WO2007087936A3 - Dispositif et procédé de détection d'une substance dans un liquide - Google Patents

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Abstract

L'invention concerne un dispositif et un procédé de détection d'une substance dans un liquide. Le dispositif comporte au moins un élément résonant piézoacoustique (30, 40) présentant au moins une couche piézoélectrique (310, 320; 410), des électrodes (311, 312; 321, 322; 411, 412) s'appuyant contre la couche piézoélectrique, et au moins une section de surface (2a) destinée à la fixation de la substance à détecter et provenant du liquide. L'élément résonant piézoacoustique (30, 40) est conçu de telle manière que par application d'une tension à la couche piézoélectrique (310, 320; 410) au moyen des électrodes, la couche piézoélectrique entre en vibration de volume avec fréquence résonante, cette vibration variant en fonction de la masse de la substance à détecter fixée. Un dispositif d'évaluation (3) sert à déterminer une caractéristique de fixation sur la base de la fréquence de résonance mesurée. Le dispositif selon l'invention comporte également un système de détermination (4) de l'influence de la température sur la fréquence de résonance par mesure d'au moins deux vibrations différentes, une première vibration dépendant de la masse et de la température et une deuxième vibration dépendant essentiellement de la température. Le dispositif d'évaluation (3) servant à déterminer une caractéristique de dépôt est conçu pour déterminer une caractéristique de dépôt dépendant de la température sur la base des valeurs des mesures.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005043037B4 (de) * 2005-09-09 2009-04-09 Siemens Ag Vorrichtung mit piezoakustischem Resonatorelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Verfahren zur Ausgabe eines Signals in Abhängigkeit einer Resonanzfrequenz
DE102007047156A1 (de) * 2007-10-02 2009-04-23 Siemens Ag Feuchtigkeitssensor mit hygroskopischer Keramikschicht und Verfahren zur Detektion von Wasser in einem Fluid unter Verwendung des Feuchtigkeitssensors
DE102007047155A1 (de) * 2007-10-02 2009-04-30 Siemens Ag Feuchtigkeitssensor mit hygroskopischer Keramikschicht, die an einen BAW-Resonator gekoppelt ist, und Verfahren zur Detektion von Wasser in einem Fluid unter Verwendung des Feuchtigkeitssensors
DE102007047153A1 (de) * 2007-10-02 2009-04-30 Siemens Ag Feuchtigkeitssensor mit Nanoröhren-Schicht, die an einen BAW-Resonator gekoppelt ist, und Verfahren zur Detektion von Wasser in einem Fluid unter Verwendung des Feuchtigkeitssensors
DE102011076193A1 (de) * 2010-10-01 2012-04-05 Siemens Aktiengesellschaft Bestimmen einer Materialeigenschaft einer Dünnschicht eines Materials
DE102015225470A1 (de) * 2015-12-16 2017-06-22 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Detektion und Substanzdetektor
DE102016205293A1 (de) * 2016-03-31 2017-10-05 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Detektion zumindest einer Substanz und Substanzdetektor
CN112834570B (zh) * 2020-12-30 2023-09-22 中国航空工业集团公司金城南京机电液压工程研究中心 一种基于自激式压电元件的气液两相检测装置及方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5686779A (en) * 1995-03-01 1997-11-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army High sensitivity temperature sensor and sensor array
US5744902A (en) * 1995-05-16 1998-04-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Chemical and biological sensor based on microresonators
WO2003012988A2 (fr) * 2001-07-30 2003-02-13 Infineon Technologies Ag Dispositif resonateur piezo-electrique a reflecteur acoustique
US6955787B1 (en) * 2003-10-11 2005-10-18 William Paynter Hanson Integrated biological and chemical sensors

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6668618B2 (en) * 2001-04-23 2003-12-30 Agilent Technologies, Inc. Systems and methods of monitoring thin film deposition
US7468608B2 (en) * 2002-07-19 2008-12-23 Siemens Aktiengesellschaft Device and method for detecting a substance of a liquid

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5686779A (en) * 1995-03-01 1997-11-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army High sensitivity temperature sensor and sensor array
US5744902A (en) * 1995-05-16 1998-04-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Chemical and biological sensor based on microresonators
WO2003012988A2 (fr) * 2001-07-30 2003-02-13 Infineon Technologies Ag Dispositif resonateur piezo-electrique a reflecteur acoustique
US6955787B1 (en) * 2003-10-11 2005-10-18 William Paynter Hanson Integrated biological and chemical sensors

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JOHN R VIG ET AL: "Chemical Sensor Based on Quartz Microresonators", JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, IEEE SERVICE CENTER, PISCATAWAY, NJ, US, vol. 5, no. 2, June 1996 (1996-06-01), pages 139 - 140, XP011034707, ISSN: 1057-7157 *

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