WO2007087931A1 - Messvorrichtung - Google Patents

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WO2007087931A1
WO2007087931A1 PCT/EP2006/069642 EP2006069642W WO2007087931A1 WO 2007087931 A1 WO2007087931 A1 WO 2007087931A1 EP 2006069642 W EP2006069642 W EP 2006069642W WO 2007087931 A1 WO2007087931 A1 WO 2007087931A1
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WO
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measuring device
distance
distance measuring
camera
illumination
Prior art date
Application number
PCT/EP2006/069642
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English (en)
French (fr)
Inventor
Karsten Franitza
Bernd Fehrmann
Matthias Hoebel
Peter Lang
Original Assignee
Alstom Technology Ltd
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Publication date
Application filed by Alstom Technology Ltd filed Critical Alstom Technology Ltd
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Priority to EP06830577A priority patent/EP1979706B1/de
Priority to DE502006004474T priority patent/DE502006004474D1/de
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Priority to US12/173,882 priority patent/US7746448B2/en

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures

Definitions

  • the present invention relates to a measuring device for non-contact detection of a distance between a surface of a measured object and the measuring device as well as for the simultaneous non-contact, visual detection of the surface.
  • the heaviest loaded first stage gas turbine blades are exposed to hot gas temperatures in excess of 1400 ° C. To protect them they are therefore provided with metallic oxidation protection layers and often additionally with ceramic thermal insulation layers (TBC). With these protective layers, safe operation of the turbines over typical intervals can be ensured even under extreme operating conditions. After these intervals, however, especially the oxidation protection layers are consumed and do not provide sufficient protection, so that the turbine blade must be removed and replaced. Due to the high value of such a turbine blade is a repair and thus a recycling of Components of great commercial interest.
  • the protective layers can be renewed by first removing the used layers by a chemical process and then re-coating the turbine blades.
  • the reconditioning process for opening the cooling air holes closed during the re-coating requires the detection of cooling hole locations and orientations.
  • recesses which can be detected by means of a distance measuring device, result in particular in the case of conically tapering cooling-air bores.
  • US Pat. No. 6,667,458 B1 discloses a system and a method for determining a specific distance between a laser system and a surface of a workpiece.
  • the system comprises an optical device for Focusing the laser beam on the surface of the workpiece and a mirror device which deflects radiation reflected from the workpiece to a distance measuring device.
  • the distance measuring device may be a conoscope, for example.
  • the distance measuring device is connected to a control device, which is designed for positioning the workpiece, ie for changing a distance between the measuring system and the workpiece.
  • the known system detects only a distance between the surface of the workpiece and the measuring system.
  • the invention is based on the general idea of providing a measuring device with a measuring device which carries a distance measuring device, a camera device and an illumination device, which is designed for non-contact detection of a distance between a surface of the measurement object and the measuring device and at the same time also visually detects the surface of the measurement object without contact , Particular attention is paid to a compact design, the largest possible working distance to the measurement object, one optimized for the application Resolution / magnification and a bright, preferably coaxial illumination. In this case, the operating point on the surface of the measurement object is illuminated by the illumination device as shadow-free as possible and simultaneously recorded by the camera device or focused or measured by the distance measuring device.
  • a mirror and filter device is located in an optical axis between the illumination device and an operating point on the surface of the measurement object, which has at least one dichroic mirror, which transmits or reflects light beams depending on the wavelength and thus from the operating point reflected light to the distance measuring device and the camera device divides.
  • the common operating point facilitates the calibration of the measuring head on a measuring machine, such as a robot.
  • the mirror and filter device which uses the dichroic mirror to divide the reflected light beams depending on their wavelength onto the distance measuring device and the camera device, it is possible to record both the distance from the surface and a visual image of the same Compact measuring head, which is particularly suitable for working in hard-to-reach places due to its small space requirement.
  • a positioning device is provided with which the camera device and / or the distance measuring device and / or the illumination device can be adjusted relative to one another. hereby Manufacturing tolerances in the construction of the measuring device can be easily compensated and perform a fine adjustment of the individual operating points of the distance measuring device and the camera device.
  • the camera device and / or the distance measuring device and / or the illumination device are preferably displaceable and lockable in the three spatial axes with the aid of the positioning device.
  • one of the aforementioned devices is displaceable in two directions and an adjustment of the remaining third spatial axis is carried out by adjusting the mirror and filter device.
  • the camera device and the distance measuring device are arranged parallel to each other in or on the measuring head.
  • the parallel arrangement allows a particularly compact design, whereby a space requirement for the measuring head is significantly reduced, thereby improving the handling thereof.
  • the illumination device has at least one LED, in particular a blue LED, and / or halogen and / or a xenon light source, which preferably emits blue light.
  • blue light has the advantage, in comparison to white or differently colored light, that it has little effect on the distance measuring device, which preferably works with a red laser beam.
  • the red spectrum is likewise included, which can have a disadvantageous effect on the signal quality of the distance measuring device.
  • Optimal contrasts for the image acquisition can also be achieved with blue light since the preferably red laser light of the distance measuring device does not influence the blue light for the camera device. In particular, this results in advantages in terms of Redirection of the red light with the dichroic mirror and filter device, which would not be achievable with differently colored light.
  • the camera device has a telecentric zoom lens and / or a remote microscope attachment and preferably operates with a digital image memory.
  • a telecentric zoom lens offers the advantage of a high resolution and thus a high image quality of the recorded surface as well as an easy and precise adjustability.
  • a remote microscope attachment allows an accurate detail of the considered surface, whereby the cooling air holes can be located better and thus a subsequent subsequent opening of the cooling air holes with higher accuracy is possible due to the significantly improved survey data.
  • the zoom lens and / or the remote microscope attachment may preferably be motor-driven.
  • the digital image memory has the advantage that the image data can be transmitted via a network, for example, to a subsequent machine, which accomplishes the opening of the sighted cooling air holes.
  • such a digital image capture is the basis for a high image quality with low acquisition costs, since storage on conventional image carriers, such as films, can be omitted. Similarly, a subsequent editing of the films can be omitted, since the digital image capture preferably allows a direct integration of the image files in the further processing process.
  • FIG. 1 shows a measuring device according to the invention with mutually parallel camera device and distance measuring device
  • FIG. 2 shows a representation as in FIG. 1, but with the camera apparatus and the distance measuring device arranged orthogonally to one another, FIG.
  • FIG. 3 shows a representation as in FIG. 1, but with the camera device lying in the optical axis, FIG.
  • FIG. 4 shows a representation as in FIG. 2, but with a camera device lying on the optical axis, FIG.
  • Fig. 5 is a view as in Fig. 1, but with a
  • Fig. 6 is a representation as in Fig. 5, but at another
  • Fig. 7 is a view as in Fig. 3, but with a
  • Fig. 8 is a view as in Fig. 7, but in another
  • FIG. 9 shows a measuring device with an illumination device arranged orthogonally to the optical axis.
  • a measuring device 1 has a measuring head 2, which is arranged in a housing 3 and carries a distance measuring device 4, a camera device 5 and a lighting device 6.
  • the measuring device 1 is designed for non-contact detection of a distance between a surface 7 of a measuring object 8 and the measuring device 1 as well as simultaneous, non-contact, visual detection of the surface 7.
  • the illumination device 6 illuminates an operating point 9 on the surface 7 of the measurement object 8, which is focused simultaneously by the camera device 5 and the distance measuring device 4.
  • a mirror and filter device 11 is additionally provided in an optical axis 10 which has at least one dichroic mirror 12 which transmits or reflects light beams as a function of their wavelength and thereby distributes light reflected from the operating point 9 to the distance measuring device 4 and the camera device 5 ,
  • the dichroic mirror can be designed so that its transparency for the wavelength of the optical measuring device 4 is greater than 70%, while reflecting other wavelengths to over 90%.
  • the transparency of the mirror 12 for the wavelength of the optical measuring device 4 is greater than 70%, while for other wavelengths it is more than 90% transparent.
  • a working distance between the operating point 9 and the measuring device 1 is preferably greater than 70 mm. The largest possible working distance is particularly favorable for the execution of the measuring process.
  • the illumination device 6 has at least one colored, in particular blue LED and / or a halogen and / or xenon light source 13, which preferably emits blue light.
  • the illumination device 6 preferably at least three arranged on a ring contour with respect to the optical axis 10 point light sources 13, for example, the LED ' s 13, preferably at an angle ⁇ ⁇ 15 ° to the optical axis 10 are aligned.
  • the illumination device 6 has a fiber optic device, not shown, with which via light-conducting fibers, such as glass fibers, light as possible coaxial with the optical axis 10 in the direction of the operating point 9 is emitted to the surface 7 of the measuring object 8.
  • the illumination device 6 is an optical device 14, for example a lens or mirror device, which focuses on the operating point 9 in the light emitted by the illumination device 6.
  • Such an optical device 14 is shown for example in Fig. 9 and allows the arrangement of a light source 15 eccentrically to the optical axis 10, wherein the emitted light from the light source 15 is deflected by means of a preferably dichroic mirror 16 in the direction of the optical axis 10.
  • the distance measuring device 4 may for example be formed as an optical distance sensor and operate with a laser, preferably a red Laser beam generated.
  • a laser preferably a red Laser beam generated.
  • the light emitted by the distance measuring device 4 has a different wavelength, the dichroic mirror 12, as mentioned at the outset, being designed to require the distance measurement from the distance measuring device 4 Transmits light while it deflects light of different wavelength, in particular blue, emitted by the illumination device 6 light, and the camera device 5 passes.
  • the measurement principle of the optical distance measurement is based on emitting coherent light, for example laser beams, and analyzing the return reflection from the surface 7, the distance of which is to be determined. Consequently, the radiation of the distance measuring device 4 may only be slightly influenced by an optical filter in order to obtain useful measurement data.
  • This is achieved by arranging in front of the distance measuring device 4 the dichroic mirror 12, which appears transparent to the wavelength of the distance measuring device 4 and reflects the other wavelengths of visible light.
  • the reflected image information is then captured by the camera device 5.
  • the camera device 5 can be arranged either at right angles to the distance measuring device 4 or parallel to it, when the beam path is deflected by a mirror 16 again.
  • the parallel arrangement of the distance measuring device 4 and the camera device 5 leads to a slim and compact design, as it appears particularly favorable especially for the measurement of turbine vanes.
  • the smallest possible opening angle ß is desirable.
  • the mirror and filter device 11 and in particular the dichroic mirror 12 leave a proportion of more than 70%, in particular a share of more than 95% of the surface 7 of the measuring object 8 reflected radiation of the optical distance measuring device 4 unaffected, but still a fraction of the reflected radiation is reflected at the dichroic mirror 12 and appears as a disturbing reflection on an image of the camera device 5. For this reason, a further possibility for filtering the unwanted reflections of the distance measuring device 4 is given according to the invention in the beam path of image acquisition. Such filtering is formed as shown in FIG. 1 as a filter 17 and disposed between the dichroic mirror 12 and the mirror 16.
  • the camera device 5 may have, for example, a telecentric zoom lens and / or a remote microscope attachment. These two components allow a high resolution of the recorded image and thereby an accurate determination of a location of located on the surface 7 cooling bore openings.
  • the camera device 5 has a digital image memory, which allows both a storage of the captured image data and their forwarding to dealing with the opening process of the cooling air openings machines. Due to the digital detection of the surface 7 of the measurement object 8, a problem-free further processing or forwarding of this data is possible, without having to previously converted consuming such as being scanned.
  • the measuring head 2 In order to be able to control the measuring head 2 better, it can be communicatively connected to a robot, a computer or a coordinate measuring machine so that a detection of the cooling air openings on the surface 7 of the measuring object 8 can preferably take place almost fully automatically. It is also conceivable that the illumination device 6 and / or the distance measuring device 4 and / or the camera device 5 are computer-controlled. 2, a measuring device 1 is shown, which differs from that in FIG. 1 only in that the camera device 5 is arranged orthogonal to the distance measuring device 4.
  • the dichroic mirror 12 reflects the light required for the camera apparatus 5 and directs it through the filter 17 to the camera apparatus 5.
  • the illumination device 6 has point light sources 13, for example LED 's , arranged annularly around the optical axis 10. The signal required for the distance measuring device 4 penetrates the dichroic mirror 12 and passes directly along the optical axis 10 to the distance measuring device 4.
  • the camera device 5 is disposed substantially in the optical axis 10, while the distance measuring device 4 is arranged in parallel therewith. This is in principle the same representation as in Fig. 1, but with respect to their positions interchanged distance measuring device 4 and camera device 5.
  • the dichroic mirror 12 is formed as shown in FIG. 3, that it reflects the light required for the distance measuring device 4 and the mirror 16, which preferably reflects the light directed to it to 100% and forwards it to the distance measuring device 4.
  • the filter 17 is disposed in the optical axis 10 according to FIG. 3, which causes a reduction of unwanted back reflection of the distance measuring device 4.
  • the camera device 5 is arranged as shown in FIG. 3, but in contrast the distance measuring device 4 is arranged orthogonal to the optical axis 10, so that the mirror 16 can be dispensed with.
  • the illumination device 6 by annularly arranged around the optical axis 10 point light sources 13, for example LEDs or xenon light sources formed. These point light sources 13 generate a light beam, which preferably allows an almost shadow-free illumination of the operating point 9.
  • a positioning device 18 is shown, with which the camera device 5 with respect to the distance measuring device 4 and / or the illumination device 6 can be adjusted.
  • the positioning device 18 allows the compensation of manufacturing tolerances and a fine adjustment of the individual operating points of the distance measuring device 4 and the camera device 5.
  • the camera device 5 can be moved and locked in the three spatial axes as shown in FIG.
  • FIGS. 7 and 8 it is also possible to provide a preferably translatory and rotary mirror control device 19 or a preferably only rotary mirror control device 20, with two such mirror controls 19, 20 according to FIG. 7 and a distance measuring device 4, which detect the distance information punctiform , a three-dimensional detection of the distance information are made possible.
  • a preferably translatory and rotary mirror control device 19 or a preferably only rotary mirror control device 20 with two such mirror controls 19, 20 according to FIG. 7 and a distance measuring device 4, which detect the distance information punctiform , a three-dimensional detection of the distance information are made possible.
  • only one mirror control device 19 is provided, in which case a three-dimensional determination of the distance information is made possible in that the distance measuring device 4 has the ability to also detect distance information on a line running perpendicular to the plane of the drawing.
  • FIG. 9 shows a measuring device 1 in which a light source 15 generates a light beam directed orthogonally to the optical axis 10, which light beam is deflected by a semi-transparent mirror 21 in the direction of the optical axis 10.
  • a light source 15 generates a light beam directed orthogonally to the optical axis 10, which light beam is deflected by a semi-transparent mirror 21 in the direction of the optical axis 10.
  • each point light source 13 has an individual focusing lens for imaging in the operating point 9 or a common optics is used for all point light sources 13, which does not affect the camera device 5.
  • point light sources 13 with a light intensity of greater than 2000 med or a luminous flux of greater than 5 Im are used here.
  • Measuring device Measuring head Housing Distance measuring device Camera device Illuminating device Surface of the measuring object 8 Measuring object Operating point Optical axis Mirror filter device Dichroic mirror Point light sources / LED / Higen / Xenon Optics device Light source Mirror Filter Positioning device Translatory or rotary mirror control device Rotary mirror control device Semi-transparent mirror

Landscapes

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (1) zur berührungsfreien Erfassung eines Abstands zwischen einer Oberfläche (7) eines Messobjekts (8) und der Messvorrichtung (1) sowie zur simultanen berührungsfreien, visuellen Erfassung der Oberfläche (7). Die Messvorrichtung (1) weist einen eine Abstandsmesseinrichtung (4), eine Kameravorrichtung (5) und eine Beleuchtungseinrichtung (6) tragenden Messkopf (2) auf, wobei die Beleuchtungseinrichtung (6) einen Arbeitspunkt (9) auf der Oberfläche (7) des Messobjekts (8) beleuchtet, der gleichzeitig von der Kameravorrichtung (5) und der Abstandsmesseinrichtung (4) fokussiert wird. Dabei ist in einer optischen Achse (10) zwischen der Beleuchtungseinrichtung (6) und dem Arbeitspunkt (9) eine Spiegel- und Filtereinrichtung (11) vorgesehen, die wenigstens einen dichroitischen Spiegel (12) aufweist, der lichtstrahlenabhängig von deren Wellenlänge durchlässt oder reflektiert und dadurch vom Arbeitspunkt (9) reflektiertes Licht auf die Abstandsmesseinrichtung (4) und die Kameravorrichtung (5) aufteilt.

Description

Messvorrichtung
Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Messvorrichtung zur berührungsfreien Erfassung eines Abstands zwischen einer Oberfläche eines Messobjektes und der Messvorrichtung sowie zur simultanen berührungsfreien, visuellen Erfassung der Oberfläche.
Stand der Technik
Beim Betrieb einer Gasturbine sind die am stärksten belasteten Gasturbinenschaufeln der ersten Stufe Heißgastemperaturen von über 1400° C ausgesetzt. Zum Schutz derselben werden diese deshalb mit metallischen Oxidationsschutzschichten und häufig zusätzlich mit keramischen Wärmdämmschichten (TBC) versehen. Mit diesen Schutzschichten kann auch unter extremen Einsatzbedingungen eine sicherer Betrieb der Turbinen über typische Intervalle gewährleistet werden. Nach diesen Intervallen sind allerdings vor allem die Oxidationsschutzschichten verbraucht und bieten keinen ausreichenden Schutz mehr, so dass die Turbinenschaufel ausgebaut und ersetzt werden muss. Aufgrund des hohen Wertes einen derartigen Turbinenschaufel ist eine Reparatur und eine damit ein Recycling der Komponenten von großem kommerziellen Interesse. Die Schutzschichten können dabei erneuert werden, indem zunächst die verbrauchten Schichten durch einen chemischen Prozess entfernt und die Turbinenschaufeln im Anschluss daran neu beschichtet werden. Wie bei der Erstfertigung kommen dabei meist Plasma- Spritzverfahren zur Anwendung. Beim Rekonditionieren muss jedoch sicher gestellt sein, dass die ursprünglichen Eigenschaften der Turbinenschaufeln erhalten bleiben, wobei das interne Kühlsystem der Turbinenschaufel, insbesondere gebildet durch ein komplexes Netzwerk von miteinander verknüpften Bohrungen und Kühlkanälen, eine Schlüsselrolle spielt. Die Wiederherstellung dieses Kühlsystems ist, für die durch Heißgaseinwirkung stark belasteten Turbinenschaufeln, unabdingbar, um die Turbinenschaufeln für ein weiteres Betriebsintervall freigeben zu können. Bei der Wiederbeschichtung von gebrauchten Turbinenschaufeln tritt jedoch das Problem auf, dass durch die erneute Beschichtung mit der metallischen Oxidationsschutzschicht bzw. mit der keramischen Wärmedämmschicht, die ursprünglich offenen Kühlluftbohrungen verstopft werden, wodurch sich die Kühlung der Turbinenschaufeln drastisch verschlechtert und den Betriebsanforderungen nicht mehr genügt. Aus diesem Grund ist ein spezieller Bearbeitungsprozess zum Wiederöffnen solcher verstopfter Kühlkanäle erforderlich.
Für den Rekonditionierungsprozess zum Öffnen der beim Neubeschichten verschlossenen Kühlluftbohrungen ist die Erfassung von Kühllochpositionen und -Orientierungen erforderlich. Generell ergeben sich dabei insbesondere bei konisch auslaufenden Kühlluftbohrungen Vertiefungen, welche mittels eines Abstandsmessgeräts erfasst werden können.
Aus der US 6,667,458 B1 sind ein System sowie ein Verfahren zur Bestimmung eines spezifischen Abstands zwischen einem Lasersystem und einer Oberfläche eines Werkstücks bekannt. Das System umfasst eine Optikvorrichtung zur Fokussierung des Laserstrahls auf der Oberfläche des Werkstücks sowie eine Spiegeleinrichtung, welche vom Werkstück reflektierte Strahlung zu einem Abstandsmessgerät umlenkt. Das Abstandsmessgerät kann beispielsweise ein Conoskop sein. Das Abstandsmessgerät ist mit einer Steuereinrichtung verbunden, welches zur Positionierung des Werkstückes, d.h. zur Veränderung eines Abstandes zwischen dem Messsystem und des Werkstücks ausgebildet ist. Das bekannte System erfasst dabei lediglich einen Abstand zwischen der Oberfläche des Werkstücks und dem Messsystem.
Darstellung der Erfindung
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Messvorrichtung bereitzustellen, mit welcher insbesondere ein besonders zuverlässiges Detektieren und Erfassen von Kühlluftbohrungen bei Turbinenschaufeln möglich ist und dadurch eine zuverlässige Kühlung der Turbinenschaufeln nach einem Erneuern einer Wärmeschutzbeschichtung gewährleistet werden kann.
Dieses Problem wird durch den unabhängigen Anspruch gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen sind in den abhängigen Ansprüchen gezeigt.
Die Erfindung beruht auf dem allgemeinen Gedanken, an einer Messvorrichtung einen eine Abstandsmesseinrichtung, eine Kameravorrichtung und eine Beleuchtungseinrichtung tragenden Messkopf vorzusehen, welcher zur berührungsfreien Erfassung eines Abstands zwischen einer Oberfläche des Messobjekts und der Messvorrichtung ausgebildet ist und gleichzeitig ebenfalls berührungsfrei die Oberfläche des Messobjektes visuell erfasst. Besonderes Augenmerk liegt hierbei auf einer kompakten Bauweise, möglichst großem Arbeitsabstand zum Messobjekt, einer für die Anwendung optimierten Auflösung/Vergrößerung sowie einer lichtstarken, vorzugsweise koaxialen Beleuchtung. Dabei wird der Arbeitspunkt auf der Oberfläche des Messobjektes von der Beleuchtungseinrichtung möglichst schattenfrei beleuchtet und gleichzeitig von der Kameravorrichtung aufgezeichnet bzw. von der Abstandsmesseinrichtung fokussiert bzw. vermessen. Um die möglichst kompakte Bauweise erreichen zu können, ist in einer optischen Achse zwischen der Beleuchtungseinrichtung und einem Arbeitspunkt auf der Oberfläche des Messobjekts eine Spiegel- und Filtereinrichtung gelegen, die wenigstens einen dichroitischen Spiegel aufweist, der Lichtstrahlen abhängig von deren Wellenlänge durchlässt oder reflektiert und dadurch vom Arbeitspunkt reflektiertes Licht auf die Abstandsmesseinrichtung und die Kameravorrichtung aufteilt. Der gemeinsame Arbeitspunkt erleichtert die Kalibrierung des Messkopfes auf einer Messmaschine, wie z.B. einem Roboter. Mit der erfindungsgemäßen Messvorrichtung, welche mit einem einzigen Arbeitspunkt für Bilderfassung und Abstandsmessung arbeitet, können im Vergleich zu individuellen Arbeitspunkten Maschinenbewegungen und damit Messzeit und Positionsfehler verringert werden.
Durch die erfindungsgemäße Spiegel- und Filtereinrichtung, welche mit Hilfe des dichroitischen Spiegels die reflektierten Lichtstrahlen abhängig von ihrer Wellenlänge auf die Abstandsmesseinrichtung und die Kameravorrichtung aufteilt, ist es möglich, sowohl den Abstand zur Oberfläche als auch ein visuelles Bild derselben aufzunehmen und dies mit einem sehr kompakten Messkopf, welcher aufgrund seines geringen Bauraumbedarfs besonders geeignet ist für die Arbeit an schwer zugänglichen Stellen.
Zweckmäßig ist eine Positioniereinrichtung vorgesehen, mit der die Kameravorrichtung und/oder die Abstandsmesseinrichtung und/oder die Beleuchtungseinrichtung relativ zueinander justiert werden können. Hierdurch lassen sich Fertigungstoleranzen im Aufbau der Messvorrichtung einfach ausgleichen sowie ein Feinabgleich der individuellen Arbeitspunkte von der Abstandsmesseinrichtung und der Kameravorrichtung durchführen. Vorzugsweise ist hierzu die Kameravorrichtung und/oder die Abstandsmesseinrichtung und/oder die Beleuchtungseinrichtung mit Hilfe der Positioniereinrichtung in den drei Raumachsen verschiebbar und arretierbar. Alternativ ist es denkbar, dass beispielsweise eine der vorgenannten Einrichtungen in zwei Richtungen verschiebbar ist und eine Justierung der verbleibenden dritten Raumachse durch ein Verstellen der Spiegel- und Filtereinrichtung erfolgt.
Zweckmäßig sind die Kameravorrichtung und die Abstandsmesseinrichtung parallel zueinander im oder am Messkopf angeordnet. Die parallele Anordnung erlaubt eine besonders kompakte Bauweise, wodurch ein Bauraumbedarf für den Messkopf erheblich reduziert und dadurch ein Handling desselben verbessert wird.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lösung weist die Beleuchtungseinrichtung zumindest eine LED, insbesondere eine blaue LED, und/oder Halogen- und/oder eine Xenon-Lichtquelle auf, welche vorzugsweise blaues Licht aussendet. Insbesondere blaues Licht hat im Vergleich zu weißem oder andersfarbigem Licht den Vorteil, dass es die Abstandsmesseinrichtung, welche vorzugsweise mit einem roten Laserstrahl arbeitet, wenig beeinflusst. Im weißem Licht ist beispielsweise ebenfalls das rote Spektrum enthalten, was sich nachteilig auf die Signalqualität der Abstandsmesseinrichtung auswirken kann. Auch sind bei blauem Licht optimale Kontraste für die Bilderfassung erreichbar, da das vorzugsweise rote Laserlicht der Abstandmesseinrichtung das blaue Licht für die Kameravorrichtung nicht beeinflusst. Insbesondere ergeben sich hieraus Vorteile hinsichtlich der Umlenkung des rotes Lichtes mit der dichroitischen Spiegel- und Filtereinrichtung, was so mit anders farbigem Licht nicht erreichbar wäre.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Kameravorrichtung ein telezentrisches Zoomobjektiv und/oder einen Fernmikroskop-Aufsatz auf und arbeitet vorzugsweise mit einem digitalen Bildspeicher. Ein telezentrisches Zoomobjektiv bietet den Vorteil einer hohen Auflösung und damit verbunden einer hohen Bildqualität der aufgenommenen Oberfläche sowie eine leichte und präzise Einstellbarkeit. Ein Fernmikroskop- Aufsatz erlaubt eine genaue Detailaufnahme der betrachteten Oberfläche, wodurch sich die Kühlluftbohrungen besser lokalisieren lassen und dadurch aufgrund der deutlich verbesserten Erhebungsdaten ein anschließendes nachträgliches Öffnen der Kühlluftbohrungen mit höherer Genauigkeit möglich ist. Dabei können das Zoomobjektiv und/oder der Fernmikroskop-Aufsatz vorzugsweise motorgetrieben sein. Der digitale Bildspeicher bietet den Vorteil, dass die Bilddaten beispielsweise über ein Netzwerk an eine nachfolgende Maschine übermittelt werden können, welche das Öffnen der besichteten Kühlluftbohrungen bewerkstelligt. Gleichzeitig ist eine derartige digitale Bilderfassung Grundlage für eine hohe Bildqualität bei gleichzeitig geringen Bilderfassungskosten, da eine Speicherung auf herkömmlichen Bildträgern, wie beispielsweise Filmen, entfallen kann. Ebenso entfallen kann auch ein nachträgliches Bearbeiten der Filme, da die digitale Bilderfassung vorzugsweise ein direktes Einbinden der Bilddateien in den weiteren Bearbeitungsprozess erlaubt.
Weitere wichtige Merkmale und Vorteile der erfindungsgemäßen Messvorrichtung ergeben sich aus den Unteransprüchen, aus den Zeichnungen und aus der zugehörigen Figurenbeschreibung anhand der Zeichnungen. Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden in den Zeichnungen dargestellt und werden in der folgenden Beschreibung näher erläutert. Auf Merkmale, die im wesentlichen oder funktionell gleich oder ähnlich sind, wird mit dem (den) gleichen Bezugszeichen Bezug genommen.
Dabei zeigen, jeweils schematisch
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Messvorrichtung mit parallel zueinander angeordneter Kameravorrichtung und Abstandsmesseinrichtung,
Fig. 2 eine Darstellung wie in Fig. 1 , jedoch mit orthogonal zueinander angeordneter Kameravorrichtung und Abstandsmesseinrichtung,
Fig. 3 eine Darstellung wie in Fig. 1 , jedoch mit in der optischen Achse liegenden Kameravorrichtung,
Fig. 4 eine Darstellung wie in Fig. 2, jedoch mit in der optischen Achse liegenden Kameravorrichtung,
Fig. 5 eine Darstellung wie in Fig. 1 , jedoch mit einer
Positioniereinrichtung für die Kameravorrichtung,
Fig. 6 eine Darstellung wie in Fig. 5, jedoch bei einer anderen
Ausführungsform, Fig. 7 eine Darstellung wie in Fig. 3, jedoch mit einer
Positioniereinrichtung für eine Spiegel- und Filtereinrichtung,
Fig. 8 eine Darstellung wie in Fig. 7, jedoch bei einer anderen
Ausführungsform,
Fig. 9 eine Messvorrichtung mit einer orthogonal zur optischen Achse angeordneten Beleuchtungseinrichtung.
Wege zur Ausführung der Erfindung
Entsprechend Fig. 1 weist eine Messvorrichtung 1 einen Messkopf 2 auf, welcher in einem Gehäuse 3 angeordnet ist und eine Abstandsmesseinrichtung 4, eine Kameravorrichtung 5 und eine Beleuchtungseinrichtung 6 trägt. Die Messvorrichtung 1 ist zur berührungsfreien Erfassung eines Abstands zwischen einer Oberfläche 7 eines Messobjektes 8 und der Messvorrichtung 1 sowie zu simultanen berührungsfreien, visuellen Erfassung der Oberfläche 7 ausgebildet. Dabei beleuchtet die Beleuchtungseinrichtung 6 einen Arbeitspunkt 9 auf der Oberfläche 7 des Messobjektes 8, der gleichzeitig von der Kameravorrichtung 5 und der Abstandsmesseinrichtung 4 fokussiert wird. Erfindungsgemäß ist darüber hinaus in einer optischen Achse 10 eine Spiegel- und Filtereinrichtung 11 vorgesehen, welche wenigstens einen dichroitischen Spiegel 12 aufweist, der Lichtstrahlen abhängig von deren Wellenlänge durchlässt oder reflektiert und dadurch vom Arbeitspunkt 9 reflektiertes Licht auf die Abstandsmesseinrichtung 4 und die Kameravorrichtung 5 aufteilt. Dabei kann der dichroitische Spiegel so ausgestaltet sein, dass seine Transparenz für die Wellenlänge der optischen Messvorrichtung 4 größer als 70% beträgt, während er andere Wellenlängen zu über 90% reflektiert. Bei einem anderen Aufbau der Messvorrichtung 1 ist aber auch denkbar, dass die Transparenz des Spiegels 12 für die Wellenlänge der optischen Messvorrichtung 4 größer als 70% beträgt, während er für andere Wellenlängen zu über 90% transparent ist. Ein Arbeitsabstand zwischen dem Arbeitspunkt 9 und der Messvorrichtung 1 ist dabei vorzugsweise größer als 70mm. Ein möglichst großer Arbeitsabstand ist besonders günstig für die Ausführung des Messvorgangs.
Die Beleuchtungseinrichtung 6 weist gemäß Fig. 1 zumindest eine farbige, insbesondere blaue LED und/oder eine Halogen- und/oder Xenon-Lichtquelle 13 auf, welche vorzugsweise blaues Licht aussendet. Um eine möglichst koaxial zur optischen Achse 10 ausgerichtete Beleuchtung des Arbeitspunktes 9 zu erhalten, weist die Beleuchtungseinrichtung 6 vorzugsweise zumindest drei auf einer Ringkontur bezüglich der optischen Achse 10 angeordnete Punktlichtquellen 13, beispielsweise die LED's 13 auf, die vorzugsweise unter einem Winkel α < 15° zur optischen Achse 10 ausgerichtet sind. Denkbar ist auch, dass die Beleuchtungseinrichtung 6 eine nicht gezeigte Faseroptikvorrichtung aufweist, mit welcher über lichtleitende Fasern, beispielsweise Glasfasern, Licht möglichst koaxial zur optischen Achse 10 in Richtung des Arbeitspunktes 9 auf die Oberfläche 7 des Messobjekts 8 ausgesandt wird. Ebenfalls denkbar ist, dass als Beleuchtungseinrichtung 6 eine Optikeinrichtung 14, beispielsweise einen Linsenoder Spiegeleinrichtung, vorgesehen ist, welche in das von der Beleuchtungseinrichtung 6 ausgesandte Licht auf den Arbeitspunkt 9 fokussiert. Eine derartige Optikeinrichtung 14 ist beispielsweise in Fig. 9 dargestellt und erlaubt die Anordnung einer Lichtquelle 15 exzentrisch zur optischen Achse 10, wobei das von der Lichtquelle 15 ausgesandte Licht mittels eines vorzugsweise dichroitischen Spiegels 16 in Richtung der optischen Achse 10 umgelenkt wird.
Die Abstandsmesseinrichtung 4 kann beispielsweise als optischer Abstandsensor ausgebildet sein und mit einem Laser arbeiten, der vorzugsweise einen roten Laserstrahl erzeugt. Im Unterschied zu dem blauen Licht, das die Beleuchtungseinrichtung 6 aussendet, weist somit das von der Abstandsmesseinrichtung 4 ausgesandte Licht eine andere Wellenlänge auf, wobei der dichroitische Spiegel 12 wie eingangs erwähnt so ausgebildet ist, dass er das für die Abstandsmessung von der Abstandsmesseinrichtung 4 benötigte Licht durchlässt, während er Licht anderer Wellenlänge, insbesondere blaues, von der Beleuchtungseinrichtung 6 ausgesandtes Licht, umlenkt und der Kameravorrichtung 5 zuleitet.
Das Messprinzip der optischen Abstandsmessung beruht auf einem Aussenden von kohärentem Licht, beispielsweise Laserstrahlen, und Analyse der Rückreflexion von der Oberfläche 7, deren Abstand ermittelt werden soll. Die Strahlung der Abstandsmesseinrichtung 4 darf folglich von einem optischen Filter nur geringfügig beeinflusst werden, um brauchbare Messdaten zu erhalten. Das wird erreicht, in dem vor der Abstandsmesseinrichtung 4 der dichroitische Spiegel 12 angeordnet wird, der für die Wellenlänge der Abstandsmesseinrichtung 4 transparent erscheint und die anderen Wellenlängen des sichtbaren Lichtes reflektiert. Die reflektierten Bildinformationen werden dann von der Kameravorrichtung 5 aufgefangen. Dabei kann die Kameravorrichtung 5 entweder rechtwinklig zur Abstandsmesseinrichtung 4 angeordnet werden oder parallel dazu, wenn der Strahlengang mit einem Spiegel 16 nochmals umgelenkt wird. Die parallele Anordnung der Abstandsmesseinrichtung 4 und der Kameravorrichtung 5 führt zu einer schlanken und kompakten Bauweise, wie sie insbesondere zur Vermessung von Turbinenleitschaufeln besonders günstig erscheint. Darüber hinaus ist auch ein möglichst kleiner Öffnungswinkel ß anzustreben.
Die Spiegel- und Filtereinrichtung 11 und insbesondere der dichroitische Spiegel 12 lassen einen Anteil von mehr als 70%, insbesondere einen Anteil von mehr als 95%, der von der Oberfläche 7 des Messobjektes 8 reflektierten Strahlung der optischen Abstandmesseinrichtung 4 unbeeinflusst, wobei jedoch trotzdem ein Bruchteil der reflektierten Strahlung an dem dichroitischen Spiegel 12 reflektiert wird und als störender Reflex auf einem Bild der Kameravorrichtung 5 erscheint. Aus diesem Grund ist erfindungsgemäß im Strahlengang der Bilderfassung eine weitere Möglichkeit zur Filterung der unerwünschten Reflexionen der Abstandsmesseinrichtung 4 gegeben. Eine derartige Filterung ist gemäß Fig. 1 als Filter 17 ausgebildet und zwischen dem dichroitischen Spiegel 12 und dem Spiegel 16 angeordnet.
Um eine möglichst hohe Bildqualität zu erhalten, kann die Kameravorrichtung 5 beispielsweise ein telezentrisches Zoomobjektiv und/oder einen Fernmikroskop- Aufsatz aufweisen. Diese beiden Komponenten erlauben eine hohe Auflösung des aufgezeichneten Bildes und dadurch eine exakte Bestimmung einer Lage von auf der Oberfläche 7 befindlichen Kühlbohrungsöffnungen. Darüber hinaus weist die Kameravorrichtung 5 einen digitalen Bildspeicher auf, der sowohl eine Speicherung der erfassten Bilddaten erlaubt als auch deren Weiterleitung an mit dem Öffnungsprozess der Kühlluftöffnungen befassten Maschinen. Durch die digitale Erfassung der Oberfläche 7 des Messobjektes 8 ist ein problemloses Weiterverarbeiten bzw. Weiterleiten dieser Daten möglich, ohne dass diese vorher aufwändig umgewandelt, beispielsweise gescannt, werden müssen.
Um den Messkopf 2 besser steuern zu können, kann dieser mit einem Roboter, einem Computer oder einem Koordinatenmessgerät kommunizierend verbunden sein, so dass eine Erfassung der Kühlluftöffnungen auf der Oberfläche 7 des Messobjektes 8 vorzugsweise nahezu voll automatisch erfolgen kann. Denkbar ist darüber hinaus, dass die Beleuchtungseinrichtung 6 und/oder die Abstandsmesseinrichtung 4 und/oder die Kameravorrichtung 5 computergesteuert sind. Gemäß Fig. 2 ist eine Messvorrichtung 1 dargestellt, welche sich lediglich dadurch von der in Fig. 1 unterscheidet, dass die Kameravorrichtung 5 orthogonal zur Abstandsmesseinrichtung 4 angeordnet ist. Der dichroitische Spiegel 12, reflektiert das für die Kameravorrichtung 5 erforderliche Licht und leitet dieses durch das Filter 17 der Kameravorrichtung 5 zu. Die Beleuchtungseinrichtung 6 weist ebenso wie in Fig. 1 ringförmig um die optische Achse 10 angeordnete Punktlichtquellen 13, beispielsweise LED's, auf. Das für die Abstandsmesseinrichtung 4 erforderliche Signal durchdringt den dichroitischen Spiegel 12 und gelangt direkt entlang der optischen Achse 10 zur Abstandsmesseinrichtung 4.
In Fig. 3 ist die Kameravorrichtung 5 im wesentlichen in der optischen Achse 10 angeordnet, während die Abstandsmesseinrichtung 4 parallel dazu angeordnet ist. Dies ist im Prinzip die gleiche Darstellung wie in Fig. 1 , jedoch mit bezüglich ihrer Positionen vertauschten Abstandsmesseinrichtung 4 und Kameravorrichtung 5. Der dichroitische Spiegel 12 ist gemäß Fig. 3 so ausgebildet, dass er das für die Abstandsmesseinrichtung 4 erforderliche Licht reflektiert und dem Spiegel 16 zulenkt, welcher das ihm zugelenkte Licht vorzugsweise zu 100% reflektiert und an die Abstandsmesseinrichtung 4 weiterleitet. Zwischen dem dichroitischen Spiegel 12 und der Kameravorrichtung 5 ist gemäß Fig. 3 in der optischen Achse 10 der Filter 17 angeordnet, welche eine Reduktion ungewollter Rückreflexion der Abstandsmesseinrichtung 4 bewirkt.
In Fig. 4 ist die Kameravorrichtung 5 wie in Fig. 3 angeordnet, die Abstandsmesseinrichtung 4 ist im Unterschied dazu jedoch orthogonal zur optischen Achse 10 angeordnet, so dass der Spiegel 16 entfallen kann. Sowohl in Fig. 3 als auch in Fig. 4 wird die Beleuchtungseinrichtung 6 durch ringförmig um die optische Achse 10 angeordnete Punktlichtquellen 13, beispielsweise LEDs oder Xenon-Lichtquellen, gebildet. Diese Punktlichtquellen 13 erzeugen einen Lichtstrahl, der vorzugsweise eine nahezu schattenfreie Beleuchtung des Arbeitspunktes 9 erlaubt.
In Fig. 5 ist eine Positioniereinrichtung 18 eingezeichnet, mit der die Kameravorrichtung 5 bezüglich der Abstandsmesseinrichtung 4 und/oder zur Beleuchtungseinrichtung 6 justiert werden kann. Die Positioniereinrichtung 18 erlaubt den Ausgleich von Fertigungstoleranzen sowie einen Feinabgleich der individuellen Arbeitspunkte von der Abstandsmesseinrichtung 4 und der Kameravorrichtung 5. Dazu kann gemäß Fig. 5 die Kameravorrichtung 5 in den drei Raumachsen verschoben und arretiert werden. Alternativ hierzu ist auch denkbar, die Kameravorrichtung 5 in zwei Richtungen verschiebbar zu lagern und eine Justierung der verbleibenden Richtung durch eine Verschiebung des Umlenkspiegels 16, wie in Fig. 6 gezeigt, vorzunehmen.
Gemäß den Fig. 7 und 8 kann auch eine vorzugsweise translatorisch und rotatorisch arbeitende Spiegelsteuerungseinrichtung 19 oder eine vorzugsweise nur rotatorisch arbeitende Spiegelsteuerungseinrichtung 20 vorgesehen sein, wobei mit zwei derartigen Spiegelsteuerungen 19, 20 gemäß Fig. 7 und einer Abstandsmesseinrichtung 4, welche die Abstandsinformationen punktförmig erfasst, eine dreidimensionale Erfassung der Abstandsinformation ermöglicht werden. In Fig. 8 ist lediglich eine Spiegelsteuerungseinrichtung 19 vorgesehen, wobei hier eine dreidimensionale Ermittlung der Abstandsinformationen dadurch ermöglicht wird, dass die Abstandsmesseinrichtung 4 die Fähigkeit besitzt, auch Abstandsinformationen auf einer senkrecht zur Zeichnungsebene verlaufenden Linie zu erfassen.
In Fig. 9 ist eine Messvorrichtung 1 dargestellt, bei welcher eine Lichtquelle 15 einen orthogonal zur optischen Achse 10 gerichteten Lichtstrahl erzeugt, welcher mittels eines halbdurchlässigen Spiegels 21 in Richtung der optischen Achse 10 umgelenkt wird. Dies soll verdeutlichen, dass nicht nur eine Beleuchtungseinrichtung 6 gemäß den Fig. 1 bis 8 die Erfordernisse einer koaxial zur optischen Achse 10 ausgerichteten Beleuchtung erfüllt, sondern auch eine anderen Anordnung, sofern der Lichtstrahl mittels eines oder mehrerer Spiegel 16 in Richtung der optischen Achse 10 umgelenkt wird und dadurch eine schattenfreie Beleuchtung des Arbeitspunktes 9 auf der Oberfläche 7 des Messobjektes 8 erlaubt.
Denkbar ist auch die Verwendung einer nicht dargestellten Beleuchtungseinrichtung 6, bei dem jede Punktlichtquelle 13 eine individuelle Fokussierlinse zur Abbildung in den Arbeitspunkt 9 hat bzw. eine gemeinsame Optik für alle Punktlichtquellen 13 verwendet wird, welche die Kameravorrichtung 5 nicht beeinflusst. Vorzugsweise werden hierbei Punktlichtquellen 13 mit einer Lichtstärke von größer als 2000 med oder einem Lichtstrom von größer als 5 Im verwendet.
Bezugszeichenliste
Messvorrichtung Messkopf Gehäuse Abstandsmesseinrichtung Kameravorrichtung Beleuchtungseinrichtung Oberfläche des Messobjekts 8 Messobjekt Arbeitspunkt optische Achse Spiegel-Filtereinrichtung dichroitischer Spiegel Punktlichtquellen/LED/Hallogen/Xenon Optikeinrichtung Lichtquelle Spiegel Filter Positioniereinrichtung translatorische oder rotatorische Spiegelsteuerungseinrichtung rotatorische Spiegelsteuerungseinrichtung halbdurchlässiger Spiegel

Claims

Patentansprüche
1. Messvorrichtung (1 ) zur berührungsfreien Erfassung eines Abstandes zwischen einer Oberfläche (7) eines Messobjektes (8) und der Messvorrichtung (1) sowie zur simultanen berührungsfreien, visuellen Erfassung der Oberfläche
(7),
- mit einem eine Abstandsmesseinrichtung (4), eine Kameravorrichtung (5) und eine Beleuchtungseinrichtung (6) tragenden Messkopf (2),
- wobei die Beleuchtungseinrichtung (6) einen Arbeitspunkt (9) auf der Oberfläche (7) des Messobjekts (8) beleuchtet, der gleichzeitig von der Kameravorrichtung (5) und der Abstandsmesseinrichtung (4) fokussiert wird,
- mit einer in einer optischen Achse (10) zwischen der Beleuchtungseinrichtung (6) und dem Arbeitspunkt (9) gelegenen Spiegel- und Filtereinrichtung (11 ), die wenigstens einen dichroitischen Spiegel (12) aufweist, welcher Lichtstrahlen abhängig von der Wellenlänge durchlässt oder reflektiert und dadurch vom Arbeitspunkt (9) reflektiertes Licht auf die Abstandsmesseinrichtung (4) und die Kameravorrichtung (5) aufteilt.
2. Messvorrichtung nach Anspruch 1 , d a d u rc h g e ke n n z e i c h n et , dass eine Positioniereinrichtung (18) vorgesehen ist, mit der die Kameravorrichtung (5) und/oder die Abstandsmesseinrichtung (4) und/oder die Beleuchtungseinrichtung (6) relativ zueinander justiert werden können.
3. Messvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Kameravorrichtung (5) und die Abstandsmesseinrichtung (4) parallel oder orthogonal zu einander im oder am Messkopf (2) angeordnet sind.
4. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
- dass die Beleuchtungseinrichtung (6) zumindest eine LED (13) und/oder eine Halogen- und/oder eine Xenon-Lichtquelle und/oder ein Stroboskop aufweist, und/oder
- dass spektrale Hauptbestandteile der Beleuchtungseinrichtung (6) eine zu den spektralen Hauptbestandteile der Abstandsmesseinrichtung (4) andere Wellenlänge aufweisen, und/oder
- dass die spektralen Hauptbestandteile der Beleuchtungseinrichtung (6) eine Wellenlänge von 400 - 520 nm aufweisen, und/oder
- dass die Beleuchtungseinrichtung (6) zumindest drei auf einer Ringkontur bezüglich der optischen Achse (10) angeordnete Punktlichtquellen (13) aufweist, die unter einem Winkel von < 15° zur optischen Achse (10) ausgerichtet sind, und/oder
- dass die Beleuchtungseinrichtung (6) eine Faseroptikvorrichtung aufweist, und/oder
- dass eine Optikeinrichtung (14) vorgesehen ist, welche das von der Beleuchtungseinrichtung (6) ausgesandte Licht auf den Arbeitspunkt (9) fokussiert.
5. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
- dass die Abstandsmesseinrichtung (4) als optischer Abstandssensor ausgebildet ist, und/oder - dass die Abstandsmesseinrichtung (4) mit einem konoskopischen Sensor und/oder mit einem Laser arbeitet, und/oder
- dass der Laser mit einer definierten Wellenlänge arbeitet, und/oder
- dass das von der Abstandsmesseinrichtung (4) ausgesandte Licht eine andere Wellenlänge aufweist, als das von der Beleuchtungseinrichtung (6) ausgesandte Licht, und/oder
- dass unmittelbar vor der Kameravorrichtung (5) ein Filter (17) zur Reduktion ungewollter Rückreflexion der Abstandsmesseinrichtung (4) angeordnet ist, und/oder
- dass ein Lichtstrahl der Beleuchtungseinrichtung (6) und ein Lichtstrahl der Abstandsmesseinrichtung (4) nahezu koaxial zueinander verlaufen.
6. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
- dass die Messvorrichtung (1) mit einem Roboter, einem Computer oder einem Koordinatenmessgerät kommunizierend verbunden ist, und/oder
- dass die Beleuchtungseinrichtung (6) und/oder die Abstandsmesseinrichtung (4) und/oder die Kameravorrichtung (5) computergesteuert sind.
7. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
- dass die Kameravorrichtung (5) ein telezentrisches Zoomobjektiv aufweist, und/oder
- dass das Zoomobjektiv eine Antriebseinheit aufweist,
- dass die Kameravorrichtung (5) einen Fernmikroskop-Aufsatz aufweist, und/oder
- dass die Kameravorrichtung (5) einen digitalen Bildspeicher aufweist, und/oder
- dass die Kameravorrichtung (5) mit einem Abbildungsverhältnis zwischen 1 :5 und 5:1 arbeitet.
8. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Arbeitsabstand zwischen dem Arbeitspunkt (9) und der Messvorrichtung (1) größer als 70 mm ist.
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