WO2006030506A1 - Method for spraying spacers - Google Patents

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WO2006030506A1 PCT/JP2004/013542 JP2004013542W WO2006030506A1 WO 2006030506 A1 WO2006030506 A1 WO 2006030506A1 JP 2004013542 W JP2004013542 W JP 2004013542W WO 2006030506 A1 WO2006030506 A1 WO 2006030506A1
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droplet
spacer
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PCT/JP2004/013542
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Inventor
Hiroyuki Sekiguchi
Ryusuke Hayashi
Original Assignee
Nagase & Co., Ltd.
Choshu Industry Company Limited
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Abstract

A method for spraying spacers comprising a step for preparing a color filter (100) having a black matrix (20) provided with a plurality of openings (20p), colored parts (30R, 30G, 30B) provided in respective openings (20p) and an upper film (60) provided on the colored parts (30R, 30G, 30B) and the black matrix (20), a step for adhering a droplet (240) containing a spacer (230) to a region (240s) of the surface of the upper film (60) including a portion (60b) facing the black matrix (20), and a step for disposing a light shielding plate (400) capable of blocking infrared rays and provided with openings (400a) respectively corresponding to the colored parts (30R, 30G, 30B) such that the colored parts (30R, 30G, 30B) face the openings (400a), and irradiating the color filter (100) with infrared rays through the openings (400a).

Description

明 細 書  Specification
スぺーサの散布方法  Spacer spraying method
技術分野  Technical field
[0001] 本発明は、スぺーサの散布方法に関する。  The present invention relates to a spacer spraying method.
背景技術  Background art
[0002] 液晶ディスプレイにおいては、カラーフィルタと駆動基板とが互いに対向配置され、 これらカラーフィルタと駆動基板との間に液晶が封入されている。  In a liquid crystal display, a color filter and a drive substrate are arranged to face each other, and liquid crystal is sealed between the color filter and the drive substrate.
[0003] このカラーフィルタは、例えば、透明基板上に、複数の開口が形成された格子状の ブラックマトリクスと、これらの開口内に設けられた R, G, Bの各色の着色部とを備え たものである。カラーフィルタは、必要に応じてこれら着色部及びブラックマトリクス上 にさらに、上膜を有することができ、上膜は、透明電極膜、配向膜等を積層したもの である。  [0003] This color filter includes, for example, a grid-like black matrix in which a plurality of openings are formed on a transparent substrate, and colored portions of R, G, and B colors provided in these openings. It is a thing. The color filter can further have an upper film on the colored portion and the black matrix as necessary, and the upper film is formed by laminating a transparent electrode film, an alignment film, and the like.
[0004] そして、駆動基板とカラーフィルタとの間には所定の間隔を維持するためのスぺー サが多数配置されている。  [0004] A large number of spacers for maintaining a predetermined distance are arranged between the drive substrate and the color filter.
特許文献 1:特開平 10-48417号公報  Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 10-48417
発明の開示  Disclosure of the invention
発明が解決しょうとする課題  Problems to be solved by the invention
[0005] このような液晶ディスプレイの製造においては、カラーフィルタの表面にスぺーサを 配置した後、そのスぺーサの上に駆動基板が重ねられる。ここで、カラーフィルタの 表面における着色部に対向する部分にスぺーサが配置されると、液晶ディスプレイと して使用する際にこの着色部に対応する画素の表示品質に影響を及ぼす場合があ る。したがって、カラーフィルタの表面におけるブラックマトリクスに対向する部分にス ぺーサを配置する必要がある。  [0005] In manufacturing such a liquid crystal display, after a spacer is disposed on the surface of the color filter, a driving substrate is overlaid on the spacer. Here, if a spacer is arranged on the surface of the color filter facing the colored portion, it may affect the display quality of the pixel corresponding to the colored portion when used as a liquid crystal display. The Therefore, it is necessary to arrange a spacer on the surface of the color filter in a portion facing the black matrix.
[0006] し力しながら、従来は、カラーフィルタの表面におけるブラックマトリクスに対向する 部分に十分に高い精度でスぺーサを配置することが難し力つた。  [0006] However, conventionally, it has been difficult and difficult to dispose a spacer with sufficiently high accuracy in a portion of the color filter surface facing the black matrix.
[0007] 本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、カラーフィルタの表面におけるブ ラックマトリクスに対向する部分に、十分に高い精度でスぺーサを配置することが可能 なスぺーサの散布方法を提供することを目的とする。 [0007] The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to dispose a spacer with sufficiently high accuracy in a portion of the surface of the color filter facing the black matrix. An object is to provide a method for spreading a spacer.
課題を解決するための手段  Means for solving the problem
[0008] 本発明に係るスぺーサの散布方法は、複数の開口が形成されたブラックマトリクスと 、ブラックマトリクスの各開口内に設けられた着色部と、を有するカラーフィルタを用意 する工程と、カラーフィルタの表面においてブラックマトリクスに対向する部分を含む 領域に、スぺーサを含有する液滴を付着させる工程と、赤外線を遮光可能でありか つ各着色部に対応する開口が形成された遮光板を、カラーフィルタの着色部と遮光 板の開口とが対向するように配置し、遮光板の開口を通してカラーフィルタに赤外線 を照射する工程とを含む。  [0008] A method for spreading a spacer according to the present invention includes a step of preparing a color filter having a black matrix in which a plurality of openings are formed, and a colored portion provided in each opening of the black matrix; A process of adhering droplets containing spacers to the area including the part facing the black matrix on the surface of the color filter, and a light shield capable of shielding infrared rays and having openings corresponding to the colored portions. And a step of arranging the plate so that the colored portion of the color filter faces the opening of the light shielding plate and irradiating the color filter with infrared rays through the opening of the light shielding plate.
[0009] 本発明によれば、カラーフィルタの表面においてブラックマトリクスに対向する部分 を含む領域にスぺーサを含む液滴が付着し、着色部に対向する部分が開口とされた 遮光板を介してカラーフィルタに赤外線が照射される。  [0009] According to the present invention, a droplet including a spacer adheres to a region including a portion facing the black matrix on the surface of the color filter, and the portion facing the colored portion is opened through the light shielding plate. Infrared rays are irradiated to the color filter.
[0010] こうすると、赤外線は、専ら、液滴のうち着色部に対向する部分に照射される。した がって、液滴が乾燥していく際には、液滴の内の着色部に対向する部分の液体が主 として蒸発していき、液滴の内のブラックマトリクスに対向する部分の液体が残りやす い。したがって、液滴を乾燥させる過程で、液滴中のスぺーサは残る液体に引っ張ら れるようにしてカラーフィルタの表面におけるブラックマトリクスに対向する部分、言い 換えると、ブラックマトリクス上の部分に向力つて移動する。そして、乾燥が進んで液 滴が消失すると、スぺーサはカラーフィルタの表面におけるブラックマトリクスに対向 する部分に配置されることとなる。このようにして、本発明によれば、液滴をカラーフィ ルタの表面に付着させる精度が少々悪くなつても、また、液滴内の任意の位置にスぺ ーサが配置されていても、乾燥後にはスぺーサがカラーフィルタの表面におけるブラ ックマトリクスに対向する部分に精度良く配置される。  [0010] In this way, infrared rays are exclusively applied to the portion of the droplet that faces the colored portion. Therefore, when the droplets dry, the liquid in the portion of the droplet that faces the colored portion evaporates mainly, and the liquid in the portion of the droplet that faces the black matrix. Is likely to remain. Therefore, in the process of drying the droplets, the spacers in the droplets are pulled by the remaining liquid so that the portion facing the black matrix on the surface of the color filter, in other words, the portion on the black matrix has a counter force. Move. As the drying progresses and the liquid droplets disappear, the spacer is disposed on the surface of the color filter facing the black matrix. In this way, according to the present invention, even if the accuracy of attaching the droplet to the surface of the color filter is slightly worse, and even if the spacer is arranged at an arbitrary position in the droplet, After drying, the spacer is accurately placed on the surface of the color filter facing the black matrix.
[0011] ここで、カラーフィルタを用意する工程において、カラーフィルタの表面におけるブ ラックマトリクスと対向する部分には、カラーフィルタの表面における着色部と対向す る部分よりも窪んでいる窪み部が形成され、液滴を付着させる工程において、カラー フィルタの表面における窪み部を含む領域に液滴を付着させることが好ましい。  [0011] Here, in the step of preparing the color filter, a recessed portion that is depressed more than a portion facing the colored portion on the surface of the color filter is formed in the portion facing the black matrix on the surface of the color filter. In the step of attaching the droplets, it is preferable that the droplets are attached to the region including the depression on the surface of the color filter.
[0012] これによれば、カラーフィルタの表面における窪み部を含む領域にスぺーサを含む 液滴が付着し、これが遮光板の開口を介して照射される赤外線により乾燥する。ここ で、窪み部内の液体はくぼみ部外の液体よりもさらに蒸発しにくぐこの窪み部内に は液体が最後までより残りやすくなる。これにより、乾燥が進むにつれて液滴中のス ぺーサは液体に引っ張られて窪み部へ向かって移動する。すなわち、スぺーサは、 より確実に、カラーフィルタの表面におけるブラックマトリクスと対向する部分に配置さ れることとなる。 [0012] According to this, the spacer is included in the region including the depression on the surface of the color filter. A droplet adheres and is dried by infrared rays irradiated through the opening of the light shielding plate. Here, the liquid in the recess is more likely to remain in the recess where it is more difficult to evaporate than the liquid outside the recess. As a result, as the drying proceeds, the spacer in the droplet is pulled by the liquid and moves toward the depression. In other words, the spacer is more reliably arranged at the portion facing the black matrix on the surface of the color filter.
[0013] また、カラーフィルタは、各着色部及びブラックマトリクス上にさらに上膜を有してい ることが好ましい。具体的には、上膜は、着色部及びブラックマトリクスに近い側から 順に、透明電極膜、配向膜を含むことができ、このような構成のカラーフィルタは、液 晶デバイスにとって好適である。  [0013] The color filter preferably further has an upper film on each colored portion and the black matrix. Specifically, the upper film can include a transparent electrode film and an alignment film in order from the side closer to the colored portion and the black matrix, and the color filter having such a configuration is suitable for a liquid crystal device.
発明の効果  The invention's effect
[0014] 本発明によれば、カラーフィルタの上膜において、ブラックマトリクスに対向する部 分に十分に高い精度でスぺーサを配置することが可能となる。  [0014] According to the present invention, it is possible to dispose a spacer with sufficiently high accuracy in a portion facing the black matrix in the upper film of the color filter.
図面の簡単な説明  Brief Description of Drawings
[0015] [図 1]図 1は、第一実施形態に係るカラーフィルタを説明する概略断面図である。  FIG. 1 is a schematic cross-sectional view illustrating a color filter according to a first embodiment.
[図 2]図 2は、図 1のカラーフイノレタの拡大図である。  [FIG. 2] FIG. 2 is an enlarged view of the color finisher of FIG.
[図 3]図 3は、図 2のカラーフイノレタの上面図である。  FIG. 3 is a top view of the color finisher shown in FIG. 2.
[図 4]図 4は、カラーフィルタ上にスぺーサを含む液滴を付着させる方法を示す概略 断面図である。  [FIG. 4] FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a method of depositing a droplet containing a spacer on a color filter.
[図 5]図 5は、カラーフィルタ上に付着した液滴を示す概略図である。  FIG. 5 is a schematic view showing droplets attached on the color filter.
[図 6]図 6は、液滴が乾燥していく様子を示す図 5に続く概略図である。  [Fig. 6] Fig. 6 is a schematic diagram following Fig. 5 showing how the droplets are dried.
[図 7]図 7は、液滴が乾燥していく様子を示す図 6に続く概略図である。  [FIG. 7] FIG. 7 is a schematic diagram following FIG. 6 showing how the droplets are dried.
[図 8]図 8は、液滴が乾燥していく様子を示す図 7に続く概略図である。  [FIG. 8] FIG. 8 is a schematic diagram following FIG. 7 showing how the droplets are dried.
[図 9]図 9は、液滴が乾燥していく様子を示す図 8に続く概略図である。  [FIG. 9] FIG. 9 is a schematic diagram following FIG. 8 showing how droplets are dried.
[図 10]図 10は、第二実施形態において、カラーフィルタの上膜上の液滴を乾燥させ る方法を示す概略断面図である。  FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing a method for drying droplets on an upper film of a color filter in the second embodiment.
[図 11]図 11は、第二実施形態において、カラーフィルタの上膜上の液滴を乾燥させ た後の状態を示す概略断面図である。 符号の説明 FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing a state after drying droplets on an upper film of a color filter in the second embodiment. Explanation of symbols
[0016] 20· ··ブラックマトリクス、 20ρ· ··開口、 30R, 30G, 30Β· ··着色部、 40· ··透明電極 膜、 50· ··配向膜、 60· ··上膜、 60a…窪み部、 100· ··カラーフィルタ、 240· ··液滴、 2 30· ··スぺーサ、 400· ··遮光板、 400a…開口。  [0016] 20 ··· Black matrix, 20ρ ··· Opening, 30R, 30G, 30Β ··· Colored portion, 40 ··· Transparent electrode film, 50 ··· Orientation film, 60 · · · Upper film, 60a ... depression, 100 ... color filter, 240 ... droplet, 2 30 ... spacer, 400 ... shading plate, 400a ... opening.
発明を実施するための最良の形態  BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
[0017] 以下、本発明に係るスぺーサの散布方法の好適な実施形態について図面を参照 しながら説明する。なお、図面の説明においては、同一の要素には同一の符号を付 し、重複する説明は省略する。また、図面においては、寸法比率は説明のものとは必 ずしも一致していない。 [0017] Hereinafter, a preferred embodiment of a spacer spraying method according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and duplicate descriptions are omitted. In the drawings, the dimensional ratio does not always match the description.
[0018] (第 1実施形態) [0018] (First embodiment)
まず、図 1一図 3に示すような、カラーフィルタ 100を用意する。このカラーフィルタ 1 First, a color filter 100 as shown in FIG. 1 and FIG. 3 is prepared. This color filter 1
00は、基板 10、ブラックマトリクス 20、赤色着色部 30R、緑色着色部 30G、青色着色 部 30B、上膜 60を備えている。 00 includes a substrate 10, a black matrix 20, a red coloring portion 30R, a green coloring portion 30G, a blue coloring portion 30B, and an upper film 60.
[0019] 基板 10は、ガラス等力も形成された透明な平板である。 The substrate 10 is a transparent flat plate on which glass isotropic force is also formed.
[0020] ブラックマトリクス 20は、可視光を遮光する材料力もなる膜である。ブラックマトリクス 20の材料としては、例えば、クロム、クロム Z酸化クロム等の金属系材料や、榭脂材 料等が挙げられる。このブラックマトリクス 20は格子形状又はストライプ形状をなし、 多数の開口 20pを形成している。ブラックマトリクスの幅 20wは、例えば、 5— 30 /z m 程度とすることができる。また、ブラックマトリクスの高さ 20hは、例えば 0. 1— 程 度とすることができる。  [0020] The black matrix 20 is a film that also has a material force to shield visible light. Examples of the material of the black matrix 20 include metal materials such as chromium and chromium Z chromium oxide, and a resin material. The black matrix 20 has a lattice shape or a stripe shape, and forms a large number of openings 20p. The width 20w of the black matrix can be set to about 5-30 / z m, for example. Further, the height 20h of the black matrix can be set to about 0.1-, for example.
[0021] 赤色着色部 30R、緑色着色部 30G、青色着色部 30Bは、それぞれ、ブラックマトリ タス 20の開口 20p内にこの順に配置されている。赤色着色部 30R、緑色着色部 30G 、青色着色部 30Bは、それぞれ、各色の可視光を選択的に透過可能な透明着色材 料からなり、例えば、透明着色榭脂を使用できる。各着色部 30R, 30G, 30Bの幅 3 Owは、例えば、 5— 100 mとすることができる。各着色部 30R, 30G, 30Bの高さ 3 Ohは、例えば、 1一 2 mとすることができる。  [0021] The red coloring portion 30R, the green coloring portion 30G, and the blue coloring portion 30B are arranged in this order in the opening 20p of the black matrix 20, respectively. Each of the red coloring portion 30R, the green coloring portion 30G, and the blue coloring portion 30B is made of a transparent coloring material that can selectively transmit visible light of each color, and for example, a transparent coloring resin can be used. The width 3 Ow of the colored portions 30R, 30G, and 30B can be set to 5 to 100 m, for example. The height 3 Oh of each coloring portion 30R, 30G, 30B can be set to 1 to 2 m, for example.
[0022] ここで、各着色部 30R, 30G, 30Bの高さ 30hは、ブラックマトリクス 20の高さ 20hよ りも十分に高くされている。 [0023] そして、これらの各着色部 30R, 30G, 30B及びブラックマトリクス 20上に亘つて上 膜 60が形成されている。この上膜 60は、基板 10側力も順に、透明電極膜 40、及び 配向膜 50を有する積層体である。 [0022] Here, the height 30h of each of the colored portions 30R, 30G, and 30B is sufficiently higher than the height 20h of the black matrix 20. An upper film 60 is formed over the colored portions 30R, 30G, 30B and the black matrix 20. This upper film 60 is a laminated body having the transparent electrode film 40 and the alignment film 50 in the order of the substrate 10 side force.
[0024] 透明電極膜 40は、液晶ディスプレイの駆動基板の画素電極 (不図示)に対向配置 されるべき共通電極であり、 ITO等の透明な導電材料により形成される。透明電極膜 40の厚みは、例えば、約 0. 1 μ m程度である。  The transparent electrode film 40 is a common electrode that should be disposed opposite to a pixel electrode (not shown) of a driving substrate of a liquid crystal display, and is formed of a transparent conductive material such as ITO. The thickness of the transparent electrode film 40 is, for example, about 0.1 μm.
[0025] 配向膜 50は、液晶を所望の方向に配向させるものであり、例えば、ポリイミド等の榭 脂材料等により形成できる。配向膜 50の厚みは、例えば、約 0. 1 μ m程度である。  [0025] The alignment film 50 aligns the liquid crystal in a desired direction, and can be formed of, for example, a resin material such as polyimide. The thickness of the alignment film 50 is, for example, about 0.1 μm.
[0026] そして、ブラックマトリクス 20の上面と、各着色部 30R, 30G, 30Bの上面と、の段差 に対応して、カラーフィルタ 100の表面、すなわち、上膜 60の表面においては、ブラ ックマトリクス 20に対向する部分 60bよりも、各着色部 30R, 30G, 30Bに対向する部 分 60cの方が高くなつている。すなわち、上膜 60の表面において、ブラックマトリクス 20に対向する部分 60bには、各着色部 30R, 30G, 30Bに対向する部分 60cよりも 低くされた窪み部 60aが形成されている。より具体的には、図 3に示すように、ブラック マトリクス 20は格子状であり、この窪み部 60aは、ブラックマトリクス 20に沿う溝形状と なっている。窪み部 60aがブラックマトリクス 20に沿う溝形状をなしているので、液滴 2 40を窪み部 60aを含む領域 240sに付着させることが容易である。  [0026] Then, on the surface of the color filter 100, that is, the surface of the upper film 60, corresponding to the step between the upper surface of the black matrix 20 and the upper surfaces of the colored portions 30R, 30G, and 30B, the black matrix 20 The portion 60c facing each colored portion 30R, 30G, 30B is higher than the portion 60b facing the. That is, on the surface of the upper film 60, a recess 60a that is lower than the portion 60c that faces the colored portions 30R, 30G, and 30B is formed in the portion 60b that faces the black matrix 20. More specifically, as shown in FIG. 3, the black matrix 20 has a lattice shape, and the recess 60a has a groove shape along the black matrix 20. Since the recess 60a has a groove shape along the black matrix 20, it is easy to attach the droplet 240 to the region 240s including the recess 60a.
[0027] このようなカラーフィルタ 100は、例えば、基板 10上に、フォトリソグラフィ一法等に よって格子状のブラックマトリクス 20を形成した後、ブラックマトリクス 20の開口 20pに 、フォトリソグラフィ一法等によって順次各着色部 30R, 30G, 30Bをブラックマトリクス 20よりもそれぞれ高くなるように形成し、その後、ブラックマトリクス 20及び各着色部 3 OR, 30G, 30B上にスパッタリング法や蒸着法等によって所定の厚みの透明電極膜 40を形成し、透明電極膜 40の上にさらにポリイミド榭脂等の配向膜材料を所定の厚 み塗布して固化し、その表面をラビングして配向膜 50とすることにより容易に得られる  For example, such a color filter 100 is formed by forming a lattice-like black matrix 20 on the substrate 10 by a photolithography method or the like and then opening the openings 20p of the black matrix 20 by a photolithography method or the like. The colored portions 30R, 30G, and 30B are sequentially formed so as to be higher than the black matrix 20, and then a predetermined thickness is formed on the black matrix 20 and the colored portions 3OR, 30G, and 30B by a sputtering method, a vapor deposition method, or the like. The transparent electrode film 40 is formed, and an alignment film material such as polyimide resin is applied to the transparent electrode film 40 to a predetermined thickness and solidified, and the surface is rubbed to form the alignment film 50. Obtained in
[0028] 続いて、このようなカラーフィルタ 100の上膜 60上に、図 4に示すようなスぺーサの 散布装置 300を用いて、スぺーサ 230を含む液滴 240を付着させる。 [0028] Subsequently, droplets 240 including the spacers 230 are deposited on the upper film 60 of the color filter 100 by using a spacer dispersing device 300 as shown in FIG.
[0029] この散布装置 300は、吐出部 200と移動部 250とを有している。吐出部 200は、開 口 220が形成された容器 210を有すると共に、容器 210内に、ハンマー 204とこのハ ンマー 204を開口 220に向かって移動させるピエゾ素子 202を有している。そして、 この吐出部 200は、ピエゾ素子 202によってハンマー 204を動かすことによって、容 器 210内のスぺーサ 230を含む散布液 206を、微細な開口 220から液滴 240として 吐出してカラーフィルタ 100の領域 240s上に付着させる。 [0029] The spraying device 300 includes a discharge unit 200 and a moving unit 250. Discharge unit 200 is open In addition to having a container 210 with a mouth 220 formed therein, a hammer 204 and a piezo element 202 for moving the hammer 204 toward the opening 220 are provided in the container 210. Then, the discharge unit 200 moves the hammer 204 by the piezo element 202 to discharge the spray liquid 206 including the spacer 230 in the container 210 as droplets 240 from the fine openings 220, so that the color filter 100 Adhere on 240s of area.
[0030] 移動部 250は、上膜 60の表面のうちの領域 240s上に液滴 240が付着するように力 ラーフィルタ 100の位置を移動させる。  [0030] The moving unit 250 moves the position of the force filter 100 so that the droplet 240 adheres onto the region 240s of the surface of the upper film 60.
[0031] ここで、領域 240sは、上膜 60の表面における窪み部 60aを含む領域である。この 場合、領域 240s内のいずれかの場所に窪み部 60aがあればよぐ領域 240sの中心 に窪み部 60aを含む必要はな ヽ。  [0031] Here, the region 240s is a region including the recess 60a on the surface of the upper film 60. In this case, if there is a recess 60a anywhere in the region 240s, it is not necessary to include the recess 60a in the center of the region 240s.
[0032] また、カラーフィルタ 100上の液滴 240内において、スぺーサ 230の位置は自由で ある。ここでは、液滴 240の液体の密度よりもスぺーサ 230の密度が高いので、液滴 240中で、スぺーサ 230は沈んでいる。スぺーサ 230が沈んでいる位置は、窪み部 6 Oa内となることもある力 確率的には、上膜 60上における窪み部 60a以外の部分、す なわち、上膜 60において各着色部 30R, 30G, 30Bに対向する場所となる事が多い  In addition, the position of the spacer 230 is arbitrary in the droplet 240 on the color filter 100. Here, since the density of the spacer 230 is higher than the density of the liquid of the droplet 240, the spacer 230 is sunk in the droplet 240. The position where the spacer 230 sinks is a force that may be within the recess 6 Oa. Probabilistically, the portion other than the recess 60a on the upper film 60, that is, each colored part in the upper film 60 Often located opposite to 30R, 30G, 30B
[0033] 液滴 240が付着した状態のカラーフィルタ 100の拡大断面図を図 5に示す。ここで 、上膜 60の窪み部 60aを含む領域 240sに液滴 240を付着させる場合に、特に、着 色部 30Rと着色部 30Bとの間の窪み部 60aを含む領域に液滴 240を付着させること が好ましい。こうすると、例えば液滴 240に多数のスぺーサが含有された場合等、万 一、窪み部 60a内に収容されないスぺーサ 230が出た場合でも、スぺーサ 230が赤 色着色部 30Rや青色着色部 30B上に配置されることとなり、スぺーサ 230が緑色着 色部 30G上に配置される可能性が著しく低くなる。 FIG. 5 shows an enlarged cross-sectional view of the color filter 100 with the droplet 240 attached. Here, when the droplet 240 is attached to the region 240s including the recess 60a of the upper film 60, the droplet 240 is particularly attached to the region including the recess 60a between the coloring portion 30R and the coloring portion 30B. Is preferable. In this case, for example, when the spacer 240 is not contained in the recess 60a, for example, when the droplet 240 contains a large number of spacers, the spacer 230 becomes the red colored portion 30R. In other words, the possibility that the spacer 230 is disposed on the green coloring portion 30G is significantly reduced.
[0034] ここで、スぺーサ 230の形状は限定されな!、が、上膜 60上での窪み部 60aへの移 動のしゃすさから球形であることが好ましい。また、スぺーサ 230の素材は任意であり 、例えば、シリカ等の珪素化合物、シリコーン変性ポリマー等力 形成されたプラスチ ック粒子等を利用できる。スぺーサ 230の粒子径としては、例えば、 1 μ m— 7 μ mと することができる。 [0035] 一方、液滴 240の液体も特に限定されな!、が、例えば、水とアルコール (IPA)の混 合溶液等を使用することができる。カラーフィルタ 100上における液滴 240の径は、 例えば、 50— 100 m程度とすることができる。 Here, the shape of the spacer 230 is not limited! However, it is preferable that the spacer 230 has a spherical shape because of the movement to the recess 60 a on the upper film 60. The material of the spacer 230 is arbitrary, and for example, a silicon compound such as silica, a plastic particle formed by a silicone-modified polymer or the like can be used. The particle size of the spacer 230 can be set to 1 μm-7 μm, for example. On the other hand, the liquid of the droplet 240 is not particularly limited! However, for example, a mixed solution of water and alcohol (IPA) can be used. The diameter of the droplet 240 on the color filter 100 can be, for example, about 50-100 m.
[0036] 続いて、図 5のような状態の液滴 240について、乾燥操作を行う。  Subsequently, a drying operation is performed on the droplets 240 in a state as shown in FIG.
[0037] ここでは、図 5に示すように、赤外線を遮光可能な遮光板 400を用意する。この遮 光板 400には、カラーフィルタ 100の着色部 30R、 30G、 30Bにそれぞれ対応する 形状及び大きさの開口 400aが形成されている。このような遮光板 400は、金属ゃ榭 脂等の材料を、公知のパター-ング方法でパター-ングすることにより容易に製造で きる。また、遮光板 400は、赤外線の遮光性に加えてさらに断熱効果を有する材料、 例えば、セラミック等から形成することもできる。この場合には、遮光板 400自体が加 熱されにくくなり、遮光板 400の熱が液滴 240へ到達し難くなるので好ましい。  Here, as shown in FIG. 5, a light shielding plate 400 capable of shielding infrared rays is prepared. In the light shielding plate 400, openings 400a having shapes and sizes corresponding to the colored portions 30R, 30G, and 30B of the color filter 100 are formed. Such a light shielding plate 400 can be easily manufactured by patterning a material such as a metal resin by a known patterning method. The light shielding plate 400 can also be formed of a material having a heat insulating effect in addition to the infrared light shielding property, such as ceramic. In this case, the light shielding plate 400 itself is not easily heated, and the heat of the light shielding plate 400 is difficult to reach the droplet 240, which is preferable.
[0038] そして、この遮光板 400を、カラーフィルタ 100の液滴 240が付着した表面に対して 、遮光板 400の各開口 400a力 Sカラーフィノレタ 100の各着色咅 30R, 30G, 30Bに対 向するように配置する。  [0038] Then, the light shielding plate 400 is applied to the colored plate 30R, 30G, and 30B of the S color finoleta 100 against the surface of the color filter 100 on which the droplets 240 of the color filter 100 adhere. Arrange to face.
[0039] ここで遮光板 400と、カラーフィルタ 100との距離は、遮光板 400と液滴 240と力 S接 触しな 、範囲でできるだけ短 、ほう力 Sよ 、。  [0039] Here, the distance between the light shielding plate 400 and the color filter 100 is as short as possible in the range without contact with the light shielding plate 400 and the droplet 240, and the force S is as short as possible.
[0040] そして、この遮光板 400をはさんでカラーフィルタ 100と反対側にある赤外線ランプ[0040] An infrared lamp located on the opposite side of the color filter 100 with the light shielding plate 400 interposed therebetween.
450から、遮光板 400の開口 400aを介して赤外線をカラーフィルタ 100に対して照 射する。 From 450, the infrared light is irradiated to the color filter 100 through the opening 400a of the light shielding plate 400.
[0041] ここで、赤外線の好適な波長範囲は 0. 76 μ m— 1000 μ m程度、特に、遠赤外線 、すなわち、 4 μ m— 1000 μ mが好適である。  Here, a preferable wavelength range of infrared rays is about 0.76 μm to 1000 μm, and particularly, a far infrared ray, that is, 4 μm to 1000 μm is preferable.
[0042] そうすると、図 5—図 9に順に示すように、赤外線は、液滴 240において着色部 30R , 30G, 30Bに対向する部分 240cに主として入射し、その一部はこの部分 240cを 透過してカラーフィルタ 100の表面における着色部 30R, 30G, 30Bに対向する部 分 60cに主として入射する。そして、主にこれらの部分が赤外線により加熱される。  Then, as shown in FIG. 5 to FIG. 9 in order, the infrared rays are mainly incident on the portion 240c facing the colored portions 30R, 30G, 30B in the droplet 240, and a part of the infrared rays is transmitted through the portion 240c. Thus, the light mainly enters the portion 60c facing the colored portions 30R, 30G, and 30B on the surface of the color filter 100. And these parts are mainly heated by infrared rays.
[0043] 言い換えると、赤外線は、液滴 240においてブラックマトリクス 20に対向する部分 2 40bや、カラーフィルタ 100の表面におけるブラックマトリクス 20と対向する部分 60b にはあまり入射せず、これらの部分の温度は上がりにくい。 [0044] したがって、液滴 240が乾燥していく際には、液滴 240の内、着色部 30R, 30G, 3 OBに対向する部分 240cが主として蒸発していき、液滴 240の内、ブラックマトリクス 2 0に対向する部分 240bは最後まで残りやすくなる。これにより、図 5—図 9に示すよう に、液滴 240を乾燥させる過程で、液滴 240中のスぺーサ 230は最後まで残る液滴 240に引っ張られるようにしてカラーフィルタ 60の上膜 60上におけるブラックマトリク ス 20に対向する部分 60bに向力つて移動する。そして、乾燥が進んで液滴 240が消 失すると、スぺーサ 230はカラーフィルタ 100の表面におけるブラックマトリクス 20に 対向する部分 60bの上に配置されることとなる。 [0043] In other words, infrared rays do not enter the portion 240b facing the black matrix 20 in the droplet 240 or the portion 60b facing the black matrix 20 on the surface of the color filter 100, and the temperature of these portions Is hard to go up. [0044] Therefore, when the droplet 240 is dried, the portion 240c facing the colored portions 30R, 30G, 3OB in the droplet 240 is mainly evaporated, and the black portion of the droplet 240 is black. The portion 240b facing the matrix 20 tends to remain until the end. As a result, as shown in FIGS. 5 to 9, in the process of drying the droplet 240, the spacer 230 in the droplet 240 is pulled by the remaining droplet 240 until the end, and the upper film of the color filter 60 is formed. Move to the part 60b facing the black matrix 20 on the 60. When the drying progresses and the droplets 240 disappear, the spacer 230 is disposed on the portion 60 b facing the black matrix 20 on the surface of the color filter 100.
[0045] さらに、本実施形態では、カラーフィルタ 100の表面においてブラックマトリクス 20と 対向する部分 60bに窪み部 60aが形成されているので、窪み部 60a内の液体は窪み 部 60a外に比べてさらに蒸発しに《なる。したがって、液滴 240が乾燥する際に、液 滴 240は、カラーフィルタ 100の表面におけるブラックマトリクス 20に対向する部分で ある窪み部 60a内により一層精度よく移動する。したがって、液滴 240をカラーフィル タ 100の表面に付着させる精度が少々悪くても、また、液滴付着時に液滴 240内の 任意の位置にスぺーサ 230が配置されていても、液滴 240が窪み部 60aを含む領域 240s上に付着していれば、液滴 240が乾燥するにしたがってスぺーサ 230が窪み 6 Oa内に移動する。  [0045] Furthermore, in the present embodiment, since the recess 60a is formed in the portion 60b facing the black matrix 20 on the surface of the color filter 100, the liquid in the recess 60a is further in comparison with the outside of the recess 60a. Evaporate. Therefore, when the droplet 240 is dried, the droplet 240 moves more accurately in the recess 60 a that is a portion facing the black matrix 20 on the surface of the color filter 100. Therefore, even if the accuracy of depositing the droplet 240 on the surface of the color filter 100 is slightly worse, and even if the spacer 230 is disposed at an arbitrary position in the droplet 240 when the droplet is deposited, the droplet 240 If 240 adheres to the region 240s including the depression 60a, the spacer 230 moves into the depression 6Oa as the droplet 240 dries.
[0046] そして、液がすべて蒸発すると、図 9に示すように、スぺーサ 230が窪み部 60a内に 配置されることとなる。これでスぺーサ散布工程が終了する。  [0046] When all of the liquid has evaporated, the spacer 230 is disposed in the recess 60a as shown in FIG. This completes the spacer spraying process.
[0047] その後、このスぺーサ 230を挟んで、図示しない電極基板を重ね、カラーフィルタ 1 00と電極基板との間に液晶を封入することにより液晶ディスプレイが完成する。  [0047] Thereafter, an electrode substrate (not shown) is stacked with the spacer 230 interposed therebetween, and liquid crystal is sealed between the color filter 100 and the electrode substrate to complete a liquid crystal display.
[0048] このように、本実施形態によれば、カラーフィルタ 100の表面におけるブラックマトリ タス 20に対向する部分 60bを含む領域 240sにスぺーサ 230を含む液滴 240を付着 させ、着色部 30R, 30G, 30Bに対向する開口 400aを有する遮光板を介して、カラ 一フィルタ 100に赤外線を照射する。これにより、液滴 240は、着色部 30R, 30G, 3 0Bに対向する部分 240cから主として乾燥し、乾燥が進むにつれて液滴 240中のス ぺーサ 230は残る液体に引っ張られてカラーフィルタ 100の表面におけるブラックマ トリタス 20に対向する部分 60bへ向かって移動する。したがって、液滴 240を上膜 60 に付着させる精度が少々悪くなつても、また、液滴付着時に液滴 240内の任意の位 置にスぺーサ 230が位置していても、液滴の乾燥後にはスぺーサがカラーフィルタ 1 00の表面におけるブラックマトリクス 20に対向する部分 60bに配置される。 [0048] Thus, according to the present embodiment, the droplet 240 including the spacer 230 is attached to the region 240s including the portion 60b facing the black matrix 20 on the surface of the color filter 100, and the coloring portion 30R. The color filter 100 is irradiated with infrared rays through a light shielding plate having an opening 400a opposite to 30G and 30B. As a result, the droplet 240 is mainly dried from the portion 240c facing the coloring portions 30R, 30G, and 30B, and as the drying proceeds, the spacer 230 in the droplet 240 is pulled by the remaining liquid, and the color filter 100 It moves toward the part 60b facing the black matrix 20 on the surface. Therefore, drop 240 is applied to the upper film 60. Even if the accuracy of adhesion to the droplet is slightly worse, and even if the spacer 230 is located at an arbitrary position in the droplet 240 when the droplet is deposited, the spacer will be removed after the droplet is dried. It is arranged in a portion 60b facing the black matrix 20 on the surface of 100.
[0049] (第二実施形態)  [0049] (Second embodiment)
続 、て、本発明の第 2の実施形態にっ 、て図 10及び図 11を参照して説明する。 本実施形態に係るスぺーサの散布方法が、第一実施形態と異なる点は、カラーフィ ルタ 100において、上膜 60が、さらに平坦ィ匕膜 55を有している点である。具体的に は、この平坦ィ匕膜 55は、エポキシ系榭脂、アクリル系榭脂等の材料力も形成されて おり、着色部 30R, 30G, 30Bと、ブラックマトリクス 20との段差を埋めてカラーフィル タ 100の表面を平坦化させる役割を有する。透明導電膜 40や配向膜 50は、この平 坦化膜 55上に形成されている。すなわち、本実施形態では、カラーフィルタ 100の 表面に窪み部 60aが形成されて 、な 、。  Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The spacer spraying method according to the present embodiment is different from the first embodiment in that the upper film 60 further includes a flat film 55 in the color filter 100. Specifically, this flat film 55 is also formed of material strength such as epoxy resin, acrylic resin, etc., and fills the level difference between the colored portions 30R, 30G, 30B and the black matrix 20 with color. It has the role of flattening the surface of the filter 100. The transparent conductive film 40 and the alignment film 50 are formed on the flattening film 55. That is, in this embodiment, the depression 60a is formed on the surface of the color filter 100.
[0050] そして、本実施形態では、カラーフィルタ 100の表面すなわち上膜 60の表面にお いてブラックマトリクス 20に対向する部分 60bを含む領域に、液滴 240を付着させ、 その後、第一実施形態と同様にして遮光板 400の開口 400aを介して赤外線をカラ 一フィルタ 100に照射する。そうすると、第一実施形態と同様にして、カラーフィルタ 1 00の表面におけるブラックマトリクス 20に対向する部分 60b上に液滴 240が残りやす く、したがって、乾燥後にスぺーサ 230は、図 11に示すように、カラーフィルタ 100の 表面におけるブラックマトリクス 20と対向する部分 60b上に配置されることとなる。  [0050] In the present embodiment, the droplet 240 is attached to the region including the portion 60b facing the black matrix 20 on the surface of the color filter 100, that is, the surface of the upper film 60, and then the first embodiment. In the same manner as described above, the color filter 100 is irradiated with infrared rays through the opening 400a of the light shielding plate 400. Then, in the same manner as in the first embodiment, the droplet 240 is likely to remain on the portion 60b facing the black matrix 20 on the surface of the color filter 100. Therefore, after drying, the spacer 230 is shown in FIG. As described above, the color filter 100 is disposed on the portion 60b facing the black matrix 20 on the surface.
[0051] 本発明は上記実施形態に限定されず、さまざまな変形態様が可能である。例えば、 上記実施形態では、液滴の密度よりもスぺーサの密度を高くしているが、液滴の密度 よりもスぺーサの密度を低くしてもよい。この場合は、カラーフィルタ 100の表面に液 滴 240を付着させると、例えば、第一実施形態では、スぺーサ 230は、図 4一図 8に おける点線に示すような状態となり、この場合も、上述の場合と同様にしてスぺーサ 2 30はカラーフィルタ 100の表面におけるブラックマトリクス 20と対向する部分 60bに 配置されることとなる。第二実施形態でも同様である。  [0051] The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made. For example, in the above embodiment, the spacer density is higher than the droplet density, but the spacer density may be lower than the droplet density. In this case, when the liquid droplet 240 is attached to the surface of the color filter 100, for example, in the first embodiment, the spacer 230 is in the state shown by the dotted line in FIG. In the same manner as described above, the spacer 230 is disposed in the portion 60 b facing the black matrix 20 on the surface of the color filter 100. The same applies to the second embodiment.
[0052] また、上記実施形態において、散布装置 300は上から下に向けて液滴 240を吐出 し、上膜 60が上向きに配置されたカラーフィルタ 100に液滴を付着させているが、散 布装置 300によって下から上に向けて液滴 240を吐出し、上膜 60が下向きに配置さ れたカラーフィルタ 100の下面に液滴 240を付着させてもよい。この場合でも、スぺ ーサ 230が液滴中で浮上する場合及び沈降する場合のいずれも、上述と同様にして 、スぺーサ 230は窪み部 60a内に配置されることとなる。 [0052] In the above embodiment, the spray device 300 ejects the droplets 240 from the top to the bottom, and the droplets adhere to the color filter 100 with the upper film 60 disposed upward. The droplet 240 may be discharged from the bottom to the top by the cloth device 300, and the droplet 240 may be attached to the lower surface of the color filter 100 in which the upper film 60 is disposed downward. Even in this case, the spacer 230 is disposed in the recess 60a in the same manner as described above, regardless of whether the spacer 230 floats or sinks in the droplet.

Claims

請求の範囲 The scope of the claims
[1] 複数の開口が形成されたブラックマトリクスと、前記ブラックマトリクスの各開口内に 設けられた着色部と、を有するカラーフィルタを用意する工程と、  [1] preparing a color filter having a black matrix in which a plurality of openings are formed, and a colored portion provided in each opening of the black matrix;
前記カラーフィルタの表面において前記ブラックマトリクスに対向する部分を含む領 域に、スぺーサを含有する液滴を付着させる工程と、  Attaching a spacer-containing droplet to an area including a portion facing the black matrix on the surface of the color filter;
赤外線を遮光可能でありかつ前記各着色部に対応する開口が形成された遮光板 を、前記カラーフィルタの着色部と前記遮光板の開口とが対向するように配置し、前 記遮光板の開口を通して前記カラーフィルタに赤外線を照射する工程と  A light shielding plate capable of shielding infrared rays and having openings corresponding to the respective colored portions is disposed so that the colored portions of the color filter and the openings of the light shielding plate face each other, and the openings of the light shielding plates are arranged. Irradiating the color filter with infrared rays through
を含むスぺーサの散布方法。  How to spread spacers including
[2] 前記カラーフィルタを用意する工程において、前記カラーフィルタの表面における 前記ブラックマトリクスと対向する部分には、前記カラーフィルタの表面における前記 着色部と対向する部分よりも窪んでいる窪み部が形成され、  [2] In the step of preparing the color filter, a recessed portion that is recessed from a portion facing the colored portion on the surface of the color filter is formed in a portion facing the black matrix on the surface of the color filter. And
前記液滴を付着させる工程にぉ ヽて、前記カラーフィルタの表面における前記窪 み部を含む領域に前記液滴を付着させる請求項 1に記載のスぺーサの散布方法。  2. The spacer spraying method according to claim 1, wherein the droplet is adhered to a region including the depression on the surface of the color filter over the step of depositing the droplet.
[3] 前記カラーフィルタは、前記各着色部及び前記ブラックマトリクス上にさらに上膜を 有している請求項 1又は 2に記載のスぺーサの散布方法。 [3] The spacer spraying method according to [1] or [2], wherein the color filter further has an upper film on each of the colored portions and the black matrix.
[4] 前記上膜は、前記着色部及びブラックマトリクスに近!ヽ側カも順に、透明電極膜、 配向膜を含む請求項 3に記載のスぺーサの散布方法。 [4] The spacer spraying method according to [3], wherein the upper film includes a transparent electrode film and an alignment film in that order near the colored portion and the black matrix.
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