DE10243972A1 - Fastening plate for use in testing electronic components with a tester and a handler, whereby the plate comprises both test side and handling side plates that can be displaced and locked in position relative to each other - Google Patents

Fastening plate for use in testing electronic components with a tester and a handler, whereby the plate comprises both test side and handling side plates that can be displaced and locked in position relative to each other Download PDF

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DE10243972A1 DE2002143972 DE10243972A DE10243972A1 DE 10243972 A1 DE10243972 A1 DE 10243972A1 DE 2002143972 DE2002143972 DE 2002143972 DE 10243972 A DE10243972 A DE 10243972A DE 10243972 A1 DE10243972 A1 DE 10243972A1
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Abstract

One or more part fasting plate (1) for direct or indirect attachment of a measurement and testing device (2) for electronic components on one side and a handling device (3) for the electronic components on the other side. The plate comprises at least a single plate (4) on the testing side and a single or three or more individual plates (5) on the handling side. The plates can be moved relative to each other in x, y and z directions and can also be locked in position.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine zwei- oder mehrteilige Befestigungsplatte zur kraftschlüssigen und/oder formschlüssigen Verbindung einer Meß- und Prüfeinrichtung (tester) für elektronische Bauteile einerseits mit einer Handhabungsvorrichtung (handler) für elektronische Bauteile andererseits mit den im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmalen.The present invention relates to a two-part or multi-part mounting plate for non-positive and / or positive Connection of a measuring and test facility (tester) for electronic components on the one hand with a handling device (handler) for electronic components on the other hand with those in the preamble of the claim 1 specified characteristics.

Bei den erfindungsgemäß zur Anwendung kommenden elektronischen Bauteilen kann es sich insbesondere um integrierte Schaltkreise (IC's) oder um Wafer handeln, welche beispielsweise auf Silizium-Basis hergestellt sind.In those used according to the invention electronic components can in particular be integrated Circuits (IC's) or are wafers, which are based, for example, on silicon are made.

Aus dem Stand der Technik ist es bekannt, eine Meß- und Prüfeinrichtung (tester) für elektronische Bauteile mittels einer Positionier- und Verriegelungseinheit mit Zentrierstiften unmittelbar an einer Handhabungseinrichtung (handler) für elektronische Bauteile anzubringen.It is from the state of the art known a measuring and test facility (tester) for electronic components using a positioning and locking unit with centering pins directly on a handling device (handler) for attach electronic components.

Nachteilig ist hierbei insbesondere, daß mehrere unterschiedliche und teure Positionier- und Verriegelungseinheiten angeschafft, gewartet und bevorratet werden müssen, sofern verschiedene Handhabungseinrichtungen (handler) für unterschiedliche elektronische Bauteile mit jeweils anderen Abmessungen und Verriegelungskonzepten mit derselben Meß- und Prüfeinrichtung (tester) oder ein Handler mit mehreren, voneinander verschiedenen Testern verbunden werden sollen.A particular disadvantage here is that that several different and expensive positioning and locking units must be purchased, maintained and stocked, provided that there are different handling devices (handler) for different electronic components with different dimensions and locking concepts with the same measuring and testing equipment (tester) or a handler connected to several different testers should be.

Handhabungsvorrichtungen für elektronische Bauteile verfügen in der Regel ferner über eine Vielzahl von nebeneinander angeordneten und vor- sowie zurückbewegbaren Druckstempeln (plungers), mit deren Hilfe die zu prüfenden elektronischen Bauteile in Richtung des zentrierten Kontaktsockels einer gegenüberliegenden Meß- und Prüfeinrichtung (tester) für elektronische Bauteile verfahrbar sind.Handling devices for electronic Components usually beyond a large number of juxtaposed and movable back and forth Plungers, with the help of which the electronic to be tested Components in the direction of the centered contact base of an opposite one Measuring and test equipment (tester) for electronic components are movable.

Von dieser Vielzahl von handlerseitig vorhandenen Druckstempeln (plungers) ist meist lediglich ein einziger Druckstempel (plunger) aktiv in Form einer sogenannten „aktiven Kontaktierungsstelle" (activ contact site).From this multitude of dealers Existing plungers are usually only one Plunger active in the form of a so-called "active Contact point "(activ contact site).

Während des Testvorganges muß der im Zentrum der Meß- und Prüfvorrichtung liegende testerseitige Kontaktsockel zentriert zu dem jeweils aktiven Druckstempel (plunger) der Handhabungsvorrichtung ausgerichtet sein.While of the test process must in the center of the measuring and testing device lying tester-side contact socket centered on the active one Plunger of the handling device can be aligned.

Um den meist einzigen, zentrierten Kontaktsockel der Meßund Prüfeinrichtung (tester) mit dem jeweils aktiven, meist außermittigen Druckstempel (plunger) der Handhabungsvorrichtung (handler) in Eingriff zu bringen, ist es bei den Vorrichtungen des Standes der Technik erforderlich, die Meß- und Prüfeinrichtung vollständig sowie mühsam und zeitintensiv von der Handhabungseinrichtung zu demontieren, die ursprüngliche Positionier- und Verriegelungseinheit durch eine an die neue Position angepaßte Positionier- und Verriegelungseinheit zu ersetzen, eine zeitintensive Justage vorzunehmen und eine abschließende Verriegelung durchzuführen.Around the mostly single, centered one Contact base of the measuring and test equipment (tester) with the active, mostly off-center plunger to engage the handling device (handler) it is required in the prior art devices that Measuring and testing equipment Completely as well as tedious and time-consuming to dismantle from the handling device, the original Positioning and locking unit by moving to the new position adapted Positioning and locking unit to replace, a time-consuming Make adjustment and perform a final locking.

Der zeitliche Aufwand für eine solche Umrüstung und damit die Stillstandzeit der gesamten Testvorrichtung beträgt hierfür etwa 10 Stunden.The time required for such conversion and thus the downtime of the entire test device is about 10 Hours.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Bereitstellung einer Vorrichtung zur Verbindung einer Meß- und Prüfeinrichtung (tester) für elektronische Bauteile einerseits mit einer Handhabungseinrichtung (handler) für elektronische Bauteile andererseits, welche die Anschaffung, Wartung und Bevorratung mehrerer unterschiedlicher Positionier- und Verriegelungseinheiten selbst beim Einsatz unterschiedlicher Handhabungsvorrichtungen (handler) oder Meß- und Prüfeinrichtungen (tester) nicht erfordert und welche eine besonders schnelle, einfache, exakte und kostengünstige Anpassung der Position des oder der Kontaktsockel einer Meß- und Prüfeinrichtung (Testkopf) an die Position des jeweils aktiven Druckstempels (plunger; contact site) einer gegenüberliegenden Handhabungsvorrichtung (handler) erlaubt und damit die Stillstandzeit während des Umrüstens von einem aktiven Druckstempel auf einen anderen aktiven Druckstempel verkürzt.Object of the present invention is therefore to provide a device for connecting a Measuring and test equipment (tester) for electronic components on the one hand with a handling device (handler) for electronic components on the other hand, which the purchase, maintenance and stockpiling several different positioning and locking units even when using different handling devices (handlers) or Measuring and testing equipment (tester) not required and which is a particularly quick, easy, exact and inexpensive Adjustment of the position of the or the contact base of a measuring and testing device (Test head) to the position of the respectively active pressure stamp (plunger; contact site) of an opposite one Handling device (handler) allowed and thus the downtime while of retrofitting from an active stamp to another active stamp shortened.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer gattungsgemäßen Vorrichtung durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.According to the invention, this task is performed at a generic device by the specified in the characterizing part of claim 1 Features solved.

Besonders bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der Unteransprüche.Particularly preferred embodiments are Subject of the subclaims.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:Embodiments of the invention will be closer to the drawings described. Show it:

1 eine schematische perspektivische Ansicht einer Gesamtvorrichtung zum Testen elektronischer Bauteile, welche einerseits einer mittigen, erfindungsgemäßen Befestigungsplatte eine Handhabungseinrichtung für elektronische Bauteile und andererseits der mittigen, erfindungsgemäßen Befestigungsplatte eine Meß- und Prüfeinrichtung zum Testen elektronischer Bauteile aufweist; 1 a schematic perspective view of an overall device for testing electronic components, which has a handling device for electronic components on the one hand a central mounting plate according to the invention and a measuring and testing device for testing electronic components on the other hand the central mounting plate according to the invention;

2 eine schematische Seitenansicht eines Querschnittes entlang der Linie A-A in 1; 2 is a schematic side view of a cross section along the line AA in 1 ;

3 eine schematische perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Befestigungsplatte, von der Seite einer Meß- und Prüfeinrichtung aus betrachtet; 3 is a schematic perspective view of a mounting plate according to the invention, viewed from the side of a measuring and testing device;

4 eine schematische Vorderansicht einer erfindungsgemäßen Befestigungsplatte, von der Seite einer Meß- und Prüfeinrichtung aus betrachtet. 4 is a schematic front view of a mounting plate according to the invention, viewed from the side of a measuring and testing device.

Wie bereits aus 2 hervorgeht, können an der erfindungsgemäßen ein- oder mehrteiligen Befestigungsplatte (1) in der Regel einerseits eine Meß- und Prüfvorrichtung (2; Testkopf) für elektronische Bauteile und andererseits eine Handhabungsvorrichtung (3; Handler) für elektronische Bauteile mittelbar -beispielsweise über eine ein- oder mehrteilige Positionier- und Verriegelungseinrichtung (9)oder unmittelbar reversibel anbringbar sein.As already out 2 emerges, can on the one-part or multi-part mounting plate according to the invention ( 1 ) usually a measuring and testing device ( 2 ; Test head) for electronic components and on the other hand a handling device ( 3 ; Handler) for electronic components indirectly - for example via a one- or multi-part positioning and locking device ( 9 ) or directly reversible.

Vorzugsweise umfaßt die erfindungsgemäße Befestigungsplatte (1) zumindest eine testerseitige Einzelplatte (4) und eine handlerseitige Einzelplatte (5) oder drei oder mehrere Einzelplatten, welche gegeneinander in x- und/oder yund/oder z-Richtung verschiebbar und arretierbar sind.Preferably, the invention comprises Mounting plate ( 1 ) at least one tester-side single plate ( 4 ) and a single plate from the dealer ( 5 ) or three or more individual plates, which can be moved and locked against each other in the x and / or y and / or z direction.

Die Verstellbarkeit der einen oder der mehreren Einzelplatten (4, 5) in z-Richtung ist gegebenenfalls vornehmbar, um die handlerseitige Fläche des Kontaktsockels (15) der Meß- und Prüfeinrichtung (2) an der Rückwand der Handhabungsvorrichtung (3) anliegen zu lassen.The adjustability of the one or more individual plates ( 4 . 5 ) in the z-direction can be carried out, if necessary, around the surface of the contact base on the dealer side ( 15 ) of the measuring and testing equipment ( 2 ) on the rear wall of the handling device ( 3 ).

Die Verschiebbarkeit der Einzelplatten (4, 5) der Befestigungsplatte (1) gegeneinander kann beispielsweise durch ein oder mehrere Wälz- oder Gleitlager, Kugelführungsbuchsen, Gleitführungen, Rollenführungen, Linearlager, Linearführungen, Radiallager, Luftlager oder Hydrolager bewirkt werden.The movability of the individual panels ( 4 . 5 ) the mounting plate ( 1 ) against each other can be effected, for example, by one or more roller or slide bearings, ball guide bushes, slide guides, roller guides, linear bearings, linear guides, radial bearings, air bearings or hydraulic bearings.

Insbesondere die 3 und 4 zeigen, daß die erfindungsgemäße Befestigungsplatte (1) zur Positionierung der Einzelplatten (4, 5) einander gegenüber eine oder mehrere, an einer der Einzelplatten (4 oder 5) fest oder verschiebbar und arretierbar angebrachte Lochplatten (6) umfassen kann.especially the 3 and 4 show that the mounting plate according to the invention ( 1 ) for positioning the individual plates ( 4 . 5 ) opposite each other one or more, on one of the single plates ( 4 or 5 ) Fixed or slidable and lockable perforated plates ( 6 ) can include.

Es liegt auf der Hand, daß die Lochplatte (6) alternativ hierzu beispielsweise an der Handhabungsvorrichtung (3) oder der Meß- und Prüfeinrichtung (2) selbst mittelbar oder unmittelbar anbringbar sein kann.It is obvious that the perforated plate ( 6 ) alternatively, for example on the handling device ( 3 ) or the measuring and testing equipment ( 2 ) can be attached directly or indirectly.

Die Lochplatte (6) kann beispielsweise in Form einer Platte mit Bohrungen, eines Gitters, Netzes oder Rahmens mit Segmenten ausgestaltet sein.The perforated plate ( 6 ) can be designed, for example, in the form of a plate with bores, a grid, network or frame with segments.

Vorzugsweise greifen in die beispielsweise an der handlerseitigen Einzelplatte (5) oder an der Handhabungsvorrichtung (3) oder an der Meß- und Prüfeinrichtung (2) angebrachte Lochplatte (6) eine oder mehrere, an der anderen, gegebenenfalls testerseitigen Einzelplatte (4) angebrachte Arretierungseinrichtungen (7) reversibel ein.It is preferable to reach into the individual plate on the dealer side ( 5 ) or on the handling device ( 3 ) or on the measuring and testing equipment ( 2 ) attached perforated plate ( 6 ) one or more, on the other, possibly tester-side single plate ( 4 ) attached locking devices ( 7 ) reversible.

Die mindestens eine Arretierungseinrichtung (7) kann beispielsweise in Form eines gefederten oder ungefederten Positionierstiftes, eines Schnappmechanismus, eines Einrastmechanismus oder eines Druckstückes ausgebildet sein.The at least one locking device ( 7 ) can be designed, for example, in the form of a spring-loaded or unsprung positioning pin, a snap mechanism, a snap-in mechanism or a pressure piece.

In der Regel ist die mindestens eine Lochplatte (6) auswechselbar angebracht und vorzugsweise in x- und/oder yund/oder z-Richtung verstellbar gelagert und arretierbar.As a rule, the at least one perforated plate ( 6 ) mounted interchangeably and preferably mounted and lockable in the x and / or y and / or z direction.

Vorzugsweise korrespondieren die Abstände und Anordnungen der Bohrungen dieser Lochplatte (6) zu den Abständen und Anordnungen der Druckstempel (plungers; contact sites) der Handhabungsvorrichtung (3; handler).The distances and arrangements of the bores of this perforated plate preferably correspond ( 6 ) to the distances and arrangements of the plungers (contact sites) of the handling device ( 3 ; handler).

Aufgrund dieser Entsprechung der Positionen der Ausnehmungen der Lochplatte (6) und der Positionen der handlerseitigen Druckstempel sind gegebenenfalls durch einen einfachen und schnellen Lochwechsel innerhalb derselben Lochplatte (6) der oder die mittigen Kontaktierungssockel (15) einer einerseitigen Meß- und Prüfeinrichtung (2) über dem oder den aktiven, meist außermittigen Druckstempeln (plungers) einer anderseitigen Handhabungsvorrichtung (3; handler) zentrierbar.Due to this correspondence of the positions of the recesses of the perforated plate ( 6 ) and the positions of the pressure stamps on the dealer's side can be changed easily and quickly within the same perforated plate ( 6 ) the central contact base (s) ( 15 ) a one-sided measuring and testing device ( 2 ) above the active, mostly eccentric plunger (s) of another handling device ( 3 ; handler) centerable.

Bei einem Wechsel der Handhabungsvorrichtung (3) kann die ursprüngliche Lochplatte (6) gegen eine an die Stempelabstände und Stempelanordnung der neuen Handhabungsvorrichtung (3) angepaßte Lochplatte (6) ebenfalls schnell und einfach ausgetauscht werden.When changing the handling device ( 3 ) the original perforated plate ( 6 ) against the stamp spacing and stamp arrangement of the new handling device ( 3 ) adapted perforated plate ( 6 ) can also be replaced quickly and easily.

In beiden vorgenannten Fällen wird die aus dem Stand der Technik bekannte und gefürchtete Stillstandzeit beziehungsweise Umrüstzeit der gesamten Testvorrichtung von etwa 10 Stunden auf etwa 10 Minuten verkürzt, wodurch sich eine dramatische Verbesserung des Durchsatzes und damit der Wirtschaftlichkeit einer mit der erfindungsgemäßen Befestigungsplatte (1) ausgerüsteten Testvorrichtung ergibt.In both of the aforementioned cases, the downtime or changeover time of the entire test device known and feared from the prior art is reduced from about 10 hours to about 10 minutes, which dramatically improves the throughput and thus the economy of a mounting plate with the mounting plate according to the invention ( 1 ) equipped test device.

Wie den 1, 3 und 4 zu entnehmen ist, kann die erfindungsgemäße Befestigungsplatte (1) in einer bevorzugten Ausführungsform beispielsweise für die testerseitige, eine Meß- und Prüfeinrichtung (2) tragende, verschiebbare Einzelplatte (4) eine selbsthemmende, zumindest in y-Richtung wirkende Höhenverstellung (8) umfassen.Like that 1 . 3 and 4 can be seen, the mounting plate according to the invention ( 1 ) in a preferred embodiment, for example for the tester side, a measuring and testing device ( 2 ) load-bearing, slidable single plate ( 4 ) a self-locking height adjustment that acts at least in the y direction ( 8th ) include.

Im Falle einer Entriegelung der Arretierungseinrichtung (7) kann dank einer solchen selbsthemmenden Höhenverstellung (8) ein unbeabsichtigtes Absinken der verschiebbaren testerseitigen Einzelplatte (4) mit der daran angebrachten Meß- und Prüfvorrichtung (2) sicher vermieden werden.If the locking device is unlocked ( 7 ) thanks to such a self-locking height adjustment ( 8th ) an unintended lowering of the movable tester-side single plate ( 4 ) with the measuring and testing device attached ( 2 ) can be safely avoided.

Die selbsthemmende und zumindest in y-Richtung wirkende Höhenverstellung (8) kann beispielsweise in Form einer elektrischen, hydraulischen, pneumatischen oder mechanischen Verstelleinrichtung oder eines Spindelmechanismus, Zahnstangenmechanismus, eines Riemens, einer Kette oder in Form von Bändern, Seilen oder Bowdenzügen ausgebildet sein.The self-locking height adjustment that acts at least in the y direction ( 8th ) can be designed for example in the form of an electrical, hydraulic, pneumatic or mechanical adjustment device or a spindle mechanism, rack and pinion mechanism, a belt, a chain or in the form of bands, ropes or Bowden cables.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform umfaßt die erfindungsgemäße Befestigungsplatte ferner eine Sicherungseinrichtung, welche erst nach ihrer Deaktivierung ein Verschieben der Einzelplatten (4, 5) gegeneinander zuläßt.In a particularly preferred embodiment, the fastening plate according to the invention further comprises a securing device which only moves the individual plates () after they have been deactivated. 4 . 5 ) against each other.

Grundsätzlich kann die Verschiebbarkeit der Einzelplatten (4, 5) gegeneinander manuell und/oder hydraulisch und/oder pneumatisch und/oder elektrisch und/oder mechanisch erfolgen.In principle, the displaceability of the individual panels ( 4 . 5 ) against each other manually and / or hydraulically and / or pneumatically and / or electrically and / or mechanically.

Gegebenenfalls sind auf der testerseitigen Einzelplatte (4) ein oder mehrere Positionier- und Verriegelungseinrichtungen (9; docking-Einrichtungen) zur mittelbaren Be festigung und Positionierung der Meß- und Prüfeinrichtung (2; Testkopf) an der testerseitigen Einzelplatte (4) reversibel oder irreversibel anbringbar.If necessary, on the tester-side single plate ( 4 ) one or more positioning and locking devices ( 9 ; docking devices) for indirect fastening and positioning of the measuring and testing device ( 2 ; Test head) on the tester-side single plate ( 4 ) reversible or irreversible attachable.

So kann die testerseitige Einzelplatte (4) eine oder mehrere Aussparungen (10), Bohrungen mit oder ohne Gewinde, Aufbauten, Adapter, Haken oder Kulissen für die reversible Anbringung einer ein- oder mehrteiligen Positionierungsund Verriegelungseinrichtung (9) oder für die unmittelbare Anbringung einer Meß- und Prüfvorrichtung (2) aufweisen.The tester-side single plate ( 4 ) one or more recesses ( 10 ), Bores with or without thread, attachments, adapters, hooks or slides for the reversible attachment of a one- or multi-part positioning and locking device ( 9 ) or for the direct attachment of egg ner measuring and testing device ( 2 ) exhibit.

Wie insbesondere aus den 3 und 4 hervorgeht, kann die erfindungsgemäße Befestigungsplatte (1) in bevorzugten Ausführungsformen in ihrer testerseitigen Einzelplatte (4) eine zentrale, runde oder polygonale Aussparung (11) zur reversiblen, mittelbaren oder unmittelbaren Aufnahme einer zwischen der Meß- und Prüfeinrichtung (2) und der Handhabungsvorrichtung (3) wirkenden Kontaktplatine (12; deviceunder-test-board) aufweisen.As especially from the 3 and 4 emerges, the mounting plate according to the invention ( 1 ) in preferred embodiments in its tester-side single plate ( 4 ) a central, round or polygonal recess ( 11 ) for the reversible, indirect or direct recording of a between the measuring and testing device ( 2 ) and the handling device ( 3 ) acting contact board ( 12 ; deviceunder-test-board).

Gegebenenfalls ist in die Aussparung (11) der testerseitigen Einzelplatte (4) eine an die Form der Aussparung (11) außenseitig und an die Form der Kontaktplatine (12) innenseitig angepaßte Kontaktplatinen-Abstützung (13; deviceundertestboard-support) reversibel sowie lose passend oder im wesentlichen gasdicht einsetzbar.If necessary, in the recess ( 11 ) of the tester side single plate ( 4 ) one to the shape of the recess ( 11 ) on the outside and to the shape of the contact board ( 12 ) Contact plate support adapted on the inside ( 13 ; deviceundertestboard-support) reversible and loose fitting or essentially gas-tight.

In der Regel ist die Kontaktplatinen-Abstützung (13) ringförmig, strebenförmig, gitterförmig, quadratisch, rechtekkig oder polygonal sowie elektrisch isolierend ausgestaltet.As a rule, the contact board support ( 13 ) circular, strut-shaped, lattice-shaped, square, rectangular or polygonal and electrically insulating.

Der Vorteil einer elektrisch isolierenden Ausgestaltung der Kontaktplatinen-Abstützung (13) liegt in einer sicheren Vermeidung einer zerstörerischen Kurzschlußgefahr.The advantage of an electrically insulating design of the contact board support ( 13 ) lies in the safe avoidance of a destructive short-circuit hazard.

Korrespondierend zu der mittigen Aussparung (11) der testerseitigen Einzelplatte (4) kann auch die handlerseitige Einzelplatte (5) eine mittig zentrierte Aussparung (14) zur Aufnahme und/oder Führung des oder der Kontaktsockel (15) einer Handhabungseinrichtung (3) aufweisen.Corresponding to the central recess ( 11 ) of the tester side single plate ( 4 ) can also be used on the retail side ( 5 ) a centered recess ( 14 ) for receiving and / or guiding the contact base (s) ( 15 ) a handling device ( 3 ) exhibit.

Zusammenfassend ist festzustellen, daß im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine befestigungsplattenförmige Vorrichtung zur Verbindung einer Meß- und Prüfeinrichtung (tester) für elektronische Bauteile einerseits mit einer Handhabungseinrichtung (handler) für elektronische Bauteile andererseits bereitgestellt wird.In summary it can be stated that in the frame of the present invention a mounting plate-shaped device for connecting a measuring and test facility (tester) for electronic components on the one hand with a handling device (handler) for electronic components on the other hand is provided.

Durch den Einsatz der erfindungsgemäßen, hinsichtlich ihrer Einzelplatten (4, 5) verfahrbaren Befestigungsplatte (1) ist die Anschaffung, Wartung und Bevorratung mehrerer unterschiedlicher, teurer Positionier- und Verriegelungseinheiten selbst beim Einsatz unterschiedlicher Handhabungsvorrichtungen (handler) oder Meß- und Prüfeinrichtungen (tester) erstmalig nicht mehr erforderlich.Through the use of the individual plates according to the invention ( 4 . 5 ) movable mounting plate ( 1 ) the purchase, maintenance and stockpiling of several different, expensive positioning and locking units is no longer necessary for the first time even when using different handling devices (handlers) or measuring and testing equipment (testers).

Darüber hinaus gestattet die erfindungsgemäße Befestigungsplatte (1) eine besonders schnelle, einfache, exakte und kostengünstige Anpassung der Position des oder der Kontaktsockel (15) einer Meß- und Prüfeinrichtung (2; Testkopf) an die Position des jeweils aktiven Druckstempels (plunger; contact site) einer gegenüberliegend angebrachten Handhabungsvorrichtung (3; handler).In addition, the mounting plate according to the invention ( 1 ) a particularly quick, simple, exact and inexpensive adjustment of the position of the contact base (s) ( 15 ) a measuring and testing device ( 2 ; Test head) to the position of the respectively active plunger (contact site) of an opposite handling device ( 3 ; handler).

Die Stillstandzeit während des Umrüstens von einem aktiven Druckstempel auf einen anderen aktiven Druckstempel der Handhabungseinrichtung (3) wird dank der erfindungsgemäßen Befestigungsplatte (1) folglich dramatisch verkürzt und damit der Durchsatz beziehungsweise die Wirtschaftlichkeit der gesamten Testvorrichtung erheblich verbessert.The downtime during the conversion from an active pressure stamp to another active pressure stamp of the handling device ( 3 ) thanks to the mounting plate according to the invention ( 1 ) consequently dramatically shortened and thus the throughput or the economy of the entire test device is considerably improved.

Claims (17)

Ein- oder mehrteilige Befestigungsplatte (1) zur mittelbaren oder unmittelbaren Anbringung einer Meß- und Prüfvorrichtung (2; Testkopf) für elektronische Bauteile einerseits und einer Handhabungsvorrichtung (3; Handler) für elektronische Bauteile andererseits, dadurch gekennzeichnet, daß sie zumindest eine testerseitige Einzelplatte (4) und eine handlerseitige Einzelplatte (5) oder drei oder mehrere Einzelplatten umfaßt, welche gegeneinander in x- und/oder y- und/oder z-Richtung verschiebbar und arretierbar sind.Single or multi-part mounting plate ( 1 ) for the direct or indirect attachment of a measuring and testing device ( 2 ; Test head) for electronic components on the one hand and a handling device ( 3 ; Handler) for electronic components, on the other hand, characterized in that they have at least one tester-side individual plate ( 4 ) and a single plate from the dealer ( 5 ) or three or more individual plates, which are mutually displaceable and lockable in the x and / or y and / or z direction. Befestigungsplatte nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebbarkeit der Einzelplatten (4, 5) der Befestigungsplatte (1) gegeneinander durch ein oder mehrere Wälz- oder Gleitlager, Kugelführungsbuchsen, Gleitführungen, Rollenführungen, Linearlager, Linearführungen, Radiallager, Luftlager oder Hydrolager bewirkt wird.Fastening plate according to one or more of the preceding claims, characterized in that the displaceability of the individual plates ( 4 . 5 ) the mounting plate ( 1 ) against each other by one or more roller or slide bearings, ball guide bushes, slide guides, roller guides, linear bearings, linear guides, radial bearings, air bearings or hydraulic bearings. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie zur Positionierung der Einzelplatten (4, 5) einander gegenüber eine oder mehrere, an einer der Einzelplatten (4 oder 5) fest oder verschiebbar und arretierbar angebrachte Lochplatten (6) umfaßt, in welche eine oder mehrere, an der anderen Einzelplatte (4 oder 5) angebrachte Arretierungseinrichtungen (7) reversibel eingreifen.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that it is used to position the individual plates ( 4 . 5 ) opposite each other one or more, on one of the single plates ( 4 or 5 ) Fixed or slidable and lockable perforated plates ( 6 ) in which one or more, on the other single plate ( 4 or 5 ) attached locking devices ( 7 ) intervene reversibly. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochplatte (6) auswechselbar ist, wobei die Abstände und Anordnungen der Bohrungen dieser Lochplatte (6) den Abständen und Anordnungen der Druckstempel (plunger; contact sites) der Handhabungsvorrichtung (3; handler) entsprechen, so daß durch einen einfachen Lochwechsel innerhalb derselben Lochplatte (6) der oder die mittigen Kontaktierungssockel (15) der Meß- und Prüfeinrichtung (2) über dem oder den aktiven Druckstempeln (plunger) der Handhabungsvorrichtung (3; handler) zentrierbar sind und wobei bei einem Wechsel der Handhabungsvorrichtung (3) die ursprüngliche Lochplatte (6) gegen eine an die Stempelabstände und Stempelanordnung der neuen Handhabungsvorrichtung (3) angepaßte Lochplatte (6) auszutauschen ist,Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the perforated plate ( 6 ) is interchangeable, the spacing and arrangement of the holes in this perforated plate ( 6 ) the spacing and arrangement of the plunger (contact sites) of the handling device ( 3 ; handler) so that a simple hole change within the same perforated plate ( 6 ) the central contact base (s) ( 15 ) of the measuring and testing equipment ( 2 ) over the active plunger (s) of the handling device ( 3 ; handler) can be centered and, when the handling device ( 3 ) the original perforated plate ( 6 ) against the stamp spacing and stamp arrangement of the new handling device ( 3 ) adapted perforated plate ( 6 ) is to be replaced, Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Lochplatte (6) in x- und/oder y- und/oder z-Richtung verstellbar gelagert und arretierbar ist.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the at least one perforated plate ( 6 ) is adjustable and lockable in the x and / or y and / or z direction. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Arretierungseinrichtung (7) in Form eines gefederten oder ungefederten Positionierstiftes, eines Schnappmechanismus, eines Einrastmechanismus oder eines Druckstückes ausgebildet ist.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the at least one locking device ( 7 ) is designed in the form of a spring-loaded or unsprung positioning pin, a snap mechanism, a snap-in mechanism or a pressure piece. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie für die eine Meß- und Prüfeinrichtung (2) tragende, verschiebbare Einzelplatte (4) eine selbsthemmende, zumindest in y-Richtung wirkende Höhenverstellung (8) umfaßt, so daß im Falle einer Entriegelung der Arretierungseinrichtung (7) ein unbeabsichtigtes Absinken der verschiebbaren testerseitigen Einzelplatte (4) mit der daran angebrachten Meß- und Prüfvorrichtung (2) vermieden wird.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that for one measuring and testing device ( 2 ) load-bearing, slidable single plate ( 4 ) a self-locking height adjustment that acts at least in the y direction ( 8th ) so that when the locking device is unlocked ( 7 ) an unintended lowering of the movable tester-side single plate ( 4 ) with the measuring and testing device attached ( 2 ) is avoided. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die selbsthemmende und in y-Richtung wirkende Höhenverstellung (8) in Form einer elektrischen, hydraulischen, pneumatischen oder mechanischen Verstelleinrichtung oder eines Spindelmechanismus, Zahnstangenmechanismus, eines Riemens, einer Kette oder in Form von Bändern, Seilen oder Bowdenzügen ausgebildet ist.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the self-locking height adjustment acting in the y direction ( 8th ) in the form of an electrical, hydraulic, pneumatic or mechanical adjustment device or a spindle mechanism, rack and pinion mechanism, a belt, a chain or in the form of bands, ropes or Bowden cables. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Sicherungseinrichtung umfaßt, welche erst nach ihrer Deaktivierung ein Verschieben der Einzelplatten (4, 5) gegeneinander zuläßt.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that it comprises a securing device which only moves the individual plates ( 4 . 5 ) against each other. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebbarkeit der Einzelplatten (4,5) gegeneinander manuell und/oder hydraulisch und/oder pneumatisch und/oder elektrisch und/oder mechanisch erfolgt.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the displaceability of the individual plates ( 4 . 5 ) against each other manually and / or hydraulically and / or pneumatically and / or electrically and / or mechanically. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf der testerseitigen Einzelplatte (4) ein oder mehrere Positionier- und Verriegelungseinrichtungen (9; docking-Einrichtungen) zur Befestigung und Positionierung der Meßund Prüfeinrichtung (2; Testkopf) an der testerseitigen Einzelplatte (4) reversibel oder irreversibel anbringbar sind.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that on the tester-side individual plate ( 4 ) one or more positioning and locking devices ( 9 ; docking devices) for fastening and positioning the measuring and testing device ( 2 ; Test head) on the tester-side single plate ( 4 ) are reversible or irreversible attachable. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die testerseitige Einzelplatte (4) ein oder mehrere Aussparungen (10), Bohrungen mit oder ohne Gewinde, Aufbauten, Adapter, Haken oder Kulissen für die reversible Anbringung einer ein- oder mehrteiligen Positionierungs- und Verriegelungseinrichtung (9) oder für die unmittelbare Anbringung einer Meß- und Prüfvorrichtung (2) aufweist.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the tester-side individual plate ( 4 ) one or more recesses ( 10 ), Bores with or without thread, attachments, adapters, hooks or slides for the reversible attachment of a one- or multi-part positioning and locking device ( 9 ) or for the direct attachment of a measuring and testing device ( 2 ) having. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die testerseitige Einzelplatte (4) eine zentrale, runde oder polygonale Aussparung (11) zur reversiblen, mittelbaren oder unmittelbaren Aufnahme einer zwischen der Meß- und Prüfeinrichtung (2) und der Handhabungsvorrichtung (3) wirkenden Kontaktplatine (12; device-under-test-board) aufweist.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the tester-side individual plate ( 4 ) a central, round or polygonal recess ( 11 ) for the reversible, indirect or direct recording of a between the measuring and testing device ( 2 ) and the handling device ( 3 ) acting contact board ( 12 ; device-under-test-board). Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in die Aussparung (11) der testerseitigen Einzelplatte (4) eine an die Form der Aussparung (11) außenseitig und an die Form der Kontaktplatine (12) innenseitig angepaßte Kontaktplatinen-Abstützung (13; deviceundertestboardsupport) reversibel sowie lose passend oder im wesentlichen gasdicht einsetzbar ist.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that in the recess ( 11 ) of the tester side single plate ( 4 ) one to the shape of the recess ( 11 ) on the outside and to the shape of the contact board ( 12 ) Contact plate support adapted on the inside ( 13 ; deviceundertestboardsupport) can be used reversibly and loosely or essentially gas-tight. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktplatinen-Abstützung (13) ringförmig, strebenförmig, gitterförmig, quadratisch, rechteckig oder polygonal sowie elektrisch isolierend ausgestaltet ist.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the contact board support ( 13 ) is ring-shaped, strut-shaped, lattice-shaped, square, rectangular or polygonal and electrically insulating. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die handlerseitige Einzelplatte (5) eine mittig zentrierte Aussparung (14) zur Aufnahme und/oder Führung des oder der Druckstempel (15) der Handhabungseinrichtung (3) aufweist.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the individual plate on the dealer's side ( 5 ) a centered recess ( 14 ) for receiving and / or guiding the printing stamp (s) ( 15 ) the handling device ( 3 ) having. Befestigungsplatte (1) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellbarkeit der einen oder der mehreren Einzelplatten (4, 5) in z-Richtung vornehmbar ist, um die handlerseitige Fläche des Kontaktsockels der Meß- und Prüfeinrichtung (2) an der Rückwand der Handhabungsvorrichtung (3) anliegen zu lassen.Mounting plate ( 1 ) according to one or more of the preceding claims, characterized in that the adjustability of the one or more individual plates ( 4 . 5 ) can be carried out in the z-direction around the dealer-side surface of the contact base of the measuring and testing device ( 2 ) on the rear wall of the handling device ( 3 ).
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