WO2007045208A3 - Capteur d'oscillation - Google Patents

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WO2007045208A3
WO2007045208A3 PCT/DE2006/001750 DE2006001750W WO2007045208A3 WO 2007045208 A3 WO2007045208 A3 WO 2007045208A3 DE 2006001750 W DE2006001750 W DE 2006001750W WO 2007045208 A3 WO2007045208 A3 WO 2007045208A3
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vibration sensor
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sensor
micromechanically
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Jens Makuth
Dirk Scheibner
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Siemens Ag
Jens Makuth
Dirk Scheibner
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
    • G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means

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Abstract

La présente invention concerne un capteur d'oscillation (19) et un procédé pour réaliser un capteur d'oscillation de ce type (19). Pour permettre une mesure avec une simplicité maximale et des frais minimaux, d'excitations sous formes d'impacts, le capteur d'oscillation (19) présente selon l'invention au moins une première structure apte aux oscillations réalisée de façon micromécanique, qui peut être excitée par une excitation sous forme d'impact, et a une première fréquence de résonance dans le domaine des ultrasons.
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