WO2006129715A1

WO2006129715A1 - 薄板搬送容器の開閉構造

Info

Publication number: WO2006129715A1
Application number: PCT/JP2006/310884
Authority: WO
Inventors: Takuji Nakatogawa; Atushi Furutani
Original assignee: Vantec Co., Ltd.
Priority date: 2005-05-31
Filing date: 2006-05-31
Publication date: 2006-12-07
Also published as: JP4851445B2; KR101262402B1; KR20080009677A; TWI418696B; JPWO2006129715A1; TW200704859A; US8540289B2; EP1887611A1; US20090084785A1; EP1887611A4; EP1887611B1

Abstract

　ロック部材（２８）の係止部（３１）が、容器本体（１３）に係止される際の回転板（３０）の係止回動位置及び容器本体（１３）へのロック部材（２８）の係止が解除される際の回転板（３０）の解除回動位置で、各回転板（３０）の蓋体（１４）の各カバー部材（２５）に形成された係止突起（４３，４３）に対向する位置に、該各係止突起が係止可能な係止凹部（４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂ）を形成するようにした薄板搬送容器の開閉構造。

Description

明細書

薄板搬送容器の開閉構造

技術分野

[0001] 本発明は、半導体ウェハ、記憶ディスク及び液晶ガラス基板等の薄板の収納、保管、移送又は輸送等に使用され、特に、標準化された機械的インターフェイス (SMIF 若しくは FIMS)を有する加工装置に接続される大口径ウェハ（特に、 300mmウェハ )を収容するための薄板搬送容器の開閉構造に関する。

背景技術

[0002] 従来、半導体ウェハを収容して搬送する薄板搬送容器は、半導体ウェハへの塵埃の付着を防止するように、容器本体と、この容器本体に形成された開口部を閉鎖するための蓋体と、この蓋体を容器本体の開口部を閉鎖した状態で容器本体に係止するためのロック機構とを備えている（例えば、特開平 11 159218号公報参照)。

[0003] ロック機構は、容器本体に解除可能に係止されるラッチプレートと、このラッチプレートにリンクアーム部材を介して連結された回動可能な回転板とを備えるラッチ機構によって構成されている。

[0004] 回転板は、その回転力をラッチプレートに容器本体への係止力及びその解除のための解除力として作用させる。従って、回転板を回転操作することにより、容器本体へのラッチプレートの係止及びその解除を行うことができ、これにより、容器本体の開口部を開閉することができる。

[0005] なお、回転板と係止爪との間にカム機構を用いている構造も知られている（例えば、特開 2005— 306411号公報参照）。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0006] し力しながら、従来の薄板搬送容器の開閉構造には、ラッチプレートの如きロック部材カ容器本体に係止された際の係止回動位置と、容器本体へのロック部材の係止が解除された際の解除回動位置とのそれぞれの回動位置で、回転板を保持するための手段が設けられて、な、。 [0007] このため、半導体ウェハが収納された容器の搬送時、薄板搬送容器に例えば振動が与えられたときに回転板が回転してしまい、容器本体へのロック部材の係止が解除されてしまうという問題があった。

[0008] また、容器本体へのロック部材の係止を解除すべく回転板を回転させた際、容器本体へのロック部材の係止が解除されたか否かが判断し難、ため、容器本体へのロック部材の係止を完全に解除することができな、。容器本体へのロック部材の係止が完全に解除されて！ヽな！ヽ状態で容器本体から蓋体を取り外すと、ロック部材が容器本体に引っ掛かり、ロック部材、容器本体及び蓋体に破損が生じてしまうという問題かあつた。

[0009] そこで、本発明の目的は、ロック部材が容器本体に係止された際の係止回動位置と、容器本体へのロック部材の係止が解除された際の解除回動位置との双方において、回転板を保持することができ、開閉動作時の摩擦低減箇所の極小化による粉塵発生の減少化と、複雑で部品点数が多い開閉構造の簡略化と、手動開閉の簡素化と、蓋開閉構造部品の組立及び分解の容易化とを図ることができる薄板搬送容器の開閉構造を提供することにある。

課題を解決するための手段

[0010] 上記目的を達成するため、本発明の一実施例に係る薄板搬送容器の開閉構造は

、開口部を有する容器本体と、この容器本体の前記開口部を閉鎖すべく容器本体に取り外し可能に装着される蓋体と、この蓋体に設けられ、容器本体の開口部が閉鎖された状態で蓋体を容器本体に係止するためのロック機構とを備え、このロック機構は、蓋体に回動可能に設けられる回転板と、容器本体に解除可能に係止されるロック部材と、このロック部材に、リンクアーム部材を介して連結されて、回転板の回転力を、ロック部材に容器本体への係止及びその解除のための係止力及び解除力として作用させるリンクアーム部材とを有するリンク機構と、回転板と蓋体との間に、回転板の回転により、ロック部材が容器本体に係止される際に、リンクアーム部材及びロック部材を、回転板の回動中心から、直線上に縦列するように停止させる係止回動位置と、容器本体へのロック部材の係止が解除される際の解除回動位置との双方において、回転板の回転を停止させて保持するための保持手段とを有する。発明の効果

[0011] 上記構成によれば、回転板と蓋体との間に設けられた保持手段により、ロック部材が容器本体に係止される際の係止回動位置及び容器本体へのロック部材の係止が解除される際の解除回動位置で回転板が確実に保持される。

[0012] この際、係止回動位置では、ロック部材が容器本体に係止される際に、リンクアーム部材及びロック部材を、回転板の回動中心から、直線上に縦列するように停止させることができる。

[0013] このため、ロック部材に外力が加わっても、リンクアーム部材を介して、回転板に直線的に、外力が伝達されて、回転板を回転させる力になりにくいことから、回転板が、係止回動位置及び解除回動位置から容易に回動することが防止される。

[0014] 従って、ロック部材が容器本体に係止された状態及び容器本体へのロック部材の係止が解除された状態を安定して維持することができる。

[0015] これにより、例えば、半導体ウェハが、収納された容器の搬送時、容器に振動や、落下による衝撃が、例え与えられたとしても、回転板が係止回動位置に確実に保持されて、ることから、この振動による回転板の解除回動位置へ向けての回動が防止される。

[0016] 従って、容器に振動が与えられることによる容器本体へのロック部材の係止の解除を防止することができる。

[0017] また、回転板が、保持手段によって、係止回動位置及び解除回動位置に保持されること力ゝら、ロック部材を容器本体に係止するとき、及び容器本体へのロック部材の係止を解除する際に、回転板を回転させたとき、容器本体へのロック部材の係止及びその解除が完全に行われた力否かを、ロック部材のロックする音や操作時の抵抗力の変化により、容易に確認することができる。

[0018] これにより、容器本体へのロック部材の係止を確実に確認出来ると共に、容器本体へのロック部材の係止が完全に解除されて、な、状態で、容器本体から蓋体を誤つて取り外すことが防止される。

[0019] このため、従来のように、蓋体が、容器本体力も取り外される際にロック部材が、容器本体に引っ掛力ることによるロック部材、容器本体及び蓋体の破損を防止することができる。

[0020] 更に、ロック部材が容器本体に完全に係止されて、な、状態で、容器を搬送することが防止されるので、搬送中に蓋体が容器本体から外れることが無ぐ蓋体が外れて、容器内への塵埃の侵入することによって、半導体ウェハが汚染されることを防止することがでさる。

図面の簡単な説明

[0021] [図 1]本発明に係る薄板搬送容器の開閉構造を概略的に示す斜視図。

[図 2]本発明に係る開閉構造における蓋本体を概略的に示す斜視図。

[図 3]本発明に係る開閉構造におけるカバー部材を概略的に示す斜視図。

[図 4]本発明に係る開閉構造におけるロック部材を概略的に示す斜視図。

[図 5]本発明に係る開閉構造におけるリンクアーム部材を概略的に示す斜視図。

[図 6]本発明に係る開閉構造における回転板をその裏面力見た状態を概略的に示す斜視図。

[図 7]本発明に係る開閉構造における回転板をその表面力見た状態を概略的に示す斜視図。

[図 8A]本発明に係る開閉構造におけるロック部材が初期位置にある状態を示す縦断面図である。

[図 8B]本発明に係る開閉構造におけるロック部材が移動手段により移動され中間の移動状態にあることを示す縦断面図である。

[図 8C]本発明に係る開閉構造におけるロック部材が移動手段により移動されロック部材の先端が係止孔に挿入される直前の状態にあることを示す縦断面図である。

[図 8D]本発明に係る開閉構造におけるロック部材が移動手段により移動されロック部材の先端が係止孔に挿入された状態を示す縦断面図である。

[図 8E]本発明に係る開閉構造におけるロック部材が移動手段により移動されロック部材の先端が係止孔に完全に挿入されてロック部材が容器本体に係止された状態を示す縦断面図である。

[図 9]本発明に係る開閉構造の実施例 1におけるロック部材を用いた蓋体の構成であつて、左側が、ロック部材が開放位置にある場合の回転板の解除回動位置を示し、右側が、ロック部材が容器本体に係止された位置にある場合の回転板の係止回動位置を示す平面図。

[図 10]本発明に係る開閉構造における蓋本体の構成を説明する分解側面図。

[図 11]本発明に係る開閉構造の実施例 2におけるロック部材の構成を説明する斜視図。

[図 12]本発明に係る開閉構造の実施例 2におけるロック部材を用いた構成で、ロック部材が、容器本体の係止孔に挿入、離脱される状態を説明する図 13中 G部に相当する位置での拡大水平断面図。

[図 13]本発明に係る開閉構造の実施例 2におけるロック部材を用いた構成で、ロック部材により、蓋本体が、容器本体に対して、センタリングされる状態を説明する平面図。

符号の説明

11 容器の開閉構造

12 開口部

13 容器本体

14 蓋体

15 ロック機構

18 係止孔

20 蓋本体

21 凹所

21e 開口縁部（凹所の開口縁部）

22 係止穴

25 カバー部材

26 係止爪

27 解除用凹部

28, 128 ロック部材

29 リンクアーム部材

30 回転板 31, 131 係止部

32 接続部

37 指挿入口

39 移動手段

40 ロック部材側傾斜部

41 蓋体側傾斜部

42 保持手段

43 係止突起

44a, 44b 係止凹部

発明を実施するための最良の形態

[0023] 以下、本発明の最良の実施形態を、これを実施するための図示の実施例に基づいて詳細に説明する。

実施例 1

[0024] 図 1は、薄板、例えば、半導体ウェハを収容して搬送するための薄板搬送容器 10 に、本発明に係る開閉構造 11を適用した実施例を示す。勿論、この開閉構造は、他の容器に適用可能である。

[0025] 本発明に係る薄板搬送容器 10は、図 1に示すように、上部に設けられた開口部 12 を有する容器本体 13と、この容器本体の開口部 12を密封的に閉鎖するための蓋体

14と、容器本体 13の開口部 12が密封的に閉鎖された状態で蓋体 14を容器本体 13 に係止するための一対のロック機構 15とを備えている。

[0026] 容器本体 13及び蓋体 14は、それぞれポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート及びポリエーテルエーテルケトンのような榭脂材料で成形されている。

[0027] 容器本体 13は、図 1に示すように、平面が矩形状をなす底壁 16と、この底壁の縁部 16aから立ち上がる 4つの側壁 17 (図 1には 4つの側壁 17のうち、隣接する 2つの側壁が示されてヽる）とを有する。

[0028] 4つの側壁 17のうち、互いに向かい合う一対の側壁 17には、それぞれ各ロック機構

15の各ロック部材 28 (後述する）を係止する一対の係止孔 18が、形成されている。

[0029] 各係止孔 18は、図示の例では、各側壁 17の上部 19の両端部 19aに、両側壁 17 間でそれぞれが互いに対向するように形成されて!ヽる。

[0030] また、各係止孔 18は、図示の例では、各ロック部材 28が挿入可能な大きさを有すると共に、容器本体 13の開口部 12の周縁に設けられたフランジ部に連続して一体に成形されることによって、図 8Aに示すように、内周面の上縁部 18aの面積を、他の側縁部及び下縁部の面積よりも広く設定されて、る。

[0031] 蓋体 14は、容器本体 13の開口部 12内に嵌合可能な板状の蓋本体 20を備える。

[0032] 蓋本体 20の上面 20aには、各ロック機構 15を収容するための一対の凹所 21が形成されている。各凹所 21は、図 1及び図 2に示すように、平面で見て矩形状を有し、開口部 12への蓋本体 20の嵌合状態で、容器本体 13の一対の側壁 17のうち一方の側壁 17に対向する蓋本体 20の縁部 20bから他方の側壁 17に対向する蓋本体 20の縁部 20cへ向けて延び、且つ、その伸長方向が両側壁 17間で互いに対向する各係止孔 18を結ぶ線に沿うように、各々蓋本体 20に形成されている。

[0033] 各凹所 21の蓋本体 20の内方側に位置する周壁 21aには、図 2に示すように、それぞれ後述するカバー部材 25の各係止爪 26が係止される一対の係止穴 22がそれぞれ形成されている。

[0034] また、各凹所 21の容器本体 13の各側壁 17に対向する周壁 21bのそれぞれには、容器本体 13の側壁 17に形成された各係止孔 18に対応する位置で、ロック機構 15 の後述する各ロック部材 28を挿通するようにした揷通孔 23が形成されて、る。

[0035] 更に、各凹所 21の伸長方向の両端部 21cにおける底面 21dには、それぞれ後述する各ロック部材 28の直線的な移動を案内する一対のガイドレール 24力各凹所 2 1の伸長方向に沿って延び且つその伸長方向に直角な方向へ互いに間隔をおいて形成されている。

[0036] 蓋本体 20の下面には、その周縁に沿って延びる溝 20dが形成されており、この溝 2 Od内には、蓋本体 20と容器本体 13の開口部 12との間をシールするための環状のガスケット 46が設けられて、る（図 8参照）。

[0037] このガスケット 46は、溝 20d内に、この溝 20dの底面すなわち上面に間隔をおいて嵌合されるガスケット本体 46aと、このガスケット本体 46aから溝 20dの上面及び容器本体 13の内方へ向けてそれぞれ延びる弾性変形可能な一対のシール部 46b, 46b とを有する。

[0038] 蓋体 14は、その蓋本体 20が容器本体 13の開口部 12に、ガスケット 46を介して嵌合されると共に、ロック機構による係止で、上下方向に押圧され、シール部 46b, 46b が弾性変形することにより、容器本体 13の開口部 12が密封的に閉鎖されるように構成されている。

[0039] さらに、蓋体 14は、蓋本体 20に形成され各凹所 21を覆う一対のカバー部材 25を備える。各カバー部材 25は、図 1に示すように、各凹所 21に沿って延びる板状部材力もなり、各凹所の前記両端部 21cを開放するように各凹所 21を覆っている。

[0040] 各カバー部材 25には、図 3に示すように、各凹所 21に形成された各係止穴 22に係止される一対の弾性変形可能な係止爪 26が形成されている。

[0041] 各カバー部材 25は、各係止爪 26が各係止穴 22に係止されることにより、蓋本体 2 0に固定される。

[0042] 蓋本体 20の各凹所 21の開口縁部 21eには、図 1及び図 2に示す実施例では、各係止穴 22への各係止爪 26の係止を解除するための複数の解除用凹部 27が形成されている。各解除用凹部 27は、それぞれ各凹所 21の開口縁部 21eに、各係止穴 22 に対応する位置で、各凹所 21の内方及び蓋本体 20の上方へ向けて開放するように形成されている。

[0043] また、各解除用凹部 27は、図示の実施例では、その内面が球面を有するように形成されており、その内径の大きさは、図示しない操作する者の指の挿入を許す大きさを有する。

[0044] 各ロック機構 15は、図 1に示すように、それぞれ容器本体 13に係止される一対の口ック咅材 28, 28と、各ロック咅材 28, 28に、一対のリンクアーム咅材 29, 29を介して、それぞれ連結された回転板 30とを備えている。それぞれ一対のリンクアーム部材 2 9, 29及びロック部材 28, 28は、回転板の回動中心を挟んで、対称となるように、設けられている。

[0045] 各ロック部材 28は、図 4に示すように、横断面が矩形状をなす棒状部材からなり、その一端 28aに、容器本体 13に形成された各係止孔 18に係止される係止部 31を有し、他端 28bに、リンクアーム部材 29に接続される円柱状の接続部 32を有する。 [0046] 各係止部 31は、蓋本体 20に形成された各揷通孔 23及び容器本体 13に形成された各係止孔 18を挿通し、係止孔 18に係止される。

[0047] 各ロック部材 28, 28は、その軸線が各凹所 21の伸長方向に沿うように、各凹所の各ガイドレール 24, 24間に各々スライド摺動可能に配置されている。これにより、各口ック部材 28, 28は、それぞれ各ガイドレール 24に沿ってすなわち各凹所 21の伸長方向に沿って移動可能である。

[0048] 各ロック部材 28, 28は、各ガイドレール 24に沿った直線状のスライド摺動により、その係止部 31, 31が、容器本体 13の係止孔 18, 18内に挿入及び離脱されることにより、容器本体 13に係止及び係止解除される。

[0049] 各リンクアーム部材 29は、図 5に示すように、横断面が矩形状をなす棒状部材からなり、その両端 29a, 29bには、各ロック部材 28及び回転板 30が接続される接続孔 3

3, 34が形成されている。

[0050] 各ロック部材 28は、その接続部 32をリンクアーム部材 29の接続孔 33に挿入することにより、各リンクアーム部材 29に回動可能に接続される。

[0051] また、前記各回転板 30, 30は、図 1に示すように、それぞれほぼ円形を有する板部材からなり、各凹所 21の中心部に回動可能に、回動中心となる軸孔 30aを、凹所 21 力も突設される回動軸部 21fに軸支させて、配置されている。

[0052] この軸孔 30aは、係止部 31, 31が、容器本体 13の係止孔 18, 18内に挿入されて

、係止されている位置間を結ぶ直線上に位置するように、設けられている。

[0053] 各回転板 30の裏面 30eには、図 6に示すように、各リンクアーム部材 29の接続孔 3

4に回動可能に挿入される円柱状の一対の接続部 35が形成されてヽる。

[0054] 各接続部 35は、それぞれ回転板 30の中心力もその径方向外方へ互いに等間隔をおいて形成されている。各回転板 30は、その回転力を容器本体 13に係止される係止方向へ向けての係止力又は容器本体 13への係止が解除される解除方向へ向けての解除力として各ロック部材 28に各リンクアーム部材 29を介して作用させるように操作される。

[0055] これらの接続部 35, 35は、図 9中右側に示すように、係止部 31, 31が、容器本体 1 3の係止孔 18, 18内に挿入されて、係止されている位置間を結ぶ直線上に存在するように、係止回動位置における位置力設定されている。

[0056] 図 9中左側に示すように、回転板 30の回転により、リンクアーム部材 29, 29に設けられた各接続孔 34, 34内で、これらの接続部 35, 35が回転しながら、ロック部材 28 , 28を直線状に、スライド摺動させるように構成されている。

[0057] すなわち、これらの各ロック部材 28, 28、各リンクアーム部材 29, 29及び回転板 3 0で、従来よく知られたリンク機構が構成されている。

[0058] また、各回転板 30の裏面 30eには、図 6に示すように、各回転板 30が回動した際、各ロック部材 28が容器本体 13に係止されたとき及び容器本体 13への各ロック部材 2 8の係止が解除されたときに、各リンクアーム部材 29が当接する当接部 36が形成されている。これにより、各ロック部材 28が容器本体 13に係止されたとき及び容器本体 13への各ロック部材 28の係止が解除されたときに回転板 30の回動が規制される。

[0059] この結果、各ロック部材 28が容器本体 13に係止される際の回転板 30の回動位置である係止回動位置と、容器本体 13への各ロック部材 28の係止が解除される際の回転板 30の回動位置である解除回動位置とが規定される。

[0060] すなわち、各回転板 30は、係止回動位置と解除回動位置との間に回動可能であり、図示の例では、両回動位置間の回動角度は、例えば、約 90度に設定されている。

[0061] 各回転板 30の表面 30bには、図 7に示すように、回転板 30を回転操作するための図示しな!、把手部材のような工具が挿入されるキー溝 30dが形成されて、る。

[0062] 更に、本実施例では、各回転板 30の表面 30bに、各回転板 30の回動操作を手動で行う際に操作する者の指を挿入するための一対の指挿入口 37が形成されている。

[0063] 各凹所 21を覆うカバー部材 25には、図 3に示すように、それぞれ回転板 30の回転時に各指挿入口 37が描く軌跡に沿って、円弧状の操作孔 38がそれぞれ形成されている。これにより、各凹所 21がカバー部材 25で覆われた状態で、各回転板 30の回転を操作する者の指で行うことができる。

[0064] 各回転板 30がー方向へ回転すると、各ロック部材 28は、各回転板 30から受ける係止力により係止方向へ押されることによって各ガイドレール 24に沿って移動され、各ロック部材 28の係止部 31が、容器本体 13の各係止孔 18に係止される。

[0065] 各係止部 31· ··が、各係止孔 18に係止されることにより、蓋本体 20が開口部 12に嵌合された状態で、容器本体 13に対して、脱落不能にロックされる。

[0066] また、各係止部 31が各係止孔 18に係止された状態で、各回転板 30が他方向へ回転すると、各ロック部材 28は、各回転板 30から受ける解除力により解除方向へ引つ張られることによって各ガイドレール 24に沿って移動し、これにより、各係止孔 18への各係止部 31の係止が解除される。これにより、容器本体 13への蓋体 14の係止が解除されるので、容器本体 13から蓋体 14を取り外すことができ、容器本体 13の開口部 12を開放することができる。

[0067] 本発明に係る薄板搬送容器 10の開閉構造 11では、蓋本体 20及び各ロック部材 2 8間に、各ロック部材 28が係止方向へ向けて移動するに従つて各ロック部材 28を、蓋体 14の上方へ移動させるための移動手段 39が、設けられて、る。

[0068] 移動手段 39は、図 2及び図 4に示す例では、各ロック部材 28の係止部 31及び接続部 32間に各ロック部材 28から突出して形成された一対のロック部材側傾斜部 40と、蓋本体 20の各ガイドレール 24間に各凹所 21の底面 21dから突出して形成され、各ロック部材 28の各ロック部材側傾斜部 40に係合可能な一対の蓋体側傾斜部 41とによって構成されている。

[0069] 各ロック部材 28に形成された各ロック部材側傾斜部 40は、図 4に示すように、それぞれ係止部 31及び接続部 32の近傍に形成されており、各ロック部材 28の一端 28a から他端 28bへ向けて仰角を有する傾斜面 40aを有する。

[0070] また、蓋本体 20に形成された各蓋体側傾斜部 41は、図 2に示すように、それぞれ各ガイドレール 24に沿って各凹所 21の内方力も外方へ向けて、各ロック部材 28に形成された各ロック部材側傾斜部 40の傾斜面 40aと等ヽ仰角を有する傾斜面 41a を有する。

[0071] 各ロック部材側傾斜部 40及び，蓋体側傾斜部 41の傾斜面 40a, 41aの傾斜角度は、図 8Eに示すように、それぞれ各ロック部材 28の各係止部 31が容器本体 13の各係止孔 18内に挿入されたときに各係止孔 18の上縁部 18aに容器本体 13の上方へ向けて押し付けられる高さ位置に各ロック部材 28を移動させる大きさに設定されている。

[0072] 他方、容器本体 13の各側壁 17に形成された各係止孔 18の上下方向の大きさは、各ロック部材 28が移動手段 39により移動し、各係止部 31が各係止孔 18内に挿入したときに、各係止部 31が各係止孔 18の上縁部 18aに当接するように設定されている

[0073] 次に、上記実施例 1の薄板搬送容器の開閉構造の作用について説明する。

[0074] 先ず、各ロック部材 28が係止方向へ移動すると、図 8A乃至図 8Cに示すように、各ロック部材 28に形成された各ロック部材側傾斜部 40の傾斜面 40aが、蓋本体 20に形成された各蓋体側傾斜部 41の傾斜面 41aに当接し、さら〖こ、図 8D及び図 8Eに示すように、該傾斜面に沿って摺動することにより、各ロック部材 28が斜め上方に移動される。

[0075] このとき、各ロック部材側傾斜部 40及び蓋体側傾斜部 41の傾斜面 40a, 41aの傾斜角度の大きさが、それぞれ前記したように設定されていることから、各ロック部材 28 が斜め上方に移動することにより、容器本体 13の各係止孔 18内に挿入された各ロック部材 28の係止部 31は、図 8Eに示すように、各係止孔 18の上縁部 18aに上方へ向けて押し付けられる。

[0076] これにより、蓋本体 20には、該蓋本体を容器本体 13に押し付ける押圧力が、各ロック部材 28から作用する。

[0077] この際、各係止孔 18には、容器本体 13の開口部 12の周縁に設けられたフランジ部が、外側方に向けて突設されて、周縁と連続するように一体に成形されているので、図 8Aに示すように、内周面の上縁部 18aの面積力他の側縁部及び下縁部の面積よりも広く設定され、前記各ロック部材 28の係止部 31の上面側の押圧面積が、増大されている。

[0078] このため、この押圧力が有効に伝達されて、蓋本体 20に設けられたガスケット 46の各シール部 46b, 46b力蓋本体 20に形成された溝 20dの上面及び容器本体 13の開口部 12にそれぞれ押し付けられ、溝 20dの上面及び容器本体 13の開口部 12の段部 12aに、それぞれに、二点鎖線で示すように、弾性変形されながら弾性的に当接される。

[0079] 従って、蓋本体 20と容器本体 13の開口部 12との間力確実にシールされる。

[0080] この際、ロック部材 28, 28は、蓋体 14の凹所 21に形成された前記一対のガイドレール 24, 24によって、直線的なスライド移動となるように案内される。

[0081] したがって、各ロック部材 28の係止部 31の容器本体 13の各係止孔 18内への挿入確実性を、更に、向上させることができる。

[0082] 本発明に係る薄板搬送容器 10の開閉構造 11では、図 1に示すように、各回転板 3

0と蓋体 14との間に、各回転板 30の係止回動位置と解除回動位置とに各回転板 30 を保持するための保持手段 42が、設けられている。

[0083] このうち、係止回動位置では、図 9中、右側に示すように、回転板 30の回転により、ロック部材 28, 28が、容器本体 13に係止される際に、リンクアーム部材 29及びロック部材 28力この回転板の軸孔 30a中心から、直線上に縦列されて、停止するように構成されている。

[0084] また、解除回動位置では、図 9中、左側に示すように、回転板 30の回転により、ロック部材 28, 28の容器本体 13への係止が解除される際に、ロック部材 28, 28が、各ガイドレール 24, 24に沿って、直線状にスライド摺動されて、容器本体 13の係止孔 1 8から離脱された状態で、停止するように構成されて！ヽる。

[0085] この実施例 1の保持手段 42は、図 3及び図 7に示すように、蓋体 14の各カバー部材 25の裏面 25aに、この裏面力も突出するように形成された一対の係止突起 43と、各回転板 30の周縁部 30cに、離間されて形成され、各係止突起 43, 43が、係止可能となるよう〖こ、それぞれ設けられた二対の係止凹部 44a, 44a及び 44b, 44bとを有して、主に、構成されていて、係止回動位置及び、解除回動位置の双方で、この回転板 30の回転移動を停止させるように構成されて！、る。

[0086] 各係止突起 43は、図 3に示すように、各カバー部材 25の伸長方向に沿って互いに間隔をおき、且つ、各カバー部材 25が蓋本体 20に装着された状態で、各回転板 30 をその側方から挟み込むように、各カバー部材 25に形成されている。

[0087] 各係止突起 43の各カバー部材 25に沿った横断面は、図示の例では、回転板 30 から離れるに従って広がる V字状をなして、る。

[0088] 各係止凹部 44a, 44a及び 44b, 44bは、図 7に示すように、各回転板 30の係止回動位置及び解除回動位置で、各係止突起 43に対向する位置で各回転板 30の周縁部 30cに形成されている。 [0089] 各係止凹部 44a, 44a及び 44b, 44bは、図示の例では、各回転板 30の周縁部 30 cから各回転板 30の径方向へ突出して形成された三角形状を有する 4つの三角部 4 5の先端を、それぞれ切り欠くことによりに形成されて!、る。

[0090] 各回転板 30が係止回動位置及び解除回動位置に回動したとき、各カバー部材 25 に形成された各係止突起 43が、回転板 30に形成された各係止凹部 44a, 44a及び 44b, 44bに係止することにより、回転板 30が、それぞれ係止回動位置及び解除回動位置に停止されて保持される。

[0091] このように、回転板 30と蓋体 14との間に設けられた保持手段 42により、ロック部材 2 8が容器本体 13に係止される際の係止回動位置及び容器本体 13へのロック部材 28 の係止が解除される際の解除回動位置に回転板 30が保持されることから、回転板 3 0が係止回動位置及び解除回動位置から容易に回動することが防止されるので、口ック部材 28が容器本体 13に係止された状態及び容器本体 13へのロック部材 28の係止が解除された状態を安定して維持することができる。

[0092] 従って、半導体ウェハが収納された薄板搬送容器 10の搬送時、薄板搬送容器 10 に振動力たとえ与えられたとしても、回転板 30の係止凹部 44a, 44aに、係止突起 43, 43が、係止されて、回動不能として、係止回動位置に保持されていることから、この振動による回転板 30の回動が防止される。従って、薄板搬送容器 10に振動が与えられることによる容器本体 13へのロック部材 28の係止の解除を防止することができる。

[0093] 更に、この実施例 1では、係止回動位置では、ロック部材 28, 28の係止部 31, 31 力容器本体 13の係止孔 18, 18の周縁部に係止される際に、リンクアーム部材 29, 29及びロック部材 28, 28を、この回転板 30の回動中心から、直線上に縦列するように停止させる。

[0094] このため、ロック部材 28, 28に外力が加わっても、リンクアーム部材 29, 29を介して、回転板 30の接続部 35, 35に、相互に打ち消すように対向して直線的に外力が伝達され、回転板 30を回転させる力が生じないので、回転板 30が、係止回動位置及び解除回動位置から容易に回動することが防止される。

[0095] 従って、ロック部材 28, 28が、容器本体 13に係止された状態及び容器本体 13へのロック部材 28, 28の係止が解除された状態を、更に、安定して維持することができる。

[0096] これにより、例えば、半導体ウェハが、収納された薄板搬送容器 10の搬送時、容器に振動や、落下による衝撃力たとえ加えられたとしても、回転板 30が、係止回動位置に保持されていることから、この振動による回転板 30の前記解除回動位置へ向けての回動が、確実に防止される。

[0097] 従って、薄板搬送容器 10に振動が与えられることによる容器本体 13へのロック部材 28, 28の係止の解除が防止される。

[0098] また、回転板 30がその係止回動位置及び解除回動位置に保持されることから、ロック部材 28を容器本体 13に係止するとき及び容器本体 13へのロック部材 28の係止を解除するときに、回転板 30を回転させた際、容器本体 13へのロック部材 28の係止及びその解除が完全に行われた力否かを、ロック部材のロック時の音や操作時の抵抗力の変化により発生するクリック感で、容易に確認することができる。

[0099] これにより、容器本体 13へのロック部材 28の係止が完全に解除されていない状態で容器本体 13から蓋体 14を誤って取り外すことが防止されるので、蓋体 14を容器本体 13から取り外す際にロック部材 28が容器本体 13に引っ掛力ることによる従来のようなロック部材 28、容器本体 13及び蓋体 14の破損を防止することができる。

[0100] また、ロック部材 28が、容器本体 13に完全に係止されていない状態で、薄板搬送容器 10を搬送することが防止されるので、搬送中に蓋体 14が容器本体 13から外れて、この容器本体 13内へ、塵埃が侵入することで、半導体ウェハが汚染されることを防止することができる。

[0101] 回転板 30の回動中心となる軸孔 30aを挟んで、対称となるように設けられたそれぞれ一対のリンクアーム部材 29, 29及びロック部材 28, 28力直線上に縦列されて、し力も、係止回動位置では、係止凹部 44a, 44a力係止突起 43, 43によって係止されている位置力ロック部材 28, 28の係止部 31, 31が、容器本体 13の係止孔 18, 18に係止されている位置間を結ぶ直線上に、配列される。

[0102] し力も、この実施例 1では、ロック部材 28, 28は、蓋体 14の凹所 21に形成された一対のガイドレール 24, 24によって、直線的なスライド移動となるように案内されているので、接続部 32, 32部分で屈曲することなぐロック部材 28, 28の延長線上に、リンクアーム部材 29, 29を各々直線的に縦列させることができる。

[0103] このため、係止突起 43, 43と、係止凹部 44a, 44aとの係止解除に必要とされる回転板 30を回転させる周方向の力と、略直交する方向である半径方向に、ロック部材 2

8, 28からリンクアーム部材 29, 29を介して伝達される力と力加わる。

[0104] この際、ロック部材 28が、係止部 31から回転板 30の軸孔 30a方向に向けて、移動しょうとしても、リンクアーム部材 29, 29が、突っ張って移動を阻止する。

[0105] 従って、係止突起 43, 43と、係止凹部 44a, 44aとの係止が、外力により、解除されるおそれが、更に、減少する。

[0106] し力も、例えば、落下により、対称となるように配置されたそれぞれ一対のリンクァーム部材 29, 29及びロック部材 28, 28から、回転板 30の軸孔 30aを挟んで、対向する方向から同時に外力が加わっても、これらの外力が打ち消す方向に作用するので、更に、係止突起 43, 43と、係止凹部 44a, 44aとの係止力解除されるおそれが減少する。

[0107] 従って、保持手段として、蓋体 14に形成された係止突起 43, 43と、回転板 30の係止回動位置及び解除回動位置のそれぞれの回動位置で、係止突起 43, 43に対向する位置となるように、回転板 30の周面に、離間させて、 4つの三角部 45の先端を、各々切り欠いて凹状に形成するだけで、係止突起 43, 43が、係止可能な係止凹部 44a, 44a及び 44b, 44bを、容易に構成することが出来るので、複雑なロック機構を用いる必要が無ぐ動作の信頼性及び耐久性を向上させることができる。

[0108] 更に、前記したように、保持手段 42の各係止凹部 44a, 44a及び 44b, 44bが、各回転板 30の周縁部 30cに、この周縁部 30cから、各回転板 30の径方向へ突出して形成された三角形状をなす 4つの三角部 45の先端が、それぞれ切り欠かれて形成されてヽること力ら、各係止突起 43は、各係止四咅44a, 44a及び 44b, 44bに係止される際のみ各回転板 30に干渉し、各回転板 30の係止回動位置と解除回動位置との間では、各回転板 30に干渉することはない。これにより、各回転板 30の回動中に各回転板の周縁部 30cに各係止突起 43が、干渉することにより、各係止突起 43及び各回転板 30間に生じる摩擦力による各回転板 30の回動効率の低下を、防止することがでさる。

[0109] また、上述したように、蓋体 14及びロック部材 28間に設けられた移動手段 39の移動作用により、ロック部材 28が容器本体 13に形成された係止孔 18に挿入された状態で係止孔 18の上縁部 18aに係止孔 18の内方力も押し付けられることによって、口ック部材 28から蓋体 14に容器本体 13へ向けての押圧力が作用する。

[0110] このため、この実施例 1のロック機構 15は、蓋体 14の外れ止め機能と、容器本体 1 3の開口部 12を蓋体 14で閉鎖した状態で、蓋体を容器本体 13に、より密着させる機能とを兼ね備えている。

[0111] 従って、前記回転板 30を回転させるだけで、容器本体 13の開口部 12を蓋体 14により、確実に、密封閉鎖することができる。

[0112] 更に、上述したように、蓋本体 20の溝 20d内に、蓋本体 20と容器本体 13の開口部

12との間をシールするための環状のガスケット 46が設けられていることから、蓋本体

20と容器本体 13との間をより確実にシールすることができる。

[0113] すなわち、環状のガスケット 46が、係止孔 18に挿入されるロック部材 28の係止部 3

1の上面部と、係止孔 18の内周面の上縁部 18aとが当接することにより発生する押圧力で、上下方向に押圧され、弾性変形しながら、蓋本体 20に形成された溝 20dの上面及び容器本体 13の開口部 12にそれぞれ押し付けられて、蓋体 14と容器本体 13 の開口部 12との間がシールされる。

[0114] これにより、蓋体 14と容器本体 13との間から容器本体 13内に粉塵が侵入することをより確実に防止することができる。

[0115] また、前記したように、回転板 30の表面 30bに、回転板の回転操作を行う操作者の指を挿入するための一対の指挿入口 37が形成されている。

[0116] 従来、回転板 30を回転操作するために、工具をキー溝 30dに挿入し、この工具を操作者により手動で又はロボットのような機械を用いて回転させることにより、回転板 3

0を回転させていた力専用の工具及び機械が用意されていない場所では、回転板

30の回転操作を行うことが困難になり、不都合が生じるおそれがあった。

[0117] また、回転板 30を回転操作するための専用の把手部材を回転板 30とは別に形成する必要があるため、部品点数の増大を招く。 [0118] これに対し、本実施例によれば、前記したように、回転板 30の表面 30bに一対の指揷入口 37が形成されていることから、容器本体 13へのロック部材 28の係止及びその解除を行うべく回転板 30を回動させる際、回転板 30を回動させるための専用の工具及び機械等を用いることなぐ又、回転板を手動で回転させるための専用の把手部材を別途設けることによる部品点数の増大を招くことなぐ回転板 30を前記操作手の指で容易に回動させることができる。

[0119] 更に、前記したように、蓋本体 20の各凹所 21の開口縁部 21eに、各係止穴 22への各係止爪 26の係止を解除するための複数の解除用凹部 27が形成されており、各解除用凹部 27の内径の大きさが、操作者の指の挿入を許す大きさを有している。

[0120] このため、各カバー部材 25を蓋本体 20から取り外す際、各解除用凹部 27内に例えば、指を挿入し、各係止爪 26を凹所 21の内方へ向けて押し込むことにより、各係止穴 22に係止された各係止爪 26を弾性変形させ、これにより、各係止穴 22への各係止爪 26の係止を容易に解除することができる。従って、蓋体 14を洗浄するとき、蓋体 14を分解することにより、蓋体 14の構成部品を個々に洗浄することができる。

[0121] し力も、この実施例 1では、リンク機構が、回転板 30の接続部 35, 35及びロック部材 28, 28の接続咅 32に、それぞれ一対のリンクアーム咅材 29, 29を、係合させて軸支させるだけで構成されているので、カバー部材 25を取り外すだけで、容易に分解及び組み立てを行うことができる。

[0122] しかも、これらの接続部 32, 32及び 35, 35において、周囲の摺接する部分を小さな面積に設定することができるので、開閉動作時の摩擦低減箇所の極小化による粉塵発生の減少化を図ることができる。

[0123] また、この実施例 1では、係止凹部 44a, 44a及び 44b, 44bを交互に係止する係止突起 43, 43が、軸孔 30aを挟んで反対側に一対設けられていて、 2箇所で、係止することにより、回転板 30を回動不能に保持するように構成されて！、る。

[0124] このため、更に、係止回動位置及び解除回動位置を保持しやすぐ係止回動位置では、前記ロック部材 28, 28によるロックが外れにくいと共に、何れか一方の係止突起 43が、摩耗等によって、各係止凹部 44a, 44bに係止出来なくなっても、他方の係止突起 43が、係止されて、係止回動位置及び解除回動位置を保持することができる [0125] 従って、この点においても、動作信頼性を向上させることができる。

実施例 2

[0126] 図 11乃至図 13は、この発明の最良の実施の形態を実施する実施例 2の薄板搬送容器の開閉構造を示す。

[0127] なお、実施例 1と同一乃至均等な部分については、同一符号を付して説明する。

[0128] この実施例 2の薄板搬送容器の開閉構造に用いられるロック部材 128には、容器本体 13の各係止孔 18に挿入される各係止部 131に、センタリング機構が設けられている。

[0129] このセンタリング機構は、図 12に示すように、係止部 131の先端面 131aと、左右側面部 131b, 131bとの間の両角部に、円弧状を有して形成されるガイド曲面 131c, 1 31cを備えている。

[0130] また、係止部 131の先端面 131aと、上面部 131dとの間の上角部には、面取りにより構成されるテーパ面 131eが形成されている。

[0131] このように構成された実施例 2の薄板搬送容器の開閉構造では、図 12中に示すように、係止部 131に、円弧状を有するガイド曲面 131c, 131c及びテーパ面 131eが形成されているので、係止部 131の先端面 131aが、容器本体 13の係止孔 18に揷入される際、これらのガイド曲面 131c, 131c及びテーパ面 131eによって、係止部 1 31の挿入がガイドされて、正しい係止位置に、円滑に挿入させることができる。

[0132] このため、係止部 131の左右側面部 131b, 131b及び上面部 131dの係止孔 18の内周縁に対する嵌め合い精度を向上させることができる。

[0133] したがって、図 13中矢印で示すように、これらのロック部材 128, 128の係止部 131 , 131が、係止孔 18, 18へ挿入されることにより、蓋本体 20が、容器本体 13に対して、各矢印 Fで示す方向にセンタリングされながら装着される。

[0134] よって、容器本体 13内部に保持される薄板としての半導体ウェハ等の保持位置を、更に、正確に設定することができる。

[0135] この実施例 2におけるロック機構のロック部材 128, 128は、蓋体 14の外れ止め機能と、容器本体 13の開口部 12を、蓋体 14で閉鎖した状態で、蓋体を容器本体 13に、より密着させる機能とに加えて、更に、位置決め機能を兼ね備えている。

[0136] 他の構成及び作用効果については、前記実施例 1と同一乃至均等であるので、説明を省略する。

[0137] 以上、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳述してきたが、具体的な構成は、この実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明に含まれる。

[0138] 即ち、上記実施例 1では、各カバー部材 25に各係止突起 43が形成され、各回転板 30に各係止突起 43が係止される係止凹部 44a, 44a及び 44b, 44bが形成された例を示したが、これに代えて、各回転板 30に各係止突起を形成し、各カバー部材 25に各係止突起が係止される係止凹部を形成することができる。

[0139] また、保持手段 42の各係止突起 43が、それぞれ各カバー部材 25に形成された例を示した力これに代えて、例えば蓋本体 20の各凹所 21の周壁に形成することができる。

[0140] 更に、カバー部材 25、各ロック部材 28、各リンクアーム部材 29及び回転板 30をそれぞれポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート及びポリエーテルエーテルケトンのような榭脂材料によって成形することができる。

[0141] また、各ロック部材 28、各リンクアーム部材 29及び回転板 30の摺動性を向上させるために、前記した各榭脂材料に、ポリアセタール、フッ素榭脂、シリコーン等を混ぜることがでさる。

[0142] 更に、カバー部材 25、各ロック部材 28、各リンクアーム部材 29及び回転板 30の強度を高めるために、前記した各榭脂材料に、ガラス繊維や炭素繊維等を混ぜることができる。

[0143] 上述された本発明の効果に加え、それぞれ一対のリンクアーム部材及びロック部材力回転板の回動中心を挟んで、対称となるように、直線上に縦列され、し力も、係止回動位置では、保持手段の係止凹部が、係止突起によって係止されている位置を、ロック部材が、容器本体に係止されている位置間を結ぶ直線上に、配列させ、このため、係止突起と係止凹部との係止解除に必要とされる回転板を回転させる力と、略直交する方向に、ロック部材からリンクアーム部材を介して伝達される力が加わるので、更に、外力によって、係止突起と係止凹部との係止が解除されるおそれが減少する。

[0144] しカゝも、対称に設けられたそれぞれ一対のリンクアーム部材及びロック部材によって、回転板の回動中心を挟んで、対向する方向から外力が加えられても、これら外力は打ち消す方向に作用するので、更に、係止突起と係止凹部との係止が解除される虞が減少する。

[0145] 従って、保持手段として、蓋体に形成された係止突起と、回転板の係止回動位置及び解除回動位置のそれぞれの回動位置で係止突起に対向する位置で回転板に形成され、係止突起が係止可能な係止凹部とで、容易に構成することが出来るので、複雑なロック機構を用いる必要が無ぐ動作信頼性を向上させることができる。

[0146] 更に、上記構成によれば、蓋体に設けられたガイド手段によって、ロック部材が、回転板の回動中心から、直線上にスライド移動可能にガイドされる。

[0147] このため、容器本体に、ロック部材が係止される際に、直線的に、容器本体に係止されるため、この係止の確実性を向上させることができる。

[0148] また、上述の如く蓋体及びロック部材間に、回転板からロック部材に係止力が作用したときに、ロック部材が容器本体に向けて移動するに従ってロック部材を蓋体の上方へ移動させるための移動手段が設けられており、この移動手段の移動作用により、ロック部材が容器本体に形成された係止孔に挿入された状態で、係止孔の縁部に係止孔の内方力押し付けられる。

[0149] このため、ロック部材から蓋体に容器本体へ向けての押圧力が作用することから、容器本体の開口部を蓋体で閉鎖した状態で、蓋体を容器本体に、ガスケットを介してより密着させることができる。これにより、容器本体の開口部を、蓋体を用いて、より確実に密閉閉鎖することができる。

[0150] 更に、上記構成によれば、各ロック部材の係止部及び接続部間に設けられた傾斜部が、蓋体の底面カゝら突出して形成された傾斜部に対して、スライド係合されて、ロック部材が容器本体に形成された係止孔に挿入される力を用いて、係止孔の縁部に、該ロック部材の係止部を、係止孔の内方力も押し付けるようにしている。

[0151] このため、別途、容器本体の開口部を蓋体で閉鎖するための圧着機構を必要とせずに、各ロック部材を、係止孔に挿入させるように、回転板を回転させるだけで、ロック部材力蓋体に対して、容器本体へ向けての押圧力を作用させることが出来、確実に密閉閉鎖させることができる。

[0152] また、係止部に、円弧状を呈するガイド曲面及びテーパ面が形成されているので、係止部の先端面が、容器本体の係止孔に挿入される際、これらのガイド曲面及びテーパ面によって、係止部の挿入がガイドされて、正しい係止位置に、円滑に挿入させることがでさる。

[0153] このため、係止部の左，右側面部及び上面部の係止孔の内周縁に対する嵌め合い精度を向上させることが出来る。

[0154] したがって、これらの各ロック部材の各係止部力各係止孔へ挿入されることにより

、蓋体が、容器本体に対して、センタリングされながら装着される。

[0155] よって、容器本体内部に保持される薄板としての半導体ウェハ等の保持位置を、更に、正確なものとすることが出来る。

[0156] また、環状のガスケットが、係止孔に挿入されるロック部材の係止部の上面部と、係止孔の内周面の上縁部とが当接することにより発生する押圧力で、上下方向に押圧されて、弾性変形しながら、各部材に弹接して、蓋体と容器本体の開口部との間がシールされる。

[0157] これにより、蓋体と容器本体との間から容器本体内に粉塵が侵入することをより確実に防止することができる。

[0158] 更に、上記構成によれば、回転板に、この回転板の回転操作を行う操作者の指を挿入するための指挿入口が形成されてヽることから、容器本体へのロック部材の係止及びその解除を行うべく回転板を回動させる際、回転板を回動させるための専用の工具及び機械（ロボット)等を用いることなぐ回転板を手動で容易に回動させることができる。

[0159] これにより、回転板を手動で回転させるための例えば把手部材を別途設けることによる部品点数の増大を抑制することができる。

[0160] また、上記構成によれば、蓋本体の凹所内に収容されたロック機構を覆うカバー部材には、凹所の周面に形成された係止穴に凹所の内方から係止される弾性変形可能な係止爪が形成されており、蓋本体の凹所の開口縁部には、係止穴への係止爪の係止を解除するための解除用凹部が形成されて、ることから、解除用凹部内に例えば指を挿入し、係止爪を凹所の内方へ向けて押し込むことにより、係止穴に係止された係止爪を弾性変形させることによって係止穴への係止爪の係止を容易に解除することがでさる。

[0161] 従って、蓋本体への開閉構造部材の組立及び分解を容易に行うことができるので、蓋体を洗浄するときに該蓋体を分解することにより、蓋体の構成部品を個々に洗浄することができる。

産業上の利用可能性

[0162] 上記実施例では、本発明に係る薄板搬送容器の開閉構造を半導体ウェハ等の薄板搬送容器に適用したが、この開閉構造を薄板搬送容器に限らず、物を収容する種々の容器に適用することができる。

Claims

請求の範囲

[1] 開口部を有する容器本体と、該容器本体の前記開口部を閉鎖するように前記容器本体に取り外し可能に装着される蓋体と、該蓋体に設けられ前記容器本体の前記開口部が閉鎖された状態で前記蓋体を前記容器本体に係止するためのロック機構とを備え、

前記ロック機構は、前記蓋体に回動可能に設けられる回転板と前記容器本体に解除可能に係止されるロック部材と該ロック部材に、リンクアーム部材を介して連結されて前記回転板の回転力を、前記ロック部材に前記容器本体への係止力及びその解除のための解除力として作用させるリンクアーム部材とを有するリンク機構と、該回転板の回転により前記ロック部材が前記容器本体に係止される係止回動位置と、前記容器本体への前記ロック部材の係止が解除される解除回動位置との双方において、前記回転板の回転を停止させて保持するための保持手段と、を含んでいる薄板搬送容器の開閉構造。

[2] 前記ロック部材が前記容器本体に係止される前記係止回動位置において、前記リンクアーム部材及び前記ロック部材が、該回転板の回動中心力も直線上に縦列するように停止される請求項 1記載の薄板搬送容器の開閉構造。

[3] 前記保持手段は、略円形を有する回転板の周縁部に、少なくとも一対の間隔をあけて配置された係止凹部と、該係止凹部に係止可能となるように、対向する蓋体の一部から突設された係止突起とを有し、それぞれ一対のリンクアーム部材及びロック部材が、前記回転板の回動中心を挟んで、対称となるように設けられると共に、前記係止回動位置において、前記回転板の回転を保持している係止凹部の位置が、前記一対のロック部材を前記容器本体に係止する位置を結ぶ直線上に配置されている請求項 1記載の薄板搬送容器の開閉構造。

[4] 前記蓋体には、前記ロック部材を、前記回転板の回動中心から、直線上にスライド移動可能にガイドするガイド手段が設けられている請求項 1記載の薄板搬送容器の開閉構造。

[5] 前記ロック部材は、前記容器本体に係止される係止位置と該容器本体への係止が解除される解除位置との間で移動可能に設けられており、前記容器本体には、前記ロック部材が挿入されて係止される係止孔が形成され、前記蓋体及び前記ロック部材間には、前記ロック部材が前記係止孔に挿入された状態で前記ロック部材を前記係止孔の縁部に前記係止孔の内方力押し付けることにより前記ロック部材力前記蓋体に前記容器本体へ向けての押圧力を作用させるために、前記ロック部材が前記容器本体に向けて移動するに従って、前記ロック部材を前記蓋体の上方へ移動させるための移動手段が設けられている請求項 1に記載の薄板搬送容器の開閉構造。

[6] 前記移動手段は、前記各ロック部材の係止部及び接続部間に設けられて、各ロック部材から突出して形成された傾斜部と、前記蓋体の底面から突出して形成され該各ロック部材の各傾斜部に係合可能な傾斜部とによって構成されている請求項 5に記載の薄板搬送容器の開閉構造。

[7] 更にセンタリング機構を備え、該センタリング機構は、前記係止孔に挿入される前記ロック部材の係止部の先端面と、左右側面部との間の両角部に形成され且つ円弧状を有するガイド曲面と、該係止部の先端面と、上面部との間の上角部に形成されたテーパ面とによって構成されてヽる請求項 5に記載の薄板搬送容器の開閉構造。

[8] 前記係止孔に挿入される前記ロック部材の係止部の上面部と、前記係止孔の内周面の上縁部との当接により、上下方向に押圧されて、弾性変形し、前記蓋体と容器本体の開口部との間をシールするための環状のガスケットを更に備えて、る請求項 5 に記載の薄板搬送容器の開閉構造。

[9] 前記回転板には、該回転板の回転操作を行う者の指を挿入するための指挿入口が形成されて!ヽる請求項 1に記載の薄板搬送容器の開閉構造。

[10] 前記蓋体は、前記ロック機構が収容される凹所が形成された蓋本体と、前記凹所内に収容された前記ロック機構を覆うカバー部材とを備え、該カバー部材には、前記凹所の周面に形成された係止穴に前記凹所の内方から係止される弾性変形可能な係止爪が形成され、前記蓋本体には、前記凹所の開口縁部に、前記解除用凹部の内方及び前記蓋本体の上方へ向けて開放し、前記係止穴への前記係止爪の係止を解除するための解除用凹部が形成されている請求項 1に記載の薄板搬送容器の開閉構造。