中に１×１０-5ｇを再分散させ、４０℃、１０分間攪拌することで表面が親水化処理された各種ナノ粒子を得た。
　その後、表面が親水化処理された各種ナノ粒子の水溶液それぞれにアビジン２５ｍｇを添加し４０℃で１０分間攪拌を行い、アビジンコンジュゲートナノ粒子を作製した。
　得られたアビジンコンジュゲートナノ粒子溶液にビオチン化された塩基配列が既知であるオリゴヌクレオチドを混合攪拌し、ナノ粒子でラベリングされたオリゴヌクレオチドを作製した。
　さまざまな塩基配列を持つオリゴヌクレオチドを固定化したＤＮＡチップ上に上記のラベリングしたオリゴヌクレオチドを滴下・洗浄したところ、ラベリングされたオリゴヌクレオチドと相補的な塩基配列をもつオリゴヌクレオチドのスポットのみが紫外線照射により半導体ナノ粒子の粒径依存して異なる色の発光をすることが確認された。
　このことより、本発明に係る半導体ナノ粒子でのオリゴヌクレオチドのラベリングが可能なことを確認することができた。

Claims (4)

  1. コアおよびシェル層を有するコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法であって、該シェル層に含有される元素を含有し、孔径制御された細孔を複数有する多孔質材料の該細孔中で該コアを作製し、その後、該多孔質材料の一部を溶解し、さらに該細孔中で作製された該コア上に、該元素を含む化合物を再結晶させ、シェル層を形成しコア／シェル型半導体ナノ粒子を製造することを特徴とするコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法。
  2. 前記多孔質材料がシリカであることを特徴とする請求の範囲第１項記載のコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法。
  3. 前記コアが、シリコンからなることを特徴とする請求の範囲第１項または第２項記載のコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法。
  4. 請求の範囲第１項から第３項のいずれか１項に記載のコア／シェル型半導体ナノ粒子の製造方法により製造されたことを特徴とするコア／シェル型半導体ナノ粒子。
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