WO2008052879A1 - VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM SERIENMÄßIGEN AUFBRINGEN UND BEFESTIGEN VON ELEKTRONISCHEN BAUTEILEN AUF SUBSTRATEN - Google Patents

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM SERIENMÄßIGEN AUFBRINGEN UND BEFESTIGEN VON ELEKTRONISCHEN BAUTEILEN AUF SUBSTRATEN Download PDF

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WO2008052879A1
WO2008052879A1 PCT/EP2007/060989 EP2007060989W WO2008052879A1 WO 2008052879 A1 WO2008052879 A1 WO 2008052879A1 EP 2007060989 W EP2007060989 W EP 2007060989W WO 2008052879 A1 WO2008052879 A1 WO 2008052879A1
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WO
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adhesive
substrates
underside
substrate
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PCT/EP2007/060989
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Christian Wachtmeister
Original Assignee
Mühlbauer Ag
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Publication date
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    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/046—Surface mounting
    • H05K13/0469—Surface mounting by applying a glue or viscous material
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0815—Controlling of component placement on the substrate during or after manufacturing
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/303—Surface mounted components, e.g. affixing before soldering, aligning means, spacing means
    • H05K3/305—Affixing by adhesive

Definitions

  • the invention relates to a method and a device for the standard application and mounting of electronic components, in particular RFID chips, on substrates, in particular antennas having substrates, according to the preambles of patent claims 1 and 7.
  • Electronic components in particular flip chips, are conventionally used for equipping substrates, such as, for example, with antenna-provided substrates, in order to obtain from the interaction of the chip with the antenna the final chip card or the final smart label.
  • the flip chips within a high-throughput device are individually taken out of a chip assembly, such as a wafer, by means of a flip chip receptacle and turned upside down by rotation of that flip chip receptacle to the rear thereof another recording device, which also serves as a transport device to attack.
  • the picking up of the individual chips is usually carried out by means of vacuum pipettes, which allow gentle holding of the chips on the receiving device, even during transport.
  • an adhesive is used exclusively in the region of an ablation. Filled surface of the substrate in which the chip is to be used or stored, applied in a first process section within a mostly separately provided for this purpose processing module of the machine. Subsequently, within a further processing module of the machine, the flipchip to be inserted is picked up by the wafer during a further processing step and transported to the depositing surface in order to place it on the depositing surface having the adhesive, which is often also referred to as cavity within a card body can be trained.
  • the Klebstoffautrage worn which is referred to as a shooter must be suspended above the substrates having the belt and be moved in the X and Y directions, thereby by means of an X and Y-rail system, the individual cavities or, more generally, to be able to approach the individual storage surfaces and targeted to arrange individual drops of adhesive at certain designated points within the Ablegeflä-.
  • Such a machine with two different process steps requires the coordination of the two process steps on each other and thus the coordination of the processing modules responsible for these process steps with each other, resulting in a time and cost newwyeri- ge control electronics circuit for controlling and regulating the processing modules also in connection with other processing modules of the machine results.
  • An essential point of the invention is that, in a method for the serial application and mounting of electronic components, in particular flip chips for the RFID area, the following sequential steps take place on substrates, in particular antennas, comprising substrates:
  • the above-described first and second process steps which usually take place in separate processing modules within a common machine, can advantageously be combined within one processing module. This has the consequence that both manufacturing costs and processing costs can be saved, since complex control electronics circuits for mutual coordination of the two processing modules and an X-Y rail system for the method of the adhesive application device omitted.
  • the size of the machine is also reduced because the X- and Y-rail system for the process of the shooter, which is usually located above a substrate belt, can be saved.
  • the transport device is advantageously equipped with a transport rail attached on the top side, along which a vacuum-loaded pipette arranged thereon can be displaced.
  • the vacuum-charged pipette has one or more openings at the bottom to expose a vacuum within the pipette to one side of the chip for holding it.
  • This shooter is oriented from bottom to top and shoots the tough, viscous glue drop towards the bottom of the chip. Subsequent transport of the chip to the deposition surface of the substrate does not cause the adhesive to dissolve from the underside of the chip because the adhesive is viscous.
  • the adhesive application in the transport process of the chip or the electronic component can be integrated, which also results in a time savings in the production of smart labels and smart cards and a higher throughput of the entire apparatus for producing the results.
  • the adhesive application device is designed such that it is equipped with an upwardly open container with adhesive disposed therein, in which one can immerse the underside of the component for a short time.
  • an ink pad which is impregnated with the adhesive, is additionally arranged in the container, so that a limited and metered amount of adhesive is released by briefly pressing the underside of the component onto the ink pad.
  • an ink pad also has the advantage that the adhesive is at the same time evenly distributed over the entire surface of the underside of the component.
  • the orientation of the component may already be measured a first time in addition to the measurement process taking place after the application of the adhesive, this time in relation to the orientation of the adhesive application device, to properly align the electronic component for subsequent adhesive application.
  • Such a measuring process takes place in both cases by means of an optical measuring method with the aid of, for example, a camera and can be matched by means of image data processing on the laying surface and / or the Kelbstoff Kunststoffe worn in their orientation.
  • the receiving device for receiving the flip chip from the component assembly which may be formed as a wafer is rotated with the recorded thereto adhering thereto by vacuum chip about a horizontally oriented axis by 180 ° in order to transfer the electronic component in the inverted state of the transport device can.
  • the transport device then takes over the electronic component on its opposite upper side by means of vacuum application by means of the vacuum pipette.
  • An apparatus for the standard application and mounting of electronic components on substrates comprises the receiving device, the transport device, the below the transport means arranged adhesive applicator and one, optionally two, measuring devices, both measuring devices the direction of the component, which on the transport device during the entire process from the time of transfer of the component from the receiving device to the transport device adheres measures.
  • the vacuum pipette of the transport device for sucking the component thus exerts a vacuum on the component, which may be formed as a flip chip, during its recording away from the receiving device, its transport, its adhesive application and its deposition on the substrate.
  • the Klebstoffautrage insightful has an ejection element for shooting at least one drop of adhesive from bottom to top on the underside of the component.
  • the adhesive scraper may be provided with an ink pad soaked with the adhesive to press the underside of the chip onto its surface for transfer of the adhesive.
  • FIG. 1 shows in a first schematic representation of the structure of a process implementing device according to a first embodiment of the invention
  • FIG. 2 shows a schematic representation of the structure of a device realizing the method according to a second embodiment of the invention.
  • a device according to a first embodiment of the invention is shown in a schematic representation, as it can be used to carry out the method according to the invention.
  • a substrate strip 2 is arranged, in which or on which a plurality of successively and / or juxtaposed substrates 3 are arranged.
  • the substrates 3 may be provided with an antenna and may have a cavity for receiving a chip.
  • the substrate tape 2 is moved into the image plane or out of the image plane continuously or discontinuously.
  • Each individual substrate has a deposition surface 3a, which may be formed as a cavity, to receive a chip therein.
  • a plurality of individual components in the form of, for example, flip chips 5 are arranged. These flip chips are by means of a receiving device 6 - 9, the can act as a so-called pinball recorded.
  • the flipper is pivoted about a horizontally extending pivot axis 7, which is arranged within a central element 6, so as to be arranged by means of rod elements 8 and 9, to which vacuum pipettes not shown here, individual chips 5 of the chip composite 4 increase and to another vacuum pipette 1 1, which belongs to a transport device 1 1, 12 and 13 to pass.
  • a single drop of adhesive 17 is shot from bottom to top by means of an ejection element 16 at a point in time when the vacuum pipette 11 travels past the adhesive applicator 15, 16 with the chip 10 hanging thereon.
  • the rail-like transport device can be briefly braked or stopped to allow accurate positioning of the adhesive drop on the underside of the chip 10.
  • another measuring device 22, 23, as shown in Fig. 2 be arranged to detect the chip a first time in its orientation.
  • FIG. 2 shows a schematic representation of the device for carrying out the method according to the invention in accordance with a second embodiment of the invention. Identical and equivalent components are provided with the same reference numerals.
  • the device reproduced in a schematic representation in FIG. 2 differs from the device represented in FIG. 1 in that the adhesive application device is designed differently and a further measuring device 22, 23 is arranged.
  • Such an ink pad 21 serves to press the underside of the chip 10 thereon and thereby to obtain a uniform distribution of the adhesive on the underside of the chip 10 in metered quantity.
  • either the adhesive application device 20, 21 or the ink pad 21 can be traced for itself, if currently a chip 10 is positioned over it, or the vacuum pipette 1 1 are briefly driven down with the attached chip 10.
  • the measuring device 22, 23 for optical measuring, for example by means of a camera, the orientation of the chip 10, which adheres to the vacuum pipette 1 1, serves to capture the chip a first time in its orientation or optionally by a post-correction, for example by twisting the pipette 1 1 about its longitudinal axis to align properly.
  • the measuring device 22, 23 compares the aligned data with the orientation of the adhesive applicator 20, 21 and, if appropriate, with the orientation of the laying surface 3a of the substrate.
  • the measuring device 22, 23 is arranged in front of the adhesive application device 20, 21.
  • the further measuring device 18, 19 is arranged after the adhesive application device and ensures a further measurement and, if appropriate, correction of the alignment of the chip 10.
  • only the measuring device 18, 19 without the measuring device 22, 23 may be arranged. All disclosed in the application documents features are claimed as essential to the invention, provided they are new individually or in combination over the prior art.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen (5, 10), insbesondere RFID-Chips, auf Substraten (3), insbesondere antennenaufweisenden Substraten, mit folgenden Schritten: Aufnehmen mindestens eines der elektronischen Bauteile (5, 10) aus einem Bauteilverbund (4) mittels einer Aufnahmeeinrichtung (6 - 9); Übertragen des elektronischen Bauteils (10) von der Aufnahmeeinrichtung (6 - 9) auf eine verschiebbare Transporteinrichtung (1 1 - 13); Auftragen eines Klebstoffes (17) auf eine Unterseite des an der Transporteinrichtung (1 1 - 13) befestigten Bauteils (10) mittels einer stationären Klebstoffauftrageeinrichtung (15, 16; 20, 21 ); Messen einer Ausrichtung des Bauteils (10) in Relation zu der Ausrichtung einer auf dem Substrat (3) angeordneten Ablegefläche (3a) zum Ablegen des Bauteils (10) mittels einer Messeinrichtung (18, 19), und Ablegen des Bauteils (10) auf der Ablegefläche (3a) des Substrates (3) mittels der Transporteinrichtung (1 1 - 13).

Description

Verfahren und Vorrichtung zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen auf Substraten
Beschreibung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen, insbesondere RFID-Chips, auf Substraten, insbesondere Antennen aufweisenden Substraten, gemäß den Oberbegriffen der Patentansprü- che 1 und 7.
Elektronische Bauteile insbesondere Flipchips werden herkömmlicherweise zum Bestücken von Substraten, wie beispielsweise mit antennenversehenen Substraten, verwendet, um daraus aus der Zusammenwirkung des Chips mit der Antenne die endgültige Chipkarte, bzw. das endgültige Smartlabel zu erhalten. Bei einem derartigen Bestückungsvorgang werden die Flipchips innerhalb einer Vorrichtung mit hohem Durchsatz aus einem Chipverbund, wie beispielsweise einem Wafer, mittels einer Flip-Chip-Aufnahmeeinrichtung einzeln herausgenommen und durch eine Drehung dieser Flip-Chip-Aufnahmeeinrichtung auf den Kopf gestellt, um an deren Rückseite eine weitere Aufnahmeeinrichtung, die zugleich als Transport- einrichtung dient, angreifen zu lassen. Das Aufnehmen der einzelnen Chips wird üblicherweise mittels Vakuum-Pipetten durchgeführt, die ein schonendes Festhalten der Chips an der Aufnahmeinrichtung, auch während des Transportes, erlauben.
Bisher wird zur Bestückung des Substrates mit dem einzelnen Chip und zur Fixierung des Chips in dem Substrat, welches üblicherweise auf oder in einem Band, welches fortlaufend oder diskontinuierlich fortbewegt wird, ein Klebstoff ausschließlich im Bereich einer AbIe- gefläche des Substrate, in welcher der Chip eingesetzt bzw. abgelegt werden soll, in einem ersten Prozessabschnitt innerhalb eines zumeist separat hierfür vorgesehenen Bearbeitungsmodules der Maschine aufgetragen. Anschließend wird innerhalb eines weiteren Bearbeitungsmodules der Maschine im Rahmen eins weiteren Prozessschrittes der einzusetzen- de Flipchip von dem Wafer aufgenommen und zu der Ablegefläche hin transportiert, um ihn dann auf der den Klebstoff aufweisenden Ablegefläche abzulegen, die häufig auch als Kavi- tät innerhalb eines Kartenkörpers ausgebildet sein kann.
Bei der Auftragung des Klebstoffes auf die Ablegefläche bzw. Kavität des Substrates muss die Klebstoffautrageeinrichtung, die als sogenannter Shooter bezeichnet wird, oberhalb des die Substrate aufweisenden Bandes aufgehängt sein und in X- und Y-Richtung verfahrbar sein, um hierdurch mittels eines X- und Y-Schienensystems die einzelnen Kavitäten oder, allgemeiner ausgedrückt, die einzelnen Ablegeflächen anfahren zu können und gezielt einzelne Klebstofftropfen an bestimmten dafür vorgesehenen Punkten innerhalb der Ablegeflä- che anordnen zu können.
Eine derartige Maschine mit zwei verschiedenen Prozessschritten erfordert die Abstimmung beider Prozessschritte aufeinander und somit die Abstimmung der für diese Prozessschritte zuständigen Bearbeitungsmodule untereinander, woraus sich eine zeit- und koste naufwändi- ge Steuerelektronikschaltung zum Steuern und Regeln der Bearbeitungsmodule auch im Zusammenhang mit weiteren Bearbeitungsmodulen der Maschine ergibt.
Zudem ist aufgrund des zwingend notwendigen X- und Y-Schienensystems ein erhöhter Platzbedarf hierfür innerhalb der Maschine vorzusehen, die eine vorbestimmte Gesamtbau- große der Maschine vorgibt.
Demzufolge liegt der folgenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen auf Substraten zur Verfügung zu stellen, bei dem/der eine kostengünstige und zeitreduzierte Bestückung von Substraten und eine Reduzierung der Baugröße der Vorrichtung mit hohem Durchsatz möglich ist.
Diese Aufgabe wird vorrichtungsseitig durch die Merkmale des Patentanspruches 1 und ver- fahrensseitig durch die Merkmale des Patentanspruches 7 gelöst. Ein wesentlicher Punkt der Erfindung liegt darin, dass bei einem Verfahren zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen, insbesondere Flipchips für den RFID-Bereich, auf Substraten, insbesondere Antennen aufweisenden Substraten folgende aufeinander folgende Schritte stattfinden:
- Aufnehmen mindestens eines der elektronischen Bauteile aus einem Bauteilverbund mittels einer Aufnahmeeinrichtung;
- Übertragen des elektronischen Bauteils von der Aufnahmeeinrichtung auf eine verschiebbare Transporteinrichtung; - Auftragen eines Klebstoffes auf eine Unterseite des an der Transporteinrichtung befestigten Bauteils mittels einer stationären Klebstoffauftrageeinrichtung;
- Messen einer Ausrichtung des Bauteils in Relation zu der Ausrichtung einer auf dem Substrat angeordneten Ablegefläche zum Ablegen des Bauteils mittels einer Messeinrichtung, und - Ablegen des Bauteils auf der Ablegefläche des Substrates mittels der Transporteinrichtung.
Durch ein derartiges Verfahren werden der zuvor beschriebene erste und zweite Prozessschritt, die üblicherweise in getrennten Bearbeitungsmodulen innerhalb einer gemeinsamen Maschine stattfinden, vorteilhaft innerhalb eines Bearbeitungsmoduls zusammenfassbar. Dies hat zur Folge, dass sowohl Herstellungskosten als auch Bearbeitungskosten eingespart werden können, da aufwendige Steuerelektronikschaltungen zur gegenseitigen Abstimmung der beiden Bearbeitungsmodule und ein X-Y-Schienensystem für das Verfahren der Klebstoffauftrageeinrichtung entfallen.
Aufgrund eines derartigen Zusammenlegens der beiden Prozessschritte wird zudem die Baugröße der Maschine verringert, da das X- und Y-Schienensystem für das Verfahren des Shooters, welcher üblicherweise oberhalb eines Substratbandes angeordnet ist, eingespart werden kann.
Durch die hintereinander stattfindende Abfolge der Schritte des Aufnehmens und Übertragens des elektronischen Bauteils, welches als Flipchip ausgebildet sein kann, des Auftragens des Klebstoffes, des Messens einer Ausrichtung des Bauteils und des Ablegens des Bauteils auf der Ablagefläche kann eine gemeinsame Transporteinrichtung zum Transport des Bauteils von Station zu Station verwendet werden, wodurch sich eine Vereinfachung des gesamten Bearbeitungmodules ergibt.
Die Transporteinrichtung ist vorteilhaft mit einer oberseitig angebrachten Transportschiene ausgestattet, entlang welcher eine daran angeordnete vakuumbeaufschlagte Pipette verschoben werden kann. Die vakuumbeaufschlagte Pipette weist unterseitig eine oder mehrere Öffnungen auf, um ein innerhalb der Pipette vorhandenes Vakuum auf eine Seite des Chips zum Festhalten desjenigen wirken zu lassen.
Die andere Seite, nämlich die Unterseite des Chips, wird in einer der Stationen, nämlich der Klebstoff auftragestation, gemäß einer Ausführungsform mit dem Klebstoff tropfenartig durch einen Klebstoff-Shooter geschossen. Dieser Shooter ist von unten nach oben ausgerichtet und schießt den zähen, viskoseartigen Klebstofftropfen in Richtung Unterseite des Chips. Ein sich anschließender Transport des Chips zu der Ablegefläche des Substrates bewirkt kein Sichloslösen des Klebstoffes von der Unterseite des Chips, da der Klebstoff viskos ausgebildet ist.
Durch eine derartige unterseitige Auftragung des Klebstoffes auf dem Bauteil erübrigt sich somit die Auftragung des Klebstoffes in den Ablegeflächen der Substrate und somit der zu- sätzliche Schritt der Behandlung der einzelnen Substrate mit Klebstoff. Vielmehr kann im
Rahmen eines fortlaufenden Prozesses die Klebstoffauftragung in den Transportprozess des Chips bzw. des elektronischen Bauteiles integriert werden, wodurch sich zudem eine Zeitersparnis bei der Herstellung von Smart-Labels und Chipkarten und ein höherer Durchsatz der gesamten Vorrichtung zur Herstellung derjenigen ergibt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Klebstoffauftrageeinrichtung derart ausgebildet, dass sie mit einem nach oben hin geöffneten Behälter mit darin angeordneten Klebstoff ausgestattet ist, in welchen man die Unterseite des Bauteils kurzzeitig eintauchen kann.
Vorzugsweise ist zusätzlich in dem Behälter ein Stempelkissen, welches mit dem Klebstoff getränkt ist, angeordnet, sodass eine begrenzte und dosierte Menge an Klebstoff durch kurzzeitiges Aufdrücken der Unterseite des Bauteiles auf das Stempelkissen abgegeben wird. Ein derartiges Stempelkissen weist zudem den Vorteil auf, dass der Klebstoff zugleich auf der gesamten Fläche der Unterseite des Bauteils gleichmäßig verteilt ist. Zwischen dem Schritt der Übertragung des elektronischen Bauteils und dem Schritt des Auftragens des Klebstoffes kann die Ausrichtung des Bauteiles bereits ein erstes Mal zusätzlich zu dem nach dem Schritt des Auftragens des Klebstoffes stattfindenden Vermessungsvor- gang vermessen werden, diesmal in Relation zu der Ausrichtung der Klebstoffauftrageeinrichtung, um das elektronische Bauteil für die anschließende Klebstoffauftragung richtig auszurichten.
Ein derartiger Vermessungsvorgang findet in beiden Fällen mittels eines optischen Messver- fahrens unter Zuhilfenahme beispielsweise einer Kamera statt und kann mittels Bilddatenverarbeitung auf die Ablegefläche und/oder die Kelbstoffauftrageeinrichtung in ihrer Ausrichtung abgestimmt werden.
Die Aufnahmeeinrichtung zum Aufnehmen des Flipchips von dem Bauteileverbund, der als Waver ausgebildet sein kann, wird mit dem aufgenommenen daran mittels Vakuumbeaufschlagung haftenden Chip um eine horizontal ausgerichtete Achse um 180° gedreht, um das elektronische Bauteil im umgedrehten Zustand der Transporteinrichtung übergeben zu können. Die Transporteinrichtung übernimmt dann mittels Vakuumbeaufschlagung mithilfe der Vakuumpipette das elektronische Bauteil an dessen gegenüberliegenden Oberseite.
Eine Vorrichtung zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen auf Substraten weist erfindungsgemäß die Aufnahemeeinrichtung, die Transporteinrichtung, die unterhalb der Transporteinrichtung angeordnete Klebstoffauftrageeinrichtung und eine, gegebenenfalls zwei, Messeinrichtungen aus, wobei beide Messeinrichtungen die Aus- richtung des Bauteils, welches an der Transporteinrichtung während des gesamten Verfahrens ab dem Zeitpunkt der Übergabe des Bauteils von der Aufnahmeeinrichtung zu der Transporteinrichtung haftet, misst. Die Vakuumpipette der Transporteinrichtung zum Ansaugen des Bauteils übt somit ein Vakuum auf das Bauteil, welches als Flipchip ausgebildet sein kann, während dessen Aufnahme von der Aufnahmeeinrichtung weg, dessen Transport, dessen Klebstoffauftragung und dessen Ablegen auf dem Substrat aus.
Die Klebstoffautrageeinrichtung weist ein Ausstoßelement zum Schießen von mindestens einem Klebstofftropfen von unten nach oben auf die Unterseite des Bauteils auf. Alternativ oder zusätzlich kann die Klebstoffautrageeinrichtung mit einem mit dem Klebstoff getränkten Stempelkissen ausgestattet sein, um die Unterseite des Chips auf dessen Oberfläche zur Übertragung des Klebstoffes zu drücken.
Weitere vorteilhafte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Vorteile und Zweckmäßigkeiten sind der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung zu entnehmen. Hierbei zeigen:
Fig.1 in einer ersten schematischen Darstellung den Aufbau einer das Verfahren verwirklichenden Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung, und
Fig. 2 in einer schematischen Darstellung den Aufbau einer das Verfahren verwirkli- chenden Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung.
In Fig. 1 wird in einer schematischen Darstellung eine Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung gezeigt, wie sie zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens verwendet werden kann.
Auf einem Substratbandförderelement 1 ist ein Substratband 2 angeordnet, in welchem oder auf welchem eine Vielzahl von hintereinander und/oder nebeneinander angeordneten Substraten 3 angeordnet sind. Die Substrate 3 können mit einer Antenne versehen sein und können eine Kavität zur Aufnahme eines Chips aufweisen.
Das Substratband 2 wird in die Bildebene hinein oder aus der Bildebene heraus kontinuierlich oder diskontinuierlich fortbewegt.
Jedes einzelne Substrat weist eine Ablegefläche 3a, die als Kavität ausgebildet sein kann, auf, um einen Chip darin aufzunehmen.
In einem schematischen dargestellten Bauteilverbund 4, der beispielsweise als Wafer ausgebildet sein kann, sind eine Mehrzahl von einzelnen Bauteilen in Form von beispielsweise Flipchips 5 angeordnet. Diese Flipchips werden mittels einer Aufnahmeeinrichtung 6 - 9, die als sogenannter Flipper fungieren kann, aufgenommen. Hierfür wird der Flipper um eine sich horizontal erstreckende Schwenkachse 7, die innerhalb eines zentralen Elementes 6 angeordnet ist, geschwenkt, um so mittels Stabelemente 8 und 9, an welchen hier nicht näher dargestellte Vakuumpipetten angeordnet sind, einzelne Chips 5 von dem Chipverbund 4 auf- zunehmen und an eine weitere Vakuumpipette 1 1 , die zu einer Transporteinrichtung 1 1 , 12 und 13 gehört, zu übergeben.
Während einer der Chips 5 aus dem Verbund durch den Arm 8 aufgenommen wird, wird ein weiterer Chip 10, der bereits von dem Flipper aufgenommen worden ist, an die Vakuumpi- pette 1 1 , welche unterseitig eine oder mehrere Öffnungen 13 zur Beaufschlagung des Chips 10 mit Vakuum aufweist, übergeben.
Anschließend findet ein Transport der Vakuumpipette 1 1 durch einen Verschiebevorgang entlang einer Transportschiene 12 zur nächsten Station, nämlich einer Klebstoffauftragesta- tion 15, 16, statt, wie es durch den Pfeil 14 dargestellt wird.
In der Klebstoffauftrageeinrichtung 15, 16 wird mittels eines Ausstoßelementes 16 ein einzelner Klebstofftropfen 17 von unten nach oben zu einem Zeitpunkt geschossen, zu dem die Vakuumpipette 1 1 mit dem daran hängenden Chip 10 an der Klebstoffauftrageeinrichtung 15, 16 vorbeifährt. Hierfür kann die schienenartige Transporteinrichtung kurzzeitig abgebremst oder angehalten werden, um eine genaue Positionierung des Klebstofftropfens auf der Unterseite des Chips 10 zu ermöglichen. Zusätzlich kann eine weitere Messeinrichtung 22, 23, wie sie in Fig. 2 gezeigt ist, angeordnet sein, um den Chip ein erstes Mal in seiner Ausrichtung zu erfassen.
Anschließend findet in einer Messeinrichtung 18, 19, die die nächste Station darstellt, eine Vermessung der Ausrichtung des Chips 10, der weiterhin an der Vakuumpipette 1 1 unten anhaftet, statt, um gegebenenfalls eine Korrektur dieser Ausrichtung des Chips, beispielsweise durch Verdrehen der Pipette 1 1 , durchzuführen, sodass eine zielgenaue und saubere Ablage des Chips 10 auf der Ablegefläche 3a des Substrates 3 in einem weiteren Stationsabschnitt möglich ist. In Fig. 2 ist in einer schematischen Darstellung die Vorrichtung zur Ausführung des erfindun- gemäßen Verfahrens gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung gezeigt. Gleiche und gleichbedeutende Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen versehen.
Die in Fig. 2 in einer schematischen Darstellung wiedergegebene Vorrichtung unterscheidet sich von der in Fig. 1 wiedergegebenen Vorrichtung darin, dass die Klebstoffauftrageeinrichtung anders ausgebildet ist und eine weitere Messeinrichtung 22, 23 angeordnet ist.
Die Kelbstoffauftrageeinrichtung 20, 21 schießt keine Klebstofftropfen von unten nach oben auf die Unterseite des Chips 10, sondern weist oberseitig ein Stempelkissen 21 auf, welches mit Klebstoff getränkt ist.
Ein derartiges Stempelkissen 21 dient dazu, die Unterseite des Chips 10 darauf zu drücken und hierdurch eine gleichmäßige Verteilung des Klebstoffes an der Unterseite des Chips 10 in dosierter Menge zu erhalten. Hierfür kann entweder die Klebstoffauftrageeinrichtung 20, 21 oder das Stempelkissen 21 für sich selbst nachgefahren werden, wenn momentan ein Chip 10 darüber positioniert ist, oder die Vakuumpipette 1 1 mit den daran anhaftenden Chip 10 kurzzeitig nach unten gefahren werden.
Die Messeinrichtung 22, 23 zum optischen Vermessen, beispielsweise mittels einer Kamera, der Ausrichtung des Chips 10, der an der Vakuumpipette 1 1 haftet, dient dazu, den Chip ein erstes Mal in seiner Ausrichtung zu erfassen oder gegebenenfalls durch eine Nachkorrektur, beispielsweise durch Verdrehen der Pipette 1 1 um ihre Längsachse, richtig auszurichten. Die Messeinrichtung 22, 23 vergleicht die ausgerichteten Daten mit der Ausrichtung der Klebstof- fauftrageeinrichtung 20, 21 und gegebenenfalls mit der Ausrichtung der Ablegefläche 3a des Substrates.
Die Messeinrichtung 22, 23 ist vor der Klebstoffauftrageeinrichtung 20, 21 angeordnet. Die weitere Messeinrichtung 18, 19 ist hingegen nach der Klebstoffauftrageeinrichtung angeord- net und stellt eine weitere Messung und gegebenenfalls Korrektur der Ausrichtung des Chips 10 sicher. Es kann alternativ nur die Messeinrichtung 18, 19 ohne die Messeinrichtung 22, 23 angeordnet sein. Sämtliche in den Anmeldungsunterlagen offenbarten Merkmale werden als erfindungswesentlich beansprucht, sofern sie einzeln oder in Kombination gegenüber dem Stand der Technik neu sind.
Bezugszeichenliste
1 Substratbandtransportelement
2 Substratband
3 Substrat
3a Ablegefläche
4 Bauteilverbund
5 Chips
6, 8, 9 Flipper
7 Schwenkachse des Flippers
10 Chip
1 1 Vakuumpipette
12 Transportschiene
13 Auslass der Vakuumpipette
14 Transportrichtung
15, 16, 20, 21 Klebstoffauftrageeinrichtung
17 Klebstofftropfen
18, 19, 22, 23 Messeinrichtungen

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen (5, 10), insbesondere RFID-Chips, auf Substraten (3), insbesondere anten- nenaufweisenden Substraten, gekennzeichnet durch folgende Schritte:
- Aufnehmen mindestens eines der elektronischen Bauteile (5, 10) aus einem Bauteilverbund (4) mittels einer Aufnahmeeinrichtung (6 - 9); - Übertragen des elektronischen Bauteils (10) von der Aufnahmeeinrichtung (6 - 9) auf eine verschiebbare Transporteinrichtung (11 - 13);
- Auftragen eines Klebstoffes (17) auf eine Unterseite des an der Transporteinrichtung (11 - 13) befestigten Bauteils (10) mittels einer stationären Klebstoffauftrageeinrichtung (15, 16; 20, 21); - Messen einer Ausrichtung des Bauteils (10) in Relation zu der Ausrichtung einer auf dem Substrat (3) angeordneten Ablegefläche (3a) zum Ablegen des Bauteils (10) mittels einer Messeinrichtung (18, 19), und
- Ablegen des Bauteils (10) auf der Ablegefläche (3a) des Substrates (3) mittels der Transporteinrichtung (11 - 13).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Klebstoffauftrageeinrichtung (15, 16; 20, 21) den Klebstoff (17) tropfenartig auf die Unterseite des Bauteils (10) schießt.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Unterseite des Bauteils (10) in die Klebstoffauftrageeinrichtung (15, 16; 20, 21), die als ein nachobenhin geöffneter Behälter mit darin angeordnetem Klebstoff aus- gebildet ist, eingetaucht wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Behälter ein mit dem Klebstoff getränktes Stempelkissen (21) beinhaltet.
5. Verfahren nach einer der Ansprüche 1 - 4; dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Schritt der Übertragung des elektronischen Bauteils (10) und dem Schritt des Auftragens des Klebstoffes (17) die Ausrichtung des Bauteils (10) in Relation zu der Ausrichtung der Klebstoffauftrageeinrichtung (20, 21) vermessen wird.
6. Verfahren nach einen der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeeinrichtung (6 - 9) um eine Schwenkachse gedreht wird, um das elektronische Bauteil (10) im umgedrehten Zustand der Transporteinrichtung (11 - 13) zu Übergeben.
7. Vorrichtung zum serienmäßigen Aufbringen und Befestigen von elektronischen Bauteilen (5, 10), insbesondere RFID-Chips, auf Substraten (3), insbesondere Antennen aufweisenden Substraten, gekennzeichnet durch
- eine Aufnahmeeinrichtung (6-9) zum Aufnehmen mindestens eines der elektronischen Bauteile (5, 10) aus einem Bauteilverbund (4) und zum Drehen des Bauteils (10) in einen umgedrehten Zustand mittels Vakuumbeaufschlagung und zum Transportieren des elektronischen Bauteils
(10) von der Aufnahmeeinrichtung (6-9) zu einer Klebstoffauftrageeinrichtung (15, 16; 20, 21); - die unterhalb der Transporteinrichtung (11 - 13) angeordnete Klebstoffauftrageeinrichtung (15, 16; 20, 21) zum Auftragen von Klebstoff (17) auf die nach unten weisende Unterseite des Bauteiles (10);
- eine Messeinrichtung (18, 19) zum optischen Messen einer Ausrichtung des Bauteils (10) in Relation zu der Ausrichtung einer auf dem Substrat (3) angeordneten Ablegefläche (3a) zum Ablegen des Bauteiles (10), und
- eine sich anschließende Ablegeposition der Transporteinrichtung (11 -13), in der das transportierende Bauteil (10) auf der Ablegefläche (3a) des Substrates (3) ablegbar ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Transporteinrichtung (11 - 13) eine verschiebbare vakuumbeaufschlagte Pipette (11, 13) zum Ansaugen des Bauteils (10) während dessen Aufnahme, Transport und dessen Ablegen auf dem Substrat (3) aufweist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Klebstoffauftrageeinrichtung (15, 16;) ein Ausstoßelement (16) zum Schießen eines Klebstofftropfens (17) von unten nach oben auf die Unterseite des Bauteils
(10) aufweist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Klebstoffautrageeinrichtung (20, 21) ein mit Klebstoff getränktes Stempelkissen
(21) beinhaltet, um die Unterseite des Bauteils (10) darauf zu drücken.
11. Vorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche; dadurch gekennzeichnet, dass das elektronische Bauteil ein Flipchip ist.
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