WO2009008128A1 - 送液装置及び送液方法 - Google Patents

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WO2009008128A1 PCT/JP2008/001640 JP2008001640W WO2009008128A1 WO 2009008128 A1 WO2009008128 A1 WO 2009008128A1 JP 2008001640 W JP2008001640 W JP 2008001640W WO 2009008128 A1 WO2009008128 A1 WO 2009008128A1
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Nobuhiko Ozaki
Hirokazu Sugihara
Tetsuo Yukimasa
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Panasonic Corporation
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Abstract

本発明は、溶液の成分を順次変化させ、変化させた溶液を分配することができる送液装置及び送液方法に関する。チャンバチップ１７には、注入チャンバ２１、分岐チャンバ２２、分岐後チャンバ２３Ａと２３Ｂ、誘導流路２４、及び分岐後流路２５Ａと２５Ｂが設けられている。回転軸１３まわりの回転がある回転速度に達すると遠心力が毛細管力を上回り、注入チャンバ２１内の溶液は誘導流路２４を介して分岐チャンバ２２の分岐室２９Ａへ流入する。分岐室２９Ａが溶液で満杯となった後もさらに注入チャンバ２１から分岐室２９Ａへ溶液が供給される。溶液は障壁２２ｃの先端と壁面２２ａとの間の隙間２８を通って分岐室２９Ａから隣接する分岐室２９Ｂへ流入する。
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