VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR LASERBEARBEITUNG ZYLINDRISCHER INNENFLÄCHEN MIT EINER STEUERBAREN STRAHLSKANNENEINRICHTUNG
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Innenbearbeitung ei¬ ner Zylinderfläche nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1, wie es beispielsweise aus der gattungsbildenden DE 196 14 328 Al als bekannt hervorgeht. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.
Aus der DE 196 14 328 Al ist bekannt, metallische Werkstücke, beispielsweise Wandungen von Zylinderbohrungen in Verbren¬ nungsmotoren, mittels Laserstrahlung vorzubehandeln. Dabei werden die Werkstücke durch einen Laser mit einem regelmäßi¬ gen Muster strukturiert, das beliebig wählbar ist. Die Geo¬ metrie und die Strukturelemente des Musters können insbeson¬ dere an einen nachfolgenden Bearbeitungsschritt (z.B. eine Beschichtung oder eine spanabhebende Bearbeitung) angepasst werden. Eine Vorrichtung, die sich für eine solche Laserbear¬ beitung zylindrischer Flächen eignet, ist beispielsweise in der DE 295 06 005 Ul beschrieben: Die Vorrichtung umfasst ein Laserstrahlwerkzeug, das gemeinsam mit einem Optik-System in einer Maschinenspindel angebracht ist. Zur Bearbeitung der Zylinderbohrung wird die Maschinenspindel in den Innenraum der Bohrung eingeführt. Das Optik-System enthält einen Spie¬ gel und eine Sammellinse, mit deren Hilfe der Strahl des La¬ serstrahlwerkzeugs auf die zu bearbeitende Oberfläche gelenkt und fokussiert wird. Durch Rotations- und Vorschubbewegungen der Maschinenspindel kann der Laserstrahl auf beliebige Be-
reiche der Zylinderbohrung gelenkt werden. Diese Vorrichtung ermöglicht somit die Bearbeitung (Strukturierung) von zylind¬ rischen Innenflächen.
Allerdings sind hierzu mehrere Bewegungseinrichtungen (Rota¬ tionsmimik, Verschiebemimik) der Maschinenspindel notwendig, die an die Ein-/Ausschaltzyklen des Lasers gekoppelt werden müssen. Aufgrund der Massenträgheit der bewegten Elemente ist die Laserbearbeitung der Zylinderflächen sehr zeitaufwendig, insbesondere dann, wenn in der Zylinderfläche Strukturelemen¬ te mit variierender Geometrie (z.B. Linien variierender Tiefe und Breite, unterbrochene Linien etc.) erzeugt werden sollen.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Bearbeitung von Zylinderflächen vorzuschlagen, das eine schnellere Bearbeitung von Zylinderflächen, insbesondere beim Einbringen komplexer Strukturierungen, ermöglicht. Weiterhin liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens bereitzustellen.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale der An¬ sprüche 1, 6 und 8 gelöst.
Danach wird der Laserstrahl, der zur Bearbeitung der Zylin¬ derfläche verwendet wird, mit Hilfe einer steuerbaren Strahl- ablenkeinrichtung (im folgenden auch „Scanneroptik" genannt) über die zu bearbeitende Zylinderfläche geführt. Unter „Zy¬ linderfläche" sollen in diesem Zusammenhang sowohl in Umfang¬ richtung geschlossene zylindersymmetrische Flächen (d.h. Boh¬ rungen, Hohlräume) als auch Zylinderteilflächen verstanden werden.
Die Verwendung einer Strahlablenkeinrichtung hat den Vorteil, dass der Laserstrahl sehr schnell in verschiedene Bearbei-
tungsbereiche bewegt werden kann. Bearbeitungspausen, die herkömmlicherweise zwischen dem Einbringen von zwei aufeinan¬ der folgenden Strukturelementen auftreten, können daher stark verkürzt werden. Im Unterschied zu der in der DE 295 06 005 Ul gezeigten Vorrichtung, bei der die Strukturierung der Zy¬ linderfläche durch eine Überlagerung mehrerer Dreh- und Vor¬ schubbewegungen des Lasers und der Strahlführungsoptik er¬ zeugt wird, ist die erfindungsgemäße Strahlbewegung mit Hilfe der (elektronisch ansteuerbaren) Strahlablenkeinrichtung na¬ hezu trägheitsfrei, weswegen extrem schnelle Positionswechsel bzw. Variationen der Bearbeitungsgeschwindigkeit des Laser¬ strahls dargestellt werden können. Die erfindungsgemäße ein- oder zweidimensionale Ablenkung des Laserstrahls auf der zu bearbeitenden Zylinderfläche gestattet die Konzentration von Laserenergie und dadurch Massenabtrag an beliebigen Punkten innerhalb des Ablenkbereichs; gleichzeitig wird aufgrund der sehr hohen Ablenkgeschwindigkeiten des Laserstrahls ein Ener¬ gieeintrag in das Werkstück minimiert und somit ein uner¬ wünschter Abtrag bzw. eine unerwünschte Gefügeveränderung ge¬ zielt vermieden.
Durch das erfindungsgemäße Verfahren können auf der zu bear¬ beitenden Zylinderfläche mehrere Strukturelemente simultan hergestellt werden, indem der Laserstrahl mit der Strahlab¬ lenkeinrichtung schnell zwischen den Strukturelementen hin- und herbewegt wird. Bearbeitungsstrecken ohne Strukturelemen¬ te können innerhalb sehr kurzer Zeit übersprungen werden. Weiterhin kann durch Variationen der Scangeschwindigkeit die Verweildauer bzw. die Bearbeitungsgeschwindigkeit des Laser¬ strahls gezielt variiert werden, wodurch Variationen in der Strukturgeometrie der auf der Zylinderfläche erzeugten Bear¬ beitungsmuster erreicht werden können. Außerdem können die erzeugten Strukturelemente über Umfang und Tiefe der zu bear¬ beitenden Zylinderfläche beliebig variiert werden.
In einer ersten vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der Laser in einer solchen Weise gegenüber der Zylinderfläche ausgerichtet, dass der Laserstrahl gegenüber der Symmetrie¬ achse der Zylinderfläche einen Winkel > 0 einschließt; vor¬ zugsweise liegt dieser Winkel zwischen 70° und 90°, so dass der Laserstrahl in einem großen Einfallswinkel (> 60°) auf die zu bearbeitende Zylinderfläche auftrifft und eine gute Einleitung der Laserenergie in die Zylinderfläche gewährleis¬ tet ist. Der Laserstrahl wird mit Hilfe der Strahlablenkein¬ richtung in einer solchen Weise über Bereiche der Zylinder¬ fläche geleitet, dass die gewünschten Strukturen auf der Zy¬ linderfläche erzeugt werden. Allerdings ist der Ausschnitt der Zylinderfläche, der in einer festen Orientierung des La¬ sers gegenüber der Zylinderfläche bearbeitet werden kann, be¬ grenzt; um eine gesamte Umfangfläche eines Hohlzylinders auf diese Weise bearbeiten zu können, muss der Laser in mehreren Schritten gegenüber der zu bearbeitenden Zylinderfläche ge¬ schwenkt werden. Aufgrund des großen Winkels zwischen dem La¬ serstrahl und der Symmetrieachse des Lasers gestattet diese Ausgestaltung der Erfindung weiterhin nur die Bearbeitung randnaher Bereiche der Zylinderfläche.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird der Laser kollinear zur Symmetrieachse der zu bearbei¬ tenden Zylinderfläche auf die Zylinderbohrung ausgerichtet. Im Strahlengang ist neben der Strahlablenkeinrichtung ein Re- flektionselement, insbesondere ein Spiegel, angeordnet, mit dessen Hilfe der Laserstrahl auf die Zylinderfläche gelenkt wird. Durch eine geeignete Winkeleinstellung dieses Reflekti- onselements kann der Laserstrahl in einem vorgegebenen Ein¬ fallswinkel (vorzugsweise zwischen 70° und 90°) auf die zu bearbeitende Oberfläche gebracht werden. Zweckmäßigerweise ist das Reflektionselement auf einer Drehvorrichtung befes-
tigt, deren Drehachse kollinear zur Symmetrieachse der zu be¬ arbeitenden Zylinderfläche ausgerichtet ist. Durch Drehung des Reflektionselements kann der Laserstrahl auf unterschied¬ liche Umfangsbereiche der Zylinderfläche gerichtet werden.
Die Drehbewegung des Reflektionselements kann in diskreten Winkelschritten erfolgen, so dass der Laserstrahl mit jedem Drehungsschritt des Reflektionselements in einen neuen Bear¬ beitungsbereich der Zylinderfläche gelenkt wird; innerhalb des Bearbeitungsbereichs erfolgt die Erzeugung der Struktur¬ elemente dann mit Hilfe der Strahlablenkeinrichtung, die den Laserstrahl entlang der entsprechenden Bahnen führt. Um eine umfangseitig geschlossene Zylinderfläche über ihren gesamten Umfang (d.h. 360°) hinweg bearbeiten zu können, wird das Re- flektionselement dabei in mehrere diskrete Winkelstellungen gedreht, z.B. in zwei um je 180° gegeneinander versetzte oder in drei um je 120° gegeneinander versetzte Winkelstellungen.
Alternativ kann die Drehbewegung des Reflektionselements kon¬ tinuierlich sein und der Scanbewegung der Strahlablenkein¬ richtung überlagert werden. Dann können die Strahlablenkein¬ richtung und die Drehvorrichtung beispielsweise in einer sol¬ chen Weise gekoppelt angesteuert werden, dass die Ablenkung des Laserstrahls in Axialrichtung der zu bearbeitenden Zylin¬ derfläche mit Hilfe der Strahlablenkeinrichtung erfolgt, wäh¬ rend die Ablenkung des Laserstrahls in Umfangsrichtung der Zylinderfläche mit Hilfe der Drehvorrichtung erfolgt. Durch die überlagerte Bewegung der Strahlablenkeinrichtung und der Drehvorrichtung kann der Laserstrahl über einen bandförmigen Bereich der Zylinderfläche geführt werden und dort beliebige Muster erzeugen. Eine solche Kopplung der Scanneroptik mit einer rotierenden Innenbearbeitungsoptik ermöglicht eine punktförmige Bearbeitung der Zylinderfläche und darüber hin¬ aus - aufgrund der schnellen Strahlablenkung in der Scanner-
optik - eine quasistationäre linienförmige bzw. flächige Be¬ arbeitung von Oberflächen; weiterhin ermöglicht die schnelle Strahlablenkung eine quasisimultane Bearbeitung an mehreren Stellen der Zylinderfläche. Durch eine geeignete Überlagerung der (vergleichsweise langsamen) Drehbewegung mit der (ver¬ gleichsweise schnellen) Scanbewegung können dabei Bearbei¬ tungspausen stark reduziert werden.
Ist die zu bearbeitende Zylinderfläche ein an einem Ende ge¬ schlossener Hohlraum, so wird das Reflektionselement von der¬ selben Seite wie der Laserstrahl in diesen Hohlraum einge¬ führt; ist der Hohlraum an beiden Enden offen, so kann das Reflektionselement auch von der entgegengesetzten Seite her in den zylindrischen Hohlraum eingeführt werden.
Es ist zweckmäßig, im Strahlengang hinter der Strahlablenk¬ einrichtung ein Fokussierelement (z.B. einen Hohlspiegel oder eine Sammellinse) vorzusehen, die sicherstellt, dass der La¬ serstrahl in einer optimalen Fokussierung auf die zu bearbei¬ tende Oberfläche trifft. Ein solches Fokussierelement ist insbesondere dann notwendig, wenn der mit Hilfe der Scanner¬ optik überstrichene Bearbeitungsbereich sehr groß ist und/oder - z.B. aufgrund der gewählten Bearbeitungsgeometrie - starke Variationen der optischen Wege aufweist.
Im folgenden wird die Erfindung anhand zweier in den Zeich¬ nungen dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert. Dabei zeigen:
Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer erfindungs¬ gemäßen Vorrichtung zur Innenbearbeitung einer Zy¬ linderfläche;
Fig. 2 eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
Figur 1 zeigt in einer schematischen Darstellung einen Aus¬ schnitt eines Motorblocks einer Verbrennungsmaschine mit ei¬ ner Zylinderbohrung 2, deren Oberfläche 12 durch Laserstrah¬ lung oberflächenbearbeitet werden soll. Diese Oberflächenbe¬ arbeitung kann z.B. eine lokale Wärmebehandlung, eine Laser¬ beschichtung, einen selektiven Materialabtrag etc. umfassen.
Zu dieser Oberflächenbearbeitung wird eine Vorrichtung 1 mit einem Laser 3 verwendet, in dessen Strahlengang 4 eine steu¬ erbare Strahlablenkeinrichtung 5 angeordnet ist. Mit Hilfe dieser Strahlablenkeinrichtung 5 kann der Laserstrahl 4 senk¬ recht zur Austritts- (Z-) Richtung in X- und/oder in Y- Richtung abgelenkt werden. Zur Betätigung der Strahlablenk¬ einrichtung 5 ist eine Steuereinheit 6 vorgesehen, mit der eine vorgegebene Ablenkung 7 des Strahls 4 in X- bzw. in Y- Richtung erzeugt wird. Im Ausführungsbeispiel der Figur 1 ist der Laser 3 in einer solchen Weise gegenüber der Zylinderboh¬ rung 2 angeordnet, dass die Strahlrichtung 4 einen Winkel 8 von etwa 90° mit der Symmetrieachse 9 der Zylinderbohrung 2 einschließt, die X-Richtung der Strahlablenkeinrichtung 5 al¬ so in etwa parallel zur Symmetrieachse 9 verläuft. Wird der Strahl 4 in der Strahlablenkrichtung 5 nur schwach in X- Richtung abgelenkt, so trifft er in einem randnahen Bereich 13 der Zylinderfläche 12 auf (Strahl 10) ; wird er hingegeben stärker in X-Richtung umgelenkt, so trifft er die Oberfläche 12 der Zylinderbohrung 2 in einer größeren Tiefe (Strahl 11) . Durch Ablenkung in X-Richtung kann der Strahl 4,10,11 somit entlang einer parallel zur Symmetrieachse 9 liegenden Bahn 14 auf der Zylinderfläche 12 geführt werden. Durch Ablenkung in Y-Richtung kann der Strahl 4 (bei fester X-Ablenkung) entlang einer ellipsenförmigen Bahn 15 näherungsweise konstanter Tie¬ fe 16 in der Zylinderbohrung 2 geführt werden. Durch Überla¬ gerung von Strahlablenkungen in X- und in Y-Richtung kann der Strahl somit entlang beliebiger Bahnen in einem Winkelbereich
18 auf der Zylinderfläche 12 geführt werden, wobei (durch ü- berlagertes Ein- und Ausschalten des Lasers 3) ein beliebiges Muster erzeugt werden kann; neben den in der DE 196 14 328 Al gezeigten Rauten- und Wendelmustern können beliebige weitere (insbesondere periodische) Strukturierungen der Zylinderflä¬ che 12 dargestellt werden. Aus dem Strahl 4 können auf diese Weise in mehrere Teilstrahlen 10,11 erzeugt werden, die quasi simultan auf die Zylinderfläche 12 auftreffen und diese bear¬ beiten.
Aufgrund der in Figur 1 gezeigten geometrischen Ausrichtung des Lasers 3 gegenüber der zu bearbeitenden Zylinderfläche 12 trifft der Laserstrahl 4 unter einem großen Winkel 29,30 (zwischen 60° und 90°) auf die Zylinderfläche 12 auf; dadurch wird ein guter Energieübertrag der Laserleistung auf die zu bearbeitende Oberfläche 12 sichergestellt. Allerdings kann in dieser Relativlage nur ein begrenzter, in Figur 1 schraffiert dargestellter, Winkelbereich 18 der Zylinderfläche 12 bear¬ beitet werden, weil nur in diesem Bereich ein ausreichend großer Einfallswinkel 29,30 des Laserstrahls 10,11 auf die Zylinderfläche 12 gegeben ist. Soll die Zylinderfläche 12 um¬ laufend bearbeitet werden, so muss der Laser 3 mitsamt der zugehörigen Strahlablenkeinrichtung 5 gegenüber der Zylinder¬ fläche 12 verschoben bzw. gedreht werden. Um dies zu errei¬ chen, umfasst die Vorrichtung 1 der Figur 1 eine Dreheinheit 19, auf der der Laser 3 und die Strahlablenkeinrichtung 5 montiert sind. Mit Hilfe dieser Dreheinheit 19, deren Dreh¬ achse 26 kollinear zur Symmetrieachse 9 der Zylinderfläche 12 ausgerichtet ist, können Laser 3 und Strahlablenkeinrichtung 5 gemeinsam um die Symmetrieachse 9 der Zylinderbohrung 2 ge¬ schwenkt werden (Pfeil 20) . Auf diese Weise kann die Bearbei¬ tungsoptik 3,5 in unterschiedliche Winkelbereiche gegenüber der Zylinderfläche 12 bewegt werden. Durch ein schrittweises Weiterbewegen der Bearbeitungsoptik 3,5 (beispielsweise in
Schritten von 90°, 120° oder 180°) der kann so ein randnaher, bandförmiger Bearbeitungsbereich 21 der Zylinderfläche 12 be¬ arbeitet werden, welcher mehrere Winkelbereiche 18 umfasst . Dabei kann die (sehr schnelle) Scanbewegung der Strahlablenk¬ einrichtung 5 der (vergleichsweise langsame) Schwenkbewegung 20 überlagert werden, so dass die für die Schwenkbewegung 20 benötigte Zeit als Bearbeitungszeit genutzt werden kann.
Wie aus Figur 1 ersichtlich, weisen unterschiedliche Strahlen 10,11 unterschiedlich lange geometrische Wege 22,23 auf: Zwi¬ schen einem schwach abgelenkten Strahl 10 und einem stark ab¬ gelenkten Strahl 11 besteht somit eine geometrische Wegdiffe¬ renz 24. Um - unabhängig vom Ablenkungsgrad 7 - eine gute Fo- kussierung des Strahls 10,11 auf der zu bearbeitenden zylind¬ rischen Oberfläche 12 sicherzustellen, kann im Strahlengang ein Fokussierelement 25 angeordnet werden, durch das - je nach Ablenkwinkel 7 - eine stärkere oder weniger starke Fo- kussierung des Strahls 10,11 bewirkt wird. Im vorliegenden Beispiel ist das Fokussierelement 25 im Strahlengang 10,11 hinter der Strahlablenkeinrichtung 5 angeordnet; es kann je¬ doch auch in die Strahlablenkeinrichtung 5 integriert sein. Das Fokussierelement 25 ist insbesondere dann notwendig, wenn in einer festen Orientierung (d.h. bei festem Schwenkwinkel 20) der Bearbeitungsoptik 3,5 ein großer Winkelbereich 18 be¬ arbeitet werden soll; ist der abgescannte Winkelbereich 18 jedoch nur klein, so kann auf das Fokussierelement 25 ver¬ zichtet werden.
In Figur 1 ist die Vorrichtung 1 in einer solchen Weise ge¬ genüber der Zylinderbohrung 2 orientiert, dass die Z-Richtung der Vorrichtung 1 näherungsweise senkrecht zur Symmetrieachse 9 der zu bearbeitenden Zylinderfläche 12 orientiert ist. All¬ gemein können Laser 3 und Strahlablenkeinrichtung 5 jedoch auch gegenüber der Zylinderachse 9 gekippt sein, so dass der
Winkel 8 zwischen der Zylinderachse 9 und der Z-Richtung der Strahlablenkeinrichtung 5 kleiner als 90° ist.
Mit Hilfe der in Figur 1 gezeigten Vorrichtung 1 können rand¬ nahe Bereiche der Zylinderfläche 12 bis zu einer Maximaltiefe 27 schnell und einfach bearbeitet werden. Zur Bearbeitung randferner Bereiche 28 eignet sich diese Vorrichtung 1 jedoch nicht; um nämlich eine gute Einkopplung des Laserstrahls 10,11 in die Zylinderfläche 12 (und somit eine hohe Bearbei¬ tungsqualität) zu erreichen, darf der Auftreffwinkel 29,30 einen vorgegebenen Grenzwinkel (etwa 60°) nicht unterschrei¬ ten. Somit ist der Einsatz der Vorrichtung 1 der Figur 1 auf einen randnahen Bereich 27 der Zylinderfläche 12 beschränkt.
Sollen auch randferne Bereiche 28 der Zylinderfläche 12 bear¬ beitet werden, so empfiehlt sich die Verwendung der in Figur 2 schematisch dargestellten Vorrichtung 1' . Hier wird der von einem Laser 3 ausgesandte Laserstrahl 4 mit Hilfe eines Re- flektionselements 31, insbesondere eines Spiegels 32, auf die zu bearbeitende Zylinderfläche 12 gelenkt; mit Hilfe der im Strahlengang 4 angeordneten Strahlablenkeinrichtung 5 kann der Strahl 10' ,11' dabei gegenüber der Hauptstrahlrichtung 4 abgelenkt werden.
Das Reflektionselement 31 wird mit Hilfe einer Haltevorrich¬ tung 33 in den Innenraum 34 der Zylinderbohrung 2 eingeführt. Im vorliegenden Beispiel wird die Haltevorrichtung 33 von derselben Seite der Zylinderbohrung 2 wie der Laserstrahl 4 in den Hohlzylinder 2 eingeführt; ist das gegenüberliegende Ende 38 des Hohlzylinders 2 offen, so kann die Haltevorrich¬ tung 33 auch von dieser Seite 38 aus in den Hohlzylinder 2 eingeführt werden.
Mit Hilfe der Strahlablenkeinrichtung 5 wird der Strahl 10' ,11' über das Reflektionselement 31 an unterschiedliche Stellen der Zylinderfläche 12 geleitet, wobei der Auftreff¬ winkel 29',30' des Strahls 10', 11' einen Maximalwert (< 60°) nicht überschreitet . Auf diese Weise kann ein Winkelbereich 18' der Breite 39 und der Tiefe 40 auf der Zylinderfläche 12 bearbeitet werden. Durch eine Drehung des Reflektionselements 31 bzw. der das Reflektionselement 31 tragenden Haltevorrich¬ tung 33 (Pfeil 41) kann dieser Bereich 18' in Umfangrichtung 36 der Zylinderfläche 12 weiterbewegt werden, so dass - durch schrittweise oder kontinuierliche Drehung des Reflektionsele¬ ments 31 - ein umlaufender bandförmiger Bereich 21' der Brei¬ te 40 bearbeitet werden kann.
Zur Drehung 41 des Reflektionselements 31 ist die Haltevor¬ richtung 33 mit einer Dreheinheit 19' versehen, die kontinu¬ ierliche Drehungen 41 mit einer fest vorgegebenen Drehge¬ schwindigkeit und/oder schrittweise Drehungen 41 um einen festen Winkelbetrag (90°, 120°, 180°) ermöglicht. Die Drehein¬ heit 19' ist in einer solchen Weise gegenüber der Zylinder¬ bohrung 2 ausgerichtet, dass ihre Drehachse 26' mit der Sym¬ metrieachse 9 der Zylinderbohrung 2 zusammenfällt; weiterhin ist der Laser 3 in einer solchen Weise ausgerichtet, dass die Richtung des Laserstrahls 4 mit der Symmetrieachse 9 der Zy¬ linderbohrung 2 zusammenfällt.
Durch schrittweises (diskontinuierliches) Weiterdrehen des Reflektionselements um feste Winkelbeträge können nacheinan¬ der unterschiedliche Winkelbereiche 18' der Zylinderfläche 12 bearbeitet werden, bis das gesamte Zylinderband 21' bearbei¬ tet ist. Alternativ kann der Laserstrahl 10',11' in einer solchen Weise über das Zylinderband 21' geführt werden, dass Strahlverschiebungen in Umfangsrichtung 36 der Zylinderfläche 12 mit Hilfe der kontinuierlich betriebenen Dreheinheit 19'
erfolgen, während Ablenkungen in Tiefenrichtung 37 mit Hilfe der Strahlablenkeinrichtung 5 bewirkt werden. Durch Überlage¬ rung dieser beiden Bewegungen können im Zylinderband 21' be¬ liebige Bearbeitungsmuster erreicht werden. Anschließend kann das Reflektionselement 31 zusammen mit Laser 3 und Strahlab¬ lenkeinrichtung 5 in Axialrichtung 42 der Zylinderbohrung 2 verschoben werden, um auch andere, in Axialrichtung 42 ver¬ setzte Zylinderbänder 21' bearbeiten zu können.
Um sicherzustellen, dass über den gesamten Tiefenbereich 40 eines vorgegebenen Zylinderbandes 21' eine gleich bleibend hohe Bearbeitungsqualität erreicht wird, wird das Reflektion- selement 31 und/oder die Strahlablenkeinrichtung 5 mit einer Korrekturoptik 25' versehen, die sicherstellt, dass der Strahl 10', 11' - unabhängig vom Ablenkwinkel 7' - immer auf die Zylinderfläche 12 fokussiert ist. Dies kann beispielswei¬ se erreicht werden, wenn als Reflektionselement 31 ein Hohl¬ spiegel verwendet wird; das Korrekturelement 25' ist dann in das Reflektionselement 31 integriert. Alternativ kann die Korrekturoptik 25' in die Strahlablenkeinheit 5 integriert werden. Eine solche Korrekturoptik 25' ist beispielsweise in der DE 101 34 429 Al beschrieben.
Die Vorrichtung kann zur Bearbeitung beliebiger zylindrischer Flächen, insbesondere Zylinderlaufflächen, Lagerflächen etc. verwendet werden.