WO2008145477A1 - Kondensatorstruktur mit veränderbarer kapazität und verwendung der kondensatorstruktur - Google Patents

Kondensatorstruktur mit veränderbarer kapazität und verwendung der kondensatorstruktur Download PDF

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WO2008145477A1
WO2008145477A1 PCT/EP2008/055444 EP2008055444W WO2008145477A1 WO 2008145477 A1 WO2008145477 A1 WO 2008145477A1 EP 2008055444 W EP2008055444 W EP 2008055444W WO 2008145477 A1 WO2008145477 A1 WO 2008145477A1
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Inventor
Richard Matz
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Siemens AG
Siemens Corp
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Siemens AG
Siemens Corp
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
    • H01G5/16—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes
    • H01G5/18—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes due to change in inclination, e.g. by flexing, by spiral wrapping

Definitions

  • the invention relates to a capacitor capacitor capacitor structure, comprising at least one capacitor with at least one capacitor electrode, at least one opposite to the capacitor electrode in a variable capacitor electrode distance to
  • Capacitor electrode arranged capacitor counter electrode and at least one actuator for changing the capacitor electrode gap, comprising at least one actuator electrode for electrically actuating the actuator, by which the change of the capacitor electrode distance is effected.
  • a use of the capacitor structure is given.
  • a high-capacity variable capacitance capacitor structure (tunable capacitance) is used for a voltage controlled oscillator circuit (Voltage
  • Controlled Oscillator VCO
  • Such a circuit is used as a generator of reference frequencies and for mixing channel frequencies and carrier frequencies in communications engineering.
  • VCO Controlled Oscillator
  • tunable capacitances are also used for tunable filters in high-frequency and microwave technology.
  • a frequency filter is for example a bandpass filter.
  • the bandpass filter is permeable to within a certain frequency band
  • the actuator is for example a piezoceramic bending transducer.
  • the bending transducer can as so-called bimorph be configured.
  • a piezo element consisting of a piezoelectrically active ceramic layer and electrode layers (actuator electrodes) attached on both sides is firmly connected to a piezoelectrically inactive layer.
  • the piezoelectrically active ceramic layer is deflected.
  • the piezoelectrically inactive layer is not deflected by the activation of the electrode layers of the piezoelectric element.
  • One of the actuator electrodes of the piezoelectric element simultaneously acts as a capacitor electrode. In consequence of the bending of the
  • Bending transducer changes the capacitor electrode spacing between the capacitor electrode and the
  • Capacitor counter electrode The capacitance of the capacitor changes.
  • Such a capacitor is also called a varactor.
  • the controllable via the capacitor with variable capacity current depends on the operation of the actuator. Because of the bending of the bending transducer to be achieved, the capacitor electrode or the actuator electrode is very thin. This requires a relatively low current carrying capacity, so that the current controllable with the aid of the variable capacitance is limited.
  • the object of the present invention is to provide a compact capacitor structure with variable capacitance, in which the current controllable by the variable capacitance is largely independent of the operation of the actuator for adjusting the capacitor electrode spacing.
  • a capacitor structure with variable capacitance comprising at least one capacitor with at least one capacitor electrode, at least one opposite the capacitor electrode in one variable capacitor electrode distance to the capacitor electrode arranged capacitor counter electrode and at least one actuator for changing the capacitor electrode spacing, comprising at least one actuator electrode for electrically actuating the actuator, by which the change of the capacitor electrode gap is effected.
  • the capacitor structure is characterized in that the actuator electrode and one of the capacitor electrodes of the capacitor are arranged next to one another on a common carrier.
  • the actuator serves as an actuator for adjusting the capacitor electrode distance.
  • the actuator electrode and the capacitor electrode or the capacitor counter electrode are arranged on a common surface portion of the carrier.
  • the carrier is part of the actuator.
  • the common carrier is an actuator functional layer of the actuator.
  • the actuator functional layer contributes to the functioning of the actuator.
  • the actuator is a bimetal (bimetallic) - actuator.
  • Such an actuator consists for example of two firmly interconnected metal strips of metals with different thermal expansion coefficients.
  • the electrical activation of the adjoining actuator electrode leads to heating of the adjoining actuator functional layers, which may be electrically isolated from the actuator electrode, and as a result of the heating, to the bending of the actuator. It is also conceivable that the actuator functional layer has magnetostrictive material. By controlling the actuator electrode is in this
  • Actuator functional layer coupled to a magnetic field.
  • the white areas of the magnetostrictive material align themselves.
  • this actuator-functional layer is firmly connected to an actuator-functional layer of a non-magnetic material, it comes to a bending of the actuator. Since one of the actuator functional layers simultaneously carries one of the capacitor electrodes, actuators and Adjustability of capacity easily linked together.
  • the actuator can operate thermally or magnetostrictively.
  • the actuator is a piezoelectric actuator.
  • the piezoelectric actuator has at least one piezoelectric element.
  • the piezoelectric element has a piezoelectric layer and electrode layers arranged on both sides (actuator electrodes). By electrical actuation of the actuator electrodes, an electric field is coupled into the piezoelectric layer. It comes to the expansion change in the piezoelectric layer and due to the expansion change to the actuating action of the actuator.
  • the configuration of the piezoelectric actuator is arbitrary. It is crucial that the piezoelectrically induced deflection of the actuator is large enough so that a desired change in the distance between the capacitor electrodes can be achieved.
  • a piezoelectric actuator can be used, which has a plurality of piezo elements stacked one above the other to form an actuator body. The piezoelectric elements can be glued together. This is suitable, for example, for piezoelectric elements with piezoelectric layers of a piezoelectric polymer such as polyvinylidene difluoride (PVDF). Likewise, piezoelectric layers made of a piezoceramic material are conceivable.
  • PVDF polyvinylidene difluoride
  • the piezoceramic material is, for example, a lead zirconate titanate (PZT) or a zinc oxide (ZnO).
  • PZT lead zirconate titanate
  • ZnO zinc oxide
  • the piezo elements with piezoelectric layers of piezoceramic material are not glued together, but connected in a common sintering process to form an actuator body in a monolithic multilayer construction.
  • the piezoelectric actuator is a piezoelectric bending transducer.
  • a relatively low driving voltage can be a relatively large in the Biegwandler Deflection can be achieved.
  • a drive voltage of less than 10 V is sufficient to bring about a deflection of the bending transducer of more than 10 ⁇ m. Due to the large achievable deflection, the distance between the capacitor electrode and capacitor counter electrode can be varied within a wide range. This makes it possible to vary the capacitance of the capacitor in a wide range.
  • the bending transducer can, as described above, be designed as a bimorph.
  • the actuator functional layer may be a piezoelectrically active or piezoelectrically inactive layer. Both layers contribute to the functioning of the bimorph.
  • the piezoelectric layer is directly the actuator functional layer.
  • the piezoelectric layer is dielectric. There is no need for additional electrical insulation.
  • a bending transducer in the form of a multimorph which has a plurality of piezoelectrically active layers which are firmly connected to one another.
  • the piezoelectrically active layers can be combined to form a single piezoelement.
  • the piezoelectrically active layers together form the piezoelectric overall layer of the piezoelectric element as stacked sublayers. It is also conceivable that a plurality of piezoelectric elements, each having a piezoelectrically active layer, are arranged to form a multilayer composite.
  • the capacitance of the capacitor can be varied within a wide range.
  • a dielectric with a relative dielectric constant of more than 10 may be arranged within the distance between the capacitor electrode and the capacitor counter electrode.
  • a dielectric having a dielectric constant greater than 50 is used.
  • Dielectric is referred to as a high dielectric material.
  • the dielectric is in this case arranged so that the electric field which is generated by the driving of the capacitor electrode and the capacitor counter electrode can couple into the dielectric.
  • the dielectric layer is applied directly and directly to the capacitor electrode or the capacitor counterelectrode. It is also conceivable that in each case a dielectric layer is applied to both capacitor electrodes.
  • the capacitor and the actuator are preferably arranged on a common carrier body (substrate).
  • a cover may be present.
  • the carrier body and / or the cover are preferably selected from the group of semiconductor bodies, organic multilayer bodies and / or ceramic multilayer bodies.
  • the carrier body and / or the cover may be a semiconductor material, an organic material or a ceramic material.
  • the semiconductor body is for example a silicon substrate.
  • the ceramic body is, for example, a ceramic substrate of alumina.
  • a plurality of passive electrical components can be integrated.
  • the multilayer body may be an organic multilayer body (MLO) or a ceramic multilayer body (MLCC).
  • LTCC Low Temperature Cofired Ceramic
  • HTCC High Temperature Cofired Ceramics
  • a current carrying capacity of the actuator electrode is smaller than a current carrying capacity of the capacitor electrode arranged on the carrier. This is achieved, for example, when using the same electrode material for the capacitor electrode and the actuator electrode, a layer thickness of the capacitor electrode is higher than a layer thickness of the actuator electrode.
  • Difference can be a factor of 10 to 100.
  • the deflectability of the actuator is hardly affected due to the thin actuator electrode.
  • a high current carrying capacity of the capacitor electrode is ensured.
  • a high current can be switched by means of the capacitor structure.
  • the actuator electrode and the capacitor electrode arranged next to the actuator electrode can be electrically connected to one another.
  • the electrodes are not galvanically separated. However, it is particularly advantageous if the actuator electrode and the capacitor electrode arranged on the carrier are arranged at a distance between the carrier electrodes and galvanically separated from one another. Due to the support electrode spacing, the electrodes are electrically isolated from each other.
  • a drive circuit for driving the actuator with DC voltage and a function circuit (high frequency AC voltage in the GHz range) with the variable capacitance are electrically isolated from each other.
  • a serial connection of two capacitors can be particularly favorable. It is advantageous if both capacitors each have a variable capacitance. A disadvantage to be overcome thereby, namely the reduction of the absolute capacitance of the series-connected capacitors can be easily compensated by increasing the capacitor electrode areas.
  • a spacer element is arranged on the carrier within the carrier electrode spacing. With the spacer element, various functions can be connected. The spacer element can easily contribute to improving the electrical insulation of the capacitor electrode and the actuator electrode.
  • the spacer element consists of electrically insulating material
  • the ceramic spacer material advantageously having a second possible function of the spacer element Due to the increased inertia of the bending beam, a stability in the transmission of high-frequency signals and, consequently, a linearity of the component is improved
  • a multilayer ceramic component is described in connection with the substrate (see above). ⁇ br /> ⁇ br/>
  • it is particularly advantageous to integrate at least one electrical component This results in a space-saving, compact construction.
  • an electrical shielding of the drive circuit and the function circuit can be achieved.
  • the spacer element can be arranged next to the capacitor electrode. It is particularly advantageous, the
  • capacitor electrode on the spacer element. This results in an ideal connection of the insulating effect of the spacer element with the possibility of integrating further functions and the mass increase of the bending beam connected to the spacer element.
  • the capacitor capacitor structure described with the variable capacitance is in particular in tunable oscillators used. With the aid of the capacitor structure, a voltage-controlled oscillator circuit is set.
  • the tunable oscillators are used in radio frequency and microwave technology, among others.
  • the capacitor structure is also used to set a frequency band of a frequency filter. Due to the possibility of being able to change a frequency band of a frequency filter by electrical activation of the capacitor structure in a wide range, a concept of the message or mobile radio technology can be realized with the aid of the invention, which is referred to as "software defined radio" (SDR).
  • SDR software defined radio
  • the aim of the SDR is to realize non-discrete frequency bands, but arbitrarily (continuously) changeable frequency bands for the message or mobile radio technology.
  • a basic building block for implementing the SDR is provided.
  • the capacitor structure is also used for adjusting the impedance of a matching circuit.
  • Impedance matching is required to avoid signal reflections between circuit elements, for example at the input and output of a power amplifier. It is usually realized by suitably combined passive components, in particular coils and capacitors. The function is thus limited to a finite frequency interval. When shifting the operating frequency of a circuit, such as by changing a filter setting, therefore, the impedance adjustments to the new frequency band are tuned.
  • a capacitor structure with capacitors is provided whose capacitance can be varied over a wide range and with high quality. • The currents that can be switched by the variable capacitances do not depend on how the actuator used works.
  • Figures 1 to 3 each show an embodiment of a tunable capacitor arrangement in each case in a lateral cross-section.
  • the exemplary embodiments relate in each case to a capacitor structure 100 with variable capacitances, comprising two series-connected capacitors 101, each having a capacitor electrode 5a, 5e and one opposite the capacitor electrodes in a variable
  • an actuator in the form of a piezoceramic bending transducer 103 is present.
  • the piezoceramic bending transducer has a bending beam designed as a multimorph.
  • the bending beam consists of two piezoceramic layers (actuator functional layers) 8 and 9, which are provided with metallizations 10b, 11 and 12. These metallizations form the actuator electrodes, by the electrical control of which electric fields are coupled into the piezoceramic layers. That's what happens to a bending of the bending transducer.
  • the bending causes the change in the respective capacitor electrode spacing of the two capacitors.
  • the actuator electrode 10b and the capacitor counter electrode 10a are disposed adjacent to each other at a common surface portion 81 of the piezoceramic layer 8.
  • the piezoceramic layer 8 is the carrier of the two electrodes 10a and 10b.
  • the bending beam is applied to a ceramic multilayer substrate 1.
  • the multilayer substrate is an LTCC substrate.
  • the multilayer substrate is a HTCC substrate.
  • a thin high-dielectric layer 2 On the substrate is a thin high-dielectric layer 2. This layer covers the substrate and the capacitor electrodes 5a and 5e.
  • electrical feedthroughs 3a, 3b, 3c, 3d, 3e on the bottom and top of the substrate in contact surfaces 4a, 4b, 4c, 4d, 4e and 5a, 5b, 5c, 5d, 5e ends.
  • the contact surfaces 5a and 5e are the capacitor electrodes of the two capacitors.
  • the lower actuator electrode 10b of the bending beam is fastened and contacted on the substrate.
  • the actuator electrodes 11 and 12 are electrically connected via bonding wires 7 to the contact surfaces 5c and 5d.
  • the contacts 4b and 4d to ground potential or the maximum DC voltage, for example, 200 V, placed.
  • ground potential and maximum voltage control voltage of the bending transducer With a variable between ground potential and maximum voltage control voltage of the bending transducer can be moved up and down.
  • the neutral horizontal position of the bending transducer corresponds to half the maximum voltage, since both piezoelectric layers 8 and 9 are equally braced here.
  • variable capacitances are due to the variable air gaps at the free end of the bending beam between the capacitor electrode 5a and the capacitor counter electrode 10a and between the capacitor electrode 5e and the Capacitor counter electrode 10 a formed.
  • the variable capacitances become active in terms of circuit technology at the contacts 4a and 4e.
  • the high-dielectric layer 2 causes high capacitances in a horizontal position of the bending beam.
  • the respective air gap leads to a steep decrease in capacity with increasing modulation.
  • the capacitor counter electrode 10a and actuator electrode 10b are electrically connected to each other, that is not electrically isolated.
  • the capacitor counter-electrode has a much higher current-carrying capacity than the actuator electrode. This is caused by the higher layer thickness of the capacitor counterelectrode with respect to the actuator electrode (with the same electrode material).
  • the bending transducer can be divided into three areas I, II and IV. Area I essentially contributes to the tunable capacities. The area III indicates the bending function of the bending transducer. Since the capacitor counter electrode 10a and the actuator electrode 10b are not galvanically separated from each other, the drive circuit and the functional circuit are coupled with each other.
  • the capacitor counter electrode 10a and the actuator electrode 10b are galvanically separated from each other.
  • the two electrodes are arranged on the common surface portion of the carrier in a carrier electrode spacing 13 to each other.
  • the attached to the underside of the piezoceramic layer 8 metallization is interrupted.
  • Section I with the metallization 10a, is a component of the capacitors with variable capacitances.
  • this component only incompletely participates in the mechanical bending.
  • II is the break between the Capacitor electrode 10a and the actuator electrode 10b.
  • III marks the active bending area of the bending transducer.
  • IV marks the area of the electrical contacting of the metallizations and the mechanical connection of the bending beam to the substrate.
  • a spacer element 14 is additionally present in the carrier electrode spacing 13.
  • the capacitor counter electrode 10a is disposed on the spacer.
  • an additional metallization 15 is provided for connecting the spacer element with the bending beam.
  • the spacer element is a ceramic multilayer component, in whose volume electrical components are integrated.
  • the ceramic multilayer component is produced according to a first embodiment in LTCC technology and according to another embodiment in HTCC technology. Again, the capacity structure can be divided into the areas I to IV.
  • the described tunable capacitor structures are used to set a frequency band of a frequency filter or to set a voltage controlled oscillator circuit.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Kondensatorstruktur. (1) mit veränderbarer Kapazität, aufweisend mindestens einen Kondensator (101) mit mindestens einer Kondensatorelektrode (5a, 5e), mindestens einer gegenüber der Kondensatorelektrode (5a, 5e) in einem veränderbaren Kondensatorelektroden-Abstand (102) zur Kondensatorelektrode angeordneten Kondensatorgegenelektrode (10a) und mindestens einem Aktor (103) zum Veränderung des Kondensatorelektroden-Abstandes (102), aufweisend, mindestens eine Aktorelektrode (10b) zum elektrischen Ansteuern des Aktors, durch das die Änderung des Kondensatorelektroden-Abstandes bewirkt wird. Die Kondensatorstruktur ist dadurch gekennzeichnet, dass die Aktorelektrode und eine der Kondensatorelektroden des Kondensators an einem gemeinsamen Träger (8) nebeneinander angeordnet sind. Vorteilhaft sind die Aktorelektrode und die neben der Aktorelektrode angeordnete Kondensatorelektrode elektrisch voneinander isoliert. Dadurch sind Ansteuerschaltkreis und Funktionsschaltkreis entkoppelt. Vorteilhaft ist der Aktor ein. piezokeramischer Biegewandler. Eingesetzt wird die Kondensatorstruktur beispielsweise in einem spannungsgesteuerten Oszillator (VCO). Insbesondere in der Nachrichten- bzw. Mobilfunktechnik wird die Kondensatorstruktur verwendet. Mit dem Kondensatorstruktur wird ein Grundbaustein des Konzepts "Software Defined Radio" (SDR) bereitgestellt.

Description

Beschreibung
Kondensatorstruktur mit veränderbarer Kapazität und Verwendung der Kondensatorstruktur
Die Erfindung betrifft eine Kondensatorstruktur mit veränderbarer Kapazität, aufweisend mindestens einen Kondensator mit mindestens einer Kondensatorelektrode, mindestens einer gegenüber der Kondensatorelektrode in einem veränderbaren Kondensatorelektroden-Abstand zur
Kondensatorelektrode angeordneten Kondensatorgegenelektrode und mindestens einem Aktor zum Veränderung des Kondensatorelektroden-Abstandes, aufweisend mindestens eine Aktorelektrode zum elektrischen Ansteuern des Aktors, durch das die Änderung des Kondensatorelektrode-Abstandes bewirkt wird. Daneben wird eine Verwendung der Kondensatorstruktur angegeben.
Eine Kondensatorstruktur mit veränderbarer Kapazität (durchstimmbare Kapazität) mit hoher Güte wird beispielsweise für eine spannungsgesteuerte Oszillatorschaltung (Voltage
Controlled Oscillator, VCO) benötigt. Eine derartige Schaltung wird als Generator von Referenzfrequenzen und zum Mischen von Kanalfrequenzen und Trägerfrequenzen in der Nachrichtentechnik eingesetzt. Für eine möglichst hohe Frequenzstabilität sind verlustarme Kondensatoren mit hoher Güte erforderlich, die aber gleichzeitig weit abstimmbar sein sollen. Neben der genannten Anwendung werden durchstimmbare Kapazitäten auch für abstimmbare Filter in der Hochfrequenz- und Mikrowellentechnologie eingesetzt. Ein derartiges Frequenzfilter ist beispielsweise ein Bandpassfilter. Das Bandpassfilter ist innerhalb eines bestimmten Frequenzbandes durchlässig für ein
Hochfrequenzsignal (Durchlassbereich) . Das bedeutet, dass ein Dämpfungsmaß für ein Hochfrequenzsignal innerhalb dieses Frequenzbandes niedrig ist.
Aus der WO 2005/059932 Al ist eine Kondensatorstruktur der eingangs genannten Art bekannt. Der Aktor ist beispielsweise ein piezokeramischer Biegewandler. Der Biegewandler kann als sogenannter Bimorph ausgestaltet sein. Bei einem derartigen Biegewandler ist ein Piezoelement, bestehend aus einer piezoelektrisch aktiven Keramikschicht und beidseitig angebrachten Elektrodenschichten (Aktorelektroden) , mit einer piezoelektrisch inaktiven Schicht fest verbunden. Durch elektrische Ansteuerung der Elektrodenschichten des Piezoelements des Biegewandlers kommt es zur Auslenkung der piezoelektrisch aktiven Keramikschicht. Die piezoelektrisch inaktive Schicht wird dagegen durch die Ansteuerung der Elektrodenschichten des Piezoelements nicht ausgelenkt. Auf
Grund der festen Verbindung zwischen den Schichten kommt es zu einer Verbiegung des Biegewandlers.
Eine der Aktorelektroden des Piezoelements fungiert gleichzeitig als Kondensatorelektrode. In Folge der Verbiegung des
Biegewandlers ändert sich der Kondensatorelektroden-Abstand zwischen der Kondensatorelektrode und der
Kondensatorgegenelektrode. Die Kapazität des Kondensators ändert sich. Ein derartiger Kondensator wird auch als Varactor bezeichnet.
Der über den Kondensator mit veränderbarer Kapazität steuerbare Strom ist von der Funktionsweise des Aktors abhängig. Wegen der zu erzielenden Verbiegung des Biegewandlers ist die Kondensatorelektrode bzw. die Aktorelektrode sehr dünn. Dies bedingt eine relativ niedrige Stromtragfähigkeit, so dass der mit Hilfe der veränderbaren Kapazität steuerbare Strom begrenzt ist.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine kompakte Kondensatorstruktur mit veränderbarer Kapazität anzugeben, bei der der durch die veränderbare Kapazität steuerbare Strom weitgehend unabhängig von der Funktionsweise des Aktors zum Einstellen des Kondensatorelektroden-Abstands ist.
Zur Lösung der Aufgabe wird eine Kondensatorstruktur mit veränderbarer Kapazität angegeben, aufweisend mindestens einen Kondensator mit mindestens einer Kondensatorelektrode, mindestens einer gegenüber der Kondensatorelektrode in einem veränderbaren Kondensatorelektroden-Abstand zur Kondensatorelektrode angeordneten Kondensatorgegenelektrode und mindestens einem Aktor zum Veränderung des Kondensatorelektroden-Abstandes, aufweisend mindestens eine Aktorelektrode zum elektrischen Ansteuern des Aktors, durch das die Änderung des Kondensatorelektroden-Abstandes bewirkt wird. Die Kondensatorstruktur ist dadurch gekennzeichnet, dass die Aktorelektrode und eine der Kondensatorelektroden des Kondensators an einem gemeinsamen Träger nebeneinander angeordnet sind.
Der Aktor dient als Stellglied zum Einstellen des Kondensatorelektroden-Abstandes. Die Aktorelektrode und die Kondensatorelektrode oder die Kondensatorgegenelektrode sind an einem gemeinsamen Oberflächenabschnitt des Trägers angeordnet. Der Träger ist Bestandteil des Aktors.
In einer besonderen Ausgestaltung ist der gemeinsame Träger eine Aktor-Funktionsschicht des Aktors. Die Aktor-Funktionsschicht trägt zur Funktionsweise des Aktors bei. Beispielsweise ist der Aktor ein Bimetall (Thermobimetall) - Aktor. Ein derartiger Aktor besteht beispielsweise aus zwei fest miteinander verbundenen Metallstreifen aus Metallen mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten. Durch die elektrische Ansteuerung der angrenzenden Aktorelektrode kommt es zur Erwärmung der angrenzenden, eventuell von der Aktorelektrode elektrisch isolierten Aktor-Funktionsschichten und in Folge der Erwärmung zur Verbiegung des Aktors. Denkbar ist auch, dass die Aktor-Funktionsschicht magnetostriktives Material aufweist. Durch die Ansteuerung der Aktorelektrode wird in diese
Aktor-Funktionsschicht ein magnetisches Feld eingekoppelt. Die Weißschen Bezirke des magnetostriktiven Material richten sich aus. In Folge davon kommt es zur Ausdehnungsänderung der Aktor-Funktionsschicht. Wenn nun diese Aktor-Funktionsschicht mit einer Aktor-Funktionsschicht aus einem nicht-magnetischen Material fest verbunden ist, kommt es zu einer Verbiegung des Aktors. Da eine der Aktor-Funktionsschichten gleichzeitig Träger einer der Kondensatorelektroden ist, werden Aktorik und Einstellbarkeit der Kapazität auf einfache Weise miteinander verknüpft .
Wie bei der Beschreibung der Aktor-Funktionsschicht bereits angedeutet, kann der Aktor thermisch oder magnetostriktiv arbeiten. In einer besonderen Ausgestaltung ist der Aktor ein piezoelektrischer Aktor. Der piezoelektrische Aktor verfügt über mindestens ein Piezoelement . Das Piezoelement weist eine piezoelektrische Schicht auf und beidseitig angeordnete Elektrodenschichten (Aktorelektroden) auf. Durch elektrische Ansteuerung der Aktorelektroden wird in die piezoelektrische Schicht ein elektrisches Feld eingekoppelt. Es kommt zur Ausdehnungsänderung in der piezoelektrischen Schicht und aufgrund der Ausdehnungsänderung zur Stellwirkung des Aktors.
Die Ausgestaltung des piezoelektrischen Aktors ist beliebig. Entscheidend ist, dass die piezoelektrisch induzierte Auslenkung des Aktors groß genug ist, so dass eine gewünschte Änderung des Abstandes zwischen den Kondensatorelektroden erzielt werden kann. Um eine relativ große Auslenkung zu erzielen, kann ein piezoelektrischer Aktor verwendet werden, der eine Vielzahl von übereinander zu einem Aktorkörper gestapelten Piezoelementen aufweist. Die Piezoelemente können dabei zusammengeklebt sein. Dies bietet sich beispielsweise für Piezoelemente mit piezoelektrischen Schichten aus einem piezoelektrischen Polymer wie Polyvinylidendifluorid (PVDF) an. Ebenso sind piezoelektrische Schichten aus einem piezokeramischen Material denkbar. Das piezokeramische Material ist beispielsweise ein Bleizirkonattitanat (PZT) oder ein Zinkoxid (ZnO) . Die Piezoelemente mit piezoelektrischen Schichten aus piezokeramischem Material sind beispielsweise nicht zusammengeklebt, sondern in einem gemeinsamen Sinterprozess zu einem Aktorkörper in monolithischer Vielschichtbauweise verbunden .
In einer besonderen Ausgestaltung ist der piezoelektrische Aktor ein piezoelektrischer Biegewandler. Durch eine relativ geringe Ansteuerspannung kann bei dem Biegwandler eine relativ große Auslenkung erzielt werden. So genügt beispielsweise eine Ansteuerspannung von unter 10 V, um eine Auslenkung des Biegewandlers von über 10 μm zu bewirken. Durch die große erzielbare Auslenkung kann der Abstand zwischen Kondensatorelektrode und Kondensatorgegenelektrode in einem weiten Bereich variiert werden. Dadurch ist es möglich, die Kapazität des Kondensators in einem weiten Bereich zu verändern.
Der Biegewandler kann, wie eingangs beschrieben, als Bimorph ausgestaltet sein. Die Aktor-Funktionsschicht kann eine piezoelektrisch aktive oder piezoelektrisch inaktive Schicht sein. Beide Schichten tragen zur Funktionsweise des Bimorphs bei. Vorzugsweise ist die piezoelektrische Schicht direkt die Aktor-Funktionsschicht. Die piezoelektrische Schicht ist dielektrisch. Es muss für keine zusätzliche elektrische Isolierung gesorgt werden.
Alternativ zum Bimorph ist auch ein Biegewandler in Form eines Multimorphs denkbar, der mehrere piezoelektrisch aktive Schichten aufweist, die fest miteinander verbunden sind. Die piezoelektrisch aktiven Schichten können zu einem einzigen Piezoelement zusammengefasst sein. Die piezoelektrisch aktiven Schichten bilden als übereinander gestapelte Teilschichten zusammen die piezoelektrische Gesamtschicht des Piezoelements . Denkbar ist auch, dass mehrere Piezoelemente mit jeweils einer piezoelektrisch aktiven Schicht zu einem Mehrschichtverbund angeordnet sind. Durch die Ansteuerung der Elektrodenschichten des Piezoelements beziehungsweise der Piezoelemente des Biegewandlers werden in die piezoelektrisch aktiven Schichten unterschiedliche elektrische Felder eingekoppelt, die zu unterschiedlichen Auslenkungen der piezoelektrisch aktiven Schichten führen. Auch in diesem Fall kommt es zu einer Verbiegung des Biegewandlers.
Allein durch die Änderung des Abstandes von Kondensatorelektrode zur Kondensatorgegenelektrode kann die Kapazität des Kondensators in einem weiten Bereich variiert werden. Um diesen Bereich zu erhöhen, kann in einer besonderen Ausgestaltung innerhalb des Abstandes zwischen der Kondensatorelektrode und der Kondensatorgegenelektrode ein Dielektrikum mit einer relativen Dielektrizitätskonstante von über 10 angeordnet werden. Vorzugsweise wird ein Dielektrikum mit einer Dielektrizitätskonstante von über 50 verwendet. Dieses
Dielektrikum wird als hochdielektrisches Material bezeichnet.
Das Dielektrikum wird dabei so angeordnet, dass das elektrische Feld, das durch die Ansteuerung der Kondensatorelektrode und der Kondensatorgegenelektrode erzeugt wird, in das Dielektrikum einkoppeln kann. Dazu wird die dielektrische Schicht unmittelbar und direkt auf der Kondensatorelektrode oder der Kondensatorgegenelektrode aufgebracht. Denkbar ist auch, dass auf beiden Kondensatorelektroden jeweils eine dielektrische Schicht aufgebracht ist.
Der Kondensator und der Aktor sind vorzugsweise auf einem gemeinsamen Trägerkörper (Substrat) angeordnet. Zum Schutz des Kondensators vor einem Umwelteinfluss kann eine Abdeckung vorhanden sein.
Der Trägerkörper und/oder die Abdeckung sind vorzugsweise aus der Gruppe Halbleiterkörper, organischer Mehrschichtkörper und/oder keramischer Mehrschichtkörper ausgewählt. Der Trägerkörper und/oder die Abdeckung weisen ein Halbleitermaterial, ein organisches Material oder ein keramisches Material sein. Der Halbleiterkörper ist beispielsweise ein Siliziumsubstrat. Der Keramikkörper ist beispielsweise ein Keramiksubstrat aus Aluminiumoxid. Im Volumen eines Mehrschichtkörpers kann eine Vielzahl von passiven elektrischen Bauelementen integriert werden. Der Mehrschichtkörper kann ein organischer Mehrschichtkörper (Multilayer Organic, MLO) oder ein keramischer Mehrschichtkörper (Mulitlayer Cofired Ceramic, MLCC) sein. Als keramischer Mehrschichtkörper kommt insbesondere eine LTCC (Low Temperature Cofired Ceramic) -Keramik in Betracht, bei der aufgrund einer niedrigen Dichtbrandtemperatur der Keramik niedrig schmelzende und elektrisch hochleitfähige Metalle wie Silber und Kupfer zur Integration der passiven Bauelemente verwendet werden können. HTCC (High Temperature Cofired Ceramics) -Substrate sind ebenfalls denkbar.
In einer besonderen Ausgestaltung ist eine Stromtragfähigkeit der Aktorelektrode kleiner ist als eine Stromtragfähigkeit der am Träger angeordneten Kondensatorelektrode. Dies wird beispielsweise dadurch erreicht, dass bei Verwendung des gleichen Elektrodenmaterials für die Kondensatorelektrode und die Aktorelektrode eine Schichtdicke der Kondensatorelektrode höher ist als eine Schichtdicke der Aktorelektrode. Der
Unterschied kann dabei einem Faktor von 10 bis 100 entsprechen. Dies führt dazu, dass aufgrund der dünnen Aktorelektrode die Auslenkbarkeit des Aktors kaum beeinflusst wird. Gleichzeitig ist für eine hohe Stromtragfähigkeit der Kondensatorelektrode gesorgt. Es kann ein hoher Strom mit Hilfe der Kondensatorstruktur geschaltet werden.
Die Aktorelektrode und die neben der Aktorelektrode angeordnete Kondensatorelektrode können elektrisch miteinander verbunden sein. Die Elektroden sind galvanisch nicht voneinander getrennt. Besonders vorteilhaft ist es aber, wenn die Aktorelektrode und die am Träger angeordnete Kondensatorelektrode in einem Trägerelektroden-Abstand zueinander und galvanisch voneinander getrennt angeordnet sind. Durch den Trägerelektroden-Abstand sind die Elektroden voneinander elektrisch isoliert. Ein Ansteuerschaltkreis zur Ansteuerung des Aktors mit Gleichspannung und ein Funktionsschaltkreis (hochfrequente Wechselspannung im GHz-Bereich) mit der veränderbaren Kapazität sind elektrisch voneinander isoliert.
Zum Abgreifen der veränderbaren Kapazität kann eine serielle Verschaltung von zwei Kondensatoren besonders günstig sein. Vorteilhaft ist es dabei, wenn beide Kondensatoren jeweils eine veränderbare Kapazität aufweisen. Ein dadurch einzugehender Nachteil, nämlich die Verringerung der absoluten Kapazität der in Serie geschalteten Kondensatoren kann einfach durch Vergrößerung der Kondensatorelektrodenflächen kompensiert werden . In einer besonderen Ausgestaltung ist innerhalb des Trägerelektroden-Abstands ein Distanzelement auf dem Träger angeordnet. Mit dem Distanzelement können verschiedene Funktionen verbunden sein. Das Distanzelement kann einfach zur Verbesserung der elektrischen Isolierung der Kondensatorelektrode und der Aktorelektrode beitragen. Ein „Übersprechen" von Ansteuerschaltkreis und Funktionsschaltkreis wird unterdrückt. Dies gelingt beispielsweise dadurch, dass das Distanzelement aus elektrisch isolierendem Material besteht. Vorteilhaft weist dazu das Distanzelement keramisches Material auf, denn mit diesem Material kann eine zweite mögliche Funktion des Distanzelements realisiert werden: Durch das Distanzelement wird eine Masse des Biegewandlers (Biegebalkens) erhöht. Durch die Masseerhöhung wird die Trägheit des Biegebalkens erhöht. In Folge der erhöhten Trägheit des Biegebalkens verbessert sich eine Stabilität bei der Übertragung hochfrequenter Signale und folglich eine Linearität des Bauelementes. Darüber hinaus ist es besonders vorteilhaft, wenn das Distanzelement ein keramisches Mehrschichtbauteil ist. Ein keramisches Mehrschichtbauteil ist im Zusammenhang mit des Substrat beschreiben (siehe oben) . Besonders vorteilhaft ist es, im Mehrschichtbauteil mindestens ein elektrisches Bauelement zu integrieren. Es resultiert ein Platz sparender, kompakter Aufbau. Zudem kann durch Integration des Bauelements im Distanzelement eine elektrische Abschirmung von Ansteuerschaltkreis und Funktionsschaltkreis erzielt werden .
Das Distanzelement kann neben der Kondensatorelektrode angeordnet sein. Besonders Vorteilhaft ist es, die
Kondensatorelektrode auf dem Distanzelement anzuordnen. Dadurch resultiert eine ideale Verbindung der Isolationswirkung des Distanzelements mit der Möglichkeit, weitere Funktionen zu integrieren und der mit dem Distanzelement verbundenen Masseerhöhung des Biegebalkens.
Die beschriebene Kondensatorstruktur mit der veränderbaren Kapazität wird insbesondere in abstimmbaren Oszillatoren verwendet. Mit Hilfe der Kondensatorstruktur erfolgt ein Einstellen einer spannungsgesteuerten Oszillatorschaltung. Die abstimmbaren Oszillatoren werden unter anderem in der Hochfrequenz- und Mikrowellentechnologie eingesetzt.
Vorzugsweise wird die Kondensatorstruktur auch zum Einstellen eines Frequenzbandes eines Frequenzfilters verwendet. Durch die Möglichkeit, ein Frequenzband eines Frequenzfilters durch elektrische Ansteuerung der Kondensatorstruktur in einem weiten Bereich verändern zu können, ist mit Hilfe der Erfindung ein Konzept der Nachrichten- bzw. Mobilfunktechnik realisierbar, das als "Software Defined Radio" (SDR) bezeichnet wird. Ziel des SDR ist es, nicht diskrete Frequenzbänder, sondern beliebig (kontinuierlich) veränderbare Frequenzbänder für die Nachrichten- bzw. Mobilfunktechnik zu realisieren. Mit dem abstimmbaren Kondensator der vorliegenden Erfindung wird ein Grundbaustein zur Umsetzung des SDR zur Verfügung gestellt.
Vorzugsweise wird die Kondensatorstruktur auch zum Einstellen der Impedanz einer Anpass-Schaltung verwendet.
Impedanzanpassung ist zur Vermeidung von Signalreflexionen zwischen Schaltungselementen erforderlich, beispielsweise am Eingang und Ausgang eines Leistungsverstärkers. Sie wird üblicherweise durch geeignet kombinierte passive Bauteile, insbesondere Spulen und Kondensatoren realisiert. Die Funktion ist damit auf ein endliches Frequenzintervall begrenzt. Bei der Verschiebung der Betriebsfrequenz einer Schaltung, etwa durch Veränderung einer Filtereinstellung, sind deshalb auch die Impedanzanpassungen auf das neue Frequenzband abzustimmen.
Zusammengefasst sind folgende Vorteil der Erfindung hervorzuheben :
• Es wird eine Kondensatorstruktur mit Kondensatoren bereitgestellt, deren Kapazitäten in einem weiten Bereich und mit hoher Güte verändert werden können. • Die durch die veränderbaren Kapazitäten schaltbaren Ströme hängen nicht von einer Funktionsweise des verwendeten Aktors ab.
• Durch die Verwendung eines Distanzelements sind Ansteuerschaltkreis und Funktionsschaltkreis der
Kondensatorstruktur voneinander entkoppelt.
• Durch die Verwendung der Mehrschicht-Technologie kann eine Vielzahl von Funktionalitäten im Distanzelement und im Substrat der Kondensatorstruktur integriert werden. • Mit Hilfe der Kondensatorstruktur wird ein wesentlicher Baustein des SDR-Konzepts bereitgestellt.
Anhand mehrerer Ausführungsbeispiele und der dazugehörigen Figuren wird die Erfindung im Folgenden näher erläutert. Die Figuren sind schematisch und stellen keine maßstabsgetreuen Abbildungen dar.
Die Figuren 1 bis 3 zeigen jeweils ein Ausführungsbeispiel einer abstimmbaren Kondensatoranordnung jeweils in einem seitlichen Querschnitt.
Die Ausführungsbeispiele betreffen jeweils eine Kondensatorstruktur 100 mit veränderbaren Kapazitäten, aufweisend zwei in Serie geschaltete Kondensatoren 101 mit je einer Kondensatorelektrode 5a, 5e und einer gegenüber den Kondensatorelektroden in einem veränderbaren
Kondensatorelektroden-Abstand 102 zu den Kondensatorelektroden angeordnete Kondensatorgegenelektrode 10a.
Zum Verändern des Kondensatorelektroden-Abstands ist ein Aktor in Form eines piezokeramischen Biegewandlers 103 vorhanden. Der piezokeramische Biegewandler weist einen als Multimorph ausgestaltet Biegebalken auf. Der Biegebalken besteht aus zwei piezokeramischen Schichten (Aktor-Funktionsschichten) 8 und 9, die mit Metallisierungen 10b, 11 und 12 versehen sind. Diese Metallisierungen bilden die Aktorelektroden, durch deren elektrische Ansteuerung elektrische Felder in die piezokeramischen Schichten eingekoppelt werden. Dadurch kommt es zu einer Verbiegung des Biegewandlers . Die Verbiegung bewirkt die Veränderung des jeweiligen Kondensatorelektroden-Abstands der beiden Kondensatoren.
Die Aktorelektrode 10b und die Kondensatorgegenelektrode 10a sind an einem gemeinsamen Oberflächenabschnitt 81 der piezokeramischen Schicht 8 nebeneinander angeordnet sind. Die piezokeramische Schicht 8 ist Träger der beiden Elektroden 10a und 10b.
Der Biegebalken ist auf einem keramischen Mehrschichtsubstrat 1 aufgebracht. Gemäß einer ersten Ausführungsform ist das Mehrschichtsubstrat ein LTCC-Substrat . In einer weiteren Ausführungsform ist das Mehrschichtsubstrat ein HTCC-Substrat .
Auf dem Substrat befindet sich eine dünne hochdielektrische Schicht 2. Diese Schicht bedeckt das Substrat und die Kondensatorelektroden 5a und 5e. Im Substrat befinden sich elektrische Durchkontaktierungen 3a, 3b, 3c, 3d, 3e die auf der Unter- und Oberseite des Substrates in Kontaktflächen 4a, 4b, 4c, 4d, 4e bzw. 5a, 5b, 5c, 5d, 5e enden. Die Kontaktflächen 5a und 5e sind die Kondensatorelektroden der beiden Kondensatoren.
Mit Hilfe eines elektrisch leitfähigen Kleberstoffs 6 wird die untere Aktorelektrode 10b des Biegebalkens auf dem Substrat befestigt und kontaktiert. Die Aktorelektroden 11 und 12 werden über Bonddrähte 7 elektrisch mit den Kontaktflächen 5c und 5d verbunden. Im Betrieb werden die Kontakte 4b und 4d auf Masse-Potential bzw. die maximale Gleichspannung, beispielsweise 200 V, gelegt. Mit einer zwischen Masse-Potential und Maximalspannung variablen Steuerspannung kann der Biegewandler auf und ab bewegt werden. Die neutrale Horizontalposition des Biegewandlers entspricht der halben Maximalspannung, da hier beide piezoelektrische Schichten 8 und 9 gleich verspannt sind. Die variablen Kapazitäten sind auf Grund der variablen Luftspalte am freien Ende des Biegebalkens zwischen der Kondensatorelektrode 5a und der Kondensatorgegenelektrode 10a bzw. zwischen der Kondensatorelektrode 5e und der Kondensatorgegenelektrode 10a ausgebildet. Die veränderbaren Kapazitäten werden an den Kontakten 4a und 4e schaltungstechnisch wirksam. Dabei bewirkt die hochdielektrische Schicht 2 hohe Kapazitäten in einer Horizontalposition des Biegebalkens. Der jeweilige Luftspalt führt zu einer steilen Abnahme der Kapazität mit wachsender Aussteuerung.
Beispiel 1 :
Gemäß dem ersten Beispiel sind die Kondensatorgegenelektrode 10a und Aktorelektrode 10b elektrisch miteinander verbunden, also nicht galvanisch getrennt. Die Kondensatorgegenelektrode weist aber eine im Vergleich zur Aktorelektrode wesentlich höhere Stromtragfähigkeit auf. Dies wird durch die höhere Schichtdicke der Kondensatorgegenelektrode gegenüber der Aktorelektrode bewirkt (bei gleichem Elektrodenmaterial) . Der Biegewandler lässt sich in drei Bereiche I, II und IV einteilen. Der Bereich I trägt im Wesentlichen zu den abstimmbaren Kapazitäten bei. Der Bereich III kennzeichnet die Biegefunktion des Biegewandlers. Da die Kondensatorgegenelektrode 10a und die Aktorelektrode 10b galvanisch nicht voneinander getrennt sind, sind Ansteuerschaltkreis und Funktionsschaltkreis mit einander gekoppelt .
Beispiel 2:
Die Kondensatorgegenelektrode 10a und die Aktorelektrode 10b sind galvanisch voneinander getrennt. Die beiden Elektroden sind am gemeinsamen Oberflächenabschnitt des Trägers in einem Trägerelektroden-Abstand 13 zueinander angeordnet. Die an der Unterseite der piezokeramischen Schicht 8 angebrachte Metallisierung ist unterbrochen. Infolge der Unterbrechung können entlang des Biegewandlers die mit I bis IV bezeichneten funktionellen Abschnitte unterschieden werden: Abschnitt I ist mit der Metallisierung 10a Bestandteil der Kondensatoren mit veränderbaren Kapazitäten. Dieser Bestandteil nimmt aber durch die Unterbrechung 13 nur unvollständig an der mechanischen Biegung teil. Mit II ist die Unterbrechung zwischen der Kondensatorelektrode 10a und der Aktorelektrode 10b gekennzeichnet. III markiert den aktiven Biegebereich des Biegewandlers. Mit IV ist der Bereich der elektrischen Kontaktierung der Metallisierungen und die mechanische Verbindung des Biegebalkens mit dem Substrat gekennzeichnet.
Beispiel 3:
Im Unterschied zum vorangegangenen Beispiel ist zusätzlich ein Distanzelement 14 im Trägerelektroden-Abstand 13 vorhanden. Die Kondensatorgegenelektrode 10a ist auf dem Distanzelement angeordnet. Zur Anbindung des Distanzelements mit dem Biegebalken ist eine zusätzliche Metallisierung 15 vorgesehen. Das Distanzelement ist ein keramisches Mehrschichtbauteil, in dessen Volumen elektrische Bauelemente integriert sind. Das keramische Mehrschichtbauteil ist gemäß einer ersten Ausführungsform in LTCC- und gemäß einer weiteren Ausführungsform in HTCC-Technologie hergestellt. Auch hier kann die Kapazitätsstruktur die Bereiche I bis IV eingeteilt werden.
Die beschriebenen abstimmbaren Kondensatorstrukturen werden zum Einstellen eines Frequenzbandes eines Frequenzfilters oder zum Einstellen einer spannungsgesteuerten Oszillatorschaltung verwendet .

Claims

Patentansprüche
1. Kondensatorstruktur (1) mit veränderbarer Kapazität, aufweisend mindestens einen Kondensator (101) - mindestens einer Kondensatorelektrode (5a, 5e)
- mindestens einer gegenüber der Kondensatorelektrode (5a, 5e) in einem veränderbaren Kondensatorelektroden-Abstand (102) angeordnete Kondensatorgegenelektrode (10a) und
- mindestens einem Aktor (103) zum Veränderung des Kondensatorelektroden-Abstandes, aufweisend mindestens eine Aktorelektrode (10b) zum elektrischen Ansteuern des Aktors, durch das die Änderung des Kondensatorelektroden-Abstandes bewirkt wird, dadurch gekennzeichnet, dass - die Aktorelektrode und eine der Kondensatorelektroden des Kondensators an einem gemeinsamen Träger (8) nebeneinander angeordnet sind.
2. Kondensatorstruktur nach Anspruch 1, wobei der gemeinsame Träger eine Aktor-Funktionsschicht des Aktors ist.
3. Kondensatorstruktur nach Anspruch 1, wobei der Aktor ein piezoelektrischer Aktor ist.
4. Kondensatorstruktur nach Anspruch 3, wobei die
Aktor-Funktionsschicht eine piezoelektrische Schicht des piezoelektrischen Aktors ist.
5. Kondensatorstruktur nach Anspruch 3 oder 4, wobei der piezoelektrische Aktor ein Biegewandler ist.
6. Kondensatorstruktur nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei eine Stromtragfähigkeit der Aktorelektrode kleiner ist als eine Stromtragfähigkeit der am Träger angeordneten Kondensatorelektrode.
7. Kondensatorstruktur nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Aktorelektrode und die am Träger angeordnete Kondensatorelektrode in einem Trägerelektroden-Abstand 13 zueinander und galvanisch voneinander getrennt angeordnet sind.
8. Kondensatorstruktur nach Anspruch 7, wobei innerhalb des Trägerelektroden-Abstands ein Distanzelement (14) auf dem Träger angeordnet ist.
9. Kondensatorstruktur nach Anspruch 8, wobei die am Träger angeordnete Kondensatorelektrode auf dem Distanzelement angeordnet ist.
10. Kondensatorstruktur nach Anspruch 8 oder 9, wobei das Distanzelement keramisches Material aufweist.
11. Kondensatorstruktur nach Anspruch 10, wobei das
Distanzelement ein keramisches Mehrschichtbauteil ist.
12. Kondensatorstruktur nach Anspruch 11, wobei im keramischen Mehrschichtbauteil mindestens ein elektrisches Bauelement integriert ist.
13. Verwendung der Kondensatorstruktur nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zum Einstellen eines Frequenzbandes eines Frequenzfilters .
14. Verwendung der Kondensatorstruktur nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zum Einstellen einer spannungsgesteuerten Oszillatorschaltung.
15. Verwendung der Kondensatorstruktur nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zum Einstellen einer Impedanz-Anpass-Schaltung.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015086568A1 (de) * 2013-12-10 2015-06-18 Behr-Hella Thermocontrol Gmbh Bedieneinrichtung für ein elektrisches gerät, insbesondere für eine fahrzeugkomponente

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2562836A4 (de) 2010-04-23 2014-07-23 Murata Manufacturing Co Piezoelektrischer aktuator und herstellungsverfahren für den piezoelektrischen aktuator
US9324508B2 (en) * 2011-06-15 2016-04-26 Nokia Technologies Oy Substrate for electrode capable of undergoing reversible deformation
DE102012019860A1 (de) 2012-10-10 2014-04-10 Hochschule Ostwestfalen-Lippe Dielektrischer Rollenaktor
WO2017214246A1 (en) 2016-06-07 2017-12-14 Northwestern University Deformable electrodes and devices for converting mechanical energy to electrical energy
CN111128557B (zh) * 2019-11-29 2021-07-13 福建师范大学 多功能器件和多功能器件的制作方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0460930A2 (de) * 1990-06-07 1991-12-11 General Electric Company Ballast für eine elektrodenlose Entladungslampe hoher Intensität
US6377438B1 (en) * 2000-10-23 2002-04-23 Mcnc Hybrid microelectromechanical system tunable capacitor and associated fabrication methods
WO2005059932A1 (de) * 2003-12-18 2005-06-30 Siemens Aktiengesellschaft Kondensator mit veränderbarer kapazität, verfahren zum herstellen des kondensators und verwendung des kondensators

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6496351B2 (en) * 1999-12-15 2002-12-17 Jds Uniphase Inc. MEMS device members having portions that contact a substrate and associated methods of operating
JP4053958B2 (ja) * 2003-09-19 2008-02-27 株式会社東芝 電圧制御発振器
JP4496091B2 (ja) * 2004-02-12 2010-07-07 株式会社東芝 薄膜圧電アクチュエータ
US7023210B1 (en) * 2004-10-14 2006-04-04 Varian, Inc. NMR systems employing inverted variable capacitors
JP4744849B2 (ja) * 2004-11-11 2011-08-10 株式会社東芝 半導体装置
JP4580826B2 (ja) * 2005-06-17 2010-11-17 株式会社東芝 マイクロメカニカルデバイス、マイクロスイッチ、容量可変キャパシタ、高周波回路及び光学スイッチ
JP4373994B2 (ja) * 2006-05-31 2009-11-25 株式会社東芝 可変容量装置および携帯電話

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0460930A2 (de) * 1990-06-07 1991-12-11 General Electric Company Ballast für eine elektrodenlose Entladungslampe hoher Intensität
US6377438B1 (en) * 2000-10-23 2002-04-23 Mcnc Hybrid microelectromechanical system tunable capacitor and associated fabrication methods
WO2005059932A1 (de) * 2003-12-18 2005-06-30 Siemens Aktiengesellschaft Kondensator mit veränderbarer kapazität, verfahren zum herstellen des kondensators und verwendung des kondensators

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015086568A1 (de) * 2013-12-10 2015-06-18 Behr-Hella Thermocontrol Gmbh Bedieneinrichtung für ein elektrisches gerät, insbesondere für eine fahrzeugkomponente
US9698775B2 (en) 2013-12-10 2017-07-04 Behr-Hella Thermocontrol Gmbh Operating device for an electrical apparatus, in particular for a vehicle component

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Publication number Publication date
US20080297972A1 (en) 2008-12-04
DE102007024901A1 (de) 2008-12-11

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