WO2008123132A1 - Appareil de génération d'ondes de surface élastiques - Google Patents
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Abstract
Cette invention concerne un appareil de génération d'ondes de surface élastiques peu susceptible de provoquer un changement des propriétés lors d'une variation de température et qui a un coefficient de réflexion élevé par doigt d'électrode de IDT et peut facilement rétrécir la bande. Dans l'appareil de génération d'ondes de surfaces élastiques (1), une électrode IDT (3) et un film de SiO2 (7) ayant la même épaisseur qu'un doigt d'électrode dans l'électrode IDT (3) sont formés sur un substrat piézoélectrique (2) constitué de quartz dont l'angle d'Euler est de 0° ± 5°, 0° à 140° et 0° ± 40°, de façon à former une électrode IDT (3). Un film piézoélectrique, constitué d'un film de ZnO (4) aligné sur l'axe c, est formé de façon à couvrir l'électrode IDT (3) et le film de SiO2 (7), et une onde de Rayleigh est utilisée comme onde de surface élastique. L'électrode IDT (3) est formée dans un matériau métallique composé principalement de Au, Ta, W, Pt, Cu, Ni et Mo. Lorsque la longueur de l'onde de surface élastique est λ, le métal comme constituant principal dans l'électrode IDT(3), l'épaisseur du film standardisé par λ de l'électrode IDT (3) et l'épaisseur du film standardisé par λ du film de ZnO (4) s'inscrivent dans une plage de combinaisons individuelles spécifiées dans la Table 1 ci-après. Table 1: AA métal comme constituant principal de l'
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|---|---|---|---|---|
| WO1999005788A1 (fr) * | 1997-07-28 | 1999-02-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Dispositif de traitement d'ondes acoustiques de surface et son procede de fabrication |
| JP2002280856A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子の製造方法 |
| JP4244656B2 (ja) * | 2003-02-26 | 2009-03-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
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|---|---|---|---|---|
| JPS54148478U (fr) * | 1978-04-06 | 1979-10-16 | ||
| JP2003037467A (ja) * | 2001-07-24 | 2003-02-07 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| KADOTA M. ET AL.: "ZnO Maku Hyomen Kenma ni yoru SAW Filter no Shuhasu Tokusei Baratsuki no Teigen", THE TRANSACTIONS OF THE INSTITUTE OF ELECTRONICS, INFORMATION AND COMMUNICATION ENGINEERS, vol. J76-A, no. 10, 25 October 1993 (1993-10-25), pages 1399 - 1406 * |
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