WO2009066555A1 - Microscope à sonde à balayage et unité de sonde pour un microscope à sonde à balayage - Google Patents

Microscope à sonde à balayage et unité de sonde pour un microscope à sonde à balayage Download PDF

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WO2009066555A1
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Masahiro Watanabe
Shuichi Baba
Toshihiko Nakata
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Hitachi, Ltd.
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
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Abstract

Selon l'invention, tout en entraînant la sonde d'un microscope à sonde à balayage à une vitesse très élevée, le contact entre la sonde et un échantillon est optiquement détecté et une détection de sonde rapide adaptée à des échantillons, tels qu'une grande tranche semi-conductrice et un substrat d'affichage plat, qui ne peuvent pas être entraînés, est activée. Un faisceau lumineux parallèle pour une détection optique du contact entre la sonde et l'échantillon et faisant vibrer optiquement la sonde est dirigé vers une région au-dessous de l'objectif pour observer l'échantillon et focalisé sur un point fixe sur un porte-à-faux au moyen d'une micro-lentille de focalisation attachée au-dessous de l'objectif de façon à être entraînée avec le porte-à-faux, irradiant ainsi l'échantillon avec le faisceau lumineux. Par conséquent, même lorsque le porte-à-faux est déplacé, le point fixe sur le porte-à-faux peut être irradié à tout moment. En outre, étant donné que la lentille de focalisation est très petite, l'échantillon peut être balayé avec le porte-à-faux à une vitesse élevée sans influencer les caractéristiques dynamiques de l'unité d'entraînement de porte-à-faux, de façon à observer et à mesurer l'échantillon.
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