WO2009010353A3 - Bauelement mit wenigstens einem halbleitersubstrat mit einer integrierten elektrischen schaltung - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung geht aus von einem Bauelement (1) mit wenigstens einem Halbleitersubstrat (5, 6) mit einer integrierten elektrischen Schaltung. Der Kern der Erfindung besteht darin, daß das Bauelement (1) wenigstens ein elektrisches Heizelement (4) zum Beheizen der integrierten elektrischen Schaltung aufweist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Bestimmen wenigstens einer temperaturabhängigen Funktion eines Bauelements (1) mit wenigstens einem Halbleitersubstrat (5, 6) mit einer integrierten elektrischen Schaltung. Das Verfahren weist die Verfahrensschritte auf, daß bei wenigstens zwei unterschiedlichen Temperaturen des Bauelements (1) dessen temperaturabhängige Funktion bestimmt wird, und daß wenigstens eine der zwei unterschiedlichen Temperaturen des Bauelements (1) durch Eigenerwärmung des Bauelements (1) erzeugt wird.
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