WO2007062850A2 - Docking device for coupling a handling device to a test head for electronic components - Google Patents

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WO2007062850A2
WO2007062850A2 PCT/EP2006/011527 EP2006011527W WO2007062850A2 WO 2007062850 A2 WO2007062850 A2 WO 2007062850A2 EP 2006011527 W EP2006011527 W EP 2006011527W WO 2007062850 A2 WO2007062850 A2 WO 2007062850A2
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test head
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Stefan Thurmaier
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Multitest Elektronische Systeme Gmbh
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    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
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    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2889—Interfaces, e.g. between probe and tester

Definitions

  • the invention relates to a docking device for coupling a handling device consisting of a handler or tester with an electronic component test head to which a DUT board is fastened, wherein handling device-side locking elements and test head-side locking elements are provided which center each other Locking intervention can be brought.
  • test device For testing electronic components such as integrated circuits (IC), it is known to use a test device with a test head which must be connected to an electronic component handling device, namely a handler or prober.
  • an electronic component handling device namely a handler or prober.
  • special docking devices ie coupling devices, have been developed, which on the one hand on the handling device and on the other Test head are attached.
  • the docking device must ensure that the handling device and the test head are coupled in a precisely defined, mutually centered position, so that the pins or terminals of the electronic components to be tested can be placed exactly on tiny spring contacts, which are located on a test head side DUT Board ("Device Under Test-Board"), also called Loadboard.
  • a known docking device has a docking plate, which carries the test head-side locking elements and is placed directly on the test head, with which it is screwed.
  • Another problem with these known docking plates is that different thicknesses of the DUT boards also adversely affect the contact between the electronic component and spring contacts, since the difference between the electronic components and the spring contacts is changed by these different thicknesses.
  • the invention has for its object to provide a docking device of the type mentioned, in which the test head-side locking elements can be centered in the simplest and most accurate way relative to the DUT board and in the case beyond which different DUT board thicknesses no negative impact have the contacting of the electronic component to be tested.
  • This object is achieved by a docking device with the features of claim 1.
  • Advantageous embodiments of the invention are described in the further claims.
  • a docking frame is fastened to the DUT board, on which the test head-side locking elements of the test head are held.
  • the test head-side locking elements are no longer fixed, for example via a docking plate, on the test head itself, but that their attachment via the DUT board is done by a locking elements bearing docking frame on the free outside of the DUT board facing the handler or prober.
  • the docking frame and thus the locking elements attached to this frame can be centered simply and precisely relative to the DUT board.
  • Another advantage is that different thicknesses of the DUT board, which may be due to manufacturing tolerances, for example, or simply due to the fact that different DUT board manufacturers use different thicknesses, have no influence on the contacting of the electronic component to be tested.
  • test head-side locking elements consist of centering pins and the handling device-side locking elements of pin receiving units, in which the centering trunnions are insertable.
  • the centering pins on the side of the handling device and the pin receiving units on the side of the test head, ie on the docking frame.
  • the docking frame is quadrangular and carries in at least two opposite corner areas locking elements.
  • a locking element is arranged in each of the four corner regions.
  • the DUT board has an edge region designed for screw fastening, wherein a DUT board reinforcement frame is arranged on the side of the DUT board facing the test head and the docking frame is arranged on the side of the DUT board facing away from the test head the docking frame can be screwed to the DUT board reinforcement frame. It is particularly advantageous here if the DUT board in the edge region centering holes for centering relative to the reinforcing frame and the docking has centering holes, which are aligned with the center holes of the DUT board, so that the docking frame on the centering holes of the DUT boards can be centered.
  • the docking frame expediently has narrow frame elements which protrude inwardly only slightly beyond the bolted edge region of the DUT board. To this This ensures that a large space of the DUT board is left free, which is available for arranging the contact springs and for supplying the electronic components to be tested.
  • the locking elements of the test head are arranged laterally outside of the DUT board reinforcing frame. This ensures that conventional DUT boards and reinforcement frames can be used, and these components do not need to be adapted to the specific design of the docking frame.
  • the docking frame has angled brackets in its outer edge regions for the arrangement of the locking elements that is offset from the main plane of the docking frame.
  • Figure 1 a single representation of a handler or
  • Figure 2 a separate, perspective individual representation of the test head of the Handler concerned. Prober side and one at one Reinforcement frame attached DUT board on which the docking frame is located,
  • FIG. 3 shows the parts of FIG. 2 in the mounted state
  • Figure 4 an exploded view of the on a
  • FIG. 5 shows an exploded view of the DUT board and the docking frame attached to the test head.
  • FIG. 1 schematically shows a handling device for electronic components in the form of a handler 1, which can be docked on a test head 2 in order to ensure that its electronic components, which are not shown, are supplied to the test head 2 via the handler 1 to check.
  • a DUT board 3 is fastened to the test head 2.
  • spring contacts are provided in a known manner, on which the pins or terminals of the electronic components to be tested are placed in order to achieve an electrical contact between the test head 2 and electronic component.
  • the DUT board 3 carries on its rear side a circumferential reinforcing frame 4, with which the DUT board 3 is screwed in its edge region, as can be seen from FIG.
  • the reinforcing frame 4 rests on the front surface of the test head 2 and is screwed thereto.
  • the contacting of the electronic components to be tested is usually carried out by the fact that held by a holding device 5 of the handler 1 shown only schematically in Figure 1 are moved in the docked state of the test head 2 to the DUT board 3 until the terminals of the device to the Contact springs of the DUT board 3 abut. It is therefore necessary that the handler 1 and thus the components held by the holding device 5 are in the docked state in a precisely centered position relative to the DUT board 3 and held thereon.
  • the test head side is a docking frame 6 with centering pin 7 existing first locking elements and handler side corresponding consisting of pin receiving units 8 second locking elements.
  • the test head 2 and the handler 1 are pushed together so far that the centering pins 7 enter into the inlet openings 9 of the pin receiving units 8 and are mechanically or pneumatically locked in the inlet openings 9 in exactly predetermined entry depth.
  • the manner in which the centering pins 7 are locked in the pin receiving units 8 is not the subject of the present invention and will therefore not be explained in detail.
  • the docking frame 6 is adapted to the contour of the DUT board 3 and essentially has a rectangular, quadrangular shape.
  • the frame elements 10 thereby cover those edge region of the DUT board 3, which serves for screw fastening to the reinforcing frame 4 and has corresponding centering bores 11.
  • the edge elements 10 protrude outward somewhat beyond the edge area of the DUT board 3, while they protrude inwardly only slightly beyond the bolted edge area of the DUT board 3.
  • distributed centering holes 12 are further provided over the entire circumference, which are aligned with some of the centering holes 11 of the DUT board 3. Through the aligned centering holes 11, 12 screws 13 can be passed and screwed to the reinforcing frame 4. As a result, the docking frame 6 is centered relative to the DUT board 3.
  • the docking frame 6 further has at its four corner regions laterally outwardly projecting tabs 14, which serve for the attachment of L-shaped angled brackets 15 for the centering pin 7.
  • the brackets 15 extend laterally outside the DUT board 3 and the reinforcing frame 4 back towards the test head, so that the centering pins 7, which are fastened on the laterally outwardly projecting leg of the holders 15, are set back relative to the DUT board 3. As a result, the correct distance of the centering pin 7 to the test head 2 is again achieved.
  • the two legs of the L-shaped brackets 15, as shown in particular in Figure 4 formed in two parts.
  • those legs that extend back perpendicular to the DUT board level can be exchanged in a simple manner and adapted to different requirements of their length.
  • centering pins 7 on the side of the handling device, i. of the handler 1, and the pin receiving units 8 test head side, i. to be arranged on the docking frame 6.

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Abstract

The invention relates to a docking device for coupling a handling device consisting of a handler or a sampler to a test head (2) for electronic components, to which a DUT board (3) is fixed. Said docking device is provided with locking elements both on the side of the handling device and on the side of the test head, said locking elements being locked together in a centred manner. Furthermore, a docking frame (6) on which the locking elements on the test head side are held is fixed to the DUT board (3).

Description

Dockingvorrichtung zum Kuppeln einer Handhabungsvorrichtung mit einem Testkopf für elektronische BauelementeDocking device for coupling a handling device with a test head for electronic components
Die Erfindung betrifft eine Dockingvorrichtung zum Kuppeln einer aus einem Handler oder Prober bestehenden Handhabungsvorrichtung mit einem Testkopf für elektronische Bau- elemente, an dem ein DUT-Board befestigt ist, wobei hand- habungsvorrichtungsseitige Verriegelungselemente und test- kopfseitige Verriegelungselemente vorgesehen sind, die miteinander in zentrierten Verriegelungseingriff bringbar sind.The invention relates to a docking device for coupling a handling device consisting of a handler or tester with an electronic component test head to which a DUT board is fastened, wherein handling device-side locking elements and test head-side locking elements are provided which center each other Locking intervention can be brought.
Zum Testen elektronischer Bauelemente wie beispielsweise integrierter Schaltungen (IC) wird bekannterweise eine Testvorrichtung mit einem Testkopf verwendet, der mit einem Handhabungsgerät für die elektronischen Bauelemente, näm- lieh einem Handler oder Prober, verbunden werden muss. Um das Andocken des bis zu 1.000 kg schweren Testkopfs an das Handhabungsgerät auf möglichst einfache, leichte und präzise Weise zu ermöglichen, sind spezielle Dockingvor- richtungen, d.h. Kupplungsvorrichtungen, entwickelt worden, die einerseits am Handhabungsgerät und andererseits am Testkopf befestigt sind. Die Dockingvorrichtung muss dabei sicherstellen, dass das Handhabungsgerät und der Testkopf in einer genau definierten, zueinander zentrierten Lage gekoppelt werden, damit die Pins bzw. Anschlusskontakte der zu testenden elektronischen Bauelemente genau auf winzige Federkontakte aufgesetzt werden können, die sich auf einem testkopfseitig angeordneten DUT-Board ("Device Under Test- Board") , auch Loadboard genannt, befinden.For testing electronic components such as integrated circuits (IC), it is known to use a test device with a test head which must be connected to an electronic component handling device, namely a handler or prober. In order to enable docking of the up to 1,000 kg test head to the handling device in the simplest possible, easy and precise manner, special docking devices, ie coupling devices, have been developed, which on the one hand on the handling device and on the other Test head are attached. The docking device must ensure that the handling device and the test head are coupled in a precisely defined, mutually centered position, so that the pins or terminals of the electronic components to be tested can be placed exactly on tiny spring contacts, which are located on a test head side DUT Board ("Device Under Test-Board"), also called Loadboard.
Eine bekannte Dockingvorrichtung weist eine Dockingplatte auf, welche die testkopfseitigen Verriegelungselemente trägt und direkt auf den Testkopf aufgesetzt wird, mit dem sie verschraubt ist. Nachteilig ist dort jedoch, dass diese bekannten Dockingplatten zusätzlich relativ zum DUT-Board genau zentriert werden müssen, um zu gewährleisten, dass die Pins bzw. Anschlusskontakte der zu testenden elektronischen Bauelemente genau auf die Federkontakte des DUT- Boards aufgesetzt werden können. Ein weiteres Problem besteht bei diesen bekannten Dockingplatten darin, dass unterschiedliche Dicken der DUT-Boards die Kontaktierung zwischen elektronischem Bauelement und Federkontakten ebenfalls negativ beeinflussen, da durch diese unterschiedlichen Dicken der Abstand zwischen den elektronischen Bauelementen und den Federkontakten verändert wird.A known docking device has a docking plate, which carries the test head-side locking elements and is placed directly on the test head, with which it is screwed. The disadvantage there, however, that these known docking additionally must be exactly centered relative to the DUT board to ensure that the pins or terminals of the electronic components to be tested can be placed exactly on the spring contacts of the DUT boards. Another problem with these known docking plates is that different thicknesses of the DUT boards also adversely affect the contact between the electronic component and spring contacts, since the difference between the electronic components and the spring contacts is changed by these different thicknesses.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Dockingvorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der die testkopfseitigen Verriegelungselemente auf möglichst einfache und genaue Weise relativ zum DUT-Board zentriert werden können und bei der darüber hinaus unterschiedliche DUT-Board-Dicken keinen negativen Einfluss auf die Kontaktierung des zu testenden elektronischen Bauelements haben. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Dockingvor- richtung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.The invention has for its object to provide a docking device of the type mentioned, in which the test head-side locking elements can be centered in the simplest and most accurate way relative to the DUT board and in the case beyond which different DUT board thicknesses no negative impact have the contacting of the electronic component to be tested. This object is achieved by a docking device with the features of claim 1. Advantageous embodiments of the invention are described in the further claims.
Bei der erfindungsgemäßen Dockingvorrichtung ist auf dem DUT-Board ein Dockingrahmen befestigt, an dem die testkopf- seitigen Verriegelungselemente des Testkopfs gehaltert sind.In the docking device according to the invention, a docking frame is fastened to the DUT board, on which the test head-side locking elements of the test head are held.
Für die erfindungsgemäße Dockingvorrichtung ist es somit charakteristisch, dass die testkopfseitigen Verriegelungselemente nicht mehr, beispielsweise über eine Docking- platte, am Testkopf selbst befestigt sind, sondern dass deren Befestigung über das DUT-Board erfolgt, indem ein die Verriegelungselemente tragender Dockingrahmen auf die freie Außenseite des DUT-Boards, die dem Handler oder Prober zugewandt ist, aufgesetzt wird. Auf diese Weise lassen sich der Dockingrahmen und damit die an diesem Rahmen be- festigten Verriegelungselemente einfach und präzise relativ zum DUT-Board zentrieren. Ein weiterer Vorteil ist, dass unterschiedliche Dicken des DUT-Boards, die beispielsweise aufgrund von Fertigungstoleranzen vorliegen können oder einfach dadurch bedingt sind, dass unterschiedliche DUT- Board-Hersteller unterschiedliche Dicken verwenden, keinen Einfluss auf die Kontaktierung des zu testenden elektronischen Bauelements haben. Die maßgebliche Fläche, welche bestimmt, wie weit die testkopfseitigen Verriegelungselemente in Richtung des Handlers oder Probers vorstehen, ist nämlich nicht mehr die vordere Fläche des Testkopfs, sondern die vorderer Fläche des DUT-Boards, deren Abstand zu den Kontaktfedern genau festgelegt ist. Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform bestehen die testkopfseitigen Verriegelungselemente aus Zentrierzapfen und die handhabungsvorrichtungsseitigen Verriegelungselemente aus Zapfenaufnahmeeinheiten, in welche die Zen- trierzapfen einführbar sind. Alternativ hierzu ist es jedoch auch ohne weiteres möglich, die Zentrierzapfen auf der Seite der Handhabungsvorrichtung und die Zapfenaufnahmeeinheiten auf der Seite des Testkopfs, d.h. am Dockingrah- men, vorzusehen.For the docking device according to the invention, it is thus characteristic that the test head-side locking elements are no longer fixed, for example via a docking plate, on the test head itself, but that their attachment via the DUT board is done by a locking elements bearing docking frame on the free outside of the DUT board facing the handler or prober. In this way, the docking frame and thus the locking elements attached to this frame can be centered simply and precisely relative to the DUT board. Another advantage is that different thicknesses of the DUT board, which may be due to manufacturing tolerances, for example, or simply due to the fact that different DUT board manufacturers use different thicknesses, have no influence on the contacting of the electronic component to be tested. The relevant area, which determines how far the test head-side locking elements protrude in the direction of the handler or Prober, namely, the front surface of the DUT board, the distance between which is fixed to the contact springs is no longer the front surface of the test head. According to an advantageous embodiment, the test head-side locking elements consist of centering pins and the handling device-side locking elements of pin receiving units, in which the centering trunnions are insertable. Alternatively, however, it is also readily possible to provide the centering pins on the side of the handling device and the pin receiving units on the side of the test head, ie on the docking frame.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist der Docking- rahmen viereckig ausgebildet und trägt in mindestens zwei gegenüberliegenden Eckenbereichen Verriegelungselemente. Vorteilhafterweise ist in jedem der vier Eckenbereichen ein Verriegelungselement angeordnet.According to an advantageous embodiment, the docking frame is quadrangular and carries in at least two opposite corner areas locking elements. Advantageously, a locking element is arranged in each of the four corner regions.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weist das DUT- Board einen zur Schraubbefestigung ausgebildeten Randbereich auf, wobei ein DUT-Board-Verstärkungsrahmen auf der dem Testkopf zugewandten Seite des DUT-Boards und der Dockingrahmen auf der dem Testkopf abgewandten Seite des DUT-Boards angeordnet sind, so dass der Dockingrahmen mit dem DUT-Board-Verstärkungsrahmen verschraubbar ist. Besonders vorteilhaft ist es hierbei, wenn das DUT-Board im Randbereich Zentrierbohrungen zur Zentrierung relativ zum Verstärkungsrahmen aufweist und der Dockingrahmen Zentrierbohrungen aufweist, die mit den Zentrierbohrungen des DUT-Boards fluchten, so dass der Dockingrahmen über die Zentrierbohrungen des DUT-Boards zentrierbar ist.According to an advantageous embodiment, the DUT board has an edge region designed for screw fastening, wherein a DUT board reinforcement frame is arranged on the side of the DUT board facing the test head and the docking frame is arranged on the side of the DUT board facing away from the test head the docking frame can be screwed to the DUT board reinforcement frame. It is particularly advantageous here if the DUT board in the edge region centering holes for centering relative to the reinforcing frame and the docking has centering holes, which are aligned with the center holes of the DUT board, so that the docking frame on the centering holes of the DUT boards can be centered.
Zweckmäßigerweise weist der Dockingrahmen schmale Rahmenelemente auf, die nur geringfügig über den verschraubten Randbereich des DUT-Boards nach innen überstehen. Auf diese Weise ist gewährleistet, dass ein großer Raum des DUT- Boards frei bleibt, der zum Anordnen der Kontaktfedern und zum Zuführen der zu testenden elektronischen Bauelemente zur Verfügung steht.The docking frame expediently has narrow frame elements which protrude inwardly only slightly beyond the bolted edge region of the DUT board. To this This ensures that a large space of the DUT board is left free, which is available for arranging the contact springs and for supplying the electronic components to be tested.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform sind die Verriegelungselemente des Testkopfs seitlich außerhalb des DUT- Board-Verstärkungsrahmens angeordnet. Hierdurch ist gewährleistet, dass übliche DUT-Boards und Verstärkungsrahmen verwendet werden können, und diese Komponenten nicht an die spezielle Ausgestaltung des Dockingrahmens angepasst werden müssen.According to an advantageous embodiment, the locking elements of the test head are arranged laterally outside of the DUT board reinforcing frame. This ensures that conventional DUT boards and reinforcement frames can be used, and these components do not need to be adapted to the specific design of the docking frame.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Dockingrahmen in seinen äußeren Randbereichen abgewinkelte Halterungen zur gegenüber der Hauptebene des Dockingrahmens zurückversetzten Anordnung der Verriegelungselemente aufweist. Hierdurch kann auf einfache Weise der richtige Abstand zwischen den testkopfseitigen Verriegelungselementen und den zugeordne- ten handler- bzw. proberseitigen Verriegelungselementen festgelegt werden.It is particularly advantageous if the docking frame has angled brackets in its outer edge regions for the arrangement of the locking elements that is offset from the main plane of the docking frame. As a result, the correct distance between the test head-side locking elements and the associated handler or prober-side locking elements can be determined in a simple manner.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:The invention will be explained in more detail by way of example with reference to drawings. Show it:
Figur 1 : eine Einzeldarstellung eines Handlers oderFigure 1: a single representation of a handler or
Probers, eines Testkopfs sowie eines in Einzeldarstellung und separat dargestellten erfindungsgemäßen Dockingrahmens,Probers, a test head as well as a separately illustrated and separately illustrated docking frame according to the invention,
Figur 2 : eine getrennte, perspektivische Einzeldarstellung des Testkopfs von der Handlerbzw. Proberseite her und eines an einem Verstärkungsrahmen befestigten DUT-Boards, auf dem der Dockingrahmen angeordnet ist,Figure 2: a separate, perspective individual representation of the test head of the Handlerbzw. Prober side and one at one Reinforcement frame attached DUT board on which the docking frame is located,
Figur 3 : die Teile von Figur 2 in montiertem Zu- stand,FIG. 3 shows the parts of FIG. 2 in the mounted state,
Figur 4 : eine Explosionsdarstellung des an einemFigure 4: an exploded view of the on a
Verstärkungsrahmen befestigten DUT-Boards und des Dockingrahmens, undReinforcing frames attached DUT boards and docking frame, and
Figur 5 : eine Explosionsdarstellung des am Testkopf befestigten DUT-Boards und des Dockingrahmens .FIG. 5 shows an exploded view of the DUT board and the docking frame attached to the test head.
In Figur 1 ist schematisch ein Handhabungsgerät für elektronische Bauelemente in der Form eines Handlers 1 dargestellt, der an einem Testkopf 2 angedockt werden kann, um nicht dargestellte elektronische Bauelemente, die über den Handler 1 dem Testkopf 2 zugeführt werden, auf ihre ein- wandfreie Funktion hin zu überprüfen. Hierzu ist, wie auch aus den Figuren 2 bis 5 erkennbar, am Testkopf 2 ein DUT- Board 3 befestigt. Am DUT-Board 3 sind in bekannter Weise Federkontakte vorgesehen, auf welche die Pins bzw. Anschlusskontakte der zu testenden elektronischen Bauelemente aufgesetzt werden, um eine elektrische Kontaktierung zwischen Testkopf 2 und elektronischem Bauelement zu erreichen. Zur Erhöhung seiner Stabilität trägt das DUT-Board 3 auf seiner Rückseite einen umlaufenden Verstärkungsrahmen 4, mit dem das DUT-Board 3 in seinem Randbereich ver- schraubt ist, wie aus Figur 5 erkennbar. Der Verstärkungsrahmen 4 sitzt auf der vorderen Fläche des Testkopfs 2 auf und ist mit diesem verschraubt. Das Kontaktieren der zu testenden elektronischen Bauelemente erfolgt üblicher Weise dadurch, dass die von einer in Figur 1 lediglich schematisch dargestellten Halteeinrichtung 5 des Handlers 1 gehaltenen Bauelemente im angedockten Zustand des Testkopfs 2 zum DUT-Board 3 bewegt werden, bis die Anschlusskontakte des Bauelementes an den Kontaktfedern des DUT-Boards 3 anliegen. Es ist daher erforderlich, dass sich der Handler 1 und damit die von der Halteeinrichtung 5 gehaltenen Bauelemente in angedocktem Zustand in einer genau zentrierten Position relativ zum DUT-Board 3 befinden und an diesem gehalten werden.FIG. 1 schematically shows a handling device for electronic components in the form of a handler 1, which can be docked on a test head 2 in order to ensure that its electronic components, which are not shown, are supplied to the test head 2 via the handler 1 to check. For this purpose, as can also be seen from FIGS. 2 to 5, a DUT board 3 is fastened to the test head 2. On the DUT board 3 spring contacts are provided in a known manner, on which the pins or terminals of the electronic components to be tested are placed in order to achieve an electrical contact between the test head 2 and electronic component. To increase its stability, the DUT board 3 carries on its rear side a circumferential reinforcing frame 4, with which the DUT board 3 is screwed in its edge region, as can be seen from FIG. The reinforcing frame 4 rests on the front surface of the test head 2 and is screwed thereto. The contacting of the electronic components to be tested is usually carried out by the fact that held by a holding device 5 of the handler 1 shown only schematically in Figure 1 are moved in the docked state of the test head 2 to the DUT board 3 until the terminals of the device to the Contact springs of the DUT board 3 abut. It is therefore necessary that the handler 1 and thus the components held by the holding device 5 are in the docked state in a precisely centered position relative to the DUT board 3 and held thereon.
Das Zentrieren und Verriegeln des Handlers 1 am Testkopf 2 erfolgt über eine Zentrier- und Verriegelungseinrichtung, die testkopfseitig einen Dockingrahmen 6 mit aus Zentrierzapfen 7 bestehenden ersten Verriegelungselementen und handlerseitig aus entsprechenden, aus Zapfenaufnahmeeinheiten 8 bestehenden zweiten Verriegelungselementen besteht. Beim Andockvorgang werden der Testkopf 2 und der Handler 1 soweit zusammengeschoben, dass die Zentrierzapfen 7 in Eintrittsöffnungen 9 der Zapfenaufnahmeeinheiten 8 eintreten und in den Eintrittsöffnungen 9 in genau vorbestimmter Eintrittstiefe mechanisch oder pneumatisch verriegelt werden. Die Art und Weise, wie die Zentrierzapfen 7 in den Zapfenaufnahmeeinheiten 8 verriegelt werden, ist nicht Gegenstand der vorliegenden Erfindung und wird daher nicht näher erläutert.The centering and locking of the handler 1 on the test head 2 via a centering and locking device, the test head side is a docking frame 6 with centering pin 7 existing first locking elements and handler side corresponding consisting of pin receiving units 8 second locking elements. During the docking process, the test head 2 and the handler 1 are pushed together so far that the centering pins 7 enter into the inlet openings 9 of the pin receiving units 8 and are mechanically or pneumatically locked in the inlet openings 9 in exactly predetermined entry depth. The manner in which the centering pins 7 are locked in the pin receiving units 8 is not the subject of the present invention and will therefore not be explained in detail.
Wie insbesondere aus den Figuren 4 und 5 ersichtlich, ist der Dockingrahmen 6 an die Kontur des DUT-Boards 3 ange- passt und weist im Wesentlichen eine rechtwinklige, viereckige Form auf. Der Dockingrahmen 6 wird, wie aus Figur 4 ersichtlich, durch vier schmale, ebene Rahmenelemente 10 gebildet, welche auf die vordere, d.h. die dem Handler 1 zugewandte Außenfläche des DUT-Boards 3 aufgesetzt werden.As can be seen in particular from FIGS. 4 and 5, the docking frame 6 is adapted to the contour of the DUT board 3 and essentially has a rectangular, quadrangular shape. The docking frame 6, as shown in Figure 4, by four narrow, planar frame members 10th formed, which are placed on the front, ie the handler 1 facing outer surface of the DUT board 3.
Die Rahmenelemente 10 überdecken dabei denjenigen Rand- bereich des DUT-Boards 3, der zur Schraubbefestigung am Verstärkungsrahmen 4 dient und entsprechende Zentrierbohrungen 11 aufweist. Hierbei stehen die Randelemente 10 nach außen hin etwas über den Randbereich des DUT-Boards 3 vor, während sie nach innen nur geringfügig über den ver- schraubten Randbereich des DUT-Boards 3 vorstehen. In den Rahmenelementen 10 sind weiterhin über den gesamten Umfang verteilt Zentrierbohrungen 12 vorgesehen, die mit einigen der Zentrierbohrungen 11 des DUT-Boards 3 fluchten. Durch die fluchtenden Zentrierbohrungen 11, 12 können Schrauben 13 hindurchgeführt und mit dem Verstärkungsrahmen 4 verschraubt werden. Hierdurch wird der Dockingrahmen 6 relativ zum DUT-Board 3 zentriert. Es ist auch ohne weiteres möglich einige der Zentrierbohrungen 11 des DUT-Boards 3 als Gewindebohrungen auszuführen und den Dockingrahmen 6 lediglich am DUT-Board 3 und nicht am Verstärkungsrahmen 4 zu verschrauben. Wesentlich ist jedoch, dass der Dockingrahmen 6 auf die Außenseite des DUT-Boards 3 aufgesetzt und dort befestigt wird, so dass die Relativlage des Docking- rahmens 6 relativ zum DUT-Board 3 sowohl in der DUT-Board- Ebene als auch senkrecht zur DUT-Board-Ebene genau festgelegt ist.The frame elements 10 thereby cover those edge region of the DUT board 3, which serves for screw fastening to the reinforcing frame 4 and has corresponding centering bores 11. In this case, the edge elements 10 protrude outward somewhat beyond the edge area of the DUT board 3, while they protrude inwardly only slightly beyond the bolted edge area of the DUT board 3. In the frame elements 10 distributed centering holes 12 are further provided over the entire circumference, which are aligned with some of the centering holes 11 of the DUT board 3. Through the aligned centering holes 11, 12 screws 13 can be passed and screwed to the reinforcing frame 4. As a result, the docking frame 6 is centered relative to the DUT board 3. It is also readily possible to carry out some of the centering holes 11 of the DUT board 3 as threaded holes and to screw the docking frame 6 only on the DUT board 3 and not on the reinforcing frame 4. It is essential, however, that the docking frame 6 is placed on the outside of the DUT board 3 and fastened there, so that the relative position of the docking frame 6 relative to the DUT board 3 both in the DUT board level and perpendicular to the DUT Board level is specified.
Der Dockingrahmen 6 weist weiterhin an seinen vier Eckenbereichen seitlich nach außen vorstehende Laschen 14 auf, die zur Befestigung von L-förmig abgewinkelten Halterungen 15 für die Zentrierzapfen 7 dienen. Die Halterungen 15 erstrecken sich seitlich außerhalb des DUT-Boards 3 und des Verstärkungsrahmens 4 zurück in Richtung des Testköpfs, so dass die Zentrierzapfen 7, die auf dem seitlich nach außen vorstehenden Schenkel der Halterungen 15 befestigt sind, gegenüber dem DUT-Board 3 zurückversetzt sind. Hierdurch wird wieder der richtige Abstand der Zentrierzapfen 7 zum Testkopf 2 erreicht.The docking frame 6 further has at its four corner regions laterally outwardly projecting tabs 14, which serve for the attachment of L-shaped angled brackets 15 for the centering pin 7. The brackets 15 extend laterally outside the DUT board 3 and the reinforcing frame 4 back towards the test head, so that the centering pins 7, which are fastened on the laterally outwardly projecting leg of the holders 15, are set back relative to the DUT board 3. As a result, the correct distance of the centering pin 7 to the test head 2 is again achieved.
Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind die beiden Schenkel der L-förmigen Halterungen 15, wie insbesondere aus Figur 4 ersichtlich, zweiteilig ausgebildet. Hierdurch können diejenigen Schenkel, die sich senkrecht zur DUT-Board-Ebene zurückerstrecken, auf einfache Weise ausgetauscht und von ihrer Länge her an unterschiedliche Anforderungen angepasst werden. Weiterhin ist es auf diese Weise auch auf einfache Weise möglich, die Lage der die Zentrierzapfen 7 tragenden Schenkel relativ zum anderen Schenkel zu verändern, um die Zentrierzapfen 7 genau zu positionieren.In the illustrated embodiment, the two legs of the L-shaped brackets 15, as shown in particular in Figure 4, formed in two parts. As a result, those legs that extend back perpendicular to the DUT board level can be exchanged in a simple manner and adapted to different requirements of their length. Furthermore, it is possible in this way in a simple manner, to change the position of the centering pin 7 bearing legs relative to the other leg to accurately position the centering pin 7.
Alternativ zu dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist es auch ohne weiteres möglich, die Zentrierzapfen 7 auf der Seite der Handhabungsvorrichtung, d.h. des Handlers 1, und die Zapfenaufnahmeeinheiten 8 testkopfseitig, d.h. am Docking- rahmen 6 anzuordnen. As an alternative to the embodiment shown, it is also readily possible to arrange the centering pins 7 on the side of the handling device, i. of the handler 1, and the pin receiving units 8 test head side, i. to be arranged on the docking frame 6.

Claims

Patentansprüche : Claims:
1. Dockingvorrichtung zum Kuppeln einer aus einem Handler (1) oder Prober bestehenden Handhabungsvorrichtung mit einem Testkopf (2) für elektronische Bauelemente an dem ein DUT-Board (3) befestigt ist, mit handhabungsvorrichtungs- seitigen Verriegelungselementen und testkopfseitigen Verriegelungselementen, die miteinander in zentrierten Verrie- gelungseingriff bringbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem DUT-Board (3) ein Dockingrahmen (6) befestigt ist, an dem die testkopfseitigen Verriegelungselemente gehaltert sind.A docking device for coupling a handling device consisting of a handler (1) or prober to a test head (2) for electronic components to which a DUT board (3) is fastened, with handling device-side locking elements and test head-side locking elements centered one on the other Locking engagement can be brought, characterized in that on the DUT board (3) a docking frame (6) is fixed, on which the test head-side locking elements are mounted.
2. Dockingsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die testkopfseitigen Verriegelungselemente aus Zentrierzapfen (7) und die handhabungsvorrichtungssei- tigen Verriegelungselemente aus Zapfenaufnahmeeinheiten (8) bestehen, in welche die Zentrierzapfen (7) einführbar sind.2. docking device according to claim 1, characterized in that the test head-side locking elements of centering pin (7) and the handling device-side locking elements consist of pin receiving units (8) into which the centering pins (7) can be inserted.
3. Dockingvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Dockingrahmen (6) viereckig ausgebildet ist und in mindestens zwei gegenüberliegenden Eckenbereichen Verriegelungselemente trägt. 3. Docking device according to claim 1 or 2, characterized in that the docking frame (6) is quadrangular and carries in at least two opposite corner areas locking elements.
4. Dockingvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das DUT-Board (3) einen zur Schraubbefestigung ausgebildeten Randbereich aufweist, wobei ein DUT-Board-Verstärkungsrahmen (4) auf der dem Testkopf (2) zugewandten Seite des DUT-Boards (3) und der Dockingrahmen (6) auf der dem Testköpf (2) abgewandten Seite des DUT-Boards (3) angeordnet sind, so dass der Dockingrahmen (6) mit dem DUT-Board-Verstärkungsrahmen (4) verschraubbar ist.4. Docking device according to one of the preceding claims, characterized in that the DUT board (3) has a trained for Schraubbefestigung edge region, wherein a DUT board reinforcing frame (4) on the test head (2) facing side of the DUT boards (3) and the docking frame (6) on the test head (2) facing away from the DUT board (3) are arranged, so that the docking frame (6) with the DUT board reinforcement frame (4) can be screwed.
5. Dockingvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das DUT-Board (3) im Randbereich Zentrierbohrungen (11) aufweist, über welche das DUT-Board (3) relativ zum Verstärkungsrahmen (4) zentrierbar ist, und der Dockingrahmen (6) Zentrierbohrungen (12) aufweist, die mit den Zentrierbohrungen (11) des DUT-Boards (3) fluchten, so dass der Dockingrahmen (6) über die Zentrierbohrungen (11) des DUT-Boards (3) zentrierbar ist.5. Docking device according to claim 4, characterized in that the DUT board (3) in the edge region centering holes (11), via which the DUT board (3) relative to the reinforcing frame (4) is centered, and the docking frame (6) Centering holes (12) which are aligned with the centering holes (11) of the DUT board (3), so that the docking frame (6) via the centering holes (11) of the DUT board (3) is centered.
6. Dockingvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Dockingrahmen (6) schmale Rahmenelemente (10) aufweist, die nur geringfügig über den verschraubten Randbereich des DUT-Boards (3) nach innen überstehen.6. Docking device according to one of claims 3 to 5, characterized in that the docking frame (6) has narrow frame elements (10) which protrude only slightly beyond the bolted edge region of the DUT board (3) inwards.
7. Dockingvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die testkopfseitigen Verriegelungselemente seitlich außerhalb des DUT-Board-Verstär- kungsrahmens (4) angeordnet sind.7. Docking device according to one of claims 3 to 6, characterized in that the test head-side locking elements laterally outside the DUT board reinforcing frame (4) are arranged.
8. Dockingvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Dockingrahmen (6) in seinen äußeren Randbereichen abgewinkelte Halterungen (15) zur gegenüber der Hauptebene des Dockingrahmens (6; zurückversetzten Anordnung der Verriegelungselemente aufweist . 8. Docking device according to one of the preceding claims, characterized in that the docking frame (6) in its outer edge regions angled brackets (15) to the opposite of the main plane of the docking frame (6) rearwardly offset arrangement of the locking elements.
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