WO2009112680A3 - Dispositif de spectroscopie en longueur d'onde à filtres intégrés - Google Patents

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Marc Hubert
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Abstract

L'invention concerne un dispositif de spectroscopie en longueur d'onde comportant sur un substrat SUB un module de filtrage constitué de deux miroirs MIR1, MIR2 séparés par une membrane d'espacement SP. Ce module de filtrage comporte une pluralité de filtres interférentiels FP1, FP2, FP3, l'épaisseur de la membrane d'espacement SP étant constante pour un filtre donné et variant d'un filtre à l'autre.
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