WO2009057990A2 - Gyroscope mems capacitif à changement de zone à fréquences de résonance ajustables - Google Patents

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Abstract

L'invention concerne un ensemble gyroscope (MEMS) à micro-usinage de surface dans lequel les fréquences de résonance peuvent être ajustées et accordées afin d'obtenir un gain de réponse maximum pour accroître la sensibilité. Le gyroscope MEMS selon l'invention comprend un substrat (1), une masse d'épreuve (2), une plaque à changement de zone capacitive (3), une électrode de mode de commande (4), ainsi qu'une électrode de mode de détection (5). La masse d'épreuve (2) est réalisée en tant que corps en forme de croix qui comprend les électrodes de mode de détection et de mode de commande (4, 5), la masse d'épreuve étant apte à osciller avec un mouvement de va-et-vient latéral au-dessus de la plaque à changement de zone capacitive (3), définissant ainsi un gyroscope MEMS de type capacitif à changement de zone. Les électrodes de mode de commande et de mode de détection (4, 5) sont réalisées en tant que structure de doigt ramifié symétrique. La masse d'épreuve est connectée au substrat (1) par le biais d'un ressort (6) et la structure de doigt ramifié présente deux types de trous différents disposés côte à côte en séries de trous étroits-larges-étroits. Le ressort est en forme de cercle, de rectangle ou de variations des deux. La constante de ressort (Kx, Ky) peut être commandée et ajustée par l'application d'une tension sur le doit ramifié agissant comme actionneur et pseudo-ressort, fournissant ainsi une fréquence de résonance accordée pour une sensibilité supérieure.
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