WO2007045208A3 - Schwingungssensor mit einer mikromechanisch gefertigten schwingfähigen struktur - Google Patents

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WO2007045208A3 PCT/DE2006/001750 DE2006001750W WO2007045208A3 WO 2007045208 A3 WO2007045208 A3 WO 2007045208A3 DE 2006001750 W DE2006001750 W DE 2006001750W WO 2007045208 A3 WO2007045208 A3 WO 2007045208A3
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Jens Makuth
Dirk Scheibner
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Siemens Ag
Jens Makuth
Dirk Scheibner
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Schwingungssensor (19) sowie ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Schwingungssensors (19). Um eine möglichst einfache und kostengünstige Messung stoßförmiger Anregungen zu ermöglichen, wird vorgeschlagen, dass der Schwingungssensor (19) mindestens eine erste mikro-mechanisch gefertigte schwingfähige Struktur aufweist, die durch die stoßförmige Anregung anregbar ist und eine erste Resonanzfrequenz im Ultraschallbereich aufweist.
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