WO2009034787A1 - Procédé de mesure de propriété thermophysique de film mince et appareil de mesure de propriété thermophysique de film mince - Google Patents

Procédé de mesure de propriété thermophysique de film mince et appareil de mesure de propriété thermophysique de film mince Download PDF

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Naoyuki Taketoshi
Tetsuya Baba
Takashi Yagi
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National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology
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Abstract

L'invention vise à proposer un appareil de mesure de facteur de diffusion de film mince par chauffage de surface et mesure de température de surface, l'appareil incorporant un modèle d'analyse dans lequel une épaisseur de film est prise en considération, et à mesurer de façon quantitative et simple un film mince formé sur un substrat individuel. La surface d'un film mince (2) sur un substrat (1) est chauffée instantanément à l'aide d'une lumière pulsée de chauffage (3) afin d'augmenter instantanément la température de surface. La chaleur se diffuse dans le film mince (2) et pénètre à l'intérieur du substrat (1), et la température de surface du film mince (2) est réduite. Une lumière pulsée de mesure de température (4) (P2) est appliquée à la même région que celle à laquelle la lumière pulsée de chauffage (3) (P1) est appliquée (4a), et l'intensité de sa lumière de réflexion (4b) change légèrement en fonction de la température de surface. Le changement de température de la surface du film mince (2) peut être détecté par détection de ce changement d'intensité en fonction de la température par un détecteur (5). Le détecteur (5) comporte un capteur d'intensité de lumière (5a) pour mesurer une intensité de la lumière de réflexion (4b), et un processeur d'informations (5b). Le processeur d'informations (5b) incorpore une section de calcul pour calculer le facteur de diffusion thermique du film mince, en fonction du modèle d'analyse dans lequel une épaisseur de film mince est prise en considération.
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