WO2005102544A1

WO2005102544A1 - パージ機構

Info

Publication number: WO2005102544A1
Application number: PCT/JP2004/004932
Authority: WO
Inventors: Hitoshi Sano
Original assignee: Justin Co., Ltd.; Wintec. Co. Ltd
Priority date: 2004-04-05
Filing date: 2004-04-05
Publication date: 2005-11-03

Abstract

　センサを大型化させることなく、センサ等に付着した埃等を除去する効果を高めることができ、しかも、ランニングコストを抑えることができるパージ機構を提供する。　物体の表面に付着した物質を気体によって除去するパージ機構であって、該パージ機構が、物体が配設される物体収容空間と、物体収容空間と外部との間を連通する貫通孔とを備えた物体収容部と、物体収容部の物体収容空間内において、物体を、その表面と貫通孔の内端縁との間に、貫通孔の内端縁に沿って隙間ができるように保持する保持部と、物体の表面と、物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間に、気体を供給する気体搬送部とを備えている。物体の表面に付着している埃などを気体によって除去することができ、装置の構造をコンパクトにすることができ、物体の表面に埃等が堆積することを防ぐことができる。

Description

明細書パー、 »冓技術分野

本発明は、パー、 »構に関する。光検出センサやカメラ等の光測 βでは、その受光面やレンズ等に埃などが付着すると、受細域が狭くなつたり、埃等も撮影してしまうこととなったりするため、光検出センサの感度力 S低下したり、した画像の画質が低下したりする等の問題が生じる。とくに、赚ェ ^製粉工場等では、油等の霧、多種の塵埃等が空気中に飛散しているため、 ¾Β¾ ^が光検出センサ等に付着しやすく、光検出センサ等の受光面を清浄に保っための装置が設けられている。 '

本発明は、カゝかる光検出センサやカメラ等の光測 βの受光面やレンズ等を清浄に保っために使用されるパー; ¾構に関する。背景技術

従来から、光検出センサやカメラ等の光^ 11測»のレンズ等に付着した埃等を除去する方法として、レンズ等の表面に空気を吹付けて付着した埃等を除去するェァノ、。一ジ装置が開示されている（特許文献 1、 2 ：従列 1、 2 ) 。

図 5に示すように、従列 1の技術では、カメラ 102を収容したカメラケース 101 の透明板 104の前面に取付けられるエアパージフード 105が記載されており、このェァパージフード 105のエア吐出口 108からエアを透明板 104の表面に向けて吹付けることによって、透明板 104の前面に付着した埃等を吹き飛ばし、透明板 104の汚れを落とすものである。

また、図 6に示すように、従 ¾ (列 2の技術では、通気性を有するエアフィルタ材 1 7によって透光板 4を抑える構造とし、このエアフィルタ材 1 7を通して、エアを常時透光板 4の表面に放出することによって、埃等が透光板 4の表面に付着することを防ぐものである。

しかるに、従来例 1の技術では、エアパージフード 105のエア吐出口 108と透明板 104の表面との間に段差（図 5 Aの部分）があり、その段差の部分には禍が形成されるため、この渦と透明板 104との間の摩擦により静電気が発生する。このため、段差の近傍に付着した埃などは、その静電気によって透明板 104の表面に引きつけられて透明板 104の表面に付着してしまう可能性がある。すると、段差の近傍、つまり、透明板 104の周辺部には徐々に埃が堆積するため、カメラ 102の視界が狭くなるという Ρ§題が生じる。そして、このエアパージフード 105を光検出センサに設けた場合、光検出センサの受光面積が減少するため、光検出センサの感度が低下してしまう。また、従列 2の技術では、エアフィルタ材 1 7と透光板 4の表面との間に段差ができないので、渦の発生は防ぐことができるものの、エアフィルタ材 1 7を通し得てエアを供給しているから、透光板 4の表面におけるエアの流速は非常に遅いものとなつてしまう。すると、透光板 4の表面に付着した埃などを吹き飛ばすことはできないから、透光板 4の表面に埃などが付着しないように、常時、透光板 4の表面にエアを放出しておかなければならない。すると、圧搾エアを作るにはエネルギを消費するため、エアを常時供給するとランニングコストが高くなる。

さらに、従列 1、 2の技術は、いずれも特別な構造を有するエアパージ装置をカメラケース等の前面に取付けなければならなレヽので、位置検出装置に採用した場合、装置が大型化するという問題がある。

【特許文献 1】特開 2 0 0 1— 1 0 8 8 8 0号

【特許文献 2】特開 2 0 0 3— 2 3 2 9 7 5号発明の開示

(発明の目的）

本発明は上記事情に鑑み、センサを大型化させることなく、センサ等に付着した士矣等を除去する効果を高めることができ、し力も、ランニングコストを抑えることができるパー、:^!構をすることを目的とする。

(発明のキ冓成）

第 1発明のパージ機構は、物体の表面に付着した物質を気体によって除去するパージ機構であって、該パー、構が、前記物体が配設される物体収容空間と、該物体収容空間と外部との間を連通する貫通孔とを備えた物体収容部と、該物 ί核容部の物体収容空間内において、 t&f己物体を、その表面と ΙίίΙ己貫通孔の内端縁との間に、該貫通孔の内端縁に沿って隙間ができるように保持するィ部と、 tfit己物体の表面と、前記物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間に、気体を供給する気送咅とを備えていることを樹敫とする。

第 2発明のパージ機構は、第 1発明において、前記保持部が、前記貫通孔の内端縁に沿って設けられた、複数の突起状の保持部材と、 l己物体を、前記保持部材との間に挟んで固定する固 ¾¾材とからなることを糊敷とする。 .

第 3発明のパージ機構は、第 1または第 2発明において、膽己パー、 Λ構が、信号を放出する発信手段と、該発信手段から放出された信号を受信する受信手段とを備えたセンサに設けられており、前記発信手段および tilt己受信手段を収容する前記物体収容部をそれぞれ備えていることを糊敷とする。 .

第 4発明のパージ機構は、第 3発明において、前記センサのフレームが、前記発信手段を収容する物体収容部における前記発信手段の表面と該物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間と、 mi己受信手段を収容する物体収容部における前記受信手段の表面と該物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間とを連通する気体通路を備えており、該気体通路に、編己気«¾¾カ連通されていることを赚とする。第 5発明のパージ機構は、第 4発明において、前記センサのフレームに、前記発信手段を収容する物 ί«ί容部における前記発信手段の表面と該物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間と編己フレームの気体通路との間を連通する発信側通路と、 fill己受信手段を収容する物体収容部における前記受信手段の表面と該物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間と lift己フレームの気体通路との間を連通する受信側通路とカ s形成さており、前記発信手段の制御回路が、前記発信側通路内に配設されており、前記受信手段の制御回路が、 ΙίίΙ己受信側通路内に配設されており、各制御手段が、その表面に、防水性材料によって形成された防水層を備えていることを特徴とする。

(発明の効果）

第 1発明によれば、気#¾送部から物体の表面と物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間（以下、気体放出口という）に気体を供給すれば、物体の表面に気体を供給することができるから、物体の表面に付着してレヽる埃などを気体によって除去することができる。しカゝも、気出口が貫通孔の内端縁に沿って形成されているから、物体の表面全体に気体を流すことができ、物体の表面全体から埃を除去することができる。また、気##出口が物体の表面と貫通孔の内端縁によつて形成されているから、物体の表面に気体を供給するための特別な部材などを設ける必要がないので、装置の構造をコンパクトにすることができる。そして、気体放出口と物体の表面との間の段差ができなレヽから、気体放出口から供給された気体を物体の外周部から物体の表面に沿って流すことができる。よって、気#¾出口から供給される気体によつて物体の表面に渦が発生しな!/ヽので、物体の表面に埃等が堆積することを防ぐことができる。

第 2発明によれば、保持部材の形状およひ置を調整すれば、物体の表面に生じる気体の流れを調整することができる。

第 3発明によれば、センサの発信手段および受信手段の表面に埃等がたまることことを防ぐことができるから、センサの感度が低下することを防ぐことができる。第 4発明によれば、発信手段側および受信手段側の両方の気体供給口が気体通路によって連通されているから、気«送部を一つ設けるだけで、両方の気体供給口に気体を供給することができる。レカも、気体通路をセンサのフレーム内に設けているから、センサに気体を供給する配管等をシンプルな構成とすることができる。第 5発明によれば、発信手段および受信手段の制御回路を、発信側通路おょぴ受信側通路に配置しているので、センサのフレーム内に制御回路を配設するための特別な空間を設ける場合に比べて、センサの構造を簡単力コンパクトにすることができる。しかも、制御回路は、その表面に防水層（皮膜）を備えているから、気体搬送部から供給される気体に水分力 S含まれていても、その水分が制御回路に悪影響を与えることを防ぐことができる。図面の簡単な説明

図 1は、本実施形態のパージ機構が設けられた位置検出センサ 1 0の概略説明図である。

図 2は、位置検出センサ 1 0の要部拡大図である。

図 3は、本実施形態のパージ機構を備えた位置検出センサ 1 0が設けられたウェブガイド装置 1の概略平面図である。

図 4は、本実施形態のパー構を備えた位置検出センサ 1 0が設けられたウェブガイド装置 1の概則面図である。

図 5は、従来のエアパージ装置の概略説明図である。

図 6は、従来のエアパージ装置の概略説明図である。発明を実施するための最良の形態

つぎに、本発明の実施形態を図面こ基づき説明する。

本発明のパージ機構は、カメラ等の光学装置や各種センサ等に設けられ、レンズや受信 ·発信を行う β等の表面に付着した埃等を気体を利用して除去するパージ機構である。

以下では、本実施形態のパージ機構を、ウェブの製造ライン等において、ウェブの蛇行を防ぐウェブガイド装置に設けられる位置検出センサに適用した例を、代表として説明する。

まず、本実施形態のパージ機構を備えた位置検出センサ 1 0を説明する前に、位置検出センサ 1 0が取り付けられるウェブガイド装置 1を説明する。

図 3は本実施形態のパージ機構を備えた位置検出センサ 1 0が設けられたウェブガイド装置 1の概略平面図である。図 4は本実施形態のパージ機構を備えた位置検出センサ 1 0が設けられたウェブガイド装置 1の概略側面図である。図 3およぴ図 4におレヽて、符号 1は、ウェブの製造ライン等に設けられたウェブガイド装置を示しており、符号 2は、ウェブガイド装置 1のベースを示している。このベースの上面には、互いに∑ 亍な一対のローラ 5 , 5力取り付けられた摇動フレーム 4が揺動軸 3を介して取り付けられている。そして、ベース 2と揺動フレーム 4との間には、揺動フレーム 4を揺動軸 3を支点として揺動させる揺動手段 2 0が設けられてレヽる。

また、図 3およぴ図 4において、符号 Wは、前記一対のローラ 5 , 5に卷き掛けられたウェブを示している。このウェフ^ Wは、その幅方向の中心が一対のローラ 5 ， 5の軸方向の中心と一 i Tる位置（以下、ウェブ基雜置 B Lという）に配置されるように、一対のローラ 5 , 5に卷き掛けられている。このウェブの幅方向の両端部には、ウェブ Wと纖虫しないように、本実施形態の位置検出センサ 1 0がそれぞれ設けられている。この位置検出センサ 1 0は、センサ保持機構 6によってベース 2に対して取付けられている。

このため、ゥェが搬送中に幅方向（図 3では左右方向）に移動すると、位置検出センサ 1 0がウェブ Wの移動を検出し、図示しなレ、制御装置によつて揺動手段 2 0が作動される。すると、揺動フレーム 4が揺動しウェブ Wと一対のローラ 5， 5との間にはウェフ^ Wの幅方向に沿った力力発生するので、ウェフ^ Wをその幅方向に移動させることができ、ウェフ^ Wをもとの位置、つまり、ウェブ基靴置 B Lに戻すことができるのである。

つぎに、位置検出センサ 1 0を説明する。

図 1は本実施形態のパージ機構が設けられた位置検出センサ 1 0の概略説明図である。同図に示すように、本実施形態の位置検出センサ 1 0は、略コの字形のフレーム 1 1を備えており、このフレーム 1 1の先端部 lla， libの間に、前記ウェブ W を通過させるウェブ通路力 S形成されている。

このフレーム 1 1の先端部 11a, libには、ウェブ通路を挟むように、言い換えれば、ウェブ通路を通過するウェフ^ Wを挟むように、それぞ^ §信手段 1 2および受信手段 1 5力 S設けられている。

発信手段 1 2は、例えば、発光ダイオードや赤外線等の光を放出することができる発光体である発光手段 1 3と、発光手段 1 3から放出された光をウェフ^ Wに向けて光を放出するレンズや光性プレート等の調整手段 1 4とから構成されている一方、受信手段 1 5は、前記発光手段 1 3から放出された光を聽する、例えばレンズや光 ¾ϋ性プレートなどの受光部材 1 6と、この受光部材 1 6を透過した光の光量を検出する、例えば、光検出器等の光検出器 1 7から構成されている。

このため、受信手段 1 5によって受信される光の一部がウェブによって遮られるように、位置検出センサ 1 0を配置すれば、ウェブ Wがその幅方向に移動したときに、受信手段 1 5によって受信される光の光量を変化させることができる。すると、位置検出センサ 1 0が、受信する光量の増減によって、ウェブ Wの幅方向のいずれの方向に移動したかを検出することができ、また、受信する光量の変化量によつてどの位の長さだけウェフ^ Wが移動した力検出することができるのである。

さて、本発明のノ、°— 幾構について説明する。

図 1において、符号 35bは、前記フレーム 1 1の先端部 11aの内部に設けられた中空な物体収容空間（以下、発信手段収容空間という）を示している。この発信手段収容空間 35bの内部には、一端に嫌己発光手段 1 3が取付けられた、発光手段 1 3のを制御する制御回路 12pが配置されている。

また、前記フレーム 1 1の先端部 11aにおいて、 ffif己フレーム 1 1の先 llbと対向する部分には、発信手段収容空間 35bと外部との間を連通する貫通孔 31gを備えた発信手段保持部 3 1が設けられている。この発信手段保持部 3 1と、前記制御回路 12pの一端との間には、嫌己調整手段 1 4とこの調整手段 1 4を発信手段保持部 3 1の内面に押し付けた状態で固定する筒状の固定部材 P Bとが設けられている。固定部材 P Bはその内部に ΙίίΙΒ発光手段 1 3を収容するように配設されており、調整手段 1 4およぴ固材 Ρ Βは、その外面と発信手段収容空間 35bの内面との間に空間（以下、連通空間 35hという）ができるように配設されている。

図 1および図 2に示すように、発信手段保持部 3 1の内面、つまり、発信手段収容空間 35b側の面には、突起状の複数の保持部材 3 2力 S設けられている。この複数の部材 3 2は、編己貫通孔 31gの内に沿って、複数個、間隔を空けて配置されている。

このため、発信手段保 if^ 3 1の内面において、複数の保持部材 3 2が設けられていない部分と調整手段 1 4の表面との間には、外部と連通空間 35hとの間を連通する通路（以下、気##出ロ3 3とぃぅ）、貫通孔 31gの内彖に沿って、言レ、換えれば、前記調整手段 1 4の外周に沿って複数箇所形成される。つまり、発信手段保持部 3 1、保持部材 3 2および固定部材 P Bによって調整手段 1 4を固定すれば、発信手段保持部 3 1の内面と調整手段 1 4の表面との間には、外部と発信手段収容空間 35bとの間を連通する通路として、複数の気##出口 3 3力 S形成されるのである上記の発信手段保持部 3 1、保持部材 3 2および固定部材 P B力特許請求の範囲にいう保持部である。

また、図 1に示すように、発信手段収容空間 35bは、フレーム 1 1に設けられた気体供給部材 Sを介して、図示しないコンプレッサ一等の気 #般¾¾に連通されてレヽる。

このため、気«¾¾から空気等の気体を、気体供給部材 Sを介してフレーム 1 1の発信手段収容空間 35bに供給すれば、フレーム 1 1の発信手段収容空間 35b内の気圧が高くなるから、発信手段収容空間 35b内の空気が、連通空間 35hから気体放出口 3 3を通って、外部に流出する。すると、その空気の流れによって、調整手段 1 4の表面に付着している埃などが吹き飛ばされるので、調整手段 1 4の表面から埃などを除去することができる。

よって、位置検出センサ 1 0の発信手段 2 0の調整手段 1 4の表面から埃などを除去することができるから、発信手段 2 0から放出される光の減少を防ぐことができ、調整手段 1 4の表面の汚れなどに起因するウェブ Wの幅方向端部の検出誤差が生じることを防ぐことができるのである。

しかも、気##出口 3 3は調整手段 1 4の表面と発信手段保持部 3 1の内面、つまり、調整手段 1 4の表面と貫通孔 31gの内 ¾によって形成されており、調整手段 1 4の表面に気体を供給するために特別な部材等が設けられていないから、位置検出センサ 1 0をコンパクトな構造とすることができる。

上記の発信手段収容空間 35bが特許請求の範囲に!/、う物体収容空間であり、フレーム 1 1の先端部 11aが特許請求の範囲にレ、う物容部である。

また、気体放出口 3 3が調整手段 1 4の外周に沿つて形成されているから、調整手段 1 4の表面全体に気体を流すことができ、調整手段 1 4の表面全体から埃を除去することができる。そして、保持部材 3 2の形状ゃ配設位置を調整すれば、調整手段 1 4表面に発生する気体の流れを調整することができる。伊 !jえば、調整手段 1 4の表面力発信手段ィ藉部 3 1の貫通孔 31gの中心軸に対して軸 ¾ ^に形成されているにお!/、て、同じ大きさの気#¾出口 3 3が貫通孔 31gの中心軸に対して軸辦尔となるように複数の保持部材 3 2を形成しておけば、全ての気体放出口 3 3力ら放出される気体の流速を同じにすることができる。この、調整手段 1 4の表面には、その中心部に、その表面から上方に向って流れる軸対称な気流を発生させることができるので、その気流によって調整手段 1 4の表面から埃等を離間させることができる。さらに、気 ί緣出ロ 3 3が、調整手段 1 4の表面と発信手段保持部 3 1の内面によって形成されているから、気##出口 3 3と調整手段 1 4の表面との間には、当然に、段差は形成されない。すると、気体放出口 3 3から流出する気体は、調整手段 1 4の外周部から調整手段 1 4の表面に沿つて流れることになるので、調整手段 1 4の表面に循環する渦が形成されることを防ぐことができ、調整手段 1 4の表面に埃等がたまることを防ぐことができる。そして、気{*¾出ロ3 3は、外部と連通空間 35hとの間を連通する空間にすぎないから、気#¾出口 3 3から吹き出される気体の流速を調整手段 1 4の表面の埃等を吹き飛ばすことができる流速とすることができる。よって、常時気体を吹き出しておく必要がないので、ランニングコストを抑えることができる。例えば、ウェブガイド装置 1に設けられている位置検出センサ 1 0であれば、使用する纖に応じて、間欠的に気体を吹付ければよい。

さらに、制御回路 12pが、発信手段収容空間 35b内に配設されている。このため、気体放出口 3 3に気体を供給する通路とは別に制御回路 12pを配設するための空間を位置検出センサ 1 0内に設ける場合に比べて、位置検出センサ 1 0の構造を簡単かつコンパクトにすることができる。

なお、制御回路 12pは、その表面に、防水性材料によって形成された図示しない防

7 (皮膜）を備えているので、気鍾送部から供給される気体に水分が含まれてレ、る場合であっても、その水分によつて制御回路 12pが誤動作や故障等の悪影響を受けることを防ぐことができる。

上記の発信手段収容空間 35bが特許請求の範隨こいう発信側通路である。

なお、固定部材 P Bの一端と調整手段 1 4との間、および固定部材 P Bの他端と制御回路 12pとの間がほぼとなるように取付けておけば、気 ί材般から空気等の気体を供給したときに、固定部材 Ρ Β内に気体が侵入することを防ぐことができるから、あらゆる塵埃等の悪影響が生じることがない。固定部材 Ρ Βの一端と調整手段 1 4との間、および固 ^f^tP Bの他端と制御回路 12pとの間をほぼに保つ方法は特に限定はなく、例えば、 0リング等の棚旨材料等を各部材の間に挾むようにしておいてもよい。

さらになお、調整手段 1 4を固定する方法は上記の方法に限られず、発信手段保持部 3 1の内面と調整手段 1 4の表面との間に隙間ができ、し力も、調整手段 1 4 力 S発信手段保持部 3 1の内面に対して移動しないように麟できればよい。

一方、図 1に示すように、フレーム 1 1の先 |511bの内部には、中空な物体収容空間（以下、受信手段収容空間 35cという）力 S形成されている。この受信手段収容空間 35cは、フレーム 1 1内に形成された気体通路 35aを介して連通されており、一端に Ιΐί13光検出器 1 7が取付けられた、光検出器 1 7のを制御する制御回路 17ρが配置されている。

また、前記フレーム 1 1の先端部 libにおいて、前記フレーム 1 1の先端部 11aと対向する部分には、受信手段収容空間 35cと外部との間を連通する貫通孔 31fを備えた受信手段保持部 3 6が設けられている。この発信手段保持部 3 6は、前記発信手段保持部 3 1と実質同様の構成であって、その内面に複数の保持部材 3 7を備えており、前記受光部材 1 6を複数の保 ¾材 3 7と筒状の固定部材 P Bとの間にを挾んだ状態で保持している。そして、固定部材 P Bはその内部に前記光検出器 1 7を収容するように配設されており、受光部材 1 6および固定部材 P Bは、その外面と受信手段収容空間 35cの内面との間に連通空間 35hができるように配設されている。そして、受信手段保持部 3 6の内面と受光部材 1 6の表面との間には、外部と連通空間 35hの間を連通する通路、つまり、外部と受信手段収容空間 35cとの間を連通する通路として、複数の気##出口 3 8力 S形成されているのである。

したがって、気から癸信手段収容空間 35b内に空気等が供給されれば、気体通路 35aを介して受信手段収容空間 35c内の気圧高くなるから、発信手段 1 2の調整手段 1 4の表面と同様に、複数の気体放出口 3 8を通って外部に流出する空気の流れによって、受光部材 1 6の表面から埃などを除去することができるのである。よって、位置検出センサ 1 0の受信手段 1 5の受光部材 1 6の表面から埃などを除去することができるから、受光部材 1 6の受光面積の減少を防ぐことができる。すると、光検出器 1 7が検出する光量の減少を防ぐことができるから、受光部材 1 6の表面の汚れに起因するウェブ Wの幅方向端部の検出誤差が生じることを防ぐことができる。

上記のフレーム 1 1の先端部 11aおよひ信手段収容空間 35cが特許請求の範囲に Vヽう物体収容部および物体収容空間であり、上記の発信手段保持部 3 6、保持部材 3 7および固 [5材 P B 、特許請求の範囲に!/、う麟部である。また、制御回路 17pが、受信手段収容空間 35c内に配設されているから、位置検出センサ 1 0の構造を簡単かつコンパクトにすることができるのである。

上記の受信手段収容空間 35cが特許請求の範囲にレ、う受信側通路である。

なお、受信手段収容空間 35cは、前記発信手段収容空間 35bと、フレーム 1 1内に形成された気体通路 35aを介して連通されているから、気を一つ設けるだけで、両方の気体供給口 3 3， 3 8に気体を供給することができる。しかも、位置検出センサ 1 0のフレーム 1 1内に気体通路 35aを設けているから、位置検出センサ 1 0に気体を供給する配管等をシンプルな構成とすることができる。産業上の利用可能性 . 本発明のパージ機構は、ウェブの幅方向の端部を検出する位置検出センサだけでなく、塵埃の多い場所で使用する光センサ等にも適用可能である。

Claims

請求の範囲

1 物体の表面に付着した物質を気体によって除去するパー、^結構であって、該パー ^構が、前記物体が配設される物体収容空間と、該物体収容空間と外部との間を連通する貫通孔とを備えた物体収容部と、該物体収容部の物体収容空間内において、前記物体を、その表面と tiff己貫通孔の内端縁との間に、該貫通孔の内端縁に沿つて隙間ができるように保持する保持部と、 tilt己物体の表面と、 tut己物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間に、気体を供給する気 15とを備えていることを特徴とするパー、構。

2 l己保持部が、編己貫通孔の内 «に沿って設けられた、複数の突起状の保持部材と、前記物体を、嫌己保持部材との間に挟んで固定する固定部材とからなることを樹敷とする請求項 1記載のパー、 »構。

3 tin己パー、: ¾構が、信号を放出する発信手段と、該発信手段から放出された信号を受信する受信手段とを備えたセンサに設けられており、 tut己発信手段および前記受信手段を収容する ttflB物体収容部をそれぞれ備えていることを特徴とする請求項 1または 2記載のパージ機構。

- 4 己センサのフレームが、前記発信手段を収容する物体容部における Sift己発信手段の表面と該物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間と、編己受信手段を収容する物体収容部における ΙΐίΙ己受信手段の表面と該物体収容部の貫通孔の内 5¾驗との間の隙間とを連通する気体通路を備えており、該気体通路に、編己気 ίΦί般 15が連通されていることを糊敷とする請求項 3記載のパー^ f構。

5 l己センサのフレームに、前記発信手段を収容する物体収容部における前記発信手段の表面と該物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間と前記フレームの気体通路との間を連通する発信側通路と、 Ιίίϊ己受信手段を収容する物体収容部における前記受信手段の表面と該物体収容部の貫通孔の内端縁との間の隙間と前記フレームの気体通路との間を連通する受信側通路とが形成さており、 Ιϋϊ己発信手段の制御回路ヽ編己発信側通路内に配設されており、編己受信手段の制御回路が、前記受信側通路内に配設されており、各制御手段が、その表面に、防水性材料によって形成された防水層を備えていることを樹數とする請求項 4記載のノ一、 ¾|冓。