WO2009086976A3 - Composant micromécanique et procédé de production de composant micromécanique - Google Patents

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Abstract

L'invention concerne un composant micromécanique qui présente au moins une électrode de stator (21) comportant une face latérale divisée en au moins deux segments électroconducteurs (26, 27, 29, 30) qui sont isolés électriquement l'un vis-à-vis de l'autre et peuvent être sollicités par différents potentiels. Ledit composant micromécanique comprend en outre au moins une électrode d'actionneur (22) comportant une face latérale divisée en au moins deux segments électroconducteurs (32, 34; 80, 82) qui sont isolés électriquement l'un vis-à-vis de l'autre et peuvent être sollicités par différents potentiels électriques. La face latérale de l'électrode d'actionneur (22) est disposée de manière à être tournée vers la face latérale de l'électrode de stator (21; 71a, 71b; 103, 104).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008042967B4 (de) 2008-10-20 2017-04-06 Robert Bosch Gmbh Kaskadierte mikromechanische Aktuatorstruktur
DE102017215276B4 (de) * 2017-08-31 2023-02-23 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Multidirektionale Übersetzungs- und Neigungsplattform unter Verwendung von Biegeaktuatoren als aktive Entität
US11101746B2 (en) 2018-12-13 2021-08-24 Beijing Voyager Technology Co., Ltd. Bipolar staggered comb drive for bidirectional MEMS actuation

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020005976A1 (en) * 2000-03-24 2002-01-17 Behrang Behin Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods
US20040232107A1 (en) * 2002-10-24 2004-11-25 Fujitsu Limited Method for manufacturing microstructure
WO2005068353A1 (fr) * 2004-01-20 2005-07-28 National University Of Singapore Lecture optique au moyen de reseaux de diffraction vibratoires
US20070054433A1 (en) * 2005-09-08 2007-03-08 Rockwell Scientific Licensing Llc High temperature microelectromechanical (MEM) devices and fabrication method

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7479402B2 (en) 2006-03-20 2009-01-20 Honeywell International Inc. Comb structure fabrication methods and systems

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020005976A1 (en) * 2000-03-24 2002-01-17 Behrang Behin Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods
US20040232107A1 (en) * 2002-10-24 2004-11-25 Fujitsu Limited Method for manufacturing microstructure
WO2005068353A1 (fr) * 2004-01-20 2005-07-28 National University Of Singapore Lecture optique au moyen de reseaux de diffraction vibratoires
US20070054433A1 (en) * 2005-09-08 2007-03-08 Rockwell Scientific Licensing Llc High temperature microelectromechanical (MEM) devices and fabrication method

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