WO2009057990A3 - Gyroscope mems capacitif à changement de zone à fréquences de résonance ajustables - Google Patents

Gyroscope mems capacitif à changement de zone à fréquences de résonance ajustables Download PDF

Info

Publication number
WO2009057990A3
WO2009057990A3 PCT/MY2008/000124 MY2008000124W WO2009057990A3 WO 2009057990 A3 WO2009057990 A3 WO 2009057990A3 MY 2008000124 W MY2008000124 W MY 2008000124W WO 2009057990 A3 WO2009057990 A3 WO 2009057990A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
changed
spring
shaped
proof
mass
Prior art date
Application number
PCT/MY2008/000124
Other languages
English (en)
Other versions
WO2009057990A2 (fr
Inventor
Agus Santoso Tamsir
Azrif Manut
Suraya Sulaiman
Original Assignee
Mimos Berhad
Agus Santoso Tamsir
Azrif Manut
Suraya Sulaiman
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mimos Berhad, Agus Santoso Tamsir, Azrif Manut, Suraya Sulaiman filed Critical Mimos Berhad
Publication of WO2009057990A2 publication Critical patent/WO2009057990A2/fr
Publication of WO2009057990A3 publication Critical patent/WO2009057990A3/fr

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
    • G01C19/5656—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams the devices involving a micromechanical structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
    • B81B3/0037—For increasing stroke, i.e. achieve large displacement of actuated parts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/02—Sensors
    • B81B2201/0228—Inertial sensors
    • B81B2201/0242—Gyroscopes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

L'invention concerne un ensemble gyroscope (MEMS) à micro-usinage de surface dans lequel les fréquences de résonance peuvent être ajustées et accordées afin d'obtenir un gain de réponse maximum pour accroître la sensibilité. Le gyroscope MEMS selon l'invention comprend un substrat (1), une masse d'épreuve (2), une plaque à changement de zone capacitive (3), une électrode de mode de commande (4), ainsi qu'une électrode de mode de détection (5). La masse d'épreuve (2) est réalisée en tant que corps en forme de croix qui comprend les électrodes de mode de détection et de mode de commande (4, 5), la masse d'épreuve étant apte à osciller avec un mouvement de va-et-vient latéral au-dessus de la plaque à changement de zone capacitive (3), définissant ainsi un gyroscope MEMS de type capacitif à changement de zone. Les électrodes de mode de commande et de mode de détection (4, 5) sont réalisées en tant que structure de doigt ramifié symétrique. La masse d'épreuve est connectée au substrat (1) par le biais d'un ressort (6) et la structure de doigt ramifié présente deux types de trous différents disposés côte à côte en séries de trous étroits-larges-étroits. Le ressort est en forme de cercle, de rectangle ou de variations des deux. La constante de ressort (Kx, Ky) peut être commandée et ajustée par l'application d'une tension sur le doit ramifié agissant comme actionneur et pseudo-ressort, fournissant ainsi une fréquence de résonance accordée pour une sensibilité supérieure.
PCT/MY2008/000124 2007-10-31 2008-10-22 Gyroscope mems capacitif à changement de zone à fréquences de résonance ajustables WO2009057990A2 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MYPI20071872 2007-10-31
MYPI20071872 MY147014A (en) 2007-10-31 2007-10-31 Capacitive area-changed mems gyroscope with adjustable resonance frequencies

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2009057990A2 WO2009057990A2 (fr) 2009-05-07
WO2009057990A3 true WO2009057990A3 (fr) 2009-08-06

Family

ID=40591678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/MY2008/000124 WO2009057990A2 (fr) 2007-10-31 2008-10-22 Gyroscope mems capacitif à changement de zone à fréquences de résonance ajustables

Country Status (2)

Country Link
MY (1) MY147014A (fr)
WO (1) WO2009057990A2 (fr)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012224081A1 (de) * 2012-12-20 2014-06-26 Continental Teves Ag & Co. Ohg Sensor zum Erfassen einer Drehrate eines Objektes
US10273147B2 (en) 2013-07-08 2019-04-30 Motion Engine Inc. MEMS components and method of wafer-level manufacturing thereof
EP3028007A4 (fr) 2013-08-02 2017-07-12 Motion Engine Inc. Capteur de mouvement à système microélectromécanique (mems) et procédé de fabrication
WO2015103688A1 (fr) 2014-01-09 2015-07-16 Motion Engine Inc. Système mems intégré
WO2015154173A1 (fr) 2014-04-10 2015-10-15 Motion Engine Inc. Capteur de pression mems
WO2015184531A1 (fr) 2014-06-02 2015-12-10 Motion Engine Inc. Capteur de mouvement mems à plusieurs masses
CA3004760A1 (fr) 2014-12-09 2016-06-16 Motion Engine Inc. Magnetometre de systeme micro electromecanique (mems) 3d et procedes associes
CA3004763A1 (fr) 2015-01-15 2016-07-21 Motion Engine Inc. Dispositif mems 3d a cavite hermetique
CN112710292B (zh) * 2020-12-10 2022-11-01 中北大学南通智能光机电研究院 一种基于隧道磁阻检测的频率可调谐微机械陀螺结构
CN114046911B (zh) * 2021-11-19 2023-11-17 山东理工大学 一种静电激励梳齿检测的mems谐振式压力传感器
US11932531B2 (en) 2022-01-13 2024-03-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Curved cantilever design to reduce stress in MEMS actuator
US11994390B2 (en) 2022-02-09 2024-05-28 Honeywell International Inc. Vibratory sensor with electronic balancing

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002066929A1 (fr) * 2001-02-21 2002-08-29 Robert Bosch Gmbh Detecteur de vitesse de rotation
KR20030049313A (ko) * 2001-12-14 2003-06-25 삼성전자주식회사 수직 진동 질량체를 갖는 멤스 자이로스코프
US20060213265A1 (en) * 2005-03-22 2006-09-28 Honeywell International Inc Quadrature reduction in mems gyro devices using quad steering voltages

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002066929A1 (fr) * 2001-02-21 2002-08-29 Robert Bosch Gmbh Detecteur de vitesse de rotation
KR20030049313A (ko) * 2001-12-14 2003-06-25 삼성전자주식회사 수직 진동 질량체를 갖는 멤스 자이로스코프
US20060213265A1 (en) * 2005-03-22 2006-09-28 Honeywell International Inc Quadrature reduction in mems gyro devices using quad steering voltages

Also Published As

Publication number Publication date
MY147014A (en) 2012-10-15
WO2009057990A2 (fr) 2009-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2009057990A3 (fr) Gyroscope mems capacitif à changement de zone à fréquences de résonance ajustables
JP5580341B2 (ja) 駆動周波数同調可能ｍｅｍｓジャイロスープ
EP2346270A3 (fr) Microphone de type système micro-électromécanique
WO2002103340A3 (fr) Procede et dispositif sensibles et selectifs de detection de traces de substance
JP2007285960A (ja) 振動センサおよび振動検出方法
TW200644417A (en) Low-voltage MEMS oscillator
US20170265009A1 (en) Controlling mechanical properties of a mems microphone with capacitive and piezoelectric electrodes
NO339401B1 (no) Akselerometer med redusert bakgrunnsvibrasjon grunnet forbedret elektrodeform
US20110299701A1 (en) Miniature micro-electromechanical system (mems) based directional sound sensor
WO2006069327A3 (fr) Dispositifs transducteurs implantables
US20110227448A1 (en) Apparatus and method for driving capacitive electromechanical transduction apparatus
WO2007028817A3 (fr) Appareil dote d'un element resonateur piezoacoustique, procede de fabrication associe et procede pour emettre un signal en fonction d'une frequence de resonance
NO339398B1 (no) Akselerometer med redusert bakgrunnsvibrasjon på grunn av forbedret returbevegelse
US20120192649A1 (en) Mems vibrating-beam accelerometer with piezoelectric drive
US8450913B1 (en) Tunable Piezoelectric MEMS Resonators suitable for real-time clock applications
EA201200231A1 (ru) Гравиметрическое сенсорное устройство с боковой вибрацией, встраивающееся под микрожидкостными каналами и производящееся по технологии микроэлектромеханических систем (mems)
WO2008080683A3 (fr) Capteur d'accélération micromécanique à plusieurs axes
Alava et al. Silicon-based micromembranes with piezoelectric actuation and piezoresistive detection for sensing purposes in liquid media
WO2008093680A1 (fr) Détecteur d'accélération
Scheibner et al. A spectral vibration detection system based on tunable micromechanical resonators
WO2007047267A3 (fr) Magnetometre microelectromecanique
WO2007115074A3 (fr) Dispositifs acousto-optiques générant des champs acoustiques fortement apodisés et procédés de formation de ceux-ci
EP2792162B1 (fr) Prévention du rapprochement électrostatique dans les dispositifs capacitifs
RU2485550C1 (ru) Устройство для измерения инфразвуковых колебаний среды
US9586233B2 (en) Capacitive micromachined ultrasound transducers with pressurized cavities

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08845133

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08845133

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2