WO2007054256A1 - Beschichteter sanitärgegenstand - Google Patents

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WO2007054256A1
WO2007054256A1 PCT/EP2006/010626 EP2006010626W WO2007054256A1 WO 2007054256 A1 WO2007054256 A1 WO 2007054256A1 EP 2006010626 W EP2006010626 W EP 2006010626W WO 2007054256 A1 WO2007054256 A1 WO 2007054256A1
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layer
alloy
nickel
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PCT/EP2006/010626
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Armin Waidele
Martin Surm
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Hansgrohe Ag
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    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
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    • C22C19/03—Alloys based on nickel or cobalt based on nickel
    • C22C19/05—Alloys based on nickel or cobalt based on nickel with chromium
    • C22C19/058—Alloys based on nickel or cobalt based on nickel with chromium without Mo and W
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
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    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
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    • Y10T428/12771—Transition metal-base component

Definitions

  • the invention relates to coated articles, in particular coated sanitary articles, to a method for the production thereof and to a related target for a PVD (physical vapor deposition) method.
  • PVD physical vapor deposition
  • these sanitary articles have to fulfill certain functional requirements, for example being highly corrosion-resistant, easy to clean, scratch-resistant, to name but a few of these requirements.
  • they must meet high decorative demands, ie it must, for example, shiny or matte surfaces are provided with a specific look.
  • coatings and surfaces with a metallic appearance have become increasingly important.
  • both bright and silvery-white surfaces and rather matt-glossy surfaces are provided.
  • the so-called aluminum look is in demand, ie a surface that comes as close as possible to the visual appearance of aluminum.
  • the invention has the object to provide sanitary articles and a method for their production, with their Help the aforementioned surfaces are realized or realized.
  • the already mentioned aluminum look should be achieved.
  • the objects thus provided should meet the high functional requirements in the sanitary sector, that is, in particular with regard to corrosion resistance, chemical resistance, abrasion resistance and the like.
  • the invention comprises a so-called target for a PVD (Physical Vapor Deposition) method according to claim 32 and its use according to claim 40.
  • PVD Physical Vapor Deposition
  • Particular embodiments of the claimed target are shown in the dependent claims 33 to 39.
  • the article according to the invention in particular the sanitary article, consists of a basic body to which the coating already explained is applied.
  • This body can be directly coated according to the invention.
  • at least one layer (hereinafter referred to as the first layer) is applied to the base body, to which the (further) layer present according to the invention is then applied.
  • this first layer preferably consists of at least one metal or at least one metal alloy.
  • the (further) layer on the base body or on the first layer is according to the invention a ruthenium-containing layer.
  • Ruthenium (Ru) is known to belong to the group of platinum metals. Ie and is characterized on the one hand by a high resistance to corrosion and chemicals and on the other hand by a bright metallic inherent color. Unlike platinum or palladium, ruthenium is much cheaper to procure in terms of price.
  • the ruthenium-containing layer is applied by a PVD (physical vapor deposition) method.
  • PVD physical vapor deposition
  • the ruthenium-containing layer consists of a ruthenium-containing alloy.
  • the additional alloy constituents make it possible on the one hand to favorably influence the surface color of the applied layer and, on the other hand, in particular the corrosion and abrasion resistance of this layer.
  • this ruthenium-containing alloy is a nickel-chromium-ruthenium (NiCrRu) alloy.
  • NiCrRu nickel-chromium-ruthenium
  • the nickel and ruthenium contained in the alloy affect the surface color while the chromium contained in the alloy exerts an influence on the corrosion, chemical and abrasion resistance. Accordingly, the combination of the alloy components nickel, chromium and ruthenium is particularly advantageous.
  • the ruthenium content of the ruthenium-containing layer, in particular of said alloy is at least 12% by weight, preferably at least 15% by weight.
  • Ruthenium content between 15 wt .-% and 25 wt .-%, in particular between 20 wt .-% and 24 wt .-%, particularly preferably.
  • the nickel contents of the layer or of the alloy are preferably at least 60% by weight, in particular at least 70% by weight. In this case, nickel contents between 70 wt .-% and 85 wt .-%, in particular between 74 wt .-% and 78 wt .-%, more preferred.
  • the preferred chromium contents in the layer or alloy are at least 1% by weight.
  • the chromium contents are between 2% by weight and 4% by weight.
  • the ruthenium-containing layer consists of a nickel-chromium-ruthenium alloy with nickel contents between 74% by weight and 78% by weight, chromium contents between 2% by weight. % and 4 wt .-% and ruthenium contents between 20 wt .-% and 24 wt .-%.
  • nickel-chromium-ruthenium alloys an alloy having a nickel content of about 74 wt .-%, a chromium content of about 2 wt .-% and a ruthenium content of about 24 wt .-% is particularly preferred.
  • the thickness of the ruthenium-containing layer on the base body or on the first layer located on the base body can be varied within wide limits.
  • this layer must be sufficiently thick to perform its function in terms of chemical, corrosion and abrasion resistance.
  • layer thicknesses for the ruthenium-containing layer between 0.1 ⁇ m and 5 ⁇ m are preferred. Within this range, layer thicknesses are between 0.2 ⁇ m and 2 microns, preferably between 0.2 .mu.m and 1 .mu.m, to emphasize.
  • the basic body for the article according to the invention can in principle be made of any desired material.
  • these are all types of materials that can be used in the sanitary area.
  • these are preferably base bodies made of metals or basic bodies with metallic surfaces. These are in particular bodies made of brass or zinc (in particular zinc die casting), as used for example in sanitary fittings.
  • basic bodies made of plastics or basic bodies with plastic surfaces should be emphasized. These are, in particular, base bodies of ABS (acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer), of PA (polyamide) or ABS / PC (ABS copolymer with polycarbonate).
  • ABS acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer
  • PA polyamide
  • ABS / PC ABS copolymer with polycarbonate
  • the base body or a first layer applied to the base body are mechanically surface-treated.
  • This mechanical surface treatment may in particular be a brushing or blasting, in particular sand blasting.
  • the first layers which may have been initially applied to the base body, preferably consist of metals or metal alloys. These can be applied in particular chemically (de-energized) or galvanically (with electricity).
  • metals and metal alloys in particular copper, nickel and copper To name nickel alloys.
  • a chromium layer is applied as the uppermost first layer. In particular, this may be a matt chrome layer.
  • the layer thicknesses of the first layer (s) are usually between 10 .mu.m and 50 .mu.m, of course much lower in the case of chromium.
  • At least one covering layer of a siloxane / polysiloxane can be located above the ruthenium-containing layer.
  • Derarti- ge coatings are also known in the art and serve in the present case to prevent a so-called fingerprint effect or to improve the ease of cleaning and the Abperl for water. Such coatings avoid the presence of greasy fingerprints on the article.
  • the layer thicknesses of such cover layers are preferably ⁇ 5 .mu.m, in particular ⁇ 1 .mu.m.
  • the invention also encompasses a method for producing the described objects, in particular sanitary articles.
  • This process involves, if appropriate, initially applying at least one (first) layer to a base body which is to be coated according to the invention.
  • this (first) coating consists of the application of at least one metal or at least one metal alloy.
  • a ruthenium-containing layer is then applied to the base body directly or to the first (or first) layer (s) applied.
  • PVD physical vapor deposition
  • Such physical vapor deposition processes are known to those skilled in the art. It is a coating process in which the material to be deposited is initially in solid form. As a rule, the process takes place in a vacuum chamber under reduced pressure.
  • the vacuum chamber is loaded with the object to be coated and evacuated. Then the actual coating takes place, whereupon the vacuum chamber is ventilated and the coated object is removed. It is also possible to implement continuous flow processes via corresponding lock systems. Normally, PVD processes are used for depositing thin layers in the range of a few nm down to a few ⁇ m.
  • the solid starting material for the coating can be converted into the vapor phase by evaporation (with arc, [arc] or electron beam) or by sputtering in a high vacuum and then deposited again on the object to be coated.
  • evaporation with arc, [arc] or electron beam
  • sputtering in a high vacuum and then deposited again on the object to be coated.
  • the inventive method on the main body or coated with the first layer body preferably alloys with a nickel content between 74 wt .-% and 78 wt .-%, a chromium content between see 2 wt .-% and 4 wt. -% and a ruthenium content between 20 wt .-% and 24 wt .-% applied.
  • this alloy is one with a nickel content of about 74 wt .-%, a chromium content of about 2 wt .-% and a ruthenium content of about 24 wt .-%.
  • the layer thickness of the ruthenium-containing layer of preferably 0.1 .mu.m to 5 .mu.m, in particular 0.5 .mu.m to 2 .mu.m, should be expressly mentioned again.
  • the invention further comprises the so-called target for a PVD (physical vapor deposition) method as set forth in claim 32.
  • Target is the solid material source from which the material for the coating originates. This target is then vaporized or atomized in carrying out the method in the sense of the above embodiments so as to be applied to the substrate, i. H. the object to be coated, to be separated again.
  • this target consists of a ruthenium-containing alloy, preferably of a nickel-chromium-ruthenium alloy.
  • the NiCrRu alloy advantageously has a ruthenium content of at least 12% by weight, preferably at least 15% by weight.
  • the ruthenium content of the alloy is in particular between 15% by weight and 25 wt .-%, within which Rutheniumgehalte between 20 wt .-% and 24 wt .-% are further highlighted.
  • the nickel contents of the alloy are at least 60% by weight, preferably at least 70% by weight. Within these preferred ranges, nickel contents between 70% by weight and 85% by weight should be emphasized, with nickel contents of between 74% by weight and 78% by weight being further preferred.
  • the chromium contents of the alloy are at least 1 wt .-%, preferably they are between 2 wt .-% and 4 wt .-%.
  • the target of the present invention is preferably comprised of nickel-chromium-ruthenium alloys having nickel contents between 74% and 78% by weight, chromium contents between 2% and 4% by weight, and ruthenium contents between 20% by weight and 24% by weight.
  • the target is made of an alloy having a nickel content of about 74 wt .-%, a chromium content of about 2 wt .-% and a ruthenium content of about 24 wt .-%.
  • the target described is preferably used for coating sanitary articles such as sanitary fittings, sanitary showers and the like.
  • the invention provides articles, in particular sanitary articles, which, on the one hand, fulfill important functional requirements and, on the other hand, important decorative requirements.
  • this makes it possible to produce objects with highly resistant surfaces, as they are currently desired in the field of sanitary engineering.
  • the properties of corrosion resistance, chemical durability and abrasion resistance are currently desired in the field of sanitary engineering.
  • the articles have metallic surfaces (as desired shiny or rather matt or in aluminum optics), which correspond to the customer's request, here again in particular in the field of sanitary technology, to a high degree.
  • This simultaneous fulfillment of functional and decorative requirements characterizes the invention to a particular extent compared to the prior art.
  • the ruthenium is still a relatively inexpensive element of the platinum group of the Periodic Table of the Elements and accordingly just for a production in larger product series can be used.
  • the appearance of the surface can be varied while maintaining the surface resistance required for the particular application. This is especially true when using the preferred nickel-chromium-ruthenium alloys.
  • the surface optics in particular their brightness and color, can be varied.
  • a further possibility for variation also exists in the selection of the PVD method used and its parameters in the coating method according to the invention.
  • reactive gases can be additionally introduced into the evaporated / atomized coating material. These reactive gases may be, for example, oxygen, nitrogen, acetylene or methane.
  • the brightness and color of the coating can be influenced in this way.
  • This selection can also be made in response to the first layers located on the main body. If one wishes to obtain a matt-shining optical impression (produced, for example, by a matt chrome layer), the ruthenium-containing layer is adjusted by selecting a corresponding alloy composition and / or by selecting reaction gases such that it is not too bright or shiny. Conversely, a light or shiny ruthenium-containing layer can be provided both in the case of rather matt or shiny substrates.
  • this hollow cathode consisted of a nickel-chromium-ruthenium alloy with 74% by weight of nickel, 2% by weight of chromium and 24% by weight of ruthenium.
  • This target is connected as a cathode to an anode also in the system, and a hollow cathode glow discharge is generated by applying a voltage.
  • atomization of the cathode material takes place on the (inner) cathode surface.
  • the material atomised there is carried outwards with the aid of an argon gas stream, in the direction of the layering substrate.
  • this substrate was the main body of a sanitary fitting made of brass, which was coated in a known manner with several (first) layers, at the top of a matt chrome layer. Outside the hollow cathode, oxygen was fed as the reactive gas.
  • a coating duration of 3 minutes produced a ruthenium-containing coating with a layer thickness of about 400 nm.
  • the layer thickness was uniform over the entire article.

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Abstract

Ein Gegenstand, insbesondere Sanitärgegenstand, weist einen Grundkörper, eine gegebenenfalls auf dem Grundkörper vorhandene erste Schicht und über dieser ersten Schicht eine Ruthenium-haltige Schicht auf. Diese Ruthenium-haltige Schicht ist mit einem PVD-Verfahren aufgebracht und besteht vorzugsweise aus einer Ruthenium-haltigen Legierung. Bei dieser Legierung handelt es sich insbesondere um eine Nickel-Chrom-Ruthenium-Legierung. Weiter umfaßt die Erfindung ein entsprechendes Herstellungsverfahren und ein PVD-Target aus einer Nickel-Chrom-Ruthenium-Legierung.

Description

Beschreibung Beschichteter Sanitärqeqenstand
Die Erfindung betrifft beschichtete Gegenstände, insbesondere beschichtete Sanitärgegenstände, ein Verfahren zu deren Herstellung sowie ein damit in Zusammenhang stehendes Target für ein PVD- (physi- cal vapour deposition) Verfahren.
Es ist bereits seit langem bekannt, die unterschiedlichsten Gegenstände, insbesondere solche, die im weitesten Sinne dem sogenannten Haushaltsbereich zuzuordnen sind, mit Beschichtungen aus anorganischen oder organischen Materialien zu versehen. Derartige Beschichtungen werden zum einen aufgrund funktioneller Anforderungen, z. B. zum Korrosionsschutz, oder zum anderen aufgrund dekorativer Anforderungen, z. B. zur Erzeugung einer bestimmten Optik, aufgebracht. Häufig wird dabei derselbe Gegenstand sowohl aus funktionellen als auch aus dekorativen Gründen beschichtet.
Von besonderer Bedeutung sind die erwähnten Beschichtungen bei allen Arten von Sanitärgegenständen, insbesondere bei Sanitärarmaturen, Sanitärbrausen und dergleichen. Diese Sanitärgegenstände müssen nämlich einerseits bestimmten funktionellen Anforderungen genügen, d. h. beispielsweise in hohem Maße korrosionsbeständig sein, leicht zu reinigen sein, kratzbeständig sein, um nur einige dieser Anforderungen zu nennen. Zum anderen müssen sie hohen dekorativen Ansprüchen genügen, d. h. es müssen beispielsweise glänzende oder matte Oberflächen mit einer bestimmten Optik bereitgestellt werden. Dabei haben in den letzten Jahren Beschichtungen und Oberflächen mit einem metalli- sehen Aussehen eine immer größere Bedeutung erlangt. So sollen bei Sanitärgegenständen zum einen sowohl helle und silbrigweiße Oberflächen als auch eher mattglänzende Oberflächen bereitgestellt werden. Zum anderen ist gerade auch die sogenannte Aluminiumoptik begehrt, d. h. eine Oberfläche, die dem optischen Erscheinungsbild von Aluminium möglichst nahekommt.
Gerade bei Sanitärgegenständen ist es häufig schwierig, die gestellten Anforderungen in funktioneller Hinsicht und dekorativer Hinsicht gleichzeitig zu erfüllen. So gibt es zum einen Beschichtungen, die zwar ausreichend korrosionsbeständig und dergleichen sind, jedoch keine zufriedenstellende Optik bereitstellen. Zum anderen gibt es Beschichtungen, die die gewünschte Optik mehr oder weniger gut treffen, jedoch nicht ausreichend korrosionsbeständig sind oder eine vorhandene Korrosionsbeständigkeit negativ beeinflussen. Schließlich gibt es Beschichtungen, die nur mit sehr aufwendigen Verfahren auf die entsprechenden Gegenstände aufgebracht werden können und dementsprechend für übliche Produktionsverfahren, insbesondere in Großserien, nicht geeignet sind.
Dies zeigt sich beispielsweise im Zusammenhang mit der oben erwähnten Aluminiumoptik. So gibt es gängige Herstellungsverfahren zum Erreichen einer solchen Optik, wie beispielsweise - Lackieren der Gegenstände mit Metallpigmenten, Einsatz von eloxiertem Aluminium,
Bedampfen des Gegenstands mit Aluminium und anschließendes Aufbringen eines Schutzlacks, Verchromen einer Oberfläche aus Halbglanznickel.
Alle diese Verfahren haben jedoch den bereits geschilderten Nachteil, daß sie entweder zu wenig der gewünschten Aluminiumfarbe entsprechen oder nicht die hohen Anforderungen des Sanitärmarkts in Bezug auf Chemikalien- und Abriebbeständigkeit erfüllen.
Dementsprechend stellt sich die Erfindung die Aufgabe, Sanitärgegenstände und ein Verfahren zu deren Herstellung bereitzustellen, mit deren Hilfe die zuvor genannten Oberflächen realisiert sind bzw. realisiert werden. Insbesondere soll dabei die bereits erwähnte Aluminiumoptik erzielt werden. Gleichzeitig sollen die so bereitgestellten Gegenstände die hohen funktionellen Anforderungen im Sanitärbereich, also insbesondere im Hinblick auf Korrosionsbeständigkeit, Chemikalienbeständigkeit, Abriebbeständigkeit und dergleichen erfüllen.
Diese Aufgabe wird gelöst durch den Gegenstand mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch das Beschichtungsverfahren mit den Merk- malen des Anspruchs 17. Bevorzugte Ausführungsformen dieses Gegenstands bzw. dieses Verfahrens sind in den abhängigen Ansprüchen 2 bis 16 und 18 bis 31 dargestellt.
Weiter umfaßt die Erfindung ein sogenanntes Target für ein PVD- (phy- sical vapour deposition) Verfahren gemäß Anspruch 32 und dessen Ver- wendung gemäß Anspruch 40. Besondere Ausführungsformen des beanspruchten Targets sind in den abhängigen Ansprüchen 33 bis 39 dargestellt.
Der Wortlaut sämtlicher Ansprüche wird hiermit durch Bezugnahme zum Inhalt dieser Beschreibung gemacht.
Der erfindungsgemäße Gegenstand, insbesondere der Sanitärgegenstand, besteht aus einem Grundkörper, auf den die bereits erläuterte Be- schichtung aufgebracht wird. Dieser Grundkörper kann erfindungsgemäß direkt beschichtet sein. Häufig ist jedoch auf den Grundkörper ge- gebenenfalls mindestens eine Schicht (im folgenden als erste Schicht bezeichnet) aufgebracht, auf die dann die erfindungsgemäß vorhandene (weitere) Schicht aufgebracht ist. Dabei besteht diese erste Schicht vorzugsweise aus mindestens einem Metall oder mindestens einer Metallegierung. Bei der (weiteren) Schicht auf dem Grundkörper oder auf der ersten Schicht handelt es sich erfindungsgemäß um eine Ruthenium-haltige Schicht. Ruthenium (Ru) gehört bekanntlich zur Gruppe der Platinmetal- Ie und zeichnet sich einerseits durch eine hohe Korrosions- und Chemikalienbeständigkeit und andererseits durch eine metallisch helle Eigenfarbe aus. Im Gegensatz zu Platin oder Palladium ist Ruthenium in Bezug auf den Preis wesentlich günstiger in der Beschaffung.
Bei der Erfindung ist es bevorzugt, wenn die Ruthenium-haltige Schicht mit einem PVD- (physical vapour deposition) Verfahren aufgebracht ist. Auf diese Weise läßt sich das Ruthenium besonders gleichmäßig auf die zu beschichtende Oberfläche aufbringen. PVD-Verfahren sind dem Fachmann bekannt und werden später im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren noch näher erläutert.
Bei besonders bevorzugten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Gegenstands besteht die Ruthenium-haltige Schicht aus einer Ru- thenium-haltigen Legierung. Durch die zusätzlichen Legierungsbestandteile (neben dem Ruthenium) läßt sich zum einen die Oberflächenfarbe der aufgebrachten Schicht und zum anderen insbesondere die Korrosions- und Abriebbeständigkeit dieser Schicht günstig beeinflussen. Dabei handelt es sich bei dieser Ruthenium-haltigen Legierung insbesondere um eine Nickel-Chrom-Ruthenium- (NiCrRu) Legierung. Ohne die Erfindung hier in irgendeiner Weise beschränken zu wollen, beeinflußt das in der Legierung enthaltene Nickel und Ruthenium die Oberflächenfarbe, während das in der Legierung enthaltene Chrom einen Einfluß auf die Korrosions-, Chemikalien- und Abriebbeständigkeit ausübt. Dement- sprechend ist die Kombination der Legierungsbestandteile Nickel, Chrom und Ruthenium besonders vorteilhaft.
Bei den bereits beschriebenen Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Gegenstands beträgt der Rutheniumgehalt der Ruthenium-hal- tigen Schicht, insbesondere der genannten Legierung, mindestens 12 Gew.-%, vorzugsweise mindestens 15 Gew.-%. Dabei sind Ruthenium- gehalte zwischen 15 Gew.-% und 25 Gew.-%, insbesondere zwischen 20 Gew.-% und 24 Gew.-%, besonders bevorzugt.
Die Nickelgehalte der Schicht bzw. der Legierung betragen vorzugswei- se mindestens 60 Gew.-%, insbesondere mindestens 70 Gew.-%. Dabei sind Nickelgehalte zwischen 70 Gew.-% und 85 Gew.-%, insbesondere zwischen 74 Gew.-% und 78 Gew.-%, weiter bevorzugt.
Die bevorzugten Chromgehalte in der Schicht bzw. der Legierung betra- gen mindestens 1 Gew.-%. Vorzugsweise liegen die Chromgehalte zwischen 2 Gew.-% und 4 Gew.-%.
In Übereinstimmung mit den bisherigen Ausführungen besteht die Ruthenium-haltige Schicht dementsprechend bei bevorzugten Ausfüh- rungsformen der Erfindung aus einer Nickel-Chrom-Ruthenium-Legierung mit Nickelgehalten zwischen 74 Gew.-% und 78 Gew.-%, Chromgehalten zwischen 2 Gew.-% und 4 Gew.-% und Rutheniumgehalten zwischen 20 Gew.-% und 24 Gew.-%. Von diesen Nickel-Chrom- Ruthenium-Legierungen ist eine Legierung mit einem Nickelgehalt von ca. 74 Gew.-%, einem Chromgehalt von ca. 2 Gew.-% und einem Rutheniumgehalt von ca. 24 Gew.-% besonders bevorzugt. Die Dicke der Ruthenium-haltigen Schicht auf dem Grundkörper bzw. auf der sich auf dem Grundkörper befindenden ersten Schicht kann innerhalb weiter Grenzen variiert werden. Zum einen muß diese Schicht ausreichend dick sein, um ihre Funktion bezüglich der Chemikalien-, Korrosions- und Abriebbeständigkeit zu erfüllen. Zum anderen wird man versuchen, die Schichtdicke möglichst gering zu wählen, um den Materialeinsatz, insbesondere an dem vergleichsweise teuren Material Ruthenium, möglichst gering zu halten. Dementsprechend sind Schichtdi- cken für die Ruthenium-haltige Schicht zwischen 0,1 μm und 5 μm bevorzugt. Innerhalb dieses Bereichs sind Schichtdicken zwischen 0,2 μm und 2 μm, vorzugsweise zwischen 0,2 μm und 1 μm, besonders hervorzuheben.
Der Grundkörper für den erfindungsgemäßen Gegenstand kann grund- sätzlich aus jedem beliebigen Material gefertigt sein. Insbesondere handelt es sich dabei um alle Arten von Materialien, die auf dem Sanitärgebiet eingesetzt werden können. Dies sind zum einen vorzugsweise Grundkörper aus Metallen oder Grundkörper mit metallischen Oberflächen. Dabei handelt es sich insbesondere um Grundkörper aus Messing oder Zink (insbesondere Zinkdruckguß), wie sie beispielsweise bei Sanitärarmaturen zum Einsatz kommen. Zum anderen sind Grundkörper aus Kunststoffen oder Grundkörper mit Kunststoffoberflächen hervorzuheben. Dabei handelt es sich insbesondere um Grundkörper aus ABS (Ac- rylnitril-Butadien-Styrol-Copolymer), aus PA (Polyamid) oder ABS/PC (ABS-Copolymer mit Polycarbonat). Solche Kunststoffe finden beispielsweise als Material für Grundkörper von Sanitärbrausen und dergleichen Verwendung.
In Weiterbildung ist es bei der Erfindung bevorzugt, wenn der Grundkör- per oder eine auf den Grundkörper aufgebrachte erste Schicht (insbesondere die oberste erste Schicht) mechanisch oberflächenbehandelt sind. Damit können Strukturen in Form von Erhebungen und Vertiefungen in die Oberfläche eingebracht werden, die dann nach Beschichtung einen besonderen Oberflächeneffekt hervorrufen. Bei dieser mechani- sehen Oberflächenbehandlung kann es sich insbesondere um ein Bürsten oder Strahlen, insbesondere Sandstrahlen, handeln.
Wie bereits erläutert, bestehen die gegebenenfalls zunächst auf den Grundkörper aufgebrachten ersten Schichten vorzugsweise aus Metal- len oder Metallegierungen. Diese können insbesondere chemisch (stromlos) oder galvanisch (mit Strom) aufgebracht sein. Hier sind als Metalle und Metallegierungen insbesondere Kupfer, Nickel und Kupfer- Nickel-Legierungen zu nennen. Vorzugsweise ist als oberste erste Schicht eine Chromschicht aufgebracht. Insbesondere kann es sich hier um eine Mattchromschicht handeln. Die entsprechenden Verfahrensschritte sind dem Fachmann bekannt. Die Schichtdicken der ersten Schicht(en) liegen üblicherweise zwischen 10 μm und 50 μm, im Falle des Chrom natürlich wesentlich niedriger.
In Weiterbildung kann sich über der Ruthenium-haltigen Schicht mindestens eine Deckschicht aus einem Siloxan/Polysiloxan befinden. Derarti- ge Beschichtungen sind dem Fachmann ebenfalls bekannt und dienen im vorliegenden Fall dazu, einen sogenannten Fingerprint-Effekt zu verhindern bzw. die Reinigungsfreundlichkeit und das Abperlverhalten für Wasser zu verbessern. Durch solche Beschichtungen wird vermieden, daß fetthaltige Fingerabdrücke auf dem Gegenstand verbleiben. Die Schichtdicken solcher Deckschichten betragen vorzugsweise < 5 μm, insbesondere < 1 μm.
Wie bereits dargestellt, umfaßt die Erfindung auch ein Verfahren zur Herstellung der beschriebenen Gegenstände, insbesondere Sanitärge- genstände. Dieses Verfahren beinhaltet, daß auf einen Grundkörper, der erfindungsgemäß beschichtet werden soll, gegebenenfalls zunächst mindestens eine (erste) Schicht aufgebracht wird. Vorzugsweise besteht dieses (erste) Beschichten aus dem Aufbringen mindestens eines Metalls oder mindestens einer Metallegierung. Auf den Grundkörper direkt oder auf die zunächst aufgebrachte(n) (ers- te(n)) Schicht(en) wird dann eine Ruthenium-haltige Schicht aufgebracht. Erfindungsgemäß erfolgt dies mit Hilfe eines PVD- (physical va- pour deposition) Verfahrens. Derartige Verfahren zur physikalischen Gasphasenabscheidung sind dem Fachmann bekannt. Es handelt sich dabei um ein Beschichtungsverfahren, bei dem das Material, das abgeschieden werden soll, zunächst in fester Form vorliegt. In der Regel findet das Verfahren in einer Vakuumkammer bei Unterdruck statt. Dabei wird die Vakuumkammer mit dem zu beschichtenden Gegenstand beladen und evakuiert. Dann erfolgt die eigentliche Beschichtung, worauf die Vakuumkammer belüftet und der beschichtete Gegenstand entnommen wird. Es lassen sich auch Durchlaufverfahren über entsprechende Schleusensysteme realisieren. Im Normalfall werden PVD-Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten im Bereich weniger nm bis hin zu einigen μm verwendet.
Grundsätzlich kann dabei das feste Ausgangsmaterial für die Beschich- tung über ein Verdampfen (mit Lichtbogen, [englisch: arc] oder Elektronenstrahl) oder über eine Kathodenzerstäubung im Hochvakuum in die Dampfphase überführt und anschließend auf dem zu beschichtenden Gegenstand wieder niedergeschlagen werden. Derartige Verfahren sind dem Fachmann bekannt und brauchen hier nicht näher erläutert zu wer- den. Die im Zusammenhang mit der Erfindung durchgeführten und später noch erläuterten Versuche wurden mit Hilfe der Kathodenzerstäubung im Hochvakuum durchgeführt. Dieses Verfahren nennt sich auch Hohlkathodengasflußsputtern.
In allen wesentlichen Punkten kann bei dem erfindungsgemäßen Verfahren auf die Erläuterungen zu dem bereits beschriebenen erfindungsgemäßen Gegenstand Bezug genommen und verwiesen werden. Alle entsprechenden Merkmale und deren Beschreibung im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Gegenstand werden also ausdrücklich auch zum Inhalt der Beschreibung des erfindungsgemäßen Verfahrens gemacht.
Besonders hervorgehoben werden soll in diesem Zusammenhang jedoch das Aufbringen der Ruthenium-haltigen Legierung, insbesondere der bereits im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Gegenstand beschriebenen Nickel-Chrom-Ruthenium-Legierung, insbesondere auch mit den dort genannten bevorzugten Gehalten an Ruthenium, Ni- ekel und Chrom. Dementsprechend werden bei den erfindungsgemäßen Verfahren auf den Grundkörper bzw. den mit der ersten Schicht beschichteten Grundkörper vorzugsweise Legierungen mit einem Nickelgehalt zwischen 74 Gew.-% und 78 Gew.-%, einem Chromgehalt zwi- sehen 2 Gew.-% und 4 Gew.-% und einem Rutheniumgehalt zwischen 20 Gew.-% und 24 Gew.-% aufgebracht. Insbesondere handelt es sich bei dieser Legierung um diejenige mit einem Nickelgehalt von ca. 74 Gew.-%, einem Chromgehalt von ca. 2 Gew.-% und einem Rutheniumgehalt von ca. 24 Gew.-%. Auch die Schichtdicke der Ruthenium- haltigen Schicht von bevorzugt 0,1 μm bis 5 μm, insbesondere 0,5 μm bis 2 μm, soll nochmals ausdrücklich genannt werden.
In unmittelbarem Zusammenhang mit dem beschriebenen erfindungsgemäßen Gegenstand und dem beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahren umfaßt die Erfindung darüber hinaus das sogenannte Target für ein PVD- (physical vapour deposition) Verfahren, wie es in Anspruch 32 dargestellt ist. Unter Target versteht man bei einem PVD-Verfahren die feste Materialquelle, aus der das Material für die Beschichtung stammt. Dieses Target wird dann bei Durchführung des Verfahrens im Sinne der obigen Ausführungen verdampft bzw. zerstäubt, um so auf dem Substrat, d. h. dem zu beschichtenden Gegenstand, wieder abgeschieden zu werden.
Erfindungsgemäß besteht dieses Target aus einer Ruthenium-haltigen Legierung, vorzugsweise aus einer Nickel-Chrom-Ruthenium-Legierung. Auch hier kann auf die entsprechenden Ausführungen zum erfindungsgemäßen Gegenstand und der dort definierten Legierung Bezug genommen und verwiesen werden.
Dementsprechend weist die NiCrRu-Legierung vorteilhaft einen Rutheniumgehalt von mindestens 12 Gew.-%, vorzugsweise mindestens 15 Gew.-%, auf. Bei derartigen Ausführungsformen des Targets liegt der Rutheniumgehalt der Legierung insbesondere zwischen 15 Gew.-% und 25 Gew.-%, wobei innerhalb dieses Bereichs Rutheniumgehalte zwischen 20 Gew.-% und 24 Gew.-% weiter hervorzuheben sind. Die Nickelgehalte der Legierung betragen mindestens 60 Gew.-%, vorzugsweise mindestens 70 Gew.-%. Innerhalb dieser bevorzugten Berei- che sind Nickelgehalte zwischen 70 Gew.-% und 85 Gew.-% hervorzuheben, wobei hier wiederum Nickelgehalte zwischen 74 Gew.-% und 78 Gew.-% weiter bevorzugt sind.
Die Chromgehalte der Legierung liegen bei mindestens 1 Gew.-%, vorzugsweise betragen sie zwischen 2 Gew.-% und 4 Gew.-%.
In Übereinstimmung mit den bisherigen Ausführungen besteht das erfindungsgemäße Target dementsprechend vorzugsweise aus Nickel- Chrom-Ruthenium-Legierungen mit Nickelgehalten zwischen 74 Gew.-% und 78 Gew.-%, Chromgehalten zwischen 2 Gew.-% und 4 Gew.-% und Rutheniumgehalten zwischen 20 Gew.-% und 24 Gew.-%. Besonders bevorzugt ist das Target aus einer Legierung mit einem Nickelgehalt von ca. 74 Gew.-%, einem Chromgehalt von ca. 2 Gew.-% und einem Rutheniumgehalt von ca. 24 Gew.-% gefertigt.
Erfindungsgemäß wird das beschriebene Target vorzugsweise zur Be- schichtung von Sanitärgegenständen wie Sanitärarmaturen, Sanitärbrausen und dergleichen verwendet.
Aus den bisherigen Schilderungen geht eindeutig hervor, daß die Erfin- düng mit einer ganzen Reihe von Vorteilen verbunden ist.
So stellt die Erfindung Gegenstände, insbesondere Sanitärgegenstände, bereit, die zum einen wichtige funktionelle Anforderungen und zum anderen wichtige dekorative Anforderungen erfüllen. So lassen sich zum einen Gegenstände mit hochbeständigen Oberflächen fertigen, wie sie gerade auf dem Gebiet der Sanitärtechnik erwünscht sind. Hierbei sind insbesondere die Eigenschaften Korrosionsbeständigkeit, Chemikalien- beständigkeit und Abriebbeständigkeit zu nennen. Zum anderen weisen die Gegenstände erfindungsgemäß metallische Oberflächen (je nach Wunsch glänzend oder eher matt oder in Aluminiumoptik) auf, die dem Kundenwunsch, auch hier insbesondere wieder auf dem Gebiet der Sa- nitärtechnik, in hohem Maße entsprechen. Diese gleichzeitige Erfüllung funktioneller und dekorativer Anforderungen zeichnet die Erfindung in besonderem Maße gegenüber dem Stand der Technik aus. Hinzu kommt, daß das Ruthenium noch ein vergleichsweise kostengünstiges Element der Platingruppe des Periodensystems der Elemente darstellt und dementsprechend gerade für eine Fertigung in größeren Produktserien einsetzbar ist.
Hinzu kommt, daß sich die Optik der Oberfläche unter Beibehaltung der für den jeweiligen Einsatzzweck erforderlichen Oberflächenbeständigkeit variieren läßt. Dies gilt insbesondere bei Einsatz der bevorzugten Nickel- Chrom-Ruthenium-Legierungen. Hier können durch Wahl der drei Legierungselemente Nickel, Chrom und Ruthenium, insbesondere innerhalb der in den Ansprüchen genannten bevorzugten Grenzen, die Oberflächenoptik, insbesondere deren Helligkeit und Farbe, variiert werden. Ei- ne weitere Variationsmöglichkeit besteht darüber hinaus auch in der Auswahl des verwendeten PVD-Verfahrens und seiner Parameter bei dem erfindungsgemäßen Beschichtungsverfahren. So können bei PVD- Verfahren zusätzlich Reaktivgase in das verdampfte/zerstäubte Be- schichtungsmaterial eingebracht werden. Bei diesen Reaktivgasen kann es sich beispielsweise um Sauerstoff, Stickstoff, Acetylen oder Methan handeln. Je nach Auswahl und Mischung der Reaktivgase lassen sich auf diese Weise auch die Helligkeit und Farbe der Beschichtung (Ruthenium-haltige Schicht) beeinflussen. Dies stellt ein weiteres bevorzugtes Mittel dar, um gerade auf dem Gebiet der Sanitärtechnik vom Kunden gewünschte Optiken bereitzustellen. Diese Auswahl kann gerade auch in Abhängigkeit von den sich auf dem Grundkörper befindenden ersten Schichten getroffen werden. Will man einen (beispielsweise durch eine Mattchromschicht erzeugten) mattglänzenden optischen Eindruck erhalten, stellt man die Ruthenium-haltige Schicht durch Auswahl einer entsprechenden Legierungszusammensetzung und/oder durch Auswahl von Reaktionsgasen so ein, daß sie nicht zu hell oder glänzend ist. Umgekehrt kann sowohl bei eher matten oder bei glänzenden Untergründen eine helle oder glänzende Ruthenium-haltige Schicht bereitgestellt werden.
Die genannten und weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus dem nachfolgenden Beispiel in Verbindung mit den Ansprüchen. Dabei können die einzelnen Merkmale jeweils für sich alleine oder in Kombination miteinander verwirklicht sein.
Beispiel
Zum Herstellen eines erfindungsgemäßen Gegenstands wurde eine An- läge zum Hohlkathodengasflußsputtern verwendet. Derartige Anlagen sind dem Fachmann grundsätzlich bekannt.
Wie bereits erläutert, wird dabei eine sogenannte Hohlkathode als Target des PVD-Verfahrens verwendet. Diese Hohlkathode bestand im vor- liegenden Fall aus einer Nickel-Chrom-Ruthenium-Legierung mit 74 Gew.-% Nickel, 2 Gew.-% Chrom und 24 Gew.-% Ruthenium. Dieses Target wird als Kathode gegenüber einer sich ebenfalls in der Anlage befindenden Anode geschaltet, und es wird durch Anlegen einer Spannung eine Hohlkathoden-Glimmentladung erzeugt. Dadurch findet eine Zerstäubung des Kathodenmaterials an der (inneren) Kathodenoberfläche statt. Das dort zerstäubte Material wird mit Hilfe eines Argongasstromes nach außen getragen und zwar in Richtung auf das zu be- schichtende Substrat. Bei diesem Substrat handelte es sich im vorliegenden Fall um den Grundkörper einer Sanitärarmatur aus Messing, der in bekannter Weise mit mehreren (ersten) Schichten, zuoberst einer Mattchromschicht beschichtet war. Außerhalb der Hohlkathode wurde als Reaktivgas Sauerstoff eingespeist.
Bei der im Beispiel eingesetzten Anlage wurde bei einer Beschichtungs- dauer von 3 Minuten eine Ruthenium-haltige Beschichtung mit einer Schichtdicke von ca. 400 nm erzeugt. Eine Elementaranalyse ergab, daß die Zusammensetzung der Beschichtung der Zusammensetzung des Targets entsprach, d. h. die Beschichtung wies einen Nickelgehalt von 74 Gew.-%, einen Chromgehalt von 2 Gew.-% und einem Rutheniumgehalt von 24 Gew.-% auf. Die Schichtdicke war über den gesamten Gegenstand gleichmäßig ausgebildet.
Die Eigenschaften der erhaltenen Beschichtungen und damit des beschichteten Gegenstands selbst entsprachen den Anforderungen im hohem Maße. Dies bedeutet zum einen, daß die Oberfläche ein metallisches Erscheinungsbild hatte. Die Oberflächenerscheinung war im Ein- klang mit der obersten (ersten) Mattchromschicht mattglänzend. Zum anderen ergaben Tests eine sehr gute Chemikalienbeständigkeit, insbesondere gegen übliche Haushaltsreiniger und eine ausgezeichnete Abriebbeständigkeit. Darüber hinaus zeigten Korrosionstests eine sehr gute Korrosionsbeständigkeit.

Claims

Patentansprüche
1. Gegenstand, vorzugsweise Sanitärgegenstand wie Sanitärarmatur, Sanitärbrause und dergleichen, dadurch gekennzeichnet, daß er aufgebaut ist aus: einem Grundkörper, gegebenenfalls mindestens einer auf dem Grundkörper aufgebrachten ersten Schicht, wobei vorzugsweise die erste
Schicht aus mindestens einem Metall oder mindestens einer
Metallegierung besteht, und mindestens einer Ruthenium-haltigen Schicht auf dem
Grundkörper oder auf der ersten Schicht.
2. Gegenstand nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Ruthenium-haltige Schicht mit Hilfe eines PVD- (physical vapour deposition) Verfahren aufgebracht ist.
3. Gegenstand nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ruthenium-haltige Schicht aus einer Ruthenium- haltigen Legierung, vorzugsweise einer Nickel-Chrom-Ruthenium- Legierung, besteht.
4. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Rutheniumgehalt der Ruthenium-haltigen Schicht mindestens 12 Gew.-%, vorzugsweise mindestens 15 Gew.-%, beträgt.
5. Gegenstand nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Rutheniumgehalt zwischen 15 Gew.-% und 25 Gew.-%, vorzugsweise zwischen 20 Gew.-% und 24 Gew.-%, beträgt.
6. Gegenstand nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Nickelgehalt der Ruthenium-haltigen Legierung mindestens 60 Gew.-%, vorzugsweise mindestens 70 Gew.-%, beträgt.
7. Gegenstand nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Nickelgehalt zwischen 70 Gew.-% und 85 Gew.-%, vorzugsweise zwischen 74 Gew.-% und 78 Gew.-%, beträgt.
8. Gegenstand nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Chromgehalt der Ruthenium-haltigen Legierung mindestens 1 Gew.-%, vorzugsweise zwischen 2 und 4 Gew.-%, beträgt.
9. Gegenstand nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Ruthenium-haltige Legierung einen Nickelgehalt zwischen 74 Gew.-% und 78 Gew.-%, einen Chromgehalt zwischen 2 Gew.-% und 4 Gew.-% und einen Rutheniumgehalt zwischen 20 Gew.-% und 24 Gew.-% besitzt.
10. Gegenstand nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Ruthenium-haltige Legierung aus ca. 74 Gew.-% Nickel, ca. 2 Gew.-% Chrom und ca. 24 Gew.-% Ruthenium zusammengesetzt ist.
11. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichtdicke der Ruthenium-haltigen Schicht zwischen 0,1 μm und 5 μm, vorzugsweise zwischen 0,2 μm und 2 μm, insbesondere zwischen 0,2 μm und 1 μm, beträgt.
12. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper aus Metall besteht oder metallische Oberflächen aufweist, wobei vorzugsweise der Grundkörper aus Messing oder Zink gefertigt ist.
13. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 11 , dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper aus Kunststoff besteht oder Kunststoffoberflächen aufweist, wobei vorzugsweise der Grundkörper aus ABS gefertigt ist.
14. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper oder mindestens eine aufgebrachte erste Schicht mechanisch oberflächenbehandelt ist, wobei vorzugsweise es sich bei der Oberflächenbehandlung um ein Bürsten oder Strahlen, insbesondere Sandstrahlen, handelt.
15. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der ersten Schicht um eine Schicht aus Kupfer, Nickel oder einer Kupfer-Nickel-Legierung handelt und/oder um eine Chromschicht handelt.
16. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Ruthenium-haltige Schicht mindestens eine Siloxan-/Polysiloxan-Deckschicht aufgebracht ist.
17. Verfahren zur Beschichtung von Gegenständen, insbesondere von Sanitärgegenständen wie Sanitärarmaturen, Sanitärbrausen und dergleichen, bei dem gegebenenfalls auf einen Grundkörper mindestens eine erste Schicht, vorzugsweise aus mindestens einem Metall oder mindestens einer Metallegierung, aufgebracht wird, und auf den Grundkörper oder auf die zunächst aufgebrachte erste Schicht mindestens eine Ruthenium-haltige Schicht mit Hilfe eines PVD- (physical vapour deposition) Verfahrens aufgebracht wird.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß als Ruthenium-haltige Schicht eine Ruthenium-haltige Legierung, vorzugsweise eine Nickel-Chrom-Ruthenium-Legierung aufgebracht wird.
19. Verfahren nach Anspruch 17 oder Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Ruthenium-haltige Schicht einen Rutheniumgehalt von mindestens 12 Gew.-%, vorzugsweise mindestens 15 Gew.-%, besitzt.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Rutheniumgehalt zwischen 15 Gew.-% und 25 Gew.-%, vorzugsweise zwischen 20 Gew.-% und 24 Gew.-%, beträgt.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Nickelgehalt der Ruthenium-haltigen Legierung mindestens 60 Gew.-%, vorzugsweise mindestens 70 Gew.-%, beträgt.
22. Verfahren nach Anspruch 21 , dadurch gekennzeichnet, daß der Nickelgehalt zwischen 70 Gew.-% und 85 Gew.-%, vorzugsweise zwischen 74 Gew.-% und 78 Gew.-%, beträgt.
23. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß der Chromgehalt der Ruthenium-haltigen Legierung mindestens 1 Gew.-%, vorzugsweise zwischen 2 Gew.-% und 4 Gew.-%, beträgt.
24. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß der Nickelgehalt zwischen 74 Gew.-% und 78 Gew.- %, der Chromgehalt zwischen 2 Gew.-% und 4 Gew.-% und der Rutheniumgehalt zwischen 20 Gew.-% und 24 Gew.-% beträgt.
25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Ruthenium-haltige Legierung aus ca. 74 Gew.-% Nickel, ca. 2 Gew.-% Chrom und ca. 24 Gew.-% Ruthenium zusammengesetzt ist.
26. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Ruthenium-haltige Schicht in einer Schichtdicke zwischen 1 μm und 5 μm, vorzugsweise zwischen 0,2 μm und 2 μm, insbesondere zwischen 0,2 μm und 1 μm, aufgebracht wird.
27. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper aus Metall besteht oder metallische Oberflächen aufweist, wobei der Grundkörper vorzugsweise aus Messing oder Zink gefertigt ist.
28. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper aus Kunststoff besteht oder Kunststoffoberflächen aufweist, wobei vorzugsweise der Grundkörper aus ABS gefertigt ist.
29. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 28, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper oder mindestens eine auf den Grundkörper aufgebrachte erste Schicht mechanisch oberflächenbehandelt wird, wobei vorzugsweise der Grundkörper oder die erste Schicht gebürstet oder gestrahlt, insbesondere sandgestrahlt, wird.
30. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß als erste Schicht eine Schicht aus Kupfer, Nickel und/oder einer Kupfer-Nickel-Legierung aufgebracht wird und/oder eine Schicht aus Chrom aufgebracht wird.
31. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 30, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Ruthenium-haltige Schicht mindestens eine Siloxan-/Polysiloxan-Deckschicht aufgebracht wird.
32. Target für ein PVD- (physical vapour deposition) Verfahren, dadurch gekennzeichnet, daß es aus einer Ruthenium-haltigen Legierung, vorzugsweise einer Nickel-Chrom-Ruthenium-Legierung besteht.
33. Target nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, daß der Rutheniumgehalt der Legierung mindestens 12 Gew.-%, vorzugsweise mindestens 15 Gew.-%, beträgt.
34. Target nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, daß der Rutheniumgehalt zwischen 15 Gew.-% und 25 Gew.-%, vorzugsweise zwischen 20 Gew.-% und 24 Gew.-%, beträgt.
35. Target nach einem der Ansprüche 32 bis 34, dadurch gekennzeichnet, daß der Nickelgehalt der Legierung mindestens 60 Gew.-%, vorzugsweise mindestens 70 Gew.-%, beträgt.
36. Target nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, daß der Nickelgehalt zwischen 70 Gew.-% und 85 Gew.-%, vorzugsweise zwischen 74 Gew.-% und 78 Gew.-%, beträgt.
37. Target nach einem der Ansprüche 32 bis 36, dadurch gekennzeichnet, daß der Chromgehalt der Legierung mindestens 1 Gew.- %, vorzugsweise zwischen 2 Gew.-% und 4 Gew.-%, beträgt.
38. Target nach einem der Ansprüche 32 bis 37, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung aus 74 Gew.-% bis 78 Gew.-% Nickel, 2 Gew.-% bis 4 Gew.-% Chrom und 20 Gew.-% bis 24 Gew.- % Ruthenium besteht.
39. Target nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung aus ca. 74 Gew.-% Nickel, ca. 2 Gew.-% Chrom und ca. 24 Gew.-% Ruthenium zusammengesetzt ist.
40. Verwendung des PVD-Targets nach einem der Ansprüche 32 bis 39 zum Aufbringen Ruthenium-haltiger Beschichtungen auf Gegenstände, insbesondere auf Sanitärgegenstände wie Sanitärarmaturen, Sanitärbrausen und dergleichen.
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