DE10243972B4

DE10243972B4 - Multi-part mounting plate

Info

Publication number: DE10243972B4
Application number: DE2002143972
Authority: DE
Inventors: Werner Huber
Original assignee: Esmo AG
Current assignee: Esmo AG
Priority date: 2002-09-20
Filing date: 2002-09-20
Publication date: 2005-10-06
Anticipated expiration: 2022-09-21
Also published as: DE10243972A1

Abstract

Mehrteilige Befestigungsplatte (1) zur mittelbaren oder unmittelbaren Anbringung einer Meß- und Prüfvorrichtung (2; Testkopf) für elektronische Bauteile einerseits und einer Handhabungsvorrichtung (3; Handler) für elektronische Bauteile andererseits, dadurch gekennzeichnet, daß sie zumindest eine testerseitige Einzelplatte (4) und eine handlerseitige Einzelplatte (5) oder drei oder mehrere Einzelplatten umfaßt, welche gegeneinander in x- und/oder y-Richtung verschiebbar und arretierbar sind, wobei die Verschiebbarkeit der Einzelplatten (4, 5) der Befestigungsplatte (1) gegeneinander durch ein oder mehrere Wälz- oder Gleitlager, Kugelführungsbuchsen, Gleitführungen, Rollenführungen, Linearlager, Linearführungen, Radiallager, Luftlager oder Hydrolager bewirkt wird.Multipart Mounting plate (1) for direct or indirect attachment a measuring and tester (2, test head) for electronic components on the one hand and a handling device (3, handler) for electronic components on the other hand, characterized in that they at least a tester-side single plate (4) and a trader-side single plate (5) or three or more individual plates, which against each other in x and / or y-direction are displaceable and lockable, wherein the displaceability of the individual plates (4, 5) of the mounting plate (1) against each other by one or more rolling or sliding bearings, ball guide bushings, sliding guides, Roller guides, Linear bearings, linear guides, Radial bearing, air bearings or hydraulic bearings is effected.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine zwei- oder mehrteilige Befestigungsplatte zur kraftschlüssigen und/oder formschlüssigen Verbindung einer Meß- und Prüfeinrichtung (tester) für elektronische Bauteile einerseits mit einer Handhabungsvorrichtung (handler) für elektronische Bauteile andererseits mit den im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmalen (vgl. US 56 56 942 A ).The present invention relates to a two- or multi-part mounting plate for non-positive and / or positive connection of a measuring and testing device (tester) for electronic components on the one hand with a handling device (handler) for electronic components on the other hand with the features specified in the preamble of claim 1 (see , US 56 56 942 A ).

Bei den erfindungsgemäß zur Anwendung kommenden elektronischen Bauteilen kann es sich insbesondere um integrierte Schaltkreise (IC's) oder um Wafer handeln, welche beispielsweise auf Silizium-Basis hergestellt sind.at the present invention used Electronic components can be integrated in particular Circuits (ICs) or to act on wafers which, for example, based on silicon are made.

Aus dem Stand der Technik ist es bekannt, eine Meß- und Prüfeinrichtung (tester) für elektronische Bauteile mittels einer Positionier- und Verriegelungseinheit mit Zentrierstiften unmittelbar an einer Handhabungseinrichtung (handler) für elektronische Bauteile anzubringen.Out the prior art, it is known, a measuring and testing device (tester) for electronic Components by means of a positioning and locking unit with Centering pins directly on a handling device (handler) for electronic components to install.

Nachteilig ist hierbei insbesondere, daß mehrere unterschiedliche und teure Positionier- und Verriegelungseinheiten angeschafft, gewartet und bevorratet werden müssen, sofern verschiedene Handhabungseinrichtungen (handler) für unterschiedliche elektronische Bauteile mit jeweils anderen Abmessungen und Verriegelungskonzepten mit derselben Meß- und Prüfeinrichtung (tester) oder ein Handler mit mehreren, voneinander verschiedenen Testern verbunden werden sollen.adversely Here is in particular that several different and expensive positioning and locking units purchased, maintained and stocked, provided different handling facilities (handler) for different electronic components, each with different dimensions and locking concepts with the same measuring and testing device (tester) or a handler connected to several different testers should be.

Handhabungsvorrichtungen für elektronische Bauteile verfügen in der Regel ferner über eine Vielzahl von nebeneinander angeordneten und vor- sowie zurückbewegbaren Druckstempeln (plungers), mit deren Hilfe die zu prüfenden elektronischen Bauteile in Richtung des zentrierten Kontaktsockels einer gegenüberliegenden Meß- und Prüfeinrichtung (tester) für elektronische Bauteile verfahrbar sind.handling devices for electronic Have components usually further about a plurality of juxtaposed and forward and zurückbewegbaren Plungers, with the help of which the electronic Components in the direction of the centered contact socket of an opposite Measuring and test equipment (tester) for electronic components are movable.

Von dieser Vielzahl von handlerseitig vorhandenen Druckstempeln (plungers) ist meist lediglich ein einziger Druckstempel (plunger) aktiv in Form einer sogenannten „aktiven Kontaktierungsstelle" (activ contact site).From this variety of handler existing plungers (plungers) is usually only a single plunger active in Form of a so-called "active Contacting point "(activ contact site).

Während des Testvorganges muß der im Zentrum der Meß- und Prüfvorrichtung liegende testerseitige Kontaktsockel zentriert zu dem jeweils aktiven Druckstempel (plunger) der Handhabungsvorrichtung ausgerichtet sein.During the Test procedure must the in the center of the measuring and tester lying tester-side contact socket centered to the respective active Plunger of the handling device to be aligned.

Um den meist einzigen, zentrierten Kontaktsockel der Meß- und Prüfeinrichtung (tester) mit dem jeweils aktiven, meist außermittigen Druckstempel (plunger) der Handhabungsvorrichtung (handler) in Eingriff zu bringen, ist es bei den Vorrichtungen des Standes der Technik erforderlich, die Meß- und Prüfeinrichtung vollständig sowie mühsam und zeitintensiv von der Handhabungseinrichtung zu demontieren, die ursprüngliche Positionier- und Verriegelungseinheit durch eine an die neue Position angepaßte Positionier- und Verriegelungseinheit zu ersetzen, eine zeitintensive Justage vorzunehmen und eine abschließende Verriegelung durchzuführen.Around the most single, centered contact base of the measuring and testing device (tester) with the respectively active, mostly eccentric plunger the handling device (handler) to bring is it is necessary in the devices of the prior art, the Measuring and testing device Completely as well as laboriously and time-consuming to dismantle from the handling device, the original Positioning and locking unit by one to the new position adapted Positioning and locking unit to replace, a time-consuming Make adjustment and perform a final lock.

Der zeitliche Aufwand für eine solche Umrüstung und damit die Stillstandzeit der gesamten Testvorrichtung beträgt hierfür etwa 10 Stunden.Of the time required for such a conversion and thus the down time of the entire test device is about 10 for this purpose Hours.

Zum Stand der Technik wird außerdem auf die US 5656942A und die US 20020050042 A1 verweisen.The prior art is also on the US 5656942A and the US 20020050042 A1 refer.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung einer Vorrichtung zur Verbindung einer Meß- und Prüfeinrichtung (tester) für elektronische Bauteile einerseits mit einer Handhabungseinrichtung (handler) für elektronische Bauteile andererseits, welche die Anschaffung, Wartung und Bevorratung mehrerer unterschiedlicher Positionier- und Verriegelungseinheiten selbst beim Einsatz unterschiedlicher Handhabungsvorrichtungen (handler) oder Meß- und Prüfeinrichtungen (tester) nicht erfordert und welche eine besonders schnelle, einfache, exakte und kostengünstige Anpassung der Position des oder der Kontaktsockel einer Meß- und Prüfeinrichtung (Testkopf) an die Position des jeweils aktiven Druckstempels (plunger; contact site) einer gegenüberliegenden Handhabungsvorrichtung (handler) erlaubt und damit die Stillstandzeit während des Umrüstens von einem aktiven Druckstempel auf einen anderen aktiven Druckstempel verkürzt.task The present invention is the provision of a device for connecting a measuring and testing equipment (tester) for electronic components on the one hand with a handling device (handler) for electronic components on the other hand, which the purchase, maintenance and storage of several different positioning and locking units even when using different handling devices (handler) or measuring and testing equipment (tester) is not required and which is a particularly fast, easy, exact and cost effective Adaptation of the position of the contact socket (s) of a measuring and testing device (Test head) to the position of the respective active plunger (plunger; contact site) an opposite Handling device (handler) allows and thus the downtime while of retrofitting from one active plunger to another active plunger shortened.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer gattungsgemäßen Vorrichtung durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.According to the invention this Task in a generic device by the specified in the characterizing part of claim 1 Characteristics solved.

Besonders bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der Unteransprüche.Especially preferred embodiments are Subject of the dependent claims.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:embodiments The invention will be described in more detail with reference to the drawings. Show it:

1 eine schematische perspektivische Ansicht einer Gesamtvorrichtung zum Testen elektronischer Bauteile, welche einerseits einer mittigen, erfindungsgemäßen Befestigungsplatte eine Handhabungseinrichtung für elektronische Bauteile und andererseits der mittigen, erfindungsgemäßen Befestigungsplatte eine Meß- und Prüfeinrichtung zum Testen elektronischer Bauteile aufweist; 1 a schematic perspective view of an overall device for testing electronic components, which on the one hand a central mounting plate according to the invention a Handha on-board device for electronic components and on the other hand, the central mounting plate according to the invention comprises a measuring and testing device for testing electronic components;

2 eine schematische Seitenansicht eines Querschnittes entlang der Linie A-A in 1; 2 a schematic side view of a cross section along the line AA in 1 ;

3 eine schematische perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Befestigungsplatte, von der Seite einer Meß- und Prüfeinrichtung aus betrachtet; 3 a schematic perspective view of a mounting plate according to the invention, viewed from the side of a measuring and testing device from;

4 eine schematische Vorderansicht einer erfindungsgemäßen Befestigungsplatte, von der Seite einer Meß- und Prüfeinrichtung aus betrachtet. 4 a schematic front view of a mounting plate according to the invention, viewed from the side of a measuring and testing device.

Wie bereits aus 2 hervorgeht, können an der erfindungsgemäßen mehrteiligen Befestigungsplatte (1) in der Regel einerseits eine Meß- und Prüfvorrichtung (2; Testkopf) für elektronische Bauteile und andererseits eine Handhabungsvorrichtung (3; Handler) für elektronische Bauteile mittelbar -beispielsweise über eine ein- oder mehrteilige Positionier- und Verriegelungseinrichtung (9)- oder unmittelbar reversibel anbringbar sein.As already out 2 it can be seen on the multi-part mounting plate according to the invention ( 1 ) on the one hand a measuring and testing device ( 2 ; Test head) for electronic components and on the other hand, a handling device ( 3 ; Handler) for electronic components indirectly-for example, via a one- or multi-part positioning and locking device ( 9 ) - or directly reversible be attached.

Die erfindungsgemäße Befestigungsplatte (1) umfaßt zumindest eine testerseitige Einzelplatte (4) und eine handlerseitige Einzelplatte (5) oder drei oder mehrere Einzelplatten, welche gegeneinander in x- und/oder y- und/oder z-Richtung verschiebbar und arretierbar sind.The mounting plate according to the invention ( 1 ) comprises at least one tester-side single plate ( 4 ) and a trader-side single plate ( 5 ) or three or more individual plates, which are mutually displaceable and lockable in the x and / or y and / or z direction.

Die Verstellbarkeit der einen oder der mehreren Einzelplatten (4, 5) in z-Richtung ist gegebenenfalls vornehmbar, um die handlerseitige Fläche des Kontaktsockels (15) der Meß- und Prüfeinrichtung (2) an der Rückwand der Handhabungsvorrichtung (3) anliegen zu lassen.The adjustability of the one or more individual plates ( 4 . 5 ) in z-direction is optionally vornehmbar to the handler side surface of the contact socket ( 15 ) of the measuring and testing device ( 2 ) on the rear wall of the handling device ( 3 ).

Die Verschiebbarkeit der Einzelplatten (4, 5) der Befestigungsplatte (1) gegeneinander kann beispielsweise durch ein oder mehrere Wälz- oder Gleitlager, Kugelführungsbuchsen, Gleitführungen, Rollenführungen, Linearlager, Linearführungen, Radiallager, Luftlager oder Hydrolager bewirkt werden.The displaceability of the individual plates ( 4 . 5 ) of the mounting plate ( 1 ) against each other, for example, by one or more rolling or sliding bearings, ball guide bushings, sliding guides, roller guides, linear bearings, linear guides, radial bearings, air bearings or hydraulic bearings can be effected.

Insbesondere die 3 und 4 zeigen, daß die erfindungsgemäße Befestigungsplatte (1) zur Positionierung der Einzelplatten (4, 5) einander gegenüber eine oder mehrere, an einer der Einzelplatten (4 oder 5) fest oder verschiebbar und arretierbar angebrachte Lochplatten (6) umfassen kann.especially the 3 and 4 show that the mounting plate according to the invention ( 1 ) for positioning the individual plates ( 4 . 5 ) to one another or to one another, to one of the individual plates ( 4 or 5 ) fixed or displaceable and lockable mounted perforated plates ( 6 ).

Es liegt auf der Hand, daß die Lochplatte (6) alternativ hierzu beispielsweise an der Handhabungsvorrichtung (3) oder der Meß- und Prüfeinrichtung (2) selbst mittelbar oder unmittelbar anbringbar sein kann.It is obvious that the perforated plate ( 6 ) alternatively, for example, on the handling device ( 3 ) or the measuring and testing device ( 2 ) itself can be attached directly or indirectly.

Die Lochplatte (6) kann beispielsweise in Form einer Platte mit Bohrungen, eines Gitters, Netzes oder Rahmens mit Segmenten ausgestaltet sein.The perforated plate ( 6 ) may for example be designed in the form of a plate with holes, a grid, network or frame with segments.

Vorzugsweise greifen in die beispielsweise an der handlerseitigen Einzelplatte (5) oder an der Handhabungsvorrichtung (3) oder an der Meß- und Prüfeinrichtung (2) angebrachte Lochplatte (6) eine oder mehrere, an der anderen, gegebenenfalls testerseitigen Einzelplatte (4) angebrachte Arretierungseinrichtungen (7) reversibel ein.Preferably engage in the example on the handler side single plate ( 5 ) or on the handling device ( 3 ) or at the measuring and testing device ( 2 ) mounted perforated plate ( 6 ) one or more, on the other, optionally tester-side single plate ( 4 ) attached locking devices ( 7 ) reversibly.

Die mindestens eine Arretierungseinrichtung (7) kann beispielsweise in Form eines gefederten oder ungefederten Positionierstiftes, eines Schnappmechanismus, eines Einrastmechanismus oder eines Druckstückes ausgebildet sein.The at least one locking device ( 7 ) may be formed, for example, in the form of a sprung or unsprung positioning pin, a snap mechanism, a latching mechanism or a pressure piece.

In der Regel ist die mindestens eine Lochplatte (6) auswechselbar angebracht und vorzugsweise in x- und/oder y- und/oder z- Richtung verstellbar gelagert und arretierbar.As a rule, the at least one perforated plate ( 6 ) mounted replaceably and preferably in the x and / or y and / or z-direction adjustably mounted and lockable.

Vorzugsweise korrespondieren die Abstände und Anordnungen der Bohrungen dieser Lochplatte (6) zu den Abständen und Anordnungen der Druckstempel (plungers; contact sites) der Handhabungsvorrichtung (3; handler).Preferably, the distances and arrangements of the holes of this perforated plate ( 6 ) to the distances and arrangements of the plungers (contact sites) of the handling device ( 3 ; handler).

Aufgrund dieser Entsprechung der Positionen der Ausnehmungen der Lochplatte (6) und der Positionen der handlerseitigen Druckstempel sind gegebenenfalls durch einen einfachen und schnellen Lochwechsel innerhalb derselben Lochplatte (6) der oder die mittigen Kontaktierungssockel (15) einer einerseitigen Meß- und Prüfeinrichtung (2) über dem oder den aktiven, meist außermittigen Druckstempeln (plungers) einer anderseitigen Handhabungsvorrichtung (3; handler) zentrierbar.Due to this correspondence of the positions of the recesses of the perforated plate ( 6 ) and the positions of the dealer-side plunger are optionally by a simple and quick hole change within the same perforated plate ( 6 ) the central contacting base (s) ( 15 ) a one-sided measuring and testing device ( 2 ) over the active or mostly off-center plunger (plunger) of another handling device ( 3 ; Handler) centerable.

Bei einem Wechsel der Handhabungsvorrichtung (3) kann die ursprüngliche Lochplatte (6) gegen eine an die Stempelabstände und Stempelanordnung der neuen Handhabungsvorrichtung (3) angepaßte Lochplatte (6) ebenfalls schnell und einfach ausgetauscht werden.When changing the handling device ( 3 ), the original perforated plate ( 6 ) against one of the stamp spacings and stamping arrangement of the new handling device ( 3 ) adapted perforated plate ( 6 ) can also be exchanged quickly and easily.

In beiden vorgenannten Fällen wird die aus dem Stand der Technik bekannte und gefürchtete Stillstandzeit beziehungsweise Umrüstzeit der gesamten Testvorrichtung von etwa 10 Stunden auf etwa 10 Minuten verkürzt, wodurch sich eine dramatische Verbesserung des Durchsatzes und damit der Wirtschaftlichkeit einer mit der erfindungsgemäßen Befestigungsplatte (1) ausgerüsteten Testvorrichtung ergibt.In both of the aforementioned cases, the known and dreaded downtime of the entire test device of the entire test device is shortened from about 10 hours to about 10 minutes, resulting in a dramatic improvement of the throughput and thus the economy of a mounting plate according to the invention ( 1 ) equipped test device.

Wie den 1, 3 und 4 zu entnehmen ist, kann die erfindungsgemäße Befestigungsplatte (1) in einer bevorzugten Ausführungsform beispielsweise für die testerseitige, eine Meß- und Prüfeinrichtung (2) tragende, verschiebbare Einzelplatte (4) eine selbsthemmende, zumindest in y-Richtung wirkende Höhenverstellung (8) umfassen.Like that 1 . 3 and 4 it can be seen, the mounting plate according to the invention ( 1 ) in a preferred embodiment For example, for the tester side, a measuring and testing device ( 2 ) carrying, sliding single plate ( 4 ) a self-locking, at least in the y direction acting height adjustment ( 8th ).

Im Falle einer Entriegelung der Arretierungseinrichtung (7) kann dank einer solchen selbsthemmenden Höhenverstellung (8) ein unbeabsichtigtes Absinken der verschiebbaren testerseitigen Einzelplatte (4) mit der daran angebrachten Meß- und Prüfvorrichtung (2) sicher vermieden werden.In case of unlocking the locking device ( 7 ) thanks to such self-locking height adjustment ( 8th ) an unintentional lowering of the displaceable tester-side single plate ( 4 ) with the measuring and testing device ( 2 ) safely avoided.

Die selbsthemmende und zumindest in y-Richtung wirkende Höhenverstellung (8) kann beispielsweise in Form einer elektrischen, hydraulischen, pneumatischen oder mechanischen Verstelleinrichtung oder eines Spindelmechanismus, Zahnstangenmechanismus, eines Riemens, einer Kette oder in Form von Bändern, Seilen oder Bowdenzügen ausgebildet sein.The self-locking and at least in y-directional height adjustment ( 8th ) may for example be in the form of an electric, hydraulic, pneumatic or mechanical adjustment device or a spindle mechanism, rack and pinion mechanism, a belt, a chain or in the form of bands, cables or Bowden cables.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform umfaßt die erfindungsgemäße Befestigungsplatte ferner eine Sicherungseinrichtung, welche erst nach ihrer Deaktivierung ein Verschieben der Einzelplatten (4, 5) gegeneinander zuläßt.In a particularly preferred embodiment, the mounting plate according to the invention further comprises a securing device which only after its deactivation, a displacement of the individual plates ( 4 . 5 ) against each other.

Grundsätzlich kann die Verschiebbarkeit der Einzelplatten (4, 5) gegeneinander manuell und/oder hydraulisch und/oder pneumatisch und/oder elektrisch und/oder mechanisch erfolgen.Basically, the displaceability of the individual plates ( 4 . 5 ) against each other manually and / or hydraulically and / or pneumatically and / or electrically and / or mechanically.

Gegebenenfalls sind auf der testerseitigen Einzelplatte (4) ein oder mehrere Positionier- und Verriegelungseinrichtungen (9; docking-Einrichtungen) zur mittelbaren Be festigung und Positionierung der Meß- und Prüfeinrichtung (2; Testkopf) an der testerseitigen Einzelplatte (4) reversibel oder irreversibel anbringbar.If necessary, on the tester side single plate ( 4 ) one or more positioning and locking devices ( 9 ; docking equipment) for the indirect fastening and positioning of the measuring and testing equipment ( 2 ; Test head) on the tester-side single plate ( 4 ) reversibly or irreversibly attachable.

So kann die testerseitige Einzelplatte (4) eine oder mehrere Aussparungen (10), Bohrungen mit oder ohne Gewinde, Aufbauten, Adapter, Haken oder Kulissen für die reversible Anbringung einer ein- oder mehrteiligen Positionierungs- und Verriegelungseinrichtung (9) oder für die unmittelbare Anbringung einer Meß- und Prüfvorrichtung (2) aufweisen.Thus, the tester-side single plate ( 4 ) one or more recesses ( 10 ), Threaded or unthreaded bores, abutments, adapters, hooks or links for the reversible attachment of a one- or multi-part positioning and locking device ( 9 ) or for the direct attachment of a measuring and testing device ( 2 ) exhibit.

Wie insbesondere aus den 3 und 4 hervorgeht, kann die erfindungsgemäße Befestigungsplatte (1) in bevorzugten Ausführungsformen in ihrer testerseitigen Einzelplatte (4) eine zentrale, runde oder polygonale Aussparung (11) zur reversiblen, mittelbaren oder unmittelbaren Aufnahme einer zwischen der Meß- und Prüfeinrichtung (2) und der Handhabungsvorrichtung (3) wirkenden Kontaktplatine (12; device-under-test-board) aufweisen.As in particular from the 3 and 4 it can be seen, the mounting plate according to the invention ( 1 ) in preferred embodiments in their tester-side single plate ( 4 ) a central, round or polygonal recess ( 11 ) for the reversible, direct or indirect recording of a between the measuring and testing device ( 2 ) and the handling device ( 3 ) acting contact board ( 12 ; device-under-test-board).

Gegebenenfalls ist in die Aussparung (11) der testerseitigen Einzelplatte (4) eine an die Form der Aussparung (11) außenseitig und an die Form der Kontaktplatine (12) innenseitig angepaßte Kontaktplatinen-Abstützung (13; deviceundertestboard-support) reversibel sowie lose passend oder im wesentlichen gasdicht einsetzbar.If necessary, in the recess ( 11 ) of the tester-side single plate ( 4 ) one to the shape of the recess ( 11 ) on the outside and to the shape of the contact board ( 12 ) inside adapted contact board support ( 13 ; deviceundertestboard-support) reversibly and loosely fitting or essentially gas-tight.

In der Regel ist die Kontaktplatinen-Abstützung (13) ringförmig, strebenförmig, gitterförmig, quadratisch, rechteckig oder polygonal sowie elektrisch isolierend ausgestaltet.In general, the contact board support ( 13 ) annular, strut-shaped, lattice-shaped, square, rectangular or polygonal and electrically insulating designed.

Der Vorteil einer elektrisch isolierenden Ausgestaltung der Kontaktplatinen-Abstützung (13) liegt in einer sicheren Vermeidung einer zerstörerischen Kurzschlußgefahr.The advantage of an electrically insulating design of the contact board support ( 13 ) is in a safe avoidance of a destructive risk of short circuit.

Korrespondierend zu der mittigen Aussparung (11) der testerseitigen Einzelplatte (4) kann auch die handlerseitige Einzelplatte (5) eine mittig zentrierte Aussparung (14) zur Aufnahme und/oder Führung des oder der Kontaktsockel (15) einer Handhabungseinrichtung (3) aufweisen.Corresponding to the central recess ( 11 ) of the tester-side single plate ( 4 ) can also the handlersseitige single plate ( 5 ) a centrally centered recess ( 14 ) for receiving and / or guiding the contact base (s) ( 15 ) a handling device ( 3 ) exhibit.

Zusammenfassend ist festzustellen, daß im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine befestigungsplattenförmige Vorrichtung zur Verbindung einer Meß- und Prüfeinrichtung (tester) für elektronische Bauteile einerseits mit einer Handhabungseinrichtung (handler) für elektronische Bauteile andererseits bereitgestellt wird.In summary It should be noted that in the context the present invention, a mounting plate-shaped device for connecting a measuring and testing equipment (tester) for electronic components on the one hand with a handling device (handler) for On the other hand, electronic components are provided.

Durch den Einsatz der erfindungsgemäßen, hinsichtlich ihrer Einzelplatten (4, 5) verfahrbaren Befestigungsplatte (1) ist die Anschaffung, Wartung und Bevorratung mehrerer unterschiedlicher, teurer Positionier- und Verriegelungseinheiten selbst beim Einsatz unterschiedlicher Handhabungsvorrichtungen (handler) oder Meß- und Prüfeinrichtungen (tester) erstmalig nicht mehr erforderlich.By the use of the invention, in terms of their individual plates ( 4 . 5 ) movable mounting plate ( 1 ) is the purchase, maintenance and storage of several different, expensive positioning and locking units even when using different handling devices (handler) or measuring and testing equipment (tester) no longer required for the first time.

Darüber hinaus gestattet die erfindungsgemäße Befestigungsplatte (1) eine besonders schnelle, einfache, exakte und kostengünstige Anpassung der Position des oder der Kontaktsockel (15) einer Meß- und Prüfeinrichtung (2; Testkopf) an die Position des jeweils aktiven Druckstempels (plunger; contact site) einer gegenüberliegend angebrachten Handhabungsvorrichtung (3; handler).In addition, the mounting plate according to the invention ( 1 ) a particularly fast, simple, exact and cost-effective adjustment of the position of the contact base or bases ( 15 ) a measuring and testing device ( 2 ; Test head) to the position of the respective active plunger (contact site) of an oppositely mounted handling device ( 3 ; handler).

Die Stillstandzeit während des Umrüstens von einem aktiven Druckstempel auf einen anderen aktiven Druckstempel der Handhabungseinrichtung (3) wird dank der erfindungsgemäßen Befestigungsplatte (1) folglich dramatisch verkürzt und damit der Durchsatz beziehungsweise die Wirtschaftlichkeit der gesamten Testvorrichtung erheblich verbessert.The standstill time during the conversion from one active plunger to another active plunger of the handling device ( 3 ) is thanks to the mounting plate ( 1 ) dramatically shortened and thus significantly improves the throughput or the efficiency of the entire test device.

Claims

Multi-part mounting plate ( 1 ) to mittelba ren or immediate attachment of a measuring and testing device ( 2 ; Test head) for electronic components on the one hand and a handling device ( 3 ; Handler) for electronic components on the other hand, characterized in that they at least one tester-side single plate ( 4 ) and a trader-side single plate ( 5 ) or three or more individual plates which are mutually displaceable and lockable in the x and / or y direction, wherein the displaceability of the individual plates ( 4 . 5 ) of the mounting plate ( 1 ) is effected against each other by one or more rolling or sliding bearings, ball guide bushings, sliding guides, roller guides, linear bearings, linear guides, radial bearings, air bearings or hydraulic bearings.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to claim 1, characterized in that the individual plates ( 4 . 5 ) in the x and / or y and z directions are mutually displaceable and lockable.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that it is used for positioning the individual plates ( 4 . 5 ) to one another or to one another, to one of the individual plates ( 4 or 5 ) fixed or displaceable and lockable mounted perforated plates ( 6 ), in which one or more, on the other single plate ( 4 or 5 ) attached locking devices ( 7 ) reversibly intervene.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the perforated plate ( 6 ) is interchangeable, wherein the distances and arrangements of the holes of this perforated plate ( 6 ) the distances and arrangements of the plunger (contact surfaces) of the handling device ( 3 ; handler), so that by a simple hole change, within the same perforated plate ( 6 ) the central contacting base (s) ( 15 ) of the measuring and testing device ( 2 ) over the active plunger (s) of the handling device ( 3 ; handler) are centered and wherein at a change of the handling device ( 3 ) the original perforated plate ( 6 ) against one of the stamp spacings and stamping arrangement of the new handling device ( 3 ) adapted perforated plate ( 6 ) is to be exchanged.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one perforated plate ( 6 ) is adjustably mounted and lockable in the x and / or y direction.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to claim 5, characterized in that the at least one perforated plate ( 6 ) is adjustably mounted and lockable in the x and / or y and z directions.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one locking device ( 7 ) in the form of a sprung or unsprung positioning pin, a snap mechanism, a latching mechanism or a pressure piece is formed.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that it is suitable for the one measuring and testing device ( 2 ) carrying, sliding single plate ( 4 ) a self-locking, at least in the y direction acting height adjustment ( 8th ), so that in case of unlocking the locking device ( 7 ) an unintentional lowering of the displaceable tester-side single plate ( 4 ) with the measuring and testing device ( 2 ) is avoided.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to claim 8, characterized in that the self-locking and acting in the y direction height adjustment ( 8th ) in the form of an electrical, hydraulic, pneumatic or mechanical adjusting device or a spindle mechanism, rack and pinion mechanism, a belt, a chain or in the form of bands, cables or Bowden cables is formed.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that it comprises a securing device which only after its deactivation, a displacement of the individual plates ( 4 . 5 ) against each other.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the displaceability of the individual plates ( 4 . 5 ) against each other manually, hydraulically, pneumatically, electrically or mechanically.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that on the tester-side single plate ( 4 ) one or more positioning and locking devices ( 9 ; docking equipment) for fixing and positioning the measuring and testing device ( 2 ; Test head) on the tester-side single plate ( 4 ) are reversibly or irreversibly attachable.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the tester-side single plate ( 4 ) one or more recesses ( 10 ), Threaded or unthreaded bores, abutments, adapters, hooks or links for the reversible attachment of a one- or multi-part positioning and locking device ( 9 ) or for the direct attachment of a measuring and testing device ( 2 ) having.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the tester-side single plate ( 4 ) a central, round or polygonal recess ( 11 ) for the reversible, direct or indirect recording of a between the measuring and testing device ( 2 ) and the handling device ( 3 ) acting contact board ( 12 ; device-under-test-board).

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to claim 14, characterized in that in the recess ( 11 ) of the tester-side single plate ( 4 ) one to the shape of the recess ( 11 ) on the outside and to the shape of the contact board ( 12 ) inside adapted contact board support ( 13 ; deviceundertestboard-support) can be used reversibly as well as loosely fitting or gas-tight.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to claim 15, characterized in that the contact board support ( 13 ) is configured annular, strut-shaped, lattice-shaped, square, rectangular or polygonal and electrically insulating.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the handler-side single plate ( 5 ) a centrally centered recess ( 14 ) for receiving and / or guiding the printing stamp or stamps ( 15 ) of the handling device ( 3 ) having.

Multi-part mounting plate ( 1 ) according to one of claims 2 to 17, characterized in that the adjustability of the one or more individual plates ( 4 . 5 ) in the z-direction manually, hydraulically, pneumatically, electrically or mechanically vornehmbar to the handlerseitige surface of contact sockets ( 15 ) of the measuring and testing device ( 2 ) on the rear wall of the handling device ( 3 ).