WO2005088272A1 - Ellipsometre comportant un systeme de diaphragme - Google Patents

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WO2005088272A1
WO2005088272A1 PCT/EP2005/002381 EP2005002381W WO2005088272A1 WO 2005088272 A1 WO2005088272 A1 WO 2005088272A1 EP 2005002381 W EP2005002381 W EP 2005002381W WO 2005088272 A1 WO2005088272 A1 WO 2005088272A1
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Dirk HÖNIG
Andreas Eing
Matthias Vaupel
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Nanofilm Technologie Gmbh
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    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties
    • G01N21/211—Ellipsometry

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Abstract

L'invention concerne un ellipsomètre destiné à la détection ellipsométrique d'un système d'échantillons (40, 43) comportant au moins un échantillon mince (43) disposé sur un côté d'échantillon d'un substrat support (40) plat, transparent; au moins un dispositif d'éclairage destiné à l'éclairage au moins partiel de l'échantillon (43) avec de la lumière d'éclairage (30) présentant des propriétés de polarisation sélectionnables, sous un angle d'éclairage (F) incliné par rapport à la normale d'échantillon; un dispositif de détection disposé à un angle de détection (F) incliné par rapport à la normale d'échantillon, comportant un détecteur photosensible (D) présentant une pluralité d'éléments détecteurs disposés dans un plan de détection, destiné à la détection sensible à la polarisation de lumière de détection (31'-35', 31'-35''') réfléchie par des zones éclairées de l'échantillon (43); et des éléments de diaphragme (20) disposés sur le côté de l'échantillon (43) et du substrat support orienté vers le dispositif d'éclairage et le dispositif de détection, masquant certaines parties de la lumière d'éclairage (31) et de la lumière de détection (32''', 33', 33'''). Ledit ellipsomètre est caractérisé en ce que les éléments de diaphragme (20) masquent, pour chaque partie de la lumière de détection (32') réfléchie sur le côté d'échantillon du système d'échantillons (40, 43), non masquée, une partie de la lumière d'éclairage (33''') caractérisée en ce qu'elle a été réfléchie en l'absence des éléments de diaphragme (20) sur une contre-surface (41, 42) du substrat support opposée au côté d'échantillon, de telle manière qu'elle est superposée dans le plan de détection, à la partie de lumière de détection (32') non masquée.
PCT/EP2005/002381 2004-03-12 2005-03-07 Ellipsometre comportant un systeme de diaphragme WO2005088272A1 (fr)

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