WO2009086976A3 - Composant micromécanique et procédé de production de composant micromécanique - Google Patents

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WO2009086976A3
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Abstract

L'invention concerne un composant micromécanique qui présente au moins une électrode de stator (21) comportant une face latérale divisée en au moins deux segments électroconducteurs (26, 27, 29, 30) qui sont isolés électriquement l'un vis-à-vis de l'autre et peuvent être sollicités par différents potentiels. Ledit composant micromécanique comprend en outre au moins une électrode d'actionneur (22) comportant une face latérale divisée en au moins deux segments électroconducteurs (32, 34; 80, 82) qui sont isolés électriquement l'un vis-à-vis de l'autre et peuvent être sollicités par différents potentiels électriques. La face latérale de l'électrode d'actionneur (22) est disposée de manière à être tournée vers la face latérale de l'électrode de stator (21; 71a, 71b; 103, 104).
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