WO2009070817A1 - Verfahren und vorrichtung zum ermitteln von rückständen eines materials sowie verwendung hierfür - Google Patents

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Wolfgang Unzeitig
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At & S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft
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Definitions

  • the present invention relates to a method for detecting residues of a used in a processing or processing of an article, in particular liquid or fluid material, and to a device for detecting residues of a used in a processing or processing of an object , in particular liquid or fluid material.
  • the present invention further relates to use of such a method and apparatus.
  • the present invention generally relates to a method and apparatus for detecting residues in a Ver - Used or processing used, in particular liquid or fluid material is used, such a processing or processing of an object is optionally carried out in a variety of processing steps, for example in high-precision machining operations.
  • processing may, for example, relate to masking, etching, cutting or drilling operations of such an article.
  • the present invention therefore aims to avoid the abovementioned problems and to develop a method and a device of the type mentioned at the outset in such a way that a determination or determination of residues, in particular of a liquid or fluid material, which has been described in a preceding publication. or processing step of an object is used, is easily and reliably possible.
  • a method of the type initially mentioned essentially comprises the following steps: introduction of a luminescent material into the liquid or fluid material;
  • a luminescent or fluorescent material is added to the material used for processing or processing the article, it is subsequently possible to carry out the required processing or processing steps as part of a check of the processed or processed article by irradiating the object with light, which is converted by the luminescent material into light of a changed wave, in a simple and reliable manner to detect sources of light of changed wavelengths as residues of the material used and previously mixed with the luminescent material and thus to prevent a further processing or processing of the article is carried out with the residues thereon of the particular fluid or liquid material.
  • the inventively provided introduction of a luminescent material in the particular liquid or fluid material can be made in a simple manner, so that it is possible to carry out a reliable and simple marking of the material used for loading or processing.
  • the added luminescent material is usually sufficient in extremely small amounts for subsequent detection of a source of light of changed wavelength upon irradiation. Due to the large number of luminescent materials available, These are also selected according to the intended use of the fluid or liquid material, so that they will not adversely affect the processing of the article after application or application of the material mixed or offset with the luminescent material.
  • liquid or fluid material for detecting sources of light of changed wavelength to the wavelength of the light changed wavelength matched filter, in particular optical filter is used.
  • a particular optical filter tuned to the wavelength of the light of changed wavelength, makes it possible in a simple way to transmit light of the original wavelength which is used for irradiating the object for checking it and which is reflected, for example, by the object prevent it from being detected during the inspection and detection of residues or that it can be taken up in a corresponding downstream holding device.
  • the use of such a tuned, in particular optical filter also prevents any possible further scattered light from impairing or hindering the detection of residues or from entering a downstream receiving device.
  • the detection of sources of light of changed wavelength is performed by a visual inspection and / or by a particularly automated recording device.
  • a visual inspection and / or by a particularly automated recording device is, for example, in the manufacture of printed circuit boards typically at various points of the manufacturing process a corresponding, often visual inspection instead, so that by the inventive provision of irradiating and occurrence of ⁇ ⁇ light changed wavelength meet at an up of residues of to be determined material, which was previously mixed or mixed with luminescent material, a detection of residues is easily possible accordingly.
  • a use of a particularly automated recording device for carrying out the method according to the invention is proposed according to the invention, so that, for example, in combination with a corresponding image analysis carried out a largely automated detection of residues during a manufacturing process of an object to be processed or processed can be.
  • the light used for irradiating the object with a narrow spectral range in coordination with the luminescent material used for the marking it is possible to reduce or minimize further possibly interfering influences.
  • the luminescent material and / or the light used for irradiation in particular, taking into account the surface structure of the inspecting article, for example, a contrast between the surface of the object and the light of the wavelength generated by the luminescent material amplify and thus the evaluation or fixed position of light of changed wavelength and thus of
  • Such light sources can essentially provide or emit light of any color in the visible range or in the adjoining region of ultraviolet light or infrared, preferably with a comparatively narrow spectral range, so that, taking into account the luminescent or fluorescent material used for the marking Such light of different color or wavelength is generated or generated in coordination with the luminescent material light of changed wavelength, which can be subsequently detected or detected correspondingly simply as an indication of the presence of residues.
  • a recording device has a plurality of recording channels for light of different wavelengths and for the recording and optionally subsequent evaluation of the received light, a channel is selected according to the light of the changed wavelength.
  • Wavelength may optionally apply to an additional use of a filter tuned to the light of changed wavelength, in particular an optical filter.
  • liquid or fluid material can be used, which is used for different loading or processing operations, in this context according to a further preferred embodiment of the invention
  • a mask for example, solder mask, a paint or ink, for example screen printing ink, an adhesive, an adhesive or the like.
  • Such materials for a mask and / or ink, as well as material for performing bonding operations find use in an extremely wide variety of processing steps of articles, such materials optionally being at least partially residue free after processing of the article a preparation for further processing must be removed.
  • the object to be processed or processed by a substantially plate-shaped object, in particular a printed circuit board is formed.
  • a device of the type mentioned above is essentially characterized by at least one device for irradiating the object to be examined with light, which is transformed into light by a luminescent material accommodated in the liquid or fluid material - Wavelength is converted, and tuned to the light of changed wavelength, in particular optical filter.
  • a corresponding light source or device for irradiating the object to be examined it is therefore possible to ensure that after conversion of the light used for irradiation due to the luminescent material that has been taken or added, sources of light of changed wavelengths are left as residues easily detected or detected or perceived.
  • a particularly automated recording direction is provided for recording light of changed wavelength.
  • the recording device is formed by a camera having a plurality of color channels for receiving light of different wavelengths.
  • the light source of light-emitting diodes, laser diodes or incandescent lamps and gas discharge lamps in combination with a color filter and the like. is formed.
  • Such light sources are available substantially in the entire range of visible light as well as in subsequent infrared or UV ranges, so that, in particular in coordination with the luminescent material used for marking or marking, corresponding light sources are provided for the detection of residues can be.
  • FIG. 1 shows a schematic flow diagram of a method according to the invention.
  • Fig. 2 is a schematic view of an apparatus according to the invention for carrying out the method according to the invention.
  • a luminescent or fluorescent material is introduced into a liquid or fluid material in a section Sl, which is subsequently applied or applied in accordance with a step S2 on an object to be processed becomes.
  • a step S3 the article is processed or processed, wherein the material, in particular fluid or liquid, mixed or mixed with a luminescent material in step S1 is used and likewise subjected to processing.
  • the material added with a luminescent material in step S1 is either subjected to processing or used, for example, to perform processing operations of the object to be processed in step S3 or support.
  • step S4 is carried out a removal of the offset in step Sl with a luminescent material, in particular fluid or fluorescent material.
  • a luminescent material in particular fluid or fluorescent material.
  • This can be a full-surface removal, for example a screen-printing mask, or a localized removal, for example exposure and development of a solder mask, during processing of a printed circuit board.
  • step S5 the object to be examined is irradiated with light, wherein light of such a wavelength is selected which is converted into light of a changed wavelength by the luminescent material added or added in step S 1.
  • FIG. 2 schematically shows an embodiment of an apparatus for carrying out the method according to the flow chart of FIG. 1.
  • Fig. 2 is on a pad or a table 1, for example, a substantially plate-shaped object, for example, arranged at least partially processed circuit board 2.
  • a substantially plate-shaped object for example, arranged at least partially processed circuit board 2.
  • fluid or liquid material is an illumination or irradiation of the object to be checked 2 with light or generally electromagnetic radiation of a given Wavelength, wherein in Fig. 2 schematically a device 3 for irradiation with light corresponding to beam paths 4 and 5 is indicated.
  • the light striking the object 2 to be checked in accordance with the beam entrance 4 is reflected at the surface of the object 2 to be checked in accordance with the beam path 4 'and subsequently strikes a filter 6, in particular an optical filter.
  • the optical filter 6 is tuned to the wavelength of the light 8 emitted or converted by the luminescent material in the residue 7, so that, as clearly shown in FIG. 2, only light corresponding to the beam path 8 and thus in particular a changed wavelength can pass through the optical filter 6, while, for example, light corresponding to the beam path 4 ', which was reflected at the surface free of residues of the object to be examined 2, can not pass through the filter 6.
  • a detection of passing through the filter 6 light is either by a schematically indicated, simple, visual inspection 9, with an eye for this visual inspection is indicated.
  • a particularly automated receiving device 10 can be provided, which is coupled to an evaluation unit or in which such an evaluation unit is integrated, so that largely automatically by a detection of the Filter 6 light passing changed wavelength corresponding to the beam path 8 can be determined whether or where appropriate residues 7 fall in love on the object to be tested.
  • the material to be used for processing with a luminescent material in step S1 according to the flow chart according to FIG. 1 may be, for example, a mask or a solder mask, a paint or ink, for example screen printing ink, an adhesive, an adhesive or the like, for example, in connection with or used in a production or processing of printed circuit boards materials.
  • a mask or a solder mask for example screen printing ink
  • an adhesive an adhesive or the like
  • an adhesive may be treated with a luminescent color of low concentration, such color being marketed, for example, under the name "Macrolex Luminescent Yellow” by Lanxess in Germany.
  • a luminescent color of low concentration such color being marketed, for example, under the name "Macrolex Luminescent Yellow” by Lanxess in Germany.
  • lighting devices 3 for example, blue light emitting diodes.
  • a filter film can be used, which is sold under the name "Oklahoma Yellow” by Lee Filters in California, USA.
  • a light-emitting diode can be provided as devices 3 for irradiating the object to be examined 2 laser diodes or incandescent lamps and gas discharge lamps, in particular in combination with a color filter for providing a light with conveniently narrow spectral range available.
  • the light emitted for irradiation by the device 3 may comprise essentially any color in the visible range and the ultraviolet or infrared ranges adjoining it substantially in coordination with the luminescent material added to the material in step S1.
  • luminescent colors or materials can be excited by the matched light sources accordingly and emit light of a changed color or wavelength.
  • filter 6 in particular optical filters, are used.
  • the filter 6 blocked, as already stated above, on the one hand reflected light, for example, according to the beam path 4 'and possibly also other scattered light.
  • light which is emitted by the luminescent material is transmitted through the optical filter 6, so that correspondingly reliable and even when using small amounts of the luminescent material can clearly detect any residues 7 present on the object 2 to be examined.
  • An evaluation with regard to the presence of residues 7 can be carried out with a corresponding image evaluation in the pick-up device 10.
  • the recording device 10 can hiebei for example, be formed with a plurality of receiving channels for receiving light of different wavelengths, so that the use of an optical filter 6 can be dispensed with.
  • the intrinsic luminescence of such materials and thus of the residues can be optionally used, but this is disadvantageous in most cases, since the excitation and emission of intrinsic luminescence predominantly in the UV range take place of the spectrum and thus are hardly or not detectable by the human eye in an example only visual verification.
  • illumination with UV light may possibly cause an undesired reaction, for example hardening of the fluid or liquid material used, which may further impede or possibly make impossible the optionally required removal of the residue.
  • residues for example on a surface of an article 2 formed by a printed circuit board
  • residues can also be detected, for example, in microvia or through holes, in particular in connection with a production or processing of printed circuit boards 2, if they are mixed with a material added with luminescent material be processed during the manufacturing process.

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Abstract

Bei einem Verfahren sowie einer Vorrichtung zum Ermitteln von Rückständen (7) wenigstens eines bei einer Ver- bzw. Bearbeitung eines Gegenstands (2) eingesetzten, insbesondere flüssigen bzw. fluiden Materials sind die folgenden Schritte vorgesehen: - Einbringen (Sl) eines lumineszierenden Materials in das flüssige bzw. fluide Material; - Aufbringen bzw. Anwenden (S2) des Materials auf den (dem) zu ver- bzw. bearbeitenden Gegenstand (2); - Be- und Verarbeiten (S3) des Gegenstands (2); gegebenenfalls Entfernen (S4) des aufgebrachten bzw. angewandten Materials; - Bestrahlen (S5) des Gegenstands (2) mit Licht (4, 5), welches durch das lumineszierende Material (7) in Licht (8) einer geänderten Wellenlänge umgewandelt wird; und - Feststellen (S6) von Quellen (7) von Licht (8) geänderter Wellenlänge als Rückständen (7) des bei der Be- bzw. Verarbeitung des Gegenstands (2) eingesetzten flüssigen bzw. fluiden Materials, wobei zum Feststellen (S6) von Quellen (7) von Licht (8) geänderter Wellenlänge ein auf die Wellenlänge des Lichts (8) geänderter Wellenlänge abgestimmtes Filter (6), insbesondere optisches Filter (6) verwendet wird, wodurch in einfacher und zuverlässiger Weise Rückstände (7) detektiert werden können.

Description

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERMITTELN VON RÜCKSTÄNDEN EINES MATERIALS SOWIE VERWENDUNG HIERFÜR
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Ermitteln von Rückständen eines bei einer Ver- bzw. Bearbeitung eines Gegenstands eingesetzten, insbesondere flüssigen bzw. fluiden Materials, sowie auf eine Vorrichtung zum Ermitteln von Rückständen eines bei einer Ver- bzw. Bearbeitung eines Gegenstands eingesetzten, insbeson- dere flüssigen bzw. fluiden Materials. Die vorliegende Erfindung bezieht sich darüber hinaus auf eine Verwendung eines derartigen Verfahrens und einer derartigen Vorrichtung.
Wenn auch die vorliegende Erfindung nachfolgend überwiegend anhand von Beispielen insbesondere im Zusammenhang mit einer Herstellung oder Bearbeitung von Leiterplatten im Detail erörtert werden wird, ist anzumerken, daß die vorliegende Erfindung allgemein auf ein Verfahren sowie eine Vor- richtung zum Ermitteln von Rückständen eines bei einer Ver- bzw. Bearbeitung eingesetzten, insbesondere flüssigen bzw. fluiden Materials einsetzbar ist, wobei eine derartige Ver- bzw. Bearbeitung eines Gegenstands gegebenenfalls in einer Vielzahl von Bearbeitungsschritten, beispielsweise in hoch präzisen Bearbeitungsvorgängen vorgenommen wird. Eine derartige Bearbeitung kann sich beispielsweise auf Maskie- rungs-, Ätz-, Schneid- oder Bohrvorgänge eines derartigen Gegenstands beziehen.
Im Zusammenhang mit der Herstellung oder Bearbeitung insbesondere von Leiterplatten ist es bekannt, daß Rückstände selbst geringer Abmessungen und/oder geringer Dicke, welche beispielsweise aus vorangehenden Bearbeitungsvorgängen einer derartigen Leiterplatte auf der Oberfläche bzw. in Teilbereichen derselben verbleiben, die Leiterplatte bei weiteren Verarbeitungsschritten unbrauchbar machen können. So ist es beispielsweise möglich, daß ein Anhaften eines Rückstands aus vorangehenden Verfahrensschritten an einer Oberfläche, welche in weiterer Folge für ein Löten oder Kontaktieren verwendet wird, eine derartige Kontaktierung oder Festlegung von weiteren Elementen erschweren oder unmöglich machen kann. Darüber hinaus ist es möglich, daß Rückstände von Materialien aus vorangehenden Bearbeitungsschritten verhindern, daß nachfolgende Herstellungs- bzw. Bearbeitungsschritte, wie beispielsweise Oberflächenbear- beitungsschritte oder eine Oberflächenendbehandlung, nicht ordnungsgemäß durchgeführt werden können, und/oder weitere Materialien nicht entsprechend aufgebracht oder angewandt werden können.
Insbesondere im Zusammenhang mit einer Herstellung oder Bearbeitung von Leiterplatten ist es darüber hinaus bekannt, derartige Leiterplatten einer entsprechenden Inspektion zu unterziehen, wobei eine Feststellung von Rückständen aus vorangehenden Bearbeitungsschritten insbesondere durch eine visuelle Überprüfung teilweise unmöglich bzw. nur schwierig möglich ist, da sich das Aussehen derartiger Rückstände oftmals kaum von der Umgebung des zu überprüfenden Gegenstands bzw. der Leiterplatte unterscheidet und der Kontrast zur Ermittlung derartiger Rückstände beispielsweise auf der Oberfläche einer Leiterplatte teilweise schlecht bzw. gering ist, da Leiterplatten üblicherweise feine Strukturen und teilweise Elemente unterschiedlicher Struktur und Farbgebung beinhalten, so daß eine eindeutige Feststellung von Rückständen, welche eine weitere Bearbeitung erschweren oder unmöglich machen können, nicht ohne weiteres möglich ist.
Die vorliegende Erfindung zielt daher darauf ab, die oben genannten Probleme zu vermeiden und ein Verfahren sowie eine Vorrichtung der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubilden, daß eine Feststellung bzw. Ermittlung von Rückständen, insbesondere eines flüssigen bzw. fluiden Materials, welches in einem vorangehenden Ver- bzw. Bearbei- tungsschritt eines Gegenstands eingesetzt wird, leicht und zuverlässig möglich wird.
Zur Lösung dieser Aufgaben umfaßt ein Verfahren der eingangs genannten Art im wesentlichen die folgenden Schritte: - Einbringen eines lumineszierenden Materials in das flüssige bzw. fluide Material;
- Aufbringen bzw. Anwenden des Materials auf den (dem) zu ver- bzw. bearbeitenden Gegenstand;
- Be- und Verarbeiten des Gegenstands; - gegebenenfalls Entfernen des aufgebrachten bzw. angewandten Materials;
- Bestrahlen des Gegenstands mit Licht, welches durch das lumineszierende Material in Licht einer geänderten Wellenlänge umgewandelt wird; und - Feststellen von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge als Rückständen des bei der Be- bzw. Verarbeitung des Gegenstands eingesetzten flüssigen bzw. fluiden Materials, wobei zum Feststellen von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge ein auf die Wellenlänge des Lichts geänderter WeI- lenlänge abgestimmtes Filter, insbesondere optisches Filter verwendet wird. Dadurch, daß erfindungsgemäß ein lumineszierendes bzw. fluoreszierendes Material dem für eine Be- bzw. Verarbeitung des Gegenstands eingesetzten Material zugesetzt wird, gelingt es nach Durchführung der erforderlichen Be- bzw. Verarbeitungsschritte in weiterer Folge im Rahmen einer Überprüfung des be- bzw. verarbeiteten Gegenstands durch ein Bestrahlen des Gegenstands mit Licht, welches durch das lumineszierende Material in Licht einer geänderten Welle umgewandelt wird, in einfacher und zuverlässiger Weise Quellen von Licht geänderter Wellenlängen als Rückstände des eingesetzten und vorab mit dem lumineszierenden Material versetzten Materials festzustellen und somit zu verhindern, daß eine weitere Be- bzw. Verarbeitung des Gegenstands mit den darauf befindlichen Rückständen des insbe- sondere fluiden bzw. flüssigen Materials vorgenommen wird. Es läßt sich somit in einfacher und zuverlässiger Weise ermitteln, ob nach einer Be- bzw. Verarbeitung und gegebenenfalls beabsichtigten Entfernung von Teilbereichen eines aufgebrachten Materials unverändert Rückstände verblieben sind, welche in weiterer Folge zusätzliche Be- bzw. Verarbeitungsschritte des Gegenstands oder eine dem Einsatzzweck des Gegenstands entsprechende Verwendung verhindern bzw. erschweren oder beeinträchtigen. Die erfindungsgemäß vorgesehene Einbringung eines lumineszierenden Materials in das insbesondere flüssige bzw. fluide Material läßt sich in einfacher Weise vornehmen, so daß sich eine zuverlässige und einfache Markierung des zur Be- bzw. Verarbeitung eingesetzten Materials durchführen läßt. Das eingesetzte bzw. hinzugefügte, lumineszierende bzw. fluoreszierende Material ist üblicherweise in äußerst geringen Mengen für eine nachfolgende Feststellung einer Quelle von Licht geänderter Wellenlänge bei einer Bestrahlung ausreichend. Aufgrund der Vielzahl von verfügbaren, lumineszierenden Materialien kön- nen diese auch entsprechend dem Einsatzzweck des fluiden bzw. flüssigen Materials gewählt werden, so daß diese die Be- bzw. Verarbeitung des Gegenstands nach einem Aufbringen bzw. Anwenden des mit dem lumineszierenden Material ver- mischten bzw. versetzten Materials nicht nachteilig beeinflussen werden.
Zur Erleichterung der Feststellung von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge als Rückständen des zur Be- bzw. Verarbeitung eingesetzten, insbesondere flüssigen bzw. fluiden Materials wird erfindungsgemäß darüber hinaus vorgeschlagen, daß zum Feststellen von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge ein auf die Wellenlänge des Lichts geänderter Wellenlänge abgestimmtes Filter, insbesondere optisches Filter verwendet wird. Ein derartiges, auf die Wellenlänge des Lichts geänderter Wellenlänge abgestimmtes, insbesondere optisches Filter macht es in einfacher Weise möglich, Licht der ursprünglichen Wellenlänge, welches zur Bestrahlung des Gegenstands zur Überprüfung desselben ver- wendet wird und welches beispielsweise von dem Gegenstand reflektiert wird, daran zu hindern, im Rahmen der Überprüfung und Feststellung von Rückständen wahrgenommen oder in einer entsprechenden nachgeschalteten Aufnahmevorrichtung aufgenommen zu werden. Darüber hinaus verhindert eine Ver- wendung eines derartig abgestimmten, insbesondere optischen Filters auch, daß gegebenenfalls vorhandenes weiteres Streulicht die Feststellung von Rückständen beeinträchtigt bzw. erschwert oder in eine nachgeschaltete Aufnahmevorrichtung eintritt.
Zur Feststellung von Rückständen durch Ermittlung von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge nach einem Bestrahlen des be- bzw. verarbeiteten Gegenstands mit Licht wird gemäß einer bevorzugten Ausführungsform vorgeschlagen, daß das Feststellen von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge durch eine visuelle Überprüfung und/oder durch eine insbesondere automatisierte Aufnahmevorrichtung vorgenommen wird. Wie oben bereits angeführt, findet beispielsweise bei der Herstellung von Leiterplatten üblicherweise an unterschiedlichen Punkten des Herstellungsprozesses eine entsprechende, oftmals visuelle Überprüfung statt, so daß durch das erfindungsgemäße Vorsehen eines Bestrahlens sowie Auftretens von ■■ Licht geänderter Wellenlänge bei einem Auf- treffen auf Rückstände des zu ermittelnden Materials, welches vorab mit lumineszierenden Materials versetzt bzw. vermischt wurde, eine Detektion von Rückständen entsprechend einfach möglich wird. Anstelle oder zusätzlich zu einer visuellen Überprüfung wird erfindungsgemäß auch eine Verwendung einer insbesondere automatisierten Aufnahmevorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens vorgeschlagen, so daß beispielsweise in Kombination mit einer entsprechenden Bildauswertung eine weitestgehend automatisierte Feststellung von Rückständen während eines Herstellungsvorgangs eines zu be- bzw. verarbeitenden Gegenstands vorgenommen werden kann.
Zur Vereinfachung der Feststellung von Rückständen durch Feststellung von Licht geänderter Wellenlänge und gegebenenfalls zur Vereinfachung einer insbesondere automatisierten Auswertung bzw. Bildauswertung wird gemäß einer weiters bevorzugten Ausführungsform vorgeschlagen, daß zur Bestrahlung des Gegenstands Licht mit einem engen Spektralbereich verwendet wird, welches durch das lumineszierende Material in Licht einer von der Wellenlänge des zur Bestrahlung eingesetzten Lichts verschiedenen Wellenlänge umgewandelt wird. Licht mit einem engen Spektralbereich läßt sich in einfacher Weise, wie dies nachfolgend erörtert werden wird, zur Verfügung stellen und stellt dabei sicher, daß in Abstimmung mit dem in das zur Be- bzw. Verarbeitung eingesetzten Material beigemengten, lumineszierenden Material entsprechend zuverlässig eine Detektion von Licht geänderter Wellenlänge durchgeführt wird, welches durch das lumi- neszierende Material erzeugt bzw. generiert wird. Es lassen sich hiebei durch eine geeignete Wahl des zur Bestrahlung des Gegenstands eingesetzten Lichts mit einem engen Spek- tralbereich in Abstimmung mit dem zur Kennzeichnung eingesetzten, lumineszierenden Material weitere, gegebenenfalls störende Einflüsse reduzieren oder minimieren. Darüber hinaus läßt sich durch entsprechende Wahl des lumineszierenden Materials und/oder des zur Bestrahlung eingesetzten Lichts insbesondere unter Berücksichtigung der Oberflächenstruktur des überprüfenden Gegenstands auch beispielsweise ein Kontrast zwischen der Oberfläche des Gegenstands und dem durch das lumineszierende Material generierten Licht geänderter Wellenlänge verstärken und somit die Auswertung bzw. Fest- Stellung von Licht geänderter Wellenlänge und somit von
Rückständen erleichtern. Alternativ oder zusätzlich kann durch Berücksichtigung eines entsprechend verbesserten Kontrasts bzw. allgemein einer verbesserten bzw. erleichterten Feststellung von Quellen von Licht geänderter Wellenlängen als Rückständen mit geringeren Mengen des zuzusetzenden, lumineszierenden Materials das Auslangen gefunden werden.
Für eine besonders einfache und zuverlässige Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens unter Einsatz entsprechen- der leicht verfügbarer Lichtquellen gegebenenfalls unterschiedlicher Wellenlängen und in Abstimmung mit dem zur Kennzeichnung bzw. Markierung eingesetzten, lumineszierenden Material wird darüber hinaus vorgeschlagen, daß als Lichtquelle zur Bestrahlung des be- bzw. verarbeiteten Gegenstands Licht emittierende Dioden, Laserdioden oder Glühlampen und Gasentladungslampen in Kombination mit einem Farbfilter verwendet werden, wie dies einer weiters bevor- zugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens entspricht. Derartige Lichtquellen können im wesentlichen Licht jeglicher Farbe im sichtbaren Bereich oder auch im daran anschießenden Bereich ultravioletten Lichts oder Infrarots, vorzugsweise mit einem vergleichsweise engen Spektralbereich bereitstellen bzw. aussenden, so daß unter Berücksichtigung des zur Markierung eingesetzten, lumines- zierenden bzw. fluoreszierenden Materials durch derartiges Licht unterschiedlicher Farbe oder Wellenlänge in Abstimmung mit dem lumineszierenden Material Licht geänderter Wellenlänge erzeugt bzw. generiert wird, welches in weiterer Folge entsprechend einfach als Hinweis für ein Vorhandensein von Rückständen festgestellt bzw. detektiert werden kann.
Für eine insbesondere vereinfachte und zuverlässige, wei- testgehend automatisierte Auswertung wird darüber hinaus gemäß einer weiters bevorzugten Ausführungsform vorgeschlagen, daß für ein automatisiertes Feststellen von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge eine AufnähmeVorrichtung eine Mehrzahl von Aufnahmekanälen für Licht unterschiedlicher Wellenlänge aufweist und für die Aufnahme und gegebenenfalls nachfolgende Auswertung des aufgenommenen Lichts ein Kanal entsprechend dem Licht der geänderten Wellenlänge ausgewählt wird. In einer Aufnahmevorrichtung mit einer Mehrzahl von Aufnahmekanälen für Licht unterschiedlicher
Wellenlänge kann gegebenenfalls auf einen zusätzlichen Einsatz eines auf das Licht geänderter Wellenlänge abgestimmten Filters, insbesondere eines optischen Filters gegebe- - S -
nenfalls verzichtet werden, so daß mit einer einzigen bzw. gemeinsamen Aufnahmevorrichtung gegebenenfalls Rückstände unterschiedlicher Art, welche insbesondere mit lumineszie- rendem Material unterschiedlicher Art gekennzeichnet bzw. markiert wurden, einfach und zuverlässig festgestellt werden können.
In diesem Zusammenhang wird zur weiteren Erleichterung der Auswertung bei einem insbesondere automatisierten Aufnahme- bzw. Auswerteverfahren vorgeschlagen, daß der Aufnahmevorrichtung und/oder der Lichtquelle ein dichroitischer Spiegel vorgeschaltet wird.
Wie oben bereits angedeutet, kann im Rahmen einer Be- bzw. Verarbeitung des Gegenstands unterschiedliches, insbesondere flüssiges bzw. fluides Material zum Einsatz gelangen, welches für unterschiedliche Be- bzw. Verarbeitungsvorgänge eingesetzt wird, wobei in diesem Zusammenhang gemäß einer weiters bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens vorgeschlagen wird, daß das flüssige bzw. fluide Material von einer Maske, beispielsweise Lötmaske, einer Farbe bzw. Tinte, beispielsweise Siebdrucktinte, einem Kleber, einem Klebemittel oder dgl . gebildet wird. Derartige Materialien für eine Maske und/oder Farbe bzw. Tinte als auch Material zur Durchführung von Klebevorgängen finden in einer überaus großen Vielzahl von Be- bzw. Verarbeitungs- schritten von Gegenständen Verwendung, wobei derartige Materialien gegebenenfalls wenigstens teilweise nach einer Bearbeitung des Gegenstands rückstandsfrei für eine Vorbe- reitung für weitere BearbeitungsVorgänge entfernt werden müssen. Unter Berücksichtigung der Vielzahl von gegebenenfalls unterschiedlichen einzusetzenden, fluiden oder flüssigen Materialien kann auch eine entsprechende Vielzahl von unterschiedlichen lutnineszierenden Materialien eingesetzt werden, welche die Be- bzw. Verarbeitungsvorgänge des eingesetzten Materials bzw. des damit versehenen Gegenstands nicht beeinträchtigen und somit für eine zuverlässige Mar- kierung bzw. Kennzeichnung von gegebenenfalls verbleibenden Rückständen eingesetzt werden können.
Wie oben bereits angedeutet, ist es gemäß einer weiters bevorzugten Ausführungsform vorgesehen, daß der zu be- bzw. verarbeitende Gegenstand von einem im wesentlichen platten- förmigen Gegenstand, insbesondere einer Leiterplatte gebildet wird.
Zur Lösung der eingangs genannten Aufgaben ist darüber hin- aus eine Vorrichtung der oben genannten Art im wesentlichen gekennzeichnet durch wenigstens eine Vorrichtung zur Bestrahlung des zu überprüfenden Gegenstands mit Licht, welches durch ein in das flüssige bzw. fluide Material aufgenommenes lumineszierendes Material in Licht einer geänder- ten Wellenlänge umgewandelt wird, und ein auf das Licht geänderter Wellenlänge abgestimmtes, insbesondere optisches Filter. Wie oben bereits angeführt, kann somit durch Bereitstellung einer entsprechenden Lichtquelle bzw. Vorrichtung zur Bestrahlung des überprüfenden Gegenstands sicher- gestellt werden, daß nach einer Umwandlung des zur Bestrahlung herangezogenen Lichts aufgrund des aufgenommenen bzw. zugesetzten, lumineszierenden Materials Quellen von Licht geänderter Wellenlängen als Rückstände leicht detektiert bzw. festgestellt oder wahrgenommen werden können. Es läßt sich mit vergleichsweise geringen Mengen von zugesetztem, lumineszierendem Material das Auslangen finden, wobei durch entsprechende Wahl des lumineszierenden Materials eine Beeinträchtigung des zur Be- bzw. Verarbeitung des Gegen- Stands eingesetzten Materials vermieden werden kann. Für eine Erleichterung der Feststellung von Rückständen durch Feststellung von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge ist darüber hinaus erfindungsgemäß vorgesehen, daß ein auf das Licht geänderter Wellenlänge abgestimmtes, insbesondere optisches Filter vorgesehen ist.
Neben einer einfachen, visuellen, unmittelbaren Überprüfung eines zu be- bzw. verarbeitenden Gegenstands wird gemäß einer weiters bevorzugten Ausführungsform vorgeschlagen, daß eine insbesondere automatisierte Aufnahmerichtung zur Aufnahme von Licht geänderter Wellenlänge vorgesehen ist.
In diesem Zusammenhang wird für eine besonders einfache und zuverlässige Auswertung darüber hinaus bevorzugt vorgeschlagen, daß die Aufnahmevorrichtung von einer Kamera mit einer Mehrzahl von Farbkanälen zur Aufnahme von Licht unterschiedlicher Wellenlängen ausgebildet ist.
Zur Bereitstellung zuverlässiger und einfacher Lichtquellen mit einem gegebenenfalls engen Spektralbereich wird gemäß einer weiters bevorzugten Ausführungsform vorgeschlagen, daß die Lichtquelle von Licht emittierenden Dioden, Laserdioden oder Glühlampen und Gasentladungslampen in Kombina- tion mit einem Farbfilter und dgl . gebildet ist. Derartige Lichtquellen sind im wesentlichen im gesamten Bereich sichtbaren Lichts als auch in daran anschließenden Infrarot- oder UV-Bereichen verfügbar, so daß insbesondere in Abstimmung mit dem zur Kennzeichnung bzw. Markierung einge- setzten, lumineszierenden Material entsprechende Lichtquellen zur Feststellung von Rückständen zur Verfügung gestellt werden können. Wie oben bereits angeführt, wird insbesondere bei der Herstellung von Leiterplatten meist mehrfach eine Überprüfung auf Rückstände von in einzelnen Be- bzw. Verarbeitungs- schritten eingesetzten Materialien durchgeführt, so daß ge- maß einer weiters bevorzugten Ausführungsform vorgeschlagen wird, daß der zu überprüfende Gegenstand von einem im wesentlichen plattenförmigen Element, insbesondere einer Leiterplatte gebildet ist.
Darüber hinaus wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, das er- findungsgemäße Verfahren oder ein Verfahren gemäß einer bevorzugten Ausführungsform als auch die erfindungsgemäße Vorrichtung oder eine Vorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform bei einer Herstellung bzw. Bearbeitung einer Leiterplatte einzusetzen.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von in der beiliegenden Zeichnung schematisch dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. In dieser zeigen: Fig. 1 ein schematisches Flußdiagramm eines erfindungsgemäßen Verfahrens; und
Fig. 2 eine schematische Ansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
In dem in Fig. 1 dargestellten schematischen Flußdiagramm wird in einem Schnitt Sl ein lumineszierendes bzw. fluoreszierendes Material in ein flüssiges bzw. fluides Material eingebracht, welches in weiterer Folge gemäß einem Schritt S2 auf einem zu ver- bzw. bearbeitenden Gegenstand aufgebracht bzw. angewandt wird. In einem Schritt S3 erfolgt ein Be- bzw. Verarbeiten des Gegenstands, wobei das in Schritt Sl mit einem lumineszie- renden Material versetzte bzw. vermengte, insbesondere fluide oder flüssige Material eingesetzt und ebenfalls einer Be- bzw. Verarbeitung unterworfen wird.
Abhängig von dem Be- bzw. Verarbeitungsvorgang in Schritt S3 wird das in Schritt Sl mit einem lumineszierenden Material versetzte Material entweder einer Be- bzw. Verarbei- tung unterworfen oder beispielsweise eingesetzt, um Bearbeitungsvorgänge des zu be- bzw. verarbeitenden Gegenstands gemäß Schritt S3 durchzuführen oder zu unterstützen.
In einem gegebenenfalls vorzusehenden Schritt S4 erfolgt ein Entfernen des in Schritt Sl mit einem lumineszierenden Material versetzten, insbesondere fluiden oder fluoreszierenden Materials. Hiebei kann es sich um ein vollflächiges Entfernen, beispielsweise einer Siebdruckmaske, oder um ein örtlich begrenztes Entfernen, beispielsweise ein Belichten und Entwickeln einer Lötmaske, bei Be- bzw. Verarbeitung einer Leiterplatte handeln. Anschließend wird in einem Schritt S5 der zu überprüfende Gegenstand mit Licht bestrahlt, wobei Licht einer derartigen Wellenlänge gewählt wird, das durch das in Schritt Sl beigemengte bzw. einge- brachte, lumineszierende Material in Licht einer geänderten Wellenlänge umgewandelt wird.
Nachfolgend erfolgt in einem Schritt S6 ein Feststellen von Licht geänderter Wellenlänge bzw. Quellen von Licht geän- derter Wellenlänge als Rückständen des bei einer Be- bzw. Verarbeitung des Gegenstands gemäß Schritt S3 eingesetzten, flüssigen bzw. fluiden Materials. In Fig. 2 ist schematisch eine Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß dem Flußdiagramm von Fig. 1 dargestellt.
In Fig. 2 ist auf einer Unterlage bzw. einem Tisch 1 ein beispielsweise im wesentlichen plattenförmiger Gegenstand, beispielsweise eine wenigstens teilweise bearbeitete Leiterplatte 2 angeordnet . Für eine Überprüfung von gegebenenfalls vorhandenen Rückständen auf dem Gegenstand bzw. der Leiterplatte 2 eines in vorangehenden Be- bzw. Verarbeitungsschritten eingesetzten, insbesondere fluiden oder flüssigen Materials erfolgt eine Beleuchtung bzw. Bestrahlung des zu überprüfenden Gegenstands 2 mit Licht bzw. allgemein elektromagnetischer Strahlung einer vorgegebenen Wellenlänge, wobei in Fig. 2 schematisch eine Vorrichtung 3 zur Bestrahlung mit Licht entsprechend Strahlengängen 4 und 5 angedeutet wird.
Das entsprechend dem Strahleingang 4 auf den zu überprüfen- den Gegenstand 2 auftreffende Licht wird an der Oberfläche des zu überprüfenden Gegenstands 2 entsprechend dem Strahlengang 4 ' reflektiert und trifft in weiterer Folge auf ein schematisch mit 6 bezeichnetes Filter, insbesondere optisches Filter.
In ähnlicher Weise trifft Licht bzw. allgemein elektromagnetische Strahlung aus der Vorrichtung 3 entsprechend dem Strahlengang 5 auf einen schematisch mit 7 bezeichneten Rückstand eines festzustellenden Materials, welches bei- spielsweise in einem vorangehenden Ver- bzw. Bearbeitungsschritt eingesetzt wurde. Da das Material 7 entsprechend dem Schritt Sl des Flußdiagramms von Fig. 1 mit einem lumi- neszierenden Materials versetzt wurde, wird das entspre- chend dem Strahleingang 5 auf den Rückstand 7 auftreffende Licht in Licht einer geänderten Wellenlänge transformiert bzw. umgewandelt und entsprechend dem Strahlengang 8 ausgesandt .
Das optische Filter 6 ist auf die Wellenlänge des durch das lumineszierende Material im Rückstand 7 ausgesandten bzw. umgewandelten Lichts 8 abgestimmt, so daß, wie dies aus Fig. 2 deutlich ersichtlich ist, lediglich Licht ent- sprechend dem Strahlengang 8 und somit insbesondere geänderter Wellenlänge durch das optische Filter 6 hindurchtreten kann, während beispielsweise Licht entsprechend dem Strahlengang 4 ' , welches an der von Rückständen freien Oberfläche des zu überprüfenden Gegenstands 2 reflektiert wurde, nicht durch das Filter 6 hindurchtreten kann.
Eine Feststellung von durch das Filter 6 hindurchtretendem Licht erfolgt entweder durch eine schematisch angedeutete, einfache, visuelle Überprüfung 9, wobei ein Auge für diese visuelle Überprüfung angedeutet ist.
Alternativ oder zusätzlich zu einer visuellen Überprüfung entsprechend dem angedeuteten Auge 9 kann eine insbesondere automatisierte Aufnahmeeinrichtung 10 vorgesehen sein, wel- che mit einer Auswerteeinheit gekoppelt ist oder in welcher eine derartige Auswerteeinheit integriert ist, so daß wei- testgehend automatisch durch eine Feststellung von durch das Filter 6 hindurchtretendem Licht geänderter Wellenlänge entsprechend dem Strahlengang 8 festgestellt werden kann, ob bzw. wo gegebenenfalls Rückstände 7 auf dem zu überprüfenden Gegenstand verlieben sind. Das in Schritt Sl gemäß dem Flußdiagramm gemäß Fig. 1 mit einem lumineszierenden Material zu versetzende, zur Be- bzw. Verarbeitung einzusetzende Material kann beispielsweise von einer Maske bzw. einer Lötmaske, einer Farbe bzw. Tinte, beispielsweise Siebdrucktinte, einem Kleber, einem Klebemittel oder ähnlichem, beispielsweise im Zusammenhang mit bzw. bei einer Herstellung oder Bearbeitung von Leiterplatten eingesetzten Materialien gebildet sein. In Abhängigkeit von der Zusammensetzung und/oder dem Einsatz des in Schritt Sl mit einem lumineszierenden Material zu versetzenden Materials können entsprechend unterschiedliche, lumineszierende Materialien eingesetzt werden.
Beispielsweise kann ein Kleber mit einer lumineszierenden Farbe geringer Konzentration versetzt werden, wobei eine derartige Farbe beispielsweise unter der Bezeichnung "Macrolex Luminescent Yellow" von Lanxess in Deutschland vertrieben wird. Bei Einsatz eines derartigen lumineszierenden Materials werden als Beleuchtungsvorrichtungen 3 beispielweise blaue Leuchtdioden eingesetzt. Als optisches Filter kann beispielsweise eine Filterfolie eingesetzt werden, welche unter der Bezeichnung "Oklahoma Yellow" von Lee Filters in Kalifornien, USA vertrieben wird.
Anstelle beispielsweise einer Leuchtdiode, wie dies oben angeführt ist, können als Vorrichtungen 3 zur Bestrahlung des zu überprüfenden Gegenstands 2 Laserdioden oder Glühlampen und Gasentladungslampen insbesondere in Kombination mit einem Farbfilter zur Bereitstellung eines Lichts mit günstigerweise engem Spektralbereich zur Verfügung gestellt werden . Das zur Bestrahlung von der Vorrichtung 3 ausgesandte Licht kann hiebei im wesentlichen insbesondere in Abstimmung mit dem in Schritt Sl dem Material zugesetzten lumineszierenden Material im wesentlichen jede Farbe im sichtbaren Bereich und den daran anschließenden Ultraviolett- oder Infrarot - Bereichen umfassen.
In Anpassung an den Einsatzzweck des insbesondere fluiden oder flüssigen Materials können lumineszierende Farben bzw. Materialen durch die abgestimmten Lichtquellen entsprechend erregt werden und Licht einer geänderten Farbe bzw. Wellenlänge emittieren. In Anpassung an das eingesetzte lumineszierende Material und somit zur Feststellung von Rückständen werden entsprechende Filter 6, insbesondere optische Filter, eingesetzt. Das Filter 6 blockiert, wie oben bereits angeführt, einerseits reflektiertes Licht beispielsweise entsprechend dem Strahlengang 4 ' und gegebenenfalls auch anderes Streulicht. Demgegenüber wird Licht, welches von dem lumineszierenden Material ausgesandt wird, durch das optische Filter 6 durchgelassen, so daß sich entsprechend zuverlässig und auch bei Einsatz geringer Mengen des lumineszierenden Materials deutlich gegebenenfalls vorhandene Rückstände 7 auf dem zu überprüfenden Gegenstand 2 nachweisen lassen.
Eine Auswertung im Hinblick auf ein Vorhandensein von Rückständen 7 läßt sich mit einer entsprechenden Bildauswertung in der AufnähmeVorrichtung 10 durchführen.
Die Aufnahmevorrichtung 10 kann hiebei beispielsweise auch mit einer Vielzahl von Aufnahmekanälen für einen Empfang von Licht unterschiedlicher Wellenlänge ausgebildet sein, so daß auf die Verwendung eines optischen Filters 6 verzichtet werden kann.
Insbesondere bei Verwendung von organischen Substanzen als fluides bzw. flüssiges Material kann theoretisch die intrinsische Lumineszenz derartiger Materialien und somit der Rückstände gegebenenfalls eingesetzt werden, wobei dies jedoch in den meisten Fällen nachteilig ist, da die Erregung und Emission von intrinsischer Lumineszenz überwiegend im UV-Bereich des Spektrum stattfinden und dadurch kaum bzw. nicht durch das menschliche Auge bei einer beispielweise lediglich visuellen Überprüfung feststellbar sind. Darüber hinaus kann eine Beleuchtung mit UV-Licht gegebenenfalls eine unerwünschte Reaktion, beispielsweise ein Aushärten des eingesetzten fluiden bzw. flüssigen Materials bewirken, welches die gegebenenfalls erforderliche Entfernung des Rückstands weiter erschweren bzw. unmöglich machen kann.
Neben der Feststellung eines Rückstands beispielsweise auf einer Oberfläche eines von einer Leiterplatte gebildeten Gegenstands 2 können insbesondere im Zusammenhang mit einer Herstellung bzw. Bearbeitung von Leiterplatten 2 derartige Rückstände auch beispielsweise in Mikrovias bzw. Durchtrittslöchern festgestellt werden, falls sie mit einem mit lumineszierendem Material versetzten Material während des Herstellungsvorgangs bearbeitet werden.
Anstelle der in Fig. 2 dargestellten Leiterplatte 2 können auch andere Gegenstände, welche mit unterschiedlichen Mate- rialen während unterschiedlicher Be- bzw. Verabreitungs- schritte behandelt werden bzw. an welchen unterschiedliche Materialien angewandt werden, auf ein gegebenenfalls vorliegendes Vorhandensein von Rückständen 7 überprüft werden.

Claims

P a t e n t a n s p r ü c h e
1. Verfahren zum Ermitteln von Rückständen eines bei einer Ver- bzw. Bearbeitung eines Gegenstands eingesetzten, ins- besondere flüssigen bzw. fluiden Materials, umfassend die folgenden Schritte :
- Einbringen (Sl) eines lumineszierenden Materials in das flüssige bzw. fluide Material;
- Aufbringen bzw. Anwenden (S2) des Materials auf den (dem) zu ver- bzw. bearbeitenden Gegenstand (2) ;
- Be- und Verarbeiten (S3) des Gegenstands (2) ;
- gegebenenfalls Entfernen (S4) des aufgebrachten bzw. angewandten Materials;
- Bestrahlen (S5) des Gegenstands mit Licht, welches durch das lumineszierende Material in Licht einer geänderten Wellenlänge umgewandelt wird; und
- Feststellen (S6) von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge als Rückständen des bei der Be- bzw. Verarbeitung des Gegenstands (2) eingesetzten flüssigen bzw. fluiden Mate- rials, wobei zum Feststellen (S6) von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge ein auf die Wellenlänge des Lichts geänderter Wellenlänge abgestimmtes Filter (6) , insbesondere optisches Filter verwendet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Feststellen (S6) von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge durch eine visuelle Überprüfung (9) und/oder durch eine insbesondere automatisierte Aufnahmevorrichtung (10) vorgenommen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2 , dadurch gekennzeichnet, daß zur Bestrahlung des Gegenstands (2) Licht mit einem engen Spektralbereich verwendet wird, welches durch das lumineszierende Material in Licht einer von der Wellenlänge des zur Bestrahlung eingesetzten Lichts verschiedenen Wellenlänge umgewandelt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 , 2 oder 3 , dadurch gekennzeichnet, daß als Lichtquelle (3) zur Bestrahlung des be- bzw. verarbeiteten Gegenstands Licht emittierende Dioden, Laserdioden oder Glühlampen und Gasentladungslampen in Kom- bination mit einem Farbfilter verwendet werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß für ein automatisiertes Feststellen (S6) von Quellen von Licht geänderter Wellenlänge eine Aufnahme- Vorrichtung (10) eine Mehrzahl von Aufnahmekanälen für
Licht unterschiedlicher Wellenlänge aufweist und für die
Aufnahme und gegebenenfalls nachfolgende Auswertung des aufgenommenen Lichts ein Kanal entsprechend dem Licht der geänderten Wellenlänge ausgewählt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Aufnahmevorrichtung (10) und/oder der Lichtquelle (3) ein dichroitischer Spiegel vorgeschaltet wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, durch gekennzeichnet, daß das flüssige bzw. fluide Material von einer Maske, beispielsweise Lötmaske, einer Farbe bzw. Tinte, beispielsweise Siebdrucktinte, einem Kleber, einem Klebemittel oder dgl . gebildet wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der zu be- bzw. verarbeitende Gegenstand (2) von einem im wesentlichen plattenförmigen Gegenstand, insbesondere einer Leiterplatte gebildet wird.
9. Vorrichtung zum Ermitteln von Rückständen eines bei einer Ver- bzw. Bearbeitung eines Gegenstands eingesetzten, insbesondere flüssigen bzw. fluiden Materials, gekennzeichnet durch wenigstens eine Vorrichtung (3) zur Bestrahlung des zu überprüfenden Gegenstands (2) mit Licht, welches durch ein in das flüssige bzw. fluide Material aufgenomme- nes lumineszierendes Material in Licht einer geänderten Wellenlänge umgewandelt wird, und ein auf das Licht geänderter Wellenlänge abgestimmtes, insbesondere optisches Filter (6) .
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, daß eine insbesondere automatisierte Aufnahmerichtung (10) zur Aufnahme von Licht geänderter Wellenlänge vorgesehen ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahmevorrichtung (10) von einer Kamera mit einer
Mehrzahl von Farbkanälen zur Aufnahme von Licht unterschiedlicher Wellenlängen ausgebildet ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 9, 10 oder 11, dadurch ge- kennzeichnet, daß die Lichtquelle (3) von Licht emittierenden Dioden, Laserdioden oder Glühlampen und Gasentladungslampen in Kombination mit einem Farbfilter und dgl . gebildet ist.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der zu überprüfende Gegenstand (2) von einem im wesentlichen plattenförmigen Element, insbesondere einer Leiterplatte gebildet ist .
14. Verwendung eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8 oder einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 13 bei der Herstellung bzw. Bearbeitung einer Leiterplatte.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2966932A1 (fr) * 2010-10-29 2012-05-04 Peugeot Citroen Automobiles Sa Procede de controle de la dispersion des pigments ou colorants au sein d'une piece en plastique teinte
US8564026B2 (en) 2010-09-29 2013-10-22 Infineon Technologies Ag Chip, method for producing a chip and device for laser ablation
DE102019100961A1 (de) * 2019-01-15 2020-07-16 Ossberger Gmbh + Co Kg Bewertungsverfahren für einen Reinigungszustand eines Werkstücks sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102019132585A1 (de) * 2019-12-02 2021-06-02 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Prüfsystem zur optischen Oberflächenprüfung eines Prüfkörpers
WO2024002809A1 (de) * 2022-06-29 2024-01-04 Siemens Aktiengesellschaft Verschmutzungserkennung bei elektrischen baugruppen durch fluoreszente beschichtung

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202009017315U1 (de) * 2009-12-18 2011-04-28 Niebling technische Bürsten GmbH Bürstenartiges Reinigungs- bzw. Bearbeitungsgerät mit detektorfähigen Borsten
DE102012222377A1 (de) * 2012-12-06 2014-07-10 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Verfahren zur optischen Überprüfung einer Klebestelle

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01272945A (ja) * 1988-04-26 1989-10-31 Fujitsu Ltd 表面欠陥の検査方法
DE19846775A1 (de) * 1998-10-10 2000-04-27 Henkel Kgaa Automatische Ölerkennung und Ölrestmengenbestimmung
US6080450A (en) * 1996-02-23 2000-06-27 Dymax Corporation Composition exhibiting improved fluorescent response
DE19908366A1 (de) * 1999-02-26 2000-08-31 Uwe Thie Acs Entwicklung Manag Verfahren zum Markieren und zum Prüfen von thermisch hergestellten Verbindungen
US20010013930A1 (en) * 1997-11-04 2001-08-16 Mark Eyolfson Method and apparatus for automated, in situ material detection using filtered fluoresced, reflected, or absorbed light
DE10244819A1 (de) * 2002-09-26 2004-04-15 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer fluoreszierenden Substanz auf einer technischen Oberfläche
AT10237U1 (de) * 2007-10-12 2008-11-15 Austria Tech & System Tech Verfahren und vorrichtung zum positionieren und ausrichten eines gegenstand relativ zu bzw. mit einem untergrund sowie verwendung hiefür

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01272945A (ja) * 1988-04-26 1989-10-31 Fujitsu Ltd 表面欠陥の検査方法
US6080450A (en) * 1996-02-23 2000-06-27 Dymax Corporation Composition exhibiting improved fluorescent response
US20010013930A1 (en) * 1997-11-04 2001-08-16 Mark Eyolfson Method and apparatus for automated, in situ material detection using filtered fluoresced, reflected, or absorbed light
DE19846775A1 (de) * 1998-10-10 2000-04-27 Henkel Kgaa Automatische Ölerkennung und Ölrestmengenbestimmung
DE19908366A1 (de) * 1999-02-26 2000-08-31 Uwe Thie Acs Entwicklung Manag Verfahren zum Markieren und zum Prüfen von thermisch hergestellten Verbindungen
DE10244819A1 (de) * 2002-09-26 2004-04-15 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer fluoreszierenden Substanz auf einer technischen Oberfläche
AT10237U1 (de) * 2007-10-12 2008-11-15 Austria Tech & System Tech Verfahren und vorrichtung zum positionieren und ausrichten eines gegenstand relativ zu bzw. mit einem untergrund sowie verwendung hiefür

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8564026B2 (en) 2010-09-29 2013-10-22 Infineon Technologies Ag Chip, method for producing a chip and device for laser ablation
FR2966932A1 (fr) * 2010-10-29 2012-05-04 Peugeot Citroen Automobiles Sa Procede de controle de la dispersion des pigments ou colorants au sein d'une piece en plastique teinte
DE102019100961A1 (de) * 2019-01-15 2020-07-16 Ossberger Gmbh + Co Kg Bewertungsverfahren für einen Reinigungszustand eines Werkstücks sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102019132585A1 (de) * 2019-12-02 2021-06-02 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Prüfsystem zur optischen Oberflächenprüfung eines Prüfkörpers
DE102019132585B4 (de) 2019-12-02 2022-06-09 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Prüfsystem zur optischen Oberflächenprüfung eines Prüfkörpers
WO2024002809A1 (de) * 2022-06-29 2024-01-04 Siemens Aktiengesellschaft Verschmutzungserkennung bei elektrischen baugruppen durch fluoreszente beschichtung

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