WO2009091044A1 - Ｘ線管 - Google Patents

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distance
central axis
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Takashi Shimono
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Kabushiki Kaisha Toshiba
Toshiba Electron Tubes & Devices Co., Ltd.
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Definitions

  • the present invention relates to an X-ray tube that emits X-rays.
  • FIGS. 2A and 2B show the inside of the X-ray tube viewed from the direction of arrow BB in FIG. 2A.
  • the X-ray tube 1 has a vacuum envelope 2 whose inside is a vacuum.
  • the vacuum envelope 2 is configured by connecting an insulating envelope 3 on one end side and a metal envelope 4 on the other end side.
  • the X-ray tube 1 includes a cathode electron gun 6 having a filament coil 5, an anode 7, and X-ray emission windows 8a and 8b.
  • the cathode electron gun 6 is provided in the vacuum envelope 2 and is supported by the insulating envelope 3.
  • the filament coil 5 is disposed around the X-ray tube center axis O with the direction orthogonal to the X-ray tube center axis O as the longitudinal direction.
  • the anode 7 is supported by the metal envelope 4.
  • the anode 7 is provided at a position facing the filament coil 5 on the X-ray tube central axis O.
  • the focal point 9 is formed in a rectangular shape on the anode 7. That is, the focal point 9 is formed on the anode 7 by the electrons emitted from the filament coil 5 being focused on a rectangular electron beam having a long side in the longitudinal direction of the filament coil 5.
  • the focal point 9 viewed from the short side of the rectangle is called point focus.
  • the focal point 9 viewed from the long side of the rectangle is called line focus.
  • the X-ray emission window 8 a is disposed on the wall portion around the metal envelope 4 in a direction orthogonal to the X-ray tube center axis O and in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 5. Yes.
  • the X-ray emission window 8 a takes out X-rays emitted in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 5 to the outside of the metal envelope 4.
  • the X-ray radiation window 8 b is disposed on the wall portion around the metal envelope 4 in the longitudinal direction of the filament coil 5.
  • the X-ray emission window 8 b extracts X-rays emitted in the longitudinal direction of the filament coil 5 to the outside of the metal envelope 4.
  • the outer peripheral shape of the cathode electron gun 6 is circular.
  • the outer peripheral shape of the metal envelope 4 in which the electrical insulation distance from the outer surface of the cathode electron gun 6 is restricted is circular.
  • an X-ray emission window 8a on the line focus side and an X-ray emission window 8b on the point focus side are respectively arranged.
  • the distance from the X-ray tube center axis O to the X-ray emission window 8a on the line focus side and the distance from the X-ray tube center axis O to the X-ray emission window 8b on the point focus side are formed at the same distance. ing.
  • the center of the focal point 9 which is the X-ray generation source of the anode 7 is positioned on the X-ray tube central axis O.
  • an optical element for condensing X-rays emitted from the X-ray tube 1 is disposed outside the X-ray emission window 8a or the X-ray emission window 8a.
  • This optical element is preferably arranged as close as possible to the focal point 9 of the anode 7 in order to improve the light collection efficiency.
  • the distance from the focal point 9 (X-ray tube central axis O) of the anode 7 to the X-ray radiation window 8a on the line focus side is relatively long.
  • the distance from the focal point 9 to the X-ray radiation window 8a is long, the light collection efficiency by the optical element cannot be sufficiently improved.
  • the distance from the X-ray tube central axis O to the X-ray emission window 8a on the line focus side and the distance to the X-ray emission window 8b on the point focus side are the same distance. For this reason, the distance from the X-ray tube central axis O to the X-ray emission window 8a on the line focus side cannot be made shorter than the distance from the X-ray tube center axis O to the X-ray emission window 8b on the point focus side. It was.
  • the present invention has been made in view of these points, and provides an X-ray tube capable of shortening the distance from the X-ray tube central axis to the X-ray radiation window in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil. With the goal.
  • an X-ray tube of the present invention includes a vacuum envelope and a direction provided in the vacuum envelope and orthogonal to the X-ray tube central axis with the X-ray tube central axis as a center.
  • a cathode electron gun having a filament coil disposed as a longitudinal direction, an anode provided in the vacuum envelope on the central axis of the X-ray tube so as to face the filament coil, and a length of the filament coil
  • An X-ray radiation window provided facing the anode on a wall of the vacuum envelope in a direction perpendicular to the direction, and the X in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil
  • a distance from the central axis of the tube to the outer surface of the cathode electron gun is shorter than a distance from the central axis of the X-ray tube to the outer surface of the cathode electron gun in the longitudinal direction of the filament coil; The distance from the central axis of the X-ray tube in the direction per
  • the X-ray tube of the present invention is provided with a vacuum envelope and the vacuum envelope, and is orthogonal to the X-ray tube center axis about the X-ray tube center axis.
  • a cathode electron gun having a filament coil arranged with the direction to be a longitudinal direction; an anode provided in the vacuum envelope on the central axis of the X-ray tube so as to face the filament coil; and the filament coil X-ray emission windows provided on the wall of the vacuum envelope in the longitudinal direction of the vacuum envelope and on the wall of the vacuum envelope in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil respectively facing the anode
  • the distance from the central axis of the X-ray tube to the outer surface of the cathode electron gun in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil is a front in the longitudinal direction of the filament coil.
  • the distance from the X-ray tube central axis to the X-ray emission window in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil is shorter than the distance from the X-ray tube central axis to the outer surface of the cathode electron gun, It is shorter than the distance from the X-ray tube central axis to the X-ray emission window in the longitudinal direction of the filament coil.
  • FIG. 1A is a cross-sectional view of X-ray emission to the line focus side of an X-ray tube according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1B is a cross-sectional view of the X-ray tube as viewed from the direction of arrows AA.
  • FIG. 2A is a cross-sectional view for emitting X-rays to the line focus side of a conventional X-ray tube.
  • FIG. 2B is a cross-sectional view of the X-ray tube viewed from the direction of arrow BB.
  • FIGS. 1A and 1B An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1A and 1B.
  • FIG. 1A is a cross-sectional view that emits X-rays to the line focus side of the X-ray tube 11, is a cross-sectional view as viewed from the longitudinal direction of the filament coil, and FIG. 1B is as viewed from the direction of arrows AA in FIG. 1A.
  • 2 is a cross-sectional view of the X-ray tube 11.
  • the X-ray tube 11 has a vacuum envelope 12 whose inside is a vacuum.
  • the vacuum envelope 12 includes a metal envelope 14 and an insulating envelope 13 provided on one end side of the metal envelope 14.
  • the X-ray tube 11 includes an anode electron gun 16 having a filament coil 15 as an electron emission source, and an anode 17 facing the filament coil 15.
  • the anode electron gun 16 is supported by the insulating envelope 13.
  • the filament coil 15 is centered at the center of the X-ray tube 11 (X-ray tube central axis O) when the anode electron gun 16 is disposed in the vacuum envelope 12.
  • the filament coil 15 is arranged in the anode electron gun 16 with its longitudinal direction positioned in a direction orthogonal to the X-ray tube central axis O.
  • the anode 17 is supported by the metal envelope 14 at a position facing the filament coil 15.
  • the insulating envelope 13 has a function of a high voltage receptacle.
  • the metal envelope 14 and the anode 17 are at ground potential.
  • X-ray radiation windows 20a and 20b are provided around the metal envelope 14.
  • the X-ray emission window 20 a is provided on a wall portion on one side of the metal envelope 14 in a direction orthogonal to the X-ray tube central axis O and in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 15. Yes.
  • the X-ray emission window 20 a is disposed facing the anode 17.
  • the X-ray emission window 20 a takes out X-rays emitted in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 15 to the outside of the metal envelope 14.
  • the X-ray emission window 20 b is provided on a wall portion on one side of the metal envelope 14 in the direction orthogonal to the X-ray tube center axis O and in the longitudinal direction of the filament coil 15.
  • the X-ray emission window 20 b is disposed facing the anode 17.
  • the X-ray emission window 20 b extracts X-rays emitted in the longitudinal direction of the filament coil 15 to the outside of the metal envelope 14.
  • the cathode electron gun 16 is formed in a size necessary for focusing electrons emitted from the filament coil 15.
  • the outer surface of the cathode electron gun 16 in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 15 is formed in a plane parallel to the longitudinal direction of the filament coil 15.
  • the cathode electron gun 16 is formed in a substantially rectangular shape, with the longitudinal side of the filament coil 15 being the long side and the direction side perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 15 being the short side.
  • the focal point 21 which is an X-ray generation source is a surface facing the filament coil 15 of the anode 17 and is located on an extension of the X-ray tube central axis O.
  • the focal point 21 is formed in a rectangular shape on the anode 17. That is, the focal point 21 is formed on the anode 17 by focusing the electrons emitted from the filament coil 15 into a rectangular electron beam having the longitudinal direction of the filament coil 15 as a long side.
  • the focal point 21 viewed from the short side of the rectangle is called point focus.
  • the focal point 21 viewed from the long side of the rectangle is called line focus.
  • the distance L1 from the X-ray tube central axis O in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 15 to the outer surface of the cathode electron gun 16 is the X-ray tube central axis O in the longitudinal direction of the filament coil 15 It is formed shorter than the distance P1 to the outer surface of 16.
  • the inner wall of the metal envelope 14 is formed in the same manner as the outer surface shape of the cathode electron gun 16 in order to maintain an electrical insulation distance from the cathode electron gun 16.
  • the inner wall portion of the metal envelope 14 in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 15 is formed by a plane parallel to the longitudinal direction of the filament coil 15.
  • the inner wall surface of the metal envelope 14 is formed in a substantially quadrangular shape so that the longitudinal side of the filament coil 15 has a long side and the side perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 15 has a short side. .
  • the inner wall surface facing the inner wall surface of the metal envelope 14 provided with the X-ray radiation window 20a is formed in a plane parallel to the longitudinal direction of the filament coil 15.
  • the distance L2 from the X-ray tube central axis O in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 15 to the inner wall surface of the metal envelope 14 provided with the X-ray radiation window 20a is the longitudinal length of the filament coil 15. It is formed shorter than the distance P2 from the X-ray tube central axis O to the inner wall surface of the metal envelope 14 in the direction.
  • the distance L3 from the X-ray tube central axis O to the X-ray emission window 20a in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil 15 is X-ray emission from the X-ray tube central axis O in the longitudinal direction of the filament coil 15. It is formed shorter than the distance P3 to the window 20b.
  • the distance L1 from the X-ray tube central axis O to the outer surface of the cathode electron gun 16 on the line focus side is the distance P1 from the X-ray tube central axis O to the outer surface of the cathode electron gun 16 on the point focus side.
  • the distance L3 from the X-ray tube center axis O to the line focus side X-ray radiation window 20a can be made shorter than the distance P3 from the X-ray tube center axis O to the point focus side X-ray radiation window 20b.
  • the X-ray tube 11 can also be applied to an X-ray tube provided with only the X-ray emission window 20a on the line focus side.
  • the X-ray tube 11 can also be applied to an X-ray tube in which an X-ray emission window 20a on the line focus side and an X-ray emission window 20b on the point focus side are provided on both sides.
  • the distance from the central axis of the X-ray tube to the outer surface of the cathode electron gun in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil is set to the distance from the central axis of the X-ray tube to the cathode electron gun in the longitudinal direction of the filament coil. It was shorter than the distance to the outer surface. For this reason, the distance from the X-ray tube central axis to the X-ray radiation window in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the filament coil is determined from the distance from the X-ray tube central axis to the X-ray radiation window in the longitudinal direction of the filament coil. Can also be shortened.
  • an optical element for condensing X-rays can be disposed at a position close to the focal point 21 of the X-ray tube 11. Thereby, the condensing efficiency of X-rays can be improved. Thereby, the utilization efficiency of X-rays improves.

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Abstract

　フィラメントコイル（15）の長手方向に対して直角な方向におけるＸ線管中心軸（Ｏ）から陰極電子銃（16）の外側面までの距離（L1）を、フィラメントコイル（15）の長手方向におけるＸ線管中心軸（Ｏ）から陰極電子銃（16）の外側面までの距離（P1）よりも短くし、フィラメントコイル（15）の長手方向に対して直角な方向におけるＸ線管中心軸（Ｏ）からＸ線放射窓（20a）までの距離(L2)を、フィラメントコイル（15）の長手方向におけるＸ線管中心軸（Ｏ）からＸ線放射窓（20b）までの距離(P2)よりも短くする。 当該構成により、ラインフォーカス側のX 線を使用するときに、X 線を集光するための光学素子をX 線管の焦点に近い位置に配置することができ、X 線の集光効率を向上させることができる。

Description

Ｘ線管
　本発明は、Ｘ線を放射するＸ線管に関する。
　従来のＸ線管について、例えば特開２００６－２７８２１６号公報に記載されているＸ線回折装置に使用されるＸ線管を例にとり、図２Ａ，図２Ｂを参照して説明する。なお、図２Ｂは、図２Ａの矢視Ｂ－Ｂ方向から見たＸ線管の内部を示している。
　Ｘ線管１は、内部を真空とする真空外囲器２を有している。この真空外囲器２は、一端側の絶縁外囲器３と他端側の金属外囲器４とが接続されて構成されている。また、Ｘ線管１は、フィラメントコイル５を有する陰極電子銃６、陽極７及びＸ線放射窓８ａ、８ｂを備えている。
　陰極電子銃６は、真空外囲器２内に設けられ、絶縁外囲器３に支持されている。フィラメントコイル５は、Ｘ線管中心軸Ｏに対して直交する方向を長手方向として、Ｘ線管中心軸Ｏを中心に配置されている。
　陽極７は、金属外囲器４に支持されている。この陽極７は、Ｘ線管中心軸Ｏ上でフィラメントコイル５に対向する位置に設けられている。焦点９は、陽極７上に長方形状に形成される。即ち、焦点９は、フィラメントコイル５から放出された電子が、フィラメントコイル５の長手方向を長辺とした長方形の電子ビームに集束されることで陽極７上に形成される。なお、焦点９は、長方形状の短辺側から見たものがポイントフォーカスと呼ばれる。また、焦点９は、長方形状の長辺側から見たものがラインフォーカスと呼ばれる。
　Ｘ線放射窓８ａは、Ｘ線管中心軸Ｏに対して直交する方向、且つ、フィラメントコイル５の長手方向に対して直角な方向における金属外囲器４の周囲の壁部に配設されている。Ｘ線放射窓８ａは、フィラメントコイル５の長手方向に対して直角な方向に放出されるＸ線を金属外囲器４の外部に取り出す。
　Ｘ線放射窓８ｂは、フィラメントコイル５の長手方向における金属外囲器４の周囲の壁部に配設されている。Ｘ線放射窓８ｂは、フィラメントコイル５の長手方向に放出されるＸ線を金属外囲器４の外部に取り出す。
　図２Ｂに示すように、陰極電子銃６の外周形状は円形に形成されている。また、陰極電子銃６の外側面との電気的絶縁距離が制約されている金属外囲器４の外周形状は、円形に形成されている。この円形の金属外囲器４の周囲には、ラインフォーカス側のＸ線放射窓８ａ、及び、ポイントフォーカス側のＸ線放射窓８ｂがそれぞれ配置されている。このため、Ｘ線管中心軸Ｏからラインフォーカス側のＸ線放射窓８ａまでの距離と、Ｘ線管中心軸Ｏからポイントフォーカス側のＸ線放射窓８ｂまでの距離とは同じ距離に形成されている。なお、陽極７のＸ線発生源である焦点９の中心は、Ｘ線管中心軸Ｏ上に位置する。
　ところで、Ｘ線回折装置などでは、Ｘ線管１から放射されたＸ線を集光するための光学素子がＸ線放射窓８ａあるいはＸ線放射窓８ａの外側に配置される。この光学素子は、集光効率を良くするうえで、陽極７の焦点９にできるだけ近付けて配置することが好ましい。
　しかし、ラインフォーカス側のＸ線を使用するときには、陽極７の焦点９（Ｘ線管中心軸Ｏ）からラインフォーカス側のＸ線放射窓８ａまでの距離が比較的長い。焦点９からＸ線放射窓８ａまでの距離が長いと、光学素子による集光効率を十分良くすることができない。
　従来のＸ線管１では、陰極電子銃６と金属外囲器４との間の電気的絶縁距離の制約がある。電気的絶縁距離の制約により、Ｘ線管中心軸Ｏからラインフォーカス側のＸ線放射窓８ａまでの距離と、ポイントフォーカス側のＸ線放射窓８ｂまでの距離とが同じ距離になっている。このため、Ｘ線管中心軸Ｏからラインフォーカス側のＸ線放射窓８ａまでの距離を、Ｘ線管中心軸Ｏからポイントフォーカス側のＸ線放射窓８ｂまでの距離より短くすることはできなかった。
　本発明は、このような点に鑑みなされたもので、フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向におけるＸ線管中心軸からＸ線放射窓までの距離を短くできるＸ線管を提供することを目的とする。
　上記目的を満足するため本発明のＸ線管は、真空外囲器と、この真空外囲器内に設けられ、Ｘ線管中心軸を中心にそのＸ線管中心軸に対して直交する方向を長手方向として配置されるフィラメントコイルを有する陰極電子銃と、前記真空外囲器内に、前記Ｘ線管中心軸上で前記フィラメントコイルに対向して設けられた陽極と、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記真空外囲器の壁部に、前記陽極に臨んで設けられたＸ線放射窓とを具備し、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記Ｘ線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記Ｘ線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離よりも短く、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記Ｘ線管中心軸から前記Ｘ線放射窓が設けられた前記真空外囲器の壁部までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記Ｘ線管中心軸から前記真空外囲器の壁部までの距離よりも短いものである。
　さらに、上記目的を満足するため本発明のＸ線管は、真空外囲器と、この真空外囲器内に設けられ、Ｘ線管中心軸を中心にそのＸ線管中心軸に対して直交する方向を長手方向として配置されるフィラメントコイルを有する陰極電子銃と、前記真空外囲器内に、前記Ｘ線管中心軸上で前記フィラメントコイルに対向して設けられた陽極と、前記フィラメントコイルの長手方向における前記真空外囲器の壁部、および前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記真空外囲器の壁部に、それぞれ前記陽極に臨んで設けられたＸ線放射窓とを具備し、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記Ｘ線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記Ｘ線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離よりも短く、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記Ｘ線管中心軸から前記Ｘ線放射窓までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記Ｘ線管中心軸から前記Ｘ線放射窓までの距離よりも短いものである。
図１Ａは、本発明の一実施の形態に係るＸ線管の、ラインフォーカス側にＸ線を放射する断面図である。 図１Ｂは、同Ｘ線管の矢視Ａ－Ａ方向から見た断面図である。 図２Ａは、従来のＸ線管のラインフォーカス側にＸ線を放射する断面図である。 図２Ｂは、同Ｘ線管の矢視Ｂ－Ｂ方向から見た断面図である。
　以下、本発明の一実施の形態を、図１Ａ，図１Ｂを参照して説明する。
　図１ＡはＸ線管１１のラインフォーカス側にＸ線を放射する断面図であり、フィラメントコイルの長手方向から見た断面図であり、図１Ｂは図１Ａの矢視Ａ－Ａ方向から見たＸ線管１１の断面図である。
　Ｘ線管１１は、内部を真空とする真空外囲器12を有している。真空外囲器１２は、金属外囲器１４と、この金属外囲器１４の一端側に設けられた絶縁外囲器１３と、を備えている。また、Ｘ線管１１は、電子放出源のフィラメントコイル１５を有する陽極電子銃１６と、フィラメントコイル１５に対向する陽極１７と、を備えている。
　陽極電子銃１６は、絶縁外囲器１３に支持されている。なお、フィラメントコイル１５は、陽極電子銃１６が真空外囲器１２内に配置された際に、Ｘ線管１１の中心（Ｘ線管中心軸Ｏ）にその中心が位置する。また、フィラメントコイル１５は、Ｘ線管中心軸Ｏに対して直交する方向にその長手方向が位置して、陽極電子銃１６に配置される。
　陽極１７は、フィラメントコイル１５と対向する位置で、金属外囲器１４に支持されている。これらの構成により、絶縁外囲器１３は、高電圧レセプタクルの機能を有している。また、金属外囲器１４及び陽極１７は、接地電位となる。
　金属外囲器１４の周囲には、Ｘ線放射窓２０ａ、２０ｂが設けられている。Ｘ線放射窓２０ａは、Ｘ線管中心軸Ｏに対して直交する方向、且つ、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向における金属外囲器14の一側の壁部に設けられている。このＸ線放射窓２０ａは、陽極１７に臨んで配設されている。Ｘ線放射窓２０ａは、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向に放出されるＸ線を金属外囲器１４の外部に取り出す。
　Ｘ線放射窓２０ｂは、Ｘ線管中心軸Ｏに対して直交する方向、且つ、フィラメントコイル１５の長手方向における金属外囲器14の一側の壁部に設けられている。このＸ線放射窓２０ｂは、陽極１７に臨んで配設されている。Ｘ線放射窓２０ｂは、フィラメントコイル１５の長手方向に放出されるＸ線を金属外囲器１４の外部に取り出す。
　また、陰極電子銃１６は、フィラメントコイル１５から放出する電子の集束に必要な大きさに形成されている。フィラメントコイル１５の長手方向に対して直角な方向における陰極電子銃１６の外側面は、フィラメントコイル１５の長手方向と平行な平面に形成されている。これにより、陰極電子銃１６は、フィラメントコイル１５の長手方向側が長辺となるとともにフィラメントコイル１５の長手方向に対して直角な方向側が短辺となり、概略四角形に形成されている。
　なお、図１Ａに示すように、Ｘ線発生源である焦点２１は、陽極１７のフィラメントコイル１５と対向する面であって、Ｘ線管中心軸Ｏの延長上に位置する。焦点２１は、陽極１７上に長方形状に形成される。即ち、焦点２１は、フィラメントコイル１５から放出された電子が、フィラメントコイル１５の長手方向を長辺とした長方形の電子ビームに集束されることで陽極１７上に形成される。なお、焦点２１は、長方形状の短辺側から見たものがポイントフォーカスと呼ばれる。また、焦点２１は、長方形状の長辺側から見たものがラインフォーカスと呼ばれる。
　フィラメントコイル１５の長手方向に対して直角な方向におけるＸ線管中心軸Ｏから陰極電子銃16の外側面までの距離L1は、フィラメントコイル15の長手方向におけるＸ線管中心軸Ｏから陰極電子銃16の外側面までの距離P1よりも短く形成されている。
　金属外囲器14は、その内壁面が、陰極電子銃16との電気的絶縁距離を保つため、陰極電子銃16の外側面形状と同様に形成されている。金属外囲器１４は、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向における金属外囲器14の内壁部が、フィラメントコイル15の長手方向と平行な平面で形成されている。また、金属外囲器１４の内壁面は、フィラメントコイル15の長手方向側が長辺となるとともにフィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向側が短辺となるように概略四角形に形成されている。
　なお、Ｘ線放射窓20aが設けられた金属外囲器14の内壁面と対向する内壁面は、フィラメントコイル15の長手方向と平行な平面に形成されている。
　すなわち、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向におけるＸ線管中心軸ＯからＸ線放射窓20aが設けられた金属外囲器14の内壁面までの距離L2は、フィラメントコイル15の長手方向におけるＸ線管中心軸Ｏから金属外囲器14の内壁面までの距離P2よりも短く形成されている。
　したがって、フィラメントコイル15の長手方向に対して直角な方向におけるＸ線管中心軸ＯからＸ線放射窓20aまでの距離L3は、フィラメントコイル15の長手方向におけるＸ線管中心軸ＯからＸ線放射窓20bまでの距離P3よりも短く形成されている。
　このように、Ｘ線管中心軸Ｏからラインフォーカス側の陰極電子銃16の外側面までの距離L1を、Ｘ線管中心軸Ｏからポイントフォーカス側の陰極電子銃16の外側面までの距離P1よりも短くした。このため、Ｘ線管中心軸Ｏからラインフォーカス側のＸ線放射窓20aまでの距離L3を、Ｘ線管中心軸Ｏからポイントフォーカス側のＸ線放射窓20bまでの距離P3よりも短くできる。
　このため、Ｘ線管11をＸ線回析装置に用いた場合には、ラインフォーカス側のＸ線を使用するとき、Ｘ線を集光するための光学素子をＸ線管11の焦点21に近い位置に配置することができる。これにより、Ｘ線の集光効率を良くすることができる。
　なお、Ｘ線管11は、ラインフォーカス側のＸ線放射窓20aのみが設けられたＸ線管にも適用できる。また、Ｘ線管１１は、ラインフォーカス側のＸ線放射窓20aおよびポイントフォーカス側のＸ線放射窓20bがそれぞれ両側に設けられたＸ線管にも適用できる。
　本発明によれば、フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向におけるＸ線管中心軸から陰極電子銃の外側面までの距離を、フィラメントコイルの長手方向におけるＸ線管中心軸から陰極電子銃の外側面までの距離よりも短くした。このため、フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向におけるＸ線管中心軸からＸ線放射窓までの距離を、フィラメントコイルの長手方向におけるＸ線管中心軸からＸ線放射窓までの距離よりも短くできる。
　ラインフォーカス側のＸ線を使用するとき、Ｘ線を集光するための光学素子をＸ線管１１の焦点２１に近い位置に配置することができる。これにより、Ｘ線の集光効率を向上させることができる。これにより、Ｘ線の利用効率が向上する。

Claims (4)

  1. 　真空外囲器と、
    　この真空外囲器内に設けられ、Ｘ線管中心軸を中心にそのＸ線管中心軸に対して直交する方向を長手方向として配置されるフィラメントコイルを有する陰極電子銃と、
    　前記真空外囲器内に、前記Ｘ線管中心軸上で前記フィラメントコイルに対向して設けられた陽極と、
    　前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記真空外囲器の壁部に、前記陽極に臨んで設けられたＸ線放射窓と、
    　を具備し、
    　前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記Ｘ線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記Ｘ線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離よりも短く、前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記Ｘ線管中心軸から前記Ｘ線放射窓が設けられた前記真空外囲器の壁部までの距離が、前記フィラメントコイルの長手方向における前記Ｘ線管中心軸から前記真空外囲器の壁部までの距離よりも短いことを特徴とするＸ線管。
  2. 　真空外囲器と、
    　この真空外囲器内に設けられ、Ｘ線管中心軸を中心にそのＸ線管中心軸に対して直交する方向を長手方向として配置されるフィラメントコイルを有する陰極電子銃と、
    　前記真空外囲器内に、前記Ｘ線管中心軸上で前記フィラメントコイルに対向して設けられた陽極と、
    　前記フィラメントコイルの長手方向における前記真空外囲器の壁部、および前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記真空外囲器の壁部に、それぞれ前記陽極に臨んで設けられたＸ線放射窓と、
    　を具備し、
    　前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記Ｘ線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離は、前記フィラメントコイルの長手方向における前記Ｘ線管中心軸から前記陰極電子銃の外側面までの距離よりも短く、
    　前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記Ｘ線管中心軸から前記Ｘ線放射窓までの距離は、前記フィラメントコイルの長手方向における前記Ｘ線管中心軸から前記Ｘ線放射窓までの距離よりも短い
    　ことを特徴とするＸ線管。
  3. 　前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記陰極電子銃の外側面が、前記フィラメントコイルの長手方向と平行な平面に形成され、
    　前記フィラメントコイルの長手方向に対して直角な方向における前記真空外囲器の壁部が、前記フィラメントコイルの長手方向と平行な平面に形成されている
    　ことを特徴とする請求項１または２記載のＸ線管。
  4. 　前記真空外囲器の一部に、高電圧レセプタクルの機能を有する絶縁外囲器が設けられている
    　ことを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載のＸ線管。
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